DE69021105T2 - Verfahren und Gerät zur Prüfung von integrierten Schaltungen mit hoher Geschwindigkeit. - Google Patents

Verfahren und Gerät zur Prüfung von integrierten Schaltungen mit hoher Geschwindigkeit.

Info

Publication number
DE69021105T2
DE69021105T2 DE69021105T DE69021105T DE69021105T2 DE 69021105 T2 DE69021105 T2 DE 69021105T2 DE 69021105 T DE69021105 T DE 69021105T DE 69021105 T DE69021105 T DE 69021105T DE 69021105 T2 DE69021105 T2 DE 69021105T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
data
test
serial
terminal
excitation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69021105T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69021105D1 (de
Inventor
Hugh W Littlebury
Mavin C Swapp
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Motorola Solutions Inc
Original Assignee
Motorola Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Motorola Inc filed Critical Motorola Inc
Publication of DE69021105D1 publication Critical patent/DE69021105D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69021105T2 publication Critical patent/DE69021105T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31903Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
    • G01R31/31905Interface with the device under test [DUT], e.g. arrangements between the test head and the DUT, mechanical aspects, fixture
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31903Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
    • G01R31/31908Tester set-up, e.g. configuring the tester to the device under test [DUT], down loading test patterns
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31926Routing signals to or from the device under test [DUT], e.g. switch matrix, pin multiplexing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

    Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen automatisierte, digitale Prüfsysteme. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Laden und Wiedergewinnen von Prüfdaten und Reaktionsdaten in eine Datenspeichereinrichtung, die mit jedem Anschluß einer sich unter Prüfung befindenden Schaltung verbunden ist.
  • Ein kritischer Schritt beim Herstellen von elektronischen Schaltkreisen ist, diese unter Bedingungen zu prüfen, die sich der tatsächlichen Verwendung annähern. Da die Schaltungen komplexer werden, mehr Anschlußstifte und eine höhere Arbeitsgeschwindigkeit verlangen, wird es schwierig oder unmöglich, die Schaltung bei einer bestehenden Vorrichtung zu prüfen. Es ist insbesondere für Schaltungen wichtig, die eine große Zuverlässigkeit verlangen, daß sie bei Taktgeschwindigkeiten von mehreren 100 MHz geprüft werden, mit denen sie beim Einsatz betrieben werden. Demgemäß sind Verfahren zum Beschleunigen des Prüfverfahrens mit einer Anstrengung entwickelt worden, die Anforderungen neuer Schaltungen zu erfüllen.
  • Ein Bereich besonderen Interesses ist die Übertragung von Prüfsignalen zu und von Ansteuereinrichtungen mit Komparatoren, die die Schaltungsanschlüsse anregen und überwachen. Prüfvorrichtungen, wie das in der europäischen Patentanmeldung Nr. EP-A-0228332 beschriebene Prüfsystem haben mehrere Treiber- und Meßschaltungen, die mit den Ansteuereinrichtungen und Komparatoren verbunden sind, wobei jede Treiber- und Meßschaltung einem Anschluß der sich unter Prüfung befindenden Schaltung gewidmet ist. Das Muster von Prüfsignalen oder Prüfvektoren ist in einem Anschlußstiftspeicher gespeichert, der auch diesem einen Anschluß gewidmet ist. Der Anschlußstiftspeicher muß das gespeicherte Prüfsignal bei der Betriebsgeschwindigkeit der sich unter Prüfung befindenden Schaltung zuführen. Diese Prüfmuster werden in den Anschlußstiftspeicher von einer Massenspeichereinrichtung geladen, die üblicherweise langsamer als der Anschlußstift- Speicher betrieben wird. Sobald in den Anschlußstiftspeicher geladen werden Prüfvektoren mit hoher Geschwindigkeit an den Schaltungsanschluß angewendet. Bei Schaltungen mit einer großen Anzahl von Anschlußstiften jedoch, wird die Wiederholung der Treiber- und Meßschaltung, des Anschlußstiftspeichers und der Anschlußstiftelektronik für jeden Anschluß teuer. Auch werden die Leistungsanforderungen an die Anschlußstiftelektronik übermäßig, wobei ausgearbeitete und teure Kühlungstechniken für Schaltungsanordnungen verlangt werden. Schließlich ist der Raum, der für eine solche große Anzahl von Anschlußstiftelektronik verlangt wird, nachteilig, da die zu prüfenden Schaltungen kleiner werden.
  • Ein Artikel mit dem Titel "Testing and characterizing prototype VLSI chips in an university environment" von Butner S. E. aus Conference on Computer and Communications Proceedings, 20. März 1985, Phoenix, AZ, USA, Seiten 110-114 beschreibt eine Prüfvorrichtung für benutzerverlangte MMOS CMOS integrierte Schaltungen, die eine Vielzahl von Anschlußstiftregistern umfaßt, die den Anschlußstiften der sich unter Prüfung befindenden Einheit zugeordnet sind, und einen mit der Vielzahl von Anschlußstiftregistern über einen Bus gekoppelten Mikrocomputer. Jedes Anschlußstiftregister umfaßt einen Adressendekodierer, ein Schieberegister und einen Multiplexer.
  • Da die Schaltungen komplexer werden und die Anzahl der Anschlüsse zunimmt, sind die Hersteller selbst mit Prüfausrüstung konfrontiert, die weniger Prüfkanäle als die Anzahl der Schaltungsanschlüsse hat. Dies verlangt, daß die Prüfkanäle gemultiplext werden müssen, um mehr als einen Anschluß zu stützen, oder daß neue Ausrüstung gekauft werden muß. Das Multiplexen ist häufig zu langsam und beschränkt die Fähigkeit, die Schaltung vollständig zu prüfen. Eine neue Ausrüstung mit mehr Prüfkanälen wird zunehmend teuer und ist üblicherweise noch nicht verfügbar, wenn der Hersteller zuerst Schaltungen erzeugt. Somit kann die Ausrüstung wirksamer verwendet werden, wenn es möglich ist, mehr als einen Schaltungsanschluß mit einem Prüfkanal zu stützen, während die Fähigkeit beibehalten wird, bei hoher Geschwindigkeit zu prüfen.
  • Demgemäß ist es eine Zielsetzung der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren und Vorrichtung zu schaffen, um Daten zwischen einer Prüfvorrichtung und einer sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung zu übertragen.
  • Es ist eine weitere Zielsetzung der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren und Vorrichtung zum Übertragen von Daten zwischen einer Prüfvorrichtung und einer sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung zu schaffen, die fähig ist, ein Signal bei im wesentlichen der Betriebsgeschwindigkeit einer sich unter Prüfung befindenden Schaltung zu übertragen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Gemäß einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung, wird geschaffen eine Vorrichtung zum Übertragen von Prüfdaten und Reaktionsdaten zwischen einer Mehrkanal-Prüfvorrichtung und einer sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung, wobei die Vorrichtung in einer von einer Mehrzahl von Betriebsarten arbeiten kann, die logische Schaltung eine Vielzahl von Anschlüssen hat, jeder Anschluß der Vielzahl von Anschlüssen ein Eingang oder ein Ausgang in Abhängigkeit von der Ausgestaltung der logischen Schaltung ist, wobei die Vorrichtung umfaßt:
  • eine Vielzahl von elektronischen Abschnitten, wobei jeder Abschnitt mit einem Prüfkanal der Mehrkanal-Prüfvorrichtung verbunden ist, wobei der Prüfkanal serielle Anregungsdaten an den Abschnitt liefert und serielle Reaktionsdaten von dem Abschnitt analysiert, jeder Abschnitt ferner eine Vielzahl ähnlicher Anschlußelektronikeinheiten enthält, von denen jeder mit einem Anschluß gekoppelt und seriell miteinander durch einen ersten Datenweg verbunden ist, der der Anschlußelektronikeinheit gestattet, mit zwei benachbarten Anschlußelektronikeinheiten zum kommunizieren, wobei die Anschlußelektronikeinheiten ferner umfassen:
  • eine Speichereinrichtung zum Speichern von Anregungsdaten oder Reaktionsdaten unter Steuerung einer Steuerlogik;
  • einen Zweirichtungs-Speicher zum Übertragen von Daten in die und aus der Speichereinrichtung;
  • eine Umwandlungseinrichtung, um parallele Daten von der Speichereinrichtung in serielle Daten umzuwandeln, und um serielle Daten, die zu der Speichereinrichtung durch den genannten Zweirichtungs-Speicher hindurchgehen, in parallele Daten umzuwandeln;
  • einen ersten Multiplexer, der mit einem seriellen Eingang der Umwandlungseinrichtung zum Auswählen von seriellen Daten verbunden ist, wobei die serielle Date von einer benachbarten Anschlußelektronikeinheit ausgewählt wird, wenn die Vorrichtung in einer ersten Betriebsart ist, oder eine serielle Reaktionsdate von dem einen Anschluß über einen zweiten Weg ausgewählt wird, wenn die Vorrichtung in einer zweiten Betriebsart ist;
  • einen zweiten Multiplexer, der mit einem seriellen Ausgang der Umwandlungseinrichtung verbunden ist, um eine serielle Date zu lenken, wobei die serielle Date zu einer benachbarten Anschlußelektronikeinheit gelenkt wird, wenn die Vorrichtung in der ersten Betriebsart ist, oder zu dem einen Anschluß, wenn die Vorrichtung in der zweiten Betriebsart ist;
  • eine Anregungseinrichtung zum Anregen von jedem Eingangsanschluß, die durch serielle Daten von dem zweiten Multiplexer gesteuert wird;
  • eine Erfassungseinrichtung zum Erfassen des seriellen Ausgangssignals von jedem Ausgangsanschluß und um das serielle Ausgangssignal zu dem ersten Multiplexer zu senden.
  • Gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung wird geschaffen ein Verfahren zum Prüfen einer logischen Schaltung unter Verwendung einer Mehrkanal-Prüfvorrichtung und einer Vorrichtung zum Übertragen von Prüfdaten und Reaktionsdaten zwischen der Mehrkanal-Prüfvorrichtung und der logischen Schaltung, wobei die logische Schaltung eine Vielzahl von Anschlüssen hat, jeder Anschluß der Vielzahl von Anschlüssen ein Eingang oder Ausgang in Abhängigkeit von der Ausgestaltung der logischen Schaltung ist, die Vorrichtung eine Vielzahl von elektronischen Abschnitten umfaßt, wobei jeder Abschnitt mit einem Prüfkanal der Mehrkanal-Prüfvorrichtung verbunden ist, wobei der Prüfkanal serielle Anregungsdaten an den Abschnitt liefert und serielle Reaktionsdaten von dem Abschnitt analysiert, jeder Abschnitt ferner eine Vielzahl gleicher Anschlußelektronikeinheiten enthält, von denen jede mit einem Anschluß gekoppelt ist und seriell miteinander über einen ersten Datenweg verbunden sind, der den Anschlußelektronikeinheiten ermöglicht, mit zwei benachbarten Anschlußelektronikeinheiten zu kommunizieren, wobei das Verfahren die Schritte umfaßt:
  • Senden eines ersten Anregungssignals von einem Prüfkanal zu einem Abschnitt und Empfangen eines seriellen Reaktionssignals von einem Abschnitt;
  • Unterteilen des seriellen Anregungssignals in Wörter mit mehreren Bit in einer ersten Betriebsart, Übertragen der Wörter zwischen der Vielzahl von Anschlußelektronikeinheiten des Abschnitts mittels des ersten Datenwegs, Umwandeln der Wörter in parallele Anregungssignaldaten, Speichern der parallelen Anregungsdaten in der Vielzahl von Anschlußelektronikeinheiten;
  • Umwandeln der parallelen Anregungsdaten, die in einer Anschlußelektronikeinheit gespeichert sind, in serielle Anregungsdaten in einer zweiten Betriebsart, übertragen der umgewandelten Anregungsdaten zu einer Ansteuereinrichtung der Anschlußelektronikeinheit, anregen eines Eingangsanschlusses mit der Ansteuereinrichtung gemäß der umgewandelten Anregungsdate, vergleichen der Spannung des Ausgangssignal von jedem Ausgangsanschluß mit einer Bezugsspannung und Erzeugen eines Reaktionssignals in Abhängigkeit davon, und speichern des Reaktionssignals in der Anschlußelektronikeinheit; und
  • Senden des gespeicherten Reaktionssignals in der ersten Betriebsart zu der Mehrkanal-Prüfvorrichtung über den ersten Datenweg.
  • Somit ist ein Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß sie ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Übertragen von Daten zwischen einer Prüfvorrichtung und einer sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung schafft, die minimale Kosten aufweist, die eine minimale Anzahl von Bauteilen verwendet.
  • Ein anderer Vorteil der Erfindung ist, daß sie ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Übertragen von Daten zwischen einer Prüfvorrichtung und einer sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung schafft, die mehr als einen Schaltungsanschluß pro Prüfkanal stützt.
  • Ein noch anderer Vorteil der Erfindung ist, daß sie ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Übertragen von Daten zwischen einer Prüfvorrichtung und einer sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung schafft, die der Auslegung der logischen Schaltung keine Einschränkung auferlegt.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1 stellt ein Blockdiagramm eines Abschnitts von Prüfelektronik gemäß der Erfindung dar, die in Reihe mit einem Signalprüfkanal verbunden ist; und
  • Fig. 2 stellt ein Blockdiagramm einer Elektronikeinheit für einen einzigen Anschluß gemäß der Erfindung dar.
  • Beschreibung der Zeichnungen im Einzelnen.
  • Fig. 1 stellt eine Anzahl von Anschlußelektronikeinheiten 12 dar, die in Reihe geschaltet sind, um einen Abschnitt 11 der vorliegenden Erfindung zu bilden. Eine digitale Mehrkanal- Schaltungsprüfeinrichtung (nicht gezeigt), die einen Computer, eine Massenspeichereinrichtung zum Speichern eines Prüfmusters und eines erwarteten Ausgangsmusters und eine Einrichtung umfaßt, das tatsächliche Ausgangsmuster mit dem erwarteten Ausgangsmuster zu vergleichen, liefert serielle Anregungsdaten auf einer Treiberleitung 14 eines Prüfkanals und analysiert seriell Reaktionsdaten auf der Reaktionsleitung 13 des Prüfkanals. Die serielle Anregungsdate umfaßt ein Muster einer logischen Anregung, das auch Prüfvektor genannt wird. Der Prüfvektor, der viele Tausend Bit an Daten einschließen kann, wird an jeden Anschluß 28 ändert einer sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung angelegt, wobei die logischen Schaltungsausgänge gezwungen werden, ein Ausgangsmuster zu erzeugen. Das Ausgangsmuster oder der Reaktionsvektor wird dann seriell auf der Reaktionsleitung 13 zu der Prüfvorrichtung geschickt.
