DE69719929T2 - Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nur für die Wiedergabe, sowie Verfahren zu seiner Herstellung und Verfahren zur Wiedergabe von demselben - Google Patents
Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nur für die Wiedergabe, sowie Verfahren zu seiner Herstellung und Verfahren zur Wiedergabe von demselbenInfo
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Description
- Die Erfindung betrifft einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger, der als Informationsaufzeichnungsträger ausschließlich zur Wiedergabe geeignet ist, ein Verfahren zur Herstellung desselben, sowie ein Verfahren zur Wiedergabe von Informationen von dem magnetooptischen Aufzeichnungsträger.
- In jüngster Zeit wurde einer magnetooptischen Disk als hochdichtem Aufzeichnungsträger, der zur Wiederbeschreibbarkeit befähigt ist, Aufmerksamkeit geschenkt, und die Nachfrage zur weiteren Verbesserung der Aufzeichnungsdichte der magnetooptischen Disk, um dadurch einen Aufzeichnungsträger mit großer Kapazität bereitzustellen, wurde erhöht.
- Eine lineare Aufzeichnungsdichte einer optischen Disk hängt in großen Ausmaß von der Laserwellenlänge λ eines optischen Wiedergabesystems und der Numerischen Apertur NA einer Objektivlinse ab, und hinsichtlich der Raumfrequenz während der Signalwiedergabe ist die Größenordnung von NA/λ die erfassbare Grenze. Demzufolge ist es zur Verwirklichung einer hohen Dichte bei der bekannten optischen Disk nötig, die Laserwellenlänge λ des optischen Wiedergabesystems zu verkleinern und die Numerische Apertur NA der Objektivlinse zu erhöhen. Eine Verbesserung bei der Laserwellenlänge und der Numerischen Apertur der Objektivlinse ist jedoch begrenzt. Daher wurden einige Techniken vorgeschlagen, wobei der Aufbau eine Aufzeichnungsträger, und ein Leseverfahren und die Verbesserung der Aufzeichnungsdichte erdacht wurden.
- Die vorliegenden Erfinder schlugen beispielsweise in der Druckschrift JP-A-6 290 496 einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger vor, der zur Wiedergabe von Signalen mit Perioden unter der Brechungsgrenze von Licht bei einer hohen Geschwindigkeit befähigt ist, ohne die Amplitude eines Wiedergabesignals zu reduzieren, sowie ein Verfahren und ein Gerät zur Wiedergabe desselben. Dies bedeutet, dass gemäß der vorstehend angeführten Druckschrift JP-A-6 290 496 der magnetooptische Aufzeichnungsträger ein magnetooptischer Aufzeichnungsträger mit zumindest einer ersten, zweiten und dritten magnetischen Schicht ist, die aufeinanderfolgend geschichtet sind, und der insbesondere ein senkrecht magnetischer Aufzeichnungsträger ist, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die erste magnetische Schicht eine Schicht mit senkrechter Magnetisierung (Verschiebungsschicht) ist, die eine relativ kleine Magnetwandkoerzitivfeldstärke aufweist und ein großes Ausmaß an Verschiebung der magnetischen Wand in der Nähe der Umgebungstemperatur im Vergleich zu der dritten magnetischen Schicht umfasst, wobei die zweite magnetische Schicht eine magnetische Schicht (Umschaltschicht) mit geringerer Curietemperatur als die erste magnetische Schicht und die dritte magnetische Schicht aufweist, und die dritte magnetische Schicht eine gewöhnliche Schicht mit senkrechter Magnetisierung (Speicherschicht) ist, die eine ausgezeichnete Erhaltungsstabilität bezüglich der magnetischen Domäne zeigt. Das Verfahren zur Wiedergabe dieses magnetooptischen Aufzeichnungsträgers ist gekennzeichnet durch das Anlegen eines Lichtstrahls von der Seite der ersten magnetischen Schicht, während diese relativ zu dem Träger bewegt wird, wobei auf dem Träger eine Temperaturverteilung mit einem Gradienten relativ zur Bewegungsrichtung des Lichtpunktes des Lichtstrahls ausgebildet wird, und dabei ein Teil der Temperaturverteilung in einem Temperaturbereich oberhalb der Curietemperatur der zweiten magnetischen Schicht ausgebildet wird, um dadurch die in der ersten magnetischen Schicht ausgebildete magnetische Wand zu verschieben, eine Veränderung bei der Polarisationsebene des reflektierten Lichts des Lichtstrahls zu erfassen und aufgezeichnete Informationen wiederzugeben.
- Gemäß diesem magnetooptischen Aufzeichnungsträger und dem Wiedergabeverfahren dafür (Druckschrift JP-A-6 290 406) wurde es jedoch möglich, Signale mit Perioden unter der Brechungsgrenze von Licht bei hoher Geschwindigkeit ohne eine Reduktion der Amplitude des Wiedergabesignals wiederzugeben, aber der Bereich, auf den diese Technik anwendbar ist, ist auf einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger beschränkt, der sowohl zum Aufzeichnen als auch zur Wiedergabe befähigt ist. Das heißt es kann noch nicht auf einen ausschließlich zur Wiedergabe geeigneten magnetooptischen Aufzeichnungsträger angewendet werden.
- Andererseits wird die Herstellung eines Informationsaufzeichnungsträgers in optischer Bauart ausschließlich zur Wiedergabe üblicherweise durch ein Verfahren zur Verwendung einer Originaldisk ausgeführt, auf der Informationen durch Ausbildung von Vorsprüngen und Vertiefungen aufgezeichnet wird, und indem die Vorsprünge und Vertiefungen auf ein Plastiksubstrat übertragen werden, was sehr gut zur Massenherstellung geeignet ist. Dieser ausschließlich zur Wiedergabe geeignete magnetooptische Aufzeichnungsträger ist als Träger zur Verbreitung von Musikinformationen, Spielfilminformationen, Software und so weiter weit verbreitet, und eine größere Kapazität von diesem ist erwünscht.
- Die Druckschrift JP-A-7-153 126 offenbart einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger mit einem Bereich mit einer Reihe von Vorsprüngen und Vertiefungen, die durch Bereiche ohne Vorsprünge und Vertiefungen umgeben sind. Der Bereich mit den Vorsprüngen und Vertiefungen weist eine relativ kleine Koerzitivkraft auf, und die anderen Bereiche weisen eine relativ große Koerzitivkraft auf. Lediglich die Bereiche mit relativ kleiner Koerzitivkraft werden als Informationsaufzeichnungsbereiche verwendet. Eine derartige Anordnung ermöglicht eine Beschränkung der Größe der aufgezeichneten magnetischen Domänen auf Bereiche mit geringer Koerzitivkraft, das heißt die Bereiche mit Vorsprüngen und Vertiefungen.
- Demzufolge liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zu Grunde, einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger ausschließlich zur Wiedergabe bereitzustellen, bei dem die Aufzeichnungsdichte durch Verwendung eines vergrößernden Wiedergabeverfahrens unter Verwendung der Verschiebung einer magnetischen Wand verbessert werden kann, oder einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger mit einem Bereich ausschließlich für die Wiedergabe und einen wiederbeschreibbaren Bereich, sowie ein Verfahren zur Herstellung des Trägers und ein Verfahren zur Wiedergabe des Trägers.
- Erfindungsgemäß wird ein magnetooptischer Aufzeichnungsträger angegeben mit: einem nichtmagnetischen Substrat; einer magnetischen Schicht, die auf dem Substrat geschichtet ist; und einem Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt, der auf der Oberfläche des die magnetische Schicht tragenden Substrats ausgebildete Informationen angibt, der Träger ist dadurch gekennzeichnet, dass der Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt Informationen angibt, und der Vorsprungs- Vertiefungsabschnitt und: der andere Abschnitt beide jeweilige Informationsaufzeichnungsbereiche aufweisen; wobei die Magnetisierungisrichtung der magnetischen Schicht auf dem Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt und die Magnetisierungsrichtung der magnetischen Schicht auf dem von dem Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt verschiedenen Abschnitt der magnetischen Schicht einander entgegengesetzt ausgerichtet sind.
