DE69625763T2

DE69625763T2 - Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht

Info

Publication number: DE69625763T2
Application number: DE69625763T
Authority: DE
Inventors: Yoshinori Aiura; Kenichi Hirose; Nobuyuki Hishinuma; Tatsushi Igarashi; Kunio Kasagi; Hiromitsu Matsuno; Fumitoshi Takemoto
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 1995-10-02
Filing date: 1996-10-02
Publication date: 2003-09-18
Anticipated expiration: 2016-10-03
Also published as: JPH0997596A; KR100403407B1; EP0767484A1; KR970023605A; DE69625763D1; TW345676B; US5757132A; EP0767484B1; JP3082638B2

Description

Hintergrund der Erfindung

Gebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine sogenannte Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht, welche beispielsweise als eine UV-Lichtquelle für eine fotochemische Reaktion verwendet wird, und von "Excimer"-Molekülen ausgestrahltes Licht verwendet, welche durch eine dielektrische Sperrschichtentladung gebildet werden.

Beschreibung des Standes der Technik

Gattungsgemäß ist beispielsweise aus der japanischen Patentoffenlegungsschrift HEI 1-144560 oder aus dem U.S. Patent 4,837,484, eine Strahlungsquelle bekannt, d. h. eine Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht, bei welcher ein Entladungsgefäß mit einem Gas gefüllt ist, welches "Excimer"-Moleküle bildet und bei welcher mittels einer dielektrischen Sperrschichtentladung Licht von den "Excimer"-Molekülen ausgestrahlt wird. Diese dielektrische Sperrschichtentladung wird auch als ozonproduzierende Entladung oder als stille Entladung bezeichnet, wie beschrieben im Discharge Handbook, Electrical Engineers Association, Juni 1987, 7. Ausgabe, Seite 263, Japan.
In den vorgenannten Publikationen wird beschrieben, dass ein ungefähr zylindrisches Entladungsgefäß zumindest teilweise auch als Dielektrikum der dielektrischen Sperrschichtentladung fungiert und weiterhin, dass das Dielektrikum durchlässig ist und dass Licht von den "Excimer"- Molekülen ausgestrahlt wird.
Hierbei wird auch beschrieben, dass eine Außenröhre und eine Innenröhre koaxial zueinander in Form einer Doppelröhrenanordnung angeordnet sind, dass die Außenfläche der Außenröhre mit einer netzartigen Elektrode als eine Elektrode versehen ist, dass die Innenfläche der Innenröhre mit der anderen Elektrode durch Aufdampfung versehen ist, und dass die dielektrische Sperrschichtentladung in einem Entladungsraum zwischen dieser Außenröhre und dieser Innenröhre durchgeführt wird.
Diese Entladungslampen mit dielektrischer Sperrschicht haben Vorteile, welche weder herkömmliche Niederdruck-Quecksilberlampen noch herkömmliche Hochdruck- Lichtbogenentladungslampen haben, wie beispielsweise die Ausstrahlung kurzwelliger UV-Strahlen, bei welchen die primären Wellenlängen 172 nm, 22 nm und 308 nm betragen und weiterhin die selektive Erzeugung von Licht mit individuellen Wellenlängen, welche ungefähr Linienspektren mit hoher Effizienz entsprechen.
Ferner haben sie die Vorteile, dass herkömmliches Quarzglas für die Entladungsgefäße verwendet werden kann, die Anordnung der gesamten Lampe einfach gestaltet ist und dass folglich die Herstellung einfach erreicht werden kann, wenn deren äußere Form ungefähr zylindrisch ist und die Außenröhre und die Innenröhre wie oben beschrieben koaxial zueinander angeordnet sind.
Diese herkömmlichen Entladungslampen mit dielektrischer Sperrschicht hatten jedoch den Nachteil, dass die Innenelektrode nicht einfach hergestellt werden konnte. Speziell die Innenröhre hat beispielsweise einen Durchmesser von 10 bis 20 mm und eine Länge von ungefähr 100 mm bis 1000 mm. Die Verdampfungsarbeit muss innerhalb dieses engen Raumes erbracht werden. Deshalb war es nicht möglich, einen aufgedampften Film mit einer gleichmäßigen Dicke herzustellen. Insbesondere, wenn die Dicke des aufgedampften Films größer oder gleich 0,1 mm ist, löst sich der aufgedampfte Film einfach von der Innenröhre. Ferner wurde in diesem Fall ein Nachteil berücksichtigt, dass die Dicke des aufgedampften Filmes nicht zerstörungsfrei geprüft werden kann, auch wenn der aufgedampfte Film vorteilhaft gebildet werden kann.
Es ist deshalb auch denkbar, dass die Herstellung der Innenelektrode nicht durch Aufdampfen eines Films erzeugt wird, aber dass die Innenelektrode durch Einfügen eines röhrenförmigen Metallbauteils in die Innenröhre hergestellt wird. Speziell wird ein röhrenförmiges Metallbauteil mit einem Außendurchmesser, welcher im Wesentlichen identisch mit dem Innendurchmesser der Innenröhre ist, in die Innenröhre eingefügt.
Weiterhin kann ein Metallbauteil mit einem Spalt in dessen Längsrichtung verwendet werden, um die direkt angrenzende Anordnung der Innenelektrode gegen die Innenröhre zu verbessern. Auf diese Weise kann die Breite dieses Spaltes angepasst werden und dessen Federkraft genutzt werden. Siehe die den vorliegenden Anmeldern zugehörige U.S. Patentanmeldung Nr. 08/530,655 oder die EP- A-0703603.
Das vorgenannte Dokument ist ein Dokument zum Stand der Technik gemäß des Artikels 54(3) EPÜ.
Eine Innenelektrode dieses Typs ist jedoch im Allgemeinen aus Metall gebildet, wie beispielsweise Aluminium oder dergleichen, mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten, welcher viel größer als der Wärmeausdehnungskoeffizient des Quarzglases oder von Keramik ist, welches das Entladungsgefäß bildet. Deshalb dehnt sich die Innenelektrode mehr als das Entladungsgefäß aus, selbst wenn die beiden den gleichen Temperaturanstieg aufweisen.
Ferner tritt Kontraktion auf, wenn die Innenelektrode, auf diesen Zustand folgend, gekühlt wird. Wenn die Kontraktion in diesem Fall in der Lage, in welcher der Zentralbereich der Innenelektrode befestigt ist, von den beiden Enden aus stattfindet, verändert sich das relative Lageverhältnis zwischen der Innenelektrode und dem Entladungsgefäß nicht.
In den in der U.S. Anmeldung Nr. 08/530,655 und der EP-A-0703603 offenbarten Lampen ist an dem Ende der Innenröhre bei der Hochspannungsleitung ein Vorsprung vorhanden, welcher sich radial in Richtung der Mitte der Innenröhre erstreckt, wodurch verhindert werden kann, dass die Innenelektrode aus dem Entladungsgefäß herausspringt.
Jedoch wird, falls ein Ende der Innenelektrode befestigt wird und wenn in dieser Lage die Kontraktion des anderen Endes auftritt, das relative Lageverhältnis zwischen der Innenelektrode und dem Entladungsgefäß verändert, und in Folge dessen gibt es auch Fälle, in welchen sich die Innenelektrode in der Innenröhre bewegt und aus dem Entladungsgefäß herausspringt, die Entladung inhärent instabil wird und erhebliche Gefahren entstehen, da im Allgemeinen Hochspannung an die Elektrode angelegt ist.