  • In Prüfvorrichtungen nach dem Stand der Technik ist jeder Prüfkanal mit einem einzigen Anschluß 28 einer logischen Schaltung verbunden. Bei der vorliegenden Erfindung ist der Abschnitt 11 mit der Treiberleitung 14 und der Reaktionsleitung 13 dieses einen Prüfkanals verbunden. Bei einer bevorzugten Ausführungsform besteht ein Abschnitt 11 für jeden Prüfkanal, der in der Prüfvorrichtung zur Verfügung steht. Ein Teilprüfvektor wird zu dem Abschnitt 11 auf der Treiberleitung 14 zu der ersten Anschlußelektronikeinheit 12a geschickt. Anschlußelektronikeinheiten sind miteinander und mit dem Prüfkanal über einen Abtastweg 29 verbunden. Wenn sich die Schaltung in einem Datenübertragungsmodus befindet, sind die Anschlußelektronikeinheiten 12 so ausgestaltet, daß der Teilprüfvektor durch jede Anschlußelektronikeinheit 12 hindurchgeht, bis das erste Bit des Teilprüfvektors die letzte Anschlußelektronikeinheit 12 in der Reihe erreicht hat. Es ist zweckmäßig, Gruppen von logischen Daten in dem Teilprüfvektor als Wörter zu kennzeichnen, deren Länge durch die Anschlußelektronikeinheit bestimmt wird, wie es nachfolgend beschrieben wird. Jedes Wort tritt in die erste Anschlußelektronikeinheit 12a ein und wird seriell zu 12b, 12c usw. durchgegeben, bis das erste Wort die letzte Elektronikeinheit 12n erreicht. Irgendeine Anzahl von Elektronikeinheiten 12 können in Reihe verbunden werden, wobei die genaue Ausgestaltung durch die zur Verfügung stehende Testvorrichtung und die Anzahl der Anschlüsse der sich unter Prüfung befindenden Schaltung bestimmt wird. Wenn beispielsweise jeder Kanal eine Prüfvorrichtung mit vierundsechzig Kanälen sechzehn Anschlußelektronikeinheiten 12 umfaßt, stützt die Testvorrichtung eine Schaltung mit 1024 Anschlüssen 28. Nachdem der Teilprüfvektor in den Abschnitt 11 geladen worden ist, speichert jede Anschlußelektronikeinheit 12 das Wort des Teilprüfvektors, das diese Elektronikeinheit gegenwärtig enthält. Sobald der Teilprüfvektor gespeichert ist, wird ein neuer Teilprüfvektor in den Abschnitt in einer ähnlichen Weise geladen. Dieses Verfahren wird wiederholt, bis der gesamte Prüfvektor von der Prüfvorrichtung in der Vielzahl von Anschlußelektronikeinheiten 12 gespeichert ist.
  • Fig. 2 stellt ein Blockdiagramm einer Elektronikeinheit 12 mit einem einzigen Anschluß dar. Wenn der Prüfabschnitt 11 in dem Datenübertragungsmodus ist, tritt eine serielle Date in den Multiplexer 21 ein, der mit dem Schieberegister 22 verbunden ist. Das Schieberegister 22 wird durch die Steuerlogik 26 gesteuert, und im Datenübertragungsmodus mit einer Geschwindigkeit getaktet, die mit der Massenspeichereinrichtung der Prüfvorrichtung verträglich ist. Diese kann ungefähr zwanzig MHz sein. Der Teilprüfvektor wird durch das Schieberegister 22 hindurchgeschoben und tritt durch den Multiplexer 23 aus, der mit dem Multiplexer 21 einer ähnlichen, benachbarten Anschlußelektronikeinheit 12 verbunden ist. Das Schieberegister 22 ist irgendeine Anzahl von Bit lang, wobei die Anzahl der Bit die gleiche wie die Wortlänge ist. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist das Schieberegister 22 ein Schieberegister mit sechzehn Bit. Nachdem das letzte Wort in dem Teilprüfvektor in das Register 22 der ersten Anschlußstiftelektronikeinheit 12a geschoben worden ist, wird ein Zweirichtungs-Speicher 24 aktiviert, das Wort in dem adressierbaren Anschlußstiftspeicher 25 zu speichern. Der Anschlußstiftspeicher 25 wird durch die Steuerlogik 26 durch einen Lese/Schreib-Steuerungs- und einen Adressenauswähl-Bus gesteuert. Der Anschlußstiftspeicher 25 ist so ausgestaltet, daß eine einzige Adresse ein vollständiges Prüfwort enthält. Somit speichert jede Anschlußstiftelektronikeinheit 12 ein Wort des Teilprüfvektors in einem Anschlußstiftspeicher 25, der einem einzigen Anschluß 28 der sich unter Prüfung befindenden Schaltung zugeordnet ist. Dieses Verfahren wird wiederholt, bis der Prüfvektor vollständig zu dem Anschlußstifspeicher 25 übertragen worden ist, oder bis der Anschlußstiftspeicher 25 voll ist. Jeder Anschlußstifspeicher 25 ist in der Größe durch die Adressierfähigkeit der Steuerlogik 26 und durch praktische Überlegungen der Speicherverfügbarkeit und Geschwindigkeit begrenzt. Typischerweise kann der Anschlußstifspeicher 25 von achttausend bis vierundsechzigtausend Bit oder mehr enthalten. Beim Datenübertragungsmodus wandert die Date von der Prüfvorrichtung durch jede Anschlußstiftelektronikeinheit 12 und zurück zu der Prüfvorrichtung über den Abtastweg 29. Der Abtastweg 29 besteht für jeden Kanal der Prüfvorrichtung.
