JPS6139914A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6139914A JPS6139914A JP16085884A JP16085884A JPS6139914A JP S6139914 A JPS6139914 A JP S6139914A JP 16085884 A JP16085884 A JP 16085884A JP 16085884 A JP16085884 A JP 16085884A JP S6139914 A JPS6139914 A JP S6139914A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- layer
- magnetic
- thin film
- crosstalk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
本発明は磁気ヘッドに関し、詳しくは、マルチトラック
用に用いて有利なｌｌ膜型の磁気ヘッドに関するもので
ある。
用に用いて有利なｌｌ膜型の磁気ヘッドに関するもので
ある。
［従来技術］
従来のバルク材料と巻線構造による磁気ヘッド□では、
多Ｉ・ラック構成にするのに構造上では寸法ｍ度および
加工性に問題があり、動作上では出力電圧、クロスト□
−り特性に問題があった。このため、従来のコイル型に
代わる新しいヘッドとして、薄膜技術を応用したヘッド
が注目されている。
多Ｉ・ラック構成にするのに構造上では寸法ｍ度および
加工性に問題があり、動作上では出力電圧、クロスト□
−り特性に問題があった。このため、従来のコイル型に
代わる新しいヘッドとして、薄膜技術を応用したヘッド
が注目されている。
この１１膜型の磁気ヘッドは、従来のコイル型磁気ヘッ
ドに比べて、高トラツク密度、狭トラツク幅ヘッドがフ
ォトリソグラフィー等の技術を利用して高精度に得られ
る特徴があり、またウェハ上に一括して多数個め磁気ヘ
ッドを形成できるので、製品の均質化、量産性に１れた
単位磁気ヘッドを並設したマルチトラックが実現できる
。
ドに比べて、高トラツク密度、狭トラツク幅ヘッドがフ
ォトリソグラフィー等の技術を利用して高精度に得られ
る特徴があり、またウェハ上に一括して多数個め磁気ヘ
ッドを形成できるので、製品の均質化、量産性に１れた
単位磁気ヘッドを並設したマルチトラックが実現できる
。
しかしながら、上記ＩＩ膜技術で作製したマルチトラッ
クヘッドでは記録・再生装置の機械的精度に比較して、
各トラック間距離が狭（、隣接するトラックからのクロ
ストークが発生し易く、記録・再生時にノイズが発生す
る原因となり、改良が望まれていた。
クヘッドでは記録・再生装置の機械的精度に比較して、
各トラック間距離が狭（、隣接するトラックからのクロ
ストークが発生し易く、記録・再生時にノイズが発生す
る原因となり、改良が望まれていた。
上記クロストークは、従来のＳ＊ヘッドにおいては、コ
ア厚とコア長（トラック幅）に依存することが知られて
おり、クロストークな解決するには、コア厚を厚くする
か、コア長を短くすることにより低減することができる
。
ア厚とコア長（トラック幅）に依存することが知られて
おり、クロストークな解決するには、コア厚を厚くする
か、コア長を短くすることにより低減することができる
。
しかし、このコアの厚みを厚くすることは、コアを薄膜
製造プロセスにより形成する際に、非常に時間を費やし
生産性が著しく悪くなり実用的でない。また、コア長を
短かくすることは、導体の本数、即ちコイル数が制限さ
れ、記録、再生に必要なコイル数を形成することが困難
となる。後者のコイル数を増加する手段として、信学技
報ｖ０１゜７９、 Ｎｏ、 ２５６０ＰＭ７９−３４．
頁３７ （１９８０）に記載の、第４図に示す如くの薄
膜ヘッドの構造が提案されているが、これによれば、磁
性層基板１０上に導体層１２の成膜１．エツチングの操
作を４回繰り返す煩雑さと合わせて、エツチングを高精
度で行なりなればならず、製造プロセスが複雑で限界が
あった。
製造プロセスにより形成する際に、非常に時間を費やし
生産性が著しく悪くなり実用的でない。また、コア長を
短かくすることは、導体の本数、即ちコイル数が制限さ
れ、記録、再生に必要なコイル数を形成することが困難
となる。後者のコイル数を増加する手段として、信学技
報ｖ０１゜７９、 Ｎｏ、 ２５６０ＰＭ７９−３４．
頁３７ （１９８０）に記載の、第４図に示す如くの薄
膜ヘッドの構造が提案されているが、これによれば、磁
性層基板１０上に導体層１２の成膜１．エツチングの操
作を４回繰り返す煩雑さと合わせて、エツチングを高精
度で行なりなればならず、製造プロセスが複雑で限界が
あった。
さらにまた、クロストークを除去する手段として、トラ
ック間距離を広くすることが考えられるが、記録媒体の
記録密度が小さくなり、利用効率が悪く、記録媒体の形
状を大きくしなければならない。
ック間距離を広くすることが考えられるが、記録媒体の
記録密度が小さくなり、利用効率が悪く、記録媒体の形
状を大きくしなければならない。
［発明の目的］
本発明は上記の問題点を解決するために為されたもので
あり、本発明の目的は、クロストークを除去でき、コイ
ル数の巻数制限も解消でき、生産 性も良い、マルチ
トラック用薄膜型の磁気ヘッドを提供しようとするもの
である。
あり、本発明の目的は、クロストークを除去でき、コイ
ル数の巻数制限も解消でき、生産 性も良い、マルチ
トラック用薄膜型の磁気ヘッドを提供しようとするもの
である。
［発明の構成］
本発明の上記目的は、薄膜製造プロセスで作製した磁気
ヘッドにおいて、薄膜面内に複数のギャップを有し、各
隣接するギャップが互いに所定の角度を有する磁気ヘッ
ドにより達成できる。
ヘッドにおいて、薄膜面内に複数のギャップを有し、各
隣接するギャップが互いに所定の角度を有する磁気ヘッ
ドにより達成できる。
［発明の具体的構成ｊ
以下、本発明を図面により具体的に説明する。
第１図〜第３図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図は、本発明に係る磁気ヘッド１の斜視図であり、同図
に示す如く、該磁気ヘッド１における各磁気ヘッド単位
は、例えばフェライト等よりなる磁性層基板１０上に、
例えば５ｔｏ２ 等よりなる第１絶縁１１１１が設けら
れ、該第１絶縁層１１上に、例えばＡ１等よりなる導電
体１２が設けられている。さらに、導電体１２上に、例
えば８１０２等よりなる第２絶縁層１３が設けられてお
り、その第２絶縁層１３上に、例えばセンダスト等より
なる磁性層１４が設けられ、該磁性層１４に線、その面
内に設けられ、互いに隣接する磁気ヘッド単位で所定の
アジマス角度を有して設けられたギャップ１５を有して
いる。
図は、本発明に係る磁気ヘッド１の斜視図であり、同図
に示す如く、該磁気ヘッド１における各磁気ヘッド単位
は、例えばフェライト等よりなる磁性層基板１０上に、
例えば５ｔｏ２ 等よりなる第１絶縁１１１１が設けら
れ、該第１絶縁層１１上に、例えばＡ１等よりなる導電
体１２が設けられている。さらに、導電体１２上に、例
えば８１０２等よりなる第２絶縁層１３が設けられてお
り、その第２絶縁層１３上に、例えばセンダスト等より
なる磁性層１４が設けられ、該磁性層１４に線、その面
内に設けられ、互いに隣接する磁気ヘッド単位で所定の
アジマス角度を有して設けられたギャップ１５を有して
いる。
第２図は、第１図における導電体１２の２本をを６本に
した他の実施例の一部拡大断面図であり、第３図は、第
２図において磁性層基板１０上に第１絶縁層１１を設け
、その第１絶縁層１１上に設番グた導電体１２を設けた
状態の一部拡大平面図であり、導電体１２が各ギャップ
１５毎に閉回路を形成している状態を説明するものであ
る。
した他の実施例の一部拡大断面図であり、第３図は、第
２図において磁性層基板１０上に第１絶縁層１１を設け
、その第１絶縁層１１上に設番グた導電体１２を設けた
状態の一部拡大平面図であり、導電体１２が各ギャップ
１５毎に閉回路を形成している状態を説明するものであ
る。
上記の如く構成される本発明の磁気ヘッド１の製造方法
としては、磁性層基板１０上に近いものから順に、成膜
およびエツチングを繰り返して行なわれる。成膜技術と
しては、公知の真空蒸着、スパッタリング、イオンブレ
ーティング等の方法が用いることができ、エツチング技
術としてはフォトリソグラフィー技術を用いることがで
きる。
としては、磁性層基板１０上に近いものから順に、成膜
およびエツチングを繰り返して行なわれる。成膜技術と
しては、公知の真空蒸着、スパッタリング、イオンブレ
ーティング等の方法が用いることができ、エツチング技
術としてはフォトリソグラフィー技術を用いることがで
きる。
以下、具体的に製造過程を説明すると、第１に、磁性層
基板１０上に第１絶縁層１１を成膜し、フォトリソグラ
フィー技術により所望のパターンを得る。次いで導電体
１２をその第１絶縁層パターン上に成膜し、フォトリソ
グラフィー技術により第３図に示す如くのパターンを得
る。さらにその導電体パターン上←第２絶縁層１３を成
膜し、バタ、−ンを得た後に、その第２絶縁層パターン
上に磁性層１４を成膜、する。最後に磁性層１４の面内
に複数個のギャップ１５を、それぞれ互いに隣接するギ
ャップ１５が互いにある所定のアジマス角度を有するよ
うにギャップパターンを微細加工技、術により形成する
。
基板１０上に第１絶縁層１１を成膜し、フォトリソグラ
フィー技術により所望のパターンを得る。次いで導電体
１２をその第１絶縁層パターン上に成膜し、フォトリソ
グラフィー技術により第３図に示す如くのパターンを得
る。さらにその導電体パターン上←第２絶縁層１３を成
膜し、バタ、−ンを得た後に、その第２絶縁層パターン
上に磁性層１４を成膜、する。最後に磁性層１４の面内
に複数個のギャップ１５を、それぞれ互いに隣接するギ
ャップ１５が互いにある所定のアジマス角度を有するよ
うにギャップパターンを微細加工技、術により形成する
。
なお、上記第１図に示した導電体パターンにおいて２本
の、また上記第２図および第３図では６本の導電体を同
一平面内に形成したが、これらの本数は、任意の値を取
ることができ、特に導電体パターンを絶縁層を介してさ
、らに積層して複数層設、けることもでき、コイルター
ン数を増押させることができる。この場合、特に従来の
薄膜マルチトラック磁気ヘッドと比較して、本発明のｉ
ｉｇ面内にギャップを設けた磁気ヘッドは、ギャップ位
置の関係からコイルターン数を第１図中上下２方向に対
称に２倍設けることができ、コイルターン数の増加と併
せて、トラック間隔を狭くすることが可能となる。また
、磁性層１４に設けたギャップ１５の個数は、その製造
過程からも明らかなように、任意に、簡単に調整でき、
同様にギャップ１５に設けるアジマス角度も容易に任意
の角度で形成できるものである。
の、また上記第２図および第３図では６本の導電体を同
一平面内に形成したが、これらの本数は、任意の値を取
ることができ、特に導電体パターンを絶縁層を介してさ
、らに積層して複数層設、けることもでき、コイルター
ン数を増押させることができる。この場合、特に従来の
薄膜マルチトラック磁気ヘッドと比較して、本発明のｉ
ｉｇ面内にギャップを設けた磁気ヘッドは、ギャップ位
置の関係からコイルターン数を第１図中上下２方向に対
称に２倍設けることができ、コイルターン数の増加と併
せて、トラック間隔を狭くすることが可能となる。また
、磁性層１４に設けたギャップ１５の個数は、その製造
過程からも明らかなように、任意に、簡単に調整でき、
同様にギャップ１５に設けるアジマス角度も容易に任意
の角度で形成できるものである。
［発明の具体的実施例］
以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが
、本発明はこれらに限定されない。
、本発明はこれらに限定されない。
前記製造方法により、トラック数５４、トラックピッチ
２０μ■、トラック幅９０μ蒙 （記録用、再生用共同
じ）、ギャップ幅０．５μｍ、アジマス角度±７°の磁
気ヘッドを製造した。
２０μ■、トラック幅９０μ蒙 （記録用、再生用共同
じ）、ギャップ幅０．５μｍ、アジマス角度±７°の磁
気ヘッドを製造した。
また、比較用磁気ヘッドとして、上記隣接ギャップ間の
アジマス角度をＯにした以外は、トラック数、トラック
ピッチ等すべて同じ構成とした磁気ヘッドを製造した。
アジマス角度をＯにした以外は、トラック数、トラック
ピッチ等すべて同じ構成とした磁気ヘッドを製造した。
上記各磁気ヘッド用いて、１／４インチ幅のメタルテー
プに、テープ速度９．５ｃｍ／ ｓｅａで２２．５分間
の記録、再生を１００回試行した。表１にその結果を示
す。なお、表１における欠陥数とは、隣接するトラック
の信号を再生時に読み込み、Ｓ／Ｎ比が一１０ｄＢ以下
となりノイズレベルの大きくなった場合の試行数である
。
プに、テープ速度９．５ｃｍ／ ｓｅａで２２．５分間
の記録、再生を１００回試行した。表１にその結果を示
す。なお、表１における欠陥数とは、隣接するトラック
の信号を再生時に読み込み、Ｓ／Ｎ比が一１０ｄＢ以下
となりノイズレベルの大きくなった場合の試行数である
。
表１
表１の結果より、本発明の磁気ヘッドは、互いに隣接す
るトラックの信号をノイズとしてひろわないことがわか
る。
るトラックの信号をノイズとしてひろわないことがわか
る。
［発明の具体的効果］
以上述べた如く、本発明の磁気ヘッドにおいては、クロ
ストークを除去でき、コイル数の巻数制限も解消でき、
高密度記録、再生用に利用して有効なマルチトラック用
薄膜型の磁気ヘッドを得ることができた。
ストークを除去でき、コイル数の巻数制限も解消でき、
高密度記録、再生用に利用して有効なマルチトラック用
薄膜型の磁気ヘッドを得ることができた。
第１図〜第３図は本発明の一実施例を示し、第１図は、
磁気ヘッドの斜視図、第２図は、他の例の一部拡大断面
図、第３図は、第２図における導電体パターンの説明図
、第４図は従来の薄膜ヘッドを示す斜視図である。 １・・・・・・磁気ヘッド、 １０・・・・・・磁性
層基板、１１・・・・・・第１絶縁層、 １２・・・
・・・導電体１３・・・・・・第２絶縁層、 １４・
・・・・・磁性層１５・・・・・・ギャップ 特許出願人 小西六写真工業株式会社第１図
磁気ヘッドの斜視図、第２図は、他の例の一部拡大断面
図、第３図は、第２図における導電体パターンの説明図
、第４図は従来の薄膜ヘッドを示す斜視図である。 １・・・・・・磁気ヘッド、 １０・・・・・・磁性
層基板、１１・・・・・・第１絶縁層、 １２・・・
・・・導電体１３・・・・・・第２絶縁層、 １４・
・・・・・磁性層１５・・・・・・ギャップ 特許出願人 小西六写真工業株式会社第１図
