DE602005000472T2 - Testsonde mit integriertem Schaltkreis - Google Patents

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    • H01Q13/02Waveguide horns

Description

  • Die vorliegende Erfindung eine Testsonde für eine integrierte Schaltung, die insbesondere für die Kennzeichnung der integrierten Schaltung im Hinblick auf die elektromagnetische Kompatibilität verwendet wird.
  • Die Techniken zur Kennzeichnung der Immunität der Komponenten in integrierten Schaltungen, die derzeit bekannt sind, sind in zwei Hauptgruppen zu gliedern: die so genannten Techniken mit direkter Einleitung und die so genannten Techniken mit strahlenförmiger Einleitung.
  • Die Techniken mit direkter Einleitung sind ihrerseits in zwei Haupttypen unterteilt: die Technik DPI (Direct Power Injection – direkte Stromeinleitung) und die Technik BCI (Bulk Current Injection – globale Stromeinleitung). Die Technik DPI besteht darin, eine spezifische gedruckte Schaltung für die Komponente auszuarbeiten, der Möglichkeiten der Einleitung eines Störsignals hinzugefügt werden. Dann wird geprüft, ob die Komponente im Beisein des eingeleiteten Signals gestört wird. Die Technik BCI besteht darin, ein Kabel einzusetzen, das die Funktionssignale der Komponente oder einer Karte, die mehrere Komponenten trägt, in einen Transformator transportiert. Der Transformator soll elektrische Leistung in leitende Abschnitte dieses Kabels einleiten und dadurch die Störung oder die Nicht-Störung der Komponente(n) überprüfen.
  • Die Technik DPI hat den Vorteil einer Feincharakterisierung der Suszeptibilität einer Funktion einer integrierten Schaltung zu einer lokalisierten Einleitung. Ihr Fehler besteht darin, dass sie nicht leicht eine gleichzeitig Einleitung an mehreren Eingängen einer Komponente ermöglicht. Umgekehrt ermöglicht die Technik BCI, gleichzeitig alle Zugänge einer Komponente anzugreifen. Aber die Technik BCI, die Verbindungsdrähte von einer Mindestlänge auf Grund des Volumens des Transformators verwendet, ermöglicht es nicht, in der Frequenz hoch zu steigen, in der Praxis nicht über 500 MHz.
  • Die Techniken mit strahlenförmiger Einleitung verwenden Resonanzzellen TEM (Transverse Electromagnetic Mode) oder GTEM (Gigahertz TEM) oder auch Zellen im bewegten Modus MSC (Mode Stirred Chamber), um Elektronikkarten vom Typ integrierte Schaltung zu erregen, die die Komponenten tragen.
  • Das Dokument DE-CI-195 01 329 beschreibt eine Zelle TEqM für die Charakterisierung hinsichtlich der elektromagnetischen Kompatibilität der elektrischen Geräte.
  • Oder aber diese Zellen erregen spezifische Karten, die eine zu testende Komponente tragen, um ihre Suszeptibilität unter Feld zu überprüfen. In jedem Fall erfordern diese Techniken für die Charakterisierung der Suszeptibilität einer Komponente die Herstellung einer besonderen Karte und benötigen auf Grund der relativen Entfernung der Feldquellen mit den Komponenten starke Leistungsquellen. Ferner ist die Kontrolle der tatsächlich von der Komponente empfangenen Störleistung nicht einfach bzw. zu diskutieren.
  • Die Erfindung soll somit eine Charakterisierung in situ der Suszeptibilität einer integrierten Schaltung auf sehr hohen Frequenzen ermöglichen. Sie umfasst in ihrem Prinzip eine Führungsstruktur des Störfeldes auf einer besonderen, kleinen Zone um eine Komponente, wie in Wirklichkeit vorhanden. So kann eine solche Komponente nur in ihrem eigenen Gehäuse oder auch auf einer Elektronikkarte montiert, mit der sie tatsächlich verwendet werden muss (keine spezifische Testkarte), getestet werden.
