DE656747C

DE656747C - Verfahren zur elektronenoptischen Abbildung von Folien mit Sekundaerelektronen

Info

Publication number: DE656747C
Application number: DEA77724D
Authority: DE
Inventors: Dipl-Ing Rudolf Behne
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1935-11-22
Filing date: 1935-11-22
Publication date: 1938-02-15

Description

Verfahren zur elektronenoptischen Abbildung von Folien mit Sekundärelektronen Es ist bereits bekannt, zur elektronenoptischen Abbildung dünner Folien so zu verfahren, d.aß man sie mit schnellten E.liektronen bestrahlt. In der Folie werden je nach ihrer Dicke mehr oder weniger Elektronen gestreut; das entstehende Elektronenbild entspricht also in seiner Helligkeitsverteilung der Dicke der durch.§.trahlten Folie. Damit nun die hindurchkommenden, zur Abbildu,ng der Folie dienenden Elektronen zur Vermeidung des chromatischen Abbildungsfehlers möglichst homogene Ges.cliwndigkei:t@en haben, ist @es notwendig, die Folie mit Elektronen sto hoher Energie zu bestrahlen, diaß .die Elektronen auf dem Wege durch die Folie keine merklichen Gieschwindigkeätsverluste .erleiden. Für ,einte derartige Durchsitrahlunig von Aluminiumfolien von i p. Dicke ist bereits eine Energie von ,etwa 6okV erforderlich. Die Erforde@rlichkieit so hohe, Spannungen bei trotzdem nur geringer Po.liendicke ist ein Nachteil dieses Verfahrens, der seine Anwendungsmögl:ichlwiten @erheblich einschränkt. Er fällt besonders schwer ins Gewicht, wenn elektrische Linsten zur Abbildung benutzt verdien (wie dies im Falle nicht vermeidbarer Spannungsschwankungen unungä.nglich ist), da .die Linsen an entsprechend hohle Spannlungen gelegt verdien müssen, tun die für die schnellen Elektronen erforderlich-en Brechkräfte zu besitzen.
Es ist ferner vorgeschlagen wiorden, ein festes Metall mit Elektronen oder Ionen zu bestrahlen und mit Hilfe der an der Vorderseite (Auftr effs@eite der Primärelektronen.) oder reflektierten Elektronen abzubilden (RÜckstrahlungsmethode). In @diesem Falle ist jedoch die Zahl der zurückkommenden Elektronen nicht durch den Aufbau, siondern im wesentlichen durch die Art und Oberflächenbeschaffenheit dies beschossienen Metalls bestimmt.
Gemäß der Erfindung werden die Nachteile der beiden bekannten Verfahren dadurch vermieden, daß zur Abbildung der Folie die aus, der Rückseide (Austrittsseite der Primärelektronen) austretenden Sekundärelektronen benutzt werden und die Voltenergie der Primärelektronen derart gewählt wird, daß für sie die mittlere Dicke der zu untersuchenden Folie ,etwa die Grenzdicke (nach Lenard) darstellt. Dadurch wird sowohl die Sekundärstrahlung weitgehend homogen als auch, das Verhältnis der Intensität der ausgelösten Sekundärstrahltmg zu der der etwa noch hin.durchgegangene!n Primärstrahlung besonders günstig.
Bei Einhaltung dieser Bedingung liefern die Sekundärelektronen biet ;nicht völlig biomogenen Folien ein ,elektronenoptisches Bild der Struktur der Folie. Dabei werden dickte Stellen, bei dienten die Sekundä,relektroinen bereits in solcher Tiefe ausgelöst werden, d,aß sie nicht mehr an die Obierfläche gelangen können, dunkel ersicheinen, die dünnen dagegen 1e11. Die auf diese Weisse erhaltenen Bilder der Folie sind, wie die der Erfindung zugrunde liegenden Versuche gezeigt haben, bedeutend kontrastreichier als die mit Aden Prirnäre.lektronen aufgenommenen Bilder.
Gegenüber der Miethode der Abbildung mit,. Primärelektronen (Durchstrahlun,gsmethodie).: hat :also die vorliegende Methode :die folgen= den Vorteile i. Bei gleicher Foliendicke liegt ein viel geringerer Spannungsbedarf vor (bei i 1c AI sind z. B. nur g kV statt 6o kV erforderlich ).
z. Bei gleicher Spannung besteht die Möglichkeit, viel dickerie Folien zu untersuchen (bei 6o kV q.5 #t statt i #t).
3. Infolge der geringeren Spannung wird die Benützung elektrischer Linsen möglich; die wegen ihrer Unempfindlichkeit gegenüber Spannungsschwankungen eine bessere Abbildung bewirken.

Claims

PATENTANSPRÜCHE i. Verfahren zur elektronenoptischen Abbildung von Folien zeit Sekundärelektronen; insbesondere unter Verwendung elektrischer Linsen, dadurch gekennzeichnet, daß zur@Abbildung die aus der Rückseite der Folien austretenden Sekundärelektronen dienen und die Voltenergie :der Primärelektronen derart gewählt ist, daß für sie die mittlere Dicke der Folien etwa die Grenzdicke darstellt.
2. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch i zur Untersuchung der Struktur der Folie.
3. Anordnung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch i öder 2, :enthaltend ein System elektrischer Linsen; insbesondere ein Imxnerslonssystem zur Abbildung der Folie: