DE69224788T2 - Verfahren zur Herstellung einer Festkoerper- Bildaufnahmevorrichtung - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Festkoerper- Bildaufnahmevorrichtung

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Description

  • Als ein Verfahren zum Herstellen einer Farb-Festkörper-Abbildungsvorrichtung ist in jüngster Zeit das Verfahren des Herstellens eines Farbfilters direkt auf einem Substrat, auf dem sich die Festkörper-Abbildungsvorrichtung befindet, weit verbreitet. Bei einer kleinen Festkörper-Abbildungsvorrichtung wird eine Mikrolinse auf einem Farbfilter hergestellt, und das auftreffende Licht wird auf dem Lichterfassungsteil durch die Mikrolinse fokussiert, so daß die Lichterfassungsempfindlichkeit verstärkt wird.
  • Eine herkömmliche Festkörper-Abbildungsvorrichtung und das Verfahren zu ihrer Herstellung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben. Fig. 17 ist eine Teilschnittansicht, die den Aufbau einer herkömmlichen Festkörper- Abbildungsvorrichtung zeigt. Fig. 18 bis 31 sind Teilschnitte, die das Verfahren zur Herstellung einer herkömmlichen Festkörper-Abbildungsvorrichtung, wie sie in der Fig. 17 dargestellt ist, in der Abfolge von Prozessen zeigen.
  • Zunachst wird anhand von Fig. 17 der Aufbau einer herkömmlichen Festkörper- Abbildungsvorrichtung erläutert.
  • Mehrere transparente Harzschichten 2 (in Fig. 17 vier) werden hergestellt, um die Oberflächenunebenheiten eines Festkörper-Abbildungsvorrichtungssubstrats 1 zu glätten. Über einem lichtempfindlichen Teil 3 werden eine erste Farbfilterschicht 4, eine zweite Farbfilterschicht 5 sowie eine dritte Farbfilterschicht 6 hergestellt. Des weiteren wird eine - Mikrolinse 7 über jedem lichtempfindlichen Teil 3 hergestellt. Das heißt, die transparenten Harzschichten 2 sind zwischen dem lichtempfindlichen Teil 3 und der ersten Farbfilterschicht 4, der zweiten Farbfilterschicht 5, der dritten Farbfilterschicht 6 und der Mikrolinse 7 ausgebildet, um ein Mischen von Farben zu verhindern und die erste Farbfilterschicht 4, die zweite Farbfilterschicht 5 sowie die dritte Farbfilterschicht 6 zu glätten. In diesem Aufbau wird die Festkörper-Abbildungsvor-richtung mit einem Farbfilter ausgeführt.
  • Sie funktioniert wie folgt:
  • Das Licht, das in die Mikrolinse 7 in der obersten Schicht eintritt, wird fokussiert und wird in Lichtbestandteile mit Spektralendurchlässigkeitseigenschaften einzeln durch die erste Farbfilterschicht 43 die zweite Farbfilterschicht 5 und die dritte Farbfilterschicht 6 aufgespalten. Die aufgespaltenen Lichtbestandteile treten in den lichtempfindlichen Teil 3 unterhalb jeder Farbfilterschicht ein. Die Lichtbestandteile, die in den farbempfindlichen Teil 3 eintreten, werden in elektrische Signale umgewandelt, und daher zeigt die Festkörper-Abbildungsvorrichtung Farbbilder an.
  • In Fig. 18 bis 31 wird ein Verfahren zum Herstellen einer herkömmlichen Festkömer- Abbildungsvorrichtung beschrieben.
  • Fig. 18 zeigt den Zustand, in dem die Oberfläche durch Herstellung der transparenten Harzschicht 2 auf dem Festkörper-Abbildungsvorrichtungssubstrat 1 eingeebnet wird.
