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Hintergrund
der Erfindung
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Gebiet der
Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft
eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
und insbesondere eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit Aktivmatrix von hoher Bildqualität mit weiter Beobachtungswinkelcharakteristik,
die eine Schwarzmatrix mit hohem Widerstand aufweist und eine ausgezeichnete
Lichtabschirmungsfähigkeit
besitzt.
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Beschreibung
des Standes der Technik
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Anzeigevorrichtungen, bei denen eine
Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
verwendet ist und die verringertes Gewicht und geringere elektrische
Leistungsaufnahme aufweisen, wurden in den letzten Jahren in breitem
Umfang für
Personal Computer, Textverarbeitungsgeräte und andere Informationsverarbeitungseinrichtungen
verwendet.
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Grundsätzlich weist die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
eine Matrix auf, die aus einer Anzahl von horizontal und vertikal
angeordneten Elektroden und einer zwischen den horizontalen und
vertikalen Elektroden eingeschalteten Flüssigkristallschicht besteht,
wobei Pixel an den Stellen gebildet werden, an denen zwei Elektroden
einander kreuzen, um ein zweidimensionales Bild anzuzeigen.
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Die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtungen
dieser Art können
in solche mit einem sogenannten Passivmatrix-System, bei dem ein
vorgegebenes Pixel durch Zeitsteuerung eines an die horizontale
und die vertikale Elektrode angelegten Impulses ausgewählt wird,
und in solche vom sogenannten Aktivmatrix-System unterteilt werden,
bei dem ein nichtlineares Element wie ein Transistor oder dergleichen
in jedem Pixel vorgesehen ist und ein vorgegebenes nichtlineares
Element ausgewählt
wird.
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Bei einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung mit
Aktivmatrix-System sind die nichtlinearen Elemente (Schaltelemente)
in Positionen vorgesehen, die einer Vielzahl von Pixelelektroden
entsprechen, die in Form einer Matrix angeordnet sind. Theoretisch kann
der Flüssigkristall
an jedem Pixel zu jedem Zeitpunkt angesteuert werden (Tastverhältnis 1,0).
Im Vergleich mit dem sogenannten Passivmatrix-System, bei dem ein
Zeitmultiplex-Ansteuersystem angewandt wird, ergibt das Aktivmatrix-System entsprechend
einen guten Kontrast und stellt eine Technik dar, die insbesondere
für Flüssigkristall-Farbanzeigevorrichtungen
unerlässlich
ist. Dünnschichttransistoren
(TFTs) sind repräsentative
Beispiele für
die Schaltelemente.
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Bei einem herkömmlichen Dünnschichttransitor-Flüssigkristallanzeigeelement
sind transparente Elektroden so ausgebildet, dass sie an der Grenzfläche von
zwei Substraten einander gegenüberliegen, um
die Flüssigkristallschicht
anzusteuern.
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Es wurde also ein Anzeigesystem angewandt,
typischerweise ein sogenanntes verdrillt-nematisches Anzeigesystem,
bei dem die Richtung des an den Flüssigkristall angelegten elektrischen
Feldes wegen der Anwen dung der oben erwähnten Elektrodenstruktur nahezu
senkrecht zur Grenzfläche
der Substrate ist.
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Als System, bei dem die Richtung
eines an die Flüssigkristalle
angelegten elektrischen Feldes nahezu parallel zur Grenzfläche der
Substrate verläuft,
wurde ferner ein System angegeben (das sogenannte In-Plane-System mit elektrischem
Feld 'in plane'), bei dem zwei kammförmige Elektroden
auf der Oberfläche
mindestens eines der Substrate erzeugt werden, um die Flüssigkristallschicht
anzusteuern, wie z. B. in der japanischen Patentveröffentlichung
JP 21907/1988 und der
japanischen Patentanmeldung
JP
36058/1995 offenbart ist. Das Verfahren der Anwendung kammförmiger Elektroden
und das Verfahren zu ihrer Herstellung wurden bereits von der vorliegenden
Anmelderin in der japanischen Patentanmeldung
JP 105862/1995 angegeben.
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Bei einer derartigen Elektrodenstruktur
sind die Hauptachsen der Moleküle
der Flüssigkristallschicht
(im Folgenden auch zur Vereinfachung als Flüssigkristallmoleküle bezeichnet)
im Wesentlichen parallel zu den Oberflächen der Substrate, und die Flüssigkristallmoleküle werden
daran gehindert, sich in einer Richtung senkrecht zu den Substraten
auszurichten. Daher ändert
sich die Helligkeit sogar dann wenig, wenn der Beobachtungswinkel
geändert
wird; dies bedeutet, dass die so genante Beobachtungswinkelabhängigkeit
praktisch nicht existiert, und weite Beobachtungswinkelcharakteristiken
im Vergleich mit denen des Systems mit vertikalem elektrischen Feld
erzielt werden können.
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Bei einer herkömmlichen Schwarzmaske, die
zwischen die gefärbten
Schichten verschiedener Farbe eingeschaltet wird und das Substrat
eines Farbfilters (Farbfiltersubstrat) darstellt, wurde ferner ein
Bildmuster aus einer dünnen
Schicht von metallischem Chrom oder metallischem Chrom mit niedriger Reflexion
erzeugt, oder es wurde ein Bildmuster aus einer dünnen Schicht
aus einem lichtempfindlichen Harz erzeugt, in der ein schwarzfärbendes
Mittel oder Rußpulver
(meistens Graphit) dispergiert wurden, wobei verschiedene Pigmente
zugesetzt wurden.
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Die gefärbten Schichten des Farbfiltersubstrats
besitzen üblicherweise
einen Aufbau, bei dem (vgl. 7)
eine Schutzschicht PSV2 auf den gefärbten Schichten FIL (R), FIL
(G), FIL (B) ausgebildet ist, deren Bildmusterbereiche wie ein Mosaik
oder in vertikalen Streifen für
jedes der Pixel oder jede der Farben voneinander getrennt sind.
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Wenn die gefärbten Schichten unter Verwendung
von Harzmaterialien hergestellt werden, die ein darin dispergiertes
Pigment im Farbfilter enthalten, das für Flüssigkristall-Anzeigevorrichtungen
vom Aktivmatrix-Typ
verwendet wird, wird ferner die Schutzschicht PSV2 nicht oft angewandt.
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13 ist
eine schematische Querschnittsansicht, die den Aufbau eines Pixels
erläutert,
das eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ darstellt, wobei der Einschaltbetrieb
dargestellt ist. Der Aufbau umfasst ein TFT-Substrat 1,
ein Farbfiltersubstrat 1',
eine gemeinsame Elektrode 2, einen Isolierfilm 6,
Pixelelektroden 11, einen Schutzfilm 12, eine
Schwarzmaske 17 und ein Farbfilter 18.
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In 13 wird
eine Flüssigkristallschicht zwischen
dem TFT-Substrat 1 und dem Farbffiltersubstrat 1' gehalten. Auf
der Oberfläche
der Schutzschicht 12 und auf der Oberfläche des Farbfilters 18 sind
Orientie rungsschichten ausgebildet, um die anfängliche Orientierung der Flüssigkristallmoleküle der Flüssigkristallschicht
zu erzielen. Darüber
hinaus sind noch, obgleich in 13 nicht
dargestellt, Polarisatorplatten an den Außenoberflächen des TFT-Substrats 1 und
des Farbfiltersubstrats 1' angeordnet.
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Bei der oben erwähnten Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ sind die Pixelelektroden 11 und
die gemeinsame Elektrode 2 auf einem Substrat (TFT-Substrat 1) ausgebildet;
auf dem anderen Substrat (Farbfiltersubstrat 1') ist ein Farbfilter 18 ausgebildet,
das eine Farbe eines durch die Schwarzmaske 17 abgegrenzten
Pixels darstellt.
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Die Schwarzmaske 17, die
das Farbfilter abgrenzt, verhindert die Reflexion von äußerem Licht und
fördert
den Kontrast durch Absorption von Licht von den benachbarten Pixeln.
