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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen mikromechanischen elektrostatischen
Vibrator und insbesondere betrifft sie eine Struktur eines mikromechanischen
elektrostatischen Vibrators, die geeignet ist für einen Hochfrequenzvibrator
mit einem Schwingkörper,
der auf einem Substrat unter Verwendung einer mikro-elektromechanischen
System-(MEMS)-Technik gebildet ist.
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In
der letzten Zeit hat sich eine weltweit hoch entwickelte Informationsgesellschaft
gebildet, und Kommunikations- und Multimediamärkte entwickeln sich schnell.
Zum Beispiel hat sich das zellulare Mobiltelefon ausgebreitet, und
es entstehen neue Betriebe, die das Internet als Medium verwenden.
Das zellulare Telefon, das als eine Antriebskraft des Informationszeitalters
angesehen wird, hat zahlreiche Funktionen über die einfache Funktion eines
Telefons hinaus. Zum Beispiel entwickelt sich das zellulare Mobiltelefon,
um zusätzlich
zu Sprache, Zeichen und Bildern mit hoher Geschwindigkeit große Datenmengen
wie etwa Musik von hoher Qualität
oder bewegte farbige Bilder zu senden und zu empfangen. Um solche
Funktionen, die bislang nicht existierten, an dem zellularen Mobiltelefon
oder dergleichen unterzubringen, sind "Miniaturisierung und geringes Gewicht" von elektronischen
Komponenten aufgrund gegenwärtiger
Platzbeschränkungen
erforderlich. Eine Tendenz, das Gehäuse des zellularen Mobiltelefons
zu miniaturisieren, stößt wegen
funktioneller Beschränkungen
auf Grenzen, und es wird angenommen, dass in der Zukunft erhöhter Bedarf
bestehen wird, die Geräte
dünner
zu machen. In jüngster
Zeit tritt eine drastische Nachfrage auf einem Markt für "Hochfrequenz" für Breitbandinformation
auf. Zum Beispiel hat sich schnurloses LAN verbreitet, Bluetooth-Produkte
sind aufgekommen, und die öffentliche
Nutzung von UWB (Ultra Wide Band, Ultrabreitband) ist in den Vereinigten
Staaten von Amerika genehmigt. Außerdem wird ein Kommunikationsgerät in vielen
Gebieten wie etwa als Kraftfahrzeugsensor, Notebook-Computer usw.
verwendet. Um hohe Leistung unter so diversen Umgebungen aufrecht
zu erhalten, ist eine bisher nicht existierende "hohe Zuverlässigkeit" gefordert.
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Als
ein Mittel zum Erfüllen
diverser der oben beschriebenen Anforderungen wird beispielhaft
die MEMS-(Micro Electro Mechanical System)-Technologie genannt.
MEMS ist eine Komponente mit hohem Mehrwert, die durch "Mikrobearbeitung" basierend auf Halbleiterfeinbearbeitungstechniken
erzeugt wird. Zusammen mit einer Schaltung können eine Feinstruktur, ein
Sensor, ein Aktuator oder eine Energiequelle in geringer Größe integriert
werden. Die Nachfrage für
schnurlose Geräte
wie etwa das zellulare Mobiltelefon, schnurloses LAN, schnurlos
montierte Sensoren nimmt zu, und es werden zunehmend Untersuchungen über Hochfrequenz-MEMS
auf diesem Gebiet unternommen. Hochfrequenz-MEMS erregt Aufmerksamkeit
als eine Technik, die die Miniaturisierung von Hochfrequenzschaltungen
realisiert. Das heißt,
passive Komponenten einer Hochfrequenzschaltung wie etwa ein antennenschaltbarer Schalter,
ein Hochfrequenzfilter oder ein Resonator werden unter Verwendung
der Hochfrequenz-MEMS-Techniken hergestellt, und es wird erwartet,
dass dies zu einer Miniaturisierung eines Kommunikationsgeräts bei hoher
Leistung führt.
