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Flüssigkeitsabschlußventil für Vakuumleitungen bei Vakuumapparaten,
insbesondere Quecksilberdampfstromrichtern Die Erfindung betrifft ein barometrisches
Absp.err- und Schutzventil für Quecksilb:erdamepfstromrichter, das zwischen Pumpe
und Stromrichter oder zwischen Verpumpe und Feinpumpe gelegt wird. Bekanntlich -ordnet
man bei Vakuumapparaten in der zur Pumpe fühi.enden Leitung oder in der Vakuumleitung
zwischen Feinpumpe und. Vorpumpe ein Absperr- und Schutzventil an, das verhindert,
daß bei Leerlauf oder Aussetzen der Pumpe Luft öder Gase höheren Druckes in den
Vakuumapparat hineingeraten und hier zur Verschlechterung des Vakuums oder zur Verunreinigung
des Vakuums führen. Die bekannten Absperr- und Schutzventile dieser Art werden in
verschiedener Weisse ausgestaltet. Entweder verwendet man Ventile, bei denen ein
Verschlußkörper, beispielsweise mittels :einer Spindel, gehoben oder gesenkt wird.
Bei diesen Ventilkörpern werden besondere Dichtungsmittel verwendet, gegen die sich
der bewegliche Verschlußteil in der Schließstellung legt. Das Heben oder Senken
des Verschl:ußkör.pers kann auch .mit Hilfe eines Elektromagneten erfolgen. Besonders
gern verwendet man .als Abs:perr- und Schutzventile barometrische Ventile; die den
Vorzug haben, daß :man durch Einstellung der Höhe der die Verschlußteile einschließenden
barometrischen Flüssigkeit die Wirksamkeit des Abschlusses vergrößern oder verringern
kann. Die erstgenannten Ventile habein deal Nachteil, daß sie selbst bei, Anwendung
besonderer Vorsichtsazaßregeln sich vielfach nicht als genügende dichtend erweisen.
Bei den letztgenannten Ventilen hingegen tritt die Schwierigkeit ,auf, daß sie zum
öffnen und Schließen verhältnismäßig große mechanische Kräfte brauchen. Bei dien
erwähnten barometrischen Ventilen müssen Drücke angewendet werden, :die in Fällen,
in denen das Abschlußventil zwischen Vorpumpe. und Feinpumpe liegt, eine mehrstufige
Aus:bi:ldung der Feinplumpe zur Voraussetzung haben, um zu erreichen, daß die Flü.ssIgkeitssäule
in dem Barometerventil beim Pumpen überha Mpt durchbrochen wird. Würde man die Bar@ometer.sä@ule
mit Rücksicht' darauf kleiner halten, daß man Pumpen geringerer Leistung verwenden
will, so würde die unausbleibliche Folge die selli, daß bei Aussetzen der Hauptpumpe
durch die kleine Barometerskale Außenluft in den zu schützenden Vakuumapparat bzw.
in die, Feinpumpe eindringt.
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Diese Nachteile werden durch die vorliegende Erfindung behoben. Erfindun@gsge-'
mäß werden bei einem Flü.ssigkeitsabschlußventil für Vakuumleitungen bei Vakuumapparaten,
insbesondere Quecksilberdampfstromrichtern, bei welchem die Vakuumleitungen vakuumdicht
unmittelbar an den Flüssi,gkeitshehälter oder an eine- diesen enthaltende
Kammer
angeschlossen sind und. bei dem bewegliche, gegebenenfalls elektromagnetisch betätigte
Teile vorgesehen sind, die beweglichen Teile. membranartig ausgebildet. Auf diese
Weise gelingt es, den Verschlußteil, welcher die Ventilflüssigkeit enthält, entweder
iunmittelbar oder mittelbar heb- und senkbar zu machen, ohne daß irgendwelche Schwierigkeiten
mit der Abdichtung des. VentilgefäAes entstehen. Die Vakuumleitung kann unmittelbar
an den Flüssigkeitsbehälter bzw. an den heb- und senkbaren Teil angeschlossen werden.
Eine Abdichtung zwischen gegeneinander beweglichen Teilen ist nicht notwendig, so
daß eine vollkommene Dichtigkeit des Ab.schlußventils erreicht werden kann.
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Anstatt den beweglichen Verschlußteil heb-und senkbar zu machen, kann
maul auch den die Ventilflüssigkeit ,aufnehmenden Behälter schwenkbar ausbilden.
An dem. Verschlußteil ist entweder ein Anker angeordnet, auf den eine Magnetsplule
einwirkt, oder aber der Verschlußteil selbst ist als Anker ausgebildet. Mitunter
ist es vorteilhaft, den beweglichen Verschlußteil entgegen einer Federkraft heb-und
senkbar auszubilden.' Der bewegliche membranartige Verschlußteil besitzt vorteilhaftenveiseeinen
Boden, der einen unter der Einwirkung einer Spule stehenden Anker trägt. Man kann
ferner den das Quecksilber enthaltenden Teil des Abschlußventils ruhend ausbilden
und den beweglichen Ventilteller über ein elastisches Rohr mit der Pumpleitung verbinden.
Der Ventilteller kann unmittelbar mit einem unter der Einwirkung einer Spule stehenden
Anker verbunden sein. In Fällen, in denen die Gefahr besteht, daß aus dem Ventil
Flüssigkeitströpfchen in die nach dem Vakuumapparat führenden Leitungen gelangen,
empfiehlt es sich, in diese Leitungen eine Spritzschutzvorrichtung einzubauen, in
der sich die Flüssigkekstei:lchen sammeln, und dann wieder nach dem Ventilteller
zurücklaufen.
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In der Zeichnung sind einige Ausführungsbeispiele dargestellt.
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Das. Ventil, welches in Fig. i gezeigt ist, besteht .aus einem vakuumdicht
abgeschlossenen Gehäuse 5. In dieses Gehäuse ist das Rohr 6, welches den. als Scheibe
aus:gebildete,n Ventilteller q. trägt, starreingebaut. Durch eine in der Scheibe
des Ventiltellers befindliche Öffnung kann die Ventilflüssigkeit 7 in .das Innere
des Rohres 6 eintreten. Der das Qecksilber 7 enthaltende Behälter 3 besitzt einen
mit dem Anker 12 verbundenen Boden 2 und ist seitlich durch -das Membranrohr 17
abgeschlossen. Mittels der Magnetspule 13 kann der Anker 12 und mit ihm der Boden
2 bzw. .das Quecksilber 7 gehoben und gesenkt und auf diese Weise der vakuumdichte
Abschtuß des Gefäßes herbeigeführt werden. Der zur Pumpe führende Stutzen 15
mündet
ebenfalls in den Behälter 5 bzw. den Raum 3 -und ist mit der Wandung des Behälters
5 vakuumdicht verbunden.
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Bei der Ausführungsform nach Abb.2 ist der untere Teil des
Rohres 6 als Membranrohr i g ausgebildet. Der Anker 12 sitzt hier an dem am Bunteren
Ende des Membranr obres 19 befestigten. Ventilteller q.. Der Sitz 5 ist bei
diesem Ausführungsbeispiel als feststehendes Gefäß .ausgebildet.
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Bei der Ausführungsform nach Abb.3 befindet sich die Spule 13 oberhalb
des feststehenden, als Sitz dienenden Gefäßes 5. Der Anker 12 steht über
das Gestänge 2o mit dem Ventilteller q. in Verbindung. Das Rohr 6 ist in seinem
unteren Teil, wie man aus der Zeichnung ersieht, .als. Membranschliauch 21 ausgebildet.
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Bei der Ausführungsform nach Abb. q. sind die Anschlüsse 22 und 23
als Membranröhre .ausgebildet, so daß nicht nur das Gefäß 5, sondern auch der Ventilteller
q. Bewegungen ausführen kann. Das Gefäß 5 ist -um die Achse 24 schwenkbar.
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Be;i der Ausführungsform nach Abb. 5 ist der Ventilteller q. seitlich
mit einer zum Anker 12 führenden Stange 25 gelenkig (Gelenk 27) verbunden. Das untere
Ende des Rohres 6 ;ist auch hier als biegsames Rohr 26 ausgeh@ldet. Die Spule 13
ist seid tch von dem Behälter 5 angeordnet. Die Ruhestellung des Ventils ist mit
vollen Linien dargestellt, während die Lage des Ventiltellers bei eingezogenem Anker
12 punktiert angedeutet ist.