- Bei einem Ausführungsbeispiel ist die Koerzitivfeldstärke Hm der auf dem Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt ausgebildeten magnetischen Schicht größer als die Koerzitivfeldstärke des anderen Abschnitts. Gemäß einer Abwandlung der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Mediums angegeben, mit den Schritten: Anlegen eines größeren magnetischen Feldes als Hm, um dadurch die Magnetisierung der magnetischen Schicht in einer Richtung auszurichten; und danach, Anlegen eines magnetischen Feldes in einer zu dem magnetischen Feld entgegengesetzten Richtung, das kleiner als Hm und größer als Hn ist, um dadurch eine Ausrichtung der Magnetisierung der auf dem anderen Abschnitt ausgebildeten magnetischen Schicht in der anderen Richtung zu verursachen.
- Erfindungsgemäß wird ferner ein Verfahren zur Wiedergabe von Informationen von dem erfindungsgemäßen Träger angegeben mit den Schritten: Richten eines Lichtstrahls auf die magnetische Schicht; Veranlassen einer relativen Bewegung des Lichtstrahls und der magnetischen Schicht; und Messen des von dem Träger kommenden Lichts.
- Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend beispielhaft unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung beschrieben. Es zeigen:
- Fig. 1 eine Teilperspektivansicht eines Stempels zur Herstellung der magnetooptischen Disk gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, Figur iß eine Seitenansicht des Stempels gemäß Fig. 1A, und Fig. 1C eine vergrößerte Teilschnittansicht eines Vorsprungs- Vertiefungsabschnitts 12.
- Fig. 2 eine typische Schnittansicht eines Schichtaufbaus der magnetooptischen Disk gemäß dem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
- Fig. 3 eine Teilperspektivansicht eines weiteren Beispiels für den Stempel zur Herstellung der magnetooptischen Disk gemäß einen Ausführungsbeispiel der Erfindung; und
- Fig. 4 eine typische Schnittansicht des Schichtaufbaus der optischen Disk gemäß dem Ausführungsbeispiel der Erfindung.
- Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsträgers.
- Informationen werden als ein Vorsprungs- Vertiefungsabschnitt 12 auf der Oberfläche eines transparenten Substrats 21 aufgezeichnet, welche durch den Stempel 11 gemäß Fig. 1A ausgebildet ist. Das Sputterätzverfahren ist als Verfahren zur Ausbildung des Vorsprungs-Vertiefungsabschnitts 12 auf der Oberfläche des Stempels 11 geeignet. Bei den Fig. 1A-1C zeigt der Querschnitt des Vorsprungs-Vertiefungsabschnitts 12 (Aufzeichnungsmarkierung) eine Anhäufung von kurzen Vorsprüngen und Vertiefungen, wie es in Fig. 1C vergrößert dargestellt ist.
- Eine erste dielektrische Materialschicht 22, eine magnetische Schicht 23, die eine Aufzeichnungsschicht ist, und eine zweite dielektrische Materialschicht 24 werden aufeinanderfolgend auf dem transparenten Substrat 21 ausgebildet.
- Als transparentes Substrat 21 kann beispielsweise Glas, Polycarbonat, Polymethyl-Methacrylat, ein Harz des thermoplastischen Norbornen-Ursprungs oder dergleichen verwendet werden.
- Die Größe der Vorsprungs-Vertiefungsveränderung des auf dem transparenten Substrat 21 ausgebildeten Vorsprungs- Vertiefungsabschnitts 12 kann vorzugsweise in einem derartigen Ausmaße hinreichend klein sein, dass es den Auslesevorgang von anderen Informationssignalen nicht erschwert, und keinen Anstieg beim Rauschen verursacht, und insbesondere in der Größenordnung von 50 Å Ra (10- Punkt Durchschnittsrauhigkeit) sein kann.