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EP-A-515 225 beschreibt eine Beschichtung, die
einen spezifischen Widerstand von 106 Ω·cm oder mehr
aufweist und die als lichtabsorbierende Schicht in einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
des Typs verwendet wird, der zum optischen Schreiben dient.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Bei einer herkömmlichen Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit vertikalem elektrischem Feld, die eine auf der Seite des Farbfiltersubstrats
ausgebildete gemeinsame Elektrode aufweist, ist die das Farbfiltersubstrat
darstellende Schwarzmaske erforderlich, um einen hohen Lichtabsorptionsfaktor
und einen niedrigen Lichtreflexionsfaktor zu erzielen.
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Bisher wurde allerdings dem spezifischen Widerstand
der Schwarzmaske keine Aufmerksamkeit gewidmet.
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Bei der oben erwähnten Schwarzmaske, bei der
ein Harzmaterial verwendet wird, wird nämlich eine große Menge
Graphit zugegeben, insbesondere, um den Absorptionsfaktor zu erhöhen. Daher
wird der spezifische Widerstand mit steigender Menge an zugesetztem
Graphit verringert. Wenn für
die Schwarzmaske metallisches Chrom verwendet wird, wird ferner
das Lichtabschirmungsvermögen
erheblich verbessert, und der spezifische Widerstand wird sehr gering.
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Bei der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung mit
elektrischem Feld vom In-Plane-Typ,
bei der die Schwarzmaske einen kleinen spezifischen Widerstand aufweist,
werden allerdings die elektrischen Kraftlinien von den Pixelelektroden 11 durch
die Schwarzmaske 17 angezogen, die einen kleinen spezifischen
Widerstand aufweist, wie aus 13 hervorgeht,
wenn eine Spannung zwischen die Pixelelektroden 11 und
die gemeinsame Elektrode 2 angelegt wird, um das Pixel
einzuschalten, und das Muster des elektrischen Feldes wird gestört und in
Bezug auf die Grenzfläche
der Substrate gekippt. Als Ergebnis wird die horizontale Komponente
der elektrischen Kraftlinien abgeschwächt, und ein erwünschter
Lichttransmissionsfaktor kann nicht erzielt werden. Alternativ treten
sogenannte Domänen
an den Positionen der Pixelelektroden 11 und der gemeinsamen
Elektrode 2 auf. Dementsprechend wird der Kontrast verschlechtert,
und die Farbanzeige wird ungleichmäßig, so dass eine gute Bildqualität nicht
erzielbar ist.
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Die 14A und 14B sind schematische Darstellungen,
die ein Pixel in einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ erläutern, das zwei kammförmige gemeinsame
Elektroden aufweist, die in einem Pixel angeordnet sind. 14A ist eine Draufsicht, 14B eine Querschnittsansicht
längs der
Linie A-A' von 14A. In einem von der Schwarzmaske 17 umgebenen
Bereich ist ein Farbfilter ausgebildet, und verschiedene Filme sind
darauf und auf den gemeinsamen Elektroden 2 und den Pixelelektroden 11 ausgebildet,
die allerdings hier nicht gezeigt sind.
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In den 14A und 14B ist ein Pixel in einem
offenen Bereich ausgebildet, der von der Schwarzmaske umgeben ist;
eine Pixelelektrode 11 und eine gemeinsame Elektrode 2 sind
in diesem Bereich angeordnet, und eine Flüssigkristallschicht wird zwischen
dem TFT-Substrat 1 und dem Farbfiltersubstrat 1' gehalten. Die
Schwarzmaske besitzt einen spezifischen Widerstand von nicht mehr
als 104 Ω·cm.
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Durch eine zum Einschalten angelegte
Signalspannung wird ein elektrisches Feld zwischen der gemeinsamen
Elektrode 2 und der benachbarten Pixelelektrode 11 erzeugt.
Dieses elektrische Feld wirkt in Abhängigkeit von der Größe der anliegenden
Signalspannung stark auf die Flüssigkristallmoleküle ein,
wodurch die Orientierung der Flüssigkristallmoleküle gedreht
wird und Licht vom TFT-Substrat 1 mit erhöhtem Transmissionsfaktor
zum Farbfiltersubstrat 1' hindurchtritt.
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15 ist
ein Diagramm, das erläutert,
dass sich der Transmissionsfaktor in Abhängigkeit von der Position innerhalb
des Abstands zwischen der gemeinsamen Elektrode 2 und der
Pixelelektrode 11, die in 14A gezeigt
sind, ändert,
wobei der Fleck a eine von der Schwarzmaske 17 abliegende
Position und der Fleck b eine näher
an der Schwarzmaske 17 liegende Position bezeichnen.
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Wie ersichtlich ist, nimmt der Transmissionsfaktor
mit steigender Signalspannung, die an der gemeinsamen Elektrode 2 und
der Pixelelektrode 11 anliegt, zu. Wie in 14A dargestellt ist, bildet das elektrische
Feldbild, da sich der Fleck b nahe an der Schwarzmaske 17 befindet,
einen scharfen Winkel in Bezug auf die Oberfläche des Substrats. Daher liegt die
Kurve der Änderung
des Transmissionsfaktors mit steigender Signalspannung in ihrem
Anstieg hinter der Kurve von Fleck a. In 15 muss die Signalspannung des Flecks
b gegenüber
dem Fleck a um etwa 1 Volt erhöht
werden, um den gleichen Transmissionsfaktor zu erzielen.
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Wenn die gleiche Spannung anliegt,
ist dementsprechend der Transmissionsfaktor zwischen dem Mittelbereich
und dem peripheren Bereich in einem Pixel unterschiedlich, und die
Farbe wird ungleichmäßig.
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Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine
Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
anzugeben, insbesondere eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung mit
elektrischem Feld vom In-Plane-Typ, die ein verbessertes Lichtabschirmungsvermögen aufweist, eine
Störung
des elektrischen Feldbildes unterdrückt und eine qualitativ hochwertige
Bildanzeige ohne Ungleichmäßigkeit
in den Farben ergibt.
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Die obige zugrundeliegende Aufgabe
wird gemäß Anspruch
1 gelöst.
Die abhängigen
Ansprüche
beziehen sich auf bevorzugte Ausführungsformen des Konzepts der
vorliegenden Erfindung.
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Das Konzept der vorliegenden Erfindung
ist nicht auf Vorrichtungen mit elektrischem Feld vom sogenannten
In-Plane-Typ begrenzt, ist jedoch wahlweise darauf anwendbar.
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Die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
der vorliegenden Erfindung weist auf:
Eine Schwarzmaske, die
auf einem von zwei Substraten, von denen mindestens eines transparent
ist, ausgebildet ist, eine Gruppe von Elektroden, die auf mindestens
einem der beiden Substrate erzeugt sind, eine Flüssigkristallschicht, die eine
Flüssigkristallzusammensetzung
umfasst, die dielektrische Anisotropie besitzt und zwischen den
beiden Substraten gehalten ist, eine Orientierungskontrollschicht,
die zwischen der Flüssigkristallschicht
und einem Substrat oder beiden Substraten erzeugt ist und zur Orientierung
der Flüssigkristallmoleküle der Flüssigkristallzusammensetzung
in einer vorgegebenen Richtung dient, Polarisationsmittel, die auf
mindestens einem der beiden Substrate flach aufgebracht sind, und
eine Ansteuereinrichtung zum Anlegen einer. Ansteuerspannung an
die Gruppe von Elektroden, wobei die Flüssigkristallzusammensetzung
einen spezifischen Widerstand von nicht weniger als 10N Ω·cm und
die Schwarzmaske einen spezifischen Widerstand von nicht weniger
als 10M Ω·cm aufweisen,
wobei N und M ganze Zahlen sind, die den Bedingungen N > 9 und M > 6 genügen.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung ist die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
eine Anzeigevorrichtung mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ,
wobei die Gruppe von Elektroden eine solche Anordnung besitzt, dass
ein elektrisches Feld erzeugt wird, das eine Komponente vorwiegend
parallel zur Grenzfläche
zwischen der Orientierungskontrollschicht und der Flüssigkristallschicht
aufweist.
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Gemäß einer anderen bevorzugten
Ausführungsform
weist die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
der vorliegenden Erfindung eine Flüssigkristallzusammensetzung,
die einen spezifischen Widerstand von nicht we niger als 10N Ω·cm besitzt,
sowie eine Schwarzmaske auf, die einen spezifischen Widerstand von
nicht weniger als 10M Ω·cm besitzt, wobei N und M
ganze Zahlen sind, die den Bedingungen N > 13 und M > 7 genügen.
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Gemäß einer weiteren bevorzugten
Ausführungsform
sind in der Schwarzmaske Metalloxidpartikel enthalten.
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Gemäß einer weiteren bevorzugten
Ausführungsform
sind die Metalloxidpartikel Partikel mindestens eines Metalloxids,
das unter Cobaltoxid, Chromoxid, Manganoxid und Nickeloxid ausgewählt ist.
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Eine weitere bevorzugte Ausführungsform
ist dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich zu den Metalloxidpartikeln
in der Schwarzmaske ein organisches Pigment und/oder Graphitpulver
enthalten sind.
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Eine weitere bevorzugte Ausführungsform
ist dadurch gekennzeichnet, dass die Cobaltoxidpartikel hauptsächlich Tricobalttetroxid-Partikel
sind. Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
enthält die
Schwarzmaske zusätzlich
zu Cobaltoxidpartikeln Partikel aus Chromoxid, Manganoxid und/oder
Nickeloxid.
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Die Schwarzmaske enthält vorzugsweise
ein Polyimidharz als Grundmaterial.
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Das Grundmaterial der Schwarzmaske
ist vorzugsweise ein Harzmaterial mit Polyimidgruppen, wobei die
Zusammensetzung des Harzmaterials eine Komponente enthält, die
durch Licht gehärtet
wird, und eine Komponente enthält,
die durch Wärme
gehärtet
wird, und die optische Dich te der Schwarzmaske durch die Härtung des
Harzmaterials durch Erwärmen
erhöht
wird.
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Die Schwarzmaske besteht vorzugsweise aus
einem Polyimidharzmaterial, das eine oder mehrere Arten von schwarzen
Färbemitteln
sowie andere Färbemittel
enthält,
die von den schwarzen Färbemitteln
verschieden sind.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht
die Schwarzmaske ferner aus einem Polyimidharzmaterial, in dem Metalloxidpartikel
eingemischt oder dispergiert sind, die als schwarze Färbemittel
dienen.
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Bei der Anzeigevorrichtung der vorliegenden Erfindung
unterbindet die auf mindestens einem der beiden Substrate ausgebildete
Schwarzmatrix den Eintritt von Licht von benachbarten Pixeln, die
eingeschaltet sind, und trägt
so zur Erhöhung
des Kontrasts eines angezeigten Bildes bei.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform umfasst
die Gruppe von Elektroden, die auf einem der beiden Substrate oder
auf beiden Substraten ausgebildet sind, eine gemeinsame Elektrode
und eine Pixelelektrode und erzeugt ein elektrisches Feldbild zwischen
den beiden Elektroden, wenn das Pixel eingeschaltet ist, was zu
einer Drehung der Orientierung der Flüssigkristallmoleküle der Flüssigkristallzusammensetzung
führt,
aus der die Flüssigkristallschicht
besteht, so dass der Lichttransmissionsfaktor geändert wird. Die Orientierungskontrollschicht (Orientierungsfilm)
dient zur Orientierung der Flüssigkristallmoleküle der Flüssigkristallzusammensetzung
in eine vorgegebene Richtung, wenn kein elektrisches Feld anliegt.
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Die Polarisationsmittel sind auf
mindestens einem der beiden Substrate flach aufgebracht und erlauben
den Durchtritt von Licht, das in einer speziellen Richtung polarisiert
ist, bevor es in die Flüssigkristallschicht
eintritt oder nachdem es durch die Flüssigkristallschicht hindurchgetreten
ist.
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Die Ansteuereinrichtung legt eine
Ansteuerspannung an die Gruppe von Elektroden an, um ein vorgegebenes
Pixel einzuschalten und ein Bild anzuzeigen.
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Die Gruppe von Elektroden weist vorzugsweise
einen Aufbau auf, bei dem die Elektroden so angeordnet sind, dass
sie ein elektrisches Feld erzeugen, das eine Komponente vorwiegend
parallel zur Grenzfläche
zwischen der Orientierungskontrollschicht und der Flüssigkristallschicht
aufweist. Wenn das elektrische Feld zwischen der gemeinsamen Elektrode
und der Pixelelektrode, welche die Gruppe von Elektroden bilden,
erzeugt wird, werden die Flüssigkristallmoleküle in einer
Ebene gedreht, die im Wesentlichen parallel zur Grenzfläche ist.
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Die Flüssigkristallzusammensetzung
weist einen spezifischen Widerstand von nicht weniger als 10N Ω·cm auf,
und die Schwarzmaske besitzt einen spezifischen Widerstand von nicht
weniger als 10M Ω·cm (wobei N und M ganze Zahlen
sind), wobei die Zahlen N und M den Bedingungen N > 9 und M > 6 genügen, wodurch
in wirksamer Weise eine elektrische Feldkomponente parallel zu den
Substraten erzeugt wird.
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Dementsprechend werden die Flüssigkristallmoleküle in einer
Ebene gedreht, die im Wesentlichen parallel zur Grenzfläche liegt,
wodurch es möglich
wird, das Auftreten von sogenannten Domänen und die Erhöhung der
Ansteuerspannung zu unterdrücken.
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Gemäß einer der oben angeführten bevorzugten
Ausführungsformen
besitzt die Flüssigkristallzusammensetzung
einen spezifischen Widerstand von nicht weniger als 10N Ω·cm, und
die Schwarzmaske weist einen spezifischen Widerstand von nicht weniger
als 10M Ω·cm auf
(wobei N und M ganze Zahlen sind), wobei die Zahlen N und M den
Bedingungen N > 13
und M > 7 genügen, wodurch
in noch wirksamerer Weise eine elektrische Feldkomponente parallel
zu den Substraten erzeugt wird, als dies im allgemeinen Fall der
Bedingung N > 9 und
M > 6 erzielt werden
kann.
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Dementsprechend werden die Flüssigkristallmoleküle in einer
Ebene gedreht, die im Wesentlichen parallel zur Grenzfläche ist,
wodurch es möglich ist,
das Auftreten sogenannter Domänen
und die Erhöung
der Ansteuerspannung noch weiter zu unterdrücken.
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Im Fall des Vorliegens von Metalloxidpartikeln
in der Schwarzmaske und im Fall von Vorrichtungen mit elektrischem
Feld vom In-Plane-Typ weist die Schwarzmaske einen erhöhten spezifischen
Widerstand auf, wobei ihre optische Dichte unverändert ist, und die elektrische
Feldkomponente wird in noch wirksamerer Weise zwischen den Elektroden
in einer Ebene erzeugt, die nahezu parallel zu der oben erwähnten Grenzfläche liegt.
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Dementsprechend werden die Flüssigkristallmoleküle in einer
Ebene gedreht, die nahezu parallel zur Grenzfläche ist, wodurch es möglich ist,
das Auftreten sogenannter Domänen
und die Erhöhung der
Ansteuer spannung zu unterdrücken,
und zugleich ermöglicht
wird, den Lichttransmissionsfaktor zu verbessern.
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Die Verwendung von Cobaltoxidpartikeln, Chromoxidpartikeln,
Manganoxidpartikeln oder Nickeloxidpartikeln in der Schwarzmaske
führt zu
einer erhöhten
optischen Dichte und einem erhöhten
spezifischen Widerstand der Maske. Daher wird die elektrische Feldkomponente
in noch wirksamerer Weise zwischen den Elektroden in einer Ebene
erzeugt, die parallel zur oben erwähnten Grenzfläche liegt.
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Demgemäß werden die Flüssigkristallmoleküle in einer
Ebene gedreht, die nahezu parallel zur der Grenzfläche liegt,
wodurch es möglich
wird, das Auftreten sogenannter Domänen und die Erhöhung der
Ansteuerspannung noch weiter zu unterdrücken, und der Lichttransmissionsfaktor
weiter verbessert werden kann.
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Eine weitere Verbesserung kann erzielt
werden, wenn die Schwarzmaske zusätzlich zu den Metalloxidpartikeln
ein organisches Pigment und/oder ein Graphitpulver enthält. Dies
führt zu
einer weiteren Erhöhung
des spezifischen Widerstands und zu einer noch wirksameren Lichtabsorption
der Schwarzmaske. Dementsprechend werden die Flüssigkristallmoleküle in einer
Ebene gedreht, die nahezu parallel zu der Grenzfläche liegt,
wodurch es möglich
wird, das Auftreten sogenannter Domänen und die Erhöhung der
Ansteuerspannung noch weiter zu unterdrücken, und der Lichttransmissionsfaktor
noch weiter verbessert werden kann.