  • Nachdem der gesamte Prüfvektor in dem Anschlußstiftspeicher 25 gespeichert worden ist, wird die Vorrichtung in einen Arbeitsmodus gebracht. In dem Arbeitsmodus werden der ersten Multiplexer 21 und der zweite Multiplexer 23 mit dem Komparator 30 bzw. der Ansteuerschaltung 27 verbunden, und der Abtastweg 29 wird gesperrt. Die Steuerlogik 26 adressiert selektiv den Anschlußstiftspeicher 25 und bringt den Speicher 25 in den Lesemodus. Der Zweirichtungs-Speicher 24 bietet ein Wort des gespeicherten Prüfvektors dem Schieberegister 22 in paralleler Form dar. Das Schieberegister 22 wird mit einer hohen Geschwindigkeit getaktet, wobei die gespeicherte Prüfdate an die Ansteuereinrichtung 27 übertragen wird. Die Ansteuereinrichtung 27 liefert ein Muster logischer Signale an den Anschluß 28, das dem gespeicherten Prüfmuster entspricht. Nachdem jedes Wort des gespeicherten Prüfvektors aus dem Schieberegister 22 geschoben worden ist, adressiert die Steuerlogik 26 einen neuen Platz in dem Anschlußstiftspeicher 25, so daß ein neues Wort dem Schieberegister 22 vorgelegt wird, bis der Anschlußstiftspeicher 25 erschöpft ist. Auf diese Weise ist die Frequenz des Ausgangssignals von dem Schieberegister 22 nicht durch die Geschwindigkeit des Anschlußstiftspeichers 25 begrenzt. Die Ansteuereinrichtung 27 umfaßt normalerweise eine Einrichtung zum Koppeln einer logisch hohen und einer logisch niedrigen Spannung mit dem Anschluß 28, und eine Einrichtung die Signale zu formatieren, um genau die Form und die Zeitlage des Signals zu steuern. Bei der bevorzugten Ausführungsform arbeitet das Schieberegister 22 von sechzehn Bit sechzehn mal schneller als der Anschlußstiftspeicher 25, und das Ausgangssignal kann so schnell wie achthundert MHz sein, während der Speicher bei nur 50 MHz arbeitet. Dies ermöglicht, daß der Anschlußstiftspeicher 25, viel größer ist, und aus weniger teuren Bauelementen hergestellt zu werden.
  • Wenn der Anschluß 28 ein Ausgang ist, enthält der Prüfvektor keine Anregungsinformation, und die Ansteuereinrichtung 27 liefert kein logisches Signal an den Anschluß 28. Wenn kein logisches Signal an dem Anschluß 28 vorgesehen ist, erfaßt der Komparator 30 eine Ausgangsspannung an dem Anschluß 28 und gibt ein Signal, das der erfaßten Spannung entspricht, an den Multiplexer 21 aus. Eine Gruppe aufeinanderfolgender, serieller Ausgangsdaten wird ein Ausgangswort genannt, und aufeinanderfolgende Wörter werden kombiniert, den Reaktionsvektor zu bilden. Der Reaktionsvektor wird in das Schieberegister 22 geschoben, bis ein gesamtes Reaktionswort in dem Schieberegister 22 enthalten ist, zu welchem Zeitpunkt dann der Zweirichtungs-Speicher 24 aktiviert und der Anschlußstiftspeicher 25 in den Schreibmodus gebracht wird. Der Reaktionsvektor wird dann von dem Schieberegister 22 zu dem Anschlußstiftspeicher 25 übertragen.
  • Es sollte beachtet werden, daß die Steuerschaltung 26 zwischen jeder der Anschlußelektronikeinheiten 12 synchronisiert ist. Die sich unter Prüfung befindende Schaltung besteht aus einer Vielzahl von Anschlüssen 28, die Eingänge oder Ausgänge in Abhängigkeit von der Ausgestaltung der sich unter Prüfung befindenden Schaltung sein können. Da der Anschlußstiftspeicher 25 in zwei Richtungen von einem einzigen Schieberegister 22 geladen werden kann, unterstützt die Elektronikeinheit 12 entweder Eingänge oder Ausgänge mit einem Minimum an Bauteilen. Weil die Steuerlogik synchronisiert ist, während ein Prüfvektor in einem Eingangsanschlußstück 28 der sich unter Prüfung befindenden Schaltung ausgelesen wird, wird gleichzeitig ein Reaktionsvektor von einem Ausgangsanschlußstück 28 einer anderen Anschlußstiftelektronikeinheit 12 aufgezeichnet. Irgendeine Art oder Konfiguration der Schaltung kann somit durch die Vorrichtung geprüft werden, indem einfach der gespeicherte Prüfvektor abgeändert wird.