  • - Fig. 19 zeigt den Zustand, in dem eine Farbbasenmaterialschicht 8 unter Verwendung eines Farbbasenmaterials hergestellt wird, wobei ein Photosensibilisator, der Chrom (VI) enthält, Gelatine, Kasein oder dergleichen zugesetzt werden. Im Anschluß daran zeigt Fig. 20 den Zustand, in dem eine strukturierte Farbbasenschicht 9 hergestellt wird. Die strukturierte Farbbasenschicht 9 wird, wie in Fig. 19 dargestellt, hergestellt, indem die Farbbasenmaterialschicht 8 unter Verwendung einer Maske belichtet wird, und die Farbbasenmaterialschicht 8 anschließend entwickelt und gespült wird. Fig. 21 zeigt den Zustand, in dem die erste Farbfilterschicht 4 durch Farben der strukturierten Farbbasenschicht 9 unter Verwendung einer ersten Farblösung hergestellt wird.
  • Fig. 22 zeigt den Zustand, in dem die transparente Harzschicht 2 auf der ersten Farbfilterschicht 4 hergestellt wird, um die Oberflächenunebenheiten der ersten Farbfilterschicht 4 auszugleichen und zu verhindern, daß es beim anschließenden Einfärbvorgang zur Vermischung von Farben kommt. Fig. 23 zeigt den Zustand, in dem die Farbbasenmaterialschicht 8 auf gleiche Weise wie in Fig. 19 hergestellt wird. Fig. 24 zeigt den Zustand, in dem die strukturierte Farbbasenschicht 9 hergestellt wird. Die strukturierte Farbbasenschicht 9 wird ebenfalls mit einem Belichtungsverfahren unter Verwendung einer Maske und anschließendem Entwickeln und Spülen der Farbbasenmaterialschicht 8 hergestellt, wie dies in Fig. 23 dargestellt ist. Fig. 25 zeigt den Zustand, in dem die zweite Farbfilterschicht 5 durch Einfärben der strukturierte Farbbasenschicht 9 unter Verwendung einer zweiten Farbstofflösung hergestellt wird.
  • Fig. 26 zeigt den Zustand, in dem die transparente Harzschicht 2 auf der zweiten Farbfilterschicht 5 hergestellt wird, um die Oberflächenunebenheiten der zweiten Farbfilterschicht 5 auszugleichen und zu verhindern, daß es beim anschließenden Einfärbevor- gang zum Mischen von Farben kommt. Fig. 27 zeigt den Zustand, in dem die Farbbasenmatenaischicht 8 auf gleiche Weise wie in Fig. 23 hergestellt wird. Fig. 28 zeigt den Zustand, in dem die strukturierte Farbbasenschicht 9 hergestellt wird. Die strukturierte Farbbasenschicht 9 wird mit einem Belichtungsverfahren unter Verwendung einer Maske und anschließendem Entwickeln und Spülen der Farbbasenmaterialschicht 8 hergestellt, wie dies in Fig. 27 dargestellt ist. Fig. 29 zeigt den Zustand des Herstellens der dritten Farbfilterschicht 6 durch Einfärben der strukturierte Farbbasenschicht 9 unter Verwendung einer dritten Farbstofflösung.
  • Fig. 30 zeigt den Zustand des Herstellens der transparenten Harzschicht 2 auf der dritten Farbfilterschicht 6, um die Oberflächenunebenheiten der dritten Farbfilterschicht 6 auszugleichen.
  • - Fig. 31 schließlich zeigt den Zustand, in dem die Mikrolinse 7 hergestellt wird, indem das photoempfindliche Material strukturiert und das Material durch Erwärmen oder dergleichen behandelt wird.
  • Bei dem herkömmlichen Verfahren der Herstellung der Festkörper-Abbildungsvorrichtung wird das Farbbasenmaterial unter Zusatz eines Photosensibilisators, der Chrom (VI) enthält, zu Gelatine, Casein oder dergleichen eingesetzt, wodurch das Problem der Verunreinigung durch Chrom entsteht. Indem darüber hinaus die Schritte des Herstellens und Einfärbens der Farbbasenschicht unter Verwendung des Farbbasenmaterials wiederholt werden, um die erste Farbfilterschicht 4, die zweite Farbfilterschicht 5 und die dritte Farbfilterschicht 6 herzustellen, sind viele Verfahrenssch ritte wünschenswert, um die Festkörper-Abbildungsvorrichtung herzustellen. Des weiteren tritt, obwohl das herkömmliche Herstellungsverfahren den Einfärbevorgang einschließt, bei dem herkömmlichen Verfahren das Problem des Schwelens der Farbfilterschichtstruktur auf. Dadurch werden die Strukturabmessungen vor und nach dem Einfärben verandert. Beim Einfarbevorgang wird das Einfärben unter strikter Kontrolle einer Vielzahl wichtiger Einfärbebedingungen ausgeführt. Zu diesen Einfärbebedingungen gehört die Farbstofflösungstemperatur, die Konzentration, der pH-Wert, die Einfärbezeit und Einfärbeabweichungen.
  • Weiterhin ist aus JP-A-57-4012 ein Farbtrennfilter für eine Farbfernsehkamera bekannt, bei dem eine Vielzahl farbiger Polymerschichten nacheinander in einer einzelnen Schicht hergestellt werden. Die farbigen Polymerschichten werden mit einer Photowiderstandsschicht beschichtet, um eine Maske mit einer vorgegebenen Struktur herzustellen. Ein Filterelement wird hergestellt, indem die farbige Polymerschicht bis auf den abgedeckten Teil entfernt wird, und anschließend wird die Maske entfernt. Wenn alle Filterelemente hergestellt worden sind, wird eine Überzugsschicht als eine Schutzschicht hergestellt.
  • Die Aufgabe, die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegt, besteht darin, ein Verfahren zu schaffen, das das Herstellen einer Festkörper-Abbildungsvorrichtung mit ausgezeichneten Abbudungseigenschaften erleichtert.
  • Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren gelöst, das die in Anspruch 1 aufgeführten Schritte aufweist.
  • Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen wird die Erfindung im folgenden ausführlich beschrieben.
  • Fig. 1 ist eine Teilschnittansicht, die den Aufbau einer Festkörper- Abbildungsvorrichtung zeigt.
  • Fig. 2-16 sind Teilschnitte, die den ersten bis fünfzehnten Schritt des Verfahrens zur Herstellung einer Festkörper-Abbildungsvorrichtung der Erfindung in einer Abfolge von Vorgängen zeigen.
  • Unter Bezugnahme auf Fig. 1 wird im folgenden der Aufbau der Festkörper- Abbildungsvorrichtung beschrieben.
  • Um die Oberflächenunebenheiten des Festkörper-Abbildungsvorrichtungssubstrats 1 - auszugleichen, wird eine erste Schicht aus ätzbeständigem Material 10a auf dem lichtempfindlichen Teil 3 hergestellt. Auf der ersten Schicht aus ätzbeständigem Material 10a eines gewünschten lichtempfindlichen Teils 3 werden eine erste Farbfilterschicht 11, eine zweite Farbfilterschicht 12 sowie eine dritte Farbfilterschicht 13 jeweils in einer gleichen Schicht hergestellt, die aus einem eingefärbten transparenten Material zusammengesetzt sind, das hauptsächlich aus einem Acrylmaterial besteht. Auf der ersten Farbfilterschicht 11, der zweiten Farbfilterschicht 12 sowie der dritten Farbfilterschicht 13 wird eine zweite Schicht aus ätzbeständigem Material 10b hergestellt, um die Oberfläche einzuebnen und die Brennweite einzustellen. Eine Mikrolinse 7 wird darauf hergestellt. Die Querschnittsform der Mikrolinse 7 weist einen Krümmungsradius auf, der der Brennweite bis zu dem lichtempfindlichen Teil 3 in einer Halbkreisform entspricht. Das heißt, jede Mikrolinse 7 ist im wesentlichen halbkugelförmig. In diesem Aufbau wird die Festkörper-Abbildungsvorrichtung mit einem Farbfilter ausgeführt.
