DE69419575T2 - Integrierte Halbleiterschaltungsanordnung - Google Patents

Integrierte Halbleiterschaltungsanordnung

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Description

  • Diese Erfindung bezieht sich auf eine integrierte Halbleiter-Schaltungsvorrichtung wie etwa auf einen dynamischen Schreib-Lese-Speicher (im folgenden "DRAM" genannt), auf einen statischen Schreib-Lese-Speicher (im folgenden "SRAM" genannt), auf einen Nur-Lese-Speicher (im folgenden "ROM" genannt) oder dergleichen und insbesondere auf einen in der integrierten Halbleiter-Schaltungsvorrichtung verwendeten Wortleitungstreiber.
  • Eine Halbleiter-Speichervorrichtung wie etwa ein DRAM besitzt einen Wortleitungstreiber für die Wahl einer der Speicherzellen. Dieser Wortleitungstreibertyp wurde z. B. in JP-A-63113888 offenbart.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Wortleitungstreiber zu schaffen, bei dem die Anzahl der Elemente im Vergleich zu einem in einer herkömmlichen Halbleiter-Speichervorrichtung verwendeten Wortleitungstreiber reduziert werden kann und mit dem ein zuverlässiger Betrieb geschaffen werden kann.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Wortleitungs- Treiberschaltungsanordnung geschaffen, wie sie in dem beigefügten Anspruch 1 definiert ist.
  • Die zweite Schalteinrichtung kann in Abhängigkeit von dem gemeinsamen Decodierungssignal durch ein Treibersignal geschaltet werden. Das Treibersignal und das Decodierungssignal können eine entgegengesetzte Phase besitzen.
  • Dementsprechend kann der Treiber mehrere Pegelschieber enthalten, die folgendes enthalten: eine Spannungsversor gung mit der Pumpspannung, einen Zwischenspeicher für die Wahl und für die Ausgabe des Treibersignals und eine Schaltschaltung zum Steuern des Zwischenspeichers in Abhängigkeit vom gemeinsamen Decodierungssignal.
  • Es wird nun eine Ausführung der vorliegenden Erfindung beispielhaft mit Bezug auf die beigefügte Zeichnung beschrieben, worin:
  • Fig. 1 ein Schaltplan eines Teils eines Wortleitungstreibers ist, der eine Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • Fig. 2 eine Ansicht ist, die einen DRAM zeigt, auf den der in Fig. 1 gezeigte Wortleitungstreiber gemäß der vorliegenden Erfindung angewendet wird;
  • Fig. 3 ein Zeitablaufplan zur Beschreibung des Betriebs des in Fig. 1 gezeigten Wortleitungstreibers ist; und
  • Fig. 4 ein Gesamtschaltplan des in Fig. 1 gezeigten Wortleitungstreibers ist.
  • Fig. 1 ist ein Schaltplan eines Teils eines Wortleitungstreibers 6, der eine Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt. Der Wortleitungstreiber 6 wird z. B. in einem DRAM verwendet. In Fig. 2 ist ein Blockschaltplan des DRAMs gezeigt, auf den der Wortleitungstreiber 6, von dem ein Teil in Fig. 1 gezeigt ist, angewendet wird.
  • Der DRAM, auf den die vorliegende Erfindung angewendet wird, wird zunächst mit Bezug auf Fig. 2 beschrieben.
  • Der DRAM enthält eine Taktregelschaltung 1 zum Empfangen eines Steuersignals CT und eines Takts CK darin und zum Ausgeben von Steuersignalen S&sub1; zum Steuern der für die jeweiligen Komponenten, für einen Zeilenadressendecodierer 2 zum Decodieren einer Zeilenadresse ADRj zum Ausgeben einer Gruppe von Decodierungssignalen A mit mehreren Decodierungssignalen A-1 bis A-l daraus, für einen Spaltenadressendecodierer 3 zum Decodieren einer Spaltenadresse ARC zum Ausgeben eines Decodierungssignals für die Wahl irgendeiner der Bitleitungen BL&sub1; bis BLn und für eine Pumpschaltung 4 zum Pumpen oder Verstärken einer Stromversorgungsspannung VCC (erste Stromversorgungsspannung) zum Erzeugen einer gepumpten Spannung VP (= VCC + Vt + α, mit Vt: Schwellspannung und α: positiver Spannungswert) bereitgestellten Zeitgebungen daraus.
  • Der Wortleitungstreiber 6 ist über einen Pumptreiber 5 elektrisch an die Pumpschaltung 4 angeschlossen. Eine Pumpeinrichtung umfaßt die Pumpschaltung 4 und den Pumptreiber 5. Der Pumptreiber 5 dient als eine Schaltung zum Ausgeben der Wortleitungs-Aktivierungssignale PW&sub1; bis PWm auf der Grundlage einer Zeilenadresse ADRj an den Wortleitungstreiber 6.
  • Der Wortleitungstreiber 6 dient als eine Schaltung zum selektiven Ansteuern der Wortleitungen WL&sub1;&submin;&sub1; bis WLl-m auf der Grundlage der Gruppe der Decodierungssignale A und der Wortleitungs-Aktivierungssignale PW&sub1; bis PWm. An den Wortleitungstreiber 6 ist eine Speicherzellenanordnung 7 elektrisch angeschlossen. Die Speicherzellenanordnung 7 ist so konstruiert, daß an Punkte, an denen sich jeweils mehrere Wortleitungen WL&sub1;&submin;&sub1; bis WLl-m und mehrere Bitleitungen BL&sub1; bis BLn schneiden, jeweils mehrere Speicherzellen 7a elektrisch angeschlossen sind, wobei die Speicherzellen 7a in Matrixform angeordnet sind. An die Bitleitungen BL&sub1; bis BLn ist ein Bitleitungstreiber 8 elektrisch angeschlossen. Der Bitleitungstreiber 8 dient als eine Schaltung zum selektiven Ansteuern der Bitlei tungen BL&sub1; bis BLn auf der Grundlage des von dem Spaltenadressendecodierer 3 ausgegebenen Decodierungssignals.
  • Ferner wird in dem DRAM ein Eingangspuffer 9 bereitgestellt. Der Eingangspuffer 9 dient als eine Schaltung, um darin die Eingangsdaten- Di zu empfangen und diese an einen (im folgenden als "L/S-Controller" abgekürzten) Lese/Schreib-Controller 10 auszugeben. Der L/S-Controller 10 dient als eine Schaltung, um auf der Grundlage des Steuersignals S&sub1; zu entscheiden, ob die Daten in eine entsprechende Speicherzelle 7a geschrieben oder aus dieser gelesen werden. An den L/S-Controller 10 ist über einen Leseverstärker 11 ein Ausgangspuffer 12 elektrisch angeschlossen. Der Leseverstärker 11 dient als eine Schaltung zum Verstärken des Ausgangssignals jeder Speicherzelle 7a. Der Ausgangspuffer 12 dient als eine Schaltung zum Empfangen des Ausgangssignals des Leseverstärkers 11 und zum Ausgeben der Ausgangsdaten Do daraus.
  • Mit Bezug auf Fig. 1 wird nun der in dem in Fig. 2 gezeigten DRAM bereitgestellte Wortleitungstreiber 6 beschrieben. Der in Fig. 1 teilweise gezeigte Wortleitungstreiber 6 besteht aus Komplementär-MOS-Transistoren (Komplementär-Metalloxid-Halbleiter-Transistoren, im folgenden "CMOS-Transistoren" genannt) und besitzt grundsätzlich mehrere Pegelschieber 40-1 bis 40-l (wobei Fig. 1 nur einen Pegelschieber 40-1 zeigt) und mehrere Gruppen von Ausgangseinheiten 50-1-1 bis 50-l-m (wobei Fig. 1 nur eine Gruppe von Ausgangseinheiten 50-1-1 bis 50-l-m zeigt).