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Ein
Hochfrequenzvibrator, der eine herkömmliche Hochfrequenz-MEMS-Technik
verwendet, umfasst einen mikromechanischen elektrostatischen Vibrator
(im folgenden einfach als ME-Vibrator bezeichnet), in dem die mechanische
Schwingung eines Schwingkörpers
durch eine elektrostatische Kraft auf Grundlage von Wechselstromenergie
angeregt wird und eine Änderung
der Kapazität
aufgrund der mechanischen Schwingung des Schwingkörpers genutzt
wird. Als ME-Vibrator ist ein kamm-zahn-förmiger Vibrator bekannt, bei
dem Elektroden mit einer Kamm-Zahn-Struktur entgegengesetzt und
ineinander eingreifend angeordnet sind (siehe zum Beispiel [1] William
C. Tang et al., "Laterally
Driven Resonant Microstructures",
Sensors and Actuators, 20 (1989) Seite 25 bis 33). Da bei diesem
Vibrator der Elektrodenabschnitt eine Kamm-Zahn-Struktur hat, ist
die Oberfläche
groß,
und eine relativ niedrige Antriebsspannung wird verwendet. Da außerdem die
Verschiebung und die Kapazitätsänderung
in linearer Beziehung stehen, wird vorteilhafterweise eine lineare
Antwort erhalten.
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Ferner
wird gegenwärtig
ein Vibrator vorgeschlagen, bei dem Elektroden auf der linken und rechten
Seite oder der oberen und unteren Seite eines Balkenabschnitts vorgesehen
sind und die Wechselspannungsenergie den Elektroden so zugeführt wird,
dass der Schwingkörper,
von dem beide Enden durch den Balkenabschnitt unterstützt sind, schwingt
(siehe zum Beispiel [2] W.-T. Hsu et al., "Q-Optimized
Lateral Free-Free Beam Micromechanical Resonators", Digest of Technical
Papers, The 11th International Conference on Solid-State Sensors
and Actuators (Transducers '01),
München, Deutschland,
10.-14. Juni 2001, Seiten 1110 bis 1113).
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Außerdem ist
ein Vibrator bekannt, bei dem ein Paar von Elektroden entgegengesetzt
zueinander an beiden Seiten eines äußeren Umfangsabschnitts einer
Scheibe angeordnet sind, deren Mittelabschnitt unterstützt ist,
und die Wechselspannungsenergie den Elektroden so zugeführt wird,
dass die Scheibe in einem Streckmodus hoher Ordnung schwingt (siehe
zum Beispiel [3] J.R. Clarke et al., "High-Q VHF Micromechanical Contour-Mode
Disk Resonators", Technical
Digest, IEEE Int. Electron Devices Meeting, San Francisco, Kalifornien,
11.-13. Dezember 2000, Seiten 399 bis 402).
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Unter
den diversen oben beschriebenen ME-Vibratoren wird bei dem ME-Vibrator
mit einer Kamm-Zahn-Elektrodenstruktur,
deren beide Enden durch den Balkenabschnitt und andere bewegliche Abschnitte
unterstützt
sind, Vibration durch die Biegung des Balkenabschnitts verursacht.
Dieser wird daher als ein Biegemodus-(Biegeschwingungs-)Vibrator
bezeichnet. Bei dem ME-Vibrator, bei dem ein Paar von Elektroden
einander gegenüber
an beiden Seiten der Scheibe angeordnet sind, wird die Streckschwingung
der Scheibe benutzt. Er wird daher als Streckmodus-(Streckschwingungs-)-Vibrator
bezeichnet.
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Bei
dem Biegemodus-ME-Vibrator ist es möglich, den Vibrationshub zu
vergrößern, und
es ist möglich,
eine hohe Ausgangsspannung bei relativ niedriger Antriebsspannung
zu erreichen. Da aber eine realisierbare Schwingfrequenz normalerweise
in einem niedrigen Bereich von einigen zehn kHz bis Hunderten kHz,
insbesondere maximal einige MHz liegt, besteht ein Problem darin,
dass eine höhere Frequenz
des Schwingkörpers
schwierig ist.
