DE617674C - Vorrichtung zum Messen von Laengen mittels Interferenzerscheinungen unter Anwendung weissen Lichtes - Google Patents

Vorrichtung zum Messen von Laengen mittels Interferenzerscheinungen unter Anwendung weissen Lichtes

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DE617674C
DE617674C DEC47647D DEC0047647D DE617674C DE 617674 C DE617674 C DE 617674C DE C47647 D DEC47647 D DE C47647D DE C0047647 D DEC0047647 D DE C0047647D DE 617674 C DE617674 C DE 617674C
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum Messen von Längen mittels Interferenzerscheinungen unter Anwendung weißen Lichtes Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen von Längen unter Anwendung weißen Lichtes, bei welcher der weiße Lichtstrahl in zwei auf getrennten Wegen verlaufende Strahlen zerlegt wird, die wieder vereinigt werden und dabei Interferenzerscheinungen hervorrufen. ° Bei dieser Vorrichtung wird der durch einen Schlitz und eine Linse zutretende weiße Lichtstrahl durch zwei miteinander verbundene ebene parallele Platten in zwei Strahlen geteilt, von denen dem einen Strahl durch je einen drehbaren und einen festen Spiegel eine konstante Weglänge erteilt wird, während die Weglänge des anderen Strahles mittels eines auf dem zu messenden Stück. aufliegenden Kolbens mit spiegelnder Oberfläche entsprechend der Länge des zu messenden Stückes veränderbar ist. Die genau parallel wiedervereinigten Strahlen werden alsdann in bekannter Weise durch ein Prisma,in ein ununterbrochenes Spektrum zerlegt, welches durch ein Teleskop in die Brennpunktebene gebracht wird, wo es durch ein Okular betrachtet werden kann.
  • Die Zeichnungen stellen eine Ausführungsform des Erfindungsgegenstandes beispielsweise dar, und zwar zeigt Abb. i die Vorrichtung in senkrechtem Schnitt. Abb. -- und 3 veranschaulichen Interferenzstreifen, wie solche mit der Vorrichtung beobachtet werden.
  • Weißes Licht von einer kleinen Glühlampe i fällt auf einen horizontalen Schlitz a, der im Hauptbrennpunkt der Linse 3 vorgesehen ist. Der Kollimationslichtstrahl fällt auf zwei miteinander verbundene ebene parallele Platten ¢ und 5. Diese Platten sind aus derselben ebenen parallelen Platte ausgeschnitten und optisch paarweise zusammengestellt. Die Innenfläche einer dieser Platten ist mit einem metallischen Häutchen .6 von solcher Didke bedeckt, daß das einfallende Licht halb durchgelassen und halb reflektiert wird. Die Platten sind mittels Kanadabalsam, Demargummi oder irgendeinem anderen durchsichtigen Stoff von annähernd demselben Brechungsexponent wie die Plattem aneinander befestigt.
  • Der durchtretende Strahl fällt senkrecht auf den Spiegel 7, der in punktierten Linien in senkrechter Lage veranschaulicht ist, oder fällt unter einem Winkel von 45° auf den Spiegel, der um q.5° gedreht worden ist, worauf er senkrecht auf den Spiegel g fällt. Die Spiegel 7 und g sind auf ihren vorderen Flächen versilbert. Der durchgetretene Strahl wird auf seinem Wege zu dem dünnen Häutchen 6 umgekehrt und wieder geteilt. Der reflektierte Teil dieses Strahles geht durch das Prisma i i hindurch und soll nachstehend der fortgepflanzte -reflektierte Strahl genannt werden.
  • Der reflektierte Strahl fällt senkrecht auf den Kölben io, der auf seiner oberen Fläche versilbert ist, kehrt auf seinem Wege zurück und wird durch das Häutchen 6 wieder geteilt. Der fortgepflanzte Teil geht durch das Prisma ii hindurch und soll nachstehend der reflektierte fortgepflanzte Strahl genannt werden. .
  • Der fortgepflanzte reflektierte ünd der reflektierte fortgepflanzte Strahl laufen nunmehr parallel zueinander mit einem Phasenverhältnis, welches von dem Unterschied in der Länge der durchlaufenen Wege abhängt.
