DE2322649A1

DE2322649A1 - Wiedergabesystem fuer feldemissionsabtastmikroskop

Info

Publication number: DE2322649A1
Application number: DE2322649A
Authority: DE
Inventors: Vincent John Coates; Leonard Melvin Welter
Original assignee: American Optical Corp
Current assignee: Nanometrics Inc
Priority date: 1972-05-08
Filing date: 1973-05-03
Publication date: 1973-11-22
Also published as: JPS4956581A; NL179693C; US3767926A; DE2322649C2; GB1385170A; NL7306298A; CA977873A; DD107173A5; FR2184045A1; FR2184045B1

Description

PATENTANWALT D-1 BERLIN 33 23.April 197:

Diplom-Chemiker Telegramme: PATOCHEM BERLIN

AO 2544 US/O2/2O79

AMERICAN OPTICAL CORPORATION Southbridge, Mass., 01550, USA

Wiedergabesystem für Feldemissions-Abtastmikroskop

Es wird ein Wiedergabesystem für ein Feldemissions-Abtastmikroskop geschaffen, bei dem ein Feldemissionsstrahlsystem einen Strahl geladener Teilchen erzeugt, die auf eine zu untersuchende Probe auftreffen. Ein Scintillationsdetektor bildet ein Bildsignal aus, das in Relation zu dem Auftreffen des Strahls auf die Probe steht. Das Bildsignal wird in geeigneter Weise verstärkt und einem Signalgitter eines Fernseh-Betrachtungsmonitors zugeführt. Eine Kontrolleinheit lenkt synchron den Mikroskopstrahl und den Elektronenstrahl der Betrachtungsröhre in einem vorherbestimmten Muster ab. Das Muster ist so ausgebildet, daß ein 4 zu 1 Halbbild vorliegt, und die Halbbildsequenz wird so ausgewählt, daß die auf der Betrachtungsröhre ausgebildete Abbildung praktisch stationär in normaler Weise vorliegt.

Der Erfindungsgegenstand kann ein breites Anwendungsgebiet finden, im Wesentlichen jedoch ist er für die Anwendung bei einem Wiedergabesystem eines Feldemissions-Abtastmikroskopes geeignet und wird in diesem Zusammenhang erläutert.

Eines der sehr wesentlichen Vorteile von elektronischen Abtastmikroskopsystemen besteht in der Fähigkeit, direkt die Probe auf einem Kathodenstrahlröhren-Monitor zu betrachten. Dieses unmittelbare Betrachten der Probe ermöglicht es dem Praktiker, recht wertvolle Informationen zu erhalten, wenn

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auch die volle Auflösung der Vorrichtung lediglich auf einer photografischen Aufzeichnung der Abbildung erzielt werden kann. Bei anderen, nicht zu den Feldemissions-Kathodenvorrichtungen gehörenden elektronischen Abtastmikroskopen, ist die Intensität des Strahls erhablich begrenzt, und somit weist das von der Oberfläche der Probe durch Sekundärelektronen, reflektierte Elektronen oder andere ausgesandte Teilchen erzeugte Signal einen geringen Wert auf. Um eine direkte und gleichzeitige Betrachtung auf einer Kathodenstrahlröhre zu ermöglichen, ist es wesentlich, daß eine langsame (slow-mode) Abtastung der Probe erfolgt, sowie die Röhre angewandt wird um sicherzustellen, daß das erforderliche Verhältnis von Signal-zu-Rauschen vorliegt für eine ausdeutbare Übersendung der Informationen.

Mit dem Auftreten des Feldemissions-Abtastelektronenmikroskopes ermöglicht die erzielbare hohe Strahlenintensität ein schnelles Abtasten der Probe, und es liegt ein Monitor ähnlich wie bei dem normalen Fernsehen vor. Der Benutzer kann in bequemer Weise die Bildwiedergabe auf einem Videomonitor betrachten, ohne daß Bildschirme mit extrem hohem Nachleuchten angewandt werden, wodurch sich ein entsprechender Verlust an Betrachtungsinformation und Auflösung ergibt. Bei einem sogenannten langsamen Abtastmikroskopsystem wäre die gleiche Betrachtungsbequemlichkeit und Information nur erreichbar vermittels Anwenden eines hilfsweisen Videoband-Reproduktionssystems.