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Vorzugsweise wird hauptsächlich Tricobalttetroxid
für die
Cobaltoxidpartikel verwendet; auf diese Weise behält die Schwarzmaske
ihren spezifischen Widerstand und ihr Absorptionsvermögen.
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Eine weitere Verbesserung kann durch
Verwendung von Chromoxid, Manganoxid und/oder Nickeloxid zusätzlich zu
dem Cobaltoxid erzielt werden. In diesem Fall behält die Schwarzmaske
ihren spezifischen Widerstand und ihren Lichtabsorptionsfaktor.
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Das Grundmaterial der Schwarzmaske
besteht vorzugsweise aus einem lichtempfindlichen Polyimidharz;
ferner liegt das Merkmal vor, dass sich die optische Dichte beim
Schritt der Härtung
des Harzes durch Licht erhöht,
wobei Wärme
angewandt wird, um so eine Schwarzmaske mit nahezu schwarzer Farbe
zu erzielen, die ein hohes Isolationsvermögen besitzt.
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Daher besteht gemäß einer bevorzugten Ausführungsform
die Schwarzmaske aus einem Material, das ein Polyimidharz als Grundmaterial
enthält,
und besitzt einen hohen spezifischen Widerstand. Dadurch wird verhindert,
dass das Isolationsvermögen
abnimmt, und es wird die elektrische Feldkomponente zur Drehung
der Flüssigkristallmoleküle in wirksamer
Weise parallel zur Grenzfläche
erzeugt.
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In dem bevorzugten Fall, in dem die Schwarzmaske
aus einem Harzmaterial mit Polyimidgruppen besteht, das eine Komponente
enthält, die
durch Licht gehärtet
wird, und eine Komponente enthält,
die durch Hitze gehärtet
wird, wird eine Schwarzmaske erhalten, die nach der Härtung durch Hitze
schwarz gefärbt
ist und ein hohes Lichtabschirmungsvermögen aufweist.
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Gemäß einer weiteren bevorzugten
Ausführungsform
besteht die Schwarzmaske aus einem Polyimidharzmaterial, das eine
oder mehrere Arten von schwarze Färbemitteln sowie andere Färbemittel
enthält,
die von den schwarzen Färbemitteln
verschieden sind. Daher weist die Schwarzmaske ein hohes Lichtabschirmungsvermögen auf.
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Entsprechend einer weiteren bevorzugten Ausführungsform
besteht die Schwarzmaske aus dem Polyimidharzmaterial, in das Metalloxidpartikel eingemischt
oder in dem Metalloxidpartikel dispergiert sind, die als schwarze
Färbemittel
dienen. Daher zeigt die Schwarzmaske einen hohen spezifischen Widerstand
und ein hohes Lichtabschirmungsvermögen.
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Das oben erwähnte lichtempfindliche Harz vom
Polyimidtyp weist in seinem Molekülgerüst eine funktionelle Gruppe
auf, die Lichtstrahlung im sichtbaren Bereich absorbiert, enthält jedoch
keinen Kohlenstoff oder Graphit, die herkömmlicherweise darin verwendet
wurden. Es ist daher möglich,
einen niedrigen Transmissionsfaktor einzustellen, ohne dass hierdurch
der spezifische Widerstand verringert wird.
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Die obigen sowie andere Gegenstände, Vorteile
und Ausführungsarten
und die neuartigen Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus
der nachstehenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den
beigefügten
Zeichnungen noch besser verständlich.
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Kurze Beschreibung der
Zeichnungen
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Die 1A bis 1D sind schematische Darstellungen
eines Pixels zur Erläuterung
des Betriebs einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ;
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Die 2A bis 2C sind Darstellungen zur
Erläuterung
des Aufbaus eines TFT-Substrats, das eine Ausführungsform einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
vom In-Plane-Typ darstellt;
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3 ist
eine Darstellung zur Erläuterung von
Beispiel 1 oder 2 des Aufbaus eines Farbfiltersubstrats in einer
Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung mit
elektrischem Feld vom In-Plane-Typ;
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4 ist
eine schematische Darstellung eines elektrischen Feldbilds in einem
Pixel im Querschnitt, das Ausführungsform
1 oder 2 der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ entspricht;
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5 ist
ein Diagramm zur Erläuterung
der Abhängigkeit
der Ansteuerspannung vom spezifischen Widerstand der Schwarzmaske
(BM), wenn der spezifische Widerstand der Flüssigkristallschicht der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ geändert wird;
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6 ist
ein Diagramm zur Erläuterung
der Änderung
des spezifischen Widerstands der Schwarzmaske und der Änderung
der optischen Dichte in Abhängigkeit
vom Kohlenstoffgehalt der Schwarzmaske, wenn die Schichtdicke 1 μm beträgt, bei
der Ausführungsform
1 der vorliegenden Erfindung;
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7 ist
eine Querschnittsansicht zur Erläuterung
eines wesentlichen Teils des Farbfiltersubstrats, das bei der Ausführungsform
3 einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ verwendet ist;
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8 ist
eine schematische Darstellung zur Erläuterung der Schritte bei der
Erzeugung der in 7 dargestellten
Schwarzmaske;
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9 ist
ein Diagramm zur Erläuterung
der Schritte bei der Herstellung des in 7 dargestellten Farbfiltersubstrats;
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10 ist
eine schematische Darstellung, welche die Verbindung einer Äquivalenzschaltung
einer Anzeigematrixeinheit mit den Peripherieschaltungen in einer
Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
zeigt;
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11 ist
eine perspektivische Explosionsdarstellung zur Erläuterung
eines Beispiels des Aufbaus der erfindungsgemäßen Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung;
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12 ist
eine Darstellung, die das Aussehen eines Personal Computers zur
Erläuterung
einer Informationsverarbeitungseinrichtung zeigt, bei der eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
der vorliegenden Erfindung verwendet ist;
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13 ist
eine schematische Schnittansicht zur Erläuterung des Aufbaus eines Pixels,
mit dem die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ aufgebaut ist, und zur Erläuterung
des Einschaltbetriebs;
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die 14A und 14B sind schematische Ansichten
eines Pixels in einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ, bei
der zwei kammförmige
gemeinsame Elektroden in einem Pixel angeordnet sind, und
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15 ist
ein Diagramm, das die Änderung des
Transmissionsfaktors in Abhängigkeit
von der Position im Zwischenraum zwischen der Pixelelektrode und
der gemeinsamen Elektrode zeigt, die in den 14A und 14B dargestellt
sind.
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Beschreibung
bevorzugter Ausführungsformen
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Im Folgenden werden Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung im Detail unter Bezug auf die Zeichnungen
beschrieben.
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Die 1A bis 1D sind schematische Darstellungen
eines Pixels zur Erläuterung
der Arbeitsweise einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung,
bei der die vorliegende Erfindung angewandt ist. 1A ist eine Schnittansicht des Aufbaus,
wenn keine Spannung anliegt; 1B ist
eine Schnittansicht des Aufbaus, wenn eine Spannung anliegt; 1C ist eine Draufsicht auf
den Aufbau, wenn keine Spannung anliegt, und 1D ist eine Draufsicht auf den Aufbau,
wenn eine Spannung anliegt. Diese hier erwähnte Spannung ist eine Auswahlspannung,
die zwischen der gemeinsamen Elektrode und der Pixelelektrode angelegt
wird.
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Die Vorrichtung der 1A und 1B umfasst transparente
Glassubstrate 1 und 1' (im Folgenden zur Vereinfachung
als Substrate bezeichnet), eine gemeinsame Elektrode 2,
eine Isolierschicht 6, eine Signalleitung 10,
eine Pixelelektrode 11, eine Schutzschicht 12 und
Polarisa torplatten 13 und 13', wobei die Polarisationsachsen
der Polarisatorplatten mit 14 und 14' bezeichnet
sind, die Orientierung der Flüssigkristallmoleküle mit 15 bezeichnet
ist und für
die Richtung des elektrischen Feldes die Bezeichnung 16 verwendet
ist. Die Vorrichtung umfasst ferner eine Schwarzmaske (BM), ein
Farbfilter 18, eine Schutzschicht 19 (Glättungsschicht),
Orientierungsschichten 20 und 20' und Flüssigkristallmoleküle 21 (hauptsächlich stabförmige Flüssigkristallmoleküle).
