DE2234998A1

DE2234998A1 - Mit einem ladungstraegerstrahl arbeitender abtaster

Info

Publication number: DE2234998A1
Application number: DE2234998A
Authority: DE
Inventors: Walter F Goede
Original assignee: Northrop Grumman Corp
Current assignee: Northrop Grumman Corp
Priority date: 1971-09-09
Filing date: 1972-07-17
Publication date: 1973-03-15
Also published as: JPS4838067A; NL7210100A; GB1391102A; FR2152801A1; CA973971A; US3701923A

Description

München, 17. Juli 1972

NORTHROP CORPORATION

1800 Century Park East 2234998

Los Angeles, Kalifornien 90067

V, St. A.

Mit einem Ladungsträgerstrahl arbeitender Abtaster

Die Erfindung betrifft mit einem Ladungsträgerstrahl arbeitende Abtaster, beispielsweise Elektronenstrahlabtaster, und insbesondere einen digital gesteuerten Abtaster, der eine Speichereinrichtung aufweist.

Ein Elektronenstrahlabtaster, der durch digitale Signale gesteuert werden kann und mehrere flache Steuerplatten verwendet, die sandwichartig zwischen einer flächigen Kathode und einem Auffänger angeordnet sind, ist in der US-PS 3.539.719 und der amerikanischen Patentanmeldung 83.909 vom 26. Oktober 1970 beschrieben. Bei der Vorrichtung nach der US-PS 3.539.719 wird eine Elektronenstrahlvervielfachung mit Hilfe von Dynoden verwendet, um einen genügend großen Elektronenstrahlstrom zu schaffen, damit das Bild auf dem Auffänger eine annehmbare Helligkeit hat. Die Anwendung von Elektronenstrahlvervielfachung führt zu erheblichen Kosten und erhöht den Bauaufwand, wenn die Arbeitsweise dieser Vorrichtung optimal in einem Gerät verwirklicht werden soll. Ferner ist für manche Anwendungsfälle, insbesondere bei dem Abtasten mit hoher Geschwindigkeit, selbst nach einer Elektronenstrahlvervielfachung die Helligkeit des Bildes geringer als erwünscht.

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Die erfindungsgemäße Vorrichtung erbringt erhebliche Verbesserungen im Betrieb digital gesteuerter Elektronenstrahlabtaster, wie sie in dem oben genannten Patent und der Patentanmeldung beschrieben werden, da eine größere Helligkeit in der Bildanzeige ohne die Notwendigkeit für Vervielfacherp^atten erreicht wird. Ferner ist es möglich, geringere Umschaltgeschwindigkeiten zu verwenden, da die Verweilzeit pro Bildelement mit Hilfe einer Speicherung wesentlich erhöht werden kann. Ferner ergibt sich ein geringerer Leistungsverbrauch und eine Gesamtverbesserung des Wirkungsgrades im Betrieb auf Grund der Speicherung« Schließlich reduziert oder eliminiert das Merkmal der Speicherung die Notwendigkeit für eine häufige Auffrischung oder ein neues Einschreiben der Information durch die ursprüngliche Quelle, gewöhnlich einen Rechner, einen Digitalspeicher oder einen direkten Fühler.

Die Verwendung einer Speicherung bei Kathodenstrahlröhren ist an sich bekannt» Die bekannten Einrichtungen haben jedoch mehrere Mangel. Diese bestehen in der Notwendigkeit für eine getrennt Elektronenstrahlquelle, um eine flutlichtartige Bestrahlung zu verwirklichen, und das Erfordernis für eine viel-· größere Hülle und ein komplexes Kollimatorsystem. Ferner ist ein extrem feines Maschennetz erforderlich, um eine brauchbare Auflösung bei Kathodenstrahlröhren ai erzielen, welches teuer und schwierig herzustellen ist. Auch ist die Auflösung, die mit Speicher-Kathodenstrahlröhren erzielbar ist, in gewisser Weise begrenzt, und die Speichergitter sind gewöhnlich sehr zerbrechlich, so daß die Vorrichtung nicht für den Betrieb in solchen Anwendungsfällen geeignet ist, wo sie groben Beanspruchungen ausgesetzt ist.

Die erfindungsgemäße Speichereinrichtung hat, wenn sie bei einem Elektronenstrahlabtaster verwirklicht ist, keine der oben erwähnten Mangel. Es wird keine zusätzliche Elektronenquelle, kein komplexes Kollimatorsystem oder keine erheblich größere Röhrenhülle benötigt. Tatsächlich kann die erfindungs-

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gemäße Einrichtung in bereits vorhandene Elektronenstrahlabtaster der in dem oben genannten Patent beschriebenen Art eingebaut werden, ohne die Größe oder die Kosten erheblich zu yer- : großem. Es werden daher wesentliche Vorteile mit der erfin- '' dungsgemäßen Speichereinrichtung - in einem Elektronenstrahlabtaster dieser Art erzielt, ohne daß die Probleme und Mangel in Kauf genommen werden müßten, die gewöhnlich bei dieser Art von Vorrichtungen bei Kathodenstrahlröhren auftraten.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Helligkeit der Darstellung in einem digital gesteuerten, mit einem Ladungsträgerstrahl arbeitenden Abtaster der oben angegebenen Art zu verbessern und den Wirkungsgrad, insbesondere eines Elektronenstrahlabtasters, im Betrieb zu erhöhen»

Die erfindungsgemäße Speichereinrichtung hat den Vorteil, daß eine Anzeigevorrichtung mit Elektronenstrahlabtaster verhältnismäßig preiswert und einfach hergestellt werden kann, der eine inherente Speicherfähigkeit hat, wobei die Speicherung mit hohem Wirkungsgrad möglich ist. Schließlich ist vorteilhaft, daß diese Speicherfähigkeit erreicht wird, ohne daß die Vorrichtung erheblich größer, komplexer oder teurer wird»

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun anhand der beiliegenden Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:

Pig. 1 eine schematische Darstellung der grundlegenden Bestandteile der erfindungsgemäßen Einrichtung;

Fig. 2 eine graphische Darstellung·, die die Arbeitsweise der erfindungsgemäßen Speicherplatte zeigt;

Fig. 3 ein Zeitdiagramm, das die Arbeitsweise der erfindungsgemäßen Einrichtung in verschiedenen Betriebsweisen darstellt;

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-A-

Pig» 4 eine Seitenansicht eines Ausführungsbeispieles der erfindungsgemäßen Einrichtung im Schnitt;

Pig. 5 einen Schnitt entlang der Ebene 5-5 in Pig. 4, wobei Teile weggeschnitten sind;

Pig. 6 eine perspektivische Darstellung, die eine alternative Speicherplatte zeigt, die in der erfindungsgemäßen Einrichtung verwendbar ist; und

Pigo 7 eine perspektivische Darstellung einer anderen Ausführungsform der Speicherplatte, die verwendet werden kann.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine flächige Quelle für geladene Teilchen, beispielsweise eine Elektronenquelle, und eine flache Auffangplatte auf, wobei dazwischen sandwichartig mehrere Steuerplatten mit Öffnungen vorgesehen sind, die Elektronenstrahlkanäle definieren. Es ist zu beachten, daß obwohl die Vorrichtung im Zusammenhang mit einem Elektronenstrahl beschrieben wird, die Vorrichtung auch mit anderen Strahlen aus geladenen Teilchen verwendbar ist, beispielsweise wie sie durch positive oder negative Ionen gebildet werden können. Die Steuerplatten können digital erregt . werden, um den Durchfluß von Elektronen durch die aufgebauten Kanäle zu steuern. Zwischen den Steuerplatten und dem Auffänger ist eine Speicherplatte eingesetzt, auf der eine sekundär emittierende Schicht, die ein Dielektrikum sein kann, abgeschieden istο Eine Kollektorplatte, die ähnlich aufgebaut ist, wie die Abtastplatte mit der Ausnahme, daß sie vollständig überdeckende Elektroden auf beiden Seiten statt Elektroden in einem Pingermuster hat, ist zwischen der Speicherplatte und der Steuerelektrode angeordnet, um einen RückfUhrungsweg für Sekundärelektronen von der Speicherplatte zu schaffen. Um den Kontrast zu erhöhen, kann eine Kontrastplatte zwischen der Speicherelektrode und dem Auffänger angeordnet werden, die

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den Kontrast der Darstellung dadurch erhöht, daß sie als

Blendengitter während der Löschung wirkt, um zu verhindern,
daß Elektronen während des Verfahrensschrittes der Löschung
den Auffänger erreichen.

