DE699988C

DE699988C - Anordnung zur Verstaerkung von Elektronenbildern

Info

Publication number: DE699988C
Application number: DE1936H0148342
Authority: DE
Original assignee: WALTER HEIMANN DR ING; GEORG WEISS DIPL ING
Current assignee: WALTER HEIMANN DR ING; GEORG WEISS DIPL ING
Priority date: 1936-07-22
Filing date: 1936-07-22
Publication date: 1940-12-11

Description

Anordnung zur Verstärkung von Elektronenbildern Es ist bekannt, elektronenoptische Bilder durch mehrfache Hintereinanderschaltung von Prallanoden derartig zu verstärken, daß eine Vervielfachung der ausgelösten Elektronen eintritt, wobei die bildmäßige Verteilung erhalten bleibt.
Hierbei ist von Nachteil, daß bei Verwendung von Gittern oder Folien als Prallanoden ein Teil der primären Elektronen durch das Gitter bzw. die Folie hindurchtritt. Werden die ausgelösten Sekundärelektronen zum Zwecke einer zweiten Abbildung beschleunigt, so sind in diesem Elektronenbündel die Primärelektronen enthalten, die dann noch zusätzlich beschleunigt werden. Dadurch, daß in dem Elektronenbündel Elektronen sehr verschiedener Geschwindigkeit enthalten sind, tritt: bei der Abbildung eine Verschmierung ein, die bei Mehrfachverstärkung zur vollkommenen Verwaschung des Bildes führt.
Erfindungsgemäß wird daher vorgeschlagen, die Primär- und Sekundärelektronen, die verschiedene Geschwindigkeiten besitzen, vor ihrer Abbildung derart zu trennen, daß nur die Sekundärelektronen zur sichtbaren Abbildung und evtl. Weiterverstärkung gelangen. Dies ist grundsätzlich auf verschiedene Weise möglich. Wie in den Abbildungen gezeigt wird, wird auf die Kathode I(1 ein Bild geworfen. Die dort entstehenden Primärelektronen werden mittels der Elektronenlinse:Mi zu einem entsprechenden Bilde auf der Prallanodel(2 gesammelt und erzeugen hier Sekundärelektronen. Die langsameren Sekundärelektronen werden erfindungsgemäß nach der Abb. i durch ein hinter die Prallanode l(2 geschaltetes elektrostatisches Prisma P in Gestalt von Ablenkplätten stärker ausgelenkt als die schnelleren Primärelektronen; so daß eine Auftrennung der Bilder erfolgt, die durch die Magnetspüle M2 bei Bs und Bp abgebildet werden. Es wird zweckmäßig sein, den Teil des Rohres, in dem der Leuchtschirm bzw. die nächste Prallanode oder Zerlegerblende ist, entsprechend der Bahn des Sekundärelektronenbündels zu krümmen. Das elektrostatische Prisma kann durch ein magnetisches ersetzt werden.
Eine zweite Lösung gemäß der Erfindung zeigt Abb. z. Hier erfolgt; die Auftrennung im Gegensatz zu der ersten Lösung radialsymmetrisch durch eine Elektronenlinse Z mit zerstreuender Wirkung, derart, daß die Kaustik der langsameren Sekundärelektronen jenen bedeutend größeren Querschnitt hat als die der schnellen Primärelektronen. Die Ruftrennung erfolgt dann durch eine "Blendung im Strahlengang der Primärelektronen. Es ist zweckmäßig, die Blende B gleichzeitig als Teil der Zerstreuungslinse auszubilden. Die Aufspaltung der Primär- und Sekundärelektronenbilder kann auch magnetisch erfolgen.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: -i. Anordnung zur Verstärkung von Elektronenbildern mittels mehrmaliger Abbildung auf hintereinanderliegendexi, als Gitter oder Folien ausgebildeten Prallanoden bei gleichzeitiger Elektronenvervielfachung, dadurch gekennzeichnet, daß hinter der ersten bzw. den weiteren Prallanoden derartige elektronenoptischeMittel; insbesondere elektrische Prismen, z. B. Ablenkkondensatoren, so vorgesehen sind, daß eine Trennung der primären und sekundären Elektronen erfolgt. a. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die hinter der ersten bzw. den weiteren Prallanoden vorgesehenen elektronenoptischen Mittel derart ausgebildet und angeordnet sind, daß eine radialsymmetrische Trennung der Primär- und Sekundärelektronen erfolgt. 3. Anordnung nach Anspruch a, dadurch gekennzeichnet, daß hinter der ersten bzw. den weiteren Prallanoden eine Elektronenlinse - mit derart zerstreuender Wirkung, daß die Kaustik der Sekundärelektronen einen bedeutend größeren Querschnitt hat als die der Primärelektronen, und eine Blende vom Durchmesser der Kaustik des Primärelektronenbildes in den Strahlengang der Primärelektronen eingefügt sind. Anordnung nach Anspruch 3,- dadurch gekennzeichnet, daß die Blende gleichzeitig einen Bestandteil der Elektronenlinse bildet.