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Die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
umfasst die Polarisatorplatte 13', eine Schwarzmaske 17 zur
Abschirmung von Licht, ein Farbfilter 18, eine Schutzschicht 19 und
eine Orientierungsschicht 20', die
auf einem Substrat (Farbfiltersubstrat 1') der beiden transparenten Glassubstrate 1 und 1' ausgebildet
sind. Auf dem anderen Substrat (TFT-Substrat) 1 sind die
Polarisatorplatte 13, die Orientierungsschicht 20,
die dem Flüssigkristall 21 gegenüberliegt, eine
Signalelektrode 10, eine Pixelelektrode 11, eine gemeinsame
Elektrode 2, Leitungen sowie ein Dünnschichttransistor (TFT) vorgesehen.
In den 1A und 1B sind die Leitungen oder
der Aufbau der Dünnschichttransistoren
nicht dargestellt.
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Gemäß den 1A und 1C sind
die Flüssigkristallmoleküle 21 durch
die Orientierungsschichten 20, 20' in der Orientierungsrichtung 15 homogen
orientiert, die nahezu parallel zu den Ebenen der Substrate 1, 1' liegt. In diesem
Zustand ist die Richtung der anfänglichen
Orientierung der Flüssigkristallmoleküle 21 nahezu
mit der Polarisationsachse 14 der Polarisatorplatte 13 in Übereinstimmung,
und die Polarisationsachse 14' der oberen Polarisatorplatte 13' liegt senkrecht
dazu, und das Pixel befindet sich in einem Zustand ohne Anzeige
(ausgeschalteter Zustand).
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Gemäß den 1B und 1D liegt
eine Spannung zwischen der gemeinsamen Elektrode 2 und der
Pixelelektrode 11 an, die auf dem Substrat 1 ausgebildet
sind, um ein elektrisches Feld (Richtung 16 des elektrischen
Feldes) in einer Richtung zu erzeugen, die nahezu parallel zur Grenzfläche der
Substrate 1, 1' ist.
Dann werden die Flüssigkristallmoleküle 21 orientiert
und in einer Ebene gedreht, die nahezu parallel zur Grenzfläche der
Substrate 1, 1' ist.
Demgemäß wird das
Pixel in den Anzeigezustand (eingeschalteten Zustand) gebracht.
Es ist eine große
Anzahl Pixel vorgesehen, aus denen eine Anzeigevorrichtung aufgebaut
ist.
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Die 2A bis 2C sind Darstellungen zur
Erläuterung
des Aufbaus eines TFT-Substrats, aus dem eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist, wobei 2A eine Draufsicht, 2B eine Querschnittsansicht längs der
Linie A-A' von 2A und 2C eine Querschnittsansicht längs der
Linie B-B' von 2A darstellen.
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In den 2A bis 2C bezeichnen die gleichen
Bezugszahlen wie in den 1A bis 1D die gleichen Teile. Der
Aufbau umfasst ferner eine gemeinsame Leitung 3, eine Scanningelektrode,
eine Scanningleitung 5, eine Isolierschicht 6,
eine Halbleiterschicht 7, einen Dünnschichttransistorbereich (TFT-Bereich),
eine Signalleitung 10, Pixelelektroden 11 und
eine Schutzschicht 12.
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Die Scanningelektrode 4,
die Scanningleitung 5, die gemeinsamen Elektroden 2 und
die gemeinsame Leitung 3 sind in der gleichen Schicht vorgesehen
und bestehen aus dem gleichen Material. Die Halbleiterschicht 7 wird über die
dünne Schicht und
die Isolierschicht 7 er zeugt; die Signalleitung 10 und
die Pixelelektrode 11 werden in der gleichen Schicht unter
Verwendung des gleichen Materials ausgebildet.
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Ein Teil der Pixelelektrode 11 ist
so ausgebildet, dass er, über
die Isolierschicht 6, die gemeinsame Leitung 3 in
einer Richtung überlappt,
die senkrecht zur Oberfläche
des Substrats ist, wodurch eine Kapazität erzeugt wird, um eine Signalspannung
zu halten, die zwischen die Pixelelektrode 11 und die gemeinsame
Elektrode 2 angelegt wird.
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3 ist
eine Darstellung zur Erläuterung
eines Beispiels des Aufbaus des Farbfiltersubstrats, mit dem die
Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
gemäß der Ausführungsform
1 der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist, wobei die gleichen Bezugszahlen wie
in den 1A bis 1D zur Bezeichnung der gleichen
Teile verwendet sind.
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Wie in 3 dargestellt
ist, weist das Farbfiltersubstrat auf einer Oberfläche des
transparenten Substrats 1' mehrere
Farbfilter (R, G, B) auf, die durch die Schwarzmaske 17 begrenzt
sind; darauf sind ferner die Schutzschicht (Glättungsschicht) 19 und
die Orientierungsschicht 20' darauf
ausgebildet. Die Polarisatorplatte 13' ist auf der anderen Oberfläche des
transparenten Substrats 1' aufgebracht.
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Wenn die Flüssigkristallschicht einen spezifischen
Widerstand von nicht weniger als 10N Ω·cm aufweist,
muss die Schwarzmaske 17, welche die mehreren Filter R,
G und B begrenzt, einen spezifischen Widerstand von nicht weniger
als 10M Ω·cm aufweisen,
wobei N und M ganze Zahlen sind, die den Bedingungen N > 9 und M > 6 genügen.
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Wenn die Flüssigkristallschicht und die Schwarzmaske
derartige spezifische Widerstände aufweisen,
weist das elektrische Feldbild, das durch das Anlegen der Auswahlspannung
zwischen der gemeinsamen Elektrode und der Pixelelektrode erzeugt wird,
eine wirksam erhöhte
Komponente auf, die nahezu parallel zur Grenzfläche zwischen der Flüssigkristallschicht
und der Orientierungsschicht verläuft, wodurch es möglich wird,
die Erhöhung
der Ansteuerspannung zu unterdrücken.
Ferner wird das Auftreten von Domänen stark verringert, und es
wird eine Anzeige mit hohem Kontrast erzielt.
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4 ist
eine Querschnittsansicht, die schematisch ein elektrisches Feldbild
eines Pixels erläutert,
mit denen die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung der
Ausführungsform
1 gemäß der vorliegenden
Erfindung aufgebaut ist, wobei die elektrischen Kraftlinien, die
zwischen der gemeinsamen Elektrode 2 und den Pixelelektroden 11 erzeugt
werden, durch die Schwarzmaske 17 nicht beeinträchtigt werden,
das elektrische Feldbild nahezu parallel zur Grenzfläche zwischen
der Flüssigkristallschicht
und der Orientierungsschicht verläuft, das Auftreten von Domänen an den
Positionen der Pixelelektroden 11 und an der Position der
gemeinsamen Elektroden 2 erheblich verringert ist, der
Transmissionsfaktor im offenen Bereich des Pixels vergrößert ist
und eine Anzeige mit hohem Kontrast erzielt wird.
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Die gleichen Wirkungen werden sogar
dann erzielt, wenn die Flüssigkristallschicht
einen spezifischen Widerstand von nicht weniger als 10N Ω·cm und
die Schwarzmaske einen spezifischen Widerstand von nicht weniger
als 10M Ω·cm aufweist
(wobei N und M ganze Zahlen sind), wobei N und M den Bedingungen
N > 13 und M > 7 genügen.
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In der Ausführungsform 1 ist das Material
der Schwarzmaske mit einem Gemisch eines organischen Pigments mit
Kohlenstoff gefüllt;
dies bedeutet, dass die Menge an Kohlenstoff so eingestellt ist, dass
der oben erwähnte
erwünschte
spezifische Widerstand erzielt wird.
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5 ist
ein Diagramm, das die Abhängigkeit
der Ansteuerspannung vom spezifischen Widerstand der Schwarzmaske
illustriert, wobei die spezifischen Widerstände der Flüssigkristallschicht und der Schwarzmaske
der oben erwähnten
Ausführungsform
1 geändert
werden.
