DE69527221T2 - Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte - Google Patents
Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen PlatteInfo
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Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Originalplatte und/oder einer optischen Platte.
- Die optischen Platten vom Typen WORM bestehen aus einem vorformatierten Substrat, allgemein aus Polykarbonat, beschichtet mit zumindest einer empfindlichen Schicht, die sich beim Kontakt mit einem Strahl verändert, der von einer Laserdiode emittiert wird, wobei durch Abschmelzen Mikroküvetten realisiert werden, die für die aufzuzeichnende Information stehen.
- Ein Verfahren zur Vorformatierung eines Substrats ist bekannt, welches aus dem Vorgravieren dieses Substrats durch Drücken mit einer Nickelmatrize besteht, aus dem Vorgravieren einer Furche, die die präzise Führung des von der Laserdiode ausgesandten Strahls ermöglicht, wobei seine radiale Lage gesteuert wird, um auf genaue Art und Weise der durch die Furche geformten Bahn zu folgen. Diese Vorgravur (oder Vorformatierung) kann eine Zeitachse integrieren, die die Regulierung der Drehgeschwindigkeit des Substrats ermöglicht, wobei diese Zeitachse beispielsweise aus einer Frequenzschwankung in der kontinuierlichen Furche bestehen kann oder ausgehend von bereits spezifizierten Formaten, nämlich in internationalen Normen (Momentwertformat oder zusammengesetztes kontinuierliches Format).
- Außerdem ist ein Verfahren bekannt, bei dem ein handelsüblicher WORM-Aufzeichner verwendet wird, um Informationen über optische Scheiben aus Glas aufzuzeichnen und zu gravieren, oder zur Herstellung von Originalplatten, auf welchen Informationen eingraviert sind, wobei diese Originalplatten die Herstellung von Matrizen ermöglichen, die zum Pressen von optischen Scheiben verwendbar sind. Man verwendet auch in diesem Verfahren vorformatierte Substrate, wobei diese vorformatierten Substrate auf die gleiche Art und Weise erhalten werden wie zuvor beschrieben.
- Durch diese Verfahren beinhalten die Originalplatten, die Druckmatrizen und also auch die erhaltenen optischen Platten nicht nur zu duplizierende und/oder zu lesende Informationen, sondern auch das Vorformatiersignal, was das Lesen der Informationen stört.
- Die Erfindung hat das Ziel, diesen Nachteil zu vermeiden, indem sie ein vorformatiertes Substrat vorschlägt, welches für die Herstellung von optischen Platten und für die Herstellung von Originalplatten geeignet ist, die wiederum die Herstellung von Matrizen ermöglichen, die für das Pressen von optischen Scheiben verwendbar sind.
- Zu diesem Zweck schafft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte mit den folgenden Schritten:
- - Ablegen einer Schicht aus empfindlichem Kunstharz auf einer Auflage, wobei die Schicht für zumindest eine Belastung empfindlich ist;
- - Aufbringen eines Vorformatiersignals auf die Schicht aus empfindlichem Kunstharz durch Aufbringen einer ersten Belastung, wobei das Vorformatiersignal aus einer Folge von ersten Mikroküvetten oder ersten Furchen besteht, wobei die Tiefe dieser ersten Mikroküvetten oder ersten Furchen geringer ist als die Dicke der Schicht aus empfindlichem Kunstharz;
- - Aufzeichnen eines Signals einer zu duplizierenden Information in der Schicht aus sensiblem Kunstharz durch Aufbringen einer zweiten Belastung, wobei das Informationssignal aus einer Folge von zweiten Mikroküvetten besteht, wobei die Tiefe dieser zweiten Mikroküvetten gleich der Dicke der Schicht aus sensiblem Kunstharz ist;
- - Übertragen, durch Aufbringen einer dritten Belastung auf die Auflage, des Informationssignals, welches durch die Folge der zweiten Mikroküvetten gebildet wird, wodurch die Ausbildung von dritten Mikroküvetten in der Auflage erzeugt wird;
- - Erlangen der Originalplatte oder optischen Platte durch Eliminieren der verbleibenden Kunstharzschicht, wobei die Originalplatte oder die optische Platte, die so erhalten wird, nur die dritten Mikroküvetten aufweist.