Der Raster des Monitors tritt auf und ist vollständig vergleichbar zu demjenigen des normalen Fernsehempfängersystems. In den USA schreiben die einschlägigen Standardwerte für das Fernsehen ein Abtastsystem mit 520 Zeilen vor, wobei ein 2 zu 1 Halbbildverhältnis vorliegt. Wenn auch 520 Zeilen bei einer normalen Betrachtungsentfernung für den Fernsehempfang vollständig ausreichend sind, ist es doch zwecks Erzielen zeilenfreier Photograf ien und besserer Auflösung, wie bei elektronischen Abtastmikroskopsystemen erforderlich, eine größere Anzahl an Abtastzeilen vorzusehen. Die größere Anzahl an Zeilen führt zu einer

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außerordentlichen Ausdehnung der erforderlichen Bandbreite des Wiedergabesystems und bedingt eine wesentliche Erhöhung der Kosten und des verwickelten Charakters der Anordnung.

Eine der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht somit darin, ein verbessertes Wiedergabesystem für ein Feldemissions-Abtastmikroskop zu schaffen^

Eine weitere der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, ein Wiedergabesystem für ein Abtastmikroskop zu schaffen, das geringstmögliche Anforderungen an die Bandbreite hat.

Eine weitere der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, ein Wiedergabesystem für ein Abtastmikroskop zu schaffen, das eine bequeme und normale Betrachtung durch die Bedienungsperson ermöglicht.

Kurz umrissen wird erfindungsgemäß ein. Wiedergabesystem für ein Feldemissions-Abtastmikroskop in Betracht gezogen. Ein Feldemissions-Strahlsystem erzeugt einen Strahl aus geladenen Teilchen, die beschleunigt und fokussiert werden für ein Auftreffen auf eine zu untersuchende Probe. Ein in geeigneter Weise bezüglich der Probe angeordneter Detektor bildet ein Bildsignal aus, das in Beziehung zu dem Auftreffen des Strahls auf die Probe steht. Eine dem Detektor zugeordnete Bildröhre gibt eine Abbildung der Probe auf einer empfindlich gemachten Oberfläche der Röhre wieder. Die Abbildung wird durch Modulieren des Bildröhren-Elektronenstrahls in Übereinstimmung mit dem Abbildungssignal ausgebildet. Eine Steuereinheit lenkt synchron den Strahl aus den geladenen Teilchen sowie den Bildröhrenstrahl in einem vorherbestimmten Abtastmuster ab. Das Muster wird so ausgewählt, daß wenigstens ein 3 zu 1 Halbbild vorliegt. Die Sequenz der Halbbilder bezüglich der getrennten Felder, die die einzelnen Halbbilder des Bildes bilden, wird so ausgewählt, daß die Bildröhrenabbildung praktisch stationär bei einer normalen Betrachtungsart ist.

Da die Bandbreite proportional dem Quadrat der Anzahl der Bildelemente ist, erfordert ein angenähertes Verdoppeln der Anzahl der Zeilen zwecks Erzielender erforderlichen Auflösung eine

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4 zu 1 Zunahme In der Bandbreite. Um dieses Erfordernis der Bandbreite zu begrenzen, unter Berücksichtigung der Tatsache, daß ebenfalls eine direkte Proportionalität bezüglich der Anzahl der Halbbilder pro Phase besteht - ein Halbbild weist eine vollständige Rasterabtastung auf - wurde das Halbbildverhältnis von einem normalen 2 zu 1 auf ein 4 zu 1 Verhältnis erhöht, wodurch die Bandbreite um die Hälfte verringert wurde. Eine geeignete Auswahl des Nachleuchtens der Bildröhre unter Berücksichtigung des normalen physiologischen Nachleuchtens des Auges ermöglicht eine Erhöhung des Halbbildverhältnisses , ohne daß sich eine Verschlechterung der betrachteten Abbildung ergibt.