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Wenn zu 5 angenommen wird, dass der erlaubte
Wert der Erhöhung
der Ansteuerspannung in Bezug auf den erlaubten Wert der Änderung
der Transmission, der weniger als eine Stufe der Graustufenskala
betragen sollte, nicht größer als
0,1 Volt ist, muss der spezifische Widerstand der Schwarzmaske höher als
3·106 Ω·cm sein,
wenn der Flüssigkristall
einen spezifischen Widerstand von 109 Ω·cm aufweist,
während
der spezifische Widerstand der Schwarzmaske mehr als 5·107 Ω·cm betragen
muss, wenn der Flüssigkristall
einen spezifischen Widerstand von 1013 Ω·cm aufweist.
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Aufgrund dieser Gegebenheiten werden
die oben erwähnten
Wirkungen dadurch erzielt, dass die Werte M und N so bestimmt werden,
dass sie den Beziehungen N > 9
und M > 6 oder N > 13 und M > 7 genügen.
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Wenn die Schwarzmaske Kohlenstoff
enthält,
nimmt der spezifische Widerstand mit steigender Menge an darin enthaltenem
Kohlenstoff ab und steigt mit abnehmender Kohlenstoffmenge. Eine
Erhöhung
der Menge an Kohlenstoff führt
zu einer Erhöhung
der optischen Dichte (im Folgenden als OD-Wert bezeichnet). Da Kohlenstoff
allerdings elektrisch leitend ist, nimmt der spezifische Widerstand ab.
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Dies bedeutet, dass die Menge an
Kohlenstoff so eingestellt werden muss, dass sie den oben erwähnten und
einander entgegengesetzten Forderungen entspricht.
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6 ist
ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der Änderung des spezifischen Widerstands
der Schwarzmaske und der Menge an Kohlenstoff und dem OD-Wert der
Schwarzmaske bei einer Schichtdicke von 1 μm illustriert, wobei Kurve a den
spezifischen Widerstand der Schwarzmaske und Kurve b den OD-Wert
darstellen.
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In 6 ist
an der Abszisse die Menge an Kohlenstoff (relativer Wert) in der
Schwarzmaske angetragen; die linke Ordinate stellt den spezifischen Widerstand
(Ω·cm) der
Schwarzmaske dar, während die
rechte Ordinate den OD-Wert für
eine Schichtdicke von 1 μm
angibt.
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Aus der Beziehung zwischen dem spezifischen
Widerstand, der in Abhängigkeit
von der Menge an Kohlenstoff variiert, und der optischen Dichte (OD-Wert),
wie in 6 gezeigt, wird
verständlich, dass
der spezifische Widerstand der Schwarzmaske nicht kleiner als 106 Ω·cm wird,
wenn die relative Menge an Kohlenstoff etwa 50 beträgt, wobei
der OD-Wert so bestimmt
werden kann, dass er mehr als 1,6 beträgt, was für praktische Zwecke ausreichend ist.
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Wie oben beschrieben wurde, enthält das Material
der Schwarzmaske ein Gemisch eines organischen Pigments mit Kohlenstoff,
wobei der eingemischte Anteil an Kohlenstoff so eingestellt ist,
dass der spezifische Widerstand erzielt wird, der innerhalb des
oben erwähnten
Bereichs liegt. Die vorliegende Erfindung ist allerdings in keiner
Weise lediglich darauf beschränkt,
da ein erwünschter
spezifischer Widerstand auch unter Verwendung anderer lichtabsorbierender
Materialien erzielt werden kann.
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Dies bedeutet, dass gemäß einer
anderen Ausführungsform
2, wie in 3 dargestellt
ist, die Schwarzmaske 17, die mehrere Farbfilter R, G,
B begrenzt, nach einem bekannten lithographischen Verfahren unter
Verwendung eines Resists erzeugt werden kann, der Partikel von Tricobalttetroxid
(Co3O4) als Cobaltoxidpartikel
enthält.
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Es ist ferner möglich, einen Resist zu verwenden,
der Tricobalttetroxid sowie ein organisches Pigment und/oder Kohlenstoff
(hauptsächlich
Graphit) enthält.
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Es ist ferner möglich, einen Resist zu verwenden,
der Chromoxid, Manganoxid und/oder Nickeloxid enthält.
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Das Mischungsverhältnis der Komponenten des Resists
wird so eingestellt, dass die Schwarzmaske 17 einen spezifischen
Widerstand von nicht kleiner als 106 Ω·cm aufweist.
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Da die Metalloxidpartikel, wie Cobaldoxidpartikel,
in der Schwarzmaske enthalten sind, kann der Lichtabsorptionsfaktor
weiter erhöht
werden, wobei ein hoher spezifischer Widerstand der Schwarzmaske
erhalten bleibt. Dann drehen sich die Flüssigkristallmoleküle in einer
Ebene nahezu parallel zur Grenzfläche, wodurch es möglich wird,
das Auftreten sogenannter Domänen
und die Erhöhung
der Ansteuerspannung zu un terdrücken,
und ein erhöhter Lichttransmissionsfaktor
erzielt werden kann.
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7 ist
eine Querschnittsansicht, die einen wesentlichen Teil des Farbfiltersubstrats
illustriert, das bei einer weiteren Ausführungsform 3 verwendet wird.
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Bei den Farbfiltern von 7 besteht die Schwarzmaske
BM aus einem Harz vom Polyimidtyp und ist auf dem Glassubstrat SUB2
erzeugt; dies bedeutet, dass Farbfilter (Pixel), FIL (R), FIL (G)
und FIL (B) vorgesehen sind, die durch die Schwarzmaske BM begrenzt
sind.
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8 ist
ein Diagramm, das die Schritte der Erzeugung der in 7 dargestellten Schwarzmaske erläutert, wobei
PBM einen Film aus einem lichtempfindlichen Polyimidharz, MSIC eine
Photomaske zur Belichtung der Schwarzmaske, by Ultraviolettstrahlung
und BM' ein Schwarzmasken-Bildmuster
bezeichnen.
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Das oben erwähnte lichtempfindliche Polyimidharz
ist beispielsweise ein lichtempfindliches Polyimidharz Ddp-1120
(s) (Handelsbezeichnung), Hersteller Nitto Denko Corp.
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In 8 wird
ein Glassubstrat SUB2, das als Falbfiltersubstrat dient, hergestellt
(Schritt A), und eine Schicht aus einem lichtempfindlichen Polyimidharz
PBM wird gleichmäßig auf
das Glassubstrat SUB2 durch Drehbeschichtung aufgebracht (Schritt B).
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Der Film aus dem lichtempfindlichen
Polyimidharz PBM wird bei etwa 70°C
etwa 15 min vorgehärtet
und getrocknet.
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Dann wird Ultraviolettstrahlung by
durch eine Photomaske MSK aufgestrahlt, die Öffnungen aufweist, die dem
Bildmuster der Anordnung der Schwarzmasken entsprechen (Schritt
C). Hierbei beträgt
die Energiedichte bei der Belichtung etwa 500 mJ/cm2.
Aufgrund der Belichtung unterliegen die mit Ultraviolettstrahlung
bestrahlten Bereiche einer Vernetzungsreaktion, und das Harz wird
gehärtet.
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Nach der Belichtung wird der Film
aus dem lichtempfindlichen Polyimidharz PBM in einem Ofen bei 180°C 10 min
oder auf einer Heizplatte bei 180°C 2
min hitzebehandelt. Aufgrund der Hitzebehandlung nimmt die Dichte
des lichtempfindlichen Polyimidharzfilms PBM zu, und der Film PBM
zeigt erhöhtes
Lichtabschirmungsvermögen.
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Nach der Hitzebehandlung wird der
lichtempfindliche Polyimidharzfilm PBM mit einer Entwicklerlösung entwickelt,
um die Bereiche zu entfernen, die nicht mit Ultraviolettstrahlung
belichtet wurden, wodurch ein Schwarzmasken-Bildmuster BM' aus dem Polyimidharz
gebildet wird (Schritt D).
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Abschließend wird das Schwarzmasken-Bildmuster
BM' etwa 1 h bei
350 – 400°C gehärtet, wobei
die Schwarzmaske BM entsteht (Schritt E).
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Die Verarbeitungsbedingungen in den
oben erwähnten
Schritten sind lediglich beispielhaft und können je nach der Dicke des
Films, der verwendet wird, und dem verlangten Schwärzegrad
geändert werden.
