DE950606C

DE950606C - Blendensystem zur Aussonderung enger Strahlenbuendel fuer mikroskopische Zwecke

Info

Publication number: DE950606C
Application number: DEA3739D
Authority: DE
Inventors: Dr Med Habil Hellmut Anton
Original assignee: DR MED HABIL HELLMUT ANTON
Current assignee: DR MED HABIL HELLMUT ANTON
Priority date: 1939-03-15
Filing date: 1939-03-15
Publication date: 1956-10-11

Description

Blendensystem zur Aussonderung enger Strahlenbündel für mikroskopische Zwecke Es ist ein Verfahren zum Zwecke des Nachweises sowie der Messung und Zählung von Einzelteilchen beliebiger Art, Form und Größe in mikroskopischen Objekten bekannt, das darauf beruht, daß Energieimpulse von Wellen- oder Korpuskularstrahlungen von einem die Größe der Einzelteilchen nicht überschreitenden OOuerschnitt durch die Einzelteilchen geschwächt oder abgelenkt werden, und daß bei einer meßbaren Bewegung der Teilchen gegen den Strahl oder umgekehrt die vom Eintritt bis zum Austritt wechselnde Stärke des nach Passieren des Objekts auf eine auf den Energieimpuls ansprechende Einrichtung auftreffenden. Strahls sowohl ein Anzeichen für die Anwesenheit als auch ein Maß für die jeweilige Größenabmessung des Teilchens abgibt (deutsche Patentschrift 485 i55).
Es ist weiter eine Vorrichtung zur Erzeugung sehr enger Strahlenbündel, wie solche zur Durchführung dieses Verfahrens erforderlich sind, unter der Bezeichnung Kreuzkanalblende bekannt, die im wesentlichen darauf beruht, daß zwei zueinander senkrecht stehende Systeme in den Strahlengang eingeschaltet werden, welche je aus zwei hochpolierten und aus einem die betreffende Strahlenart absorbierenden Material hergestellten Planplatten bestehen, zwischen. denen eine nichtabsorbierende, sehr dünne Schicht, insbesondere eine Luftschicht, eingeschlossen ist, derart, daß das Strahlenbündel in der Schnittlinie der beiden Ebenen der Zwischenschichten verläuft (deutsche Patentschrift q.85156).
Es sind ferner Verfahren und Vorrichtungen zur elektronenmikroskcpiscllen und röntg--nmikroskopischen Darstellung der Struktur mikroskopischer Objekte vorgeschlagen worden., die darin. bestehen, daß das Objekt nach dem aus der Fernsehtechnik bekanntere Prinzip der Bildfeldzerlegung wiedergegeben wird, wozu beispielsweise zwischen einer Röntgenstrahlen.quelle und einem Strahlungsindikator ein Blendensystem angeordnet wird, das aus der Strahlung der Strahlenquelle ein Strahlenbündel ausblendet, dessen Querschnitt in der Objektebene die Flächenausdehnung eines differenziert darzustellenden Objektelementes nicht überschreitet, und eine Relativbewegung zwischen Objekt und ausgeblendetem Strahlenbündel herbeigeführt wird und ferner das ausgeblendete, durch die Struktur des Objektes modulierte Strahlenbündel auf den Strahlungsindikator geführt wird, dessen Ausgangs-'-.eistung einen bildschreibenden Strahl derart steuert, daß ein vergrößertes Durchstrahlungsbild des Objektes gewonnen wird, wobei die Relativbewegung des bildschreibenden Strahlenbündels zur Bildfläche gegenüber derjenigen des abtastenden Strahlenbündels zum Objekt um den gewünschten Vergrößerungsfaktor vergrößert durchgeführt wird Bei diesem Verfahren wird also ein Objekt mikroskopischer Größenordnung punktweise mit einem sehr feinen fadenförmigen Strahlenbündel (nachfolgend als Nadelstrahl bezeichnet), das durch ein räumlich wirkendes Blendensystem aus der Strahlung einer Strahlenquelle ausgesondert wird, durchstrahlt, und die durchgegangene Strahlung der einzelnen Objektpunkte wird zeitlich nacheinander dargestel lt.
Je nach der Natur der zur Durchstrahlung verwendeten Strahlung ist das Wirkungsprinzip dieser bekannten Anordnung verschieden.
Bei der Verwendung einer Kreuzkanalblen.de zur Aussonderung des Nadelstrahls und Anordnung des Strahlungsindikators hinter dem Objekt ohne Zwischenschaltung eines weiteren Blendensystems zwischen Objekt und StraElungsindikator ist die Gewinnung von Absorptionsbildern der darzustellenden Objektstruktur möglich.
Bei der Verwendung solcher Strahlung, die.im Objekt stark gestreut wird, beispielsweise Elektronenstrahlen mittlerer bis kleiner Geschwindigkeit oder Röntgenstrahlung, ist noch ein anderes Abbildungsprinzip möglich: Läßt man nämlich den durch das Objekt gegangenen Nadelstrahl vor seinem Auftreffen auf dem Strahlungsindikator noch einmal durch ein Blendensystem gehen, das eine genügend feine Öffnung aufweist, so wird durch dieses zweite Blendensystem ein Teil des durch Streuung im Querschnitt verbreiterten Strahles von dem Auftreffen auf dem Strahlungsindikator abgehalten und damit von der Mitwirkung bei der Bilddarstellung ausgeschaltet. An den massedichtesten Stellendes, Objektes ist die Streuung nun bekanntermaßen am größten. Der Nadelstrahl wird also beim Durchgang durch diese Objektpunkte am meisten in seinem Querschnitt vergrößert und seine Strahldichte am stärksten verdünnt. Beim Durchgang durch sehr massekleine Objektelemente wird dagegen sein Querschnitt kaum vergrößert, und die Strahldichte bleibt ziemlich ungeändert. Im ersteren Fall wird durch das zweite Blendensystem ein großer Anteil der Strahlungsintensität des durch die erste Blende ausgesonderten Nadelstrahles von der Mitwirtzung bei der Bildherstellung ausgeschaltet, im zweiten Fall sehr viel weniger.
Es ist bekannt, als Blende, die dem Objekt nachgeschaltet ist, eine zusätzliche Kreuzkanalblen.de zu verwenden. Es ist aber technisch nicht ganz leicht, die wirksamen Kanäle zweier voneinander unabhängiger Kreuzkanalblenden in Visierlinie zu bringen, wie es zu diesem Zweck erforderlich ist.
Gegenstand vorliegender Erfindung ist die weitere Ausbildung der bekannten Kreuzkanalblende für mikroskopische Zwecke.