- Die Aufzeichnungsschicht 23 weist einen Dreischichtaufbau gemäß der Druckschrift JP-A-6-290 496 auf, das heißt eine erste magnetische Schicht 231 ist eine magnetische Schicht (eine Verschiebungsschicht und eine Wiedergabeschicht), die eine relativ kleine Koerzitivfeldstärke der magnetischen Wand in der Nähe der Umgebungstemperatur aufweist, und einen großen Verschiebungsgrad bei der magnetischen Wand im Vergleich zu der dritten magnetischen Schicht aufweist, eine zweite magnetische Schicht 232 weist eine magnetische Schicht (Umschaltschicht) mit geringerer Curietemperatur als die erste magnetische Schicht und die dritte magnetische Schicht auf, und die dritte magnetische Schicht 233 ist eine gewöhnliche magnetische Aufzeichnungsschicht (Speicherschicht), die eine ausgezeichnete Erhaltungsstabilität der magnetischen Domäne aufweist.
- Das Material der magnetischen Schicht 231 kann vorzugsweise beispielsweise eine amorphe Legierung der seltenen Erde- Eisenfamilie aus dem Gadoliniumkobalt- System, dem Gadoliniumeisen-System, dem Gadoliniumeisenkobalt-System, dem Terbiumkobalt-System oder dergleichen sein, die eine relativ kleine magnetische Anisotropie aufweisen, oder ein Material für einen Blasenspeicher wie etwa ein Granat. Mit "Eisenfamilie" sind dabei die Elemente Eisen, Kobalt und Nickel gemeint.
- Die magnetische Schicht 232 kann vorzugsweise eine magnetische Schicht aus einer Legierung aus dem Kobalt- System oder dem Eisen-System mit einer geringeren Curietemperatur als die magnetische Schicht 231 und die magnetische Schicht 233 und mit einem geringeren Sättigungsmagnetisierungswert als die magnetische Schicht 233 sein. Die Curietemperatur ist beispielsweise durch das Ausmaß des Zusatzes an Kobalt, Chrom, Titan oder dergleichen einstellbar. Die Curietemperatur der ersten magnetischen Schicht 231 kann vorzugsweise innerhalb des Bereichs von 150ºC bis 250ºC liegen, die Curietemperatur der zweiten magnetischen Schicht 232 kann vorzugsweise innerhalb des Bereichs von 30ºC bis 200ºC liegen, und die Curietemperatur der dritten magnetischen Schicht 233 kann vorzugsweise innerhalb des Bereichs von 200ºC bis 350ºC liegen.
- Das Material der magnetischen Schicht 233 kann vorzugsweise ein Material mit großen Sättigungsmagnetisierungswerten und senkrechter magnetischer Anisotropie sein, bei der der magnetisierte Zustand (magnetische Domäne) stabil gehalten werden kann, wie etwa eine amorphe Legierung aus der Seltenen Erde-Eisenfamilie wie etwa Terbiumeisenkobalt, Dysprosiumeisenkobalt, Terbiumdysprosiumeisen oder Kobalt, oder periodische Strukturschichten aus der Platinfamilie-Eisenfamilie wie etwa Platin/Kobalt, Palladium/Kobalt oder dergleichen. Mit Platinfamilie sind dabei die Elemente Ruthenium, Rhodium, Palladium, Osmium, Iridium und Platin gemeint.
- Das Material der ersten und zweiten dielektrischen Materialschichten ist nicht besonders eingeschränkt, kann aber vorzugsweise Siliziumnitrid sein.
- Der Unterschied beim Oberflächenzustand des Substrats, das heißt ob die Oberfläche des Substrats eine genaue Vorsprungs-Vertiefungs-Oberfläche oder eine glatte Oberfläche (ein Nicht-Markierungsabschnitt) ist, beeinflusst unmittelbar den Kristallwachstumszustand der Schicht der magnetischen Schicht 23, und es wächst eine Schicht mit einer unterschiedlichen magnetischen Charakteristik. Im Allgemeinen neigt die Koerzitivkraft der auf der genauen Vorsprungs-Vertiefungsoberfläche ausgebildeten magnetischen Schicht dazu, größer als die von einer auf einer glatten Oberfläche ausgebildeten magnetischen Schicht zu sein. Dies liegt daran, dass die Anhaftungskraft umso mehr reduziert wird, je glatter die Oberfläche des Substrats ist.
- Es ist möglich, diesen Unterschied bei der Koerzitivkraft zur Magnetisierung eines Markierungsabschnitts und eines Nicht-Markierungsabschnitts in entgegengesetzte Richtungen zu verwenden. Dies bedeutet, dass die auf dem Substrat 21 aufgezeichnete Information als Information der Magnetisierungsrichtung auf die Aufzeichnungsschicht 23 übertragen werden kann. Ein Verfahren zur Wiedergabe dieser Informationen kann das in der Druckschrift JP-A-6- 290 496 offenbarte Verfahren sein, das heißt ein Verfahren zum Anlegen eines Lichtstrahls an eine magnetische Schicht, um dadurch einen Temperaturgradienten anzulegen, und zum Verschieben der magnetischen Wand der Verschiebungsschicht, um dadurch Signale von Perioden unter der Brechungsgrenze von Licht bei hoher Geschwindigkeit wiederzugeben.
- Als bevorzugtes Ausführungsbeispiel für den magnetooptischen Aufzeichnungsträger der vorliegenden Erfindung werden eine erste dielektrische Materialschicht, eine magnetische Schicht als Aufzeichnungsschicht und eine zweite dielektrische Materialschicht auf einem nichtmagnetischen transparenten Substrat in der genannten Reihenfolge ausgebildet. Auf der Oberfläche des nichtmagnetischen transparenten Substrats werden Informationen durch einem Markierungsabschnitt wiedergegeben, welcher eine Ansammlung von exakten Vorsprüngen und Vertiefungen ist, sowie einem glatten Nicht-Markierungsabschnitt. Die Gestalt der Vorsprünge und Vertiefungen auf dem Markierungsabschnitt der Oberfläche des Substrats wird auf eine Oberflächenform der ersten dielektrischen Materialschicht darauf reflektiert. Die Oberflächengestalt der ersten dielektrischen Materialschicht wird in eine Veränderung bei der Koerzitivkraft der Aufzeichnungsschicht darauf reflektiert, und beispielsweise bei der Aufzeichnungsschicht weist der bei dem Markierungsabschnitt angeordnete Abschnitt eine relativ große Koerzitivkraft auf, und der Nicht-Markierungsabschnitt weist eine relativ kleine Koerzitivkraft auf.
- Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf einige spezifische Ausführungsbeispiele näher beschrieben, aber die Erfindung ist nicht auf die nachstehenden Ausführungsbeispiele beschränkt.
- Fig. 1A zeigt eine Teilansicht eines Stempels, der den erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsträger herstellte, und Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht des erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsträgers.
- Ein genauer Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt 12 wurde auf der Oberfläche des Stempels 11 gemäß den Fig. 1A bis 1C durch eine Sputterätzvorgang ausgebildet. Durch Verwendung dieses Stempels 11 wurde der Vorsprungs- Vertiefungsabschnitt 12 als Vorsprungs- Vertiefungsabschnitt 211 auf die Oberfläche eines Polycarbonatsubstrats übertragen. Die Oberflächendifferenz (das heißt Höhendifferenz) zwischen dem Vorsprung und der Vertiefung in dem Vorsprungs- Vertiefungsabschnitt 211 betrug bezüglich des Ra-Wertes 50 Å.