  • Die Führungsstruktur des Störfeldes gemäß der Erfindung umfasst in einem Beispiel eine global konische Struktur, die in der Verlängerung eines Koaxialkabels mit global zwei verschachtelten Kegeln oder Trichtern, in einem Praxisbeispiel zwei Konen, montiert ist. Ein zentraler metallischer Kern in Form eines geschlossenen (oder vollen) Kegels bildet gleichzeitig eine Antenne und eine Ausbreitungsmaske des funkelektrischen Feldes, das vom Kabel kommt. Ein Hüllenkegel, der vorzugsweise metallisch ist, umhüllt diesen Maskenkegel und kanalisiert das auf einer vorher ausgewählten Zone ausgebreitete Feld. Die vorher ausgewählte Zone ist eine Umfangszone der Komponente: jene, in der sich normalerweise die Anschlüsse dieser Komponente befinden. Diese Umfangszone entspricht einem Kranz, der zwischen den beiden Kegeln vorhanden ist.
  • Diese Führungsstruktur nimmt die Energie von einem Koaxialkabel auf und leitet sie strahlenförmig im Nahfeld zu der Komponente. Die elektrischen und magnetischen Felder bilden sich um den gesamten Maskenkegel und für das elektrische Feld auch zwischen dem Ende des Maskenkegels in Richtung einer Masseebene, die die Komponente trägt. Diese Felder koppeln sich mit den Kontaktstiften der Komponente oder den Schweißspuren und -kugeln (bonding im Falle der Gehäuse BGA). Die Hüllenglocke kann überdies auf beiden Seiten der gedruckten Schaltung angeordnet sein. Ihre Entwicklung erfordert eventuell nur eine geringe Aussparung um die Komponente. Vorzugsweise ist diese Aussparung mit einer Massespur ausgeführt, die mit der Masse der zu testenden Komponente verbunden ist. Diese Aussparung entspricht der Umfangskontaktzone mit der Kaltpunktglocke. Diese Aussparung kann leicht in die End- und Funktionslenkung der diese Komponente umfassenden Karte eingeschlossen werden. Die Technik ermöglicht es somit, die Suszeptibilität einer Komponente in ihrem tatsächlichen Arbeitsumfeld zu bewerten, wobei die Kopplungen mit den nahen von der Komponente untrennbaren Elementen berücksichtigt werden. unter diesen untrennbaren Elementen befinden sich eventuelle Entkopplungsmittel, Spuren, Gehäuse und dergleichen. Es ist auch möglich, eine Version des Hüllenkegels zu verwenden, die an ihrem unteren Ende isoliert ist. Diese Version gestattet eine Abstützung dieses Hüllenkegels an den nahen Komponenten an der Peripherie der zu testenden Komponente. Eine weiche leitende Schürze liegt nun auf diesen Komponenten (Entkopplungskondensatoren, Quartz, ...) auf und grenzt weiter das Feld auf der zu bestrahlenden Zone ein, aber ohne die Verwirklichung einer spezifischen Lenkung mit der Aussparung für die Masse zu erfordern.
  • Die übertragene Gesamtleistung wird mit Hilfe eines Kopplers gemessen, der mit dem Versorgungskabel der Glocke ausgerichtet ist. Der Vorteil der Technik besteht darin, keine verpflichtende Schaffung einer spezifischen Testkarte zu erfordern und die tatsächlichen Funktionsbedingungen der integrierten Schaltung zu berücksichtigen. Das Feld ist zwar in gewisse Richtungen polarisiert, aber die Hyperfrequenzstörung der Komponenten, die vor allem auf den Erfassungsphänomenen beruht, berücksichtigt nicht die relative Phase der Einleitungen von einem Eingang zum anderen. Sie berücksichtigt eher die gekoppelte Feldamplitude.
  • Die Formen der Glocken können unterschiedlich und an verschiedene Konfigurationen von gedruckten Schaltungen und Einrichtungen angepasst sein.