- Gemäß einem Merkmal des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte weist das Verfahren außerdem nach dem Schritt des Eliminierens der verbleibenden Kunstharzschicht das Ablegen einer Schicht aus hartem Material auf, welches im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet.
- Gemäß einer ersten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines vorformatierten Substrats mit Informationen und des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte wird die Aufzeichnung von Informationen in den Zonen des Kunstharzes durchgeführt, die sich unterhalb der ersten Folge aus Mikroküvetten oder der ersten Furche befinden.
- Gemäß einer weiteren Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines vorformatierten Substrats mit Informationen und des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte wird die Aufzeichnung von Informationen in den Zonen des Kunstharzes durchgeführt, die unterschiedlich sind von denen, die sich unter der ersten Folge aus Mikroküvetten oder der ersten Furche befinden.
- Gemäß einem Merkmal des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines vorformatierten Substrats mit Informationen und des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte beträgt die Dicke der Schicht zwischen ungefähr 100 nm und ungefähr 1 um, und die Tiefe der Mikroküvetten der ersten Folge aus Mikroküvetten beträgt ungefähr 75 nm.
- Gemäß einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines vorformatierten Substrats mit Informationen und des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte besteht die Auflage aus Glas.
- Gemäß einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines vorformatierten Substrats mit Informationen und des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte besteht die Auflage aus Aluminium.
- Gemäß einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines vorformatierten Substrats mit Informationen und des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Originalplatte oder einer optischen Platte besteht das Substrat aus einem harten Material, welches im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet.
- Wenn die Auflage nicht aus einem harten Material besteht, welches im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet, könnte man in die Herstellungsverfahren gemäß der Erfindung einen Schritt des Ablagerns einer Schicht aus einem harten Material einfügen, das im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet, auf der Auflage, vor dem Durchführen des Schritts der Ablagerung der Schicht aus empfindlichen Kunstharz.
- In diesem Fall erfolgt in dem Herstellungsverfahren für eine Originalplatte oder eine optische Platte gemäß der Erfindung die Übertragung von Informationen dann in diese Schicht aus hartem Material, die im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet.
- Gemäß einem Merkmal des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines vorformatierten Substrats, eines vorformatierten Substrats mit Informationen einer Originalplatte oder einer optischen Platte ist das harte Material, welches im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet, ein Nitrid oder Carbonitrid von Zirkonium, Hafnium oder Titan.
- Weitere Merkmale, Details und Vorteile der Erfindung werden deutlicher aus der nun folgenden ausführlichen Beschreibung im Zusammenhang mit den anliegenden Zeichnungen.
- Fig. 1 stellt eine erste Art und Weise zur Durchführung des Verfahrens zur Herstellung einer Originalplatte und/oder einer optischen Platte gemäß der Erfindung dar.
- Fig. 2 zeigt schematisch eine zweite Art und Weise zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
- Fig. 3 zeigt schematisch eine dritte Art und Weise zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
- Die vorformatierten Substrate der Erfindung bestehen aus einer Auflage mit glatten Oberflächen, das heißt mit einer Rauhigkeit von nicht mehr als 50 Å, wobei eine dieser Oberflächen mit einer Schicht aus Kunstharz bedeckt ist, die für zumindest eine Belastung empfindlich ist, wobei diese Kunstharzschicht eine erste Abfolge von Mikroküvetten oder eine erste Furche aufweist, deren Tiefe geringer ist als die Dicke der Schicht aus empfindlichem Kunstharz. Genauer gesagt wird die Auflage aus einem gehärteten und/oder entalkalanisierten Glas bestehen. Sie könnte auch aus Aluminium bestehen. Sie könnte auch aus einem harten Material bestehen, welches im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet. In dem Fall, in dem die Auflage nicht aus einem harten Material besteht, das im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet, könnte das erfindungsgemäße Substrat außerdem zwischen der Schicht aus empfindlichen Kunstharz und der Auflage eine Schicht aus einem solchen Material aufweisen.
- Das Material wird genauer gesagt ausgewählt sein aus einem Nitrid oder Karbonnitrid von Zirkonium, Hafnium oder Titan.