Sie betrifft insbesondere Kombinationen zweier oder mehrerer Kreuzkanalblenden., bei denen durch erfindungsgemäße Anordnungen dafür Sorge getragen ist, daß die wirksamen Kanäle zwangläufig in Visierlinie liegen: Sie betrifft ferner die besondere Ausgestaltung von Kreuzkanalblenden für den vorgesehenen. Verwendungszweck, wie sie sich aus weiteren Unteransprüchen ergibt.
Zur Ermöglichung der genauen Fluchtung der Blendenkanäle zweier Kreuzkanalblenden. in einer beispielsweisen erfindungsgemäßen Ausführungsform ist das Blendensystem aus zwei ineinander einsetzbaren Teilen gebildet, von denen der eine Teil aus einer mit einer Lochung versehenen einseitig hochgradig ebenen Platte und zwei weiteren Aenfalls einseitig hochgradig ebenen Platten besteht, die unter Verwendung dünner Folien als Abstandshalter so miteinander verbunden sind, da.ß zwei hintereinanderliegende enge Schlitze gebildet werden, und von denen der andere Teil aus zwei ebenfalls einseitig hochgradig ebenen U-förmig gestalteten Platten besteht, die gleichfalls unter Verwendung dünner Folien so miteinander verbunden sind, daß zwei hintereinanderliegende enge Schlitze gebildet werden, wobei die genannten beiden Teile des Blendensystems so ineinander gesetzt sind, daß sich die Schlitze des einen Teils mit denen des anderen Teils kreuzen.
Der große Vorzug dieses erfindungsgemäßen Blendensystems gegenüber Anordnungen mit zwei voneinander unabhängigen Kreuzkanalblenden liegt darin, daß bei dieser Anordnung die Kanäle ohne weiteres Zutun, insbesondere ohne jede vorherige Ausrichtung, dauerhaft stets automatisch in Visierlinie angeordnet sind.
Die Konstruktion und Wirkungsweise dieses Blendensystems geht aus den Abb. 1, 2 und 3 klar hervor: Drei einseitig hochgradig ebene Platten 1, 2 und 3 (Abb. i), von denen die eine mit einer Öffnung q. versehen ist, werden, unter Zuhilfenahme von vier Folien, die vorzugsweise aus in an sich be- kannter Weise durch Kathodenzerstäubung hergestellten Metallschichten bestehen und von denen in Abb. i nur die drei Folien 5, 6 und 7 sichtbar sind, so zusammengesetzt, wie es Abb. i zeigt, wobei dafür Sorge getragen ist, daü die hochgradig ebenen Flächen einander zugekehrt sind.
Auf diese Weise entstehen zwei para11el-epipedische Hohlräume, von denen der eine (8) in Abb. i sichtbar ist, während der andere zwischen den Platten i und z liegt und in Abb. i verdeckt ist.
Aus zwei weiteren ebenfalls einseitig hochgradig ebenen Platten 9 und io von U-förmiger Gestalt (Abb. 2) wird unter Zuhilfenahme von drei vorzugsweise ebenfalls durch Kathodenzerstäubung hergestellten Folien., von denen. in Abb. 2 zwei, nämlich i i und 12, sichtbar sind, das in Abb.. 2 dargestellte Blendensystem hergestellt. Auch dieses weist zwei parallelepipedische Hohlräume auf, die hintereinan.derliegen und von denen der eine Hohlraum 13 in Abb. 2 sichtbar ist, während der andere verdeckt ist.
Die Plattensätze der Abb. i und 2 werden nunmehr so ineinandergesetzt, wie es in Abb, 3 dargestellt ist; und dann starr miteinander verbunden. Es entsteht auf diese Weise ein Blen.densystem aus zwei genau in _Visierlinie liegenden Kreuzkanälen, zwischen denen Raum zur Unterbringung des Objektes vorhanden ist.
In Abb. 4, 5 und 6 ist eine weitere Ausbildung des Blendensystems dargestellt, das aus denn in Abb. i, 2 und 3 dargestellten dadurch entwickelt worden ist, daü an Stelle der mit der Öffnung ,4 zum Durchschieben des zweiten Plattensatzes versehenen Platte i eire ebenfalls U-förmig gestaltete Platte 14 benutzt wird.
Die Bildung der beiden hintereinanderliegenden parallelepipedischen Hohlräume erfolgt bei diesem Plattensatz genau so, wie es mit Bezug auf Abb. i beschrieben worden ist.
In der Abb. 4 sind die beidem parallelepipedischen Hohlräume 8 und 15 sichtbar.
Das in Abb. 5 dargestellte Plattensystem entspricht ebenfalls weitgehend dem in Abb.2 dargestellten. Lediglich die Platte 9 der Abb, 2 ist in der aus Abb. 5 ersichtlichen Weise durch die Platten 16 und 17 und die Folie 12 durch die beiden. Folien 18 und i9 ersetzt.
In Abb, 6 ist dargestellt, wie die beiden Plattensätze zueinander angeordnet werden.
Der Plattensatz der Abb. 5 kann bei dieser Ausführungsform in. den. beiden in der Zeichenebene gelegenen Koordinaten zu demjenigen der Abb.. 4 beliebig verschoben werden, wobei, die beiden wirksamen Kanäle stets in Visierlinie liegen.
Es ist übrigens auch möglich, die in Abb-. 6 dargestellte Doppelkreuzkanalblen.de so zu gestalten, daü der durch die Platte 16 begrenzte Schlitz hinter den Schlitz 15 zu liegen kommt, wenn man die Verbindungsbrücke zwischen dem vorderen. Teil und hinteren Teil des in Abb. 5 dargestellten Systems ausreichend lang gestaltet.
Es ist ferner auch die Möglichkeit gegeben, die Anordnung nach Abb.6 dadurch weiter auszugestalten, daü der wirksame Querschnitt des zweiten Kanals größer gewählt wird, als der des ersten.. Dadurch gelingt es, bei der Verwendung der Anordnung zur Darstellung von Objektstrukturen nach dem Streuungsprinzip beispielsweise die durch die Trägerfolie allein bewirkte Streuung auszuschalten. Hierzu wird der wirksame OOuerschnitt des zweiten Kanals erfindungsgemäß so gewählt, daß die gesamte in der Trägerfolie gestreute Strahlung noch durch das zweite Blendensystem geht und an der Abbildung des Objektes mitwirkt. Tritt im Objekt dann noch zusätzlich eine Streuung ein, so wird hierdurch wieder ein je nach der Massendichte des Objektes verschiedener Anteil der durch das Objekt hindurchgegangenen Strahlung von der Mitwirkung an der Abbildung ausgeschaltet.
Da die seitlichen Begrenzungen je zweier in einer Visierlinie gelegener parallelepipedischer Hohlräume, beispielsweise 8 und 15 in Abb. 4, bei der beschriebenen Anordnung nach der Abb. 6 erfin- dungsgemäß in einer Ebene liegen, wäre es durch Wahl einer stärkeren Folie an Stelle von 5 und 21 wohl möglich, den wirksamen Querschnitt des zweiten Blendensystems nach einer Seite hin zu erweitern. Damit wäre die Lösung der gestellten Aufgabe aber nur eine unvollkommene.
In der Abb. 7 ist dargestellt, wie diese Schwierigkeit erfindungsgemäß umgangen werden kann.
Abb. 7 a zeigt ein Blendensystem nach der Abb. 6 in Ansicht von vorn. Die den parallelepipedischen Hohlraum bedingenden Folien 6 und 7 sind in dieser Ausführungsform der Blende jedoch nicht direkt auf der Unterlage 14 aufgebracht, sondern erst nachdem eine weitere Folie 2o, ebenfalls vorzugsweise durch Kathodenzerstäubung, auf der Platte 14 aufgebracht worden ist.
Abb. 7 b zeigt die rückwärtige Ansicht des Blendensystems.
Zur Bildung des zweiten Systems sind hier auf der Platte 14 die abstandshaltenden Folien 5 und 21 ohne eine weitere Zwischenschicht aufgebracht.
Die Dicke der Folie 5 ist gleich der Dicke der Folie 6, vermehrt um die doppelte Dicke der Folie 2o. Die Weite des Schlitzes im vorderen Teil der Blende ist dann also gleich der Dicke der Folie 6, die Weite des Schlitzes im hinteren Teil der Blende gleich der Dicke der Folie 6, vermehrt um die doppelte Dicke der Folie --o. Eine durch die Mittelsenkrechte des engen Schlitzes im vorderen Teil der Blende in Richtung des Strahlenganges gelegte Ebene geht auch durch die Mittelsenkrechte, des weiten Schlitzes im hinteren Teil der Blende..
Die gleiche Anordnung wie für die beiden Schlitze 8 und 15 ist auch für die Schlitze; die zwischen io und 16 bzw. io und 17 gebildet werden, getroffen. Dadurch ist also auch. hier die genaue Fluchtung der Kanäle des Blen.densystems gewährleistet.
Das Auflösungsvermögender in Frage stehenden Mikroskope ist bedingt durch den wirksamen Querschnitt der den Abtaststrahl aussondernden. Kreuzkanalblende. Mit der Verkleinerung dieses Querschnittes wird aber auch die Intensität des aus einer bestimmten gleichbleibend gedachten Strahlenquelle ausgesonderten Bündels geringer. Es empfiehlt sich daher nicht, das Auflösungsvermögen bei der Darstellung größer zu wählen, als es im je weiligen Fall ausnutzbar erscheint.
Übersichtsdarstellungen des gleichen Objektes beispielsweise lassen sich mit*relativ großem wirksamem Querschnitt der Kreuzkanalblen.de gewinnen.
Es erscheint daher erwünscht, mit einer Kreuzkanalblende wahlweise verschiedene Querschnitte herstellen zu können.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe wird an Hand der Abb. 8 beschrieben. In der Abbildung ist eine Kreuzkanalblende erfindungsgemäßer Bauart dargestellt, die aus vier einseitig hochgradig ebenen Platten 3, 62, 16 und 22 hergestellt ist. Zum Unterschied von den bisher bekannten Kreuzkanalblenden umschließen bei dieser jedoch je zwei einseitig hochgradig ebene Platten nicht einen parallelepipedischen Hohlraum, sondern einen keilförmigen Hohlraum 24 bzw. 27. Durch Verschiebung des einen Blendenteiles gegen den. andern, wie in Abb.8 durch Pfeile angedeutet, läßt sich bei dieser Anordnung der wirksame Querschnitt des Blendensystems in weiten Grenzen in einfachster Weise verändern. Bei dem im Verhältnis zu den in Frage kommenden, außerordentlich kleinen Schlitzbreiten der Blende etwa fünf Größenordnungen größeren. Abstand 28 sind die wahren Größenverhältnisse in der Abb. 8 natürlich ungeheuer stark verzerrt. Die den Hohlraum 24 bzw. 27 begrenzenden Ebenen stehen mit außerordentlich großer Annäherung parallel zueinander. Daraus ergibt sich, daß der wirksame Querschnitt des in Abb. 8 dargestellten Blendensystems ebenfalls mit weitgehender Annäherung ein Rechteck darstellt.
Der keilförmige Hohlraum bei der dargestellten Ausführungsform kommt so zustande, daß zur Herstellung und Einhaltung des Abstandes zwischen j e zwei planparallelen Platten zwei keilförmig gestaltete Metallschichten in der aus Abb. 8 ersichtlichen, @ Weise angebracht worden. sind. Die Herstellung dieser abstandhaltenden Schichten. gelingt beispielsweise nach dem bekannten Verfahren der Kathodenzerstäubung, wenn man vor Beginn. der Zerstäubung denTeil der hochgradig ebenen Fläche, der frei von Metallauflage bleiben soll, wie beispielsweise 28, abdeckt und ferner während der Kathodenzerstäubung einen an sich bekannten Schirm zwischen der zu desintegrierenden Kathode und der zu bestäubenden Platte sich mit gleichförmiger Geschwindigkeit so bewegen läßt, daß er zunächst nur den Teil der zu bestäubenden. Platte zur Bestäubung freigibt, der die dickste Metallauflage erhalten soll und dann fortlaufend mehr. Die kürzeste Zeit werden dann die Teile exponiert, die die dünnste Metallauflage erhalten sollen. Alle Teile, die gleich dicke Metallauflagerungen erhalten sollen, werden gleich lange exponiert, Teile, die beispielsweise doppelt so dicke Metallauflagen erhalten sollen, doppelt so lange.
Es sei jedoch darauf hingewiesen, daß der Erfindungsgedanke, der der in Abb.8 dargestellten Kreuzkanalblende zugrunde liegt, auch .auf anderem Wege verwirklicht werden kann. Zum Beispiel ist es möglich, den Abstand zwischen den planparallelen Platten. auf andere Weise herzustellen und einzuhalten. Die Folien 25 und 26" beispielsweise können in Fortfall kommen und die Folie 23 kann durch eine nicht keilförmig gestaltete Folie oder einen anderen Abstandshalter ersetzt werden.
Der Kernpunkt des Erfindungsgedankens, der zur Konstruktion der in Abb. 8 dargestellten Blendenform geführt hat, ist der, daß zwischen. je zwei planparallelen Platten ein keilförmig verlaufender Hohlraum 24 bzw. 27 hergestellt wird.
Es ist selbstverständlich möglich, ganz analog dem beschriebenen Vorgehen auch bei einer Kreuzkanaldoppelblen.de nach der Abb. 6 für beide Kreuzkanalblenden eine Anordnung zu treffen, wie es an Hand der Abb. 8 für eine einfache Kreuzkanalblende beschrieben worden ist. Es ist ferner möglich, hierbei die keilförmigen Hohlräume so zu gestalten, daß beispielsweise die Hohlräume 8 und 15 völlig gleich sind und in Visierlinie liegen. Dasselbe gilt für die beiden anderen Hohlräume, die nach der Abb. S gebildet werden. Eine so beschaffene Blende liefert also bei der entsprechenden Verschiebung beider Blendenteile gegeneinander jeweils zwei unter sich gleich große, genau inVisierlinie liegende wirksame Querschnitte wechselnder Größe.
Es ist erfindungsgemäß ferner möglich, eine Doppelkreuzkanalblende nach Abb. 6 herzustellen, die in ihrem vorderen Abschnitt bei der Verschiebung beider Plattensätze gegeneinander einen gleichbleibenden Querschnitt aufweist, während sich der Querschnitt im hinteren Teil bei der Verschiebung der Plattensätze gegeneinander nach dem durch Abb. 8 veranschaulichten. Prinzip ändert. Wenn man fordert, daß bei dieser Anordnung die Achse des wirksamen Querschnittes der Vorderblende stets auch durch die Achse des wirksamen Querschnittes der Hinterblende verlaufen soll, so muß man die Distanzierung der hochgradig ebenen Flächen, die zur Begrenzung der wirksamen Querschnitte dienen, nach der in Abb. g dargestellten Weise vornehmen.
Auf der Platte 14 wird zunächst durch Kathodenzerstäubung eine keilförmige Metallschicht 2g aufgebracht - wie es in Abb. g a, die die Vorderseite der Blende zeigt, dargestellt ist - und dann erst werden die eigentlichen, den parallelepipedischen Hohlraum verursachenden Folien 6 und 7 angebracht.
Die Abb. g c zeigt die Rückansicht des hinteren Teiles der Blende. Das zweite System der Doppelblende ist, wie hieraus hervorgeht, genau so konstruiert, wie beispielsweise die Blende nach. Abb. B. Für die Dimensionierung der Keile gilt folgendes: Die größte Dicke des Keiles 31 ist gleich dem doppelten der größten Dicke des Keiles 29, vermehrt um die Dicke der Folie 7. Die kleinste Dicke des Keiles 30 ist gleich dem doppelten der kleinsten Dicke des Keiles 2g, vermehrt uni die Dicke der Folie 6. Alles weitere ergibt sich aus der Abb. g.
In völlig analoger. Weise ist es auch möglich, eineDoppelkreuuzkanablende ZU- konstruieren, bei der >ich der wirksame Querschnitt der hinteren Blende beispielsweise in gleicher Weise ändert wie bei der vorstehend beschriebenen .Doppelkreuzkanalblende und bei der der OOuerschnitt der vorderen. Blende sich ebenfalls in entsprechender Weise ändert, jedoch ständig kleine: ist als der der hinteren Blende. Die Vorduransicht der Vorderblende einer solchen Dol)pelhreuzlzana.lblende ist in Abb. -9 b dargestellt. Die hintere Blende ist genau entsprechend der Abb. c9 c konstruiert. Die Vorderblende wird folgendermaßen hergestellt: Zunächst wird durch. Kathedenzerstäubung unter Zuhilfenahme eines bewegten Abdeckschirmes in der beschriebenen. Weise aus der hochgradig ebenen Platte 14 die keilförmige 1lctallschicht 32 und alsdann auf dieser unter Abdeckung des Mittelteiles eine weitere in dar Mitte untcrfiroch@ene keilförmige Metallschicht 33, 34 aufscli.racht. 33 und 3.4 dienen als Auflageflächen für die zweite hochgradig ebene. Platte 3. Wird die größte Dicke des Keiles 32 mit p bezeichnet, die größte Dicke der Schicht 34 mit q, die kleinste Dicke des Keiles 32 mit r, so-wie die kleinste: Dicke des Keiles 3 3 mit s, so ergibt sich die größte Dicke der keilförmigen Schicht 31 zu 2 p + q, die kleinste Dicke der keilförmigen Schicht 30 zu 2 r -f- s.
Bei Verwendung der Kreuzkanalblenden zur Aussondcrung von engen Bündeln von Röntgenstrahlen und Elektronenstrahlen kann sich eine von dem dem Objekt zugekehrten Blendenrand ausgehende Sekundäremissionsstrahlung störend bemerkbar machen. Allerdings ist darauf hinzuweisen, daß bei der gegenüber dem Durchmesser des wirksamen, Querschnittes um mehrere Größenordnungen größeren Länge des Schlitzes nur ein verhältnismäßig sehr geringer Anteil von Strahlung auf den dem Objekt zugekehrten Blendenrand stößt und damit hier zu einer Sekundärstrahlung führen kann. Um aber auch die von diesem Anteil ausgehende Sekundärstrahlung völlig zu vermeiden, ist die Verwendung einer Blende, die erfindungsgemäß nach dem Prinzip der Abb. io konstruiert ist, möglich. Gegenüber den beschriebenen Blendenformen unterscheidet sich diese Blendenform dadurch, daß die Schlitze, die sich zwischen je zwei hochgradig ebenen Platten befinden, im vorderen Teil enger sind als im hinteren Teil.
In Ab. ioa und iob ist eine entsprechende Anordnung gezeigt, und zwar zeigt Abb. ioa die Vorderansicht einer solchen Blende, Abb. iob die Ansicht des Vorderteiles von oben.
Aus den Abbildungen geht hervor, daß der Schlitz 38 in seinem vorderen Abschnitt von den Metallfolien 36 und 37 begrenzt wird., die jedoch, wie sich insbesondere aus der Abb, iob. ergibt, im hinteren Teil des Schlitzes fehlen., so daß hier die Begrenzung durch die hochgradig ebenen Platten selbst gebildet wird.
Die Abb. ro ist allerdings nur als eine ganz grobe Darstellung des Erfindungsgedankens aufzufassen. Auch in dieser Darstellung macht sich wieder bemerkbar, daß die Größenverhältnisse stark verzerrt dargestellt werden müssen. In Wirklichkeit ist die Dicke der Folien um mehrere Größenordnungen kleiner als die Länge des Schlitzes. Der folienfreie Teil des Schlitzes kann daher auch verhältnismäßig kurz gewählt werden, beispielsweise nur i bis wenige mm oder noch weniger lang. Wird er i mm lang gewählt, so ist der folienfreieTeil des Schlitzeis 'bei einer Dicke der Folien von beispielsweise 5 y,u immer noch Zoo ooo mal so lang, als der Schlitz breit ist. Die vom Rand der Folie ausgehende, von der Richtung des Kanals abweichende Sekundärstrahlung wird also, praktisch noch fast völlig von dem weiten Teil des Schlitzes aufgefangen.