  • Die Erfindung betrifft somit eine Testsonde einer integrierten Schaltung, die von einer gedruckten Schaltung getragen wird, wobei die Sonde einen Generator von Funkfrequenzsignalen, eine Antenne, eine Versorgungsschaltung zur Verbindung der Antenne mit dem Generator und Mittel umfasst, um die Antenne gegenüber von Anschlüssen anzuordnen, die sich an der Peripherie einer zu testenden gedruckten Schaltung befinden, um diese Funkfrequenzsignale auf diese Anschlüsse strahlen zu lassen, dadurch gekennzeichnet, dass die Antenne einen Wellenleiter mit einem Hüllenkegel und einem Maskenkern umfasst, wobei der Hüllenkegel eine größere Öffnungsfläche als eine Ausdehnung einer Fläche eines Gehäuses der zu testenden integrierten Schaltung aufweist, wobei der Maskenkern eine Ausbreitung hat, deren eine Querschnittsfläche an der Stelle seines Endes kleiner als die Fläche eines Gehäuses der zu testenden integrierten Schaltung ist, wobei Mittel vorgesehen sind, um den Hüllenkegel an der gedruckten Schaltung und den Maskenkern innerhalb des Hüllenkegels über der Komponente anzuordnen.
  • Insbesondere kann der Maskenkegel weiter oben in dem Volumen des Hüllenkegels enden, um diverse Polarisationsfelder zu erzeugen oder Hohlraumeffekte in dem Volumen des Hüllenkegels zu nutzen. Die Kegel sind überdies nicht unbedingt von konischer Form, sie können auch eine parallelflache Form haben.
  • Die Erfindung wird durch die Studie der nachfolgenden Beschreibung und der begleitenden Figuren besser verständlich. Diese haben nur hinweisenden und keinesfalls für die Erfindung einschränkenden Charakter. Die Figuren zeigen:
  • 1: eine schematische Darstellung einer Antenne einer erfindungsgemäßen Testsonde;
  • 2: eine Vorrichtung zur Verwendung der erfindungsgemäßen Testsonde;
  • 3, 4 und 6: Ausführungsdetails eines wesentlichen Elements der erfindungsgemäßen Sonde.
  • Die 1 und 2 zeigen eine Testsonde 1 einer integrierten Schaltung 2 gemäß der Erfindung. 1 ist eine besondere Detailansicht der 2. Eine integrierte Schaltung 2 wird hier von einer gedruckten Schaltung 3 getragen. Beispielsweise ist die integrierte Schaltung 2 mit der gedruckten Schaltung 3 durch Anschlüsse 4 verbunden, von denen sie natürlich versorgt wird. Die gedruckte Schaltung 3 ist vorzugsweise eine tatsächliche gedruckte Schaltung, die dazu bestimmt ist, die Komponente 2 bei ihrer tatsächlichen Verwendung zu tragen, insbesondere eine Karte einer elektronischen Schaltung, die in ein Gerät einzusetzen ist, in dem diese integrierte Schaltung nützlich ist. Im Bedarfsfalle kann diese gedruckte Schaltung 3 eine Testschaltung sein. Dies ist aber mit der Erfindung nicht erforderlich. In diesem Fall ermöglicht es die Erfindung insbesondere, die Schaltung 2 unter tatsächlichen Verwendungsbedingungen zu testen.
  • Die Sonde 1 umfasst einen Generator 5 von Funkfrequenzsignalen. Vorzugsweise umfasst der Generator 5 eine Schaltung 6, um die Frequenz eines gesendeten Signals zu regeln, sowie eine Schaltung 7, um die Amplitude des vom Generator 5 erzeugten Signals zu regeln. Der Generator 5 ist durch eine Versorgungsschaltung 8 mit einer Antenne 9 verbunden. Die Antenne 9 bildet den wesentlichen Teil der Erfindung. Die Antenne 9 ist im Detail in 1 dargestellt. Die Antenne 9 ist gegenüber der zu testenden integrierten Schaltung 2 angeordnet. Die Antenne 9 ist insbesondere gegenüber den Anschlüssen 4 angeordnet. Auf bekannte Weise dient die Antenne 9 dazu, elektromagnetische Funkfrequenzsignale auf die Anschlüsse 4 in der Komponente 2 und in der gedruckten Schaltung 3 strahlen zu lassen, um die Funktion der integrierten Schaltung 2 zu stören, um deren Widerstandsfähigkeit gegen Störungen zu messen.
  • Erfindungsgemäß umfasst die Antenne 9 einen Wellenleiter, der ein elektrisches Feld E und ein magnetisches Funkfrequenzfeld B ausstrahlen kann. In 1 ist das elektrische Feld E dargestellt, wobei es in den Nutzteilen von einem Maskenkern 10 der Antenne 9 in Richtung eines Hüllenkegels 11 dieser Antenne 9 sowie in Richtung der gedruckten Schaltung 3 von dem Maskenkern 10 ausgehend ausgerichtet ist. Das magnetische Funkfrequenzfeld B breitet sich in dem gesamten Raum des Leiters aus und ist insbesondere an der Stelle der Anschlüsse 4 in die Richtungen senkrecht auf diese An schlüsse ausgerichtet. Es könnte aufgezeigt werden, dass der so gebildete Wellenleiter im Nahfeld die elektrischen und magnetischen Felder auf der integrierten Schaltung 2 ausbreitet. Folglich sind die Ausrichtungen dieser Felder nicht völlig stabilisiert. Die Ausrichtung des Feldes B ist fluktuierend, so dass während eines erheblichen Zeitabschnitts das Feld B sehr wohl einen gewünschten störenden Einfluss auf die Anschlüsse 4 ausübt.
  • Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, mit dem Maskenkern 10 einen Wellenleiter zu bilden, so dass nur ein Raum 12, in dem sich die Anschlüsse 4 befinden, von dem funkelektrischen Funkfrequenzfeld erregt wird. Der Raum 12 ist der Raum, der sich im Inneren des Hüllenkegels 11 zwischen diesem Hüllenkegel 11 und dem Maskenkern 10 befindet. Aus diesem Grund hat der Hüllenkegel 11 eine größere Öffnungsfläche 13 als eine Ausdehnung 14 der zu testenden integrierten Schaltung 3 und ihrer Anschlüsse. So weit als möglich kann vorgesehen werden, dass der Hüllenkegel 11 mit einer Masseumfangsschaltung 15 an der Komponente 2 in Kontakt tritt, die auf der gedruckten Schaltung 3 verwirklicht ist. Jedoch diese Anordnung ist nicht unbedingt notwendig, es reicht nur aus, wenn der Hüllenkegel 11 eine größere Ausdehnung als die Anschlüsse 4 hat, um sie nicht zu berühren.
  • Der Maskenkern 10 hingegen besitzt eine Ausbreitung 16, deren eine Querschnittsfläche an der Stelle seines Endes auf der Komponente 2 kleiner als die Ausdehnung 14 der Fläche eines Gehäuses der zu testenden integrierten Schaltung 2 ist.
  • Wie der Hüllenkegel an die gedruckte Schaltung 3 angelegt wird, wird der Maskenkern 10 an der Komponente im Inneren des Hüllenkegels angeordnet. Der Hüllenkegel 11 und der Maskenkern 10 sind mit der Versorgungsschaltung 8 verbunden. In einem Beispiel umfasst diese Versorgungsschaltung 8 ein Koaxialkabel mit einem Kern 17 und einem äußeren Masseleiter 18, im Allgemeinen einer Litze. Der Maskenkern 10 ist mit dem Mittelleiter 17 verbunden, der Hüllenkegel 11 ist mit der Litze 18 verbunden.
  • Auf diese Weise wird die Entwicklung des funkelektrischen Feldes in dem Raum 12 eingegrenzt, insbesondere jenem, in dem sich die Anschlüsse 4 befinden. Im Bedarfsfall kann der Hüllenkegel 11 durch einen zweien Kegel 19 von symmetrischer Form zum ersten ergänzt werden, der gegenüber der gedruckten Schaltung 3 angeordnet ist. Dadurch wird in jedem Fall die gedruckte Schaltung 3, die mit ihrer integrierten Schaltung 2 versehen ist, in eine Last für das strahlenförmige Feld umgewandelt. Da sich das strahlenförmige Feld nicht in dem gesamten Raum sondern nur zwischen dem Maskenkern 10 und dem Hüllenkegel 11 an der Stelle der Anschlüsse 4 bildet, ist es wesentlich wichtiger und wesentlich störender (was das angestrebte Ziel ist), als wenn der Maskenkern 10 nicht vorhanden gewesen wäre und wenn sich das elektrische Feld frei im Raum hätte bilden können.
  • Um den Hüllenkegel 11 an die gedruckte Schaltung 3 gleichzeitig mit dem Maskenkern 10 an der Komponente 2 anzulegen, kann vorgesehen werden, dass der Maskenkern an seiner Spitze ein Loch besitzt, durch das elastisch mit einem Freiheitsgrad in Translation der Kern 17 des Koaxialkabels eindringt, um die Höhenunterschiede der Oberseiten der Komponenten 2 auf der gedruckten Schaltung 3 zu berücksichtigen. In der Praxis kann es während des Tests ausreichen, das Koaxialkabel 1718 mit der Hand über der gedruckten Schaltung während der Messungen zu halten, um das Ergebnis zu erzielen. Mit anderen Worten wird eine komplementäre Struktur zum Betätigen und Halten vorgesehen.
  • Natürlich sind der Hüllenkegel 11 und der Maskenkern 10 vorzugsweise mit den Strom leitenden Flächen ausgebildet. Jedoch es wäre möglich, einen von ihnen oder auch beide mit Materialien mit sehr unterschiedlicher Luftpermittivität herzustellen, so dass das befürwortete Wellenleiterphänomen wirksam zur Geltung kommt.
  • In 4 ist der Maskenkern 10 zu sehen, der von einem Blech gebildet ist und eine an seiner Basis durch eine metallische, mit den Seiten kontinuierliche Fläche geschlossene konische Form aufweist. In diesem Beispiel besitzt der Maskenkern 10 eine kreisförmige Ausbreitung, deren Durchmesser ungefähr 12,3 mm beträgt. Der Maskenkern 10 umfasst auch an seiner Spitze 20 ein Loch, das an seinen Wänden metallisiert ist und es ermöglicht, einen Kern eines Koaxialkabels einzuführen und darin diesen Kern zu verschweißen. Als Variante ist der Maskenkern 10 aus einem vollen metallischen Material hergestellt. Wenn er aus Blech ist, kann das Loch 20 an seinem inneren Ende durch einen metallischen Stöpsel verschlossen werden oder nicht.
  • Wie der Maskenkern 10 vorzugsweise aus einem Stück hergestellt ist, ist der Hüllenkegel 11 vorzugsweise aus zwei Halbschalen gebildet, die in 3 dargestellt sind. In einem Beispiel sind diese beiden Halbschalen durch Formguss oder Stanzen hergestellt. Jede Halbschale umfasst einen Mantel 21 von halbkonischer Form, der auf eine Umdrehungsachse 22 zentriert ist. Der Mantel 21 ist an seiner Basis mit einer Schürze 23 von zylindrischer Kreisform um die Achse 22 verbunden. Über dem Mantel 21 ist ein massiver Hals 24 von zylindrischer Außenform und konischer Innenform um die Achse 22 montiert.
  • 5 zeigt im Schnitt jede der Halbschalen, die in 3 dargestellt sind. Die Halbschalen weisen an der Stelle des massiven Halses 24 Anlegeflächen 25 und 26 auf. In einem Beispiel ist die Fläche 25 mit einer Bohrung 27 durchbohrt, während die Fläche 26 ein nicht durchgehendes Gewinde 28 aufweist. Es könnte allerdings durchgehend sein. Die Bohrung 27 umfasst ausgehend von der zylindrischen Wand 29 des Halses ein Loch 30, das größer ist als die Bohrung 27. Dieses Loch 30 ermöglicht es, einen Kopf einer in der Bohrung 27 gleitenden Schraube zu halten, die in das Gewinde 28 der anderen Halbschale, die an die Flächen 25 und 26 angelegt ist, geschraubt wird. Der Hals 24 umfasst auch an seiner Spitze eine halbe kreisförmige Öffnung 31 in Form einer halben Wanne. Die halbe Öffnung 31 ist dazu bestimmt, die Litze 18 des Koaxialkabels, die zur Versorgung der Sonde dient, einzuschließen.
  • Die Tatsache, dass Halbschalen verwendet werden, ermöglicht es, bei einer selben Größe des Maskenkerns eventuell Hüllenkegel von unterschiedlicher Größe und Form in Abhängigkeit vom Platzbedarf oder der Ausdehnung einer zu testenden integrierten Schaltung anzupassen.
  • Wie die bisher gezeigten Formen konisch ausgeführt sind, wäre es auch möglich, Formen mit Ausbreitungen zu verwenden, deren Basisquerschnitt nicht kreisförmig, sondern eventuell rechteckig, quadratisch oder dergleichen ist, in Abhängigkeit von der Form der zu testenden integrierten Schaltungen. Natürlich können die in den 3 und 4 angeführten Zahlenangaben an die Größe der zu testenden integrierten Schaltungen angepasst werden. Die Halbschalen sind beiderseits einer durch die Achse 22 gehenden Ebene ausgebildet. Sie sind zu dieser Ebene symmetrisch. Die halbe Öffnung 31 ist metallisiert, um einen guten Kontakt auf der Litze 18 zu gewährleisten.
  • In 6 ist als Variante die Schürze 23 in Form eines verformbaren und leitenden metallischen Gewebes hergestellt. Dieses metallische Gewebe, das an den metallischen Mantel 21 angeschlossen ist, kanalisiert das Feld. Wenn eine Masseaussparung nicht auf der gedruckten Schaltung, die die zu testende integrierte Schaltung trägt, ausgeführt ist, ist der untere Rand der Gewebeschürze 23 mit einer Isolierdichtung 38, beispielsweise aus Gummi und beispielsweise abnehmbaren Typs, versehen. Das Profil der Dichtung 38 ist U-förmig. Der Abstand der Schenkel des U ist eng genug, um die Dichtung 38 durch Elastizität an der Basis der Schürze, an der sie im Eingriff steht, zu halten.
  • Die Funktion der erfindungsgemäßen Sonde ist folgende. In 1 werden mit dem Generator 5 und mit Hilfe der Antenne 9 elektromagnetische Signale dazu verwendet, um die Funktion der integrierten Schaltung 2, die durch eine Steuer- und Kontrollschaltung 32 in Betrieb gesetzt wird, zu stören. Diese Schaltung ist beispielsweise eine Schaltung von dem Typ jener, die in dem Dokument US-B1-6 400 164 beschrieben ist. Die Kontrollschaltung 32 ist überdies in der Lage, den Antwortfehler der integrierten Schaltung 2 bei einer Belastung der integrierten Schaltung 2 zu messen. Ein Zähler 33 dient dazu, die Anzahl von Fehlern, die in der integrierten Schaltung 2 zum Zeitpunkt dieser Störungen auftreten, zu messen.