  • Bei diesem Aufbau ist, da die erste Farbfilterschicht 11, die zweite Farbfilterschicht 12 und die dritte Farbfilterschicht 13 in der gleichen Schicht ausgebildet sind, der Abstand zwischen dem lichtempfindlichen Teil 3 und jeder Farbfilterschicht einheitlich und nicht lang. Dadurch werden Flackern und andere Bildfehler ausgeschlossen. Des weiteren wird durch die Funktion von Mikrolinse 7 und eine geeignete Brennweite das auftreffende Licht wirkungsvoll auf den lichtempfindlichen Teil 3 fokussiert, und die Lichtempfindlichkeit des lichtempfindlichen Teils 3 ist hoch, und die Festkörper-Abbildungsvorrichtung mit ausgezeichneten Bildeigenschaften wird umgesetzt. Darüber hinaus ist der Farbfilter insgesamt nicht dick, und der Aufbau besteht nicht aus mehreren Schichten, wie dies beim Stand der Technik der Fall ist, und Risse sowie andere Brüche aufgrund thermischer Einflüsse von außen werden drastisch verringert. Da das gefärbte transparente Material zum Herstellen des Farbfilters hauptsächlich aus einem Acrylmaterial besteht, und eine Farbfilterschicht, die ausgezeichnete Härteeigenschaften aufweist, ver-wirklicht wurde, ist eine Festkörper-Abbildungsvorrichtung mit hoher Zuverlässigkeit hergestellt worden.
  • Wenn die erste Farbfilterschicht 11 aus einer Schicht aus farbigem transparentem Material mit einer zweiten Spektralsdurchlässigkeitseigenschaft von Rot besteht, die zweite Farbfilterschicht 12 von Grün, und der dritte Farbfilter 13 von Blau, wird eine Festkörper- Abbildungsvorrichtung mit R-, G-, B-Farbfiltern hergestellt. Statt Rot, Grün und Blau kann auch ein farbiges, transparentes Material mit Spektralsdurchlässigkeitseigenschaften komplementärer Farben, wie Magenta, Gelb und Zyan eingesetzt werden.
  • Die Funktion der Festkörper-Abbildungsvorrichtung wird im folgenden beschrieben.
  • Das in die Mikrolinse 7 eintretende Licht wird fokussiert und wird durch die erste Farbfilterschicht 11, die zweite Farbfilterschicht 12 und die dritte Farbfilterschicht 13 in Lichtbestandteile mit individuellen Spektraldurchlässigkeitseigenschaften aufgespalten. Diese aufgespaltenen Lichtbestandteile treten wirkungsvoll in den lichtempfindlichen Teil 3 unterhalb jeder Farbfilterschicht ein. Bei diesem Aufbau entspricht der Abstand von dem lichtempfindlichen Teil 3 zu der Mikrolinse 7 der Brennweite, und daher wird der Brennpunkt im Vergleich zum Stand der Technik nicht abgelenkt. So tritt das Licht mit einer höheren Fokaldichte ein. Das Licht, das in den lichtempfindlichen Teil 3 eintritt, wird in ein elektrisches Signal umgewandelt, so daß die Funktion einer Festkörper-Abbildungsvorrichtung erzielt wird, die ein Farbbild darstellt.
  • Unter Bezugnahme auf Fig. 2 bis 16 wird im folgenden das Verfahren zur Herstellung einer Festkörper-Abbildungsvorrichtung der Erfindung beschrieben.
  • Fig. 2 zeigt den Zustand, in dem eine erste Schicht aus ätzbeständigem Material 10a hergestellt wird, um die Oberflächenunebenheiten des Festkörper-Abbildungsvorrichtungssubstrat 1 auszugleichen. Dabei hat die Schicht aus ätzbeständigem Material 10a eine minimale Dicke, die erforderlich ist, um die Oberflächenunebenheiten des Festkörper-Abbildungsvorrichtungssubstrats 1 auszugleichen.
  • Fig. 3 zeigt den Zustand, in dem eine erste Schicht aus farbigem Material 14 hergestellt wird, indem die erste Schicht aus ätzbeständigem Material 10a mit einem Acrylmaterial beschichtet wird, das beispielsweise rot als die gewünschte Spektralsdurchlässigkeitseigenschaft aufweist. Die erste Schicht aus farbigem Material 14 wird in diesem Schritt thermisch ausgehärtet Fig. 4 zeigt den Zustand, in dem eine zweite Schicht aus ätzbeständigem Material 10b auf der ersten Schicht aus farbigem Material 14 und nur über dem geplanten lichtempfindlichen Teil 3 hergestellt wird, die als die Resistmaske dient.