- Um die erste Abfolge von Mikroküvetten oder die erste Furche auszubilden, die für das Vorformatiersignal repräsentativ sind, wobei zu beachten ist, dass der Ausdruck "erste Abfolge von Mikroküvetten oder erste Furche", wie er hier verwendet wird, bedeutet, dass das Vorformatiersignal genauso gut aus einer Abfolge von Mikroküvetten bestehen kann wie aus einer kontinuierlichen Furche, können verschiedene Mittel eingesetzt werden.
- Ein erstes Mittel besteht aus dem Aufbringen einer Druckmatrize auf die Schicht aus empfindlichem Kunstharz, wobei diese Druckmatrize Mikroreliefs aufweist, die dem Negativ des Vorformatiersignals entsprechen. Durch Pressen dieser Matrize in die Schicht aus empfindlichem Kunstharz erhält man direkt die erste Abfolge von Mikroküvetten oder die gewünschte erste Furche.
- Man kann genauso gut die erste Abfolge von Mikroküvetten oder die erste Furche durch Isolation mittels einer Maske erreichen, die das Vorformatiersignal aufweist, in der empfindlichen Kunstharzschicht. Die isolierten Kunstharzbereiche werden anschließend eliminiert durch jedes geeignete Mittel, wie beispielsweise einen chemischen Angriff, und dies in einer Tiefe, die geringer ist als die Dicke der Schicht aus empfindlichen Kunstharz.
- Die erste Abfolge von Mikroküvetten oder die erste Furche können bzw. kann auch erzeugt werden durch Bestrahlung von bestimmten Zonen der Schicht aus empfindlichem Kunstharz, durch Durchlaufenlassen eines Lichtstrahls, der beispielsweise durch eine Laserquelle ausgesandt wird, moduliert als Funktion des Vorformatiersignals. Auch hier werden die isolierten Kunstharzbereiche anschließend eliminiert, durch chemischen Angriff, in einer Tiefe, die geringer ist als die Dicke der empfindlichen Kunstharzschicht.
- Die Dicke der empfindlichen Kunstharzschicht beträgt, welches Mittel auch immer zur Ausbildung der ersten Abfolge von Mikroküvetten oder der ersten Furche verwendet wird, zwischen ungefähr 100 nm oder 1 um, und die Tiefe der Mikroküvetten der ersten Abfolge von Mikroküvetten oder der ersten Furche beträgt ungefähr 75 nm.
- Die vorformatierten Substrate gemäß der Erfindung sind anschließend verwendbar für die Aufzeichnung von Informationen in allen Arten von Aufzeichnern, die ein vorformatiertes Substrat benötigen. Genauer gesagt könnte man einen Aufzeichner vom WORM-Typen verwenden, um die Informationen aufzuzeichnen.
- Die Informationen könnten in den verbleibenden Kunstharzbereichen aufgezeichnet werden, die sich unter der ersten Abfolge von Mikroküvetten befinden, oder in davon unterschiedlichen Bereichen.
- In dem Fall, in dem man die Informationen, die dupliziert werden sollen, in den Bereichen des verbleibenden Kunstharzes aufzeichnet unter der ersten Abfolge von Mikroküvetten, und zwar durch Bestrahlung, und wobei die Aufzeichnung des Signals zur Vorformatierung durch Bestrahlung erzielt worden ist, wird diese Bestrahlung beispielsweise mit einem Strahl mit geringer Energie durchgeführt, um das unter dieser ersten Abfolge von Mikroküvetten oder der ersten Furche verbleibende Kunstharz nicht zu desensibilisieren.
- Die Informationen können, wie im Fall des Vorformatiersignals, durch Pressen mit einer Matrize aufgezeichnet werden, die Mikroreliefs aufweist, die dem Negativ der aufzuzeichnenden und zu duplizierenden Informationen entsprechen, oder durch eine Bestrahlung durch eine Maske hindurch, die die aufzuzeichnenden und zu duplizierenden Informationen aufweist, gefolgt von einem Schritt des Eliminierens von der so bestrahlten Kunstharzzonen durch chemischen Angriff oder auch durch das Durchlaufenlassen eines Lichtstrahls, der als Funktion des aufzuzeichnenden und zu duplizierenden Signals moduliert wird, ebenfalls gefolgt von einem Schritt des Eliminierens der isolierten Kunstharzbereiche. Man hat so eine zweite Abfolge von Mikroküvetten erzeugt, die für die zu duplizierenden Informationen stehen.
