DE602006011570D1 - Piezoelektisches Vielschichtbauelement und Herstellungsverfahren dafür - Google Patents

Piezoelektisches Vielschichtbauelement und Herstellungsverfahren dafür

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Kunihiko Yoshioka
Koji Kimura
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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1753039B1 (de) * 2004-03-29 2012-10-24 Kyocera Corporation Mehrschichtiges piezoelektrisches element
US7385337B2 (en) * 2004-06-18 2008-06-10 Tdk Corporation Multilayer piezoelectric element
DE102004057795B4 (de) * 2004-11-30 2006-12-28 Siemens Ag Kontaktierung von Vielschicht-Piezoaktoren bzw. -sensoren
DE102006006077B4 (de) * 2006-02-09 2009-04-09 Continental Automotive Gmbh Piezokeramischer Vielschicht-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Vielschicht-Aktors und Einspritzsystem
US7545084B2 (en) * 2006-07-20 2009-06-09 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive ceramic composition, piezoelectric/electrostrictive device, and method of producing the same
US7855490B2 (en) * 2007-11-14 2010-12-21 Interplex Nas, Inc. Planar spring assembly with attached solder strip and method for making same
CN103094469B (zh) * 2007-12-26 2015-07-08 京瓷株式会社 层叠型压电元件、利用该元件的喷射装置及燃料喷射系统
JPWO2009125553A1 (ja) * 2008-04-11 2011-07-28 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
WO2009130863A1 (ja) * 2008-04-21 2009-10-29 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
DE102008062021A1 (de) * 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
JP2010103251A (ja) * 2008-10-22 2010-05-06 Taiheiyo Cement Corp 圧電アクチュエータ
JP2010103250A (ja) * 2008-10-22 2010-05-06 Taiheiyo Cement Corp 圧電アクチュエータ
JP2010103249A (ja) * 2008-10-22 2010-05-06 Taiheiyo Cement Corp 圧電アクチュエータ
DE102008056746A1 (de) 2008-11-11 2010-05-12 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor
WO2010057939A1 (de) * 2008-11-20 2010-05-27 Ceramtec Ag Vielschichtaktor mit aussenelektroden als metallische, poröse, dehnbare leitschicht
WO2010101056A1 (ja) * 2009-03-04 2010-09-10 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
DE102010049574A1 (de) * 2010-07-30 2012-02-02 Epcos Ag Piezoelektrischer Vielschichtaktor
JP5604251B2 (ja) * 2010-09-30 2014-10-08 太平洋セメント株式会社 圧電素子
DE102010042969A1 (de) * 2010-10-26 2012-04-26 Continental Automotive Gmbh Piezoelektrisches Bauteil mit Kontaktierung
JP5787547B2 (ja) * 2011-02-23 2015-09-30 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
WO2013065709A1 (ja) * 2011-10-31 2013-05-10 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた圧電アクチュエータ、噴射装置、燃料噴射システム
JP5842635B2 (ja) * 2012-01-27 2016-01-13 Tdk株式会社 積層型圧電素子
WO2013157452A1 (en) * 2012-04-16 2013-10-24 Canon Kabushiki Kaisha Sodium niobate powder, method for producing the same, method for producing ceramic, and piezoelectric element
DE102012020956A1 (de) * 2012-10-25 2014-04-30 Feindrahtwerk Adolf Edelhoff Gmbh & Co. Kg Drahtgelege, Piezoelement mit Drahtgelege und Herstellungsverfahren
DE102013102278A1 (de) 2013-03-07 2014-09-11 Epcos Ag Kondensatoranordnung
JP6220898B2 (ja) * 2014-01-17 2017-10-25 京セラ株式会社 積層型電子部品およびその実装構造体
JP6907493B2 (ja) * 2016-09-28 2021-07-21 ブラザー工業株式会社 アクチュエータ装置、配線部材の接続構造、液体吐出装置、及び、アクチュエータ装置の製造方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5406164A (en) * 1993-06-10 1995-04-11 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Multilayer piezoelectric element
JPH0722557A (ja) 1993-07-02 1995-01-24 Nomura Seimitsu Denshi Kk Icリードフレーム及びその部分めっき方法
JPH0722557U (ja) * 1993-09-21 1995-04-21 住友金属工業株式会社 積層型圧電部品の外部電極
JPH07226541A (ja) 1994-02-09 1995-08-22 Brother Ind Ltd 積層型圧電素子
DE19648545B4 (de) 1996-11-25 2009-05-07 Ceramtec Ag Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden
DE19715488C1 (de) * 1997-04-14 1998-06-25 Siemens Ag Piezoaktor mit neuer Kontaktierung und Herstellverfahren
JP3262048B2 (ja) * 1997-10-01 2002-03-04 株式会社村田製作所 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
DE19753930A1 (de) 1997-12-05 1999-06-10 Ceramtec Ag Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren
DE19913271A1 (de) * 1999-03-24 2000-09-28 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19928190A1 (de) 1999-06-19 2001-01-11 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19928189A1 (de) * 1999-06-19 2001-04-19 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
CN1314007A (zh) 1999-06-23 2001-09-19 罗伯特·博施有限公司 用于柴油喷射装置的带防裂设施的压电式多层致动器及制造它的方法
JP4158338B2 (ja) 2000-06-06 2008-10-01 株式会社デンソー インジェクタ用圧電体素子
DE10152490A1 (de) 2000-11-06 2002-05-08 Ceramtec Ag Außenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren
JP3964184B2 (ja) * 2000-12-28 2007-08-22 株式会社デンソー 積層型圧電アクチュエータ
JP3667289B2 (ja) * 2001-02-27 2005-07-06 京セラ株式会社 積層型圧電素子及びその製法並びに噴射装置
DE10206115A1 (de) * 2001-03-06 2002-09-19 Ceramtec Ag Piezokeramische Vielschichtaktoren sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung
JP4876467B2 (ja) * 2004-12-06 2012-02-15 株式会社デンソー 積層型圧電素子

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Publication number Publication date
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