DE69117408T2

DE69117408T2 - Magnetische Speichersystem und Herstellungsverfahren für ein magnestische speichermedium

Info

Publication number: DE69117408T2
Application number: DE69117408T
Authority: DE
Inventors: Tetsurou Muramatsu; Junichiro Nakayama; Kenji Ohta
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1990-09-21
Filing date: 1991-09-20
Publication date: 1996-08-08
Anticipated expiration: 2011-09-21
Also published as: KR920007209A; JP2706173B2; EP0477031B1; EP0477031A1; JPH04134626A; CA2051730A1; US5313357A; CA2051730C; DE69117408D1; KR950012366B1

Description

GEBIET DER ERFINDUNG

Die Erfindung betrifft ein magnetisches Speichersystem mit einem magnetischen Speichermedium, auf dem und von dem Information aufgezeichnet bzw. abgespielt wird, und sie betrifft ein Herstellverfahren für das magnetische Speichermedium.

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

In den letzten Jahren entstand in Reaktion auf das steile Anwachsen des Volumens zu handhabender Information Bedarf an magnetischen Speichermedien mit höherer Dichte und größerer Kapazität, die Information aufzeichnen. Beispiele für magnetische Speichermedien, die auf diesen Bedarf hin erschienen, sind magnetische Platten und magnetooptische Platten. Diese werden in computern in großem Umfang als externe Speicher- vorrichtungen verwendet, da sie nicht nur hohe Dichte und große Kapazität aufweisen, sondern da auch wahlfrei auf sie zugegriffen werden kann.
Wie es in Fig. 5 dargestellt ist, umfaßt eine magnetische Platte zum Beispiel einen magnetischen Film 22 aus einer magnetischen Substanz wie CoNiCr, der auf einem Al-Substrat 21 ausgebildet ist, und einen Gleitmittelfilm 23 aus einem Gleitmaterial wie Kohlenstoff. Der magnetische Film 22 und der Gleitmittelfilm 23 sind übereinandergeschichtet.
Information wird z. B. durch einen an einem schwebenden Schlitten 26 befestigten Magnetkopf 27 aufgezeichnet und abgespielt. Wenn das Kontakt-Start-Stopp (CSS)-Verfahren verwendet wird und die magnetische Platte sich nicht dreht, drückt der Schwebeschlitten 26 auf den Gleitmittelfilm 23, da der Schwebeschlitten 26 an einer Aufhängung 25 aufgehängt ist. Wenn die magnetische Platte gedreht wird, wird ein konstanter Zwischenraum 28 von ungefähr 0,2 µm durch das dynamische Gleichgewicht zwischen der Schwebekraft und einer herunterdrückenden Kraft zwischen dem Magnetkopf 27 und der magnetischen Platte aufrechterhalten. Die Schwebekraft ist die Kraft, wie sie durch eine Luftströmung zwischen dem Gleitmittelfilm 23 und der Unterseite des Schwebeschlittens 26 nach oben auf diesen Schwebeschlitten 26 ausgeübt wird. Die niederdrückende Kraft ist die Kraft, wie sie vom Schwebeschlitten 26 nach unten ausgeübt wird, da dieser an der Aufhängung 27 aufgehängt ist.
Wenn mit hoher Dichte aufgezeichnete Information abzuspielen ist, ist es erwünscht, daß der Magnetkopf 27 so dicht wie möglich an den magnetischen Film 22 gebracht wird, um die Abspiel-Ausgangsleistung des Magnetkopfs 27 zu erhöhen. Demgemäß ist es um so besser, je kleiner der Zwischenraum 28 ist. Wenn jedoch der Zwischenraum 28 zu klein ist, kommt der Magnetkopf 27 manchmal mit dem Gleitmittelfilm 23 in Kontakt, und es treten, weil der Gleitmittelfilm 23 dünn ist, Schwierigkeiten wie Störsignale und eine Beschädigung des magnetischen Films 22 auf. Da der Kontakt zwischen dem Magnetkopf 27 und dem Gleitmittelfilm 23 in vom Gleitmittelfilm 23 hochstehenden Bereichen auftritt, ist es erwünscht, daß die Endbearbeitung der Oberfläche des Gleitmittelfilms 23 so fein wie möglich ist. Dadurch kann der Zwischenraum 28 verringert werden, ohne daß der magnetische Film 22 beschädigt wird.