  • Gegebenenfalls wird der Anschlußstiftspeicher 25 bei jedem Eingangsanschluß 28 erschöpft und wird bei jedem Ausgangsanschluß 28 voll. Wenn dies auftritt, wird der Abschnitt erneut in den Datenübertragungsmodus gebracht, und der Abtastweg 29 wird freigegeben, während die Ansteuereinrichtung 27 und der Komparator 30 unterbrochen werden. In diesem Modus sind die Multiplexer 21 und 23 mit benachbarten Anschlußelektronikeinheiten 12 verbunden, und der Reaktionsvektor in dem Anschlußstiftspeicher 25 wird zu dem Schieberegister 22 übertragen und durch den Multiplexer 23 hinausgeschoben. Bei der letzten Anschlußelektronikeinheit 12n in dem Abschnitt 11 wird die Date aus der Prüfvorrichtung auf der Reaktionsleitung 13 hinaus übertragen. Der Reaktionsvektor wird dann mit dem erwarteten Muster in der Prüfvorrichtung verglichen und es wird eine Fehler/Gut-Entscheidung gemacht.
  • Es sollte nun erkannt werden, daß ein verbessertes Verfahren und Vorrichtung zum Übertragen von Daten zwischen einer Mehrkanal-Prüfvorrichtung für digitale Schaltungen und einer sich unter Prüfung befindenden Schaltung geschaffen worden sind, wobei die Vorrichtung weniger Bauteile für jeden Anschluß einer sich unter Prüfung befindenden Schaltung verwendet, was eine Prüfvorrichtung mit geringeren Kosten ergibt, einem einzigen Prüfkanal ermöglicht, eine Vielzahl von Anschlüssen einer sich unter Prüfung befindenden Schaltung zu prüfen, während Prüfgeschwindigkeiten von einigen hundert Megahertz erreicht werden, und der sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung keine Auslegungsbeschränkungen auferlegt werden.

Claims (7)

1. Eine Vorrichtung zum Übertragen von Prüfdaten und Reaktionsdaten zwischen einer Mehrkanal-Prüfvorrichtung und einer sich unter Prüfung befindenden, logischen Schaltung, wobei die Vorrichtung in einer von einer Mehrzahl von Betriebsarten arbeiten kann, die logische Schaltung eine Vielzahl von Anschlüssen (28) hat, jeder Anschluß der Vielzahl von Anschlüssen ein Eingang oder ein Ausgang in Abhängigkeit von der Ausgestaltung der logischen Schaltung ist, wobei die Vorrichtung umfaßt:
eine Vielzahl von elektronischen Abschnitten (11), wobei jeder Abschnitt mit einem Prüfkanal der Mehrkanal-Prüfvorrichtung verbunden ist, wobei der Prüfkanal (13) serielle Anregungsdaten an den Abschnitt liefert und serielle Reaktionsdaten von dem Abschnitt analysiert, jeder Abschnitt ferner eine Vielzahl ähnlicher Anschlußelektronikeinheiten (12) enthält, von denen jeder mit einem Anschluß (28) gekoppelt und seriell miteinander durch einen ersten Datenweg (29) verbunden ist, der der Anschlußelektronikeinheit gestattet, mit zwei benachbarten Anschlußelektronikeinheiten zum kommunizieren, wobei die Anschlußelektronikeinheiten ferner umfassen:
eine Speichereinrichtung (25) zum Speichern von Anregungsdaten oder Reaktionsdaten unter Steuerung einer Steuerlogik (26);
einen Zweirichtungs-Speicher (24) zum Übertragen von Daten in die und aus der Speichereinrichtung;
eine Umwandlungseinrichtung (22), um parallele Daten von der Speichereinrichtung in serielle Daten umzuwandeln, und um serielle Daten, die zu der Speichereinrichtung durch den genannten Zweirichtungs-Speicher (24) hindurchgehen, in parallele Daten umzuwandeln;
einen ersten Multiplexer (21), der mit einem seriellen Eingang der Umwandlungseinrichtung (22) zum Auswählen von seriellen Daten verbunden ist, wobei die serielle Date von einer benachbarten Anschlußelektronikeinheit (12) ausgewählt wird, wenn die Vorrichtung in einer ersten Betriebsart ist, oder eine serielle Reaktionsdate von dem einen Anschluß (28) über einen zweiten Weg ausgewählt wird, wenn die Vorrichtung in einer zweiten Betriebsart ist;
einen zweiten Multiplexer (23), der mit einem seriellen Ausgang der Umwandlungseinrichtung (22) verbunden ist, um eine serielle Date zu lenken, wobei die serielle Date zu einer benachbarten Anschlußelektronikeinheit (12) gelenkt wird, wenn die Vorrichtung in der ersten Betriebsart ist, oder zu dem einen Anschluß (28), wenn die Vorrichtung in der zweiten Betriebsart ist;
eine Anregungseinrichtung (27) zum Anregen von jedem Eingangsanschluß (28), die durch serielle Daten von dem zweiten Multiplexer (23) gesteuert wird;
eine Erfassungseinrichtung (30) zum Erfassen des seriellen Ausgangssignals von jedem Ausgangsanschluß (28) und um das serielle Ausgangssignal zu dem ersten Multiplexer (21) zu senden.