Zusammenfassung der vorliegenden Erfindung

Es ist deshalb eine erste Aufgabe der vorliegenden Erfindung, bei einer Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht zu verhindern, dass sich die Innenelektrode in der Innenröhre bewegt und dass das relative Lageverhältnis zwischen der Innenelektrode und dem Entladungsgefäß zerstört wird, selbst wenn die Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht wiederholt an- und ausgeschaltet wird und sich die Innenelektrode infolgedessen wiederholt ausdehnt und zusammenzieht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Tatsache gelöst, dass in einer Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht, die eine ungefähr zylindrische Doppelröhrenanordnung mit einer koaxialen Anordnung einer Außenröhre und einer Innenröhre hat, in welcher die Außenfläche dieser Außenröhre mit einer Elektrode versehen ist, in welcher die Innenfläche der Innenröhre mit einer Innenelektrode als der anderen Elektrode versehen ist und in welcher ein Entladungsraum zwischen dieser Außenröhre und dieser Innenröhre mit einem Entladungsgas gefüllt ist, welches "Excimer- Moleküle" durch eine dielektrische Sperrschichtentladung bildet, die oben beschriebene Innenelektrode ein röhrenförmiges Metallbauteil ist, und dass ein Bauteil zur Verhinderung der Bewegung der Innenelektrode an deren beiden Enden vorgesehen ist.
Ferner wird die Aufgabe der Erfindung durch die Tatsache gelöst, dass die Innenelektrode, anstatt aus einem röhrenförmigen Metallbauteil, aus einem Metallbauteil gebildet ist, welches mit einem sich in axiale Richtung der Innenröhre erstreckenden Spalt versehen ist.
Die Aufgabe der Erfindung wird ebenso dadurch gelöst, dass die Innenelektrode, anstatt aus einem röhrenförmigen Metallbauteil, aus zwei halbkreisförmigen Bauteilen gebildet ist und dass zwischen diesen Zwischenräume angeordnet sind.
Darüber hinaus wird die Aufgabe der Erfindung dadurch gelöst, dass die Innenelektrode, anstatt aus einem röhrenförmigen Metallbauteil, durch Biegen einer Metallplatte in die Form einer Röhre hergestellt wird und dass sie derart geformt wird, dass hierbei eine teilweise Überlappung vorhanden ist.
Diese und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung im Zusammenhang mit den begleitenden Zeichnungen, welche lediglich zum Zwecke der Darstellung mehrere erfindungsgemäße Ausführungsformen zeigen, deutlich werden.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer erfindungsgemäßen Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht;
Fig. 2 zeigt einen schematischen Querschnitt eines ersten Beispiels einer Innenelektrode der Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Fig. 1;
Fig. 3 ist eine der Fig. 2 entsprechende Ansicht, zeigt aber ein zweites Beispiel der Innenelektrode der erfindungsgemäßen Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht;
Fig. 4 zeigt ein drittes Beispiel der Innenelektrode der Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Fig. 1; und
Fig. 5 ist eine weitere Ansicht, ähnlich der von Fig. 2, zeigt aber eine vierte Innenelektrode der erfindungsgemäßen Entladungslampe mit dielektrischer Sperrschicht.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen

Wie in Fig. 1 gezeigt, hat das Entladungsgefäß 1 eine Doppelröhrenanordnung, bei welcher die Innenröhre 2 und die Außenröhre 3 koaxial zueinander angeordnet sind und aus synthetischem Quarzglas gebildet sind. Der Spalt zwischen den gegenüberliegenden Enden der Innenröhre 2 und der Außenröhre 3 ist abgedichtet und bildet zwischen diesen einen Entladungsraum 4. Als das Entladungsgas wird beispielsweise Xenongas bei einem Druck von 40 kPa in den Entladungsraum 4 eingekapselt.
In diesem Fall ist die Innenröhre 2 eine Lichtreflexionsscheibe und ist gleichzeitig mit einer Innenelektrode 5 versehen, welche als die Elektrode für die Entladung der dielektrischen Sperrschicht vorgesehen ist. Diese Innenelektrode ist beispielsweise aus einer Aluminiumröhre hergestellt und hat eine Gesamtlänge von 300 mm, einen Außendurchmesser von 16 mm und eine Dicke von 1 mm.
Die Außenröhre 3 wirkt sowohl als ein Dielektrikum der dielektrischen Sperrschichtentladung als auch als ein Lichtaustrittsfenster, und deren Außenseite ist mit einer Außenelektrode 6 versehen. Der Außendurchmesser der Außenröhre 3 beträgt 24,5 mm, und deren Dicke beträgt 1 mm. Die Außenelektrode 6 kann aus Metalldraht gebildet sein, welcher nahtlos und zylinderförmig gestrickt wurde und worin das Entladungsgefäß 1 eingefügt wird. Die Außenelektrode 6 hat eine netzartige Form, und Licht kann durch das Netz ausgestrahlt werden.
In dem Entladungsraum 4 befindet sich ein Getter mit Barium als Hauptkomponente. Dieser Getter beseitigt verunreinigende Gase innerhalb des Entladungsraumes 4 (z. B. Wasser) und stabilisiert die Entladung.
Fig. 2 zeigt eine Innenelektrode 5 an der Innenseite der Innenröhre 2, welche aus einem röhrenförmigen Metallbauteil besteht. Für eine vorteilhafte Erzeugung der Entladung in dem Entladungsraum 4 ist es wünschenswert, wenn die Innenelektrode 5 eng anliegend an der Innenseite der Innenröhre 2 angeordnet ist. Deshalb ist es notwendig, dass der Außendurchmesser des die Innenelektrode 5 bildenden röhrenförmigen Metallbauteils identisch mit dem Inndurchmesser der Innenröhre 2 ist.
Ein Leitungsdraht verbindet die Innenelektrode 5 über ein lötfreies Verbindungsbauteil 11 mit der Hochspannungsleitung 12. Ferner ist die Außenelektrode 6 mit der Niedrigspannungsleitung 13 versehen. Hochspannungsleitung 12 und Niedrigspannungsleitung 13 sind an eine Stromquelle 14 angeschlossen. Niedrigspannungsleitung 13 ist gegebenenfalls geerdet.
In der Innenröhre 2 ist ein Vorsprung 15 als ein Bauteil zur Verhinderung der axialen Bewegung der Innenelektrode 5 gebildet. Dies bedeutet, dass verhindert wird, dass sich die Innenelektrode in der Innenröhre bewegt und dass das Lageverhältnis zerstört wird, auch wenn die Lampe wiederholt an- und ausgeschaltet wird, da der Vorsprung 15 für die Kontrolle der Ausdehnung und Kontraktion der Innenelektrode zuständig ist. Weiterhin kann durch ein Halten des Vorsprungs 15 dieser die Innenelektrode 5 daran hindern, heraus zu springen, auch wenn die Bedienungsperson unabsichtlich die Lampe an der Hochspannungsleitung 12 trägt.
Dieser Vorsprung 15 kann vorher, wenn die Innenröhre 2 produziert wird, hergestellt werden. Jedoch ist auch ein Verfahren denkbar, bei welchem ein von der Innenröhre unterschiedliches Bauteil installiert wird, nachdem die Lampe fertiggestellt ist.
Auf der gegenüberliegenden Seite des Vorsprunges 15 ist einen durch ein Sockel 17 getragenes Bauteil 16 vorgesehen, um die Bewegung der Innenelektrode 5 von dem Vorsprung 15 weg zu verhindern. Dieses bewegungsverhindernde Bauteil 16 ist beispielsweise aus Quarzglas gebildet, welches zu einem Hohlzylinderteil mit einem Außendurchmesser von beispielsweise 13,5 mm und einer Dicke von beispielsweise 1 mm geformt worden ist. Das Bauteil 16 wird innerhalb des Entladungsgefäßes 1 über den an dem Entladungsgefäß 1 beispielsweise mittels eines anorganischen Klebemittels befestigten Sockel 17 positioniert.
Durch geeignetes Festlegen der Länge des bewegungsverhindernden Bauteils 16 zusammen mit dem Vorsprung 15 wird das Ziel der Kontrolle der Ausdehnung und der Kontraktion der Innenelektrode ebenso erreicht, auch wenn die Lampe wiederholt an- und ausgeschaltet wird.
Mit der oben beschriebenen Maßnahme, durch welche die Ausdehnung und die Kontraktion der Innenelektrode unterdrückt werden, die an beiden Enden der Innenelektrode 5 aufgrund des wiederholten An- und Ausschaltens der Lampe auftreten, und das relative Lageverhältnis der Innenelektrode bezüglich der Innenröhre kann immer fixiert werden, und es kann immer eine vorteilhafte Entladung erzeugt werden.
Ferner ist ein sehr geringer Arbeitsaufwand erforderlich, um das bewegungsverhindernde Bauteil 16 einzufügen, nachdem die Innenelektrode 5 in die Innenröhre 2 eingebracht worden ist.
Als nächstes wird ein Beispiel gezeigt, bei welchem anstelle des röhrenförmigen Metallbauteils aus Fig. 2 ein Metallbauteil mit einem Spalt in Längsrichtung für die Innenelektrode 5' verwendet wird. Fig. 3 zeigt schematisch solch eine Anordnung einer geschlitzten Innenelektrode 5' in der Innenröhre 2, welche beispielsweise durch Biegen einer Aluminiumfolie mit einer Dicke von 0,15 mm hergestellt wird und eine Breite aufweist, welche einen dazwischenliegenden Spalt 31 mit einem Abstand D zwischen den Längsrändern der gebogenen Folie von 0,9 mm lässt. Mittels dieses Spaltes 31 kann die Elektrode eine Federkraft ausüben, welche diese eng anliegend gegen die Innenröhre 2 drückt.
Auch in dem Falle der Verwendung der Innenelektrode aus Fig. 3 ist es durch Installieren des bewegungsverhindernden Teils 16 möglich, die axiale Bewegung der Innenelektrode aufgrund der Ausdehnung und Kontraktion der Innenelektrode 5' infolge des wiederholten An- und Ausschaltens der Lampe zu unterdrücken. Auf diese Weise kann das relative Lageverhältnis der Innenelektrode 5' bezüglich der Innenröhre 2 immer fixiert werden und so eine vorteilhafte Entladung erzielt werden.
Wenn die Breite des Spalts 31 übermäßig groß ist, tritt die elektrische Sperrschichtentladung seltener auf und die Entladung wird instabil. Speziell wenn die Breite des Spalts 31 kleiner als oder gleich 3,0 mm ist, kann eine gleichmäßige Entladung erzielt werden.
Als nächstes wird ein Beispiel gezeigt, bei welchem anstelle des röhrenförmigen Metallbauteils aus Fig. 2 oder der geschlitzten Röhre aus Fig. 3 zwei halbkreisförmige Metallbauteile als Innenelektrode verwendet werden.
Fig. 4 zeigt eine Querschnittsansicht von dieser dritten Innenelektrode. In diesem Fall sind zwei halbkreisförmige Elektroden 41, 42 mit dazwischenliegenden Räumen 43, 44 zwischen diesen angeordnet. Diese Elektroden 41, 42 werden über ihre gesamte axiale Länge über ein elastisches Bauteil (nicht gezeigt) gegen die Innenröhre 2 gedrückt. Dieses elastische Bauteil kann eine wie in unserer oben erwähnten anhängigen U.S. Patentanmeldung Nr. 08/530,655 oder in EP-A-0703603 gezeigte und beschriebene spiralenförmige Feder sein.
Auf diese Weise können durch Einfügen der zwei halbkreisförmigen Metallbauteile 41, 42 in die Innenröhre und durch Anpassung der Biegung der halbkreisförmigen Metallbauteile diese einfach an der Innenröhre eng anliegend platziert werden, selbst wenn der Innendurchmesser der Innenröhre geringfügige Abweichungen aufweist, d. h. nicht an allen Stellen gleichmäßig ist. Deshalb wird dem Entladungsraum Strom mit hoher Effizienz zugeführt, und das Anbringen der Elektroden wird vereinfacht. Diese halbkreisförmigen Metallbauteile sind beispielsweise aus Aluminium mit einer Dicke von 0,5 mm und einer Breite, welche Spalte zwischen deren gegenüberliegenden Längsrändern von beispielsweise 0,4 mm vorsieht, hergestellt.
Auch in dem Fall der Verwendung der Innenelektrode aus Fig. 4 ist es durch Installieren des bewegungsverhindernden Bauteils 16 möglich, deren axiale Bewegung aufgrund der Ausdehnung und Kontraktion der Innenelektrode, verursacht durch das wiederholte An- und Ausschalten der Lampe, zu unterdrücken. Auf diese Weise kann das relative Lageverhältnis der Innenelektrode 41, 42 bezüglich der Innenröhre 2 immer fixiert werden und immer eine vorteilhafte Entladung erzeugen.
Als nächstes wird ein Beispiel gezeigt, bei welchem ein durch Biegen einer Metallplatte in die Form einer Röhre hergestelltes Metallbauteil, welches so geformt ist, dass eine teilweise Überlappung vorhanden ist, und dieses Metallbauteil anstelle der im Hinblick auf die Fig. 2 bis 4 beschriebenen Metallbauteile als Innenelektrode verwendet wird.
Fig. 5 zeigt eine Querschnittsdarstellung einer solchen Innenelektrode 51, welche beispielsweise durch Biegen einer Metallplatte aus Aluminium oder dergleichen in die Form einer in Fig. 5 gezeigten Röhre geformt ist, bei welcher eine teilweise Überlappung der Längsrandabschnitte der Metallplatte vorhanden ist. Mit dieser sehr einfachen Anordnung kann die Innenelektrode eng anliegend an der Innenseite der Innenröhre angeordnet werden und kann ferner einfach hergestellt werden. Zusätzlich kann durch das sehr einfache Verfahren, bei welchem die Breite der Überlappung der Innenelektrode 51 angepasst werden kann, ein guter Oberflächeneingriff der Innenelektrode 51 mit der Innenröhre 2 erreicht werden, sogar wenn der Innendurchmesser der Innenröhre 2 leichte Oberflächenunregelmäßigkeiten aufweist.
Auch im Falle der Verwendung der Innenelektrode aus Fig. 5 ist es durch Installieren des bewegungsverhindernden Bauteils 16 möglich, die axiale Bewegung der Innenelektrode aufgrund der Ausdehnung und Kontraktion der Innenelektrode, verursacht durch das wiederholte An- und Ausschalten der Lampe, zu unterdrücken. Auf diese Weise kann das relative Lageverhältnis der Innenelektrode bezüglich der Innenröhre immer fixiert werden und somit immer eine vorteilhafte Entladung erzeugt werden.
Die Dicke der Innenelektrode beträgt in dieser Ausführungsform beispielsweise 0,08 mm. Aber es ist für diese Dicke ebenso ausreichend, einen Wert im Bereich von 0,03 mm bis 0,01 mm aufzuweisen.
Dies liegt daran, dass bei Dicken von größer oder gleich 0,03 mm die Leitfähigkeit zum Zwecke der Entladung ausreichend garantiert werden kann, auch wenn die Oberfläche durch Ozon korrodiert ist und weil bei einer Dicke von kleiner als oder gleich 0,1 mm die Breite der Überlappung 51 einfach angepasst werden kann.

Claims

1. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht, die eine ungefähr zylindrische Doppelröhrenanordnung umfasst, die eine koaxial um eine innere Röhre (2) angeordnete Außenröhre (3) mit einem dazwischen definierten Entladungsraum (4), eine Außenelektrode (6) auf einer Außenfläche der Außenröhre, eine Innenelektrode (5) auf einer Innenfläche der Innenröhre und ein den Entladungsraum füllendes Entladungsgas aufweist, das durch eine dielektrische Sperrschicht Entladung Excimer-Moleküle bildet, worin die Innenelektrode ein röhrenförmiges Metallbauteil ist und worin ein bewegungsverhinderndes Bauteil an einem Ende der Innenelektrode vorgesehen ist,

dadurch gekennzeichnet, dass

ein bewegungsverhinderndes Bauteil (15, 16) an jedem der gegenüberliegenden Enden der Innenelektrode vorgesehen ist, um eine axiale Position der Innenelektrode relativ zur Innenröhre beizubehalten.

2. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Anspruch 1, worin das die röhrenförmige Innenelektrode (5') bildende Metallbauteil mit einem Spalt (31) versehen ist, der sich axial über dessen Länge erstreckt.

3. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Anspruch 1, worin das röhrenförmige Metallbauteil, das die Innenelektrode bildet, aus zwei im Wesentlichen halbzylindrischen Teilen (41, 42) mit Zwischenräumen (43, 44) besteht, die sich in Längsrichtung zwischen ihnen erstrecken.

4. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Anspruch 1, worin das röhrenförmige Metallbauteil, das die Innenelektrode (51) bildet, aus einer Metallplatte besteht, die in Form einer Röhre gebogen wurde und in welcher gegenüberliegende Längsseitenteile des Blechs miteinander überlappen.

5. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Anspruch 1, worin das röhrenförmige Metallbauteil, das die Innenelektrode (5) bildet, ringsum durchgehend ist.

6. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, worin das bewegungsverhindernde Bauteil (16) an einem ersten axialen Ende der Innenelektrode aus einem hohlzylindrischen Glasstück besteht, das im Entladungsgefäß (1) auf der Innenfläche der Innenröhre (2) ausgebildet ist.

7. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Anspruch 6, worin das hohlzylindrische Glasstück im Entladungsgefäß (1) durch einen Sockel (17) positioniert ist, der über dem ersten axialen Ende des Entladungsgefäßes befestigt ist.

8. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Anspruch 7, worin der Sockel (17) am Entladungsgefäß (1) durch ein anorganisches Klebemittel befestigt ist.

9. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Anspruch 7, worin das bewegungsverhindernde Bauteil an einem zweiten axialen Ende der Innenelektrode einen auf einer Innenfläche der Innenröhre (2) geformten Vorsprung umfasst.

10. Entladungsröhre mit dielektrischer Sperrschicht gemäß Anspruch 9, worin der Vorsprung (1 S) einen als ringförmigen Wulst geformten Teil der Innenröhre darstellt.