Wenn jedoch die Endbearbeitung der Oberfläche zu fein ist, kann der Schwebeschlitten 26 am Gleitmittelfilm 23 anhaften, wodurch die Magnetplatte auf keinen Fall beginnen kann, sich zu drehen.
Um ein derartiges Anhaften zu verhindern, werden an der Oberfläche des Gleitmittelfilms 23 vertiefte und erhöhte Stellen ausgebildet. Dies erfolgt durch einen Prozeß, der allgemein als Texturierungsprozeß bezeichnet wird und gemäß dem, wie es durch die teilweise vergrößerte Ansicht in Fig. 6 dargestellt ist, vertiefte und erhabene Stellen mit einer Höhe von ungefähr 20 nm dadurch auf dem Al-Substrat ausgebildet werden, daß dessen Oberfläche nach dem Ausführen einer anodischen Oxidationsbeschichtung poliert wird. Wenn der magnetische Film 22 und der Gleitmittelfilm 23 anschließend auf das Al-Substrat 21 aufgeschichtet werden, nimmt der Gleitmittelfilm 23 eine konkav-konvexe Oberfläche ein.
Jedoch besteht beim Texturierungsprozeß eine Schwierigkeit dahingehend, daß keine ausreichende Abspiel-Ausgangsleistung erzielt wird, da ein effektiver Zwischenraum 28 von mehr als 0,2 µm erforderlich ist, um zu verhindern, daß der Magnetkopf 27 auf die höchsten erhabenen Stellen trifft.
Das Dokument US-A-4,939,614 beschreibt ein magnetisches Plattenmedium, bei dem eine Texturierungsbearbeitung auf einer Substratfläche ausgeführt wird, auf der ein magnetischer Film hergestellt wird, wobei eine Oberflächenrauhigkeit geschaffen wird, die in radialer Richtung des Plattenmediums variiert.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein magnetisches Speichersystem mit einem magnetischen Speichermedium zu schaffen, auf und von dem Information mit hoher Dichte unter Verwendung eines Magnetkopfs aufgezeichnet bzw. abgespielt werden kann.
Gemäß einer Erscheinungsform schafft die Erfindung, wie sie durch Anspruch 1 definiert ist, ein magnetisches Speichersystem mit einem magnetischen Speichermedium und einem Magnetkopf, der im Gebrauch entweder über der Oberfläche des Mediums schwebt oder in Kontakt mit der Oberfläche des Mediums steht, wobei das Medium ein Substrat mit in ihm ausgebildeten Gräben aufweist, die durch Inseln voneinander getrennt sind, und ein magnetischer Film in jedem der Gräben ausgebildet ist, wobei dieser magnetische Film in den Gräben die Informationsaufzeichnungsfläche bildet, wobei die Oberfläche des magnetischen Films in den Gräben unter dem Effektivniveau der Inseln liegt.
Gemäß der Erfindung versorgt die Anordnung aus den Inseln und der Grabenstruktur das magnetische Speichermedium mit einer zerklüfteten Oberfläche. Es sei ein Fall betrachtet, bei dem Information auf bzw. von einer magnetischen Platte (die ein Beispiel für das magnetische Speichermedium ist) unter Verwendung z. B. eines an einem Schwebeschlitten befestigten Magnetkopfs aufgezeichnet bzw. abgespielt wird, in dem dann, wenn sich die magnetische Platte nicht dreht, die Kontaktfläche zwischen dem Schwebeschlitten und der magnetischen Platte verringert ist, da der Schwebeschlitten nur die Flächen der zwischen den Gräben liegenden Inseln kontaktiert. Demgemäß kann ein Anhaften des Schwebeschlittens an der magnetischen Platte vermieden werden.
Ferner ist die Zuverlässigkeit der magnetischen Platte erhöht, da kein direkter Kontakt mehr zwischen dem magnetischen Film und dem Schwebeschlitten auftritt. Die Abspiel- Ausgangsleistung des Magnetkopfs ist ebenfalls erhöht, da der Zwischenraum zwischen ihm und der magnetischen Platte verringert werden. Im Ergebnis wird ein Aufzeichnen mit hoher Dichte möglich.
Gemäß einer anderen Erscheinungsform schafft die Erfindung das durch Anspruch 13 oder Anspruch 14 definierte Verfahren zum Herstellen des magnetischen Speichermediums.

KURZE BESCHREIBUNGEN DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 bis 3 veranschaulichen ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Fig. 1 ist ein Längsschnitt, der schematisch den Aufbau einer magnetischen Platte zeigt.
Fig. 2 ist ein erläuterndes Diagramm, das einen Schwebeschlitten mit einem daran angebrachten Magnetkopf zeigt, der mit der magnetischen Platte in Berührung steht.
Fig. 3 zeigt ein Herstellverfahren für die magnetische Platte, wobei (a) bis (f) Längsschnitte sind, die die magnetische Platte jeweils in einem der Herstellstadien zeigen.
Fig. 4 veranschaulicht ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung, und es ist ein Längsschnitt, der schematisch den Aufbau einer magnetischen Platte zeigt.
Fig. 5 und 6 veranschaulichen herkömmliche Beispiele.
Fig. 5 ist ein erläuterndes Diagramm, das einen Schwebeschlitten mit einem daran angebrachten Magnetkopf zeigt, der über einer magnetischen Platte schwebt.
Fig. 6 ist ein teilweise vergrößerter Längsschnitt durch die magnetische Platte.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben.
Wie es in Fig. 1 dargestellt ist, verfügt eine magnetische Platte als magnetisches Speichermedium gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel über ein scheibenförmiges Glassubstrat 1. Für das Glassubstrat 1 kann z. B. Aluminosilikat- Sodaglas verwendet werden. Das Glassubstrat 1 kann z. B. einen Durchmesser von 50 mm und eine Dicke von 0,8 mm aufweisen.
Mehrere Gräben 16 mit entweder spiralförmiger oder konzentrischer Form sind auf einer der Flächen des Glassubstrats 1 vorhanden. Die Ganghöhe A der Gräben 16 kann z. B. 1 - 2 µm betragen. Inseln 4, die zwischen den Gräben 16 ausgebildet sind, werden poliert, bis sie eine Oberflächen-Endbearbeitungsgüte von ungefähr 1 nm haben. Das Verhältnis aus der Breite jeder der Inseln 4 zur Breite jeder der Gräben 16 beträgt ungefähr 1 : 5.
Ein magnetischer Film 2 ist in jedem der Gräben 16 ausgebildet. Die Oberfläche des magnetischen Films 1 ist tiefer als die Fläche jeder der Inseln 4 eingestellt. Z. B. können mehrere Pt-Schichten oder Pd-Schicht abwechselnd mit mehreren Co-Schichten aufgeschichtet werden, um einen mehrschichtigen Film aus Pt/Co oder Pd/Co auszubilden, der als magnetischer Film 2 dient.
Auf dem magnetischen Film 2 und auf den Inseln 4 ist eine Gleitmittelschicht 3 ausgebildet. Für den Gleitmittelfilm 3 kann ein Gleitmaterial wie Kohlenstoff verwendet werden.
Wie es in Fig. 2 dargestellt ist, wird mittels eines an einem Schwebeschlitten 5 befestigten Magnetkopfs 6 Information auf der magnetischen Platte aufgezeichnet und von ihr abgespielt. Der Zweckdienlichkeit halber sind die Gräben 16, der magnetische Film 2 und der Gleitmittelfilm 3, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist, in Fig. 2 als Aufzeichnungsschicht 7 dargestellt.
Wenn sich die magnetische Platte nicht dreht, drückt der Schwebeschlitten 5 auf die Aufzeichnungsschicht 7, da er an einer Aufhängung 8 aufgehängt ist.
Wenn Information aufzuzeichnen oder abzuspielen ist und die magnetische Platte gedreht wird, steigt der Schwebeschlitten 5 bis auf eine Position hoch, in der die Schwebekraft dynamisch mit einer Niederdrückkraft im Gleichgewicht steht. Die Schwebekraft ist die Kraft, wie sie durch die Luftströmung zwischen der Aufzeichnungsschicht 7 und der Unterseite des Schwebeschlittens 5 auf den letzteren nach oben hin ausgeübt wird. Die Niederdrückkraft ist die nach unten ausgeübte Kraft, wie sie vom Schwebeschlitten 5 ausgeübt wird, da er an der Aufhängung 8 aufgehängt ist. Demgemäß kann Information aufgezeichnet oder abgespielt werden, ohne daß der Magnetkopf 6 in Kontakt mit der Aufzeichnungsschicht 7 kommt.
Selbst wenn der Gleitmittelfilm 3 (siehe Fig. 1) beschädigt wird, weil der Schwebeschlitten 5 in Kontakt mit der magnetischen Platte kommt, wird bei der magnetischen Platte gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel der magnetische Film 2 nicht beschädigt, solange die Inseln 4 intakt sind, da der magnetische Film 2 in jedem der Gräben 16 ausgebildet ist. Demgemäß hat die magnetische Platte des vorliegenden Ausführungsbeispiels eine überragend sichere Konfiguration und ist daher sehr zuverlässig.
Ferner ist die Kontaktfläche zwischen der magnetischen Platte und dem Schwebeschlitten 5 verringert, da dieser nicht mit dem Gleitmittelfilm 3 in Kontakt steht, wie er über dem magnetischen Film 2 in jedem der Gräben 16 vorhanden ist. Da daher die Wahrscheinlichkeit, daß der Schwebeschlitten 5 an der magnetischen Platte anhaftet, verringert ist, kann die magnetische Platte ohne Hemmung beginnen, sich zu drehen.
Die Ungleichmäßigkeit des Gleitmittelfilms über den Inseln 4 ist gering, da die Inseln 4 poliert werden, bis sie eine endbearbeitete Oberfläche mit ungefähr 1 nm aufweisen. Demgemäß kann der Zwischenraum zwischen dem Magnetkopf 6 und der magnetischen Platte ausreichend verringert werden. Dies ermöglicht es wiederum, daß der Magnetkopf 6 näher an den magnetischen Film 2 kommt, was die Abspiel-Ausgangsleistung des Magnetkopfs 6 erhöht. Genauer gesagt, kann die Tiefe der Gräben 16 auf ungefähr 80 nm eingestellt werden, die Filmdicke des magnetischen Films 2 auf 60 - 70 nm und die Filmdicke des Gleitmittelfilms 3 auf 2 - 10 nm. Wenn z. B. ein Schwebeschlitten 5 mit den Abmessungen 2 mm x 3 mm aus Keramik, wie CaTiO&sub3;, verwendet wird, kann der Zwischenraum dadurch auf weniger als 0,1 µm eingestellt werden, daß die Niederdrückkraft eingestellt wird, wie sie aufgrund der Aufhängung 8 nach unten ausgeübt wird.
Ferner weitet sich, da der magnetische Film 2 in jedem der Gräben 16 vom magnetischen Film 2 in benachbarten Gräben 16 mittels der Inseln 4 abgetrennt ist, der Aufzeichnungsbereich des Magnetfilms 2 in jedem der Gräben 16 nicht auf den magnetischen Film in den benachbarten Gräben 16 aus. Demgemäß tritt nicht so leicht übersprechen aus benachbarten Spuren auf, wenn die Dichte der Aufzeichnungsspuren erhöht wird, d. h. die Ganghöhe A verringert wird.
Wie bereits erwähnt, wird bei der magnetischen Platte des vorliegenden Ausführungsbeispiels der magnetische Film selbst dann nicht beschädigt, wenn der Schwebeschlitten 5 in Kontakt mit der magnetischen Platte kommt, solange die Inseln 4 intakt sind. Aufgrund dieser Tatsache ist es beim vorliegenden Ausführungsbeispiel auch möglich, das Aufzeichnen und Abspielen von Information auszuführen, wenn der Magnetkopf 6 in Kontakt mit der magnetischen Platte steht.
Dieses Aufzeichnungs- und Abspielverfahren ist speziell im Fall magnetischer Platten mit kleinem Durchmesser wirkungsvoll. Wenn eine magnetische Platte mit einem Radius von 10 - 30 mm mit einer hohen Drehzahl von über 3600 U/Min. gedreht wird, bleibt die Lineargeschwindigkeit niedrig (z. B. beträgt die Lineargeschwindigkeit ungefähr 11 m/s, wenn eine magnetische Platte vom Radius 30 nm mit 3600 U/Min. gedreht wird). Demgemäß tritt selbst dann, wenn der Schlitten 5 in Kontakt mit der magnetischen Platte steht, kein Abrieb aufgrund von Reibung zwischen den beiden auf.
Wenn dieses Abspielverfahren verwendet wird, nimmt die Abspiel-Ausgangsleistung des Magnetkopfs 6 zu, da dieser näher an den magnetischen Film 2 kommt als dann, wenn der Schwebeschlitten 5 über der magnetischen Platte schwebt. Demgemäß werden Aufzeichnungs- und Abspielvorgänge mit hoher Dichte möglich.
Aufzeichnung mit ultrahoher Dichte kann dadurch ausgeführt werden, daß Laserlicht durch das Glassubstrat 1 auf einen mikroskopischen Bereich auf den magnetischen Film 2 fokussiert wird, wodurch die Temperatur im Bereich erhöht und damit die Koerzitivkraft verringert wird, woraufhin Information magnetisch in diesem aufgezeichnet wird. Auf dieses Verfahren wird als lichtunterstütztes magnetisches Aufzeichnungsverfahren Bezug genommen. Wenn das zuvor beschriebene Aufzeichnungs- und Abspielverfahren in diesem Fall verwendet wird, kann das Abspielen von mit ultrahoher Dichte aufgezeichneter Information zufriedenstellend ausgeführt werden, da die Abspiel-Ausgangsleistung des Magnetkopfs 6 groß ist. Anders gesagt, kann unter Verwendung der magnetischen Platte des vorliegenden Ausführungsbeispiels ein neuer Typ einer Magnetplattenvorrichtung realisiert werden, die Aufzeichnung mit hoher Dichte wie auch Abspielen von mit hoher Dichte aufgezeichneter Information ausführen kann.
Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf Fig. 3 ein Herstellverfahren für die magnetische Platte 3 beschrieben.
In einem ersten Verarbeitungsschritt, der durch (a) in Fig. 3 veranschaulicht ist, wird ein scheibenförmiges Glassubstrat 1 mit z. B. einem Durchmesser von 50 mm aus z. B. Aluminosilikat-Sodaglas poliert, bis die endbearbeitete Oberfläche ungefähr 1 nm aufweist. Dann wird das Glassubstrat 1 gewaschen, und ein Positivphotoresist 9 wird auf die polierte Oberfläche mit einer Dicke von ungefähr 150 nm aufgetragen.
Beim durch (b) in Fig. 3 veranschaulichten zweiten Verarbeitungsschritt wird eine Photomaske 10 am Photoresist 9 angebracht, und diese Photomaske 10 wird mit Ultraviolettstrahlung 12 mit einer Wellenlänge von 200 - 400 nm beleuchtet. Lichtsperrplatten 11 aus Ta oder dergleichen sind in die Photomaske 10 eingebettet, damit Positionen auf dem Photoresist 9, die den Inseln 4 entsprechen, nicht durch die Ultraviolettstrahlung 12 beleuchtet werden.
In einem dritten Verarbeitungsschritt, wie er durch (c) in Fig. 3 veranschaulicht ist, wird der Photoresist 9 entwikkelt.
In einem durch (d) in Fig. 3 veranschaulichten vierten Verarbeitungsschritt werden spiralförmige oder konzentrische Gräben 16 dadurch hergestellt, daß reaktives Ionenätzen unter Verwendung eines Gases wie Cf&sub4; ausgeführt wird. Die Tiefe der Gräben 16 wird auf ungefähr 80 nm eingestellt.
In einem fünften Verarbeitungsschritt, der durch (e) in Fig. 3 veranschaulicht ist, wird der magnetische Film 2 gleichmäßig abgeschieden. Hierbei wird die Filmdicke des magnetischen Films 2 auf 60 - 70 nm eingestellt, damit die Oberfläche dieses magnetischen Films 2 niedriger als die Fläche jeder der Inseln 4 ist. Als magnetischer Film 2 wird ein mehrschichtiger Film verwendet, der dadurch hergestellt wird, daß mehrere Pt-Schichten oder Pd-Schichten abwechselnd mit mehreren Co-Schichten abgeschieden werden.
In einem durch (f) in Fig. 3 veranschaulichten sechsten Verarbeitungsschritt wird der auf den Inseln 4 verbliebene Photoresist 9 entfernt. Demgemäß wird auch der auf dem verbliebenen Photoresist 9 abgeschiedene magnetische Film 2 beseitigt.
In einem siebten und endgültigen Bearbeitungsschritt wird der aus einem Kohlenstoffilm oder dergleichen bestehende Gleitmittelfilm 3 durch ein Verfahren wie Sputtern oder Aufdampfen abgeschieden. Die Filmdicke des Gleitmittelfilms 3 wird auf 2 - 10 nm eingestellt. Nun ist die in Fig. 1 dargestellte magnetische Platte fertig.
Da beim vorstehend angegebenen Hersteilverfahren der auf den Inseln 4 abgeschiedene Gleitmittelfilm 3 direkt in Kontakt mit dem Glassubstrat 1 steht, haftet dieser Gleitmittelfilm 3 gut am Glassubstrat 1 an.
Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben.
Der Zweckdienlichkeit halber sind Komponenten mit denselben Funktionen wie beim vorstehend genannten Ausführungsbeispiel mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet, und ihre Beschreibung wird weggelassen.
Wie es in Fig. 4 dargestellt ist, unterscheidet sich eine magnetische Platte als magnetisches Speichermedium gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel von der magnetischen Platte des ersten Ausführungsbeispiels dahingehend, daß ein magnetischer Film 2 nicht nur in jedem Graben 16, sondern auch auf jeder Insel 4 abgeschieden ist und daß die Oberfläche des in jedem der Gräben 16 abgeschiedenen magnetischen Films 2 nicht notwendigerweise niedriger als die Oberseite jeder der Inseln 4 liegt.
Bei der vorstehend beschriebenen Anordnung sind die Verarbeitungsschritte verringert, wie dies weiter beschrieben wird, da der magnetische Film 2 auch auf der Oberseite jeder der Inseln 4 abgeschieden wird. Ferner bleibt die Konfiguration selbst dann, wenn die Oberfläche des magnetischen Films 2 in jedem der Gräben 16 höher als die Oberseite jeder der Inseln 4 ist, die Konfiguration im wesentlichen dieselbe wie beim vorigen Ausführungsbeispiel, da die Oberfläche des magnetischen Films 2 in jedem der Gräben 16 niedriger als die Oberfläche des magnetischen Films 2 auf jeder der Inseln 4 bleibt. Anders gesagt, wäre dann, wenn die Oberfläche des auf jeder der Inseln 4 abgeschiedenen magnetischen Films 2 als effektive Oberseite jeder der Inseln 4 angesehen wird, die effektive Tiefe jedes der Gräben 16 die Summe aus der Filmdicke des auf jeder der Inseln 4 abgeschiedenen magnetischen Films 2 und der Höhe jeder der Inseln 4. Dadurch ist die Oberfläche des magnetischen Films 2 in jedem der Gräben 16 niedriger eingestellt als die effektive Oberseite jeder der Inseln 4. Demgemäß kann der magnetische Film in jedem der Gräben 16 nicht auf einfache Weise beschädigt werden.
Die vorstehend genannte Anordnung ist besonders dann wirkungsvoll, wenn das Glassubstrat 1 und der magnetische Film 2 gut aneinander anhaften und wenn auch der magnetische Film 2 und der Gleitmittelfilm 3 gut aneinander anhaften.
Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf das Herstellverfahren des vorigen Ausführungsbeispiels zum Vergleich ein Herstellverfahren für diese magnetische Platte beschrieben.
Die Verarbeitungsschritte bis zu dem Punkt, zu dem die Gräben 16 in das Glassubstrat 1 eingeätzt werden, stimmen mit dem ersten bis vierten Verarbeitungsschritt des vorigen Ausführungsbeispiels überein. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel wird nach dem Ätzen der Gräben 16 ein Verarbeitungsschritt ausgeführt, in dem der auf den Inseln 4 verbliebene Photoresist 9 (siehe (d) in Fig. 3) beseitigt wird. Danach wird ein Verarbeitungsschritt ausgeführt, durch den der magnetische Film 2 abgeschieden wird, und dann wird ein abschließender Verarbeitungsschritt ausgeführt, in dem der Gleitmittelfilm 3 abgeschieden wird. Diese Verarbeitungsschritte entsprechen dem fünften bzw. siebten Verarbeitungsschritt.
Anders gesagt, ist beim Herstellverfahren des vorliegenden Ausführungsbeispiels der sechste Verarbeitungsschritt beim vorigen Ausführungsbeispiel weggelassen, und an seiner Stelle ist ein Verarbeitungsschritt eingeführt, in dem der auf den Inseln 4 verbliebene Photoresist 9 beseitigt wird. Hier kann ein trockener Prozeß wie ein Veraschen, das unter Verwendung eines Sauerstoffplasmas ausgeführt wird, verwendet werden.
Beim vorigen Ausführungsbeispiel war es während des sechsten Verarbeitungsschritts erforderlich, zu Normaldruck zurückzukehren und für den siebten Verarbeitungsschritt erneut Vakuum zu erzeugen, da der sechste Verarbeitungsschritt, in dem der Photoresist 9 und der magnetische Film 2, wie auf den Inseln 4 verblieben, entfernt werden, ein Naßprozeß sein muß. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel sind jedoch alle Bearbeitungsschritte, die den Prozeß beinhalten, in dem die Gräben 16 geätzt werden (dies entspricht dem vierten Verarbeitungsschritt des vorigen Ausführungsbeispiels) und die sich daran anschließen, Trockenprozesse. Demgemäß ist der Herstellprozeß stark vereinfacht.
Bei den obigen Ausführungsbeispielen wurde ein mehrschichtiger Pt/Co- oder Pd/Co-Film als spezielles Beispiel für den magnetischen Film 2 beschrieben. Jedoch kann auch ein einschichtiger Film oder ein mehrschichtiger Film aus einem magnetischen Material wie CoP, Co, Fe, CoCr, TbFeCo, DyFeCo, TbCo, NdFe verwendet werden.
Insbesondere kann, wenn ein Seltenerdmetall-Übergangsmetall- Film wie ein solcher aus Tb&sub2;&sub3;Co&sub7;&sub2; als magnetischer Film 2 verwendet wird und das obenbeschriebene lichtunterstützte magnetische Aufzeichnungsverfahren ausgeführt wird, der Aufzeichnungsvorgang einfach ausgeführt werden, da die Koerzitivfeldstärke durch Erhöhen der Temperatur auf 150 - 200ºC auf unter 500 Oe gebracht werden kann.
Ein geeigneter Bereich für die Ganghöhe A der Gräben 16 ist 1 µm bis 10 µm, und ein geeignetes Verhältnis der Breite jeder der Inseln 4 zur Breite jeder der Gräben 16 liegt im Bereich von 1 : 10 bis 1 : 5.
Anstelle des Glassubstrats 1 kann auch ein Metallsubstrat wie ein Aluminiumsubstrat verwendet werden, und ein Nickellegierungsfilm oder dergleichen kann auf dem Aluminiumsubstrat vorhanden sein. Das einzige Erfordernis ist es, daß das Substrat Gräben aufweist.
Insbesondere im Fall magnetischer Speichermedien, wie magnetischer Karten, bei denen die Eingabe und Ausgabe von Daten relativ langsam im Vergleich zum Fall bei einer magnetischen Platte erfolgt, ist es erwünscht, den Magnetkopf und das magnetische Speichermedium in Kontakt zu bringen, da die Relativgeschwindigkeit zwischen dem Magnetkopf und dem magnetischen Speichermedium niedrig ist. Bei einem derartigen magnetischen Speichermedium kann ein Kunststoffsubstrat verwendet werden. Bei einem derartigen magnetischen Speichermedium kann darüber hinaus ein Hartbeschichtungsfilm aus einem durch Ultraviolettstrahlung härtenden Harz, das zur Urethanacrylat-Familie gehört, anstelle des Gleitmittelfilms verwendet werden.
Die Erfindung kann auf andere spezielle Formen und Arten realisiert werden, ohne von ihrem Schutzbereich abzuweichen, wie er durch die Ansprüche definiert ist.