2. Die Vorrichtung des Anspruchs 1, in der jeder Abschnitt sechzehn Anschlüsse (28) und sechzehn Anschlußelektronikeinheiten (12) umfaßt.
3. Die Vorrichtung des Anspruchs 1 oder 2, in der die Speichereinrichtung (25) von 8 KBit bis 64 KBit an Speicher umfaßt.
4. Die Vorrichtung des Anspruchs 1, 2 oder 3, in der die Umwandlungseinrichtung (22) ein Schieberegister ist.
5. Die Vorrichtung des Anspruchs 1, 2, 3 oder 4, in der die Anregungseinrichtung (27) zum Anregen eines Eingangsanschlusses ferner eine Einrichtung zum Schalten einer logisch hohen und einer logisch niedrigen Spannung auf den Eingangsanschluß umfaßt; und eine Formatierungseinrichtung, um die Form und die Zeitlage des Anregungssignals zu formatieren und genau zu steuern.
6. Die Vorrichtung nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, in der der erste Datenweg (29) bei ungefähr 20 MHz arbeitet und der zweite Datenweg bei bis zu 800 MHz arbeitet.
7. Ein Verfahren zum Prüfen einer logischen Schaltung unter Verwendung einer Mehrkanal-Prüfvorrichtung und einer Vorrichtung zum Übertragen von Prüfdaten und Reaktionsdaten zwischen der Mehrkanal-Prüfvorrichtung und der logischen Schaltung, wobei die logische Schaltung eine Vielzahl von Anschlüssen (28) hat, jeder Anschluß der Vielzahl von Anschlüssen ein Eingang oder Ausgang in Abhängigkeit von der Ausgestaltung der logischen Schaltung ist, die Vorrichtung eine Vielzahl von elektronischen Abschnitten umfaßt, wobei jeder Abschnitt mit einem Prüfkanal der Mehrkanal-Prüfvorrichtung verbunden ist, wobei der Prüfkanal (13) serielle Anregungsdaten an den Abschnitt liefert und serielle Reaktionsdaten von dem Abschnitt analysiert, jeder Abschnitt ferner eine Vielzahl gleicher Anschlußelektronikeinheiten (12) enthält, von denen jede mit einem Anschluß (28) gekoppelt ist und seriell miteinander über einen ersten Datenweg verbunden sind, der den Anschlußelektronikeinheiten ermöglicht, mit zwei benachbarten Anschlußelektronikeinheiten zu kommunizieren, wobei das Verfahren die Schritte umfaßt:
Senden eines ersten Anregungssignals von einem Prüfkanal (13) zu einem Abschnitt und Empfangen eines seriellen Reaktionssignals von einem Abschnitt;
Unterteilen des seriellen Anregungssignals in Wörter mit mehreren Bit in einer ersten Betriebsart, Übertragen der Wörter zwischen der Vielzahl von Anschlußelektronikeinheiten des Abschnitts mittels des ersten Datenwegs, Umwandeln der Wörter in parallele Anregungssignaldaten, Speichern der parallelen Anregungsdaten in der Vielzahl von Anschlußelektronikeinheiten;
Umwandeln der parallelen Anregungsdaten, die in einer Anschlußelektronikeinheit gespeichert sind, in serielle Anregungsdaten in einer zweiten Betriebsart, übertragen der umgewandelten Anregungsdaten zu einer Ansteuereinrichtung (27) der Anschlußelektronikeinheit, anregen eines Eingangsanschlusses (28) mit der Ansteuereinrichtung (27) gemäß der umgewandelten Anregungsdate, vergleichen der Spannung des Ausgangssignal von jedem Ausgangsanschluß (28) mit einer Bezugsspannung und Erzeugen eines Reaktionssignals in Abhängigkeit davon, und speichern des Reaktionssignals in der Anschlußelektronikeinheit; und
Senden des gespeicherten Reaktionssignals in der ersten Betriebsart zu der Mehrkanal-Prüfvorrichtung über den ersten Datenweg.