  • Der Pegelschieber 40-1 besitzt einen Inverter 41-1 zum Invertieren des Decodierungssignals A-1 und einen N- Kanal-MOS-Transistor (im folgenden "NMOS-Transistor" genannt) 42-1, der als eine Pull-Down-Schalteinrichtung dient, deren Gate auf der Grundlage des Decodierungs signals A-1 gesteuert wird. Das Gate eines NMOS43-1 ist elektrisch an einen Knoten N41-1 auf der Ausgangsseite des Inverters 41-1 angeschlossen, während seine Source elektrisch an die Erde angeschlossen ist. Ferner ist der Drain des NMOS-Transistors 43-1 elektrisch an eine Zwischenspeicherschaltung zum Zwischenspeichern einer gepumpten Spannung VP darin angeschlossen. Die Zwischenspeicherschaltung enthält die (im folgenden "PMOS-Transistoren" genannten) P-Kanal-MOS-Transistoren 44-1 und 45-1. Der Drain und das Gate des PMOS44-1 und der Drain und das Gate des PMOS45-1 sind zwischen einem Knoten N43-1 und dem Knoten 45-1 elektrisch querverschaltet. Ferner sind die Sources der PMOSs 44-1 und 45-1 an die verstärkte Spannung VP angeschlossen.
  • Die Ausgangsschaltung 50-1-1 enthält einen PMOS (erster Transistor) 51-1-1 und die NMOSs (zweiter und dritter Transistor) 52-1-1 und 53-1-1. Die Source (erste Elektrode), der Drain (zweite Elektrode) und das Gate des PMOS51-1-1 sind jeweils an das Wortleitungs-Aktivierungssignal PW&sub1;, an die Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; und an den Knoten N45-1 auf der Ausgangsseite des Pegelschiebers 40-1 elektrisch angeschlossen. Der NMOS52-l-1, dessen Gate auf der Grundlage eines Potentials an dem Knoten N45-1 gesteuert wird, ist zwischen dem Drain des PMOS51-1-1 und der Erde elektrisch angeschlossen. Der Drain des NMOS53-1-1, dessen Gate auf der Grundlage des Decodierungssignals A-1 gesteuert wird, ist elektrisch an das Wortleitungs-Aktivierungssignal PW&sub1; angeschlossen. Ferner ist die Source des NMOS53-1-1 elektrisch an die Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; angeschlossen.
  • Die Schaltungskonfiguration der jeweiligen anderen an den Knoten N45-1 angeschlossenen Ausgangseinheiten 50-1-2 bis 50-1-m ist jeweils völlig gleich zu der der Ausgangseinheit 50-1-1. Und zwar enthält die Ausgangseinheit 50-1-m einen PMOS51-1-m, einen NMOS52-1-m und einen NMOS53-1-m. Die Source, der Drain und das Gate des PMOS51-1-m sind jeweils an das Wortleitungs-Aktivierungssignal PWm, an die Wortleitung WL1-m und an den Knoten N45-1 auf der Ausgangsseite des Pegelschiebers 40-1 elektrisch angeschlossen. Der NMOS52-1-m, dessen Gate auf der Grundlage des Potentials an dem Knoten N45-1 gesteuert wird, ist elektrisch zwischen dem Drain des PMOS51-1-m und der Erde angeschlossen. Der Drain des NMOS53-1-m, dessen Gate auf der Grundlage des Decodierungssignals A-1 gesteuert wird, ist elektrisch an das Wortleitungs-Aktivierungssignal PWm angeschlossen. Ferner ist die Source des NMOS53-1-m, dessen Gate auf der Grundlage des ersten Decodierungssignals A-1 gesteuert wird, elektrisch an die Wortleitung WL1-m angeschlossen.
  • Unten wird nun der Betrieb des Wortleitungstreibers 6 beschrieben.
  • Fig. 3 ist ein Zeitablaufplan zur Beschreibung des Betriebs des in Fig. 1 gezeigten Wortleitungstreibers 6. Die Abszissenachse zeigt die Zeit und die Ordinatenachse die Spannung an. Als ein erläuterndes Beispiel werden unten mit Bezug auf Fig. 3 eine Schreib- und eine Leseoperation (1) und (2), die bei aktivierter Ausgangsschaltung 50-1 und ausgewählter Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; ausgeführt werden, beschrieben.
  • (1) Schreiboperation
  • Wenn die Stromversorgungsspannung VCC angelegt wird, gibt die Taktregelschaltung 1 die Steuersignale S&sub1; zum Steuern der für die jeweiligen Komponenten bereitgestellten Zeitabläufe auf der Grundlage des Steuersignals CT und des Takts CK aus. Ferner gibt der Pumptreiber 5 auf der Grundlage der Zeilenadresse ADRj an den Wortleitungstrei ber 6 die Wortleitungs-Aktivierungssignale PW&sub1; bis PWm aus (jedes Wortleitungs-Aktivierungssignal besteht aus einem Signal mit einem Erdpegel oder mit einem VP-Pegel, wobei irgendeines der Signale PW&sub1; bis PWm wahlweise auf den Pegel VP gebracht wird). Andererseits decodiert der Zeilenadressendecodierer 2 die Zeilenadresse ADRj, um daraus die Gruppe der Decodierungssignale A auszugeben. Ferner decodiert der Spaltenadressendecodierer 3 die Spaltenadresse ARC, um das Decodierungssignal für die Wahl irgendeiner der Bitleitungen BL&sub1; bis BLn auszugeben. Andererseits wird der L/S-Controller 10 auf der Grundlage des von der Taktregelschaltung 1 eingegebenen Steuersignals S&sub1; in einen Datenschreib-Betriebszustand gebracht.
  • (a) Setzoperation
  • Wenn der Pegel des Decodierungssignals A-1, das eines aus der Gruppe der Decodierungssignale A ist, von dem Erdpegel auf VCC übergeht, werden die NMOSs 42-1 und 53-1-1 bis 53-1-m eingeschaltet, so daß das Potential des Knotens N45-1 auf den Erdpegel gebracht wird. Im Ergebnis werden die PMOSs 51-1-1 bis 51-1-m in einen eingeschalteten Zustand gebracht. Wenn der Pegel des Wortleitungs- Aktivierungssignals PW&sub1; andererseits vom Erdpegel auf den Pegel VP übergeht, wird der Pegel VP über die bereits eingeschalteten, aber infolge des Schwellwerts des NMOS53-1-1 noch nicht voll versorgten NMOSs 53-1-1 an die Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; geliefert. Jedoch wird das Wortleitungs-Aktivierungssignal mit dem Pegel VP über den PMOS51-1-1 an die Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; gesendet. Somit werden mehrere elektrisch an die Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; angeschlossenen Speicherzellen eingeschaltet. Ferner wird durch den Bitleitungstreiber 8 eine der Bitleitungen BL&sub1; bis BLn ausgewählt, so daß eine Speicherzelle 7a ausgewählt wird.
  • (b) Rücksetzoperation
  • Wenn der Pegel des Wortleitungs-Aktivierungssignals PW&sub1; von dem Pegel VP auf dem Erdpegel übergeht, wird das Wortleitungs-Aktivierungssignal mit dem Erdpegel über den NMOS53-1-1 und über den PMOS51-1-1, die bereits eingeschaltet worden sind, an die Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; gesendet.
  • Wenn der Pegel des Decodierungssignals A-1 dann von dem Pegel VCC auf dem Erdpegel übergeht, werden der NMOS42-1 und der NMOS53-1-1 in einen ausgeschalteten Zustand gebracht. Ferner ändert der Inverter 41-1 den Pegel des Knotens N41-1 von dem Erdpegel auf den Pegel VCC. Somit wird der NMOS43-1 eingeschaltet, so daß der Pegel des Knotens N43-1 zum Einschalten des PMOS45-1 auf den Erdpegel gebracht wird. Im Ergebnis geht der Pegel des Knotens N45-1 vom Erdpegel auf den Pegel VP über. Somit wird als Antwort auf den Pegel VP des Knotens N45-1 der PMOS51-1-1 ausgeschaltet und der NMOS52-1-1 eingeschaltet, so daß das Rücksetzen der Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; abgeschlossen ist.
  • (2) Leseoperation
  • Der L/S-Controller 10 wird auf der Grundlage des Steuersignals S&sub1; in einen Datenlese-Betriebszustand gebracht. Die Setz- und die Rücksetzoperation für die Wahl einer gewünschten Wortleitung werden in ähnlicher Weise wie bei der Schreiboperation ausgeführt. Die Ausgangsdaten Do können auf einer Grundlage der durch den Bitleitungstreiber 8 ausgewählten Adresse aus dem Ausgangspuffer 12 ausgelesen werden.
  • Der Wortleitungstreiber der vorliegenden Ausführung zeigt nur einen auf der Grundlage des Decodierungssignals A-1 ausgewählten Pegelschieber 40-1. Wie in Fig. 4 gezeigt ist, enthält der Wortleitungstreiber jedoch die Pegel schieber 40-1 bis 40-l und die Ausgangsschaltungen 50-1-1 bis 50-l-m.
  • In Fig. 4 wird das Wortleitungs-Aktivierungssignal PW&sub1; in die Ausgangsschaltungen 50-1-1 bis 50-l-1 eingegeben. Auf die gleiche Weise werden die Wortleitungs-Aktivierungssignale PW&sub2; (in Fig. 4 nicht gezeigt) bis PWm in die Ausgangsschaltungen 50-1-2 bis 50-l-2 (in Fig. 4 nicht gezeigt) bis 50-1-m bis 50-l-m eingegeben. In der vorliegenden Ausführung besitzt nur eines der Wortleitungs- Aktivierungssignale PW&sub1; bis PW&sub1; den Pegel VP, während die anderen Wortleitungs-Aktivierungssignale den Erdpegel besitzen.
  • Der in Fig. 4 gezeigte Wortleitungstreiber besitzt die Pegelschieber 40-1 bis 40-l, die jeweils eines der Decodierungssignale A-1 bis A-l empfangen. Die Pegelschieber 40-1 bis 40-l sind an die jeweiligen Ausgangsschaltungen 50-1-1 bis 50-l-1, 50-1-2 bis 50-l-2, ..., 50-1-m bis 50- l-m angeschlossen. In der vorliegenden Ausführung besitzt nur eines der Decodierungssignale A-1 bis A-l den unter dem Pegel VP liegenden Pegel VCC, während die anderen Decodierungssignale den Erdpegel besitzen.
  • Es wird nun der Fall erläutert, daß das Wortleitungs- Aktivierungssignal PW&sub1; mit dem Pegel VP in die Ausgangsschaltungen 50-1-1 bis 50-l-1 eingegeben wird, während das Decodierungssignal A-1 mit dem Pegel VCC in die Pegelschieber 40-1 eingegeben wird, d. h., daß die Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; ausgewählt wird. Da der ausgewählte Pegelschieber 40-1 das Erdpegelsignal an den Knoten N45-1 ausgibt, ist zu diesem Zeitpunkt der Pegel VCC ein Spannungspegel des Gates des NMOS53-L-1 der ausgewählten Ausgangsschaltung 50-1-1, während der Erdpegel ein Spannungspegel des Gates des PMOS51-1-1 der ausgewählten Ausgangsschaltung 50-1-1 ist. Dann sind sowohl der NMOS53-1-1 als auch der PMOS51-1-1 im eingeschalteten Zustand. Somit wird über den NMOS53-1-1 und über den PMOS51-1-1 das Wortleitungs-Aktivierungssignal PW&sub1; mit dem Pegel VP an die Wortleitung WL&sub1;&submin;&sub1; geliefert.
  • Gleichzeitig ist z. B. ein Spannungspegel des Gates des NMOS53-l-1 der nicht ausgewählten Ausgangsschaltung 50- l-1 der Erdpegel, während ein Spannungspegel des Gates des PMOS51-l-1 der nicht ausgewählten Ausgangsschaltung 50-l-1, da das Decodierungssignal A-l den Erdpegel besitzt und der nicht ausgewählte Pegelschieber 40-l das Signal mit dem Pegel VP an den Knoten N45-l ausgibt, der Pegel VP ist. Dann sind sowohl der NMOS53-l-1 als auch der PMOS51-l-1 im ausgeschalteten Zustand. Somit wird das Wortleitungs-Aktivierungssignal PW&sub1; mit dem Pegel VP nicht über den NMOS53-l-1 und über den PMOS51-l-1 an die Wortleitung WL1-l geliefert.
  • Falls der Wortleitungstreiber, wie es bei dem früheren Wortleitungstreiber der Fall ist, den Pegelschieber 40-l nicht besitzt, empfängt der PMOS51-l-1 der nicht ausgewählten Ausgangsschaltung 50-l-1, da das invertierte Decodierungssignal A-l den Pegel VCC besitzt, den Pegel VCC. Da das Signal mit dem Pegel VP an die Source des PMOS51-l-1 angelegt wird, ist der PMOS51-l-1 dann in einem nicht vollständig ausgeschalteten Zustand. Somit läuft ein Teil des Spannungspegels des Wortleitungs- Aktivierungssignals PW&sub1; über den PMOS51-l-1 auf die nicht ausgewählte Wortleitung WLl-1 aus.
