DE674295C - Fluessigkeitsabschlussventil fuer Vakuumleitungen bei Vakuumapparaten, insbesondere Quecksilberdampfstromrichtern - Google Patents

Description

• Flüssigkeitsabschlußventil für Vakuumleitungen bei Vakuumapparaten, insbesondere Quecksilberdampfstromrichtern Die Erfindung betrifft ein barometrisches Absp.err- und Schutzventil für Quecksilb:erdamepfstromrichter, das zwischen Pumpe und Stromrichter oder zwischen Verpumpe und Feinpumpe gelegt wird. Bekanntlich -ordnet man bei Vakuumapparaten in der zur Pumpe fühi.enden Leitung oder in der Vakuumleitung zwischen Feinpumpe und. Vorpumpe ein Absperr- und Schutzventil an, das verhindert, daß bei Leerlauf oder Aussetzen der Pumpe Luft öder Gase höheren Druckes in den Vakuumapparat hineingeraten und hier zur Verschlechterung des Vakuums oder zur Verunreinigung des Vakuums führen. Die bekannten Absperr- und Schutzventile dieser Art werden in verschiedener Weisse ausgestaltet. Entweder verwendet man Ventile, bei denen ein Verschlußkörper, beispielsweise mittels :einer Spindel, gehoben oder gesenkt wird. Bei diesen Ventilkörpern werden besondere Dichtungsmittel verwendet, gegen die sich der bewegliche Verschlußteil in der Schließstellung legt. Das Heben oder Senken des Verschl:ußkör.pers kann auch .mit Hilfe eines Elektromagneten erfolgen. Besonders gern verwendet man .als Abs:perr- und Schutzventile barometrische Ventile; die den Vorzug haben, daß :man durch Einstellung der Höhe der die Verschlußteile einschließenden barometrischen Flüssigkeit die Wirksamkeit des Abschlusses vergrößern oder verringern kann. Die erstgenannten Ventile habein deal Nachteil, daß sie selbst bei, Anwendung besonderer Vorsichtsazaßregeln sich vielfach nicht als genügende dichtend erweisen. Bei den letztgenannten Ventilen hingegen tritt die Schwierigkeit ,auf, daß sie zum öffnen und Schließen verhältnismäßig große mechanische Kräfte brauchen. Bei dien erwähnten barometrischen Ventilen müssen Drücke angewendet werden, :die in Fällen, in denen das Abschlußventil zwischen Vorpumpe. und Feinpumpe liegt, eine mehrstufige Aus:bi:ldung der Feinplumpe zur Voraussetzung haben, um zu erreichen, daß die Flü.ssIgkeitssäule in dem Barometerventil beim Pumpen überha Mpt durchbrochen wird. Würde man die Bar@ometer.sä@ule mit Rücksicht' darauf kleiner halten, daß man Pumpen geringerer Leistung verwenden will, so würde die unausbleibliche Folge die selli, daß bei Aussetzen der Hauptpumpe durch die kleine Barometerskale Außenluft in den zu schützenden Vakuumapparat bzw. in die, Feinpumpe eindringt.
• Diese Nachteile werden durch die vorliegende Erfindung behoben. Erfindun@gsge-' mäß werden bei einem Flü.ssigkeitsabschlußventil für Vakuumleitungen bei Vakuumapparaten, insbesondere Quecksilberdampfstromrichtern, bei welchem die Vakuumleitungen vakuumdicht unmittelbar an den Flüssi,gkeitshehälter oder an eine- diesen enthaltende Kammer angeschlossen sind und. bei dem bewegliche, gegebenenfalls elektromagnetisch betätigte Teile vorgesehen sind, die beweglichen Teile. membranartig ausgebildet. Auf diese Weise gelingt es, den Verschlußteil, welcher die Ventilflüssigkeit enthält, entweder iunmittelbar oder mittelbar heb- und senkbar zu machen, ohne daß irgendwelche Schwierigkeiten mit der Abdichtung des. VentilgefäAes entstehen. Die Vakuumleitung kann unmittelbar an den Flüssigkeitsbehälter bzw. an den heb- und senkbaren Teil angeschlossen werden. Eine Abdichtung zwischen gegeneinander beweglichen Teilen ist nicht notwendig, so daß eine vollkommene Dichtigkeit des Ab.schlußventils erreicht werden kann.
• Anstatt den beweglichen Verschlußteil heb-und senkbar zu machen, kann maul auch den die Ventilflüssigkeit ,aufnehmenden Behälter schwenkbar ausbilden. An dem. Verschlußteil ist entweder ein Anker angeordnet, auf den eine Magnetsplule einwirkt, oder aber der Verschlußteil selbst ist als Anker ausgebildet. Mitunter ist es vorteilhaft, den beweglichen Verschlußteil entgegen einer Federkraft heb-und senkbar auszubilden.' Der bewegliche membranartige Verschlußteil besitzt vorteilhaftenveiseeinen Boden, der einen unter der Einwirkung einer Spule stehenden Anker trägt. Man kann ferner den das Quecksilber enthaltenden Teil des Abschlußventils ruhend ausbilden und den beweglichen Ventilteller über ein elastisches Rohr mit der Pumpleitung verbinden. Der Ventilteller kann unmittelbar mit einem unter der Einwirkung einer Spule stehenden Anker verbunden sein. In Fällen, in denen die Gefahr besteht, daß aus dem Ventil Flüssigkeitströpfchen in die nach dem Vakuumapparat führenden Leitungen gelangen, empfiehlt es sich, in diese Leitungen eine Spritzschutzvorrichtung einzubauen, in der sich die Flüssigkekstei:lchen sammeln, und dann wieder nach dem Ventilteller zurücklaufen.
• In der Zeichnung sind einige Ausführungsbeispiele dargestellt.
• Das. Ventil, welches in Fig. i gezeigt ist, besteht .aus einem vakuumdicht abgeschlossenen Gehäuse 5. In dieses Gehäuse ist das Rohr 6, welches den. als Scheibe aus:gebildete,n Ventilteller q. trägt, starreingebaut. Durch eine in der Scheibe des Ventiltellers befindliche Öffnung kann die Ventilflüssigkeit 7 in .das Innere des Rohres 6 eintreten. Der das Qecksilber 7 enthaltende Behälter 3 besitzt einen mit dem Anker 12 verbundenen Boden 2 und ist seitlich durch -das Membranrohr 17 abgeschlossen. Mittels der Magnetspule 13 kann der Anker 12 und mit ihm der Boden 2 bzw. .das Quecksilber 7 gehoben und gesenkt und auf diese Weise der vakuumdichte Abschtuß des Gefäßes herbeigeführt werden. Der zur Pumpe führende Stutzen 15 mündet ebenfalls in den Behälter 5 bzw. den Raum 3 -und ist mit der Wandung des Behälters 5 vakuumdicht verbunden.
• Bei der Ausführungsform nach Abb.2 ist der untere Teil des Rohres 6 als Membranrohr i g ausgebildet. Der Anker 12 sitzt hier an dem am Bunteren Ende des Membranr obres 19 befestigten. Ventilteller q.. Der Sitz 5 ist bei diesem Ausführungsbeispiel als feststehendes Gefäß .ausgebildet.
• Bei der Ausführungsform nach Abb.3 befindet sich die Spule 13 oberhalb des feststehenden, als Sitz dienenden Gefäßes 5. Der Anker 12 steht über das Gestänge 2o mit dem Ventilteller q. in Verbindung. Das Rohr 6 ist in seinem unteren Teil, wie man aus der Zeichnung ersieht, .als. Membranschliauch 21 ausgebildet.
• Bei der Ausführungsform nach Abb. q. sind die Anschlüsse 22 und 23 als Membranröhre .ausgebildet, so daß nicht nur das Gefäß 5, sondern auch der Ventilteller q. Bewegungen ausführen kann. Das Gefäß 5 ist -um die Achse 24 schwenkbar.
• Be;i der Ausführungsform nach Abb. 5 ist der Ventilteller q. seitlich mit einer zum Anker 12 führenden Stange 25 gelenkig (Gelenk 27) verbunden. Das untere Ende des Rohres 6 ;ist auch hier als biegsames Rohr 26 ausgeh@ldet. Die Spule 13 ist seid tch von dem Behälter 5 angeordnet. Die Ruhestellung des Ventils ist mit vollen Linien dargestellt, während die Lage des Ventiltellers bei eingezogenem Anker 12 punktiert angedeutet ist.

Claims (7)

1. PATENT ANSPi2ÜUir: i. Flüssigkeitsabschiußventil für Vaku-@umleitungen bei Vakuumapparaten, insbesondere Quecksilberdampfstromrichtern, beiwelchem dieVakuumleitungen vakuumdicht unmittelbar an den Fliissigkeitsl3@2-hälter oder .an :eine thesenenthaltende Kammer angeschlossen sind und bei welchem bewegliche Teile vorgesehen sind, Idie gegebenenfalls elektromagnetisch betätigt werden, dadurch gekennzeichnet,daß die.beweglichen Teile membranartig ausgeführt sind.
2. 2. Flüssigkeitsabschlußventil nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandungen des Flüfssigkeitsbehäiters als Wellrohre ausgebildet sind.
3. 3. Flüssigkeitsabschiußventil nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Ende der einen Vakuumleitung elastisch ausgebildet ist. q..
4. Flüssigkeitsabschlußventil nach den Ansprüchen i und 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsbehälter mit den Enden der Vakliumleitungen beweglich, insbesondere drehbar, angeordnet und gelagert iis,t.
5. 5. Fl'üssigkeitsabschlußventil nach .den Ansprüchen i bis 3, dadurch gekeunzeichnet, daß der die Ventilflüssigkeit aufnehmende Verschlußteil entgegen einer Federkraft heb- und senkbar ,ist.
6. 6. Flüssigkeitsabschlußventil nach den Ansprüchen i bis 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilteller anein.em als Membranrohr ausgestalteten Rohr angeordnet ist, das, gegebenenfalls schräg zur Achse des Ventils selbst liegend, be-Zveglich isst.
7. 7. Flüssigkeitsabschlußventil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der an einem elastischen Rohr sitzende Ventilteller unmittelbar mit einem unter der Einwirkung einer Spule stehenden Anker verbunden ist.