Bei Betrachten der Abbildung auf der Bildröhre mit einem Halbbildverhältnis, das größer als 2 zu 1 ist, wie z.B.einem 4 zu Verhältnis, wird festgestellt, daß ein normales Sequenz-Feldabtastmuster bei dem Auge des Betrachters zu einem Kaskadeneffekt führt. Die Gründe, die zu den visuellen, physiologischen und psychologischen Faktoren führen, die zur Bildung dieses "Wasserfalleffektes" bei dem Auge des Betrachters führen, sind unbekannt. Eine Hypothese geht dahin, daß bei dem Aufbringen jeder Zeile aufeinanderfolgender Felder auf die Oberfläche der Bildröhre eng benachbart zueinander, das Auge dazu neigt, diesen Zeilen zu folgen, wodurch sich eine scheinbar-bewegende Abbildung entweder in einer senkrechten oder nach unten gerichteten Richtung darbietet in Abhängigkeit von der Bewegungs- oder Anordnungsrichtung der Abtastzeile. Erfindungsgemäß wird dieses Problem ausgeräumt und die Erfordernisse bezüglich der Bandbreite des Systems begrenzt.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im Folgenden näher beschriebene Es zeigen:

Fig. 1 eine diagrammförmige Darstellung eines Wiedergabesystems eines.Feldemissions-Abtastmikroskops.

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Fig. 2 eine teilweise diagrammförmige Darstellung eines Betrachtungsrasters, das das erfindungsgemäße Abtastmuster wiedergibt.

Fig. 3 eine teilweise diagrammförmige Darstellung eines Betrachtungsrasters, bei dem ein normales Abtastmuster angewandt wird, das ein 4 zu 1 Halbbildverhältnis aufweist.

Das Wiedergabesystem des Abtastmikroskopes nach der Fig. 1 arbeitet als ein Feldemissions-Elektronenstrahlsystem 10, das in Verbindung steht mit einer Probenkammer 20. Die erforderlichen Arbeitsspannungen für das Elektronenstrahlsystem 10 werden durch eine Spannungseinheit 17 und Beschleunigungsspannungseinheit 16 geliefert. Die Abtast- und Synchronisations-Steuereinheit 32, die Detektoreinheit 31 und der Bildröhrenmonitor 30 stellen den restlichen Teil des Wiedergabesystems dar.

Das Feldemissions-Strahlensystem 10 ist typisch für die derzeitigen einschlägigen Vorrichtungen, und einschlägige Erläuterungen finden sich in "The Review Of Scientific Instruments" Band 39, Nummer 4, April 1968 mit der Bezeichnung ELECTRON GUN USING A FIELD EMISSION SOURCE, Verfasser A. V. Crewe, D. N. Eggenberger, J. Wall, L. H. Welter. Weitere Einzelheiten bezüglich eines derartigen Mikroskopinstrumentes finden sich in der US-PS (US-Patentanmeldung SN 46 425). Eine Feldemissionsspitze 11, die eine in geeigneter Weise geformte Kathode aus entsprechendem Metall darstellt, wie in der oben angegebenen Veröffentlichung beschrieben, bildet den Strahl der geladenen Teilchen aus, sobald dieselbe in ein ausreichend hohes elektrisches Feld gebracht wird. Bei den elektronischen Abtastmikroskopsystemen sind die geladenen Teilchen natürlich Elektronen. Bei einer Feldionen-Vorrichtung jedoch wirkt die Spitze als eine Ionenquelle, wobei die Ionen aus einer Quelle im Inneren der Struktur der Feldemissionsspitze 11 austreten. Die zwischen der Feldemissionsspitze 11 und einer ersten Anode 12 geschaltete

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Spannungseinheit 17 führt den erforderlichen Feldgradienten für das Ausbilden der geladenen Teilchen zu. Die Beschleunigungsspannungseinheit 16, die zwischen die Feldemissionsspitze 11 und eine zweite Anode 13 geschaltet ist und sich weiter stromab befindet, ergibt die erforderlichen Beschleunigungskräfte und bedingt zusammen mit der Anode 12 ein Fokussieren der Teilchen auf eine angestrebte Strahlengröße. Diese Art des Strahlsystems stellt im wesentlichen eine selbstfokussierende Einheit dar, ohne daß weitere Linsensysteme erforderlich sind, es sei denn, daß spezielle Anforderungen bezüglich der Auflösung vorliegen. Eine Strahlenöffnungsplatte 14, die hier distal bezüglich der zweiten Anode 13 angeordnet gezeigt ist, kann in geeigneter Weise an beliebigen Stellen in dem Strahlsystem angeordnet werden und bestimmt im wesentlichen die Form und Größe des geladenen Teilchenstrahls .