Die soeben. beschriebene Anordnung kann selbstverständlich auch im zweiten Abschnitt der Blende für den gekreuzt verlaufenden Kanal entsprechend getroffen werden, so daß auch in der anderen Aussonderungsrichtung die Sekundärstrahlung an dem dem Objekt zugekehrten Blendenrand sicher vermieden ist. Auch ist es selbstverständlich möglich, beispielsweise in einer Anordnung einer Doppelkreuzkanalblende nach Abb. 6 alle vier Schlitze auf diese Weise zu gestalten. Das gleiche Prinzip läßt sich schließlich auch ohne Schwierigkeiten auf die Anordnungen nach den Abb.8 und 9 übertragen. Es ist hierzu nur erforderlich, auf den die Schlitzbegrenzung bildenden Ebenen vor Aufbringung der den Schlitz bedingenden Schichten auf jeder Seite eine Metallschicht aufzubringen, die in der beschriebenen. Weise nicht die ganze Länge des Schlitzes deckt und auf der die weiteren Schichten, wie oben beschrieben, aufgebracht werden.
Bei der Verwendung sehr intensiver Strahlenquellen ist das Blendensystem der Gefahr der Erwärmung ausgesetzt. Um hierdurch drohende Veränderungen des Blendensystems, auf die später noch näher eingegangen wird, zu vermeiden, kann erfindungsgemäß die Blende auch mit einer Vorrichtung zur ständigen Kühlung versehen werden. In Abb. i i ist eine solche Vorrichtung in beispielsweiser Ausführungform dargestellt. Das Material des vorderen Plattensatzes ist mit Bohrungen versehen, durch die Kühlrohre 42 und 43 geführt sind, die unter sich durch eine Verbindungsleitung 44 verbunden sind. Durch diese Kühlrohre wird in bekannter Weise kontinuierlich eine Kühlflüssigkeit, beispielsweise Wasser, geleitet. Der Erfindungsgedanke der Anbringung einer geeigneten Kühlung an der Blende kann selbstverständlich auch noch in anderer Weise zur Ausführung gebracht werden.
Bei der Verwendung von Metallen zur Herstel= lung der Blendenteile, insbesondere solcher mit guter Wärmeleitung, beispielsweise Gold, ist die Erwärmungsgefähr wesentlich geringer als bei Verwendung beispielsweise von Glas. Nun sind aber nicht alle in Frage kommenden Materialien gleich gut und beständig in einseitig hochgradig ebene Form zu bringen. Vor allem, wenn äußerst kleine wirksame Querschnitte des Blendensystems erwünscht sind, ist, worauf noch später näher eingegangen wird, die Verwendung geschmolzenen Quarzes zur Herstellung des Blendensystems von entscheidender Bedeutung. Obwohl es gerade ein Vorzug des homogen geschmolzenen' Quarzes ist, daß er eine geringe thermische Ausdehnung aufweist, ist bei Verwendung sehr intensiv strahlender Strahlenquellen dennoch auch dieses Blendensystem zunächst nicht vor der Gefahr von Veränderungen durch Temperaturunterschiede geschützt. Diese Gefahr kann man aber erfindungsgemäß mit Sicherheit vermeiden, wenn man vor dem eigentlichen Blendensystem noch zusätzlich eine blendenartige Öffnung anbringt, die aus der Strahlung der zur Anwendung gelangenden Strahlenquelle bereits im voraus ein relativ schmales Bündel aussondert. Besonders geeignet für diese Vorrichtung erscheint ein Schlitz, wie er beispielsweise von den planparallelen Platten 39 und 4o der Abb. i i begrenzt wird, insbesondere, wenn die Platten noch mit einer Kühlung versehen und außerdem aus Metall hergestellt sind. Dieser Schlitz kann auch ohne Nachteil um das Mehrfache weiter sein als die wirksamen Schlitze des eigentlichen Blendensystems.
Der den in Abb. 3 und 6 dargestellten Doppelsystemen von Kreuzkanalblenden zugrunde liegende Erfindungsgedanke ist der, daß jeweils wenigstens eine der die abstandsbedingenden Folien tragenden hochgradig ebenen Flächen für die in Visierlinie liegenden Schlitze gemeinsam ist und damit die Ausrichtung der Schlitze automatisch gegeben ist. In Abwandlung dieses Erfindungsgedankens ist es auch möglich, mehrere Schlitze bzw. Kreuzkanalblenden, die aus verschiedenem Material hergestellt sind, beispielsweise einen Schlitz, der von Metallteilen begrenzt wird und einen weiteren, der von Glasteilen begrenzt wird, genau auszurichten. In Abb. 12 ist gezeigt, wie dieses Ziel erfindungsgemäß erreichbar ist. Neu ist hier gegenüber der Abb. 4, abgesehen von der abweichenden Gestaltung des Teiles 14 der Abb.4, der in Abb. 12 durch 45 ersetzt ist, vor allem die Einfügung des Teiles 46 in das System. Dieses Zwischenstück ist. auf der dem Teil 45 zugewandten Seite ebenfalls hochgradig eben. Da die dem Stück 46 zugekehrte Seite der Platte 47 ebenfalls hochgradig eben ist, liegt unter der leicht zu erfüllenden Voraussetzung, daß 46, 47 und 45 mit ihren hochgradig ebenen Flächen fest aufeinandergepreßt und am besten starr verbunden sind (eine solche Verbindung in beispielsweiser Ausführungsform ist durch 49 und 5o angedeutet),. der zwischen den Platten 3 und 47 gebildete Schlitz genau in Visierlinie mit dem zwischen den Platten 2 und 45 gebildeten Schlitz. Es ist selbstverständlich möglich, an 45 in entsprechender Weise beispielsweise noch einen dritten Schlitz anzubringen, der dann ebenfalls in Visierlinie mit dem Schlitz 8 und 15 liegt. 45 ist daher rückwärtig abgebrochen gezeichnet, um diese Möglichkeit anzudeuten.
Auch ist es möglich, wie in Abb. 13 dargestellt, den Teil 45 der Abb. 12 durch den Teil 51 zu ersetzen, an dem in gleicher Weise wie in Abb. 12 der vordere Schlitz auch der hintere Schlitz hergestellt werden kann. Die Teile 51, 52 und 53 sind selbstverständlich an den aufeinanderliegenden Flächen wieder hochgradig eben.
Die in den Abb. 1a und 13 gegebenen Darstellungen zeigen zunächst nur, wie man mehrere Schlitze, die von verschiedenen Materialien begrenzt sind, in Visierlinie bringen kann. Durch Ineinandersetzen zweier solcher Systeme, z. B. entsprechend Abb. 6, erhält man dann Anordnungen. bei welchen zwei oder mehrere Kreuzkanalblenden aus verschiedenem Material hintereinanderliegen. Die Bildung der Schlitze hierbei kann selbstverständlich auch nach den in Abb. 7 bis io gegebenen L'berlegungen erfolgen. Wenn beispielsweise der von den Teilen 3 und 47 begrenzte Schlitz 8 der Abb. 12 weiter sein soll als der Schlitz 15, etwa zur V oraussonderung, so ist es ferner auch möglich, statt einer Anordnung nach Abb. 7 durch Einfügen einer Folie zwischen 46 und 47 bereits eine einseitige Erweiterung des Schlitzes 8 zu erzielen. Die Erweiterung nach der anderen Seite wird dann einfach durch passende Wahl der Dicke derFolien6 und 7 erreicht.
Bei der Verwendung von Elektronenstrahlen, insbesondere solchen niederer Geschwindigkeit, zur Objektdurchstrahlung besteht die Gefahr, daß durch eine sich auf der Blende ansammelnde Ladung die Elektronenstrahlen vor Erreichung der Blende abgebremst werden. Diese Abbremsung kann vermieden werden, wenn die Blendenteile, falls sie aus einem leitenden oder halbleitenden Stoff, beispielsweise Metall oder Halbleitendem Glas, hergestellt sind, mit einer Ableitung zur Erde verbunden werden. Die in Abb. i i dargestellte Blende ist beispielsweise mit Anschlußklemmen 55 und 56 für diese Ableitung versehen.
Auch wenn die Blende nicht aus einem leitenden oder halbleitenden Stoff, sondern beispielsweise aus Glas hergestellt ist, besteht die Möglichkeit, die Ansammlung von Ladungen auf den Blendenteilen dadurch zu vermeiden, daß man diese erfindungsgemäß ganz oder teilweise mit dünnen Metallüberzügen, die vorzugsweise durch Kathodenzerstäubung hergestellt sind, überzieht und diese zur Erde ableitet. Eine solche Anordnung ist beispielsweise in Abb. 14 dargestellt, in der die Platten 3, 47, 16 und 57 auf ihrer der Strahlenquelle zugekehrten Seite mit einem Metallüberzug 58 und 59 versehen sind, an dem jeweils ein Ableitungsdraht 6o bzw. 61 angelötet oder auf andere Weise angebracht ist. Die Metallschicht kann sich natürlich auch auf den Begrenzungsflächen der Schlitze fortsetzen. Wenn sie, wie in Abb. 14 dargestellt, nur auf den der Strahlenquelle zugewandten bzw. diesen parallelen Flächen, die ja nicht geschliffen und poliert werden, hergestellt werden soll, so können diese Metallschichten auch in an sich bekannter Weise vor der Herstellung der hochgradig ebenen Flächen eingebrannt werden.
In weniger vollkommener Weise können Auf Ladungen der Blende durch eine außen auf den Parallelflächen zu den hochgradig ebenen Flächen, also außen auf der Kreuzkanalblende aufgebrachte. Metallbelegung, die an Erde gelegt ist, unschädlich gemacht werden, da durch diese Belegungen dieWandladungen kapazitiv fixiert bzw. abgeleitet werden.
Es ist erfindungsgemäß auch möglich, bei der Verwendung von Elektronenstrahlen zur Durchstrahlung die metallische Blende oder die auf"der Blende angebrachten Metallschichten an die Anodenspannung zu legen, wodurch die Blende gleichzeitig als Anode dienen kann. Weiterhin ist es auch möglich, bei der Anordnung nach Abb. 14 an die metallische Schicht 59 eine höhere Spannung zu legen als an 58, um die Elektronen beim Durchgang durch den ersten Schlitz nach dem zweiten Schlitz hin zu beschleunigen.
Bei Verwendung insbesondere sehr schneller Elektronenstrahlen zur Durchstrahlung ist es unter Umständen vorteilhaft, die die Schlitze begrenzenden Flächen ebenfalls metallisch auszuführen oder ganz oder teilweise mit Metallüberzügen zu versehen und durch metallische Zuleitungen negativ aufzuladen, um dadurch den Strahlquerschnittnoch «-eiter zu verengern bzw. ein Abfließen von Elektronen über die Schlitzwände und damit einen Verlust an Strahlungsenergie zu verhindern.
Um Verunreinigungen der Schlitze durch 'Staub u. dgl. zu vermeiden, können die Kreuzkanalblenden auch in Gehäusen untergebracht werden, die beiderseits durch Lenardfenster geschlossen sind. Diese erfindungsgemäße Anordnung läßt sich auch dann treffen, wenn das Objekt mit langsamen Elektronenstrahlen, die auch in dünnsten L enardfenstern schon stark gestreut werden, durchstrahlt werden soll, wem man die zur Durchstrahlung verwendete Elektronenstrahlung vor Eintritt in das Blendensystem stark beschleunigt und nach Austritt aus dem zweiten Lenardfenster das ausgesonderte Bündel vor dem Auftreffen auf dem Objekt wieder stark verlangsamt.
Geeignete Anordnungen zur Geschwindigkeitsänderung von Elektronenstrahlen wurden beispielsweise von Lenard beschrieben. Sie beruhen z. B. darauf, daß der in seiner Geschwindigkeit zu ändernde Strahl durch die zentrale Bohrung einer kreisflächigen Kondensatorplatte in ein Kondensatorfeld eintritt und durch eine entsprechende Bohrung einer der ersten Kondensatorplatte parallel gestellten gleichgestalteten Kondensatorplatte wieder austritt. Durch geeignete Wahl der Spannung an den beiden Kondensatorplatten ist wahlweise eine Beschleunigung oder Verzögerung des Strahles möglich.
Die Genauigkeit, mit der die Ebenheit der für die erfindungsgemäßen Blenden benötigten Platten hergestellt werden kann, ist außer von dem Herstellungsverfahren selbst in hohem Grade auch von der Wahl des Stoffes abhängig, aus dem die Platten hergestellt werden. Der für die Herstellung der Blendenplatten benutzte Stoff soll für die zur Durchstrahlung verwendete Strahlung möglichst undurchlässig sein und sich zu hochgradig ebenen Platten verarbeiten lassen, deren Ebenheitsgrad beständig ist. Bei der Natur der vorzugsweise in Frage kommenden Strahlung, wie Röntgenstrahlen, Elektronenstrahlen undUltraviolettstrahlen, könnte Glas, vorzugsweise Bleiglas, besonders geeignet erscheinen. Es ist aber kaum möglich, aus einem solchen Stoff Platten mit einer Abweichung von weniger als etwa 1/2o Lichtwellenlänge von der idealen Ebene herzustellen. Außerdem wird bei Verwendung dieser Platten durch geringe Temperaturschwankungen der Ebenheitsgrad ungünstig beeinflußt, so daß die ursprünglich vorhandene Ebenheit nicht erhalten bleibt. Es ist ja bekannt, daß, wenn man eine für die Prüfung von Ebenheiten als Standard hergestellte hochgradig ebene Platte aus gewöhnlichem Glas zum Zweck der Einleitung der Prüfung einer zu untersuchenden Platte mit dieser in Kontakt bringt, durch die hierbei verursachte Wärmestörung die Platten mehrere Stunden lang in Kontakt belassen werden müssen, bevor ein Urteil über den Ebenheitsgrad möglich ist.
