DE69311159T2 - Methode zur Herstellung einer Flüssigkristall-Anzeige mit nur einer Orientierungsschicht - Google Patents

Methode zur Herstellung einer Flüssigkristall-Anzeige mit nur einer Orientierungsschicht

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Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG a) Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristall-Anzeige, das folgende Schritte aufweist: Ausbildung einer Elektrodenstruktur auf einem ersten Substrat; Ausbildung einer Elektrodenstruktur auf einem zweiten Substrat, Ausbildung einer Orientierungsschicht auf der Elektrodensstruktur des zweiten Substrats, und Durchführung einer Reibebehandlung ausschließlich auf der Orientierungsschicht; Anordnen des ersten Substrats ohne Reibebehandlung und des zweiten Substrats mit Reibebehandlung, so daß sie sich in einer vorgegebenen gegenseitigen Entfernung gegenüberstehen; und Einleiten einer chirale Moleküle enthaltenden Flüssigkristallflüssigkeit zwischen das erste und das zweite Substrat.
  • b) Beschreibung des Standes der Technik
  • Ein Verfahren der vorher erwähnten Art ist jeweils aus JP-A-62 080 624 und JP-A-62 226 126 bekannt. Diese Dokumente beziehen sich auf ein drehnematisches Flüssigkristall-Anzeigegerät, bei dem eine Orientierungsstruktur nur auf einem Substrat ausgebildet wird und bei dem Einmischen einer chiralen Substanz in einen nematischen Flüssigkristall vorgesehen ist.
  • JP-A-61 179 419 offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines ferroelektrischen Flüssigkristall-Anzeigegerätes, bei dem nur eines der Substrate einer Orientierungsbehandlung unterzogen wird und die Flüssigkristallsubstanz in ihrer isotropen Phase zwischen das Substrat eingespritzt und allmählich gekühlt wird. Obgleich viele smektische Flüssigkristallsubstanzen eine nematische Zwischenphase zwischen der isotropen und der smektischen zeigen, lehrt diese Anmeldung nicht die Anwendung eines Temperaturgradienten bei dem Kühlschritt zur Herstellung einer drehnematischen Flüssigkristall-Anzeige.
  • Fig. 3 ist eine Querschnittsansicht einer Flüssigkristall-Anzeige vom Dünnschichttransistor-Typ (TFT = thin film transistor), die nach einem konventionellen Verfahren hergestellt wurde.
  • In Fig. 3 ist eine drehnematische Flüssigkristallzelle gezeigt, die Flüssigkristallmoleküle 30 aufweist, deren Longitudinalachsen parallel zu den Oberflächen zweier transparenter Glassubstrate ausrichtet sind, wobei die Longitudinalachsen um 90 Grad in dem Bereich zwischen dem einen und dem anderen Substrat gedreht sind. Die Flüssigkristallschicht 31 wird zwischen den zwei transparenten Glassubstraten 32 und 33 gehalten, die sich gegenüberstehen und durch ein Distanzstück (nicht gezeigt) in einem vorgegebenen Abstand gehalten werden.
  • Auf dem in Fig. 3 gezeigten unteren Glassubstrat 32 sind TFTs 34 zum Anlegen eines elektrischen Feldes an ein Pixel im Ansprechen auf ein Gate-Signal, Source-, Drain- und Gate-Elektroden (nicht gezeigt) der TFTs 34, Matrixleitungen (nicht gezeigt), die aus Gate-(Abtast)-Leitungen und mit den TFTs 34 verbundenen Signalleitungen bestehen, und mit den TFTs 34 verbundene Pixelelektroden 35 ausgebildet. Eine Orientierungsschicht 36 ist auf diesen Elementen ausgebildet, wobei der Film dem Orientierungsvorgang (Reibebehandlung und dergleichen) unterzogen worden ist.