  • Die Versorgungsschaltung 8 umfasst überdies vorzugsweise einen Koppler 34 mit 3 dB mit zwei Abzweigungsausgängen 35 und 36. Der Ausgang 35 ermöglicht es, die tatsächliche eintreffende Leistung Pi zumessen, die von der Antenne 9 an die Anschlüsse 4 angelegt wird. Der Ausgang 36 ermöglicht es, die reflektierte Leistung Pr auf Grund des Anpassungsfehlers an die Impedanz, die für die von der integrierten Schaltung 2 gebildete Last charakteristisch ist, zu messen. Auf diese Weise ist es möglich, durch Subtrahieren der reflektierten Leistung von der eintreffenden Leistung, in einem Messgerät 37 die tatsächliche Störleistung zu messen, die von den Anschlüssen 4 und der integrierten Schaltung 2 zum Zeitpunkt des Tests aufgenommen wird. Mit Hilfe des Messgeräts 37 kann insbesondere beurteilt werden, ob es angemessen ist, den zweiten Hüllenkegel 19 symmetrisch zum ersten Hüllenkegel 11 auf der anderen Seite der gedruckten Schaltung 3 anzuordnen oder nicht.

Claims (9)

  1. Testsonde (1) einer integrierten Schaltung (2), die von einer gedruckten Schaltung (3) getragen wird, wobei die Sonde einen Generator (5) von Funkfrequenzsignalen, eine Antenne (9), eine Versorgungsschaltung (8), um die Antenne mit dem Generator zu verbinden, und Mittel umfasst, um die Antenne gegenüber von Anschlüssen (4) anzuordnen, die sich an der Peripherie einer zu testenden integrierten Schaltung befinden, um diese Funkfrequenzsignale an diesen Anschlüssen strahlen zu lassen (E, B), dadurch gekennzeichnet, dass die Antenne einen Wellenleiter mit einem Hüllenkegel (11) und einem Maskenkern (10) umfasst, wobei der Hüllenkegel eine größere Öffnungsfläche (13) als eine Ausdehnung einer Fläche (14) eines Gehäuses der zu testenden integrierten Schaltung hat, wobei der Maskenkern eine Ausbreitung (16) hat, deren eine Querschnittsfläche an der Stelle ihres Endes kleiner als die Fläche eines Gehäuses der zu testenden integrierten Schaltung ist, wobei Mittel vorgesehen sind, um den Hüllenkegel an der zu testenden integrierten Schaltung und den Maskenkern im Inneren des Hüllenkegels über der Komponente anzuordnen.
  2. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Hüllenkegel und der Maskenkern von den Strom leitenden Flächen gebildet sind.
  3. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Maskenkern eine geschlossene Glocke oder eine Führungsstruktur des Feldes und ein Anschlussmittel (20) an einen inneren Leiter (17) eines Koaxialkabels der Versorgungsschaltung umfasst.
  4. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Hüllenkegel aus zwei Halbschalen besteht, die zueinander und zu einer Ebene, die durch eine große Umdrehungsachse (22) des Hüllenkegels geht, symmetrisch sind.
  5. Sonde nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass jede Halbschale des Hüllenkegels eine halbe metallisierte Wanne (31) umfasst, um einen externen Leiter (18) eines Koaxialkabels der Versorgungsschaltung aufzunehmen.
  6. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Generator (5) von funkelektrischen Signalen, der hinsichtlich der Frequenz (6) und der Leistung (7) einstellbar ist, eine Versorgungsschaltung, die mit einem Koppler (34) versehen ist, wobei der Koppler dazu dient, einen Teil eines von der Versorgungsschaltung übertragenen Signals und einen Teil eines an der Stelle der integrierten Schaltung reflektierten Signals zu entnehmen (35, 36), und ein Messgerät (37) zum Messen einer tatsächlich absorbierten Leistung umfasst.
  7. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen zweiten Hüllenkegel (19) umfasst, der symmetrisch zum Hüllenkegel auf der anderen Seite der gedruckten Schaltung, die die Komponente trägt, angeordnet ist.
  8. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Hüllenkegel eine Schürze aus metallischem Gewebe umfasst, die an ihrem unteren Rand mit einer abnehmbaren Isolierdichtung (38) beispielsweise aus Gummi versehen ist.
  9. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Hüllenkegel mit einer Masseebene der gedruckten Schaltung in Kon takt ist oder auf nahen Komponenten der getesteten integrierten Schaltung aufliegt.
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