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Bei
dem ME-Vibrator mit der oben erwähnten herkömmlichen
kamm-zahn-förmigen
Struktur wird durch Anpassen der kamm-zahn-förmigen Struktur die Kapazität zwischen
einer Antriebselektrode und einer beweglichen Elektrode groß. Ferner
werden durch Verwendung der kamm-zahn-förmigen Struktur planare Projektionsflächen der
Antriebselektrode und der beweglichen Elektrode groß, so dass
die Kapazität
zwischen den Elektroden und dem Substrat zunimmt.
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Außerdem existiert
eine Kapazität
zwischen Verdrahtungsabschnitten oder Verbindungsanschlüssen (Bonding
Pads), die leitfähig
mit den Elektroden verbunden sind, und dem Substrat. Dies ist nicht
auf den Vibrator mit der kamm-zahn-förmigen Struktur beschränkt. Da
es aufgrund des zunehmenden Widerstandes einer Verdrahtungsleitung
oder einer Leitungsverbindung schwierig ist, eine Feinstruktur zu
schaffen, wird die Kapazität
relativ groß,
wenn die Elektrodenstruktur des ME-Vibrators fein aufgebaut ist.
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Jede
der Kapazitäten
hat eine normale Komponente, die nicht von der beweglichen Elektrode
abhängt,
aber eine Änderungskomponente
der Kapazität
aufgrund einer planaren Gleitbewegung der beweglichen Elektrode
ist beträchtlich
kleiner als die normale Komponente der Kapazität. D.h. die Änderungskomponente
der Kapazität,
die sich aufgrund der beweglichen Elektrode ändert, trägt zu einer Ausgangswirkung
des elektrostatischen Vibrators bei, aber das Verhältnis der Änderungskomponente
der Kapazität
zu der normalen Komponente ist klein. Um ein effektives Ausgangssignal
von dem elektrostatischen Vibrator zu bekommen, muss daher die Antriebsspannung
erhöht
werden. So ist es schwierig, für
niedrige Spannung und niedrigen Energieverbrauch zu konstruieren.
Dies ist ein ernsthaftes Hindernis für den praktischen Einsatz und
die Kommerzialisierung von Produkten.
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Beim
Konstruieren für
hohe Frequenz ist der elektrostatische Streckmodus-Vibrator am meisten bevorzugt,
und der oben erwähnte
scheibenförmige Vibrator
ist effektiv als Hochfrequenzvibrator konstruierbar. Da aber der
Streckmodus-Vibrator eine kleine Schwingbewegung (Amplitude) hat,
wird auch das Ausgangssignal klein. Um die Schwingbewegung zu vergrößern, muss
die elektrostatische Kraft erhöht werden.
Daher muss die Eingangsspannung, die den Elektroden zugeführt wird,
erhöht
werden. Das heißt, es
ist ebenfalls schwierig, das Verhältnis der Ausgangsspannung
zur Eingangsspannung zu steigern. Daher ist es schwierig, für niedrige
Spannung und niedrigen Energieverbrauch zu konstruieren.
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Um
für hohe
Frequenz zu konstruieren, ist es bei diesem Vibrator ferner erforderlich,
die Dicke des plattenförmigen
Vibrationskörpers
zu vergrößern oder
den Radius der Plattenform zu verringern. Um die Dicke des Schwingkörpers zu
vergrößern, ist
eine lange Prozesszeit bei der Herstellung erforderlich, so dass
der Erhöhung
der Dicke des Schwingkörpers Grenzen
gesetzt sind. Wenn die Plattenform klein wird, ist es außerdem sehr
schwierig, die Änderung der
Kapazität
zu erfassen. Somit ist es schwierig, das Ausgangssignal herauszuführen. Außerdem ist
die Antriebsspannung erhöht,
und das Verhältnis
einer Oberfläche,
die der Trägerabschnitt
belegt, zum Schwingkörper
nimmt zu. Daher tritt das Problem auf, dass der Verlust zunimmt.