  • Nachdem die beiden Strahlen durch das Prisma i i hindurchgegangen sind, werden sie von dem Spiegel 12 reflektiert, der auf seiner vorderen Fläche versilbert ist. Das Prisma ii und der Spiegel 12 sitzen auf einem Träger 13, der mittels der Schraube 15 um die Achse 1q. geschwungen wird. Die Achse 1q. befindet sich im Schnittpunkt der Ebene der verlängerten Spiegelfläche 12 mit der Ebene, die den Brechungswinkel des Prismas i T. in zwei gleiche Teile teilt. Ein konstantes Ablenkungsprisma kann in Stelle des Prismas ii und des Spiegels i2 verwendet und in derselben Weise angebracht werden. Der Stellkopf 16 der Schraube 15 kann kalibriert werden, um unmittelbar in Lichtwellenlängen ablesen zu können.
  • Der fortgepflanzte reflektierte Strahl und der reflektierte fortgepflanzte Strahl gehen alsdann durch die Objektivlinse-i7 des Tele= skops i8 hindurch, dessen Brennpunkt in der Unendlichkeit liegt.
  • In der Brennpunktebene i9 werden Bilder des Schlitzes 2 gebildet, der sich optisch in unendlicher Entfernung vom Beobachter be= findet. Wenn die Interferenzstrahlen optisch gleiche Wege durchleufen, wird ein ununterbrochenes Spektrum beobachtet.
  • Der Spiegel 7 sitzt auf einem Arm 2o, der durch die Differentialschraube 2i und die Feder 22 in einer senkrechten Ebene und durch eine nicht veranschaulichte ähnliche Schraube in einer waagerechten Ebene bewegt wird. Diese Schrauben ermöglichen es, die Interferenzstrahlen in genaue. Übereinstimmung miteinander zu bringen. Das weiße Licht-Spektrum wird dann durch waagerechte schwarze Streifen gekreuzt, deren Anzahl von dem Längenunterschied des Weges der Interferenzstrahlen abhängt.
  • Ein Kolben i o, der in einem Zylinder 23 untergebracht ist, kann der zylindrischen Bahn 27 entlang senkrecht bewegt werden. Diese senkrechte Bewegung bewirkt, daß die Anzahl dunkler Interferenzstreifen im Gesichtsfeld wechselt, z. B. von A. zu Bin Abb. 2 und 3. -Das Gesichtsfeld in der Brennpunktebene i9 des Teleskops 18 wird durch die Anschläge 25 oder durch helle Linien in einem unterbrochenen Spektrum bestimmt, welches durch das Okular 26 geliefert wird, das auch als zylindrische Linse zur Herstellung des Brennpunktes des Glühfadens der Glühlampe i auf dein Schlitz 2 dient. Ist dieses Gesichtsfeld eine .Oktave in der Länge, d. h. ist die längste sichtbare Wellenlänge doppelt so groß wie die Länge der sichtbaren kürzesten Welle, so wird eine Bewegung der reflektierenden Fläche io um die Hälfte einer Wellenlänge der längsten Welle die Anzahl der dunklen Streifen im Gesichtsfeld um eins erhöhen oder verringern. Dieses Gesichtsfeld kann einen solchen Teil des Spektrums zur Schau stellen oder begrenzen, daß. der Verlust oder die Zugabe eines dunklen Streifens eine Bewegung der reflektierenden Fläche io wiedergibt, die einem bestimmten Zehntel eines Zentimeters entspricht. Indem man die Größe des im Gesichtsfeld veranschaulichten oder verwendeten Spektrums verringert und dieVergrößerungskraft des Okulars 26 erhöht, kann die Empfindlichkeit des Gerätes beliebig herabgesetzt und somit verschiedenen Anforderungen angepaßt werden.
  • Das beschriebene gesamte optische System mit seiner Tragvorrichtung und seinem Gehäuse ist mittels Zahnstange und Zahnrad oder einer anderen nicht veranschaulichten Vorrichtung der Säule 27 entlang senkrecht verschiebbar. Nahe dem Boden der Säule 27 befindet sich eine Platte 28 aus Glas, Quarz, Metall oder anderem Werkstoff mit Stellschrauben 29 und einer Stellvorrichtung 3o für geringe Bewegungen in senkrechter Richtung.