- Die Tiefe der diese zweite Abfolge von Mikroküvetten bildenden Mikroküvetten muss gleich der Dicke der Schicht aus sensiblem Kunstharz sein, in der sie erzeugt werden. So wird das erfindungsgemäße vorformatierte Substrat mit zu duplizierenden Informationen aus einer Auflage bestehen, die mit einer Schicht aus fotosensiblem Kunstharz bedeckt ist, die eine erste Abfolge von Mikroküvetten oder eine erste Furche aufweist, deren Tiefe geringer ist als die Dicke der Schicht aus empfindlichem Kunstharz, und eine zweite Abfolge von Mikroküvetten, deren Tiefe gleich der Dicke der empfindlichen Kunstharzschicht in den Bereichen ist, in denen sie erzeugt sind. In anderen Worten wird sich die Tiefe der Mikroküvetten der zweiten Abfolge von Mikroküvetten, die für die zu duplizierenden Informationen stehen, bis zur Oberfläche der Auflage erstrecken.
- Selbstverständlich kann die Auflage aus allen Materialien bestehen, die oben für das zuvor beschriebene vorformatierte Material zitiert worden sind. Wenn die Auflage nicht aus dem harten Material besteht, das im nahen Infrarotbereich reflektiert, sondern mit einer Schicht aus diesem Material bedeckt ist, wird sich die Tiefe der Mikroküvetten der zweiten Abfolge bis zur Oberfläche dieses Materials erstrecken.
- Die vorformatierten Substrate und die vorformatierten Substrate mit den Informationen gemäß der Erfindung werden anschließend verwendet für die Realisierung von optischen Platten oder von Originalplatten, die die Herstellung von, Druckmatrizen ermöglichen zur Herstellung von optischen Platten, die nur Informationen aufweisen werden und nicht das Vorformatiersignal.
- Nach der Realisierung des vorformatierten Substrats mit den Informationen werden nämlich nur die Informationen in die Auflage übertragen, durch chemische Gravur oder reaktives Plasma, und das gesamte verbleibende Kunstharz wird durch chemischen Angriff oder ein anderes geeignetes Mittel eliminiert.
- Wenn die Auflage nicht aus dem harten Material besteht, das im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet, oder nicht mit dem harten Material beschichtet ist, das reflektiert und leitet, kann man nach dem Schritt des Eliminierens des verbleibenden Kunstharzes die erhaltene Originalplatte mit einer Schicht aus diesem harten Material bedecken, das im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet.
- Um das Ziel der Erfindung besser zu verdeutlichen, werden nun als rein beschreibende und nicht begrenzende Beispiele verschiedene Ausführungsformen der Erfindung beschrieben.
- Mit Bezug auf die Fig. 1 wird nun eine erste Art und Weise zur Herstellung von vorformatierten Substraten beschrieben, von vorformatierten Substraten, die Informationen aufweisen, und von Originalplatten oder optischen Platten gemäß der Erfindung sowie eine erste Art und Weise zur Durchführung von Verfahren zur Herstellung von vorformatierten Substraten, von vorformatierten Substraten mit Informationen und von Originalplatten gemäß der Erfindung.
- Im ersten, in Fig. 1 mit (a) bezeichneten Schritt bringt man auf eine Auflage 1 aus gehärtetem und/oder desalkalinisiertem Glas eine Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz mit einer Dicke von 200 nm auf. Durch Aufbringen einer Druckmatrize 3 zeichnet man in dieser Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz das Vorformatiersignal auf. Man presst die Druckmatrize 3 bis zu einer Tiefe von 75 nm in die Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz.
- Wie im Schritt (b) in Fig. 1 dargestellt, erhält man so ein vorformatiertes Substrat, das aus der Auflage 1 aus gehärtetem und/oder desalkalinisiertem Glas besteht, bedeckt mit der Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz, die an ihrer Oberfläche eine erste Folge von Mikroküvetten oder eine erste Furche 4 und Kunstharzbereiche 5 aufweist. Man zeichnet also durch Durchlaufenlassen eines Laserstrahls 8, der moduliert ist in Funktion des aufzuzeichnenden Signals, die zu duplizierenden Informationen in die Bereiche ein, die sich unter den Mikroküvetten oder der Furche 4 befinden.
- Man beseitigt anschließend die isolierten Kunstharzbereiche bis zur Oberfläche der Auflage 1.
- Man erhält so das vorformatierte Substrat mit den Informationen, dargestellt im Schritt (c). Das vorformatierte Substrat mit den Informationen besteht aus einer Auflage 1, bedeckt mit der Schicht aus fotosensiblem Kunstharz, die an ihrer Oberfläche eine erste Abfolge von Mikroküvetten oder eine erste Furche aufweist, die für das Signal zur Vorformatierung steht, mit einer Tiefe von 75 nm, und unterhalb dieser ersten Abfolge von Mikroküvetten oder der ersten Furche 4 eine zweite Abfolge von Mikroküvetten 6, deren Tiefe 200 nm beträgt, und Bereiche 5 aus dem verbleibenden Kunstharz.
- Im Schritt (d) überträgt man durch Gravur mittels eines reaktiven Plasmas nur die zu duplizierenden Informationen in die Auflage 1, das heißt man erhält in diesem Schritt die Auflage 1, in die nur die zweite Abfolge von Mikroküvetten übertragen worden ist, die hier mit 7 bezeichnet ist. Anschließend eliminiert man mit jedem geeigneten Mittel das gesamte verbleibende Kunstharz.
- Die Originalplatte oder die optische Scheibe, die so erhalten wurde, ist im Schritt (e) dargestellt. Sie besteht aus der Auflage 1, die auf ihrer Oberfläche nur eine Abfolge von Mikroküvetten 7 aufweist, die für die zu duplizierenden Informationen stehen.
- Ausgehend von der erhaltenen Originalplatte kann man nach einem Schritt der Ablagerung eines metallischen leitenden Materials durch einen Schritt der Galvanoplastie eine Druckmatrize realisieren, die für die Herstellung von optischen Platten geeignet ist.
- Die Originalplatte oder die optische Platte, die im Schritt (e) dargestellt ist, kann mit einer Schicht aus einem harten Material 9 bedeckt werden, das im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet. Man erhält so eine Originalplatte oder eine optische Platte 10, dargestellt im Schritt (f) der Fig. 1, bestehend aus der Auflage 1 mit einer Abfolge von Mikroküvetten 7, die für die aufzuzeichnenden oder zu lesenden Informationen stehen, bedeckt mit einer Schicht aus Material 9.
- Das Material 9 muss hart sein und darf nicht so leicht verkratzen, damit es einfach handhabbar ist und eine lange Lebensdauer hat, um die Herstellung von vielen Matrizen zu ermöglichen, ohne dass sich bei der wiederholten Herstellung die Form der Mikroküvetten oder ihre Tiefe verändert. Das Material 9 muss eine sehr gute Anhaftung an der Auflage 1 aufweisen, insbesondere auf dem Glas und dem Aluminium, um jedes Risiko der Ablösung bei dem abschließenden Schritt der Galvanoplastie zu vermeiden, welcher zur Druckmatrize führt. Es muss auch leitfähig sein, um den Schritt der Galvanoplastie zur Herstellung einer Druckmatrize für optische Platten ohne vorherige Behandlung der Originalplatte 10 zu ermöglichen. Es muss auch chemisch stabil sein, um in chemischen Bädern zu widerstehen, und eine lange Lebensdauer in schwierigen Umgebungen haben, und schließlich muss es in den Wellenlängenbereichen reflektieren, die in Lesegeräten für optische Platten verwendet werden. Momentan befinden sich die in den Lesegeräten für optische Platten verwendeten Wellenlängen im Bereich des nahen Infratoren, genauer gesagt bei ungefähr 780 nm. In der Erfindung ist jedoch nicht ausgeschlossen, dass das Material 9 im Bereich von sichtbaren Wellenlängen und/oder im ultravioletten Bereich reflektiert, für den Fall, dass eine Weiterentwicklung in der Technologie der Lesegeräte für optische Platten es erlaubt, solche Wellenlängenbereiche zu verwenden.