  • Eine gemeinsame Elektrode 37 ist auf dem in Fig. 3 gezeigten oberen Glassubstrat 33 ausgebildet. Eine weitere einem Orientierungsvorgang unterzogene Orientierungsschicht ist an der Grenzschicht zwischen der gemeinsamen Elektrode 37 und der Flüssigkristallschicht 31 ausgebildet. Die oberen und unteren Glasubstrate 33 und 32 sind so angeordnet, daß sie in ihrer Orientierung senkrecht zueinander sind.
  • In einigen Fällen werden Farbfilterschichten (nicht gezeigt) und eine als schwarze Maske bezeichnete Blendschutzschicht (nicht gezeigt) zur Verbesserung des Bildkontrastes ausgebildet, wobei verhindert wird, daß Licht durch einen anderen Bereich als den Pixelbereich übertragen wird.
  • Die in Fig. 3 gezeigte Flüssigkristallschicht 31 ist eine drehnematische Flüssigkristallschicht. Da die Orientierungsschichten 36 und 38 der Reibebehandlung unterzogen werden, um ihre Orientierung um 90 Grad senkrecht zueinander herzustellen, wenn kein elektrisches Feld zwischen diesen Elektroden angelegt ist, wie es bei (A) der Fig. 3 bezeichnet ist, sind die Longitudinalachsen der Flüssigkristallmoleküle 30 im allgemeinen senkrecht zu der optischen Achse OX ausgerichtet, wobei die Longitudinalachsen um 90 Grad in dem Bereich zwischen der Pixelelektrode 35 und der gemeinsamen Elektrode 37 verdreht sind. Unter dieser bei (A) in Fig. 3 gezeigten Bedingung wird, wenn ein linear polarisiertes Licht mit einer vertikalen Polarisation in bezug auf die Oberfläche des Zeichnungsblattes der Fig. 3 auf die Flüssigkristallschicht 31 von der Unterseite des Glassubstrat 32 entlang der optischen Achse OX einfällt, das einfallende Licht um 90 Grad gedreht und von dem Glassubstrat 33 ausgegeben. Dieses ausgegebene Licht geht durch einen Polarisator (nicht gezeigt) mit einer Polarisationsachse, die senkrecht zu der an der Lichteinfaus seite ist, zur Herstellung eines Hellzustands.
  • Wenn ein elektrisches Feld zwischen der Pixelelektrode 35 und der die Flüssigkristallschicht 31 bedeckenden gemeinsamen Elektrode 37 angelegt wird, werden die Flüssigkristallmoleküle 30 alle in der optischen Achsenrichtung ausgerichtet, wie es bei (B) der Fig. 3 gezeigt ist. Daher tritt das einfallende linear polarisierte Licht durch die Flüssigkristallschicht 31 ohne gedreht zu werden und wird von dem Polarisator mit der Polarisationsachse, die senkrecht zu der Polarisationsachse bei der Lichteinfallsseite ist, aufgefangen zur Herstellung eines Dunkelzustands.
  • Ein konventionelles Herstellungsverfahren solcher drehnematischen Flüssigkristall-Anzeigen ist das folgende.
  • Zuerst werden TFTs 34, aus Signalleitungen und Scanleitungen bestehende Matrixleitungen (nicht gezeigt) und Pixelelektroden 35 auf dem Glassubstrat 32 ausgebildet und miteinander verbunden, um ein TFT-Substrat herzustellen.
  • Danach wird eine gemeinsame Elektrode 37 auf dem anderen Glasubstrat 33 gebildet, um ein gemeinsames Elektrodensubstrat zu schaffen. Die Orientierungsschichten 36 und 38 werden auf dem TFT-Substrat und dem gemeinsamen Elektrodensubstrat gebildet und der Reibebehandlung unterzogen.
  • Die Substrate werden auf einem dazwischen angebrachten Abstandsregler angeordnet, wobei die Substrate so angeordnet werden, daß ein Orientierungsunterschied von 90 Grad zwischen den Orientierungsschichten 36 und 38 erhalten wird. Eine nematische Kristallflüssigkeit wird zwischen die Substrate durch eine Einlaßöffnung eingefüllt, die danach zur Fertigstellung einer Flüssigkristall-Anzeige versiegelt wird.
