DE69201732T2 - Lötapparat. - Google Patents

Lötapparat.

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DE69201732T2 DE69201732T DE69201732T DE69201732T2 DE 69201732 T2 DE69201732 T2 DE 69201732T2 DE 69201732 T DE69201732 T DE 69201732T DE 69201732 T DE69201732 T DE 69201732T DE 69201732 T2 DE69201732 T2 DE 69201732T2
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/008Soldering within a furnace

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine neue Lötvorrichtung für gedruckte Schaltplatten mit Elektroteilen und/oder Aufsatzteilen und insbesondere eine Lötvorrichtung zum Löten einer vorübergehend daran befestigten gedruckten Schaltplatte mit Elektroteilen und/oder Aufsatzteilen unter oxydationsfreien Bedingungen, wahrend sie in eine Edelgasatmosphäre transportiert werden.
  • Es ist eine Lötvorrichtung zum Löten einer vorübergehend daran befestigten gedruckten Schaltplatte mit Elektroteilen und/oder Aufsatzteilen in Edelgasatmosphäre bekannt, bestehend aus einer mit einem Lötbad versehenen Edelgasfüllkammer, die mit einem Edelgas aus einem Gasbehälter, beispielsweise einer Gasbombe, gefüllt wird, einer Außenluftverschlußkammer am vorderen und hinteren Teil der Edelgasfüllkammer in Bewegungsrichtung der gedruckten Schaltplatte und einem Verschlußklappenpaar an der Außenluftverschlußkammer, wobei die eine Verschlußklappe zur Isolierung von Außenluft und die andere zur Isolierung eines luftverschmutzten Edelgases in der Außenluftverschlußkammer vorgesehen ist. Die Luft in dem Lötraum der Vorrichtung wird durch Edelgas ausgetauscht, um eine Oxydation der Lötpaste mit Sauerstoff bei einer hohen Temperatur während des Lötvorgangs zu vermeiden.
  • Bei diesen herkömmlichen Lötvorrichtungen mit Außenluftverschlußkammer wird eine Verschlußklappe am vorderen Ende, durch die gedruckte Schaltplatten eingeführt werden, oder am hinteren Ende, der die gelöteten gedruckten Schaltplatten entnommen werden, geöffnet oder geschlossen, es ist aber keine Vorrichtung enthalten, die ein Entweichen von Edelgas aus der Außenluftverschlußkammer durch die geöffnete Verschlußklappe unterbindet. Durch das Öffnen der Verschlußklappe zwischen den beiden Kammern dringt folglich Außenluft einschließlich Sauerstoff in die externe Außenluftverschlußkammer und ebenfalls in die mit Edelgas gefüllte Edelgasfüllkammer, so daß gedruckte Schaltplatten nicht in reiner Edelgasatmosphäre gelötet werden können, was zu dem Problem führt, daß geschmolzenes Lötmittel oxydiert oder daß die Konzentration des Flußmittels zwecks leichterer Reinigung der gedruckten Schaltplatten nicht verringert werden kann. Um ein Löten der Schaltplatten in Edelgas, das nicht durch Außenluft verunreinigt ist, vornehmen zu können, muß der Druck des Edelgases in der Edelgasfüllkammer also so hoch sein, daß die Außenluft nicht in die Kammer eindringen kann. In diesem Fall tritt jedoch stets eine beträchtliche Menge Edelgas aus der Kammer aus, wenn sich die Verschlußklappe öffnet. Folglich muß die Menge des einzuspeisenden Edelgases erhöht werden, was den Lötvorgang wirtschaftlich unattraktiv macht. Wenn aber eine geringe Menge Außenluft in der Kammer vorhanden ist, müssen die gedruckten Schaltplatten mit einem Flußmittel vorgestrichen werden. Das Flußmittel wird erwärmt und entwickelt Rauch durch das geschmolzene Lötmittel in der Vorrichtung. Dies führt zu einem weiteren Problem, daß Rauch aus der Vorrichtung ausgestoßen werden muß, was von einem gleichzeitigen Ausstoß des Edelgases begleitet wird.
  • Aufgrund der obengenannten Probleme besteht eine große Nachfrage hinsichtlich der Entwicklung einer neuen Lötvorrichtung, die diese Probleme überwindet.
  • Aus Patent DE-U-8520254 ist bekannt, daß sowohl das Eindringen von Außenluft in die mit einem Edelgas gefüllte Edelgasfüllkammer als auch das Entweichen des Edelgases aus der Kammer durch Gasverschlußkammern mit separat arbeitenden Verschlußklappenpaaren und Vakuumbehälter zum schnellen Absaugen des durch Außenluft verunreinigten Edelgases aus den Kammern vermieden werden kann, wodurch das Löten der gedruckten Schaltplatten in reinerer Edelgasatmosphäre in der Edelgasfüllkammer möglich ist.
  • Die vorliegende Erfindung ist in Anspruch 1 definiert.
  • Ein Vorteil der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung liegt darin, daß eine gedruckte Schaltplatte in einer mit unverschmutztem Edelgas gefüllten Edelgasfüllkammer gelötet werden kann und daß die Menge des aus der Kammer austretenden Edelgases recht gering gehalten werden kann, selbst wenn die zweite Verschlußklappe zum Einführen der Schaltplatte in die Kammer geöffnet ist.
  • Ein weiterer Vorteil der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung liegt darin, daß das mit Außenluft verunreinigte Edelgas in den Außenluftverschlußkammern schnell abgesaugt werden kann und daß das Edelgas in die geleerten Außenluftverschlußkammern von der mit einem Edelgas gefüllten Edelgasfüllkammer eingespeist wird, so daß der Innendruck der Außenluftverschlußkammer dem der Edelgasfüllkammer entspricht. In dem Fall, in dem der Innendruck der Außenluftverschlußkammern dem der Edelgasfüllkammer entspricht, erfolgt das Öffnen/Schließen der zweiten Verschlußklappe aufleichte und sanfte Art und Weise.
  • Das in der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung benutzte Edelgas sollte bei Löttemperatur weder mit den elektronischen Aufsatzteilen noch mit dem Lötmittel reagieren. Beispiele für geeignete Edelgase sind Neon oder Argon, Kohlendioxid und Stickstoff
  • Die vorliegende Erfindung wird anhand der folgenden detaillierten Beschreibung und der beigefügten Zeichnungen in Form von Illustrationen, auf die sich die vorliegende Erfindungjedoch nicht beschränkt, deutlicher.
  • Figur 1 ist eine Seitenansicht einer gedruckten, gemäß der vorliegenden Erfindung zu lötenden Schaltplatte.
  • Figur 2 ist eine schematische, erklärende Zeichnung eines Beispiels der Lötvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Figur 3 ist eine schematische Darstellung eines Leitungssystems der in Figur 2 dargestellten Vorrichtung.
  • Figur 4 ist ein Seitenquerschnitt des Hauptteils der in Figur 2 dargestellten Vorrichtung.
  • In Figur 1 ist eine mit der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zu bearbeitende gedruckte Schaltplatte dargestellt. Die Referenznummer 1 ist eine gedruckte Schaltplatte, 2 sind Elektronikteile mit Anschlußdrähten und 3 ist ein elektronisches Aufsatzteil. Diese Elektronikteile 2 und/oder Aufsatzteile 3 werden vorübergehend mittels Klebemittel an Platte 1 befestigt.