Bei dem Betrieb der Vorrichtung werden drei Arbeitsgänge hintereinander durchgeführt: Löschen, Einschreiben und flutlicht- ! artiges Bestrahlen. Während des Löschens werden Potentiale i an die verschiedenen Platten angelegt, um eine gleichförmige
Ladung über der gesamten Fläche der dielektrischen Oberfläche
der Speicherplatte aufzubringen, so daß jegliche darauf gespeicherten Signale wirksam gelöscht werden. Während des Ein- ' Schreibens empfangen die Steuerplatten digitale Signale, um j den Elektronenstrahl zu steuern, und gleichzeitig werden Po- ; tentiale an die restlichen Platten angelegt, um zu bewirken, I daß das Abtastmuster auf der Speicherplatte dadurch gespei- ] chert wird, daß die dielektrische Oberfläche dieser Platte j in geeigneter Weise aufgeladen wird. Schließlich wird während j der flutlichtartigen Bestrahlung die in Porm einer elektri- ; sehen Ladung auf der Speicherplatte gespeicherte Information
dazu verwendet, den Auffänger in geeigneter Weise zu erregen. ^;

In Pig. 1 ist die erfindungsgemäße Vorrichtung schematisch
gezeigt. Eine flächige Kathode 11, die Elektronen emittierende
Drahtfäden 11a aufweist, bildet eine Elektronenquelle auf ei- ; ner Abtastfläche, die durch die Abtast-Steuerplatten 12 defi- ^; niert wird. Die flächige Kathode 11 kann so aufgebaut sein,
wie in der amerikanischen Patentanmeldung Nr. 83.909 beschrie- : ben ist, während die Abtast-Steuerplatten 12 in Abhängigkeit j von den digitalen Signalen so arbeiten können, wie in der , US-PS 3.539.719 angegeben ist. Im Hinblick auf die Verbesserung der Helligkeit bei der vorliegenden Erfindung ist es
nicht notwendig, daß die Steuerplatten 12 als elektronenver- ! vielfaehende Dynoden ausgeführt sind, oder daß eine andere
Art der ElektronenvSrvielfachung verwendet wird. Zwischen

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den Abtast-Steuerplatten 12 und dem Auffänger 15, der einen phosphoreszierenden Überzug 15a abgeschieden auf einer klaren Glasplatte 15b aufweisen kann, ist eine Kollektorplatte 14 und eine Speicherplatte 13 angeordnet. Die Speicherplatte 13 kann aus einer Grundplatte 13a.aus einem leitfähigen Metall, beispielsweise Nickel, bestehen, die eine dünne Schicht 13b aus einem dielektrischen, sekundär emittierenden Material, beispielsweise Magnesiumfluorid oder eine Unterschicht aus Kalziumfluorid mit einer darauf abgeschiedenen Magnesiumoxydschicht, trägt. Wie noch im Zusammenhang mit den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 4"bis 6 gezeigt wird, kann die Grundelektrode 13a ein Metallnetz mit 100 - 1000 Linien/2,5 cm, eine dünnte Metallplatte mit öffnungen, die auf die Kanalöffnungen der Abtast-Steuerplatten 12 abgestimmt sind oder ein dielektrisches Substrat mit einem Metallüberzug sein. ' Die Platten 14 undi6 können beide Metallplatten mit Öffnungen _; sein, die zu den Kanälen passen und mit den Kanälen fluohten, die durch die Öffnungen in den Steuerplatten definiert sind. Diese Platten können auch auf einem dielektrischen Substrat ausgebildet werden, wobei dieses Substrat durch Metall auf beiden Plattenfläohen verkleidet ist und zur Verbindung löcher aufweist, die ebenfalls mit Metall Überzogen sind, um die Elektroden auf den gegenüberliegenden Flächen zu verbinden, wie in der US-Patentanmeldung Nr. 89.879 beschrieben ist.

Der dielektrische Überzug 13b kann duroh Aufdampfen im Vakuum mit einer Dicke in der Größenordnung von 1 bis 5 Mikron aufgebracht werden. Dieser Überzug befindet sich auf der Oberfläche, die den Steuerplatten gegenüberliegt, und auf den Oberflächen der mit den Löchern versehenen Abschnitte, Die Dicke der Abscheidung wird durch die jeweiligen, besonderen Anwendungserfordernisse vorgeschrieben, da eine dickere Schicht eine geringere Kapazität liefert, wobei eine schnellere Einschreibzeit möglich ist. Ea ist jedoch zu beaohten, daß eine zu dicke Schicht andere Betriebskennwerte, beispielsweise die Speicherfähigkeit beeinträchtigen kann.

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In den Figuren 4 und 5 ist ein Aus führung Bb ei spiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung gezeigt. Die thermionieöhe, flächige
Kathode 11 ist in einem evakuierten Gehäuse 20 aufgehängt.
Die Steuerplatten 12 werden in einer stapelartigen Anordnung
auf Isolierstäben 35 getragen. Die Steuerplatten werden, wie
bereits erwähnt, durch digitale Signale gesteuert. Auf den
Isolierstangen 35 sind zwischen den Steuerplatten 12 und dem | phosphoreszierenden Auffänger 15 die Kollektorplatte 14, die j Speicherplatte 13 und die Kontrastplatte 16 montiert. Wenn | eine Intensitätsmodulation des Signales erwünscht ist, kann i eine Modulationselektrode, die als Steuergitter wirkt, vorge- i sehen werden, wie in der US-PS 3*539.719 beschrieben ist« Die ^; Speicherplatte 13 ist bei diesem Ausführungsbeispiel ein Draht- \ netz 13a, auf dem ein dielektrischer Überzug 13b abgeschieden ^; ist (Fig. 5). · . _;

In Fig. 6 ist eine andere Ausführungsform gezeigt, die für die Speicherplatte 13 verwendet werden kann* Diese Speicherplatte
ist aus einer Metallplatte 13a hergestellt, die im wesentlichen über ihrer gesamten Fläche Öffnungen 13c aufweist. Diese Öffnungen entsprechen und fluchten mit den Öffnungen, die in der
Steuerplatte 12 ausgebildet sind. Auf der Platte ist ein ; dielektrischer, sekundär emittierender Überzug 13h abgeschie- ^: den.

In Fig. 7 ist eine andere Form einer Speicherplatte gezeigt, ; die verwendet werden kann. Die Platte weist ein dielektri- ! sches Substrat 13a mit einer sich vollständig darüber erstrek- ; kenden, leitfähigen Elektrode 13b auf einer Seite auf. Sekundär emittierende Metallüberzüge 13b bilden Kragen in den und um ; die Öffnungen 13c auf der der Kathode zugewandten Seite.

Im folgenden wird anhand der Figuren 2 und 3 die Betriebsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung beschrieben.
Fig, 3 zeigt typische Arbeitspotentiale, die mit Erfolg bei
einem betriebsfähigen Ausführungsbeispiel der erfindungsge-

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mäßen Vorrichtung verwendet wurden. Selbstverständlich können diese Potentiale in anderen Ausführungsbeispielen etwas abgeändert werden, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Pig. 2 zeigt eine typische Sekundäremissionskurve, die dazu benutzt wird, die Betriebsweise der Speicherplatte zu demonstrieren.

Aus Fig_e 2, die eine graphische Darstellung des Sekundäremissionsverhältnisses gegen die Primärelektronenstrahlenergie darstellt, ist ersichtlich, daß für alle Elektronenstrahlenergien zwischen 0 und Vq^₁ das Sekundäremissionsverhältnis kleiner als 1 ist, und daß für alle Strahlenergien oberhalb dieses Niveaus das Sekundäremissionsverhältnis größer als 1 ist. Das bedeutet, daß in dem Bereich links von V_ßRj die Speicherfläche in negativer Richtung geladen wird, während rechts von Vq-^₁ die Speicherfläche in positiver Richtung geladen wird. Die Primärelektronenstrahlenergie (die Energie der Elektronen, die auf die Speicherplatte auftreffen) kann durch die Spannung bestimmt werden, die an die Grundelektrode 13a dieser Platte angelegt wird.

Die anfängliche Betriebssequenz der Vorrichtung besteht darin, die Speicherfläche zu löschen. Dies geschieht dadurch, daß das dielektrische Speichermaterial negativ gegenüber der Grundelektrode aufgeladen wird. Dies wird in folgender Weise erreicht (Pig. 3). Um die Darstellung zu vereinfachen, ist die Zeitdauer für die verschiedenen Betriebsschritte gleich groß dargestellt, im tatsächlichen Betrieb kann jedoch die Zeitdauer für die einzelnen Schritte erheblich abweichen. Es ist zu beachten, daß die in Pig. 3 in den aufeinanderfolgenden Linien gezeigten Potentiale die Potentiale sind, die an die verschiedenen Platten gegenüber dem Potential der flächigen Kathode angelegt werden, und zwar wie folgt:

V-u Kontrastplatte

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V-g G-rundelektrode der Speicherplatte ;

V^₂ Spur von Speicherelementen der dielektrischen Schicht,

die vorher eingeschrieben und während des Zyklusses :

nach dem löschen erneut eingeschrieben werden sollen \

Y-ßj Spur der Speicherelemente, die nicht eingeschrieben

wurden , ' j

ν« Kollektorplatte. j

Die mit Vg bezeichnete Linie stellt die Betriebsweisen der ^! Abtast-Steuerplatten 12 dar und repräsentiert keine angelegten j Potentiale.

Die Kontrastplatte wird auf eine Spannung (V_R) gelegt, die un- j terhalb des Kathodenpotentials (-10 V) liegt. Dies verhindert, ■', daß die zum Löschen der Speicherplatte verwendeten Elektronen .
den Auffänger während des Löschvorganges erreichen. Obwohl die
Verwendung dieser Kontrastplatte nicht absolut notwendig ist,

um die Vorrichtung arbeitsfähig zu machen, erhöht sie den Kon- [

ι trast des angezeigten Bildes erheblich dadurch, daß sie ver- ; hindert, daß der Auffänger durch die zum Löschen verwendeten
Elektroden aufgehellt wird, die sonst während des Löschzyklus
durchtreten könnten . Dadurch würde sich selbstverständlich
über der ganzen Fläche ein mittlerer Helligkeitshintergrund
ergeben, der zu einem verminderten Kontrast führen würde.

Die G-rundelektrode 13a der Speicherplatte wird gleichzeitig
auf ein Potential (V-g) gelegt, das unter dem Übergangspotential ■ (Vqtj..) liegt, das anhand von Pig„ 2 gezeigt und beschrieben
wurde. Zum Zwecke der Darstellung liegt der Wert bei 25 V über j

dem Kathodenpotential. ι

Die Abtast-Steuerplatten 12 sind alle in einen "EIN"-Zustand "| oder "PLUT"-Zustand versetzt, so daß alle Kanäle durch Anlegen der geeigneten Potentiale (etwa 100 V) in Vorwärtsrich- i tung vorgespannt sind. Das Fettoresultat davon ist, daß j "Flut"-Elektronen von der flächigen Kathode mit dem Dielektri- ; kum des Speichers zusammentreffen. Da die auf dem Dielektrikum j

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auftreffenden Elektronen eine Energie unterhalb V^m₁ haben, wird das dielektrische Material negativ gegenüber der Grundelektrode aufgeladen. An Speicherelementen, die vorher eingeschrieben worden waren, geht daher die Spannung auf dem dielektrischen Element auf "Full" (Kathodenpotential), wie durch V_D2 angedeutet ist, was etwa 30 Y negativer Ladung gegenüber der Grundelektrode entspricht. Pur nicht eingeschriebene Speicherelemente bleibt selbstverständlich, wie durch die Spur V,,. angedeutet ist, die Spannung auf dem dielektrischen .Element näherungsweise bei "Null" (Kathodenpotential) während des gesamten löschvorganges, was einer negativen Ladung von 30 Y gegenüber der Grundelektrode entspricht. Es ist zu beachten, daß in dem arbeitsfähigen Ausführungsbeispiel der Erfindung, auf das Bezug genommen wird, weniger als 100 Mikrosekunden für die gesamte Löschung des Schirmes erforderlich ist.

Nach dem Löschen folgt das Einsohreiben, während dem Information auf das Speicherdielektrikum der Speicherplatte aufgeschrieben wird. Während dieses Vorganges werden die Abtast-Steuerplatten in dem Abtastbetrieb betätigt, während dem sie in geeigneter Weise in Abhängigkeit von digitalen Steuersignalen betätigt werden, wie in der US-PS 3.539.719 beschrieben ist. Die Grundelektrode der Speicherplatte wird auf ein Potential (V-q) angehoben, das größer als Vq-d-j (i*¹ der Größenordnung von mehreren 100 V) ist, so daß das Sekundäremissionsverhältnis größer als 1 ist. Gleichzeitig wird die Kollektorelektrode auf ein Potential (V_ß) gelegt, das etwas höher als das der Grundelektrode ist, um bei der dielektrischen Fläche erzeugte Sekundärelektronen aufzusammeln. Die Kontrastplatte wird ebenfalls auf ein Potential (V_ß) oberhalb der Grundelektrode angehoben. Dadurch können einige der Schreibelektronen zu dem Phosphorauffänger durchtreten. Ein voller Informationsrahmen wird nun auf den Speicherauffänger eingeschrieben. In Fig. 3 aeigt zum Zwecke der Darstellung V^₂ die Aufladung eines Speicherelementes gegenüber dem Kanal, in dem Information eingeschrieben wird, während Y^ die Ladung auf einem Speicherelement sseigt_s das einem abgesperrten

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Kanal gegenüberliegt. Es ist zu beachten, daß in dem arbeitsfähigen Ausführungsbeispiel der Erfindung weniger als 0,5 Mikrosekunden. zum Sehreiben eines einzigen Elementes erforderlich sind.

Der nächste und abschließende Arbeitssehritt besteht in der flutliehtartigen Bestrahlung. Bei dieser Betriebsart wird die Information in Form elektrischer Ladung, die auf die Speieher*- platte eingeschrieben wurde, dazu verwendet, eine 'sichtbare Anzeige auf dem Phosphorauffänger zu liefern. Ein Potential Vg wird erst an die Elektronenstrahl-Abtastplatten angelegt, um sie in den "Elut"-Zustand zu versetzen, wie vorher im Zusammenhang mit dem Löschvorgang beschrieben wurde. Gleichzeitig wird die Kollektorplatte auf ein Potential Vq (etwa 50 V) gebracht, und die Grundelektro.de der Speicherplatte wird auf ein Potential V^ nahe dem Kathodenpotential (etwa 20 V) gebracht, so daß die Bereiche V_{n ?} der dielektrischen Schicht, die während des Einsehreibens positiv geladen wurden, "llut"-Elektronen übertragen und die Bereiche V-^.,, die während des Lösehvorganges negativ geladen und beim .Einschreiben ungestört gelassen wurden, ankommende ""Flut"-Elektronen abstoßen. Die abgestoßenen Elektronen werden an der Kollektorplatte -gesammelt. Die Kontrastplatte wird auf ein Potential Vq oberhalb des Potentiales der GrundiLektrode gelegt, so daß die "Flut"-Elektronen, die durch die Speieherplatte kommen, erneut fokussiert und auf den Auffänger gerichtet werden. Die drei Schritte des Zyklusses sind dadurch abgeschlossen, und ein neuer, ähnlicher Zyklus kann beginnen.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung liefert daher einfache und wirtschaftliche Mittel., um die Helligkeit der Anzeige eines digital gesteuerten Elektronenstrahlabtasters erheblich zu erhöhen. Dieses Endresultat wird erreicht., ohne in nennenswertem Maße Zusatzeinrichtungen zu einer bereits vorhandenen Vorrichtung hinzuzufügen und ohne die Kosten derselben stark zu erhöhen. Eine inherente Speicherung wird zusätzlich bei der Vorrichtung verwirklieht, die in einigen .Fällen die Notwendig-

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keit für einen Auffrisclispeicher in der Elektronik eliminiert.

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Claims

PATENTANSPRÜCHE

. lit einem Ladungsträgerstrahl arbeitender Abtaster mit einer flächigen Kathode, einem Auffänger zur Aufnahme der Elektronen.von der Kathode und einer Steuerplatteneinrichtung mit Öffnungen, die viele Kanäle definieren, die von der Kathode zu dem Auffänger laufen, um den Durchfluß geladener Teilchen in den Kanälen zu steuern, dadurch gekennzeichnet, daß eine Speicherplatteneinrichtung (13) zwischen den S-teuerplatteneinrichtungen (12) ' vorgesehen ist, um eine Ladung entsprechend dem Durchfluß geladener Teilchen durch die Kanäle während eines ersten ' Betriebszustandes zu speichern und die gespeicherten Teilchen an den Auffänger während eines zweiten Betriebszustandes abzugeben, daß eine Kollektorplatteneinrichtung (14) zwischen der Steuerplatteneinrichtung (12) und der Speicherplatteneinrichtung (13) vorgesehen ist und Öffnungen aufweist, die mit den Kanälen fluchten, um einen Rückführungsweg für geladene Teilchen von den Speicherplatteneinrichtungen zu schaffen, und daß ein erster Satz von Potentialen an'die Speicher- und Steuerplatteneinrichtungen (13,12) während der ersten Betriebsweise, um die Ausbeute der sekundären, geladenen Teilchen der Speiherplatteneinrichtung (13) auf weniger als 1 zu bringen, ein zweiter Satz von Potentialen an die Speicher- und Steuereinrichtungen (13,12) während der zweiten Betriebsweise, um die Ausbeute der sekundären, geladenen Teilchen der Speicherplatteneinrichtung (13) auf einen Wert größer 1 zu bringen, und ein dritter Satz von Potentialen an die Speicher- und Steuerplatteneinrichtungen (13,12) während einer nachfol- · genden Betriebsweise angelegt werden, um die auf der Spei- I cherplatteneinrichtung (13) gespeiste Ladung zu löschen.

2. Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherplatteneinrichtung (13) ein leitfähiges

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Drahtnetz aufweist, auf dessen der Steuerplatteneinrichtung (12) zugekehrten Fläche ein dielektrisches, sekundär emittierendes Material abgeschieden ist.

3ο Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherplatteneinrichtung (13) eine flache leitfähige Platte mit Öffnungen aufweist, die mit den Kanälen fluchten, wobei ein dielektrisches, sekundär emittierendes Material in den mit den Öffnungen versehenen Abschnitten der Platte auf der der Steuerplatteneinrichtung (12) zugekehrten Fläche derselben abgeschieden ist.^

4. Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherplatteneinriohtung (13) eine flache dielektrische Platte mit Öffnungen aufweist, die mit den Kanälen fluchten, und daß ein sekundär emittierendes Material in den mit den Öffnungen versehenen Abschnitten der Platte auf wenigstens einem Teil der Fläche abgeschieden ist, die die mit den Öffnungen versehenen Abschnitte umgibt und der Steuerplatteneinrichtung (12) zugewandt ist, wobei die gegenüberliegende Fläche der Platte ein leitfähiges Material trägt.

5. Abtaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine leitfähige Platteneinrichtung (16) zwischen der Speicherplatten-

- einrichtung (13) und dem Auffänger (15), um den Kontrast des Auffängersignales dadurch zu verbessern, daß verhindert wird, daß während des Löschvorganges geladene Teilchen den Auffänger erreichen.

6. Abtaster insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einem Elektronenstrahl als Ladungsträgerstrahl, gekennzeichnet durch eine flache, flächige Kathode (11), einen flachen Auffänger (15) zur Aufnahme von Elektronen

. von der Kathode, eine Vielzahl von flachen Steuerplatten (12), .die sandwichartig zwischen der Kathode (11) und dem

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Auffänger (15) zur Steuerung des hindurchtretenden Elektro- , nenstromes angeordnet sind, wobei in den Steuerplatten (12) Öffnungen ausgebildet sind, die in aufeinanderfolgenden j Steuerplatten miteinander fluchten, um zwischen der Kathode ■ und dem Auffänger durchgehende Elektronenstrahlkanäle zu ■ definieren, eine Speicherplatteneinrichtung (13), die sand- ; wichartig zwischen den Steuerplatten (12) und dem Auffänger ! (15) angeordnet ist, um gemäß dem Elektronenfluß in den Kanälen während eines Einschreibvorganges eine Ladung zu spei-. ehern, wobei die gespeicherte Ladung zur Erregung des Auffängers (15) während einer nachfolgenden, flutlicht- ^: artigen Bestrahlung verwendet und von der Speicherplatte (13) während eines darauf folgenden Löschvorganges gelöscht wird, und durch eine Kollektorplatteneinrichtung (14-), die sandwichartig zwischen der Speicherplatteneinrichtung (13) und den Steuerplatten (12) angeordnet ist, um einen Rückführungsweg für Elektronen von der Speicherplatteneinrichtung (13) zu liefern.,

7. Abtaster nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerplatten (12) Elektroden in einem Fingermuster tragen, um den Elektronenfluß digital zu steuern.

8. Abtaster nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherplatteneinrichtung (13) ein Drahtnetz aufweist, auf dem ein sekundär emittierendes, dielektrisches Material abgeschieden ist.

9. Abtaster nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine leitfähige Platteneinrichtung (16), um den Kontrast des Auffängersignales dadurch zu verbessern, daß verhindert wird, daß die Elektronen während des Löschvorganges den Auffän- ; ger (15) erreichen, wobei in der leitfähigen Platteneinrichtung (16) mit den Kanälen fluchtende Öffnungen ausgebildet sind.

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