  • Das im vorhergehenden beschriebene Herstellungsverfahren ist grundsätzlich auch anwendbar, wenn Metall-Isolator-Metall (MIM) -Dioden anstelle von TFTs zur Steuerung einer aktiven Matrixanzeige verwendet werden.
  • Bei dem oben beschriebenen Herstellungsverfahren kann statische Elektrizität während der Reibebehandlung zur Herstellung der Orientierungsschichten entstehen. Diese statische Elektrizität kann Kurzschlüsse zwischen TFTs oder MIM-Dioden, Leitungsbrüche, Zerstörung von TFTs oder Charakteristikänderungen hervorrufen, die zu möglichen Punkt- oder Linienfehlern führen.
  • Sehr dünne isolierende Schichten im Bereich von 200 bis 600 nm werden zur elektrischen Isolierung zwischen den Elektroden der TFT- oder MIM-Elemente und zwischen Signal- und Gate-Leitungen enthaltenden Matrixleitungen verwendet. Der dielektrische Durchbruch solcher dünnen Schichten kann durch statische Elektrizität hervorgerufen werden. Da Amorph-Silicium- oder Polysilicium-Halbleiter als TFT- Material verwendet werden, können die Charakteristiken der Tansistoren wie beispielsweise Schwellenwerte sich ändern, wenn sich ein hohes elektrisches Feld an den Elektroden konzentriert.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERINDUNG
  • Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung eine Flüssigkristall-Anzeige zu schaffen, die Punkt- oder Linienfehler zu reduzieren vermag durch Verhinderung der Zerstörung von Elementen auf den Substraten, der Kurschlüsse zwischen Elektroden und des Leitungsdurchbruchs, die jeweils auf das Herstellungsverfahren zurückzuführen sind, insbesondere durch statische Elektrizität, die während der Reibebehandlung in der Stufe zur Erzeugung der Orientierungsschicht erzeugt wird. Dieses Ziel wird durch das in Anspruch 1 definierte Verfahren erreicht.
  • Entsprechend einem Gesichtspunkt einer Flüssigkristall-Anzeige der vorliegenden Erfindung wird nur eines der zwei Substrate mit einer gemeinsamen Elektrode mit einer einer Reibebehandlung unterzogenen Orientierungsschicht gebildet. Das andere Substrat, das mit Treiberelementen und Elektrodenleitungen oder mit Segmentelektroden gebildet wird, ist ohne Orientierungsschicht.
  • Die Orientierung der Flüssigkristallmoleküle wird unter Anwendung eines thermo-optischen Effekts des Flüssigkristalls eingestellt. Ein auf eine besondere Temperatur oder höher erhitzter nematischer Flüssigkristall wird isotrop. Diese Phasenübergangstemperatur wird N-I-Temperatur genannt. Die Orientierungsrichtung der Flüssigkristallmoleküle wird festgelegt durch Injizieren der Flüssigkristallsubstanz, die zur Phasenübergangstemperatur oder höher erhitzt wird und dabei eine isotrope Phase erhält, in Flüssigkristallzellen, die auf die gleiche Temperatur aufgeheizt sind, und das darauffolgende allmähliche Abkühlen der Zellen, so daß die Phase der Flüssigkristallsubstanz in die nematische Füssigkristallphase übergeht.
  • Ein Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristall-Anzeige enthält die folgenden Schritte: Ausbilden von Treiberelementen,, mit den Treiberelementen verbundenen Pixelelektroden und mit den Treiberelementen verbundenen Elektrodenleitungen jeweils auf der Oberfläche eines ersten Substrates; Ausbilden einer gemeinsamen Elektrode auf der Oberfläche eines zweiten Substrates; Ausbilden einer Orientierungsschicht auf der gemeinsamen Elektrode auf dem zweiten Substrat und Durchführen einer Reibebehandlung auf der Orientierungsschicht; Anordnen des ersten Substrats und des zweiten Substrats, so daß sie sich in einer vorgegebenen gegenseitigen Entfernung gegenüberstehen; und Einspritzen einer Flüssigkeit von Flüssigkristallsubstanz in einer isotropen Phase, die bis zur Phasenübergangstemperatur (N-I-Temperatur) oder höher erhitzt ist, zwischen das erste und das zweite Substrat; und allmähliches Abkühlen der Flüssigkeit, so daß die Phase der Flüssigkeit von der isotropen Phase in die nematische Flüssigkristallphase übergeht.
  • Ein weiteres Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristall-Anzeige enthält die folgenden Schritte: Ausbildens von Segmentelektroden auf der Oberfläche eines ersten Substrats; Ausbilden einer gemeinsamen Elektrode auf der Oberfläche des zweiten Substrats; Ausbilden einer Orientierungsschicht auf der gemeinsamen Elektrode des zweiten Substrats und Durchführen einer Reibebehandlung auf der Orientierungsschicht; Anordnen des ersten Substrats und des zweiten Substrats, so daß sie sich in einer vorgegebenen gegenseitigen Entfernung gegenüberstehen, und Einspritzen einer Flüssigkeit von Flüssigkristallsubstanz in einer isotropen Phase, die bis zur Phasenübergangstemperatur oder höher erhitzt ist, zwischen das erste und das zweite Substrat; und allmähliches Abkühlen der Flüssigkeit, so daß die Phase der Flüssigkeit von der isotropen Phase in die nematische Flüssigkristallphase übergeht.
  • An einem Substrat, das empfindlich auf den Einfluß der statischen Elektrizität reagiert, wird keine Reibebehandlung durchgeführt, wie beispielsweise einem Substrat mit Treiberelementen und Elektrodenleitungen, einem Substrat, das mit einer Segmentelektrode gebildet ist, die dünner als die gemeinsame Elektrode ist. Statische Elektrizität ist daher für dieses Substrat kein Problem. Das andere Substrat wird mit einer einer Reibebehandlung unterzogenen Orientierungsschicht gebildet. Dieses Substrat mit der gemeinsamen Elektrode weist relative hohe Toleranz gegen statische Elektrizität auf.
  • Die Flüssigkristallmolekülorientierung wird unter Anwendung eines thermooptischen Effekts des Flüssigkristalls eingestellt. Genauer gesagt, wenn eine Flüssigkeit der Flüssigkristallsubstanz zur Phasenübergangstemperatur (N-I- Temperatur) oder höher erhitzt und zwischen die Substrate injiziert wird, ist die Orientierung der Flüssigkeitsmoleküle ungeordnet und isotrop ohne eine nematische Flüssig kristallphase zu ergeben. Wenn die Flüssigkeit danach allmählich gekühlt wird, wechselt die Phase von der isotropen Phase zu der nematischen Flüssigkristallphase, und während dieses langsamen Kühlungsvorgangs werden die Flüssigkristallmoleküle in der Orientierungsrichtung des Substrates ausgerichtet.
  • Nach dem Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristall-Anzeige der vorliegenden Erfindung wird nur eines der mit einer gemeinsamen Elektrode ausgebildeten Substrate mit einer einer Reibebehandlung unterzogenen Orientierungsschicht ausgebildet, und das andere Substrat, das mit Treiberelementen und Elektrodenleitungen oder mit Segmentelektroden gebildet wird, unterliegt keinem Orientierungsverfahren. Die Orientierungsrichtung der Flüssigkristallmoleküle wird beginnend an der Substratseite bei der Orientierungsschicht ausgerichtet, nachdem die Flüssigkristallsubstanz, die zur Phasenübergangstemperatur oder höher erhitzt ist und eine isotrope Phase ergibt, zwischen die Substrate injiziert worden ist, und nachdem danach die Flüssigkristallsubstanz allmählich gekühlt worden ist, um in die nematische Flüssigkristallphase überzugehen.
  • An einem Substrat, das empfindlich auf den Einfluß der statischen Elektrizität reagiert, wird keine Reibebehandlung durchgeführt, wie beispielsweise einem Substrat, das mit Treiberelementen und Elektrodenleitungen oder mit einer Segmentelektrode gebildet ist, die dünner als die gemeinsame Elektrode ist. Statische Elektrizität ist daher für dieses Substrat kein Problem.
  • Das andere Substrat wird mit einer einer Reibebehandlung unterzogenen Orientierungsschicht gebildet. Die Anzahl der Schritte zu Herstellung einer Flüssigkristall-Anzeige kann daher reduziert werden. Die reduzierte Anzahl der Reibebehandlungen reduziert ebenfalls Fehler wie beispielsweise Lücken, schwarze Punkte oder weiße Punkte, die durch Staub verursacht werden, der während der Reibebehandlung entsteht.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1 ist eine schematische Darstellung, die ein Verfahren zur Herstellung von Flüssigkristall-Anzeigen gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung erklärt.
  • Fig. 2 ist eine schematische Darstellung, die ein Verfahren zur Herstellung von Flüssigkristall-Anzeigen gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung erklärt.
  • Fig. 3 ist eine Querschittsansicht einer Flüssigkristall-Anzeige, die nach einer konventionellen Technik hergestellt worden ist.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Ein erstes Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zur Herstellung von Flüssigkristall-Anzeigen nach der vorliegenden Erfindung wird folgend bezugnehmend auf Fig. 1 beschrieben. Fig. 1 ist eine Skizze, die ein Verfahren zur Herstellung von drehnematischen Flüssigkristall-Anzeigen darstellt.
  • Bezugnehmend auf Fig. 1 sind auf einem transparenten Glassubstrat 12 TFTs 14 zum Anlegen eines elektrischen Feldes an ein Pixel im Ansprechen auf ein Gate- Signal, Elektrodenleitungen (nicht gezeigt) von Source, Drain und Gate der TFTs und mit den TFTs 14 verbundene Pixelelektroden 15 gebildet. Eine Orientierungsschicht ist auf diesem Glassubstrat 12 nicht ausgebildet. TFTs werden aus Amorph-Silicium oder Polysilicium (polykristallines Silicium) hergestellt und Isolierschichten, wie beispielsweise Gate-Isolierschichten werden aus Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid oder dergleichen hergestellt. Jede Elektrodenleitung wird aus Metall, wie beispielsweise Chrom, Aluminium oder dergleichen hergestellt.
  • Eine gemeinsame Elektrode 17 ist auf dem anderen transparenten Glassubstrat 13 ausgebildet, wie in Fig. 1 gezeigt. Eine Orientierungsschicht 18, die aus Polyimid oder dergleichen hergestellt ist, ist an der Grenzschicht zwischen der gemeinsamen Elektrode 17 und der Flüssigkristallschicht 11 ausgebildet und wird einer Reibebehandlung unterzogen, um eine Orientierung zu schaffen. In einigen Fällen sind Farbfilterschichten (nicht gezeigt) und eine schwarze Maske bezeichnete Lichtschutzschicht (nicht gezeigt) ausgebildet, die aus organischem Harz mit schwarzem Farbstoffzusatz oder dergleichen hergestellt ist, zur Verbesserung des Kontrastes eines Bildes, wobei verhindert wird, daß Licht durch den Bereich durchgeht, der nicht der Pixelanzeigebereich ist.
  • Die zwei Substrate können unter Verwenden einer konventionellen Substratherstellungstechnik hergestellt werden. Das Pixelelektrodensubstrat wird nicht mit einer Orientierungsschicht ausgebildet und folglich ohne einen Orientierungsvorgang.
  • Die Substrate 12 und 13 werden sich gegenüberstehend an einem dazwischengeschobenen Abstandsregler, wie beispielsweise Glaskugeln (nicht gezeigt) angebracht und an den Rändern einer Klebeschicht befestigt, die an dem Umfangsteil der zwei sich gegenüberstehenden Substrate ausgebildet ist. Eine Einspritzöffnung 19 ist in der Klebeschicht ausgebildet.
  • Wie in Fig. 1 dargestellt ist, wird dann die Einlaßöffnung 19 in einen Behälter 16 getaucht, der mit Flüssigkristallsubstanz 11 gefüllt ist, die zwischen die zwei Substrate 12 und 13 unter Anwendung der Oberflächenspannung oder Unterdruck eingeleitet wird. Die Flüssigkristallsubstanz 11 ist eine Mischflüssigkeit von nematischer Flüssigkristallsubstanz und chiralen Molekülen. Die nematische Flüssigkristallsubstanz kann ZLI-2392 sein, das von Merck (Deutschland) hergestellt wird, oder SR-5003, das von Chisso (Japan) hergestellt wird.
  • Die Flüssigkristallsubstanz 11 wird dann von Heizgeräten 20 und 21 erhitzt, die an beiden Seiten der Flüssigkristall-Anzeige angebracht sind. Die Temperatur der Flüssigkristallsubstanz 11 wird dann auf die Phasenübergangstemperatur (N-I- Temperatur) oder höher angehoben. Die Orientierung der Flüssigkristallmoleküle 10 der Substanz 11 ist daher ungeordnet und isotrop.
  • Zur Steuerung der Temperatur des Flüssigkristalls kann eine Temperatursteuerungstechnik verwendet werden, bei der die Temperatur der Flüssigkristall substanz 11 von einem Thermometer überwacht wird, das. in die Flüssigkristallsubstanz 11 eingetaucht ist, um den laufenden Wert der Heizgeräte 20 und 21 zu regulieren. Die Temperatursteuerung kann manuell oder automatisch durchgeführt werden.
  • Die erhitzte Flüssigkristallsubstanz 11 wird dann in einen Zwischenraum zwischen die Substrate 12 und 13 über die Einlaßöffnung 19 aufgrund der Kapillarwirkung eingeleitet. Unter dieser Bedingung sind die Flüssigkristallmoleküle 10 isotrop und nicht ausgerichtet. Die Flüssigkristallsubstanz 11 kann mit Hilfe anderer Methoden ohne Ausnützen der Kapillarwirkung injiziert werden.
  • Nach dem Injizieren der Flüssigkristallsubstanz wird die Heizleistung der Heizgeräte 20 und 21 erniedrigt zur allmählichen Abkühlung der Flüssigkristall substanz 11. Die Abkühlgeschwindigkeit wird innerhalb eines Bereiches von 0,1 bis 1 ºC/min. eingestellt, beispielsweise auf 0,5 ºC/min. Es hat sich gezeigt, daß der nematische Flüssigkristall relativ gleichförmig ausgerichtet ist, sogar bei einer niedrigen Abkühlgeschwindigkeit. Da die Flüssigkristallsubstanz 11 allmählich bei einer derartigen Abkühlgeschwindigkeit zu der Phasenübergangstemperatur (N-I- Temperatur) heruntergekühlt wird, wechselt die isotrope Phase (I) von den Anfangsbedingungen zu der nematische Flüssigkristallphase (N).
  • Während des langsamen Kühlungsvorgangs werden die Flüssigkristallmoleküle 10 in der Nähe der Orientierungsschicht 18 auf dem Glassubstrat in der Orientierungsrichtung der Orientierungsschicht 18 ausgerichtet und die Flüssigkristallmoleküle 10 in der Nähe des gegenüberliegenden Glassubstrates 12 sind ungeordnet. Aufgrund der niedrigen Abkühlungsgeschwindigkeit werden jedoch die Flüssigkristallmoleküle in der Nähe des Glassubstrates 1 2 ebenso allmählich in die Orientierungsrichtung ausgerichtet, und schließlich sind alle Flüssigkristallmoleküle in der gleichen Richtung ausgerichtet.