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WO
02/17482 A2 offenbart einen mikromechanischen elektrostatischen
Vibrator vom im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Typ. Dieser bekannte
mikromechanische elektrostatische Vibrator umfasst einen plattenförmigen Schwingkörper, ein Paar
von Erregerelektroden, die einander gegenüberliegend an entgegengesetzten äußeren Umfangsabschnitten
des Schwingkörpers
mit einem Spalt zwischen jeder Erregerelektrode und dem entsprechenden äußeren Umfangsabschnitt
des Schwingkörpers angeordnet
sind, Speisemittel zum Anlegen von Wechselspannungsenergie in Phase
an das Paar von Erregerelektroden und Erfassungsmittel zum Erhalten
einer Ausgangsspannung entsprechend einer Kapazitätsänderung
zwischen dem Schwingkörper und
den Erregerelektroden, die aus einer durch die Wechselspannungsenergie
erregten Schwingung des Schwingkörpers
resultiert.
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US 6 369 374 B1 offenbart
einen Filter, der einen mikromechanischen Resonator enthält. Der Resonator
umfasst eine Membran, die elektrisch erregt wird, um sich zu bewegen
und dadurch ihren Abstand zu einer reflektierenden Oberfläche in dem
Resonator zu ändern.
Dies ändert
die Reflektivität
des Resonators, die mit optischen Mitteln aufgefangen wird.
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Die
vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die obigen Probleme zu lösen, und
es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, einen mikromechanischen
elektrostatischen Vibrator und ein Verfahren zu dessen Herstellung
zu schaffen, die im Vergleich zum Stand der Technik die Konstruktion
für eine
höhere
Frequenz ermöglichen.
Ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ist, einen solchen mikromechanischen
elektrostatischen Vibrator anzugeben, der ein großes Verhältnis von
Ausgangsspannung zu Eingangsspannung sowie eine niedrige Antriebsspannung
und einen geringen Energieverbrauch hat.
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Dieses
Ziel wird erreicht durch einen mikromechanischen elektrostatischen
Vibrator nach Anspruch 1. Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind
Gegenstand der abhängigen
Ansprüche.
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Als
Ergebnis ernsthafter Untersuchung wird bestätigt, dass es möglich ist,
Hochfrequenz zu erzielen, indem die planare Form des plattenförmigen Schwingkörpers zu
einer Form mit einem gekrümmten
Umriss gemacht wird, der Halsabschnitte umfasst, im Gegensatz zum
Fall eines herkömmlichen Schwingkörpers, bei
dem eine kreisrunde planare Form verwendet wird. So ist es möglich, für hohe Frequenz
zu konstruieren, ohne die Dicke des Schwingkörpers zu erhöhen oder
den Radius des Schwingkörpers
zu verringern. Im Ergebnis ist es möglich, einen Hochfrequenzvibrator
einfach zu realisieren, ohne die Herstellungszeit zu erhöhen und
das effektive Ausgangssignal zu verringern.
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Bei
der vorliegenden Erfindung umfasst der Umriss der planaren Form
des Schwingkörpers
vorzugsweise Kreisbogenabschnitte und die Halsabschnitte, wobei
beide Enden eines jeden der Halsabschnitte zwischen den Kreisbogenabschnitten
glatt verbunden sind. Da bei dieser Konstruktion ein gewinkelter
Abschnitt in der Kontur des Schwingkörpers nicht vorhanden ist,
ist es möglich,
eine stabile natürliche
Schwingung zu erhalten und den Verlust der Schwingungsenergie zu
verringern und dabei, wie oben beschrieben, eine höhere Frequenz
zu realisieren. In diesem Fall muss der Kreisbogenabschnitt nicht
notwendigerweise exakt ein Kreisbogen sein. Solange der Kreisbogenabschnitt
insgesamt bogenförmig
ist, kann es ein elliptischer Bogen sein oder es kann ein Bogen
sein, dessen Krümmung
sich allmählich ändert. Allerdings
ist die planare Form des Schwingkörpers vorzugsweise eine zu
dem Elektrodenpaar symmetrische Form (zum Beispiel Liniensymmetrie,
von der eine Symmetrieachse eine vertikale Halbierende eines Liniensegments
ist, das die Mittelabschnitte des Paars von Elektroden verbindet.