Claims (1)
- 薄膜製造プロセスで作製した磁気ヘッドにおいて、薄膜
面内に複数のギャップを有し、各隣接するギャップが互
いに所定の角度を有することを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16085884A JPS6139914A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16085884A JPS6139914A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139914A true JPS6139914A (ja) | 1986-02-26 |
Family
ID=15723899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16085884A Pending JPS6139914A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139914A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01249443A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-04 | Toppan Printing Co Ltd | 木質感を有する化粧シート |
| FR2646000A1 (fr) * | 1989-04-14 | 1990-10-19 | Thomson Csf | Tete magnetique statique de lecture |
| JPH0411314A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
| EP0618568A2 (fr) * | 1986-10-28 | 1994-10-05 | Thomson-Csf | Tête magnetique d'enregistrement/lecture en couches minces et son procédé de réalisation |
| EP0714090A1 (fr) * | 1994-11-25 | 1996-05-29 | Thomson-Csf | Tête magnétique d'enregistrement/lecture et procédé de réalisation |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP16085884A patent/JPS6139914A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0618568A2 (fr) * | 1986-10-28 | 1994-10-05 | Thomson-Csf | Tête magnetique d'enregistrement/lecture en couches minces et son procédé de réalisation |
| EP0618568A3 (fr) * | 1986-10-28 | 1995-05-10 | Thomson Csf | Tête magnetique d'enregistrement/lecture en couches minces et son procédé de réalisation. |
| JPH01249443A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-04 | Toppan Printing Co Ltd | 木質感を有する化粧シート |
| FR2646000A1 (fr) * | 1989-04-14 | 1990-10-19 | Thomson Csf | Tete magnetique statique de lecture |
| JPH0411314A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
| EP0714090A1 (fr) * | 1994-11-25 | 1996-05-29 | Thomson-Csf | Tête magnétique d'enregistrement/lecture et procédé de réalisation |
| FR2727555A1 (fr) * | 1994-11-25 | 1996-05-31 | Thomson Csf | Tete magnetique d'enregistrement/lecture et son procede de realisation |
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