  • Aus Figur 2 geht der Aufbau eines Beispiels der Lötvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung hervor. Die Referenznummer 10 stellt einen ganzen Körper der Lötvorrichtung dar, 11 ist eine Trägerfassung mit der gedruckten Schaltplatte 1 darin, 12 ist ein Fassungsbereich, in den das Einsetzen der gedruckten Schaltplatte 1 in den Träger 11 erfolgt, 13 ist eine Transportvorrichtung in dem Fassungsbereich 12, 14 ist eine Drehscheibe, auf dem die Bewegungsrichtung des Trägers 11, siehe Pfeil A, im rechten Winkel, siehe Pfeil B, in die durch Pfeil C gekennzeichnete Richtung gedreht wird, 15 ist eine Transportvorrichtung für die Drehscheibe 14 in die mit Pfeil C gekennzeichnete Richtung, 16 ist ein Fließmittelbehälter, in dem Platte 1 mit einem Fließmittel behandelt wird, 17 ist eine Transportvorrichtung in dem Bereich des Fließmittelbehälters, um den Träger in die mit Pfeil D gekennzeichnete Richtung zu bewegen, 118 ist eine erste Außenluftverschlußkammer mit einer ersten Verschlußklappe 19 und einer zweiten Verschlußklappe 20, 21 ist eine Transportvorrichtung in der ersten Außenluftverschlußkammer 18 zum Bewegen des Trägers in die mit Pfeil E gekennzeichnete Richtung, und 22 ist eine L-förmige Edelgasfüll- oder Bearbeitungskammer. Die Kammer 22 ist normalerweise mit einem Edelgas, wie Stickstoff gefüllt und enthält einen Vorwärmer 23, einen Wagen 24 mit dem Vorwärmer 23, eine Transportvorrichtung 25 zum Bewegen des Wagens 24 in die mit Pfeil F gekennzeichnete Richtung, eine Schraubspindel 26, die mit dem unteren Teil des Wagens 24 verbunden ist, eine an dem Wagen 24 angeordnete Führungswelle 27, einen Lötmittelbehälter 28, von dem sich ein Teil in Kammer 22 befindet, einen ersten Ausstoßbehälter 29A des Lötmittelbehälters 28, einen zweiten Ausstoßbehälter 29B des Lötmittelbehälters 28, ein geschmolzenes Lötmittel 30 und eine Transportvorrichtung 31 in dem Lötmittelbehälter 28 zum Bewegen des Trägers in die mit Pfeil H und Pfeil I gekennzeichnete Richtung. In der Kammer 22 wird die gedruckte Schaltplatte 1 auf die Temperatur des geschmolzenen Lötmittels 30 erwärmt, wodurch der Lötvorgang der Platte abgeschlossen wird. Die Referenznummer 32 ist eine zweite Außenluftverschlußkammer mit einer dritten Verschlußklappe 33 und einer vierten Verschlußklappe 34, 35 ist eine Transportvorrichtung in der Kammer 32 zum Bewegen des Trägers in die mit Pfeil I gekennzeichnete Richtung, 36 ist eine Drehscheibe, auf der der Träger im rechten Winkel, siehe Pfeil K, gedreht wird und 37 ist eine Transportvorrichtung in der Drehscheibe 36. Die Transportvorrichtungen 13, 15, 17, 21, 25, 31, 35 und 37 sind mit Träger 11 verbunden und bewegen diesen in die angegebenen Richtungen. Ein typisches Beispiel für die Transportvorrichtung ist ein Kettenförderband. Die Verschlußklappen 19, 20, 33 und 34 sind so angelegt, daß sie sich nur öffnen, wenn der Träger sich durch sie hindurchbewegt.
  • In Figur 3 haben die gleichen Referenznummern wie in Figur 11 und 2 die gleichen, obengenannten Bedeutungen. Die Referenznummer 41 ist eine Gasbombe oder ein ähnlicher Gasbehälter als Edelgasquelle, 42 ist ein Hahn der Bombe oder des Behälters, 43 ist ein Sicherheitsventil und 44 ein Vakuumbehälter zum Entleeren der Außenluftverschlußkammern 18 und 32, wodurch durch Außenluft verunreinigtes Edelgas in den Kammern schnell beseitigt werden kann. Der Vakuumbehälter 44 ist mit einer Vakuumpumpe P&sub1; verbunden, die Luft aus dem Behälter saugen kann, um diesen jederzeit unter Vakuum zu halten. Zusätzlich zu dem Vakuumbehälter 44 sind die Vakuumpumpen P&sub2; und P&sub3; zum Absaugen des verbleibenden Gases in den Außenluftverschlußkammern 18 bzw. 32 vorgesehen. Die Rohrleitungen, die diese Pumpen, Kammern und Behälter verbinden, sind mit Ventilen V&sub1; - V&sub8; zwecks Regulierung der Gasdurchflußmenge versehen.