  • Chirale Moleküle sind in der Flüssigkristallsubstanz 11 enthalten, so daß die Flüssigkristallmoleküle 10 in einer vorgegebenen Richtung während des Abkühlungsvorgangs gedreht werden zur Schaffung einer helikalen Struktur in der optischen Achsenrichtung. Durch genaues Einstellen des Gehalts an chiralen Molekülen und des Abstandes zwischen den Substraten, ist es möglich, eine Flüssigkristall-Anzeige mit einem Drehwinkel von 90 Grad zu schaffen. Beispiele von Flüssigkristallsubstanzen sind in Tabelle 1 dargestellt. Tabelle 1
  • Als chirale Substanz werden, beispielsweise S-811, Hersteller Merck, ungefähr 0,5 Gew.% beigemischt, um d/p = 1/4 einzustellen (wobei d die Dicke der Flüssigkristallschicht ist, und p die Ganghöhe der chiralen Helix). Die Ganghöhe der chiralen Helix von etwa 24 pm wurde erhalten und ein Drehwinkel von 90 Grad wurde bei Flüssigkristallschichtdicke von etwa 6 µm erhalten.
  • Im folgenden wird das zweite Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zur Herstellung von Flüssigkristall-Anzeigen bezugnehmend auf Fig. 2 beschrieben. Fig. 2 ist eine Skizze, die ein Verfahren zur Herstellung von drehnematischen Flüssigkristall- Anzeigen darstellt.
  • Mit den in Fig. 1 gezeigten gleiche Bestandteilen werden in Fig. 2 mit identischen Bezugsnummern bezeichnet. Die Substrate 12 und 13 sind grundsätzlich wie die des ersten Ausführungsbeispiels. In der folgenden Beschreibung werden hauptsächlich die zu dem in Fig. 1 gezeigten Herstellungsverfahren des ersten Ausführungsbeispiels unterschiedlichen Punkte diskutiert.
  • Der Unterschied des in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispiels zu dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel beruht darin, daß ein Heizgerät auf der Seite des Glassubstrates 13 mit der gemeinsamen Elektrode 17 fehlt. Durch Ausnützen dieses Unterschieds wird in dem zweiten Ausführungsbeispiel ein Temperaturgradient in der Flüssigkristallsubstanz zwischen den Substraten während des Abkühlungsvorgangs nach dem Erhitzen des Flüssigkristallmaterials 11 geschaffen.
  • Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel werden die gleichen Vorgänge durchgeführt bis zum Erhitzungsvorgang der Flüssigkristallsubstanz 11 zur Phasenübergangstemperatur oder höher. Obgleich nur ein Heizgerät 21 verwendet wird, gibt es keinen wesentlichen Unterschied zwischen dem ersten und dem zweiten Ausführungsbeispiel im Zusammenhang mit dem Erhitzen der gesamten Flüssigkristall Anzeige zu der N-I-Temperatur oder höher. Die Flüssigkristallsubstanz 11 wird allmählich gekühlt, während ein Temperaturgradient in der Substanz 11 zwischen den Glasubstraten 12 und 13 geschaffen wird.
  • Genauer gesagt, die Flüssigkristallsubstanz 11 wird allmählich gekühlt, während die Flüssigkristalltemperatur an der Seite des Glassubstrates 12 mit den TFTs um einige Grade bis zu einigen zehn Graden ºC höher gehalten wird als auf der Seite des Glassubstrates 13 mit der gemeinsamen Elektrode 13.
  • Mit einem derartigen Temperaturgradienten erreicht die Flüssigkristall substanz an der Seite des Substrates 13 mit der gemeinsamen Elektrode zuerst die N-I-Temperatur, und dann erreicht die Flüssigkristallsubstanz an der Seite des TFT- Substrates allmählich die N-I-Temperatur. Da das Substrat 13 eine Orientierungsstruktur aufweist, wird die Flüssigkristallsubstanz allmählich beginnend von der Seite des Substrats 13 ausgerichtet und wird nematisch.
  • Das Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung ist sowohl auf die Flüssigkristall-Anzeigen mit einfacher Matrix als auch die Flüssigkristall-Anzeigen mit aktiver Matrix anwendbar. Das Verfahren der vorliegenden Erfindung ist besonders wirkungsvoll zur Verhinderung des Einflusses der statischen Elektrizität auf die TFT- Treiberelemente eines aktiven Matrix-Types.
  • Die Erfindung ist auch bei Flüssigkristall-Anzeigen anwendbar, die Treiberelemente von entweder TFTs oder MIM-Dioden verwenden, und bei Flüssigkristall- Anzeigen, die nicht vom TN-Typ sind.
  • Für Flüssigkristall-Anzeigen mit einfacher Matrix wird die Orientierungsstruktur für das Substrat mit einer relativ dicken gemeinsamen Elektrode vorgesehen und ist nicht vorgesehen für das Substrat mit einer relativ dünnen Segmentelektrode, wobei wirksam Fehler reduziert werden, die durch statisch Elektrizität verursacht werden.
  • Der Temperaturgradient kann in einer verbesserten Form gesteuert werden, wenn ein Heizgerät an einer der Substrate und Wärmestrahler oder Kühlgerät an der anderen Seite der Substrate verwendet werden.
  • Zudem kann eine Orientierungsschicht wie beispielsweise eine Polyimidschicht auf dem TFT-Substrat ausgebildet werden zur Verwendung als eine Passivierungsschicht oder dergleichen ohne eine Reibebehandlung durchzuführen, um dadurch den elektrostatischen Einfluß zu beseitigen.
  • Die Strukturen, Materialien, Werte und dergleichen der im vorhergehenden beschriebenen Ausführungsbeispiele dienen nur einem beschreibenden Zweck und gehen nicht dahin den Rahmen der vorliegenden Erfindung einzuschränken. Für Fachleute auf diesem Gebiet ist es offensichtlich, daß verschiedene Modifikationen, Verbesserungen, Kombinationen und dergleichen möglich sind.

Claims (4)

1. Verfahren zur Herstellung einer drehnematischen Flüssigkristall-Anzeige, das die folgenden Schritte aufweist:
Ausbildung einer Elektrodenstruktur (15) auf einem ersten Substrat (12); Ausbildung einer Elektrodenstruktur (17) auf einem zweiten Substrat (13), Ausbildung einer Orientierungsschicht (18) auf der Elektrodenstruktur des zweiten Substrats, und Durchführung einer Reibebehandlung ausschließlich auf der Orientierungsschicht; Anordnen des ersten Substrats ohne Reibebehandlung und des zweiten Substrats mit Reibebehandlung, so daß sie sich in einer vorgegebenen gegenseitigen Entfernung gegenüberstehen; und Einleiten einer chirale Moleküle enthaltenden Flüssigkristallsubstanz (11) zwischen das erste und das zweite Substrat;
dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Einleitens einer Flüssigkristallsubstanz bei einer Temperatur durchgeführt wird, bei der die Flüssigkristallsubstanz eine isotrope Phase aufweist; und daß die Flüssigkristallsubstanz allmählich gekühlt wird, um von der isotropen Phase in die nematische Flüssigkristallphase überzugehen, wobei ein Temperaturgradient hergestellt wird, so daß die Temperatur auf der Seite des Substrats ohne die Reibebehandlung um einen vorgegebenen Wert höher gesetzt wird als die Temperatur auf der Seite des Substrats mit der Reibebehandlung.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt der Ausbildung der Elektrodenstruktur auf dem ersten Substrat die Ausbildung von Treiberelementen, Pixelelementen, von denen jedes mit jedem Treiberelement in Verbindung steht, und Elektrodenleitungen, von denen jede mit jedem Treiberelement in Verbindung steht, auf der Oberfläche des ersten Substrats enthält
3. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem der Schritt der Ausbildung der Elektrodenstruktrur auf dem zweiten Substrat die Ausbildung einer gemeinsamen Elektrode auf der Oberfläche des zweiten Substrats enthält.
4. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Schritt der Ausbildung der Elektrodenstruktur auf dem ersten Substrat die Bildung von Segmentelektroden auf der Oberfläche des ersten Substrats enthält, und der Schritt der Ausbildung der Elektrodenstruktur auf dem zweiten Substrat die Ausbildung gemeinsamer Elektroden auf der Oberfläche der zweiten Substrats enthält.
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