  • Die zweite Schicht aus ätzbeständigem Material 10b wird durch selektives Belichten, Entwickeln und Auswaschen hergestellt. Anschließend zeigt Fig. 5 den Zustand, in dem eine erste Farbfilterschicht 11 hergestellt wird, indem die erste Schicht aus farbigem Material 14 außer den von der zweiten Schicht aus atzbeständigem Material 10b abgedeckten Bereichen durch Trockenätzen unter Verwendung von Sauerstoffplasma als Ätzmittel entfernt wird.
  • Fig. 11 zeigt den Zustand, in dem eine zweite Schicht aus farbigem Material 15 hergestellt wird, indem ein Acrylmaterial, das beispielsweise grün als die Spektralsdurchlässigkeitseigenschaft aufweist, auf der gesamten Oberfläche der ersten und der zweiten Schicht aus ätzbeständigem Material 10a und 10b hergestellt wird. Die zweite Schicht aus farbigem Material 15 wird beispielsweise durch sogenanntes "Short-spin-Beschichten". Das Short-spin-Beschichten wird in den folgenden Schritten ausgeführt. Ein Resist wird auf einen Wafer getropft, und der Wafer wird in sehr kurzer Zeit mit hoher Drehgeschwindigkeit gedreht. Die Zeit beträgt einige Sekunden. Anschließend wir die Drehung des Wafers unterbrochen. Dadurch wird die zweite Schicht aus farbigem Material 15 auf der ersten ätzbeständigen Materialschicht 10a dick, und die zweite Schicht aus farbigem Material 15 auf der zweiten Schicht aus ätzbeständigem Material 10b wird dünn, wie dies in Fig. 6 dargestellt ist. Auch hier wird die zweite Schicht aus farbigem Material 15 thermisch ausgehärtet Fig. 7 zeigt den Zustand, in dem die zweite Schicht aus ätzbeständigem Material 10b auf der zweiten Schicht aus farbigem Material 15 nur über dem gewünschten lichtempfindlichen Teil 3 hergestellt wird, und als die Resistmaske dient. Das Verfahren der Strukturierung an der gewünschten Position entspricht dem oben beschriebenen. Fig. 8 zeigt den Zustand, in dem eine zweite Farbfilterschicht 12 hergestellt wird, indem die zweite Schicht aus farbigem Material 15 in dem Zustand in Fig. 7 mit Ausnahme der von der zweiten ätzbeständigen Materialschicht 10b abgedeckten Bereiche, wie in Fig. 5 durch Trockenätzen entfernt wird.
  • Fig. 9 zeigt den Zustand, in dem eine dritte Schicht 16 aus farbigem Material hergestellt wird, indem ein Acrylmaterial, das beispielsweise gelb als die gewünschte Spektraldurchlässigkeitseigenschaft aufweist, auf die gesamte Oberfläche der ersten und der zweiten Schicht aus ätzbeständigem Material 10a und 10b aufgetragen wird. Die dritte Schicht aus farbigem Material 16 wird mit dem gleichen Short-spin-Beschichten hergestellt, das für die zweite Farbmaterialschicht 15 verwendet wurde. Auch hier wird die dritte Schicht aus farbigem Material 16 thermisch ausgehärtet Fig. 10 zeigt den Zustand, in dem die zweite Schicht aus ätzbeständigem Material 10b auf der dritten Schicht aus farbigem Material 16 und lediglich über dem gewünschten lichtempfindlichen Teil 3 eingesetzt wird und als Resistmaske dient. Das Verfahren des Strukturierens auf dem gewünschten Bereich entspricht dem oben dargestellten. Fig. 11 zeigt den Zustand, in dem ein dritter Farbfilter 13 hergestellt wird, indem die dritte Schicht aus farbigem Material 16 außer in dem durch die zweite ätzbeständige Materialschicht 10 abgedeckten Teil ähnlich wie in Fig. 5 und 8 in dem Zustand in Fig. 10 entfernt wird.
  • Fig. 12 zeigt den Zustand, in dem die abschließende zweite Schicht aus ätzbeständigem Material 10b auf einer einzelnen Farbfilterschicht hergestellt wird, um die Oberflächenunebenheiten der ersten Farbfilterschicht 11, der zweiten Farbfilterschicht 12 und der dritten Farbfilterschicht 13 auszugleichen.
  • Fig. 13 zeigt den Zustand, in dem eine Schicht aus licht-empfindlichem Material 17 unter Verwendung eines Materials mit einer Wärmeerweichungseigenschaft hergestellt wird, das nach dem Erweichen ausgehärtet wird. Fig. 14 zeigt den Zustand, in dem eine Struktur aus photoempfindlichem Material 18 hergestellt wird, indem die Schicht aus photoempfindlichem Material 17 mit Licht (i-Strahlen) einer Wellenlänge von 365 nm unter Verwendung einer Maske belichtet, entwickelt und ausgewaschen wird. Die Wellenlänge des Lichts bei der Belichtung kann auch in einem anderen Bereich als dem der i-Strahlen liegen, so beispielsweise im Bereich der g-Strahlen von 436 nm, der h- Strahlen von 405 nm, oder im Bereich von Licht, das alle diese Wellenlängen einschließt. Um feine Strukturen herzustellen, erweisen sich die i-Strahlen mit kurzen Wellenlängen als wünschenswert. Fig. 15 zeigt den Zustand, in dem Schicht aus eine photoempfindlichem Material 19 hergestellt wird, die durch Verbesserung der Durchlässigkeit des sichtbaren Strahlbereiches um über 90 % transparent gemacht wurde, indem die Schichtstruktur von photoempfindlichem Material 18 vollständig mit Licht der Wellenlänge des ultravioletten Bereiches belichtet wird. Fig. 16 zeigt den Zustand, in dem die Mikrolinse 7 hergestellt wird, indem die Schichtstruktur aus transparentem photoempfindlichem Material 19 bei 150 bis 200ºC erwärmt und geschmolzen wird, so daß durch die Oberflächenspannung eine Halbkugelform entsteht.
  • Um die Schichten aus ätzbeständigem Material 10a und 10b herzustellen, die beim Ausgleich der Oberflächenunebenheiten oder als Resistmaske eingesetzt werden, kann ein Material verwendet werden, das beispielsweise gegenüber O&sub2;-Veraschung beständig ist, wenn Trockenätzen unter Verwendung von Sauerstoffplasma ausgeführt wird.
  • Als das transparente farbige Material der ersten Schicht aus farbigem Material 14, der - zweiten Schicht aus farbigem Material 15 sowie der dritten Schicht aus farbigem Material 16 zur Herstellung der ersten Farbfilterschicht 11, der zweiten Farbfilterschicht 12 und der dritten Farbfilterschicht 13 wird vorzugsweise ein Acryl material eingesetzt, das mit einem Pigment mit einer gewünschten Spektraldurchlässigkeitseigenschaft vermischt ist.
  • Zu Beispielen derartiger Acrylmaterialien können organische, hochpolymere transparente Materialien gehören, die Polymethylmethacrylate (PMMA), Polyglycidylmethacralate (PGMA) oder ihre Copolymere enthalten. Des weiteren kann jedes andere Material eingesetzt werden, das Härtungseigenschaften aufweist und mit Trockenätzmitteln, wie beispielsweise O&sub2;-Veraschung unter Verwendung von Sauerstoffplasma, entfernt werden kann, ob es nun Photoempfindlichkeit besitzt oder nicht.
  • Als das Material der photoempfindlichen Materialschicht 17 zum Herstellen der Mikrolinse 7 kann beispielsweise ultraviolett photoempfindliches Positivresist aus Phenolverbindung unter Verwendung von Naphtchiondiazid als die lichtempfindliche Gruppe eingesetzt werden, jedoch kann auch jedes andere Material verwendet werden, das gute Haftung und Affinität zu der ersten Schicht aus ätzbeständigem Material 10a in der unteren Schicht aufweist, und mit dem eine feine Struktur durch selektive Belichtung hergestellt werden kann. Jedes andere Material kann verwendet werden, solange die Durchlässigkeit des sichtbaren Strahlbereiches durch das Licht in der Wellenlänge im ultravioletten Bereich um über 90º erhöht wird.
  • So wird bei der Festkörper-Abbildungsvorrichtung eine Farbfilterschicht mehrerer Farben in einer gleichen Schicht durch ein transparentes Farbmaterial hergestellt, das gewünschte Spektraldurchlässigkeitseigenschaft aufweist. Dementsprechend unterscheiden sich die Farbfilterschichten nicht hinsichtlich der Schritte, es ist kein transparentes Material zwischen den Farbfiltern vorhanden, und der Farbfilter ist insgesamt dünner. Dementsprechend ist der Abstand von dem Farbfilter zu dem lichtempfindlichen Teil nicht groß, und der Abstand ist bei jedem Farbfilter einheitlich, so daß Flackern und andere Defekte hinsichtlich der Bildeigenschaften ausgeschlossen werden können. Insgesamt ist der Farbfilter dünn, und die Mikrolinse wird mit einer angemessenen Brennweite hergestellt, so daß die Fokussierleistung verbessert wird und die Lichtempfindlichkeit des lichtempfindlichen Teils zunimmt. Der Farbfilter wird nicht in mehreren Schichten hergestellt, und die Risse bzw. Schäden des Filters aufgrund äußerer thermischer Einwirkungen werden ausgeschlossen, so daß die Zuverlässigkeit verbessert wird.
  • Bei dem Herstellungsverfahren unter Verwendung von transparentem Farbmaterial kann der Farbfilter ohne Einfärbeverfahren hergestellt werden, so daß das Herstellungsverfahren verkürzt wird. Des weiteren muß das transparente Farbmaterial nicht lichtempfindlich sein und enthält keine schädlichen Substanzen, wie beispielsweise Chrom (VI), so daß ein verunreinigungsfreies Herstellungsverfahren umgesetzt werden kann.

Claims (3)

1. Verfahren zum Herstellen einer Festkörper-Abbildungsvorrichtung, das die folgenden Schritte umfaßt:
(a) Herstellen einer Vielzahl lichtempfindlicher Teile (3) auf einem Substrat (1);
(b) Herstellen einer ersten aus ätzbeständigem Material bestehenden Schicht (10a) auf dem Substrat (1);
(c) Herstellen einer Schicht aus farbigem transparentem Material (14, 15, 16) auf der ersten Schicht aus atzbeständigem Material (10a);
(d) wahlweises Herstellen einer zweiten Schicht aus ätzbeständigem Material (10b) auf der Schicht aus farbigem transparentem Material (14, 15, 16);
(e) Herstellen eines Farbfilters (11, 12, 13) durch Ätzen der Schicht aus farbigem Material (14, 15, 16) unter Verwendung der zweiten Schicht aus ätzbeständigem Material (10b) als Maske;
(f) Wiederholen der Schritte (c) bis (e) um eine Vielzahl von Farbfiltern (11, 12, 13) nebeneinander in einer einzelnen Schicht mit unterschiedlichen Spektraldurchlässigkeitseigenschaften herzustellen, wobei die Abschnitte des zweiten ätzbeständigen Materials, die als Maske dienen, während der anschließenden Bearbeitung auf den hergestellten Farbfiltern verbleiben;
(g) Herstellen einer Vielzahl von Mikrolinsen (7) auf der zweiten Schicht aus ätzbeständigem Material (10b).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei den Schritten des Herstellens der ersten und der zweiten Schicht aus ätzbeständigem Material (10a, 10b) ein Material eingesetzt wird, das gegenüber Trockenätzen unter Verwendung von Sauerstoffplasma beständig ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei bei dem Schritt des Herstellens der Schicht aus farbigem transparentem Material (14, 15, 16) eine Schicht aus organischem hochmolekularem transparentem Material eingesetzt wird.
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