DE2111329C3 - Sekundärem issfonselektrode - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Sekundäremissionselektrode oder Mikrokanalplatte für eine Elektronen- oder Bildverstärkerröhre, welche Kanalplatte aus einem Körper aus Glas oder einem anderen Isoliermaterial mit zwei nahezu parallelen GrenrfliJchen besteht, die ein Netzwerk hoher Dichte von Mikrokanälen besitzt, die diese zwei Flächen miteinander verbinden.

Eine Elektrode dieser Art ist in der französichen Patentschrift IJ 92 937 beschrieben.

Die Dichte der vorerwähnten Öffnung kann z. B. 10"^J Kanäle pro Quadratzentimeter aufweisen, wobei jeder Kanal einen Durchmesser von etwa ΙΟμηι hat.

Es werden verschiedene Verfahren zur Herstellung solcher Matrizen verwendet. Ein Verfahren besteht im Ziehen einer aus zwei Glasarten bestehenden Faser, von der der Kern aus Weichglas und der Mantel aus härterem Glas bestehen.

Eine solche Faser ist in der französichen Patentschrift 11 58 476 beschrieben. Nach dem Ziehen wird die Faser zerschnitten und die unterschiedlichen Abschnitte werden gegeneinander gedrückt und erhitzt, wobei gegebenenfalls ein Schmelzmittel zwischengefügt wird, um die Röhre aneinander zu kleben. Das Kernglas wird dann durch eine Säure gelöst und die Mikrokanalplalte wird auf beiden Seiten mit einer leitenden Schicht überzogen.

Das Kernglas dient dazu, eine Verformung der Kanäle beim Festkleben der Abschnitte zu vermeiden, die sonst auf die Rohrwandung einen Druck ausüben. Es lassen sich Metalldraht statt der Glaskerne verwenden.

Die Mikrokanalplatte oder Sekundärcniissionsclektrode wird in einer Elektronenröhre, z. B. einem Bildverstärker oder einer Elektronenstrahlröhre, untergebracht.

Da es zum Sicherstellen der normalen Wirkung diescr Elektrode notwendig ist, zwischen den zwei Flächen einen Spannlingsunterschied der Größenordnung eines Kilovolts /.. B. anzulegen, wird die Kanalplatte gewöhnlich durch Metallstäbe gehaltert, die gleichzeitig als Elektroden dienen, Das Bestreben geht gewöhnlieh dahin, die Platte mittels einer möglichst kleinen Oberfläche zu haltern, damit eine maximale wirksame Fläche behalten wird.

Diese Anordnung hat zwei Nachteile:

Der erste ist mechanischer Art. Die Zufuhrelektroden müssen das ganze Gewicht der Platte tragen und ruhen nur auf einigen Hohlkanälen. Dadurch können Kanäle zerbrechen, wodurch die Röhre außer Betrieb gerät.

Der zweite Nachteil ist elektro-optischer Art. Auch in Abwesenheit auf die Eingangsfläche fallender Elektronen kann der Kontakt dieser Elektroden mit den Kanälen durch Spitzenwirkung eine Feldemission hervorrufen. Die auf diese Weise ausgelösten Elektronen werden im Kanal verstärkt und bilden auf dem Leuchtschirm oder der photographischen Platte feste Leuchtpunkte, die Streulicht erzeugen, das das Studium bestimmter Erscheinungen beeinträchtigen kann.

Die vorliegende Erfindung bezweckt, diese Nachteile zu beheben.

Die Sekundäremissionselektrode oder Mikrokanalplatte für eine Elektronen- ode Bildverstärkerröhre, welche Elektrode aus einem Körper aus Glas oder einem anderem Isoliermaterial mit zwei nahezu parallelen Grenzflächen besteht und ein Netzwerk hoher Dichte von Mikrokanälen zwischen diesen zwei Flächen aufweist, wobei die Innenflächen dieser Mikrokanäle Sekundäremissionseigenschaften aufweisen, ist nach der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß der Rand dieser Platte mindestens zwei in bezug auf die Mitte dieser Platte einander gegenüberliegende Gebiete mit vollen Kanälen aufweist.

Nach einer weiteren Ausbildung der Erfindung bildet das Gebiet mit den vollen Mikrokanälen eine Krone.

Eine Mikrokanalplatte dieser Art hat außerdem den Vorteil einer besseren Verteilung der zwischen den Eingangs- und Ausgangsflächen angelegten Spannung.

Eine weitere Ausbildung der Erfindung bezweckt außerdem, ein Verfahren zur Herstellung , ner solchen Platte zu schaffen. Dieses Verfahren besteht darin, daß der Rand der Platte mit den vollen Kanälen oder bestimmte Teile der Krone mit Lack oder einem anderen Material überzogen wird (werden), das in den üblichen Lösungsmitteln leicht löslich, aber gegen die Säuren zur Lösung der Kanalkerne widerstandsfähig ist.

Dies erfolgt nach dem Anbringen der Abschnitte aufeinander, nach dem Polieren der Flächen und vor der Lösung der Kerne. Wenn die Kanalkerne aus Metall bestehen, werden sie teilweise in den Gebieten gelöst, wo die Kanäle gefüllt bleiben sollen, um Kurzschluß zwischen den Zufuhrflächen der Mikrokanalplatte zu vermeiden.

Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine Vorderansicht einer Platte nach der Erfindung,

F i g. 2 im Schnitt eine Seitenansicht der Platte längs der Linie I-I,

F3 eine Vorderansicht einer anderen Ausführungsform,

Fi g. 4 das Schaltbild eines Bildverstärkers mit einer Elektrode iiach der Erfindung.

Zur Verdeutlichung der Beschreibung und aus praktischen Gründen sind die Kanäle nicht maßstäblich dargestellt.

Nach F i g. 1 hat die Platte 1 einen kreisförmigen

Querschnitt. Eine Krone 2 wird während des Wegätzens des Kernmaierials zur Bildung der Kanäle abgeschirmt. Diese Abschirmung kann durch Anbringung einer Schicht, z. B. aus Kollodium, erzielt werden, die durch eine Bürste angebracht werden kann, wenn die Plane noch aus vollen Abschnitten besteht.

Die Platte wird in einer Stütze angebracht, wodurch die angebrachte Kollodiumschicht zentriert werden kann, worauf das Wegätzen erfolgt und das Ganze in Aceton getaucht wird, das nicht nur die Platte reinigt, sondern auch das Kollodium löst.

Es könnte auch eine Abschirmung aus Kunststoff oder Polytetrafluoräthylen benutzt werden.

Die zwei Flächen der Platte werden darauf durch Vakuumaufdampfung oder Kathodenzerstäubung mit einer Metallschicht, z. B. Nickel-Chrom versehen.

In Fig.) ist die Schicht weggenommen zur Darstellung der endgültigen Elektrode, die aus vollen Kanälen 4 und hohlen Kanälen 5 besteht, wobei die ersteren das Gebiet 2 bilden.

F i g. 2 zeigt einen Schnitt durch die Platte nach F i g. 1 längs der Linie I-l, in dem eine Metallschicht zum Anlegen der Spannung zwischen den zwei Flächer der Platte dient.

F i g. 3 zeigt eine andere Ausführungsform der Erfindung, bei der lediglich Sektoren 2 der Platte vor der Ätzflüssigkeit zur Lösung des Kernmaterials abgeschirmt sind.

Diese Figur zeigt weiterhin Elektroden 7, die die Platte abstützen. Diese Anordnung kann vorteilhaft sein, wenn es erwünscht ist, ein kräftiges Wirkungsfeld ίο zu erhalten. Die Anzahl von Gebieten 2 kann selbstverständlich beliebig gewählt werden und die Spannung kann einer einzigen Elektrode zugeführt werden.

F i g. 4 zeigt einen Bildverstärker, in dem die Platte 1 zwischen einer Photokathode 8 und einem Leuchtschirm 9 angeordnet ist. Die Platte wird von den Stützelektroden 7 gehaltert, die mit den betreffenden Klemmen eines Gleichspannungsgenerators 10 verbunden sind.

Das vorstehend beschriebene Verfahren eignet sich selbstverständlich auch zur Herstellung von Sckundäremissionselektroden, in denen nur bestimmte, selektierte Teile wirksam sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

21 Π Patentansprüche:

1. Sekundäremissionselektrode oder Mikrokanalplatte für eine Elektronen- oder Bildverstärkerröhre, welche Elektrode aus einem Körper aus Glas oder einem anderen Isoliermaterial mi» zwei nahezu parallelen Grenzflächen besteht, der von einem Netzwerk großer Dichte von Mikrokanälen zwischen diesen Flächen durchquert ist, wobei die Innenwandung dieser Mikrokanäle die Sekundäremissionseigenschaft aufweist, dadurch gekennz e i c h η e t, daß der Rand (2) dieser Platte Π) mindestens zwei in bezug auf die n/litte der Platte einander gegenüberliegende Gebiete von vollen Mikrokanälen (4) aufweist.

2. Elektrode nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß die vollen Mikrokanäle (4) am Umfang eine Krone bilden.

3. Verfahren zur Herstellung einer Elektrode nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte mit vollen Kanälen (4) mit mindestens einer Abschirmschicht überzogen wird, worauf das Kernmaterial mittels einer Säure weggeätzt und die Abschirmschicht gelöst wird.