Da es sich hier um eine Abtastvorrichtung handelt, ist es erforderlich, daß der Strahl aus geladenen Teilchen in einem vorherbestimmten Muster abgelenkt wird, um so in geeigneter Weise die zu untersuchende Probe abzutasten. Die Ablenkspulen 15 stehen unter der Einwirkung der Abtast- und Synchronisations-Steuereinheit 32 unter Ablenken des Strahls in geeigneter Weise. Bei diesem System wird der Strahl waagerecht über die Probe geführt, kehrt sodann schnell zu einer Ausgangsstelle senkrecht verschoben gegenüber der ursprünglichen Ausgangsstelle zurück, und die nachfolgenden Zeilen werden sodann in ähnlicher Weise zur Abtastung gebracht. Bei Führen des waagerechten Strahls über die Probe wird derselbe kontinuierlich senkrecht verschoben, wodurch schließlich die gesamte Oberfläche der Probe abgedeckt wird. Diese Art des Abtastmusters ist auf dem Gebiet der Mikroskopie allgemein bekannt und durchaus vergleichbar zu demjenigen, wie es bei der übertragung von Fernsehbildern zur Anwendung kommt.

Nach dem Ablenken wird der Strahl durch eine verbindende öffnung 18 zwischen dem Strahlsystem 10 und der Probenkammer

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20 geführt. Die Probe 21 befindet sich in dem Laufweg des Elektronenstrahls und wird in der weiter oben beschriebenen Weise abgetastet. Das Auftreffen des Strahls auf die Probe

21 führt zu der Aussendung von Sekundärteilchen/ bei dem spezifischen hier diskutierten Fall um Sekundärelektronen/ sowie reflektierte Elektronen, die durch die Einheit 22 festgestellt werden können. Die Pühlvorrichtung 22 ist eine Scintillationsvorrichtung, wie sie auf dem einschlägigen Gebiet allgemein bekannt ist und wandelt die anhand der Probe 21 erhaltenen Signale in ein verstärktes elektrisches Signal um, das sodann durch die Detektoreinheit 31 weiter verarbeitet werden kann. Die Fühleinheit 22 weist zusätzlich zu dem Scintillationsdetektor normalerweise einen Photomultiplier oder ähnliches Element auf. Der Detektor 31 verstärkt weiterhin das Signal und modifiziert dasselbe in geeigneter Weise für die weitere Verarbeitung im Zusammenhang mit einer Bildröhre eines normalen Fernsehmonitors. Diese Detektoranordnung des Wiedergabesystems läßt sich somit so betrachten, daß dieselbe die Fühleinheit 22 sowie den Detektor 31 aufweist .

In der üblichen Bildröhre 30 ist eine Betrachtungsfläche 35 vorgesehen, die eine empfindlich gemachte Oberfläche aufweist. Dieselbe sendet bei dem Auftreffen eines Elektronenstrahls Licht aus. Normalerweise ist die empfindlich gemachte Oberfläche mit einem phosphoreszierenden oder anderem geeigneten Material überzogen. Der Strahl der Bildröhre wird durch eine thermoionische Kathode erzeugt und durch elektrostatische Platten abgelenkt, siehe das Bezugszeichen 33, der Bildröhre 30. Wenn die auf der Fläche der Bildröhre 30 ausgebildete Abbildung koherent mit den von der Probe 21 abgeleiteten Signalen sein soll, ist es wesentlich, daß ein festgelegtes und bekanntes Verhältnis sowohl bezüglich der Zeit als auch Phase zwischen dem Elektronenstrahl des Feldemissions-Strahlsystems 10 und dem Elektronenstrahl der Bildröhre 30 aufrecht