Claims

1. Magnetisches Speichersystem mit einem magnetischen Speichermedium und einem Magnetkopf, der im Gebrauch entweder über der Oberfläche des Mediums schwebt oder in Kontakt mit der Oberfläche des Mediums steht, wobei das Medium ein Substrat mit in ihm ausgebildeten Gräben aufweist, die durch Inseln voneinander getrennt sind, und ein magnetischer Film in jedem der Gräben ausgebildet ist, wobei dieser magnetische Film in den Gräben die Informationsaufzeichnungsfläche bildet, wobei die Oberfläche des magnetischen Films in den Gräben unter dem Effektivniveau der Inseln liegt.

2. Magnetisches Speichersystem nach Anspruch 1, bei dem ein magnetischer Film auch auf den Inseln zwischen den Gräben ausgebildet ist und das Effektivniveau der Inseln durch das Niveau der Inseln zuzüglich der Dicke des magnetischen Films auf den Inseln bestimmt ist.

3. Magnetisches Speichersystem nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei dem die Filmdicke des magnetischen Films in den Gräben auf einen kleineren Wert eingestellt ist, als es der Tiefe jedes der Gräben entspricht.

4. Magnetisches Speichersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem die endbearbeitete Oberfläche der zwischen den Gräben liegenden Inseln stark poliert und relativ glatt ist.

5. Magnetisches Speichersystem nach Anspruch 4, bei dem die endbearbeitete Oberfläche der zwischen den Gräben liegenden Inseln im wesentlichen 1 bis 2 nm aufweist.

6. Magnetisches Speichersystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem ein Gleitmittelfilm auf dem magnetischen Film in den Gräben und auch auf den zwischen den Gräben liegenden Inseln ausgebildet ist.

7. Magnetisches Speichersystem nach Anspruch 6, bei dem der Gleitmittelfilm ein Kohlenstoffilm ist.

8. Magnetisches Speichersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem das Substrat aus Glas besteht.

9. Magnetisches Speichersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem das Substrat aus Metall bsteht.

10. Magnetisches Speichersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei das Substrat aus Kunststoff besteht.

11. Magnetisches Speichersystem nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die Inselbreite kleiner als die Grabenweite des magnetischen Speichermediums ist.

12. Magnetisches Speichersystem nach Anspruch 11, bei dem das Verhältnis der Inselbreite zur Grabenweite ungefähr 1:5 beträgt.

13. Verfahren zum Herstellen des magnetischen Speichermediums im durch Anspruch 1 definierten magnetischen Speichersystem, wobei das Verfahren die folgenden aufeinanderfolgenden Schritte aufweist:

- Auftragen von Photoresist auf das Substrat;

- Anbringen einer Photomaske mit vorgegebenem Muster und Aussetzen des Photoresists einer Lichteinstrahlung von der Seite, an der die Photomaske befestigt ist;

- Entfernen des Photoresists aus Positionen, an denen die Gräben auszubilden sind, durch Entwickeln des Photoresists;

- Herstellen der Gräben durch Ätzen des Substrats unter Verwendung des verbliebenen Photoresists als Schutzfilm über den Inseln zwischen den Gräben;

- Herstellen des magnetischen Films mit einer vorgegebenen Filmdicke in den Gräben;

- Entfernen des verbliebenen Photoresist von den Inseln und

- Herstellen eines Gleitmittelfilms auf dem magnetischen Film in den Gräben und auf den Inseln.

14. Verfahren zum Herstellen des magnetischen Speichermediums im durch Anspruch 2 definierten magnetischen Speichersystem, wobei das Verfahren die folgenden aufeinanderfolgenden Schritte aufweist:

- Auftragen von Photoresist auf das Substrat;

- Herstellen der Gräben durch Ätzen des Substrats unter Verwendung des verbliebenen Photoresists als Schutzfilm;

- Entfernen des verbliebenen Photoresists;

- Herstellen des magnetischen Films sowohl über den Gräben als auch den Inseln und

- Herstellen eines Gleitmittelfilms auf dem magnetischen Film.