- In dieser Hinsicht ist ein Nitrid oder Karbonnitrid aus Zirkonium, Hafnium oder Titan ein besonders geeignetes Material. Diese Materialien sind tatsächlich hart, reflektieren im nahen Infrarotbereich, im ultravioletten und sichtbaren Bereich, und sie sind leitfähig.
- Man bevorzugt ganz besonders das Titannitrid.
- Nun kann die erhaltene Originalplatte 10 in einem Lesegerät für optische Platten gelesen werden. Aufgrund ihrer sehr langen Lebensdauer kann diese Originalplatte genauso gut für die Archivierung von Informationen verwendet werden. Die Informationen, die sie beinhaltet, werden durch die Herstellung von neuen Druckmatrizen weder verändert noch verschlechtert.
- Natürlich kann in diesem Ausführungsbeispiel die Auflage 1 auch aus Aluminium bestehen oder aus jedem anderen Material, was für die Herstellung von optischen Platten oder Originalplatten geeignet ist.
- Mit Bezug auf die Fig. 2 besteht der erste, mit (a) bezeichnete Schritt dieser Ausführungsform der Erfindung aus dem Abschalten einer Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz mit einer Dicke von 1 um auf der Auflage 1 aus Titannitrid.
- Man zeichnet in Form eines latenten Bildes in dieser Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz das Signal der Vorformatierung auf, und zwar durch Bestrahlung mit einem Lichtstrahl 3 durch eine Maske hindurch, die das Vorformatiersignal aufweist.
- Man beseitigt anschließend die isolierten Kunstharzbereiche bis zu einer Dicke von 75 nm.
- Man erzielt so das vorformatierte Substrat gemäß der Erfindung, dargestellt im Schritt (b) in Fig. 2, besteht aus der Auflage 1 aus Titannitrid, bedeckt mit einer Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz, die an ihrer Oberfläche eine erste Abfolge von Mikroküvetten aufweist oder eine erste Furche 4, deren Tiefe geringer ist als die Dicke der Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz, und die für das Vorformatiersignal steht.
- Im Schritt (c) in Fig. 2 zeichnet man in Form eines latenten Bildes die zu duplizierenden Informationen mit Hilfe einer Lichtbestrahlung 8 auf, unter Verwendung eines Aufzeichners vom Typen WORM, in den Zonen 5 der Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz, die noch nicht isoliert sind.
- Man beseitigt anschließend durch ein geeignetes Mittel die Kunstharzbereiche, die die Informationen in Form des latenten Bildes aufweisen, bis zur Oberfläche der Auflage 1.
- Man erzielt so das vorformatierte Substrat mit den Informationen, dargestellt im Schritt (c) der Fig. 2, besteht aus der Auflage 1 aus Titannitrid, bedeckt mit einer Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz, wobei diese Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz eine erste Abfolge von Mikroküvetten oder eine erste Furche 4 aufweist, die für das Vorformatiersignal steht, wobei die Tiefe der Mikroküvetten oder der Furche geringer ist als die Dicke der Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz, und eine zweite Abfolge von Mikroküvetten 6, die sich bis zur Oberfläche der Auflage 1 erstreckt und für die zu duplizierenden Informationen steht.
- In dem in Fig. 2 mit (d) bezeichneten Schritt überträgt man dann die zu duplizierenden Informationen in die Auflage 1 durch Gravur mit Reaktivplasma, und man erhält so in der Auflage 1 eine Abfolge von Mikroküvetten 7, die für die zu duplizierenden Informationen stehen.
- Der Schritt (e) in Fig. 2 ist ein Schritt zum Beseitigen des verbleibenden Kunstharzes.
- Man erhält schließlich eine optische Platte oder eine Originalplatte 10, bestehend aus einer Auflage 1 aus Titannitrid, deren Oberfläche eine Abfolge von Mikroküvetten 7 aufweist, die für die zu duplizierenden Informationen stehen.
- Die so erhaltene Originalplatte oder optische Platte 10 besteht aus dem zuvor beschriebenen Material 9 und hat die gleichen Vorteile wie die beim Beispiel 1 beschriebenen.
- In dieser bestimmten Ausführungsform könnte die Auflage 1 auch aus einer Hartkeramik bestehen, die im nahen Infrarotbereich reflektiert und nur an ihrer Oberfläche leitet, oder aus einem harten Glas, das im nahen Infrarotbereich reflektiert und nur an seiner Oberfläche leitet, wobei die Vorteile der Originalplatte erhalten bleiben, deren Auflage aus dem harten Material 9 besteht oder mit dem Material 9 beschichtet ist.
- Selbstverständlich könnte man in dieser Ausführungsform auch gehärtetes und/oder desalkalinisiertes Glas oder Aluminium als Material für die Auflage 1 verwenden. In diesem Fall kann man auch, wie im Beispiel 1, die gravierte Auflage 1 anschließend mit einer Schicht aus dem Material 9 bedecken.
- Mit Bezug auf die Fig. 3 besteht der erste, mit (a) bezeichnete Schritt dieser Ausführungsform aus dem Abscheiden einer Schicht aus hartem Material 9, welches im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet, wie zuvor definiert, auf einer Auflage 1 aus Aluminium, und aus dem anschließenden Abscheiden auf dieser Schicht aus hartem Material 9 einer Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz mit einer Dicke von 500 nm.
- Durch Pressen mit einer Matrize, die das Vorformatiersignal aufweist, erzeugt man in der Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz eine erste Abfolge von Mikroküvetten oder eine erste Furche 4 mit einer Tiefe von 75 nm, die für das Vorformatiersignal stehen.
- Man erhält so ein vorformatiertes Substrat gemäß der Erfindung, dargestellt im Schritt (b) der Fig. 3, bestehend aus der Auflage 1 aus Aluminium, bedeckt mit einer Schicht aus hartem Material 9, wobei diese Schicht aus Material 9 mit einer Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz bedeckt ist, die an ihrer Oberfläche eine erste Abfolge von Mikroküvetten oder eine erste Furche 4 aufweist, die für das Vorformatiersignal stehen, und deren Tiefe geringer ist als die Dicke der Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz, und wobei die Kunstharzbereiche 5 keiner Belastung unterworfen worden sind.
- Man zeichnet so die zu duplizierenden Informationen in die Zonen 5 aus Kunstharz auf, die keiner Belastung unterworfen worden sind, in Form eines latenten Bildes, durch Durchlaufenlassen eines Lichtstrahls 8, der moduliert ist in Funktion des aufzuzeichnenden Signals.
- Man beseitigt dann die belichteten Kunstharzbereiche durch ein geeignetes Mittel. Dieses Beseitigen ermöglicht es, das gesamte bestrahlte Kunstharz bis zur Oberfläche der Materialschicht 9 zu beseitigen.
- Man erhält so das vorformatierte Substrat mit den Informationen gemäß der Erfindung, dargestellt im Schritt (c) der Fig. 3, bestehend aus der Auflage 1 aus Aluminium, bedeckt mit der Schicht aus Material 9, die wiederum mit der Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz bedeckt ist, die eine erste Abfolge von Mikroküvetten oder eine erste Furche 4 aufweist, die für das Vorformatiersignal stehen, und deren Tiefe geringer ist als die Dicke der Schicht 2 aus fotosensiblem Kunstharz, und eine zweite Abfolge von Mikroküvetten 6, deren Tiefe gleich der Dicke der Schicht aus fotosensiblem Kunstharz ist, in den Zonen, in denen sie erzeugt worden sind.
- Der Schritt (d) der Fig. 3 ist ein Schritt des Übertragens der zu duplizierenden Informationen in die Materialschicht 9 und der Beseitigung der Bereiche des verbleibenden Kunstharzes.
- Man erhält so die Originalplatte oder die optische Platte 10, dargestellt im Schritt (e) der Fig. 3, bestehend aus der Auflage 1 aus Aluminium, bedeckt mit einer Schicht aus Material 9, die eine Abfolge von Mikroküvetten aufweist, die für die zu duplizierenden Informationen stehen.
- Die Originalplatte oder optische Platte 10, die so erhalten worden ist, ermöglicht die Realisierung von einer Vielzahl von Druckmatrizen für optische Platten, mit einem einfachen Schritt der Galvanoplastie, wobei keine vorangehende Vorbereitung notwendig ist.