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Der Polyimidharzfilm nimmt durch
die Hitzehärtung
im Schritt der Hitzebehandlung nach der Belichtung eine schwarze
Farbe an. Das Prinzip der Schwarzfärbung wurde von Omote Toshihiko,
Hayashi Shunnichi und Jujii Hirobumi in "Polymer Preprints, Japan", Vol. 41, Nr. 7,
1992, Seiten 2836 bis 2838, beschrieben.
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Wie oben beschrieben wurde, ist das
Material, das die Schwarzmaske bildet, das Polyimidharz, das kein
elektrisch leitendes Material enthält. Daher weist die Schwarzmatrix
einen hohen spezifischen Widerstand auf.
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Danach werden die Pixel (RGB) erzeugt.
Erforderlichenfalls wird ferner eine Glättungsschicht oder eine Schutzschicht
darauf ausgebildet, wodurch ein Farbfiltersubstrat erhalten wird.
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Bei dem oben beschriebenen Flüssigkristallelement
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ sind die gegenüberliegenden
Elektroden auf der Seite des Farbfiltersubstrats nicht erforderlich.
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Als Nächstes wird ein Verfahren zur
Herstellung von Farbfiltern verschiedener Farben auf dem Farbfiltersubstrat
beschrieben, das eine nach dem oben erwähnten Verfahren ausgebildete
Schwarzmaske aufweist.
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9 ist
ein Diagramm, das die Schritte bei der Herstellung des Farbfiltersubstrats
erläutert,
das für
die Flüssigkristall-Farbanzeigevorrichtung
gemäß Ausführungsform
3 verwendet wird.
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Zunächst wird die Schwarzmatrix
auf dem Glassubstrat erzeugt, wobei das unter Bezug auf 8 erläuterte Verfahren angewandt
wird.
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Das Bildmuster der Schwarzmaske dient
als Referenz der gesamten Dimensionsgenauigkeit sowie zur Erzeugung
der Farbfilter (Pixel).
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Die Dicke der Schwarzmaske wird nach
ihren optischen Eigenschaften bestimmt, d. h., in Abhängigkeit
von ihrem Lichtabschirmungsvermögen. Bei
der Ausführungsform
3 beträgt
die Dicke der Schwarzmaske etwa 1,0 bis 1,5 μm.
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Auf das Substrat, auf dem die Schwarzmaske
erzeugt wurde, wird ein Harzmaterial mit einem darin dispergierten
roten Pigment durch Drehbeschichtung oder ein ähnliches Verfahren aufgebracht und
mit Ultraviolettstrahlung durch eine Belichtungsmaske hindurch belichtet,
die eine dem Rotfilter entsprechende Öffnung aufweist. Das Material
wird entwickelt, wobei die belichteten Bereiche zurückbleiben,
und durch Nacherhitzen gehärtet
und getrocknet, wodurch ein Rotfilter FIL (R) gebildet wird.
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Dann wird ein Harzmaterial mit darin
dispergiertem grünem
Pigment durch Drehbeschichtung oder ein ähnliches Verfahren aufgebracht
und durch die Belichtungsmaske mit einer Öffnung, die dem Grünfilter
entspricht, mit Ultraviolettstrahlung belichtet. Das Material wird
entwickelt, wobei die belichteten Bereiche zurückbleiben und durch Nacherhitzen gehärtet und
getrocknet, wodurch ein Grünfilter
FIL (G) gebildet wird.
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In ähnlicher Weise wird ein Harzmaterial
mit einem darin dispergierten blauen Pigment durch Drehbeschichten
oder ein ähnliches
Verfahren aufgebracht und durch eine Belichtungsmaske hindurch mit
Ultraviolettstrahlung belichtet, die eine Öffnung aufweist, die dem Blaufilter entspricht.
Das Material wird entwickelt, wobei die belichteten Bereiche zurückbleiben,
und durch Nacherhitzen gehärtet
und getrocknet, wobei ein Blaufilter FIL (B) gebildet wird.
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Durch diese Schritte werden Farbfilter
der drei Farben erzeugt, die durch die Schwarzmaske BM abgegrenzt
sind.
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Gemäß der Ausführungsform 3 zeigt die bei den
Pixeln erzeugte Schwarzmaske einen hohen Lichtabsorptionsfaktor,
wodurch es möglich
wird, eine Flüssigkristall-Farbanzeigevorrichtung
mit ausgezeichnetem Kontrast und hoher Zuverlässigkeit zu realisieren.
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Bei dieser Ausführungsform kann, wenn die Schwarzmaske
einen spezifischen Widerstand von nicht weniger als 107 Ω·cm aufweist,
ein Färbemittel zu
dem Farbfiltermaterial zugegeben werden, um den Transmissionsfaktor
zu kontrollieren.
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Die Färbemittel, die zu dem Schwarzmaskenmaterial
vom Harztyp zugegeben werden, können
Graphit, Kohlenstoff, rote, grüne
und blaue Pigmente oder Metalloxidpartikel sein.
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Von den oben erwähnten Färbemitteln weisen Pigmente
eine geringe elektrische Leitfähigkeit auf.
Daher ermöglicht
der Zusatz von Pigmenten eine Kompensation des niederen Absorptionsfaktors,
der zu den Spektraleigenschaften des Harzes vom Polyimidtyp gehört.
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Eine Erhöhung der Menge an Graphit oder Kohlenstoff
zur Erhöhung
des Lichtabschirmungsvermögens
führt zu
einer Erhöhung
der elektri schen Leitfähigkeit.
Daher unterliegt ihre Zusatzmenge einer Beschränkung.
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Die zugesetzte Menge variiert allerdings auch
in Abhängigkeit
vom Widerstand des eingesetzten Harzes, dem Widerstand des zugesetzten
Materials und der Teilchengröße (Partikeldurchmesser).
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Im Einzelnen besitzen Graphit und
Kohlenstoff ein hohes Lichtabschirmungsvermögen und sind zur Erhöhung des
OD-Werts (der optischen Dichte) bevorzugt.
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Als schwarze Färbemittel werden ferner Metaloxidpartikel
wie etwa von dem oben erwähnten
Cobaltoxid, Chromoxid, Manganoxid oder Nickeloxid verwendet, wodurch
eine Schwarzmaske erzeugt wird, die einen hohen Lichtabsorptionsfaktor,
Lichtabschirmungsvermögen
und einen hohen spezifischen Widerstand aufweist.
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Gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform
3 wird das Farbfiltersubstrat unter Verwendung des lichtempfindlichen
Polyimidharzes erzeugt, um eine Flüssigkristall-Farbanzeige mit
hohem Kontrast zu erzielen.
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Im Folgenden wird ein speziellerer
Aufbau gemäß der vorliegenden
Erfindung beschrieben.
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10 ist
eine Darstellung, die den Anschluss einer Äquivalentschaltung einer Anzeigematrixeinheit
in der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung der
vorliegenden Erfindung an die Peripherieschaltungen illustriert.
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In 10 bezeichnet
AR eine Matrixanordnung, in der eine Vielzahl von Pixeln zweidimensional angeordnet
sind; X bezeichnet Drain-Leitungen DL, und die Buchstaben G, B,
R bezeichnen Pixel mit grüner,
blauer und roter Farbe.
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DTM bezeichnet Drain-Anschlüsse, und GTM
bezeichnet Gate-Anschlüsse; X bezeichnet Gate-Leitungen
GL, und die Indices 1, 2, 3, ...end bezeichnen
die Zeitreihenfolge beim Scannen. Die Gate-Leitungen Y (Indices
weggelassen) sind an eine Gate-Ansteuereinheit V angeschlossen.
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Die Drain-Leitungen X (Indices weggelassen)
sind an eine Drain-Ansteuereinheit
H angeschlossen, die längs
einer der Längsseiten
des Anzeigepanels angeordnet ist; die Anschlüsse sind lediglich von einer
Seite des Flüssigkristall-Anzeigepanels
wie die Gate-Leitungen Y herausgeführt.
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SUP bezeichnet eine Stromversorgungseinheit
zur Erzeugung stabilisierter Spannungen als Grund-Graustufenniveaus,
deren Spannungen durch Teilen der Spannung einer Spannungsversorgung
erzeugt werden, sowie einen Wandler zur Umwandlung der Information
für einen
CRT-Bildschirm (Kathodenstrahlröhre)
von einem HOST (arithmetische Host-Einheit) in Information für die TFT-Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung.