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erhalten wird. Normalerweise erweist es sich als zweckmäßig, beide Strahlen genau synchron mit dem durch den Detektor 31 gebildeten Signal zu halten, wodurch eine zeitlich genau abgestimmte Abbildung der zu untersuchenden Probe ausgebildet wird. Wie weiter oben angedeutet, kann man sich in vorteilhafter Weise des Nachleuchtens der Fläche der Bildröhre 30 als auch des Nachleuchtens des Auges bedienen, um so die Erfordernisse bezüglich der Bandbreite des Betrachtungssystems zu begrenzen. Ein vollständiges senkrechtes und waagerechtes überstreichen der Oberfläche einer Probe ist unter dem Begriff des Feldes bekannt. Wenn das Feld alle waagerechten Abtastlinien enthält, die- für das Erzielen einer Auflösung des Systems erforderlich sind, sind die Begriffe "Feld" und "Halbbild" bezüglich eines gegebenen Systems äquivalent. In denjenigen Fällen jedoch? wo eine Halbbildbildung angewandt wird, d.h. jedes Feld lediglich e±n®n Anteil der gesamten Anzahl an Eeilen in dem Muster ©athält, ist sodann eine An- zshl an Feldern erforderlich _g um ein vollständiges Halbbild oder Rahmen {χτβμβ) h®«rsust©Ii@n ©der auszubilden. In dem Fall siaes 2 ga 1 KalbbiIetereEfoSltsiisges^ liegen zwei Felder pro Halbbild oder Rahmen »ογ, während in dsm Fall eines. 4 zu 1 7eHh.IItaiss©s vier Felder pro Halbbild oder Rahmen vorliegest Bei dieser ÄusfÜhrtangsform hat sich - eine Gesamtzahl von 1155 Äbtastseilen als ausreichend erwiesen, um ein 250 "Ängstrom Auflösungssystem zu erzielenο Dies bedeutet, daß angenähert 281 teilen pro Feld "vorliegen. Das erste Feld wird durch diesen Röhrenstrahl auf dessen empfindlich gemachter Fläche überstrichen, wobei ein Raum äquivalent drei Zeilen zwischen jeder aufeinanderfolgenden Zeile des Feldes verbleibt. Das nächst nachfolgende Feld überstreicht eine zweite Zeile, während die dritten und vierten Felder die verbleibenden zwei Zeilen des Musters füllen, so daß nach Abschluß der vier Felder ein vollständiges Bild mit größtmöglicher Auflösung auf der Fläche der Bildröhre 30 erhalten wird. Die Synchronisationssignale, die erforderlich sind, um die Abtastzeilen, so-

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wohl senkrecht als auch waagerecht bezüglich der Bildröhre 30 und der Ablenkspulen 15, in einem genauen Phasenverhältnis zu halten, werden in die Ausgangssignale der Abtast- und Synchronisations-Steuereinheit 32 eingeführt. Das auf das Signalgitter 34 der Bildröhre 30 beaufschlagte Ausgangssignal des Detektors 31 modoliert den Elektronenstrahl der Röhre und beeinflußt somit die Helligkeit und den Kontrast der Abbildung unter Erzielen eines erkennbaren Bildes der Probe 21.

Unter Bezugnahme auf die Figur 3 ist dort ein Teil eines normalen Rasters gezeigt, das ein 1 zu 4 Halbbildverhältnis aufweist. Die in der Fig. 3 wiedergegebenen Zahlen beziehen sich auf die Zeitsequenz oder Aufeinanderfolge der einen vollständigen Rahmen bildenden Felder. Bei einem normalen Wiedergabesystem werden die Zeilen des zweiten Feldes an der nächsten physikalischen Stelle auf der Fläche der Bildröhre 30 aufgebracht. Jedes aufeinanderfolgende Feld wird wiederum in dem nächst zur Verfügung stehenden, zugeordneten Zeilenraum aufgebracht, und somit liegen sowohl die Zeitsequenz als auch die Ordnung der Lage der Feldseilen in Phase vor. Wie weiter oben angegeben, ist es genau diese Ordnung, die in dem Auge des Beobachters einen Kaskadeneffekt oder "Wasserfalleffekt" in der Abbildung bedingt. Dieser Effekt ist übermäßig anstrengend für den Beobachter und führt zu einem Verlust der effektiven Auflösung gegenüber dem Auge. Es wurde nun gefunden, daß eine physikalische Unterbrechung des Sequenzmusters der Abtastfelder diesen Kaskadeneffekt ausschaltet und zu einer praktisch stationären Abbildung gegenüber dem Auge des Beobachters führt. Die Fig. 2 zeigt ein Sequenzmuster, das die angestrebten Ergebnisse liefert. Das erste Feld des Halbbildes oder Rahmens wird in bekannter Weise aufgebracht. Das zweite Feld jedoch wird in der Lage aufgebracht, wo sich normalerweise das dritte Feld finden würde, und das dritte Feld wird aufgebracht, wo sich normalerweise das vierte Feld befinden würde, das vierte Feld wird.in dem verbleibenden Schlitz