  • Die obere Fläche der - Platte 28 wird parallel zur reflektierenden Fläche io eingestellt, indem man Interferenzfransen durch ein kleines Fenster in dem reflektierenden Häutchen auf der oberen Fläche des reflektierenden Kolbens io beobachtet. Das zu verwendende Eichmaß wird zwischen den reflektierenden Kolben fo und die Platte 28 gebracht, und jede geeignete Anzahl von Interferenzstreifen wird mittels der Stellvorrichtung 30 in dem Gesichtsfelde dargestellt. Der zu messende Gegenstand wird dann an Stelle des Normalmaßes angebracht, und der Längenunterschied wird durch einen Wechsel in der Anzahl der Interferenzstreifen, welche man im Gesichtsfeld erblickt, wiedergegeben.
  • Normale Eichmaße und andere Gegenstände (Endmaße) können in Lichtwellenlängen nach der Methode von Koester auch ohne Bezugnahme auf ein anderes normales Maß gemessen werden, indem man die Lichtquelle i benutzt und den Kolben io und seinen Zylinder 23 sowie das Okular 26 entfernt. Eine geringe Bewegung der Schraube 21 wird die interferierenden Strahlen außer übereinstimmung bringen und dieselben veranlassen, sich unter einemgeringen Winkel zukreuzen, so daß die gewöhnlichen Fizeau-Interferenzfransen auf dem Netz eines Okulars erzeugt werden, welches in der Öffnung des Okularrohres angebracht ist. Beobachtet man die Fizeau-Fransen, die von dem Spiegel 7 und der oberen Fläche des Meßblocks gebildet werden, so kann die Länge des Meßblocks in absoluten Einheiten bestimmt werden. Dreht man den Spiegel 7 um q.5°, wodurch der fortgepflanzte Strahl auf den Spiegel g reflektiert wird, so kann der optische Weg des fortgepflanzten reflektierten Strahles erhöht werden, so daß es möglich wird, Maße von beträchtlicher Länge in Lichtwellenlängen zu. messen.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Vorrichtung zum Messen von Längen unter Anwendung weißen Lichtes, bei welcher der weiße Lichtstrahl in zwei auf getrennten Wegen verlaufende Strahlen zerlegt wird, die wieder vereinigt werden und dabei Interferenzerscheinungen hervorrufen, dadurch gekennzeichnet, daß der durch einen Schlitz (z) und eine Linse (3) zutretende weiße Lichtstrahl durch zwei miteinander verbundene ebene parallele Platten (q., 5) in zwei Strahlen geteilt wird, von denen dem einen Strahl durch je einen drehbaren und einen festen Spiegel (7, g) eine konstante Weglänge erteilt wird, während die Weglänge des anderen Strahles mittels eines auf dem zu messenden Stück aufliegenden Kolbens (io) mit spiegelnder Oberfläche entsprechend der Länge des zu messenden Stückes veränderbar ist, worauf die genau parallel wiedervereinigten Strahlen in bekannter Weise durch ein Prisma (ii) in ein ununterbrochenes Spektrum zerlegt werden, welches durch ein Teleskop (i8) in dieBrennpunktebene (i9) gebracht wird, wo es durch ein Okular (z6) betrachtet werden kann.
DEC47647D 1933-03-12 1933-03-12 Vorrichtung zum Messen von Laengen mittels Interferenzerscheinungen unter Anwendung weissen Lichtes Expired DE617674C (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1017799B (de) * 1954-03-30 1957-10-17 Genevoise Instr Physique Verfahren und Einrichtung zur exakten Laengenmessung
DE1033448B (de) * 1953-09-04 1958-07-03 Lkb Produkter Fabriksaktiebola Osmometer
DE970724C (de) * 1955-08-07 1958-10-23 Zeiss Carl Fa Optischer Feintaster

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1033448B (de) * 1953-09-04 1958-07-03 Lkb Produkter Fabriksaktiebola Osmometer
DE1017799B (de) * 1954-03-30 1957-10-17 Genevoise Instr Physique Verfahren und Einrichtung zur exakten Laengenmessung
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