Es wurde erkannt, daß wohl das geeignetste Material für die Herstellung der einseitig hochgradig ebenen Platten für die Zwecke der vorliegenden Erfindung homogen geschmolzener Quarz ist, da aus diesem Stoff Platten hergestellt werden können, deren Abweichung von der idealen Ebene weniger als 1/ioo Lichtwellenlänge beträgt. Der tatsächlich erreichte Ebenheitsgrad liegt wahrscheinlich sogar noch unter diesem Wert, der zur Zeit die untere Grenze der Meßbarkeit von Ebenheiten darstellt. Die besondere Eignung des geschmolzenen OOuarzes scheint durch seinen außerordentlich kleinen thermischen Ausdehnungskoeffizienten bedingt zu sein, der bekanntlich etwa fünfzehnmal kleiner ist als der von gewöhnlichem Glas. Diese Eigenschaft des geschmolzenen Quarzes ist für die vorliegende Erfindung auch deshalb von allergrößter Bedeutung, weil Veränderungen der Blende durch die im Gebrauch kaum ganz zu vermeidenden Temperaturänderungen nicht merkbar in Erscheinung treten, vor allem, wenn durch die erfindungsgemäße Anbringung einer zusätzlichen Vorblende, wie sie beispielsweise an Hand der Abb. 13 beschrieben worden ist, eine Voraussonderung des auf die Quarzblende geleiteten Bündels vorgenommen wird.
Ein Nachteil des Quarzes, der ihn zunächst für den vorliegenden Zweck ungeeignet erscheinen ließ, ist darin zu sehen, daß er in hohem Grade für Ultraviolettlicht und auch für-Röntgenstrahlen -mit Ausnahme der weichen Strahlen - durchlässig ist. Dieser Nachteil wird dadurch ausgeschaltet, daß zur Erzielung eines besonders hohen Auflösungsvermögens in den in Frage stehenden Anordnungen bei Verwendung von Quarzblenden mit sehr langwelliger Röntgenstrahlung oder sehr kurzwelligem Ultraviolettlicht oder sehr langsamen Kathodenstrahlen, die auch in der Quarzblende noch gut absorbiert werden, gearbeitet wird.
Es ist aber erfindungsgemäß auch möglich, die hochgradig ebenen Platten aus Quarz mit beispielsweise durch Kathodenzerstäubung hergestellten Metallüberzügen zu versehen, die z. B. für Ultraviolettlicht auch bei sehr geringer Dicke schon in hohem Grade undurchlässig sind.
Schließlich ist es auch möglich, das Absorptionsvermögen des Quarzes für verschiedene Strahlung, beispielsweise Röntgenstrahlung, erfindungsgemäß dadurch zu vergrößern, daß ihm in von der Her- Stellung des Bleiglases her bekannter Weise Bleiverbindungen zugemischt werden, die Blendenteile also aus bleihaltigem Ouarzglas hergestellt werden.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: 1. Blendensystem zur Aussonderung enger Strahlenbündel für mikroskopische Zwecke, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung einer Ä-iehrfachkreuzkanalblende mehrere an sich bekannte Kreuzkanalblenden zu einem System vereinigt sind, wobei je eine hochgradig ebene Begrenzungsfläche jeden Schlitzes der Einzelblenden durch eine in einem Stück mit diesen hergestellte Verbindungsbrücke oder durch Anlegen einer selbständigen - ebenfalls einseitig hochgradig ebenen - Verbindungsbrücke in der gleichen Ebene ausgerichtet wird, so daß die wirksamen Kanäle der Einzelblenden hierdurch zwangläufig gefluchtet ausgerichtet sind. z. Blendensystem nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende aus zwei ineinander einsetzbaren Teilen zusammengesetzt ist, von denen der eine Teil aus einer mit einer Lochung (4) versehenen einseitig hochgradig ebenen Platte (i) und zwei weiteren ebenfalls einseitig hochgradig ebenen Platten (2, 3) besteht, die unter Verwendung dünner Folien (5, 6, 7, 21) als Abstandshalter so miteinander verbunden sind, daß zwei hintereinanderliegende enge Schlitze (8, 15) gebildet werden, und von denen der andere Teil aus zwei ebenfalls einseitig hochgradig ebenen U-förmig gestalteten Platten (9, 1o) besteht, die gleichfalls unter Verwendung dünner Folien (11, 12) so miteinander verbunden sind, daß zwei hintereinanderliegende enge Schlitze (13) gebildet werden, wobei die genannten beiden Teile der Blende so ineinander gesetzt sind, daß sich die Schlitze (8, 15) des einen Teiles mit den Schlitzen (13) des anderen Teiles der Blende kreuzen (Abb. i bis 3). 3. Blendensystem nach Anspruch i und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die gelochte Platte (i, 4) durch eine U-förmig gestaltete, oben offene Platte (14) und die eine U-förmige Platte (g) des Einsatzstückes durch zwei einseitig hochgradig ebene Platten (16, 17) ersetzt sind (Abb. 4 bis 6). 4. Blendensystem nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß in Visierlinie mit einem der beiden gekreuzten Schlitze oder mit jedem der beiden gekreuzten Schlitze ein bzw. mehrere Schlitze zusätzlich angeordnet sind, deren Ausrichtung mit dem in Visierlinie mit ihnen gelegenen Schlitz dadurch bewirkt wird, daß jeweils durch Vermittlung eines Zwischenstückes (46, 52), das einseitig hochgradig eben ist, zwei ebenfalls einseitig hochgradig ebene Platten (47 und 45 bzw. 47 und 51 sowie 53 und 51) in einer Ebene ausrichtbar sind (Abb. 12 und 13). 5. Kreuzkanalblende, insbesondere zur Verwendung in Blendensystemen nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus vier einseitig hochgradig ebenen Platten (3, 62, 16, 22) hergestellt ist, von denen je zwei Platten (3 und 62 bzw. 16 und 22) unter Verwendung von je zwei keilförmigen Abstandshaltern (25, 23, 26, 26a) so miteinander verbunden sind, daß sie einen keilförmigen Hohlraum (24 bzw. 27) einschließen und daß die beiden Plattenpaare (3, 62 und 16, 22) gegeneinander verschiebbar so angeordnet sind, daß sich die Hohlräume (24 und 27) kreuzen (Abb. 8). 