  • Wie oben beschrieben wurde, werden gemäß der vorliegenden Erfindung die NMOSs 53-1-1 bis 53-l-m zum Empfangen der Decodierungssignale A-1 bis A-l als das dem Eingangssignal jedes Pegelschiebers entsprechende Gate-Eingangssignal verwendet, während die PMOSs 51-1-1 bis 51-l-m, deren jeweiliges Gate auf der Grundlage der Spannung mit dem Pegel VP, der dem Ausgangssignal des Pegelschiebers entspricht, gesteuert wird, als Einrichtungen zum übertragen der Wortleitungs-Aktivierungssignale zu ihren entsprechenden Wortleitungen verwendet werden. Somit kann das Wortleitungs-Aktivierungssignal zuverlässig allein an eine gewünschte Wortleitung gesendet werden. Somit können die Lese- und Schreiboperationen stabil ausgeführt werden. Da ein Pegelschieber zum Ansteuern mehrerer Ausgangsschaltungen dient, kann ferner die Anzahl der Elemente reduziert werden.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung mit Bezug auf die erläuternde Ausführung beschrieben wurde, soll diese Beschreibung nicht in einem beschränkenden Sinn verstanden werden. Unter Bezug auf diese Beschreibung sind für den Fachmann auf dem Gebiet verschiedene Modifikationen der erläuternden Ausführung offensichtlich.

Claims (5)

1. Wortleitungs-Treiberschaltungsanordnung für mehrere Wortleitungen, mit: mehreren Ausgangsschaltungen (50) für die jeweiligen Wortleitungen, wovon jede eine erste und eine zweite Schalteinrichtung (53, 51) enthält, die parallel geschaltete Ladepfade von einer Spannungsquelle (PW) für die jeweilige Wortleitung (WL), wobei die erste Schalteinrichtung (53) einen Transistor eines ersten Leitfähigkeitstyps enthält und die zweite Schalteinrichtung (51) einen Transistor eines zweiten Leitfähigkeitstyps enthält, und einen geschalteten Entladepfad (52) zum Entladen der Wortleitung schaffen, wobei der geschaltete Entladepfad (52) einen Transistor des ersten Leitfähigkeitstyps enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsschaltungen in Gruppen (1...m) angeordnet sind und daß für die Wahl einer der Gruppen die erste Schalteinrichtung (53) jeder Ausgangsschaltung durch eine gemeinsame Decodierungssignalspannung (A) für die Gruppe, die zwischen einer ersten und einer zweiten Spannung wechseln kann, geschaltet wird und die zweite Schalteinrichtung (51) jeder Ausgangsschaltung der Gruppe durch eine Spannung geschaltet wird, die zwischen einer Pumpspannung, die größer als die erste und die zweite Spannung ist, und der ersten Spannung wechseln kann, und entsprechende der Spannungsquellen (PW1...PWm) für die Ladepfade der (l) Ausgangsschaltungen der Gruppe (m) vorgesehen sind, um wahlweise eine Pumpspannung anzulegen, die größer als die erste und die zweite Spannung ist, wodurch eine besondere der Ausgangsschaltungen (50) in der gewählten Gruppe gewählt wird, um ihre zugeordnete Wortleitung anzusteuern.
2. Treiber nach irgendeinem vorangehenden Anspruch, wobei die zweite Schalteinrichtung durch ein Treibersignal (N45) in Abhängigkeit vom gemeinsamen Decodierungssignal (A) geschaltet wird.
3. Treiber nach Anspruch 2, wobei das Treibersignal (N45) und das Decodierungssignal (A) entgegengesetzte Phase besitzen.
4. Treiber nach irgendeinem der Ansprüche 2 oder 3, mit mehreren Pegelschiebern (40), die enthalten: eine Spannungsversorgung mit der Pumpspannung (VP), einen Zwischenspeicher (44, 45) zum Wählen und Ausgeben des Treibersignals (N45) und eine Schaltschaltung (41, 42, 43) zum Steuern des Zwischenspeichers in Abhängigkeit vom gemeinsamen Decodierungssignal (A).
5. Treiber nach irgendeinem vorangehenden Anspruch, wobei der geschaltete Entladepfad (52) zur Erde führt.
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