- Auf dem Polycarbonatsubstrat 21 wurde eine Siliziumnitridschicht 22 als Interferenzschicht 80 nm dick ausgebildet, und dann wurde eine Gadoliniumeisenkobaltschicht 231 als erste magnetische Schicht (Magnetwandverschiebungsschicht) 30 nm dick ausgebildet, eine Disprosiumeisenschicht 232 als zweite magnetische Schicht (Umschaltschicht) wurde 10 nm dick ausgebildet und eine Terbiumeisenkobaltschicht 233 als dritte magnetische Schicht (Speicherschicht) wurde 40 nm dick ausgebildet, jeweils durch einen Sputtervorgang. Schließlich wurde eine Siliziumnitridschicht 24 als Schutzschicht 80 nm dick ausgebildet. Die magnetischen Schichten 23 wurden zwischen den Informationsspuren durch einen Ausheilvorgang voneinander magnetisch separiert.
- An eine auf diese Weise bereitgestellte magnetooptische Disk wird ein äußeres Magnetfeld in zwei Stufen angelegt. Die magnetooptische Disk passiert zunächst ein starkes äußeres Magnetfeld H&sub1; senkrecht zu der Schichtoberfläche, und passiert dann ein umgekehrtes magnetisches Feld H&sub2; in der entgegengesetzten Richtung, während sie sich bewegt. Wenn die Haltekraft eines Aufzeichnungsmarkierungsabschnitts 2m bei Raumtemperatur Hm und die eines Nicht-Markierungsabschnitts 2n Hn ist, werden sie so gewählt, dass H&sub1; > Hm > H&sub2; > Hn ist.
- Wenn die magnetooptische Disk durch das Magnetfeld H&sub1; passiert, werden der Markierungsabschnitt 2m und der Nicht-Markierungsabschnitt 2n beide in Richtung des Magnetfeldes H&sub1; magnetisiert. Wenn sodann die magnetooptische Disk durch das umgekehrte magnetische Feld H&sub2; passiert, wird lediglich die Magnetisierungsrichtung des Nicht-Markierungsabschnitts 2m, dessen Koerzitivkraft klein ist, in die Richtung des zweiten magnetischen Feldes H&sub2; umgekehrt, und die Magnetisierungsrichtung des Markierungsabschnitts 2m, die eine große Koerzitivkraft aufweist, verändert sich nicht. Somit werden der Markierungsabschnitt 4 und der Nicht- Markierungsabschnitt 2n in entgegengesetzte Richtungen magnetisiert. Dies bedeutet, dass auf der Oberfläche des Substrats 21 durch den Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt 211 ausgebildete Informationen auf die magnetische Schicht 23 übertragen werden und darauf gehalten werden. Wenn die auf diese Weise bereitgestellte hochdichte Disk zur ausschließlichen Wiedergabe unter Verwendung eines vergrößernden Wiedergabeverfahrens (vergleiche Druckschrift JP-A-6-290 496) und unter Gebrauch der Magnetwandverschiebung wiedergegeben wurde, welches bereits durch die vorliegenden Erfinder vorgeschlagen wurde, wurde ein ausreichendes Wiedergabesignal in der kürzesten Bitlänge von 0,1 um bei einem optischen System mit einer Wellenlänge von 680 nm und einer Numerischen Apertur von 0,55 erhalten.
- Fig. 3 zeigt einen Teilquerschnitt eines Stempels, der den erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsträger herstellte, und Fig. 4 zeigt eine Schnittansicht des erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsträgers.
- Ein genauer Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt 32 wurde auf der Oberfläche des Stempels 31 gemäß Fig. 3 durch einen Sputterätzvorgang ausgebildet.
- Ein genauer Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt 411 wurde auf die Spuroberfläche eines unter Verwendung des Stempels 31 ausgebildeten Polycarbonatsubstrats 41 übertragen. Die Oberflächendifferenz (das heißt Höhendifferenz) zwischen dem Vorsprung und der Vertiefung bei dem Vorsprungs- Vertiefungsabschnitt betrug hinsichtlich des Ra-Wertes 50 Angströms. Der Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt 411 ist als der ID-Informationsaufzeichnungsabschnitt der erfindungsgemäßen magnetooptischen Disk definiert. Die erfindungsgemäße magnetooptische Disk ist eine magnetooptische Disk der bekannten Bauart, die zur Aufzeichnung und Wiedergabe befähigt ist, und die ID- Informationen davon werden durch den genauen Vorsprungs- Vertiefungsabschnitt verwirklicht.
- Wie bei Ausführungsbeispiel 1 wurde auf dem Polycarbonatsubstrat mit dem genauen Vorsprungs- Vertiefungsabschnitt eine Siliziumnitritschicht 42 als Interferenzschicht 80 nm dick ausgebildet, und dann wurde eine Gadoliniumeisenkobaltschicht 431 als erste magnetische Schicht (Magnetwandverschiebungsschicht) 30 nm dick ausgebildet, eine Disprosiumeisenschicht 432 als zweite Magnetschicht (Umschaltschicht) wurde 10 nm dick ausgebildet, und eine Terbiumeisenkobaltschicht 433 als dritte Magnetschicht (Speicherschicht) wurde 40 nm dick ausgebildet, jeweils durch einen Sputtervorgang. Schließlich wurde eine Siliziumnitritschicht 43 als Schutzschicht 80 nm dick ausgebildet. Die Magnetschicht 43 ist zwischen den Informationsspuren durch den Niveauunterschied einer Führungsrille magnetisch separiert.
- Wie bei Ausführungsbeispiel 1 wurde ein äußeres Magnetfeld in zwei Stufen an die auf diese Weise bereitgestellte magnetooptische Disk angelegt, um dadurch einen ID-Informationsaufzeichnungsabschnitt auszubilden, bei dem ein Markierungsabschnitt 4m und ein Nicht-Markierungsabschnitt 4n in entgegengesetzte Richtungen magnetisiert wurden.
- Wenn die ID-Informationen der auf diese Weise bereitgestellten magnetooptischen Disk mit superhoher Dichte durch die Verwendung des Vergrößerungswiedergabeverfahrens (vergleiche Druckschrift JP-A-6-290 496) unter Verwendung der Magnetwandverschiebung wiedergegeben wurde, welche bereits durch die vorliegenden Erfinder vorgeschlagen wurde, wurde ein ausreichendes Wiedergabesignal bei der kürzesten Bitlänge von 0,15 um in einem optischen System mit einer Wellenlänge von 680 nm und einer Numerischen Apertur von 0,55 erhalten. Dies bedeutet, dass der ID- Informationsabschnitt der magnetooptischen Disk mit superhoher Dichte mit einer Aufzeichnungsdichte gleich der eines Dateninformationsabschnitts aufgezeichnet/wiedergegeben werden konnte.
- Im Falle der Herstellung des erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsträgers kann erfindungsgemäß von dem bekannten Verfahren zur Übertragung der Vorsprünge und Vertiefungen der ursprünglichen Disk von dem Stempel auf ein Substrat durch Stempeln Verwendung gemacht werden, und daher kann der erfindungsgemäße magnetooptische Aufzeichnungsträger mit Leichtigkeit massengefertigt werden, und er ist als Träger für die ausschließliche Wiedergabe oder als teilweise wiederbeschreibbarer Träger mit Informationen wie etwa Adressinformationen geeignet.
- Bei dem erfindungsgemäßen magnetooptischen Aufzeichnungsträger können die Aufzeichnungsschichten in verschiedenen Richtungen in Abhängigkeit vom Ort unter Verwendung der Differenz bei der Koerzitivfeldstärke zwischen den Aufzeichnungsschichten magnetisiert werden. Dies bedeutet, dass die Vorsprungs- Vertiefungsinformationen des Basiselementes als Magnetisierungsrichtungsinformationen auf die Aufzeichnungsschicht übertragen werden können. Wenn somit Informationen als Magnetisierungsrichtung der Aufzeichnungsschicht repräsentiert sind, können diese Informationen durch ein Vergrößerungswiedergabeverfahren unter Verwendung der Magnetwandverschiebung wiedergegeben werden.
Claims (8)
1. Magneto-optischer Aufzeichnungsträger mit:
einem nichtmagnetischen Substrat (21; 41)
einer magnetischen Schicht (23; 43), die auf dem
Substrat (21; 41) geschichtet ist; und
einem Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt (2m; 4m), der
auf der Oberfläche des die magnetische Schicht (23; 43)
tragenden Substrats (21; 41) ausgebildete Informationen
angibt,
der Träger ist dadurch gekennzeichnet, dass der
Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt Informationen angibt, und
der Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt und der andere
Abschnitt beide jeweilige
Informationsaufzeichnungsbereiche aufweisen;
wobei die Magnetisierungsrichtung der magnetischen
Schicht (23; 43) auf dem Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt
(2m; 4m) und die Magnetisierungsrichtung der magnetischen
Schicht auf dem von dem Vorsprungs-Vertiefungsabschnitt
verschiedenen Abschnitt (2n; 4n) der magnetischen Schicht
einander entgegengesetzt ausgerichtet sind.
2. Magneto-optischer Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1,
wobei die magnetische Schicht eine erste magnetische
Schicht (231; 431) mit einer Wiedergabeschicht, eine
dritte magnetische Schicht (233; 433), in der
Informationen gespeichert werden, und eine zwischen der
ersten magnetischen Schicht (231, 431) und der dritten
magnetischen Schicht (233; 433) angeordnete zweite
magnetische Schicht (232; 432) mit einer geringeren
Curie-Temperatur als die erste magnetische Schicht (231;
431) und die dritte magnetische Schicht (233; 433)
umfasst.
3. Magneto-optischer Aufzeichnungsträger nach einem der
vorstehenden Ansprüche, wobei die Koerzitivfeldstärke Hm
der auf dem Vorsprung-Vertiefungsabschnitt (2m; 4m)
ausgebildeten magnetischen Schicht größer als die
Koerzitivfeldstärke Hn des anderen Abschnitts (2n; 4n)
ist.
4. Magneto-optischer Aufzeichnungsträger nach einem der
vorstehenden Ansprüche, wobei der
Vorsprung-Vertiefungsabschnitt (2m) über die gesamte
Oberfläche des Substrats (21) verteilt ist.
5. Verfahren zur Herstellung des Trägers gemäß Anspruch
3, mit den Schritten:
Anlegen eines größeren magnetischen Feldes als Hm,
um dadurch die Magnetisierung der magnetischen Schicht
(23; 43) in einer Richtung auszurichten; und
danach, Anlegen eines magnetischen Feldes in einer
zu dem magnetischen Feld entgegengesetzten Richtung, das
kleiner als Hm und größer als Hn ist, um dadurch eine
Ausrichtung der Magnetisierung der auf dem anderen
Abschnitt (2n; 4n) ausgebildeten magnetischen Schicht
(23; 43) in der anderen Richtung zu verursachen.
6. Verfahren nach Anspruch 5, ferner mit dem Schritt des
magnetischen Trennens durch Tempern der magnetischen
Schicht oder Schichten (23) zwischen Informationsspuren.
7. Verfahren zur Wiedergabe von Informationen von dem
Träger gemäß Anspruch 2 oder 3 oder 4 soweit von 2
abhängig, mit den Schritten:
Richten eines Lichtstrahls auf die magnetische
Schicht, während eine relative Bewegung des Lichtstrahls
und des Trägers verursacht wird, um dadurch auf dem
Träger eine Temperaturverteilung mit einem zu der
relativen Bewegungsrichtung des Lichtstrahls relativen
Gradienten auszubilden;
Veranlassen, dass sich eine magnetische Wand entlang
der Temperaturverteilung verschiebt, und Erfassen
jeglicher Veränderung in der Polarisationsebene des von
dem Träger reflektierten Lichts aufgrund der Verschiebung
der magnetischen Wand; und
Wiedergabe der Informationen aus der erfassten
Veränderung.
8. Verfahren zur Wiedergabe von Informationen von dem
Medium gemäß Anspruch 1, mit den Schritten:
Richten eines Lichtstrahls auf die magnetische
Schicht;
Veranlassen einer relativen Bewegung des
Lichtstrahls und der magnetischen Schicht; und
Messen des von dem Träger kommenden Lichts.
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