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oder Lage des Rasters aufgebracht. Präziser ausgedrückt würde eine normale Feldordnung den Zahlenwerten 1, 2, 3, 4, 1 usw. entsprechen, während das Raster des erfindungsgemäßen Wiedergabesystems z.B. einem Muster 1, 4, 2, 3, 1 usw. folgen würde, wodurch jedenfalls mehr als zwei aufeinanderfolgende Feldzeilen daran gehindert werden, in der nächsten physikalischen Ordnung aufzutreten. Ein weiteres Muster, das sich für die erfindungsgemäßen Zwecke als geeignet erwiesen hat, besteht in der Sequenz 1, 3, 2, 4, 1 usw.. Das Erzielen derartiger waagerechter Abtastmuster stellt ein recht verwickeltes elektronisches Problem dar, jedoch sind hier nur die Kenntnisse des Durchschnittsfachmanns erforderlich. Entsprechende Erläuterungen finden sich in zahlreichen Veröffentlichungen, z.B. in "Pulse And Digital Circuits" von Jacob Millman und Herbert Taub, McGraw-Hill Electrical and Electronic Engineering Series, 1956, Kapitel 17, mit der Bezeichnung PULSE AND DIGITAL SYSTEMS. Bei Erhöhen des Halbbildverhältnisses wird natürlich' die Auswahl der Abtastsignale und deren Sequenz weiter verwickelt, jedoch läßt sich dies alles noch vom durchschnittlichen Fachmann beherrschen.

Erfindungsgemäß wird somit ein verläßliches Wiedergabesystem für die Feldemissions-Abtastmikroskopie geschaffen, das preiswert ist und geringstmögliche Anforderungen bezüglich der Bandbreite aufweist und weiterhin dem Auge des Betrachters eine praktisch stationäre Abbildung anbietet.

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Claims

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Patentansprüche

f lJ Wiedergabesystem für Feldemissions-Abtastmikroskop, dadurch gekennzeichnet , daß ein Feldemissions-Strahlensystem (10) für das Erzeugen eines Strahls aus geladenen Teilchen, die auf eine Probe (21) auftreffen, eine Detektoranordnung (31) für das Ausbilden eines Abbildungssignals in Relation zu dem Auftreffen des Strahls auf die Probe J.21) , sowie eine Bildröhre (30) in Arbeitsverbindung mit der Detektoranordnung (31) für die Wiedergabe einer Abbildung der Probe (21) auf einer empfindlich' gemachten Fläche vermittels Modulieren eines Strahls in Übereinstimmung mit dem Abbildungssignal, sowie eine Steueranordnung (32) vorgesehen is·::, die sysehron dsn Strahl der geladenen Teilchtf-ΐΛ "and den Strahl eier Bildröhre in einem vorlisrbe- -3tlmrate3 Muster ablenkt ? de.-?." auster ein wenigstens 3 zu 1 Ealbbil-i aufweist_f di® Ealbbildsequenz so ausgewählt ist* daß die Abbildung für siivs ^, rmale Betrachtung praktisch stationär ist,

2, üisclergabesystsai für Faldsmissions-Abtastmikroskop ΐΐε,αίι 5i.-„3pruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß dia geladenen Teilchen Elektronen sind, das Feldemissionsstrahlensystem eine Feldemissionsspitze (11) , eine erste Fsldanode (12) und sine zv?aite Anode (13)· aufweist, die Feldanode (12) und die zweite Anode (13) zu einer Beschleunigung und Fokussierung der durch die Feldemissionsspitze (11) erzeugten Elektronen führt.

3. Wiedergabesystem für Feldemissions-Abtastmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß das Halbbildverhältnis sich auf 4 zu 1 beläuft, fünfzehn Bilder pro Sekunde vorliegen, die Halbbildsequenz das Auftreten von mehr als zwei aufeinanderfolgenden Feldlinien in den nächst nachfolgenden, benachbarten Stellen in dem Muster inhibiert.

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4. Wiedergabesystem für Feldemissions-Abtastmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß
sich die Halbbildsequenz auf 1, 4, 2, 3 und 1 usw. beläuft.

5. Wiedergabesystem für Feldemissions-Abtastmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet _r daß
sich die Halbbildsequenz auf 1, 3, 2, 4 und 1 usw. beläuft.

6. Wiedergabesystem für Feldemissions-Abtastmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Detektoranordnung (31) eine Scintillations-Fühlvorrichtung (22) aufweist, das Abbildungssignal erzeugt wird aufgrund der durch die Probe (21) reflektierten und sekundären
Elektronen.

7. Wiedergabesystem für. Feldemissions-Abtastmikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß die Bildröhrenfläche (35) Phosphor aufweist, das gegenüber den Elektronen empfindlich JLst, aus denen der Elektronenröhrenstrahl besteht.

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