DE69021105T 1989-03-23 1990-03-15 Verfahren und Gerät zur Prüfung von integrierten Schaltungen mit hoher Geschwindigkeit. Expired - Fee Related DE69021105T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/327,878 US4972413A (en) 1989-03-23 1989-03-23 Method and apparatus for high speed integrated circuit testing

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69021105D1 DE69021105D1 (de) 1995-08-31
DE69021105T2 true DE69021105T2 (de) 1996-03-21

Family

ID=23278473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69021105T Expired - Fee Related DE69021105T2 (de) 1989-03-23 1990-03-15 Verfahren und Gerät zur Prüfung von integrierten Schaltungen mit hoher Geschwindigkeit.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4972413A (de)
EP (1) EP0388784B1 (de)
JP (1) JPH02268280A (de)
KR (1) KR0138258B1 (de)
DE (1) DE69021105T2 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5459738A (en) * 1994-01-26 1995-10-17 Watari; Hiromichi Apparatus and method for digital circuit testing
FR2733323B1 (fr) * 1995-04-19 1997-05-30 Schlumberger Ind Sa Procede et equipement de test automatique en parallele de composants electroniques
FR2733324B1 (fr) * 1995-04-19 1997-05-30 Schlumberger Ind Sa Procede et equipement de test automatique en parallele de composants electroniques
US5796682A (en) * 1995-10-30 1998-08-18 Motorola, Inc. Method for measuring time and structure therefor
US6563299B1 (en) * 2000-08-30 2003-05-13 Micron Technology, Inc. Apparatus for measuring parasitic capacitance and inductance of I/O leads on an electrical component using a network analyzer
WO2002071082A2 (en) * 2001-03-08 2002-09-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Method for testing a testable electronic device
US6971045B1 (en) 2002-05-20 2005-11-29 Cyress Semiconductor Corp. Reducing tester channels for high pinout integrated circuits
EP1600784A1 (de) * 2004-05-03 2005-11-30 Agilent Technologies, Inc. Serielle/parallele Schnittstelle für einen Tester für integrierte Schaltkreise
DE102005007580B4 (de) * 2005-02-18 2015-10-29 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Testen einer zu testenden Schaltungseinheit, welche Schaltungsuntereinheiten aufweist, und Testvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
KR20140109531A (ko) * 2013-02-27 2014-09-16 삼성전기주식회사 반도체 테스트 장치 및 반도체 테스트 방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3739349A (en) * 1971-05-24 1973-06-12 Sperry Rand Corp Digital equipment interface unit
JPS5585265A (en) * 1978-12-23 1980-06-27 Toshiba Corp Function test evaluation device for integrated circuit
US4348759A (en) * 1979-12-17 1982-09-07 International Business Machines Corporation Automatic testing of complex semiconductor components with test equipment having less channels than those required by the component under test
EP0109770B1 (de) * 1982-11-20 1986-12-30 International Computers Limited Prüfen von digitalen elektronischen Schaltungen
US4571724A (en) * 1983-03-23 1986-02-18 Data I/O Corporation System for testing digital logic devices
CA1251575A (en) * 1985-12-18 1989-03-21 A. Keith Jeffrey Automatic test system having a "true tester-per-pin" architecture

Also Published As

Publication number Publication date
JPH02268280A (ja) 1990-11-01
EP0388784B1 (de) 1995-07-26
EP0388784A3 (de) 1991-10-30
KR0138258B1 (ko) 1998-06-15
EP0388784A2 (de) 1990-09-26
DE69021105D1 (de) 1995-08-31
US4972413A (en) 1990-11-20
KR900014902A (ko) 1990-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69030015T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von integrierten Schaltungen mit zahlreichen Anschlüssen
DE69127060T2 (de) Tester für integrierte Schaltungen
DE69220715T2 (de) Eingebaute Selbsttestschaltung
DE68928613T2 (de) Bidirektionale-Boundary-Scan-Testzelle
DE69030528T2 (de) Verfahren und Anordnung zum Testen von Schaltungsplatten
DE69506337T2 (de) Von einem LSI-Prüfer mit einer verminderten Anzahl von Stiften testbare integrierte Halbleiterschaltung
DE68928837T2 (de) Prüf-Puffer/Register
DE69031362T2 (de) Verzögerungsfehler-Testvorrichtung
DE69226001T2 (de) Hochgeschwindigkeitsprüfung einer integrierten Schaltung mit JTAG
DE69107463T2 (de) Integrierte Schaltung, System und Verfahren zur Fehlererzeugung.
DE4243910C2 (de) Aufgeteiltes Boundary-Scan-Testen zum Vermindern des durch Testen hervorgerufenen Schadens
DE69019555T2 (de) Technik für die serielle Prüfung eingebauter Speicher.
DE69117454T2 (de) Verfahren und Gerät für die Fehlerdiagnose während Boundary-Scantests
DE3832113C2 (de)
DE2340547B2 (de) Schaltungsanordnung zum testen logischer schaltungen
DE69021105T2 (de) Verfahren und Gerät zur Prüfung von integrierten Schaltungen mit hoher Geschwindigkeit.
DE3627638A1 (de) Verfahren zum pruefen von traegern mit mehreren digital arbeitenden integrationsschaltungen, mit derartigen schaltungen versehener traeger, geeignete integrationsschaltung zum anbringen auf einem derartigen traeger und pruefanordnung zur pruefung derartiger traeger
DE69031291T2 (de) Testmethode, Testschaltung und integrierter Halbleiterschaltkreis mit Testschaltung
DE69724742T2 (de) Speicherfeldprüfschaltung mit Fehlermeldung
DE3689414T2 (de) Automatisches Prüfsystem mit "wahrem Prüfer-per-Anschluss" -Architektur.
DE3719497A1 (de) System zur pruefung von digitalen schaltungen
DE102005046588B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Test und zur Diagnose digitaler Schaltungen
DE10052211A1 (de) Integrierte Schaltung mit Testbetriebsart und Verfahren zum Testen einer Vielzahl solcher integrierter Schaltungen
DE69211862T2 (de) Zellenvermittlungsmodul und -netz mit vereinfachtem Prüfverfahren
DE3784468T2 (de) Testbares mehrmodus-zaehlernetz und methode zur durchfuehrung des tests.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee