DE69120308T2

DE69120308T2 - Magnetooptischer Aufzeichnungsträger und Verfahren zur Bearbeitung seiner Oberfläche

Info

Publication number: DE69120308T2
Application number: DE69120308T
Authority: DE
Inventors: Hiroyuki Katayama; Yoshiteru Murakami; Junichiro Nakayama; Kenji Ohta
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1990-02-06
Filing date: 1991-02-06
Publication date: 1997-01-23
Anticipated expiration: 2011-02-07
Also published as: US5328740A; DE69120308D1; JP2600004B2; CA2035410C; EP0441611B1; EP0441611A1; JPH03230345A; US5427833A; CA2035410A1

Description

Gebiet der Erfindung

Die Erfindung bezieht sich auf einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger zur Benutzung in einer nach dem magnetooptischen Verfahren arbeitenden Aufzeichnungs-/Wiedergabevorrichtung mit einem Schwebemagnetkopf und auf ein Verfahren zur Bearbeitung der Oberfläche des magnetooptischen Aufzeichnungsträgers.

Hintergrund der Erfindung

Bei der magnetooptischen Aufzeichnung wird als Aufzeichnungsträger ein Substrat aus Glas, Plastik, Keramik oder einem anderen Material eingesetzt, das mit einem aus magnetischem Metallmaterial bestehenden vertikal magnetisierten Film beschichtet ist. Die Aufzeichnung und Wiedergabe auf und von dem Aufzeichnungsträger wird wie nachfolgend beschrieben durchgeführt.
Bei der Aufzeichnung wird zuerst die Magnetisierungsrichtung des vertikal magnetisierten Films des Aufzeichnungsträgers mittels eines starken externen Magnetfeldes oder ähnlichem in eine bestimmte Richtung ausgerichtet (nach oben oder nach unten). Dieser Vorgang wird nachfolgend als Initialisierung bezeichnet. Nachfolgend wird die Temperatur eines Aufzeichnungsbereichs, in dem die Aufzeichnung stattfinden soll, durch die Projektion eines Laserstrahls auf den Aufzeichnungsbereich so angehoben, daß sie über die Umgebung des Curie- Punkts oder über seinen magnetischen Ausgleichspunkt ansteigt. Dadurch wird die magnetische Koerzitivkraft (Hc) in dem Aufzeichnungsbereich Null oder fast Null. In diesem Zustand wird die Magnetisierungsrichtung durch das Anlegen eines externen Magnetfeldes (Vormagnetisierungsfeld) mit einer zur initialisierten Magnetisierungsrichtung entgegengesetzten Magnetisierungsrichtung umgedreht. Wird die Aufstrahlung des Laserstrahls angehalten, so stellt sich der Aufzeichnungsbereich des Aufzeichnungsmediums auf Zimmertemperatur zurück. Da die umgekehrte Magnetisierungsrichtung bleibend ist, wird so Information aufgezeichnet. Das zuvor erläuterte Aufzeichnungsverfahren wird auch thermomagnetische Aufzeichnung genannt.
Bei der Wiedergabe wird ein linear polarisierter Laserstrahl auf den Aufzeichnungsträger aufgestrahlt. Die Drehrichtung einer Polarisationsebene des von dem Aufzeichnungsträger reflektierten Lichts oder des durch diesen hindurch scheinenden Lichts verändert sich entsprechend der Magnetisierungsrichtung (nach oben oder nach unten) des Aufzeichnungsträgers. Dieser Effekt wird als magnetischer Kerr-Effekt oder magnetischer Faraday-Effekt bezeichnet. Information wird durch den magnetischen Effekt optisch ausgelesen.
Zur magnetooptischen Aufzeichnung verwendete Aufzeichnungsträger sind Speicherelemente mit einer großen Kapazität, die wiederbeschrieben werden können. Zur Zeit sind zwei Verfahren zum Überschreiben der auf dem Aufzeichnungsträger aufgezeichneten Information bekannt, die nachfolgend in (i) und (ii) beschrieben werden.
(i) Ein Verfahren, bei dem die zuvor aufgezeichnete Information durch eine erneute Initialisierung des Aufzeichnungsträgers gelöscht wird.
(ii) Ein Verfahren, bei dem ein Aufzeichnungsträger oder eine Vorrichtung zur Erzeugung des externen Magnetfeldes so verbessert wird, daß ein Überschreiben stattfinden kann, das heißt, daß die Information, ohne ein Löschen durchzuführen, direkt überschrieben werden kann.
Wird das Verfahren (i) eingesetzt, so muß entweder eine Initialisierungsvorrichtung oder es müssen zwei Köpfe installiert werden, wodurch die Herstellungskosten ansteigen. Weiter wird in dem Fall des Löschens von Information mit einem einfach vorhandenen Kopf die zur Aufzeichnung benötigte Zeit ebenfalls zum Löschen benötigt, wodurch das Überschreiben von Information sehr ineffizient wird.
Wird das Verfahren (ii) eingesetzt, bei dem der Aufzeichnungsträger verbessert wird, so ist es sehr schwer, die Zusammenstellung des Aufzeichnungsträgers, die Filmdicke usw. zu wählen. Aus diesen Gründen ist es das effektivste Mittel, die Vorrichtung zur Erzeugung des externen Magnetfelds zu verbessern, die nach dem Verfahren (ii) eingesetzt wird, also eine Richtung des externen Magnetfelds mit einer hohen Geschwindigkeit in Abhängigkeit von Informationssignalen umzuschalten, während die Stärke des Laserstrahls konstant gehalten wird.
Um die Richtung des externen Magnetfelds mit einer hohen Geschwindigkeit umzuschalten, muß ein Magnetkopf(eine Spule und ein Spulenkern) der Vorrichtung zur Erzeugung des externen Magnetfelds stark minituarisiert werden. Dadurch wird jedoch ein Bereich, in dem das Magnetfeld erzeugt wird, kleiner. Um dem ent gegenzuwirken, müssen ein Magnetkopf und ein Aufzeichnungsträger näher aneinandergebracht werden. Deshalb wird allgemein, wie es in den Figuren 10(a) und 10(b) gezeigt ist, ein Schwebekopf 32 des Gleittyps als Vorrichtung zur Erzeugung des externen Magnetfelds eingesetzt, der über einen nichtgezeigten plattenförmigen Aufzeichnungsträger gleiten kann. Der Schwebekopf 32 enthält ein Gleitstück 33 mit einem Magnetkopfbereich 34. Der Schwebekopf 32 wird durch eine Aufhängung 31 zum Aufzeichnungsträger hin gedrückt und getragen. Entsprechend dieser Anordnung schwebt der Schwebekopf 32 über die Oberfläche des Aufzeichnungsträgers, wenn dieser rotiert.
Durch einen Ausgleich der Schwebekraft mit der Andruckkraft wird eine konstante Schwebehöhe des Schwebekopfs 32 erreicht. Die Schwebekraft wirkt durch die zwischen dem Gleitstück 33 und dem Aufzeichnungsträger fließende Luft auf das Gleitstück 33 in eine Richtung nach oben. Durch die Aufhängung 31 wirkt die Andruckkraft auf das Gleitstück33 in eine Richtung nach unten. Ein so aufgebauter Schwebekopf wird ebenfalls für herkömmliche Festplatten von nach dem magnetischen Verfahren arbeitenden Aufzeichnungs-/Wiedergabevorrichtungen eingesetzt. Bei den Festplatten ist die Schwebehöhe in der Größenordnung unter einem Mikrometer. Jedoch wird bei einer magnetooptischen Platte als Aufzeichnungsträger eine Schwebehöhe von 5 µm bis zu 15 µm benötigt, das heißt bei magnetooptischen Platten wird eine größere Schwebehöhe als bei Festplatten benötigt. Dafür gibt es die folgenden Gründe. Da die magnetooptischen Platten auswechselbar sind, haftet daran mehr Staub an. Dadurch können Probleme wie ein Kopfzusammenstoß auftreten, bei dem der magneboptische Kopf 34 wegen einer zu kleinen Schwebehöhe durch Staub beschädigt wird.
Eine Oberfläche der magnetooptischen Platte, die dem Schwebekopf 32 zugewandt ist, hat eine Struktur mit feinen physikalischen Mikrospitzen und -einlassungen, die ein Ankleben der Platte an den Schwebekopf verhindern. Wie in den Figuren 11(a) und 11(b) gezeigt ist, wird zur Bildung der Plattenoberfläche mit der Struktur ein Strukturband 36 mit feinen Mikrospitzen und -einlassungen auf seiner Oberfläche benutzt. Genauer wird das Strukturband 36 zur Bildung der Plattenoberfläche mit der Struktur mittels einer Preßwalze 37 auf eine magnetooptische Platte 35 gepreßt, während diese bei der Führung des Strukturbandes in der Richtung des Pfeils C gedreht wird. Hierbei werden die Mikrospitzen und -einlassungen gleichmäßig auf der magnetooptischen Platte 35 gebildet, wie es durch die zweifach gepunktete Linie mit langen und zwei kurzen Strichen der Figur 12 gezeigt ist, da die Drehrichtung der magnetooptischen Platte 35 parallel zur Zufuhrrichtung des Bandes 36 ist. Die Mikrospitzen und -einlassungen bilden im wesentlichen konzentrische Kreise.
Der Einsatz eines solchen Verfahrens zur Strukturierung der Oberfläche eines Ni- P-Films, der auf der Oberfläche einer aus einer Aluminiumlegierung bestehenden Platte für einen magnetischen Aufzeichnungsträger gebildet ist, ist in der JP-A- 62/262227 offenbart.
Wie oben beschrieben, ist bei magnetooptischen Platten die Schwebehöhe des Schwebekopfs 5 µm bis 15 µm, also größer als eine Schwebehöhe, die bei der Benutzung einer Festplatte benötigt wird. Dadurch sind Verändemgen in der Schwebehöhe stark von der relativen Geschwindigkeit zwischen der magnetooptischen Platte und dem Schwebekopf abhängig. Diese Abhängigkeit ist in der nachfolgenden Tabelle 1 aufgeführt. In bezug auf die Tabelle 1 kann erkannt werden, daß bei einer konstanten Andruckkraft F der Aufhängung und einer verdoppelten relativen Geschwindigkeit ein Anstieg der Schwebehöhe von im wesentlichen 11/2mal entsteht. Hierbei sind die Abmessungen des Gleitstücks 6 mmx 4 mm. Im Fall der Drehung der magnetooptischen Platte mittels des Verfahrens der konstanten Winkelgeschwindigkeit (nachfolgend als CAV-Verfah ren, constant angu lar velocity-Verfahren. bezeichnet), ist die relative Geschwindigkeit in den äußeren Bereichen der magnetooptischen Platte höher als in ihren inneren Bereichen, wodurch in den äußeren Bereichen eine höhere Schwebehöhe entsteht. Dadurch variiert die von dem Schwebekopf auf die magnetooptische Platte wirkende magnetische Feldstärke in jeder radialen Position der magnetooptischen Platte, wodurch ein Problem entsteht, das heißt, daß die Aufzeichnung mit einer herkömmlichen magnetooptischen Platte nicht unter konstanten Bedingungen ausgeführt werden kann. Tabelle 1 (Beziehung zwischen der relativen Geschwindigkeit und der Schwebehöhe)
wobei F: Andruckkraft von der Aufhängung
V: relative Geschwindigkeit zwischen Kopf und Träger
Die DE-A-3 629 582 offenbart ein Verfahren für die Oberflächenbehandlung eines plattenförmigen vernickelten Aluminiumsubstrats, das als Träger für eine Festplatte zur magnetischen Aufzeichnung verwendet wird. Das Substrat erhält durch eine automatische Lappmaschine eine Oberflächenbeschaffenheit mit einer definierten Oberflächenrauhigkeit und Struktur. Die verwendete Textur hat eine schöpfradförmige Struktur, das heißt, daß nahe beielnanderliegende Vertiefungen von der Mitte des plattenförmigen Substrats bogenförmig zum Plattenumfang verlaufen.

Zusammenfassung der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger zur Benutzung mit einem schwebenden Magnetkopf (nachfolgend als Schwebekopf bezeichnet) anzugeben, der nach dem CAV-Verfahren angetrieben wird, und bei dem eine konstante Schwebehöhe des Schwebekopfs unabhängig von der radialen Position auf dem magnetooptischen Träger erhalten wird. Der Erfindung liegt weiter die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Bearbeitung der Oberfläche des magnetooptischen Aufzeichnungsträgers anzugeben, durch das eine Oberflächenbeschaffenheit gebildet wird, aufgrund der eine Regulierung der Schwebekraft erreicht wird.
Deshalb ist nach einem Gesichtspunkt der Erfindung ein magnetooptischer Aufzeichnungsträger zur Benutzung in einer Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabevorrichtung, mit einem Magnetkopf, der im Betrieb auf einem durch die Rotation des Trägers erzeugten und zwischen dem Magnetkopf und der Oberfläche mit einer bestimmten linearen Geschwindigkeit mitgerissenen Luftstrom über die Oberfläche des Trägers schwebt, wobei sich die lineare Geschwindigkeit mit der radialen Position auf dem Träger verändert und der Träger feine physikalische Mikrospitzen und -einlassungen aufweist, die eine Oberflächenstruktur bilden, die im Betriebszustand eine auf den Magnetkopf aufgebrachte Schwebekraft beeinflußt, die ein Schweben des Magnetkopfes verursacht, dadurch gekennzeichnet, daß physikalische Eigenschaften der Oberflächenstruktur sich mit der radialen Position auf der Oberfläche verändern, um die Schwebekraft in Bezug auf die radiale Position zu regulieren, indem die Veränderung der linearen Geschwindigkeit kompensiert wird.
Zum Beispiel sind die Mikrospitzen und -einlassungen, wenn sie eine im wesentlichen längliche Form aufweisen, so gebildet, daß ihre mittlere Längsorientierung die Rotationsrichtung des Aufzeichnungsträgers in den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers im wesentlichen rechtwinklig schneidet und in dessen radial äußeren Bereichen im wesentlichen parallel zur Rotationsrichtung verläuft.
Als weiteres Beispiel können die physikalischen Mikrospitzen und -einlassungen so ausgebildet sein, daß die maximale Höhe RMAX in den radial inneren Bereichen größer als in den äußeren Bereichen ist, das heißt, daß relativ rauhe Mikrospitzen und -einlassungen in den radial inneren Bereichen gebildet werden, während in den radial äußeren Bereichen relativ feine Mikrospitzen und -einlassungen gebildet werden.
Bei einer solchen Oberflächenbeschaffenheit, kann die Schwebekraft in den radial inneren Bereichen, in denen die relative Geschwindigkeit zwischen dem Aufzeichnungsmedium und dem Schwebekopf klein ist, gleich zu der Schwebekraft in den radial äußeren Bereichen gemacht werden, in denen die relative Geschwindigkeit groß ist. Dadurch verändert sich die Schwebehöhe des Schwebekopfes auch dann nicht, wenn sich die relative Geschwindigkeit zwischen dem Schwebekopf und dem Aufzeichnungsträger aufgrund der Rotation des magnetooptischen Aufzeichnungsträgers mittels des CAV-Verfahrens ändert. Dadurch werden die Aufzeichnungsbedingungen unabhängig von den radialen Positionen auf dem Aufzeichnungsträger konstant gehalten, wodurch die Genauigkeit der Aufzeichnung verbessert wird.
Nach einem anderen Gesichtspunkt bietet die Erfindung ein Verfahren, die Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträger zu bearbeiten, um einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach der Erfindung zu erhalten, worin ein Band mit feinen Mikrospitzen und -einlassungen auf der Oberfläche verwendet wird. Nach diesem Verfahren werden auf der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers feine physikalische Mikrospitzen und -einlassungen gebildet, indem das Band mittels einer Presse auf den Aufzeichnungsträger gepreßt wird und die Presse derart bewegt wird, daß die zu bildenden feinen Mikrospitzen und -einlassungen in den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers in einer zur Rotationsrichtung des Aufzeichnungsträgers im wesentlichen rechtwinkligen Richtung und in dessen radial äußeren Bereichen in einer zur Rotationsrichtung im wesentlichen parallelen Richtung ausgerichtet sind.
Die Erfindung offenbart weiter ein Verfahren, die Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers zu bearbeiten, um einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach der Erfindung zu erhalten, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, daß ein Band mit einer großen Rauhheit in den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers und ein Band mit einer kleinen Rauhheit in dessen äußeren Bereichen benutzt wird, um in dem radial Inneren Bereichen rauhe Mikrospitzen und -einlassungen und in den rad ial äußeren Bereichen feine Mikrospitzen und -einlassungen zu bilden. Anstelle der Verwendung von Bändern mit unterschiedlichen Oberflächenrauhigkeiten kann auch die Preßkraft der Presse in den radial inneren Bereichen verstärkt werden, während sie in den radial äußeren Bereichen abgeschwächt wird.
Die Erfindung offenbart weiter ein Verfahren zur Bearbeitung der Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers, um einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach der Erfindung zu erhalten, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, daß ein Stempel verwendet wird, auf den feine physikalische Mikrospitzen und -einlassungen geätzt sind, die den zu bildenden gewünschten Formen auf dem Aufzeichnungsträger entsprechen, wobei die Mikrospitzen und -einlassungen der gewünschten Form auf die Oberfläche des Aufzeichnungsträgers kopiert werden.
Dieses einen Stempel verwendende Verfahren kann bei der Massenherstellung von magnetooptischen Aufzeichnungsträgern mit den zuvor aufgeführten Oberflächenstruktureigenschaften verwendet werden.
Einige Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend in bezug auf die beigefügten Zeichnungen beispielhaft beschrieben, es zeigen:
Figuren 1 bis 3 eine Ausführungsform der Erfindung;
Figur 1 einen schematischen Längsschnitt des Aufbaus der magnetooptischen Platte;
Figur 2 eine typische Aufsicht, die die Merkmale der Struktur der Oberfläche der magnetooptischen Platte darstellt;
Figur 3(a) und 3(b) beispielhafte Darstellungen eines Verfahrens zur Bildung der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers mit der Struktur;
Figur 4 und Figur 5 eine weitere Ausführungsform der Erfindung;
Figur 4 einen schematischen Längsschnitt des Aufbaus einer magnetooptischen Platte;
Figur 5 eine typische Aufsicht, die die Merkmale der Oberflächenbeschaffenheit der Oberfläche der magnetooptischen Platte darstellt;
Figur 6 bis Figur 9 eine anderen Ausführungsform der Erfindung;
Figur 6 eine typische schematische perspektivische Darstellung der Merkmale der Oberflächenbeschaffenheit einer Oberfläche einer magnetooptischen Platte;
Figur 7(a) eine schematische perspektivische Ansicht eines Verfahrens zur Bildung der Oberfläche der magnetooptischen Platte mit der Textur mittels eines Stempels;
Figur 7(b) bis 7(d) typische schematische Ansichten, die die Merkmale der auf den Stempel geätzten Strukturen zeigen, die zu den auf einem Aufzeichnungsträger zu bildenden Merkmalen korrespondieren;
Figur 8 und Figur 9 schematische perspektivische Darstellungen eines Verfahrens zur Massenherstellung der Struktur mittels Stempeln;
Figur 10(a) eine schematische perspektivische Darstellung eines Schwebekopfs und einer Aufhängung;
Figur 10(b) eine perspektivische Darstellung des Schwebekopfs;
Figur 11 und Figur 12 ein herkömmliches Beispiel;
Figur 11(a) und 11(b) beispielhafte Darstellungen eines Verfahrens zur Bildung einer Oberfläche einer magnetooptischen Platte mit einer Oberflächenbeschaffenheit durch ein Strukturband;
Figur 12 eine typische Aufsicht, die die Merkmale der Oberflächenbeschaffenheit der Oberfläche der magnetooptischen Platte darstellt.

Beschreibung der Ausführungsformen

Die erste Ausführungsform der Erfindung wird nachfolgend in bezug auf die Figuren 1 bis 3 beschrieben.
Wie in der Figur 1 gezeigt, ist eine magnetooptische Platte als magnetooptischer Aufzeichnungsträger der Erfindung so aufgebaut, daß ein Substrat 1, ein magnetooptischer Aufzeichnungsfilm 2 und eine Schutzschicht 3 in dieser Reihenfolge aufeinanderlaminiert werden. Das Substrat 1 ist aus einem optisch transparen ten Material hergestellt, wie zum Beispiel Glas, Polycarbonat, Polymethylmethylacrylat oder amorphem Polyolefin. Der magnetooptische Aufzeichnungsfilm 2, der eine einschichtige Struktur oder eine vielschichtige Struktur aufweisen kann, enthält einen dielektrischen Film, einen Reflektionsfilm und ähnliches. Er ist durch Sputtern, Aufdampfen oder ein anderes Verfahren auf dem Substrat 1 gebildet. Die Schutzschicht 3, die auf dem magnetooptischen Aufzeichnungsfilm 2 gebildet ist, besteht aus einem organischen Material, wie zum Beispiel einem unter UV-Licht aushärtenden Harz, oder aus einem inorganischen Material, wie zum Beispiel SiO&sub2;, Carbon oder Keramik.
Auf der Oberfläche der Schutzschicht 3 werden feine physikalische Mikrospitzen und -einlassungen gebildet, die eine Textur 4 bilden. Das Verfahren zur Erzeugung der Textur 4 auf der Oberfläche einer magnetooptischen Platte wird die Oberflächenbearbeitung genannt. Wie durch die zweifach gepunktete Linie mit einem langen und zwei kurzen Strichen der Figur 2 gezeigt, können die die Textur 4 bildenden Mikrospitzen und -einlassungen zum Beispiel in eine Richtung ausgerichtet sein, die in den inneren Bereichen der Platte im wesentlichen rechtwinklig zur Rotationsrichtung der Platte verläuft, während sie in deren äußeren Bereichen in einer Richtung ausgerichtet sind, die im wesentlichen parallel zur Rotationsrichtung der Platte verläuft. In anderen Worten, verändert sich im Falle feiner physikalischer Mikrospitzen und -einlassungen zur Bildung der Textur 4, deren jeweilige Längen länger als ihre jeweiligen Breiten sind (die also im wesentlichen länglich verlaufen), die durchschnittliche Orientierung derjeweiligen physikalischen Mikrospitzen und -einlassungen in bezug auf ihre Längen progressiv so. daß sie die Rotationsrichtung der Platte in den radial inneren Bereichen der Platte im wesentlichen rechtwinklig schneidet, während sie in deren radial äußeren Bereichen im wesentlichen parallel zur Rotationsrichtung verläuft. Kurz, die feinen physikalischen Mikrospitzen und -einlassungen sind auf der Oberfläche der magnetooptischen Platte in jeweiligen radialen Positionen unterschiedlich ausgerichtet. Dadurch wird die auf einen Schwebekopf wirkende Schwebekraft durch eine Luftschicht, die von der nach dem CAV-Verfahren angetriebene magnetooptischen Platte kommt, in den inneren Bereichen und den äußeren Bereichen gleich. Dadurch wird die Schwebehöhe des Schwebekopfs unabhängig von den radialen Positionen auf der magnetooptischen Platte konstant.
Nachfolgend wird ein Verfahren zur Bearbeitung der Plattenoberfläche beschrieben.
Wie in der Figur 3(a) gezeigt ist, wird zur Bildung der Textur 4 ein Strukturband 6 mit feinen physikalischen Mikrospitzen und -einlassungen auf seiner Oberfläche benutzt. Sollen Mikrospitzen und -einlassungen zur Bildung der Textur 4 auf den äußeren Bereichen einer magnetooptischen Platte 5 gebildet werden, so wird das Strukturband 6 mittels einer Preßwalze 7 als Presse auf die Oberfläche der Platte gepreßt, und danach wird das Strukturband 6 in Richtung des in der Figur 3(a) gezeigten Pfeils A zugeführt, während die Platte 5 gedreht wird. Sollen andererseits Mikrospitzen und -einlassungen, die die Textur 4 bilden, von den äußeren Bereichen der Platte 5 zu den inneren Bereichen hin gebildet werden, so wird die Preßwalze 7 von den äußeren Bereichen zu den inneren Bereichen hin bewegt, das heißt von der in der Figur 3(a) gezeigten Position in die in der Figur 3(b) gezeigte Position. Durch dieses Verfahren werden die Mikrospitzen und -einlassungen, die die Textur 4 bilden, in einer Richtung ausgerichtet, die durch die in der Figur 2 gezeigte zweifach gepunktete Linie mit einem langen und zwei kurzen Strichen dargestellt ist, da die Drehrichtung der Platte 5 die Zufuhrrichtung des Strukturbandes 6, die durch den Pfeil A dargestellt ist, in den inneren Bereichen in einem im wesentlichen rechtwinkligen Winkel schneidet.
In dieser Ausführungsform werden die die Textur 4 bildenden Mikrospitzen und - einlassungen auf der Oberfläche der magnetooptischen Platte 5 in einer Richtung im Uhrzeigersinn gebildet, sie können aber auch in einer Richtung entgegen dem Uhrzeigersinn gebildet werden.
In bezug auf die Figuren 4 und 5 erörtert die folgende Beschreibung die zweite Ausführungsform der Erfindung. Baugruppen mit einer zu Baugruppen der ersten Ausführungsform gleichen Funktion haben zur Vereinfachung die gleichen Bezugszeichen und werden nachfolgend nicht mehr beschrieben.
Wie in der Figur 4 gezeigt, enthält eine magnetooptische Platte diese Ausführungsform, gleich zur ersten Ausführungsform, ein Substrat 1, einen magnetooptischen Aufzeichnungsfilm 2 und eine Schutzschicht 3. Mikrospitzen und -einlassungen, die Texturen 8 und 9 bilden, werden auf der Oberfläche der Schutzschicht 3 gebildet. Wie in der Figur 5 gezeigt, werden in den inneren Bereichen der Platte im wesentlichen rauhe Mikrospitzen und -einlassungen gebildet, die die Textur 8 bilden, während in den äußeren Bereichen der Platte im wesentlichen feine Mikrospitzen und -einlassungen gebildet werden, die die Textur 9 bilden. Die maximale Höhe RMAX der rauhen Mikrospitzen und -einlassungen liegt im Bereich zwlschen 100 nm und 2500 nm. Die maximale Höhe RMAX der feinen Mikrospitzen und -einlassungen ist kleiner als 200 nm. In der Figur 5 ist der Bereich der feinen Textur 9 und der Bereich der rauhen Textur 8 unterschiedlich dargestellt, damit die Merkmale der Plattenoberfläche leicht zu verstehen sind. Jedoch können die Mikrospitzen und -einlassungen so gebildet werden, daß jede der Mikrospitzen und -einlassungen entsprechend der relativen Geschwindigkeit zwischen der magnetooptischen Platte und dem Schwebekopf graduell von den inneren Bereichen zu den äußeren Bereichen der Platte abnimmt. Wie zuvor beschrieben, verändern sich die Formen der feinen physikalischen Mikrospitzen und -einlassungen, die auf der Oberfläche der Schutzschicht 3 gebildet werden, mit jeder radialen Position auf der Platte. Dadurch wird die Schwebehöhe des Schwebekopfs unabhängig von den radialen Positionen auf der magnetooptischen Platte konstant, da die durch eine Luftschicht auf den Schwebekopf wirkende Schwebekraft von der mittels des CAV-Verfahrens angetriebenen magnetooptischen Platte in den inneren Bereichen und den äußeren Bereichen gleich ist.
Zur Durchführung der oben erwähnten Oberflächenbearbeitung der inneren Bereiche der magnetooptischen Platte wird ein Strukturband mit einer großen Rauhigkeit von einer Preßwalze auf die inneren Bereiche der Plattenoberfläche gepreßt, das wie in den herkömmlichen Verfahren während der Drehung der Platte zugeführt wird. Durch diese Bearbeitung bilden rauhe Mikrospitzen und -einlassungen die Textur 8. Andererseits wird in den äußeren Bereichen der Platte ein Strukturband mit einer geringen Rauhigkeit verwendet. Dadurch werden in den äußeren Bereichen die Textur 9 bildende feine Mikrospitzen und -einlassungen auf die gleiche Weise wie zur Bildung der inneren Bereiche gebildet.
Anstelle der Verwendung von Strukturbändern mit unterschiedlichen Rauhigkeiten in den inneren Bereichen und den äußeren Bereichen der Platte können auch Bänder mit der gleichen Rauhigkeit verwendet werden. In diesem Fall wird die Andruckkraft der Preßwalze in den inneren Bereichen verstärkt, während sie in den äußeren Bereichen abgeschwächt wird, so daß rauhe Mikrospitzen und -einlassungen In den inneren Bereichen und feine Mikrospitzen und -einlassungen in den äußeren Bereichen gebildet werden.
In bezug auf die Figuren 6 bis 9 wird nachfolgend die dritte Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
Ähnlich zur ersten und zweiten Ausführungsform ist eine magnetooptische Platte dieser Ausführungsform so aufgebaut, daß ein magnetooptischer Aufzeichnungsfilm und eine Schutzschicht auf ein Substrat laminiert werden. Wie in der Figur 6 gezeigt, wird aufder Schutzschicht eine Harzschicht 10 gebildet, auf deren Oberfläche Mikrospitzen und -einlassungen 11 in der Form von Falten gebildet sind, deren maximale Höhe RMAX im Bereich zwischen 100 nm und 2500 nm liegt. Wie es durch die zweifach gepunktete Linie mit einem langen und zwei kurzen Strichen der Figur 6 dargestellt ist, sind die Mikrospitzen und -einlassungen 11 so gebildet, daß die Spitzen jeder Falte darstellende Linien sich in den radialen Richtungen der magnetooptischen Platte erstrecken. Die Höhe der Falte nimmt von den inneren Bereichen der Platte zu deren äußeren Bereichen graduell ab. Die Formen der physikalischen Mikrospitzen und -einlassungen, die auf der Oberfläche der Harzschicht 10 gebildet sind, variieren sozusagen in jeder radialen Position auf der magnetooptischen Platte. Dadurch wird die Schwebehöhe des Schwebekopfs unabhängig von der radialen Position auf der magnetooptischen Platte konstant, da die über eine Luftschicht auf den Schwebekopf wirkende Schwebekraft von der mittels des CAV-Verfahrens angetriebenen magnetooptischen Platte in den inneren Bereichen und den äußeren Bereichen gleich ist.
Die folgende Beschreibung erörtert ein Verfahren zur Bearbeitung einer Plattenoberfläche, das gleich zu dem obigen ist.
Wie in der Figur 7(a) gezeigt ist, ist die magnetooptische Platte 12 mit einem Harz 13 beschichtet, das unter ultravioletten Licht (UV-Licht) aushärtet (zum Beispiel ungesättigter Polyester und Oligoacrylat). Das unter UV-Licht aushärtende Harz ist eine Art optisch härte ndes Harz. Das Harz 13 wird durch die Bestrahlung mit ultraviolettem Licht ausgehärtet Ein Stempel 14, dessen Oberflächenbeschaffenheit zu den faltenförmigen Mikrospitzen und -einlassungen 11 korrespondiert, wird auf das ausgehärtete Harz 13 gepreßt. Die untere Oberfläche des Stempels 14 wird durch chemisches Ätzen, durch eine hochgenaue maschinelle Bearbeitung oder anderes Verfahren mit erwünschten Merkmalen texturiert, zum Beispiel mit den in der Figur 7(b) gezeigten. Die Merkmale einer auf den Stemple 14 zu ätzen den Textur können auch denen der ersten Ausführungsform und der zweiten Ausführungsform entsprechen. die in den Figuren 7(c) und 7(d) gezeigt sind. In diesen Fällen kann eine magnetooptlsche Platte mit den In der ersten Ausführungsform oder der zweiten Ausführungsform erörterten Texturmerkmalen gebildet werden.
Nachfolgend wird ein Verfahren zur Bearbeitung der Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers beschrieben, mittels dem eine Massenproduktion realisiert werden kann.
Wie in der Figur 8 gezeigt, werden magnetooptische Platten 15 auf einem Fertigungsträger 18 gebildet, indem zwischen den Platten longitudinal und transversal bestimmte Abstände eingehalten werden. Die magnetooptischen Platten 15 sind schon mit einem nichtgezeigten Harz überzogen. Eine Walze 16 enthält Stempel 17 zur Texturbildung. Die Stempel 17 sind so angeordnet, daß sie zu denjeweiligen magnetooptischen Platten 15 korrespondieren. Bei der Bildung der Plattenoberfläche mit der Textur wird die Walze 16 gedreht, und die Stempel 17 zur Bildung der Textur werden so mit einem konstante Druck P auf die magnetooptischen Platten 15 auf dem Fertigungsträger 18 gepreßt, daß magnetooptische Platten 15 mit einer Textur mit gewünschten Merkmalen produziert werden können.
Nachfolgend wird ein weiteres Verfahren zur Bearbeitung der Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers beschrieben, entsprechend dem ebenfalls eine Massenproduktion realisiert werden kann.
Wie in dem oben beschriebenen Verfahren werden magnetooptische Platten 19 auf einem Fertigungsträger 24 gebildet und eine Walze 20 enthält Stempel 21 auf ihrer Oberfläche. Ein Behälter 22 mit thermoplastischem Harz 23 ist über der Walze 20 angeordnet. Das Harz 23 wird vom Unterbereich des Behälters 22 an die Walze 20 geführt. Die magnetooptischen Platten 19 sind nicht mit einem die Textur bildenden Harz beschichtet. Zur Bildung einer Textur wird das Harz 23 vom unteren Bereich des Behälters 22 zu der Zeit an die Stempel 2 1 geleitet, an der die Walze 20 auf dem Fertigungsträger 24 rollt. Das Harz 23, auf das die Merkmale der Textur der Stempel 21 übertragen wurden, wird durch das Rollen der Walze 20 auf die magnetooptischen Platten 19 aufgebracht. In diesem Fall sind die Stempel 21 und der Behälter 22 beheizt. Da das Harz 23 ein thermoplastisches Harz ist, härtet es durch eine Abkühlung aus. nachdem es auf die magnetooptischen Platten 19 aufgebracht wurde. Dadurch werden die Oberflächen der magnetooptischen Platten 19 mit gewünschten Merkmalen texturiert.
Wie oben beschrieben, ist ein magnetooptischer Aufzeichnungsträger nach der Erfindung im wesentlichen so aufgebaut, daß physikalische Kennwerte der Oberflächentextur, die durch feine physikalische Mikrospitzen und -einlassungen auf der Oberfläche des Trägers gebildet wurden, entsprechend den radialen Positionen auf dem magnetooptischen Aufzeichnungsträger verändert werden.
Bei dem Antrieb des magnetooptischen Aufzeichnungsträgers mittels des CAV- Verfahrens wird die relative Geschwindigkeit zwischen dem Schwebekopf und dem magnetooptischen Aufzeichnungsträger zu den äußeren Bereichen hin größer. Jedoch entspricht der Schwebe druck in den äußeren Bereichen aufgrund der Formen der Mikrospitzen und -einlassungen, die auf der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers gebildet wurden, dem der inneren Bereiche. Dadurch ist die Schwebehöhe des Schwebekopfs unabhängig von radialen Positionen auf dem Aufzeichnungsträger im wesentlichen konstant. Demnach wird Information unabhängig von radialen Positionen unter im wesentlichen konstanten Bedingungen aufgezeichnet, da die Stärke des von dem Schwebekopf auf den magnetooptischen Aufzeichnungsträger wirkenden Magnetfelds im wesentlichen konstant ist, wodurch die Aufzeichnungsgenauigkeit verbessert wird.
Es ist offensichtlich, daß die zuvor beschriebene Erfindung vielfältig variiert werden kann, ohne von ihrem Umfang abzuweichen, wie er in den angefügten Patentansprüchen definiert ist.

Claims

1. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger zur Benutzung in einer Aufzeichnungs- und/oder Wiedergabevorrichtung, mit einem Magnetkopf, der im Betrieb auf einem durch die Rotation des Trägers erzeugten und zwischen dem Magnetkopf und der Oberfläche mit einer bestimmten linearen Geschwindigkeit mitgerissenen Luftstrom über die Oberfläche des Trägers schwebt, wobei sich die lineare Geschwindigkeit mit der radialen Position auf dem Träger verändert und der Träger feine physikalische Mikrospitzen und -einlassungen aufweist, die eine Oberflächenstruktur bilden, die im Betriebszustand eine auf den Magnetkopf aufgebrachte Schwebekraft beeinflußt, die ein Schweben des Magnetkopfes verursacht, dadurch gekennzeichnet, daß physikalische Eigenschaften der Oberflächenstruktur sich mit der radialen Position auf der Oberfläche verändern, um die Schwebekraft in Bezug auf die radiale Position zu regulieren. indem die Veränderung der linearen Geschwindigkeit kompensiert wird.

2. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrospitzen und -einlassungen, die die Oberflächenstruktur des Aufzeichnungsträgers bilden, in den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers in einer zur Rotationsrichung des Aufzeichnungsträgers im wesentlichen rechtwinkligen Richtung und in dessen radial äußeren Bereichen in einer zur Rotationsrichung im wesentlichen parallelen Richtung ausgerichtet sind.

3. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrospitzen und -einlassungen eine im wesentlichen längliche Form aufweisen, und so gebildet sind, daß ihre mittlere Längsorientierung sich zunehmend von einer zur Rotatiorisrichtung des Aufzeichnungsträgers im wesentlichen rechtwinkligen Richtung in den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers in eine zur Rotationsrichtung im wesentlichen parallelen Richtung in dessen radial äußeren Bereichen verändert.

4. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenstruktur des Aufzeichnungsträgers in den radial inneren Bereichen rauher als die Oberflächenstruktur in den radial äußeren Bereichen ist.

5. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rauheit der Oberflächenstruktur des magneto-optischen Aufzeichnungsträgers von den radial inneren Bereichen in Übereinstimmung mit der Veränderung der radialen Position der linearen Geschwindigkeit zwischen dem magnetooptischen Aufzeichnungsträger und dem Schwebemagnetkopf bei einer konstanten Winkelgeschwindigkeit des Aufzeichnungsträgers zu dessen radial äußeren Bereichen hin abnimmt.

6. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die maximale Höhe RMAX der Mikrospitzen und -einlassungen, die die Oberflächenstruktur der radial inneren Bereiche des Aufzeichnungsträgers bilden, im Bereich zwischen 100nm und 2500nm liegt, und die maximale Höhe RMAX der Mikrospitzen und -einlassungen, die die Oberflächenstruktur der radial äußeren Bereiche bilden. nicht über 200nm liegt.

7. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrospitzen und -einlassungen Falten sind, wobei Linien, die die Oberflächen der Falten darstelleii, sich radial auf dem Aufzeichnungsmedium erstrecken, die maximale Höhe RMAX der Falten im Bereich zwischen 100nm und 2500nm liegt, und die Höhe von den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers zu dessen radial äußeren Bereichen hin abnimmt.

8. Magnetooptischer Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiter mit:

einem aus einem optisch transparenten Material hergestellten Substrat,

einer magnetooptischen Aufzeichiiungsschicht auf dem Substrat; und

einer Schutzschicht auf der magnetooptischen Aufzeichnungsschicht,

wobei eine Oberfläche der Schutzschicht, die im Betrieb dem Schwebemagnetkopf zugewandt ist, mit der Oberflächenstruktur versehen ist,

9. Verfahren die Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers zu bearbeiten, um einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2 zu erhalten, mit den Schritten:

Pressen eines Bandes mit feinen Mikrospitzen und -einlassungen auf der Oberfläche mittels einer Presse auf die Oberfläche des rotierenden magnetooptischen Aufzeichnungsträgers; und

Bewegen des Bandes und der Presse derart, daß auf der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers zu bildende feine Mikrospitzen und -einlassungen in den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers in einer zur Rotationsrichung des Aufzeichnungsträgers im wesentlichen rechtwinkligen Richtung und in dessen radial äußeren Bereichen in einer zur Rotationsrichung im wesentlichen parallelen Richtung ausgerichtet sind.

10. Verfahren die Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers zu bearbeiten, um einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach Anspruch 4 zu erhalten, mit dem Schritt:

Pressen eines Bandes mit feinen Mikrospitzen und -einlassungen auf der Oberfläche mittels einer Presse auf die Oberfläche des rotierenden magnetooptischen Aufzeichnungsträgers:

wobei ein Band mit einer relativ großen Rauhheit in den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers und ein Band mit einer relativ kleinen Rauheit in dessen radial äußeren Bereichen benutzt wird.

11. Verfahren die Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers zu bearbeiten, um einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach Anspruch 4 zu erhalten, mit dem Schritt:

wobei die Preßkraft der Presse in den radial inneren Bereichen des Aufzeichnungsträgers verstärkt wird, während sie in dessen radial äußeren Bereichen abgeschwächt wird.

12. Verfahren die Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers zu bearbeiten, um einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1 zu erhalten, mit dem Schritt:

Kopieren der Merkmale, die auf einen Stempel geätzt sind und den zu bildenden Mikrospitzen und -einlassungen entsprechen, auf den magnetooptischen Aufzeichnungsträger.

13. Verfahren nach Anspruch 12, weiter mit dem Schritt:

Überziehen der Oberfläche des magnetooptischen Aufzeichnungsträgers mit einem Harz,

wobei die Merkmale des Siempeis auf das Harz kopiert werden.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Harz unter ultraviolettem Licht aushärtet.

15. Verfahren die Oberfläche eines magnetooptischen Aufzeichnungsträgers zu bearbeiten, uni einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1 zu erhalten, mit den Schritten:

Herstellen von magnetooptischen Aufzeichnungsträgern, die mit einem Harz überzogen sind, auf einem Fertigungsträger für magnetooptische Aufzeichnungsträger;

Ablegen von Stempeln, auf denen die Merkmale eingeätzt sind, die den Merkmalen der auf der jeweiligen Oberfläche des magnetooptischen Aufzeichnungsträgers zu bildenden feinen Mikrospitzen und -einlassungen entsprechen, in Positionen auf der Oberfläche von Kopiermitteln, die den jeweiligen magnetooptischen Aufzeichnungsträgern entspricht; und

Kopieren der jeweiligen Merkmale der Stempel auf die jeweiligen Oberflächen des Harzes auf den magnetooptischen Aufzeichnungsträgern, indem die Kopiermittel mit einem konstanten Druck auf den Fertigungsträger gepreßt werden.

16. Verfahren die Oberfläche eines magnetooptisclien Aufzeichnungsträgers zu bearbeiten, um einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1 zu erhalten, mit den Schritten:

Herstellen von magnetooptischen Aufzeichnungsträgern auf einem Fertigungsträger für magnetooptische Aufzeichnungsträger;

Ablegen von Stempeln, auf denen die Merkmale eingeätzt sind, die den Merkmalen der auf der jeweiligen Oberfläche des magnetooptischen Aufzeichnungsträgers zu bildenden feinen Mikrospitzen und -einlassungen entsprechen, in Positionen auf der Oberfläche von Kopiermitteln, die den jeweiligen magnetooptischen Aufzeichnungsträgern entspricht;

Aufbringen eines aufgeheizten thermoplastischen Harzes auf die Kopiermittel; und

Pressen der Kopiermittel so auf den Vertigungsträger, daß das thermoplastische Harz die magnetooptischen Aufzeichnungsträger überzieht, während die Merkmale der Stempel auf das Harz kopiert werden.