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11 ist
eine perspektivische Explosionsdarstellung zur Erläuterung
des Aufbaus der erfindungsgemäßen Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung und
erläutert
speziell den Aufbau der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
(im Folgenden als Modul bezeichnet, in dem das Flüssigkristall- Anzeigepanel, das
Schaltungsboard, das Hintergrundlicht und andere Bestandteilselemente
in Form einer Einheitsstruktur, MDL, kombiniert sind).
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In 11 bezeichnet
SHD ein abgeschirmtes Gehäuse
(auch als Metallrahmen bezeichnet), das aus einer Metallplatte besteht;
WD bezeichnet ein Anzeigefenster; INS1 bis INS3 bezeichnen Isolierplatten,
PCB1 bis PCB3 bezeichnen Schaltungsplatten (auf PCB1 ist eine Schaltungsplatte
auf der Drain-Seite oder eine Schaltungsplatte für die Drain-Ansteuerung, PCB2 ist eine Schaltungsplatte auf
der Gate-Seite, und PCB3 ist eine Interface-Schaltungsplatte); JN1
bis JN3 bezeichnen Verbinder zur elektrischen Verbindung der Schaltungsplatten
PCB1 bis PCB3 miteinander, während
TCP1 und TCP2 Bandträger-Montageelemente
bezeichnen; PNL bezeichnet ein Flüssigkristall-Anzeigepanel,
GC ein Kautschukkissen, ILS einen Lichtabschirmungs-Abstandshalter,
PRS eine Prismenplatte, SPS eine Streuplatte, GLB eine Lichtleitplatte,
RFS eine Reflexionsplatte, MCA ein unteres Gehäuse (Formrahmen), das einstöckig ausgeformt
ist, während
MO eine Öffnung
des unteren Gehäuses
MCA bezeichnet; LP bezeichnet eine Leuchtstofflampe, LPC ein Lampenkabel,
GB eine Kautschukaufnahme zur Halterung der Leuchtstofflampe LP,
BAT bezeichnet ein Doppelklebeband, und BL bezeichnet ein Hintergrundlicht,
das eine Leuchtstofflampe, eine Lichtleitplatte, usw., umfasst.
Alle Teile sind so übereinander
angeordnet, dass die dargestellte Zuordnung beibehalten wird, um
so den Flüssigkristall-Anzeigemodul MDL
zusammenzubauen.
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Der Flüssigkristall-Anzeigemodul MDL
weist zwei Arten von Aufnahmeelementen/Halteelementen auf, nämlich ein
unteres Gehäuse
MCA und ein abgeschirmtes Gehäuse
SHD. Das metallische abgeschirmte Gehäu se SHD nimmt die Isolierplatten
INS1 bis INS3 und die Schaltungsplatten PCB1 bis PCB3 auf und hält sie;
das Flüssigkristall-Anzeigepanel PNL
ist mit dem unteren Gehäuse
MCA verbunden, welches das Hintergrundlicht BL aufnimmt, das aus der
Leuchtstofflampe LP, der Lichtleitplatte GLB, der Prismenplatte
PRS usw. besteht.
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An der Schaltungsplatte PCB1 für die Drain-Ansteuerung
ist ein integrierte Schaltungschip zur Ansteuerung der Pixel des
Flüssigkristall-Anzeigepanels PNL
angebracht; an der Interface-Schaltungsplatte PCB3 sind ein integrierter
Schaltungschip zum Empfang von Videosignalen vom externen HOST und
zum Empfang von Steuersignalen, wie etwa Zeitgebersignalen, sowie
ein Zeitsignal-Wandler TCON angebracht, der durch Verarbeitung der Zeitgebersignale
Taktsignale erzeugt.
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Die vom Zeitsignal-Wandler erzeugten
Taktsignale werden über
eine Taktsignalleitung CLL, die sich auf der Interface-Schaltungsplatte
PCB3 und auf der Schaltungsplatte PCB1 zur Drain-Ansteuerung befindet,
zu dem integrierten Schaltungschip geleitet, der auf der Schaltungsplatte
PCB1 zur Drain-Ansteuerung angeordnet ist.
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Die Interface-Schaltungsplatte PCB3
und die Schaltungsplatte PCB1 zur Drain-Ansteuerung sind Mehrschicht-Leiterplatten,
und die Taktsignalleitung CLL wird als Verdrahtung in der inneren
Schicht in der Interface-Schaltungsplatte PCB3 und in der Schaltungsplatte
PCB1 für
die Drain-Ansteuerung ausgebildet.
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Die Schaltungsplatte PCB1 auf der Drain-Seite
zur Ansteuerung der TFTs, die Schaltungsplatte PCB2 auf der Gate-Seite
und die Interface-Schaltungsplatte
PCB3 sind mit dem Flüssigkristall-Anzeigepanel
PNL durch Bandträger-Montageelemente
TCP1, TCP2 verbunden; die Schaltungsplatten sind über Verbinder
JN1, JN2 und JN3 miteinander verbunden.
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Das Flüssigkristall-Anzeigepanel PNL
ist eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ der vorliegenden Erfindung,
und die auf dem Farbfiltersubstrat erzeugte Schwarzmaske weist einen
hohen spezifischen Widerstand auf, so dass ein elektrisches Feldbild
zwischen einer Pixelelektrode und einer gemeinsamen Elektrode erzeugt
wird, das nahezu parallel zur Grenzfläche der Flüssigkristallschicht verläuft.
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12 ist
eine Zeichnung, die das Aussehen eines Personal Computers zeigt,
um eine Informationsverarbeitungsvorrichtung zu erläutern, die
eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
der vorliegenden Erfindung aufweist, wobei IV eine Inverter-Stromversorgung
zum Betrieb einer Leuchtstofflampe und CPU eine zentrale Recheneinheit
auf der HOST-Seite
bezeichnen.
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Wie in 12 dargestellt
ist, weist der mit der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
der vorliegenden Erfindung ausgerüstete Personal Computer die Schaltungsplatte
für die
Drain-Ansteuerung (Schaltungsplatte für horizontale Ansteuerung:
Schaltungsplatte auf der Drain-Seite)
PCB1 auf, die lediglich im oberen Teil des Bildschirms vorgesehen
ist, wobei ein Rand auf der Unterseite (Keyboard-Seite) der Anzeigeeinheit
verbleibt. Daher kann der Raum, der zum Anbringen von Scharnieren
zur Verbindung der Keyboardeinheit mit der Displayeinheit erforderlich
ist (Scharnierraum), klein sein. Hierdurch wird es möglich, die
Au ßenmaße der Anzeigeeinheit
zu verkleinern und somit die Abmessungen des Personal Computers
insgesamt zu verkleinern.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung
führt das durch
die Signalspannung bei der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
mit elektrischem Feld vom In-Plane-Typ
erzeugte elektrische Feld, wie oben beschrieben wurde, praktisch
zu keiner Störung
bei der Schwarzmaske. Daher ist das elektrische Feldbild, das durch
die zwischen der gemeinsamen Elektrode und den Pixelelektroden angelegte
Auswahlspannung erzeugt wird, nahezu parallel zur Grenzfläche zwischen
der Flüssigkristallschicht
und der Orientierungsschicht, wodurch es möglich wird, die Erhöhung der
Ansteuerspannung zu unterdrücken.
Da das elektrische Feldbild nicht gestört wird, treten keine Domänen auf
und die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
weist eine hohe Bildqualität
ohne Farbungleichmäßigkeiten
auf.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht
auf die Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
vom TFT-Typ beschränkt,
sondern kann auch auf Flüssigkristall-Anzeigevorrichtungen
beliebigen anderen Typs angewandt werden, zu denen Anzeigevorrichtungen
vom Aktivmatrix-Typ sowie Anzeigevorrichtungen vom sogenannten einfachen
Matrix-Typ gehören.
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Bei dieser Ausführungsform wird ferner die Schwarzmaske
auf einer Substratseite erzeugt, und eine Gruppe von Elektroden
wird auf dem anderen Substrat erzeugt, um ein elektrisches Feld
nahezu parallel zu den Substraten zu erzeugen. Sie können jedoch
auch in Übereinstimmung
mit der vorliegenden Erfindung selbstverständlich auch auf dem gleichen
Substrat erzeugt werden.