6. Blendensystem nach Anspruch i bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die als Abstandshalter benutzten Folien (5, 6, 7, 21, 11, 12, 18, i9, 23, 25, 26, 26a) aus dünnen Metallschichten bestehen, die auf die zu verbindenden Platten beispielsweise durch Kathodenzerstäubung aufgetragen sind. 7. Blendensystem nach Anspruch 1 bis .4 und Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei den vorderen Plattensätzen der Blende (z. B. 3, 14 bzw. 10, 17) zwischen den Abstandshaltern (6, 7 bzw. i i, 18) und einer der Platten (3, 14 bzw. 10, 17) noch ein weiterer durchgängiger Abstandshalter vorzugsweise in Form einer dünnen durch Kathodenzerstäubung hergestellten Metallfolie (2o) angeordnet and die Dicke der Abstandshalter (5, 21 bzw. ig) in den hinteren Plattensätzen (2, 14 bzw. io, 16) so gewählt ist, daß sie der Dicke der Abstandshalter (6, 7 bzw. i i,18) in den vorderen Plattensätzen 3, 14 bzw. 10, 17), vermehrt um die doppelte Dicke der hier noch angeordneten durchgängigen Abstandshalter (2o), entspricht (Abb. 7). B. Blendensystem nach Anspruch i bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattenpaare (i, 2 und i, 3 und 9, io bzw. 3, 14 und 2, 14 und 10, 17 und io, 16 bzw. 3,47 und 2, 45 bzw. 3, 47 und 2, 53) unter Verwendung keilförmiger Abstandshalter so zueinander angeordnet sind, daß vier keilförmige Hohlräume entstehen, von denen jeweils ein im vorderen und ein im hinteren Teil äes Blendensystemes gelegener in Visierlinie liegen, während die beiden anderen gekreuzt hierzu, aber gleichfalls in Visierlinie angeordnet sind (Abb. i bis 6, 12, 13 und 8). 9. Blendensystem nach Anspruch i bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei den vorderen Plattensätzen (3, 14 bzw. 10, 17 bzw. 3, 47) der Blendenanordnung zwischen den Abstandshaltern (6, 7 bzw. 11, 18) und einer der Platten (3, 14 bzw. 10, 17 bzw. 3, 47) noch ein weiterer durchgängiger keilförmiger Abstandshalter (2g), vorzugsweise in Form einer durch Kathodenzerstäubung hergestellten Metallfolie, angeordnet ist, derart, daß die genannten Plattenpaare einen parallelepipedischen Hohlraum einschließen, und daß die hinteren Plattensätze (2, 14 bzw. i o, 16 bzw. 2, 45 bzw. 2, 53) durch einen keilförmigen, in der Mitte unterbrochenen Abstandshalter (30, 31) verbunden sind, dessen Dicke so bemessen ist, daß seine größte Dicke (3i) der doppelten größten Dicke des in den vorderen Plattensätzen benutzten durchgängigen keilförmigen Abstandshalters (29), vermehrt um die Dicke der Abstandshalter (6, 7), und seine kleinste Dicke der doppelten kleinsten Dicke des genannten keilförmigen Abstandshalters (29), vermehrt um die Dicke der Abstandshalter (6, 7) entspricht (Abb. 9). io. Blendensystem nach Anspruch i bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei den vorderen Plattensätzen (3, 14 bzw. 10, 17 bzw. 3, 47) der Blendenanordnung die Plattenpaare (3 und 14 bzw. io und 17 bzw. 3 und- 47) durch einen durchgängigenkeilförmigenAbstandshalter (32) und einen weiteren ebenfalls keilförmigen, aber in der Mitte unterbrochenen Abstandshalter (33, 34) und die hinteren Plattensätze (2, 14 bzw. i o, 16 bzw. 2, 45 bzw. 2, 53) -durch einen keilförmigen, in der Mitte unterbrochenen Abstandshalter (3o,.31) verbunden sind, dessen größte Dicke (31) der doppelten Dicke der größten Dicke des in den vorderen Plattensätzen benutzten keilförmigen durchgängigen Abstandshalters (32), vermehrt um die größte Dicke des unterbrochenen keilförmigen Abstandshalters (34), und dessen kleinste Dicke (3o) der doppelten Dicke der kleinsten Dicke des in den vorderen Plattensätzen benutzten keilförmigen durchgängigen Abstandshalters (32), vermehrt um die kleinste Dicke des unterbrochenen keilförmigen Abstandshalters (33), entspricht (Abb.9).", ii. Blendensystem nach Anspruch i bis io, dadurch gekennzeichnet, daß die jeweils einen Plattensatz bildenden Platten (3, 14 bzw. 1; 2 bzw. 1, 3 bzw. 10, 17 bzw. io, 16 bzw. 3, 62 bzw. 22, 16) durch zwei durchgängige Metallfolien (36, 37) und zwei Abstandshalter (6, 7) miteinander verbunden sind, deren Länge in Richtung des Strahlenganges so bemessen ist, daß sie eine gewisse Strecke vor der hinteren Kante der Platten enden (Abb. io). 12. Blendensystem nach Anspruch i bis i i, dadurch -gekennzeichnet, daß sie mit einer Kühleinrichtung (42, 43, 44) ausgestattet ist (Abb. i i). 13. Blendensystem nach Anspruch i bis i2, dadurch gekennzeichnet, daß die hochgradig ebenen Platten aus geschmolzenem Quarz hergestellt sind. 14. Blendensystem nach Anspruch i bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der zur Herstellung der Blende verwendete Quarz bleihaltig ist. 15. Blendensystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die die einzelnen Schlitze der Blenden bildenden Plattenpaare aus verschiedenartigen Stoffen, beispielsweise aus Metall und bleihaltigem geschmolzenem Quarz, hergestellt sind. 16. Blendensystem nach Anspruch i bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattensätze, falls sie aus einem elektrisch leitfähigen Stoff bestehen, mit Anschlüssen (55 bzw. 56) versehen sind, die die Ableitung von Ladungen oder das Anlegen von Spannungen von bzw. an allen Plattensätzen gemeinsam oder für jeden Plattensatz getrennt gestatten (Abb. ii). 17. Blendensystem nach Anspruch i bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Plattensätze, falls sie aus einem elektrisch nicht leitfähigen Stoff bestehen, auf den der Strahlenquelle zugekehrten Flächen oder auf diesen und den den Schlitz begrenzenden Flächen mit einem Metallüberzug (58,59) mit je einem Anschluß (6o, 61) für die Ableitung von Ladungen oder das Anlegen von Spannungen versehen sind (Abb. 14). 18. Bl@ndensystem nach Anspruch 13 und 14, dadurch gekennzeichnet, dab die zur Bildung des Blendensystems verwendeten Platten ganz oder teilweise metallisch überzogen sind. i9. Blendensystem nach Anspruch i bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Blendensystem in einem Gehäuse untergebracht ist, das mit Lenardfenstern versehen ist.