- Da die Mikroküvetten aus dem harten Material 9 bestehen, das im nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet, sind diese Originalplatte und optische Platte lesbar in Lesegeräten für optische Platten, ohne besondere Vorbereitung, und da das Material 9 sehr hart ist, werden sich diese Informationen nicht verändern und nicht verschlechtern bei der Herstellung von Druckmatrizen.
- Sie können daher für die Aufbewahrung von Informationen für einen langen Zeitraum dienen.
- Selbstverständlich ist die Erfindung in den Ansprüchen definiert, aber nicht auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele begrenzt, die nur beispielhaft gegeben worden sind.
Claims (10)
1. Verfahren zur Herstellung einer Originalplatte oder
einer optischen Platte mit den folgenden Schritten:
Ablegen einer Schicht (2) aus empfindlichem Kunstharz
auf einer Auflage (1), wobei die Schicht (2) für
zumindest eine Belastung empfindlich ist;
Aufbringen eines Vorformatiersignals auf die Schicht aus
empfindlichem Kunstharz (2) durch Aufbringen einer
ersten Belastung (3), wobei das Vorformatiersignal aus
einer Folge von ersten Mikroküvetten oder ersten Furchen
(4) besteht, wobei die Tiefe dieser ersten Mikroküvetten
oder ersten Furchen (4) geringer ist als die Dicke der
Schicht aus empfindlichem Kunstharz (2);
Aufzeichnen eines Signals einer zu duplizierenden
Information in der Schicht aus sensiblem Kunstharz (2)
durch Aufbringen einer zweiten Belastung (8), wobei das
Informationssignal aus einer Folge von zweiten
Mikroküvetten (6) besteht, wobei die Tiefe dieser
zweiten Mikroküvetten (6) gleich der Dicke der Schicht
aus sensiblem Kunstharz (2) ist;
Übertragen, durch Aufbringen einer dritten Belastung auf
die Auflage (1), des Informationssignals, welches durch
die Folge der zweiten Mikroküvetten (6) gebildet wird,
wodurch die Ausbildung von dritten Mikroküvetten (7) in
der Auflage (1) erzeugt wird;
Erlangen der Originalplatte oder optischen Platte durch
Eliminieren der verbleibenden Kunstharzschicht (2),
wobei die Originalplatte oder die optische Platte, die
so erhalten wird, nur die dritten Mikroküvetten (7)
aufweist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
es außerdem nach dem Schritt des Eliminierens der
verbleibenden Kunstharzschicht das Ablegen einer Schicht
aus hartem Material (9) aufweist, welches im nahen
Infrarotbereich reflektiert und leitet.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, dass die zweite Folge aus Mikroküvetten
(6) unterhalb der ersten Folge aus Mikroküvetten oder
ersten Furchen (4) ausgebildet wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, dass die zweite Folge aus Mikroküvetten
(6) in den Zonen (5) des Kunstharzes ausgeformt wird,
die unterschiedlich von denen, die sich unter der ersten
Folge aus Mikroküvetten oder ersten Furchen (4)
befinden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, dass die Dicke der Schicht (2) zwischen
ungefähr 100 nm und ungefähr 1 um beträgt, und dass die
Tiefe der Mikroküvetten (4) der ersten Folge aus
Mikroküvetten (4) ungefähr 75 nm beträgt.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, dass die Auflage (1) aus Glas besteht.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, dass die Auflage (1) aus Aluminium
besteht.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 3 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (1) aus einem
harten Material (9) besteht, welches im nahen
Infrarotbereich reflektiert und leitet.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch
gekennzeichnet, dass man außerdem zwischen der Auflage
(1) und der Schicht (2) eine Schicht aus Material (9)
aufträgt, wobei die Übertragung der Informationen daher
in dieser Materialschicht (9) stattfindet in dem Fall,
in welchem man sie für einen solchen Transfer
bearbeitet.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch
gekennzeichnet, dass das harte Material (9), welches im
nahen Infrarotbereich reflektiert und leitet, ein Nitrid
oder Carbonitrid von Zirkonium, Hafnium oder Titan ist.
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JPS6275951A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-07 | Sharp Corp | 光メモリ素子用基板の作製方法 |
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JPS63134078A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-06 | Canon Inc | スタンパ−型およびプレフオ−マツト・パタ−ンの転写方法 |
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