DE693296C

DE693296C - Anordnung zur elektronenoptischen Abbildung von Folien mit Sekundaerelektronen

Info

Publication number: DE693296C
Application number: DE1936A0079797
Authority: DE
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1936-06-27
Filing date: 1936-06-27
Publication date: 1940-07-06

Description

Anordnung zur elektronepoptischen Abbildung von Folien mit Sekundärelektronen Zusatz zum Patent 656 747 Eis ist bekannt, bei Anordnungen, in denen Elektroden zur Erzeugung von Sekundärelektronen vorgesehen sind, auf der Oberfläche eines Trägermetalls hochemittierende Schichten niederzuschlagen, aus der -die Sekundärelektronen ausgelöst werden sollen. Eine ,solche hochemittierende Schicht hat jedoch mischt nur dann eine begrenzte Lebensdauer, wenn ,sie auf der den P 'nmärsitrahl zugewendeten Seite der Folie angebracht ist, da sie durch das Auftr effen der verhältnismäßig schnellen Primärelektronen, die die Sekundärelektronen erzeugen sollen,, alhnählich zerstört wird, sondern aus dem gleichen Grunde auch dann, wenn sie auf der anderen Seite der Folie ,angebracht ist. Diese: Gefahr der Zerstörung ist besonders ,dann groß, wenn - die Primärelektronen eine solche Energie 'haben, daß sie noch weitere Folien durchdringen können.
Das Hauptpatent betrifft nun ein Verfahren zur Abbildung von Folien mit Sekundärelektronen, insbesondere unter Verwendung elektrischer Linsen. Nach dem H.auptpateit sollen zur Abbildung die aus der Rückseite der Folien austretenden .Sekundärelektronen dienen und die Voltenergie der Prvmärelektroinen derart ,gewählt sein, daß für sie die mittlere Dicke (der Folien etwa die Grenzdicke darstellt. Nach der Erfindung wind nun eine Anordnung zur elektronenoptiischen Abbildung von Folien Mit Sekundärelektronen mit Hilfe dieses Verfahrens, insbesondere zur Verstärkung!elektronenop,tischer Bilder in elektronenoptischen Abbi1-dungsgeräten, wie Bildwandlern, Bralmschen OsziUo:graphen- oder Fernsehröhren o. dgl., so ausgebildet, daß die Folien auf der Seite, an der die SekundäreIektronen austreten, mit einer hochetmissionsfähgen Schicht, heispieasweiseeiner Cäsiumschicht oder einer OxydschIcht, bedeckt sind. Auf diese Weise wird die Schicht nahezu überhaupt nicht vom Primäreledctronendurchsetzt, da ja- die Dicke der Folie und die Energie der Primärelektronen so aufeinander abgestkm.mt sind, daß die Elektronen nur durch die Folie gelangen und etwa.. an der Grenzschicht zwischen Folie und hochemittierender Schicht Sekundärelektronen auslösen. "Allein die Sekundärelektronen von sehr niedriger Geschwindigkeit durchsetzen die hochemittierende Schicht, so daß eine Zerstörung dieser Schicht völlig vemüeden wird.
Die Erfindung ist, wie erwähnt, von besonderer Bedeutung für Verstärkeranordningen in elektronenoptischen Abbildungsgeräten, z. B. bei Bildwandlern, bei deneneine Folie in den Strahlengang eingeschaltet ist, in der Sekundärelektronen zur Verstärkung des Elektronenbildes erzeugt werden sollen. Diese Verstärkungsfolie, die im allgemeinen durch elektronenoptische Mittel auf den Fluoreszenzschirm. des Bildwandlers abgebildet wird, wird nach der Erfindung auf der dem Fluoreszenzschrrn, zugewandten Seite mit einer hochemüttierenden Schicht, z. B.. einer Cäsium-oder Oxydschcht, überzögen. Bei mehreren hintereinandergeschalteten Folien, die eine kaskadenförmige Verstärkung bezwecken, können unter Umständen auf jeder der Folien Hochemissionssubstanzen auf der der Primärstrahlseite abgewandten Seite angeordnet sein:

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Anordnung zur elektronenoptischen Abbildung von Folien mit Sekundärelektronen, bei der zur Abbildung die aus der Rückseite der Fällen austretenden Sekundärelektronen dienen und die Voltenergie der Primärelektronen derart gewählt Ist, daß für sie die mittlere Dicke der Folien etwa die Grenzdicke darstellt, mach Patent 656747, insbesondere zur Verstärkung elektronenoptischer Bildar in elektronenoptischen Abbildungsgeräten, wie Bildwandlern, Braunschen Oszillographen-oder Fernsehröhren o. dgl."dadurch gekennzeichnet, daß die Folien auf der Seifte, an der die Sekundärelektronen austreten, mit einer hochemissionsfähigen Schicht, beispielsweise einer Cäsiumschicht öder .einer Oxydschicht, bedeckt sind.
2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß zur kaskadenartigen Verstärkung :mehrere auf der der Prümärstrahlseite abgewandten Seite mit einer hochemi!ssionsfähigen Schicht bedeckte Folien hintereinander angeordnet und.