  • In Figur 4 haben die gleichen Referenznummern wie in den Figuren 1 bis 3 die gleichen, obengenannten Bedeutungen. Die Referenznummern 51 und 52 sind Antriebsketten zum Öffnen/Schließen der Verschlußklappen 19, 20, 33 und 34, 53 ist eine Dichtung und 54 sind drehbare Exzenterwellen zum Drücken der Verschlußklappen l9, 20, 33 und 34 in die geschlossene Stellung gegen die Dichtung 53, um beide Außenluftverschlußkammern 18 und 32 luftdicht verschlossen zu halten. Diese Welle weist im Querschnitt eine elliptische Form auf Anstelle der Welle 54 kann auch eine normale Stange mit elliptischer Wölbung verwendet werden.
  • Der Lötvorgang gedruckter Schaltplatten in der Lötvorrichtung 10 gemäß der vorliegenden Erfindung wird nunmehr anhand der Figuren 2 bis 4 besclrrieben.
  • In Figur 2 ist die gedruckte Schaltplatte 1 auf den Träger 11 in dem Fassungsbereich 12 montiert und der Träger 11 wird in die mit Pfeil A gekennzeichnete Richtung zu dem Kettentörderband 15 der Drehscheibe 14 bewegt. Danach dreht sich die Drehscheibe 14 im rechten Winkel in die mit Pfeil B gekennzeichnete Richtung, wodurch auch die Bewegungsrichtung des Trägers 11 um 900 gedreht wird. Der Träger 11 wird von Kettenförderband 17 übernommen und in die mit Pfeil C gekennzeichnete Richtung zu dem Fließmittelbehälter 16 bewegt, wo die Platte 1 einer Fließmittelbehandlung unterzogen wird. Nach Bestätigung durch einen (nicht abgebildeten) Meßfühler, daß der Träger noch nicht in die erste Außenluftverschlußkammer 18 eingetreten ist, öffnet sich die erste Verschlußklappe 19, um den Träger 11 in die mit Pfeil D gekennzeichnete Richtung zu bewegen, und der Träger 11 kann nach Übergabe von Kettenförderband 17 an Kettenförderband 21 anhalten. In diesem Stadium ist die erste Verschlußklappe 19 geschlossen und das in Figur 3 dargestellte Ventil V&sub1; geöffnet, wodurch die Luft in Kammer 18 schnell durch Ansaugen in den Vakuumbehälter 44 entfernt wird, der zuvor wiederum durch Pumpe P&sub1; geleert wurde. Darüber hinaus wird Pumpe P&sub2; angetrieben und das Ventil V&sub3; öffnet sich, um die restliche Luft aus Kammer 18 zu entfernen. Die Ventile V&sub1; und V&sub3; werden dann geschlossen, um die Kammer 18 unter vermindertem Druck zu halten. In diesem Stadium ist Ventil V&sub5; geöffnet, damit ein Edelgas aus der Edelgasfüllkammer 22 in Kammer 18 fließen kann. Die Edelgasfüllkammer 22 wurde zuvor über das Ventil V&sub8; mit dem Edelgas aus der Gasbombe oder dem Behälter 41 gefüllt, wodurch der Gasdruck in Kammer 18 dem in Kammer 22 entspricht und der Druckunterschied in beiden Kammer gleich Null ist, um das Öffnen der zweiten Verschlußklappe 20 zu erleichtern. Das Edelgas kann direkt von der Gasbombe oder dem Behälter 41 in die Kammer 18 eingespeist werden. In diesem Fall ist jedoch eine Vorrichtung zum Messen des Drucks erforderlich, damit der Druck in Kammer 18 dem in Kammer 22 entspricht. Folglich ist die direkte Einspeisung eines Edelgases in Kammer 18 aus der Gasbombe 41 aufgrund höherer Kosten und Mehrarbeit nicht wünschenswert. Die zweite Verschlußklappe 20 öffnet sich dann, um den Träger 11 in die mit Pfeil E gekennzeichnete Richtung zu bewegen. Der Träger wird von Kettentörderband 21 an Kettenförderband 25 übergeben, der sich in die mit Pfeil F gekennzeichnete Richtung bewegt. Der Träger 11 stellt sich auf Wagen 24, der mit dem Vorwärmer 23 versehen ist, und wird während der Bewegung auf dem Wagen einer Vorwärmung unterzogen. Ein (nicht abgebildeter) Motor dreht dann die Schraubspindel 26, wodurch der Wagen 24 in die mit Pfeil G gekennzeichnete Richtung entlang Fülrrungswelle 27 bewegt wird. Nach dem Anhalten des Wagens 24 in einer vorbestimmten Stellung, wird der Träger 11 an Kettenförderband 31 weitergegeben, der sich in die mit H gekennzeichnete Richtung, d.h. in die entgegengesetzte Richtung zu Pfeil F, zu dem Lötmittelbehälter 28 bewegt, in dem Schaltplatte 1 mit Wellen geschmolzenen Lötmittels 30 in Berührung kommt, die durch die erste und zweite Lötmittelauftragvorrichtung 29A und 29B gebildet werden. Die dritte Verschlußklappe 33 der zweiten Außenluftverschlußklappe 32 wird dann geöffnet und der Träger 11 wird in die mit Pfeil I gekennzeichnete Richtung bewegt und dem Kettenförderband 35 in der Kammer 32 übergeben, die zuvor auf die gleiche Art und Weise wie oben bezuglich Kammer 18 beschrieben mit Edelgas gefüllt wurde. Die dritte Verschlußklappe 33 ist in diesem Stadium geschlossen und die vierte Verschlußklappe 34 geöffnet. Der Träger 11 wird aus der Kammer 32 in die mit Pfeil J gekennzeichnete Richtung bewegt und auf der von dem Kettenfürderband 37 angetriebenen Drehscheibe abgesetzt. Nach dem Drehen der Drehscheibe um einen rechten Winkel in die mit Pfeil K gekennzeichnete Richtung wird der Träger in die mit Pfeil L gekennzeichnete Richtung bewegt und dem Anfangskettenlörderband 13 übergeben. Ein Bewegungszyklus des Trägers 11 in der Vorrichtung 10 ist in diesem Stadium abgeschlossen und die gelötete gedruckte Schaltplatte 1 wird durch eine neue gedruckte Schaltplatte ausgetauscht.
  • Wenn die vierte Verschlußklappe 34 geöffnet ist, gelangt Außenluft in die Kammer 32 und verunreinigt das darin vorhandene Edelgas. Folglich sind die dritte und vierte Verschlußklappe 33 und 34 nach dem Austritt der gedruckten Schaltplatte geschlossen und die Kammer 32 wird durch Öffnen der Ventile V&sub2; und V&sub4; durch die Pumpe P&sub3; geleert, wodurch das durch Außenluft verunreinigte Edelgas zu dem Vakuumbehälter 44 und zu der Pumpe P3 zwecks Entlüftung fließt.
  • Wenn die Ventile V&sub5; und V&sub6; geöffnet sind, wird das Edelgas in der Kammer 22 zu den leeren Außenluftverschlußkammern 18 und 32 geleitet, wobei der Innendruck der Kammern 18 und 32 mit dem in der Kammer 22 gleich gehalten wird. Wenn ein (nicht abgebildeter) Meßfühler eine Verringerung des Edelgasdrucks in Kammer 22 feststellt, öffnen sich die Ventile V&sub7; und V&sub8;, um das Edelgas aus der Gasbombe oder dem Behälter 41 einzuspeisen.
  • Die Temperatur der gelöteten gedmckten Schaltplatten wird abgesenkt und das geschmolzene Lötmittel erstarrt sofort bei Herausnahme aus der Vorrichtung, so daß die Elektronikteile und/oder Aufsatzteile fest an den Platten befestigt sind. Sollten die so gelöteten gedruckten Schaltplatten mit Anschlußdrähten an der unteren Oberfiäche versehen sein, können die Schaltplatten auf herkömmliche Art und Weise zum Abschneiden der überstehenden Anschlußdrähte behandelt werden.
  • Ein kennzeichnendes Merkmal der soeben beschriebenen Vorrichtung liegt darin, daß die Edelgasfüllkammer, in der der Lötvorgang der gedruckten Schaltplatte ausgeführt wird, sowohl im vorderen als auch im hinteren Bereich mit Außenluftverschlußkammern versehen ist.
  • Ein weiteres kennzeichnendes Merkmal der beschriebenen Vorrichtung liegt darin, daß die erste und zweite Außenluftverschlußkammer mit jeweils zwei Verschlußklappen versehen sind, von denen die eine das Eindringen von Außenluft in die Kammer und die andere das Entweichen von Edelgas aus der Edelgasfüllkammer verhindert.
  • Ein weiteres kennzeichnendes Merkmal der beschriebenen Vorrichtung liegt darin, daß die Gasverschlußkammern schnell durch Verwendung des Väkuumbehälters und der Vakuumpumpen geleert werden können, so daß das Edelgas, das durch Außenluft verunreingt ist, die jedesmal eintritt, wenn die erste und dritte Verschlußklappe sich öffnen, aus den Kammern entfernt werden kann.
  • Diese kennzeichnenden Merkmale haben zahlreiche Vorteile. Erstens kann die Menge des in die Edelgasfüllkammer einzuspeisenden Edelgases auf ein Minimum reduziert werden, da die zweite und vierte Verschlußklappe das Austreten einer großen Menge des Edelgases durch das Zusammenspiel mit der ersten und dritten Verschlußklappe verhindern. Zweitens können die mit dem durch Außenluft verunreinigtem Edelgas gefüllten Kammern schnell durch Verwendung des Vakuumbehälters und der Vakuumpumpe geleert werden, so daß die für das Bewegen der gedruckten Schaltplatten und für den Lötvorgang selbst erforderliche Zeit bedeutend verkürzt werden kann. Darüber hinaus kann das Ventil, das die Edelgasfüllkammer mit der Außenluftverschlußkammer verbindet, geöffnet werden, um den Druckunterschied zwischen diesen Kammern auszugleichen, so daß der Öffnungs-/Schließvorgang der zweiten und vierten Verschlußklappe weich erfolgen kann und keine weitere Vorrichtung oder Mehrkosten zum Messen des Drucks erforderlich sind.

Claims (1)

  1. Lötvorrichtung bestehend aus;
    Bändern (13, 15, 17, 21, 25, 31, 35, 37) zum Transport einer gedruckten Schaltplatte (11, 30) durch einen vorbestimmten Weg;
    einer luftdichten Bearbeitungskammer (22) in dem genannten Weg zum Löten der gedruckten Schaltplatte in Edelgasatmosphäre wahrend des Passierens der Bearbeitungskammer;
    einer Edelgasquelle (41),
    einer Zuführleitung zwischen der Bearbeitungskammer (22) und der Edelgasquelle, versehen mit einem Einlaßventil (V8), damit das Edelgas aus der Edelgasquelle in die Bearbeitungskammer eingespeist und der Druck in der Bearbeitungskammer in einem vorgegebenen Bereich gehalten werden kann;
    Elementen (28, 29A, 29B) in der Bearbeitungskammer zum Auftragen des geschmolzenen Lötmittels auf eine gedruckte Schaltplatte, die sich durch den genannten Weg bewegt;
    einer ersten Kammer (18), die flußaufiwärts zu und angrenzend an die Bearbeitungskammer angeordnet ist;
    einer zweiten Kammer (32), die fiußabwärts zu und angrenzend an die Bearbeitungskammer angeordnet ist;
    Entleerungsvorrichtungen (44, P1);
    einer ersten Leitung zwischen der ersten Kammer und der Entleerungsvorrichtung, versehen mit einem ersten Ventil (V1), um eine Gasverbindung zwischen der ersten Kammer und der Entleerungsvorrichtung zum Leeren der ersten Kammer herzustellen und zu verhindern, wenn die gedruckte Schaltplatte sich darin befindet;
    einer zweiten Leitung zwischen der zweiten Kammer und der Entleerungsvorrichtung, versehen mit einem zweiten Ventil (V2), um eine Gasverbindung zwischen der zweiten Kammer und der Entleerungsvorrichtung zum Leeren der zweiten Kammer herzustellen und zu verhindern, wenn die gedruckte Schaltplatte sich darin befindet;
    einer dritten Leitung zwischen der ersten Kammer und der Bearbeitungskammer, versehen mit einem dritten Ventil (V5), um eine Gasverbindung zwischen der ersten Kammer und der Bearbeitungskammer herzustellen und zu verhindern, um den Druck in der ersten Kammer mit dem in der Bearbeitungskannner auszugleichen;
    einer vierten Leitung zwischen der zweiten Kammer und der Bearbeitungskammer, versehen mit einem vierten Ventil (V6), um eine Gasverbindung zwischen der zweiten Kammer und der Bearbeitungskammer herzustellen und zu verhindern, um den Druck in der zweiten Kammer mit dem in der Bearbeitungskammer auszugleichen;
    einer ersten Verschlußklappe (19) am flußaufwärts gelegenen Ende der ersten Kammer, die sich zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung bewegen kann, so daß die gedruckte Schaltplatte in die erste Kammer eintreten kann, wenn die erste Verschlußklappe in geöffneter Stellung ist und keine Umgebungsluft durch sie in die erste Kammer eindringen kann, wenn die erste Verschlußklappe in geschlossener Stellung ist;
    einer zweiten Verschlußklappe (20) zwischen der ersten Kammer und der Bearbeitungskammer, die sich zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung bewegen kann, so daß die gedruckte Schaltplatte in der ersten Kammer sich durch sie in die Bearbeitungskammer bewegen kann, wenn die zweite Verschlußklappe in geöffneter Stellung ist und das Edelgas in der Bearbeitungskammer daran gehindert wird, durch sie in die erste Kammer zu fließen, wenn die zweite Verschlußkammer in geschlossener Stellung ist;
    einer dritten Verschlußklappe (33) zwischen der zweiten Kammer und der Bearbeitungskammer, die sich zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung bewegen kann, so daß die gedruckte Schaltplatte in der Bearbeitungskammer sich durch sie in die zweite Kammer bewegen kann, wenn die dritte Verschlußklappe in geöffneter Stellung ist und das Edelgas in der Bearbeitungskammer daran gehindert wird, durch sie in die zweite Kammer zu fließen, wenn die dritte Verschlußklappe in geschlossener Stellung ist; und
    einer vierten Verschlußklappe (34) am flußabwärts gelegenen Ende der zweiten Kammer, die sich zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung bewegen kann, so daß die gedruckte Schaltplatte aus der zweiten Kammer austreten kann, wenn die vierte Verschlußklappe in geöffneter Stellung ist und keine Umgebungsluft durch sie in die zweite Kammer eindringen kann, wenn die vierte Verschlußklappe in geschlossener Stellung ist.
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