DE69529961T2 - Aufzeichnungs/-wiedergabemagnetkopf und Herstellungsverfahren - Google Patents

Aufzeichnungs/-wiedergabemagnetkopf und Herstellungsverfahren

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Description

  • Die Erfindung betrifft einen magnetischen Aufzeichnungs/Lese-Kopf und insbesondere einen integrierten Magnetkopf in Form eines Matrixkopfes, in dem die Spulen in Dünnfilmtechnik bestehen.
  • Sie betrifft außerdem ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Kopfes.
  • Eine derartige Lösung ermöglicht eine Verringerung der Schrittgröße oder des sogenannten "Pitch" der Köpfe und eine erhöhte Aufzeichnungsdichte.
  • Die französische Patentschrift Nr. 2 605 783 beschreibt ein Verfahren für die Herstellung von Magnetköpfen in Dünnfilmtechnik, das sich für die Herstellung von Matrixköpfen in großen Mengen anbietet.
  • Die französische Patentanmeldung Nr. 2 630 853 beschreibt eine Möglichkeit zur Herstellung von Spulen für eine Matrix von Magnetköpfen, die nach dem Verfahren der obengenannten Patentschrift hergestellt werden. In der Patentschrift IBM MME werden außerdem Verfahren für die Herstellung einer Matrix von in Dünnfilmtechnik bewickelten Köpfen beschrieben.
  • Die Patentanmeldung JP 60-038715 beschreibt einen Magnetkopf in Dünnfilmtechnik, der auf demselben Substrat liegt wie ein Transformator in Dünnfilmtechnik.
  • Die Patentanmeldung EP 0 199 522 beschreibt einen Magnetknopf mit einem ersten Magnetkreis und wenigstens einem ersten Leiter zur Induktion eines Magnetflusses in dem Magnetkreis, wobei dieser Leiter in einer Schleifenschaltung mit einem zweiten Steuerleiter liegt, der durch einen zweiten geschlossenen Magnetkreis verläuft, der eine erste Induktionswicklung für einen Magnetfluss aufweist.
  • Die Kombination einer Planar-Technologie und einer Technologie mit Spulen in Dünnfilmtechnik weist zwei Nachteile auf:
  • - es ist schwierig, die Spulen auf der Vorderseite der Komponente anzuschließen, da diese Seite vor dem Medium liegt. Kontakte können nur durch das Substrat hergestellt werden, was technologisch schwierig ist,
  • - die elektronischen Steuerschaltungen benötigen eine Minimalzahl von Windungen in der Dünnfilmspule, um den Schreibstrom zu begrenzen. Das führt entweder zu einem hohen elektrischen Widerstand, der eine Erwärmung der Komponente bewirkt, oder zu einer größeren Fläche der Spule, als sie durch die gewünschte Schrittweite (Pitch) zwischen den Schreibspuren zulässig ist.
  • Die Matrixköpfe ermöglichen nicht nur eine erhöhte Datenrate trotz moderater mechanischer Geschwindigkeiten, sondern auch wesentlich schmalere Spurdichten, als sie mit einer mechanischen Anordnung eines einzigen Kopfes auf einer Nachbarspur möglich sind. Zum Beispiel liegt die Genauigkeit der Positionierung der einzelnen Köpfe zu dem Magnetband im Bereich von 1 um für einen rotierenden Kopf, 10 um für einen feststehenden Kopf und 3 um für einen in der Lage servo-gesteuerten Kopf.
  • Ein Matrixkopf scheint keine verbesserte Positionierung zu dem Band zu ermöglichen, ermöglicht jedoch eine genaue relative Positionierung der gleichzeitig aufgezeichneten Spuren.
  • Jedoch bringt die Aufzeichnung von sehr schmalen Spuren mit einem Matrixkopf zwei Probleme mit sich:
  • - die Quer-Schrittgrösse (Pitch) der Luftspalte (senkrecht zu der Bewegungsrichtung des Mediums) muss natürlich gleich sein der Schrittgröße der Spuren, multipliziert mit der Anzahl von Spalten der Luftspalte in der Matrix der Magnetköpfe, um eine kompakte Aufzeichnung zu bewirken,
  • - die Längsausdehnung des Kopfes sollte im allgemeinen das 300-fache der Spurbreite nicht übersteigen, um so Pakete von Spuren mit konstanter Schrittweite zu bekommen, trotz eines Azimutfehlers des Bandlaufs, der in der Größenordnung von 0,5 mRd liegen kann.
  • Diese Überlegungen führen dazu, ein Verhältnis von 16 zwischen der Schrittgröße der Luftspalte und der Schrittgröße der Spuren nicht zu überschreiten. Daher benötigt eine Dichte von 1000 TPI (3 um der Spurbreite) eine Luftspalt-Schrittgröße von ungefähr 40 um.
  • Die Erfindung schlägt einen Magnetkopf gemäß Anspruch 1 vor.
  • Die verschiedenen Merkmale und Eigenschaften der Erfindung ergeben sich deutlicher aus der folgenden Beschreibung und den beigefügten Figuren. In den Figuren zeigen:
  • - Fig. 1a und 1b ein Ausführungsbeispiel eines Magnetkopfes gemäß der Erfindung,
  • - Fig. 2a und 2b eine beispielhafte Ausführung eines Satzes von Magnetköpfen,
  • - Fig. 3a und 3b eine Platte aus einem magnetischem Material, die mit Erregerspulen versehen ist,
  • - Fig. 4a, 4b eine Platte aus einer Zusammensetzung Glas/Ferrit, die als Substrat der Komponente dient,
  • - Fig. 5 und 6 eine Geometrie der Leiter in Dünnfilmtechnik, die eine Adressierung einer Matrix von Magnetköpfen ermöglicht,
  • - Fig. 7a und 7b einen Magnetkopf, der bei einem Kreuzungspunkt einer Matrix von Köpfen liegt,
  • -Fig. 8 zwei Netze von überlagerten Leitern, die eine Herstellung einer Steuermatrix ermöglichen,
  • - Fig. 9a und 9b das Substrat aus einem magnetischen Material einer Matrix von Magnetköpfen,
  • - Fig. 10a bis 10e bestimmte Schritte eines Herstellungsverfahrens gemäß der Erfindung.
  • In den Fig. 1a und 1b erfolgt zunächst eine Beschreibung eines vereinfachten Beispiels eines magnetischen Aufzeichnungs/Lese-Kopfes. Der eigentliche Magnetkopf 1 ist im rechten Teil der Fig. 1a und 1b dargestellt. Er enthält zwei durch einen Luftspalt 12 getrennte Magnetpole 10, 10'. Der Magnetkreis dieser Pole ist durch ein Substrat 3 aus einem magnetischen Material geschlossen. Ein elektrischer Leiter 11 verläuft zwischen den Polen und dem Substrat zur Induzierung eines Magnetflusses in dem Magnetkreis.
  • Im linken Teil der Fig. 1a, 1b findet sich die Steuerschaltung für den Magnetkopf. Diese enthält einen Leiter 21, der mit dem Leiter 11 des Magnetkopfes verbunden ist. Wie in Fig. 1b dargestellt, bilden die Leiter 21 und 11 eine geschlossene Schleife. Der Leiter 21 ist auf dem Substrat 3 ausgebildet. Ein Teil 20 aus einem magnetischen Material bedeckt teilweise den Leiter 21. Dieser Leiter 21 liegt auf einem Teil 31 des Substrats, das aus einem nichtmagnetischen Material besteht, unter dem Leiter 21. Das Teil 20 bewirkt eine magnetische Kopplung der beiden Teile 30 und 30' des Substrats aus einem magnetischen Material zu beiden Seiten des Teils 31.
  • An dem Substrat 3 ist eine Platte 4 mit einer Nut 40 befestigt, durch die ein Leitungsdraht 41 um die Platte 4 herumgewickelt ist.
  • Die Spule 41 ist dafür vorgesehen, mit einem Steuerstrom versorgt zu werden. Der Strom induziert dann einen Magnetfluss ~ in dem durch die Platte 4, die Teile 30 und 30', das Substrat 3 und den magnetischen Teil 20 gebildeten Magnetkreis. Aufgrund dieser Tatsache ist der Leiter 21 der Grund eines induzierten Stroms. Dieser Strom fliest in dem Leiter 12, der einen Magnetfluss in dem Magnetkopf 1 induziert.
  • Ein derartiger Magnetkopf hat den Vorteil, dass er nur einen einzigen Erregungsleiter 11 unter den Magnetpolen 10, 10' aufweist. Das ermöglicht eine leichte Herstellung, selbst wenn die Schrittgröße der Köpfe sehr klein ist. Der Leiter 21 und die Spule 41 bilden einen Transformator. Durch eine ausreichende Zahl von Windungen für die Spule 41 kann man aus einem relativ geringen Speisestrom der Wicklung einen erhöhten Strom in dem Leiter 21 und somit in dem Leiter 11 gewinnen. Es ist möglich, die Wicklung 41 durch eine elektronische Schaltung zu steuern, ohne übermäßige Leistungen aufzubringen.
  • Fig. 2a und 2b zeigen einen Satz von Magnetköpfen 1, 1', 1" und ihre Steuerschaltungen 2, 2', 2". Jeder Magnetkopf und seine Steuerschaltung sind in derselben Weise hergestellt wie in den Fig. 1a und d 1b. Die Besonderheiten dieses Ausführungsbeispiels bestehen darin, dass das magnetische Substrat 3 für alle drei Magnetköpfe gemeinsam sein kann, dass das magnetische Teil 20 als ein einziges Teil für alle drei Steuerschaltungen ausgeführt sein kann und dass die Leiter 11, 11', 11" über einen gemeinsamen Leiter 5 mit den Leitern 21, 21', 21" verbunden sind.
  • Die Spule 41 steuert den Magnetkopf 1, die Spule 41' steuert den Magnetkopf 1, und die Spule 41" steuert den Magnetkopf 1".
  • Anhand der Fig. 3a bis 9b wird nunmehr ein Ausführungsbeispiel der Magnetköpfe gemäß der Erfindung in Matrixform beschrieben.
  • Fig. 3a und 3b zeigen eine Platte 4 aus einem magnetischen Material, die in ihrer Fläche 42 horizontale Nuten 40.1 und vertikale Nuten 40.2 aufweist. Eine Spule läuft durch jede Nut und umgibt die Platte durch Umleitung über die der Fläche 42 gegenüberliegende Fläche. Dargestellt sind eine Horizontalspule 41.1 und zwei Vertikalspulen wie 41.2.
  • Auf der Fläche 42 der Platte 4 ist eine Substratplatte 3 befestigt, wie diejenige, die in den Fig. 4a und 4b dargestellt ist. Diese Platte besteht aus horizontalen Streifen oder Bändern wie 31.1 und aus vertikalen Streifen wie 31.2 aus einem nichtmagnetischen Material (z. B. Glas). Diese Streifen entsprechen den Nuten der Platte 4. Zwischen den horizontalen und den vertikalen Streifen befindet sich ein magnetisches Material wie 30 und 30'. Der mittlere Teil 35 der Substratplatte 3 enthält eine quadratische Fläche aus einem magnetischen Material. Die Platte 3 ist mit ihrer Fläche 33 auf der Fläche 42 der Platte 4 befestigt.
  • Auf der Fläche 34 ist ein Netz von Leitern 21.1 ausgebildet. Ein horizontaler Leiter 21.1 ist über jedem Streifen 31.1 aus einem nichtmagnetischen Material ausgebildet, wie Fig. 5 zeigt. Auf der Oberseite der Fläche 34 sind z. B. vier Leiter und auf der Unterseite sind vier Leiter vorgesehen.
  • Acht parallele Leiter 11.1 sind dann vorgesehen, die je mit einem Ende mit einem Leiter 21.1 verbunden sind. Die anderen Enden der Leiter 21.1 sind über den Leiter 5.1 mit den freien Enden der Leiter 11.1 verbunden.
  • Die Einheit ist mit einer Schicht aus einem Isoliermaterial bedeckt. Ein Netz von vertikalen Leitern 21.2 und 11.2 ist über dem Isolator vorgesehen (siehe Fig. 6). Dieses Netz ist ähnlich demjenigen von Fig. 5, jedoch um 90 Grad zu den Leitern 21.1 und 11.1 ausgerichtet. Die Leiter 21.2 liegen über den nichtmagnetischen vertikalen Streifen 31.2. Die Einheit ist erneut durch eine Isolierschicht bedeckt. Die Leiter 11.1 und 11.2 bilden die Steuerleiter einer Matrix von Magnetköpfen.
  • Tatsächlich sind über jedem Kreuzungspunkt der Leiter 11.1 und 11.2 Magnetköpfe ausgebildet. Jeder Magnetkopf enthält zwei Magnetpole 10 und 10', vorzugsweise hergestellt in Dünnfilmtechnik aus einem Material mit einer sehr guten magnetischen Permeabilität (zum Beispiel Sendust, das ist Legierung von Aluminium, Eisen und Zinn). Die beiden Magnetpole sind durch einen Luftspalt 12 getrennt. Sie haben z. B. eine Geometrie, wie sie in Fig. 7a dargestellt ist, je mit einem Teil 14, 14' mit einer relativ großen Fläche. Die beiden Teile 14, 14' liegen diagonal zu dem Kreuzungspunkt. Die schmalen Teile 15, 15', die durch den Luftspalt 12 unterbrochen sind, verbinden die Teile 14, 14'.
  • Vorzugsweise liegen, wie durch den Schnitt cc der Fig. 7b dargestellt, die Teile der Magnetpole 14 und 14' in direktem Kontakt mit dem Bereich 35 aus magnetischem Material des Substrats 3. Zu diesem Zweck sind die Schichten aus Isoliermaterial auf den Leitern 11.1 und 11.2 an der Stelle dieser Teile 14 und 14' geätzt.
  • Schließlich sind die Leiter 21.1 und 21.2 durch eine magnetische Schicht 20 bedeckt, um den Magnetkreis über jedem Leiter in einer Weise zu schließen, die ähnlich ist zu der, die in Fig. 1a dargestellt ist. In Fig. 8 sind die Netze der überlagerten Leiter 21.1 und 21.2 dargestellt. Die magnetische Schicht 20 ist durch die gestrichelten Linien 23 und 24 bezeichnet und befindet sich zwischen diesen gestrichelten Linien über den Leitern 21.1 und 21.2.
  • Somit zeigt sich gemäß der Erfindung die Bildung der Dünnfilmleiter des Magnetkopfs technologisch als wesentlich einfacher als die einer Wicklung mit mehreren Windungen.
  • Es ist nicht notwendig, den Rücklauf des inneren Endes des Drahtes durch einen anderen Dünnfilm zu bilden, getrennt durch eine Isolierschicht, in der Bereiche geätzt sind und die Wiederaufnahme des Kontakts ermöglichen.
  • Das Fehlen des Rücklaufdrahtes im Dünnfümformat ermöglicht einen Gewinn um den Faktor 2 in dem Widerstand und somit in dem Wärmeveujust.
  • Die Fertigungsvorschrift ist weniger einschränkend und ermöglicht das Ätzen von Schichten, die dicker sind und einen geringeren Widerstand aufweisen.
  • Die Erfindung macht es auf diese Weise möglich, ein Steuersignal zu der Vorderseite des Bauteils zu senden und die Transformatorfunktionen zu bilden, die für die Anwendung einer Spule in Dünnfilmtechnik mit einer einzigen Windung benötigt werden.
  • Das in den Fig. 4a, 4b dargestellte Substrat wird durch Sägen eines Ferritblocks, durch Füllung mit Glas und durch Verdünnung durch Polieren gebildet. Es unterscheidet sich dadurch von den bekannten Aufbauten, dass der Durchtritt der Magnetflüsse über den peripheren Teil erfolgt. Der mittlere Teil, auf dem die Magnetköpfe angeordnet sind, ist ein Ferritmonolith. Außerdem sind die zu der Oberseite übertragenen Magnetflüsse nicht mehr I · c-Flüsse entsprechend jeder Spulenkreuzung und dem entsprechenden Luftspalt, sondern nur I + c-Flüsse entsprechend den 1- Horizontalspulen und den c-Vertikalspulen.
  • Die Matrixanordnung dieser I + c-Flüsse wird durch die in Fig. 9 dargestellten leitenden Schichten erreicht: Die Änderung des Flusses, der jede der peripheren Aufrechtstrukturen der Schaltungselemente umgibt, erzeugt Potentiale in diesen Elementen, die einen Strom induzieren, der in dem mittleren Teil fließt.
  • Wie ersichtlich, zeigt Fig. 1a die Teile, in denen der Magnetfluss fliest: der Ferritblock 4, der mit Nuten versehen und auf der Rückseite bewickelt ist, die Glas/Ferrit- Einheit 3, die als Substrat dient, und ein Dünnfilm aus magnetischem Material, der die Dünnfilmwindung 21 auf der Oberseite bedeckt. Diese Schicht 20 wird vorzugsweise zur gleichen Zeit wie die den Magnetkopf bildenden Schichten 10, 10' aufgebracht. Der Fluss, der in dem Kreis induziert werden kann, ist begrenzt durch die Sättigung dieser Dünnfilmschicht (in der Größenordnung von 1 Tesla). Auf einer Nut von 5 mm und einer Schicht von 4 um kann ein Fluss von 20 nWb induziert werden. Die Änderung des Flusses bei 15 MHz induziert eine Spannung von 2 Volt in dem Dünnglmkreis. Wenn der Widerstand der Windung kleiner als 10 Ohm ist, kann ein ausreichender Strom für das Schreiben induziert werden. Dieser entspricht im allgemeinen einer Schicht mit einem Widerstand von 0,1 Ohm²/cm. Das entspricht einem Bruchteil eines Mikrons für einen guten Leiter wie Kupfer, Gold oder Aluminium.
  • Der Aufbau des Magnetkopfes unterscheidet sich geringfügig von dem Aufbau der Patentschrift 2 605 783. Für geringe Schrittgrößenwerte des Magnetkopfes ist es nicht unbedingt notwendig, die Isolierschichten auszuhöhlen (wie in Fig. 8), die zur Trennung der leitenden Schaltungen dienen. Für sehr kleine Schrittgrößen (einige zehn Mikron) ist es vorzuziehen, so wie in Fig. 8 vorzugehen, um den Magnetkreis einwandfrei zu schließen.
  • Die Herstellung eines derart beschriebenen Matrixmagnefkopfes könnte in der folgenden Weise erfolgen:
  • Es werden in einer Platte 4 aus magnetischem Material orthogonale Nuten 40.1 und 40.2 hergestellt. In jeder Nut wird eine Erregerspule 41.1, 41.2 ausgebildet, die in der Nut und auf der den Nuten gegenüberliegenden Fläche verläuft (Fig. 3a, 3b).
  • Außerdem werden Nuten in einer Substratplatte aus magnetischem Material 3 ausgebildet und mit einem nichtmagnetischen Material 31.1, 31.2 ausgefüllt (siehe Fig. 9a, 9b). Die den Nuten gegenüberliegende Fläche wird so hergestellt, dass die Fläche 33 von Fig. 4b entsteht. Diese Herstellung kann jetzt oder später erfolgen.
  • Auf den horizontalen Streifen 31.1 aus nichtmagnetischem Material werden die horizontalen Steuerleiter 21.1 sowie die Induktionsleiter 11.1 so ausgebildet, wie es in Fig. 5 dargestellt ist. Fig. 10a zeigt z. B. einen Querschnitt eines Induktionsleiters 11.1.
  • Wie Fig. 10b zeigt, wird die Einheit mit einer Isolierschicht bedeckt, insbesondere über den Bereich 35, wo die Induktionsleiter 11.1 und 11.2 einander kreuzen müssen:
  • Dann werden die vertikalen Steuerleiter 21.2 sowie die vertikalen Induktionsleiter 11.2 hergestellt, wie es in Fig. 6 dargestellt ist. Fig. 10c zeigt im Schnitt einen Kreuzungspunkt zwischen einem horizontalen Induktionsleiter 11.1 und einem vertikalen Induktionsleiter 11.2.
  • Die gesamte Einheit wird erneut mit einer Isolierschicht bedeckt (Fig. 10d). Dann werden die beiden Isolierschichten, die vorher aufgebracht wurden (Fig. 10e), diagonal zu beiden Seiten jedes Kreuzungspunktes geätzt, um einen Zugriff zu dem mittleren Bereich 35 aus einem magnetischen Material des Substrats 3 zu bilden.
  • Dann werden die verschiedenen Magnetköpfe hergestellt; wie Fig. 8 zeigt, zum Beispiel gemäß der in der Patentanmeldung Nr. 2 605 783 beschriebenen Lösung. Im selben Vorgang kann man die Steuerleiter 21.1 und 21.2 durch eine Schicht aus magnetischem Material bedecken.
  • Schließlich wird die vorher bewickelte Platte 4 mit ihrer Fläche 42 auf der Fläche 33 der Substratplatte 3 gegenüber der Fläche mit den Magnetköpfen und den Leitern befestigt, um so eine Kontinuität in den magnetischen Steuerkreisen zu erhalten, und so, dass die Spulen im wesentlichen unter den Streifen aus nichtmagnetischen Material 31.2 der Substratplatte 3 liegen.

Claims (10)

1. Magnetkopf zum Aufzeichnen/Lesen mit einem ersten Magnetkreis (1) und wenigstens einem ersten Induktionsleiter (11) eines in dem Magnetkreis fließenden Magnetflusses, wobei dieser Leiter eine Schleifenschaltung mit einem zweiten Steuerleiter (21) bildet, der durch einen zweiten geschlossenen Magnetkreis (2) verläuft, der eine erste Induktionsspule (41) eines Magnetflusses aufweist, die durch einen Impuls- oder Wechselstrom gespeist wird, wobei der erste Induktionsleiter (11) auf einer ersten Fläche (34) eines Substrats (3) aus magnetischem Material liegt, und wobei eine Platte (4) aus magnetischem Material mit einer zweiten, der ersten Fläche (34) gegenüberliegenden Substratfläche (3) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Induktionsspule (41) derart um die Platte (4) herumgewickelt ist, dass sie vollständig gegenüber dem ersten Induktionsleiter (11) relativ zu dem Substrat (3) liegt.
2. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kopf nur einen einzigen ersten Induktionsleiter (11) enthält und dass die Induktionsspule (41) mehrere Windungen enthält.
3. Magnetkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Bereich der Verlängerung des Leiters das Substrat unter dem Leiter (21) nichtmagnetisch (31) ist,
- der erste Induktionsleiter (11) durch eine erste Schicht (10, 11) aus einem Material mit einer guten magnetischen Permeabilität bedeckt ist, die durch einen Luftspalt (12) unterbrochen ist und den Magnetkopf bildet,
- der Steuerleiter (21) durch eine zweite Schicht (20) aus einem Material mit einer guten magnetischen Permeabilität bedeckt ist.
4. Magnetkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Schicht (10, 10') und die zweite Schicht (20) aus Material mit einer guten magnetischen Permeabilität eine Schicht aus demselben Material sind.
5. Magnetkopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass er folgendes enthält:
- einen zweiten Induktionsleiter (11.2), der senkrecht zu dem ersten Induktionsleiter (11.1) verläuft und einen Kreuzungspunkt bildet, dass die beiden Induktionsleiter in dem ersten Magnetkreis (1) eines Magnetkopfes durch diesen Kreuzungspunkt verlaufen,
- einen zweiten Steuerleiter (21.2), der mit dem zweiten Induktionsleiter gekoppelt ist, einen zweiten Steuerleiter (21.2).
6. Magnetkopf nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
- mehrere, zueinander parallele erste Induktionsleiter (11), jeder für erste magnetische Kreise (1) eines elementaren Magnetkopfes,
- mehrere, zueinander parallele zweite Steuerleiter (21), die mit einem ersten Induktionsleiter gekoppelt sind,
- mehrere Induktionsspulen (41), von denen jede magnetisch zu einem ersten Steuerleiter (21) gehört.
7. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 5 oder 6, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
- mehrere zweite Induktionsleiter (11.2), die parallel zueinander und senkrecht zu den ersten Induktionsleitern (11.1) liegen, wobei jeder Kreuzungspunkt eines ersten Induktionsleiters und eines zweiten Induktionsleiters einen Kreuzungspunkt bildet, von dem jeder Leiter in einem Magnetkreis verläuft, der einen elementaren Magnetkopf bildet, wobei der erste und der zweite Induktionsleiter voneinander isoliert sind,
- mehrere zweite Steuerleiter (21.2), von denen jeder mit einem zweiten Induktionsleiter gekoppelt ist,
- mehrere zweite Induktionspulen (41.2), von denen jede zu einem zweiten Steuerleiter (21.2) gehört.
8. Magnetkopf nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Steuerleiter (21.2) senkrecht zu den ersten Steuerleitern (21.1) liegen.
9. Magnetkopf nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Induktionsleiter (11.1, 11.2) einander in einem Bereich (35) mit einer parallelepipedischen Form kreuzen und dass die Steuerleiter außerhalb dieses Bereichs liegen, dass die ersten Steuerleiter parallel zu einer ersten Seite der parallelepipedischen Form und die zweiten Steuerleiter parallel zu einer zweiten Seite der parallelepipedischen Form liegen, die nicht parallel zu der ersten Seite liegt.
10. Magnetkopf nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Steuerleiter über jede Seite des Bereichs (35) verteilt sind und die zweiten Steuerleiter über jede Seite des Bereichs (35) verteilt sind.
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