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In
der vorliegenden Erfindung ist der Schwingkörper vorzugsweise durch einen
Trägerabschnitt
unterstützt,
der auf einem Substrat gebildet ist, und ist in einer Form konstruiert,
die in der Nähe des
Unterstützungsabschnitts
gestreckt ist. Indem dieser Konstruktion zufolge der Schwingkörper durch den
Trägerabschnitt
unterstützt
ist und in der Nähe des
Trägerabschnitts
eine gestreckte Form hat, ist es möglich, den Einfluss des Trägerabschnitts
auf eine Streckschwingung zu verringern, und es ist möglich, entsprechend
der planaren Form des Schwingkörpers
Hochfrequenz leicht zu realisieren. Hier ist das Substrat vorzugsweise
aus einem Isolator gefertigt. So ist es möglich, den Einfluss einer Störkapazität zwischen
der Vibratorstruktur und dem Substrat zu verhindern.
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In
der vorliegenden Erfindung ist der Schwingkörper vorzugsweise aus einer
Siliziumschicht oder einer Siliziumverbundschicht (einem in einem
IC-Prozess zu verwendenden Film, zum Beispiel PolySi, SiN oder dergleichen)
gebildet, der auf einem Siliziumsubstrat aufgebaut ist, das als
Substrat dient. Indem gemäß diesem
Aufbau der Schwingkörper
aus der Siliziumschicht auf dem Siliziumsubstrat aufgebaut wird,
ist es möglich,
den Vibrator durch einen herkömmlichen
Siliziumhalbleiter-Fertigungsprozess
bequem zu schaffen.
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In
der vorliegenden Erfindung ist der Schwingkörper vorzugsweise ein plattenförmiger Körper, von
dem ein Mittelabschnitt unterstützt
ist. Gemäß dieser
Konstruktion ist es möglich,
den Schwingkörper
effektiv im Streckmodus mit dem Mittelabschnitt als Angelpunkt schwingen
zu lassen. Ferner ist es aufgrund des plattenförmigen Körpers möglich, den Hub der Streckschwingung
weiter zu vergrößern. Indem
der Schwingkörper
als plattenförmiger
Körper
ausgeführt
wird, wird es möglich,
den Schwingkörper
auf sehr einfache Weise durch einen Dünnschichtprozess wie etwa einen
Halbleiter-Fertigungsprozess zu fertigen.
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Bei
der vorliegenden Ausgestaltung ist vorzugsweise ein Paar von Erregerelektroden
an beiden Seiten des Schwingkörpers
mit zwischen ihnen angeordnetem Schwingkörper angeordnet. Da gemäß diesem
Aufbau die elektrostatische Kraft auf den Schwingkörper von
beiden Seiten desselben einwirken kann, ist es möglich, eine Erregung der Streckschwingung
effizienter durchzuführen.
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Außerdem sind
bei jeder der oben erwähnten Ausgestaltungen
der Schwingkörper,
die Erregerelektrode, die zweite Erregerelektrode und anderes vorzugsweise
auf einem Substrat gebildet. Insbesondere wenn das Substrat aus
einem Halbleitersubstrat gebildet ist, kann eine Halbleiterschaltung
einteilig mit dem Vibrator konstruiert werden. Hier ist das Substrat
vorzugsweise aus einem Isolator gefertigt. Daher ist es möglich, den
Einfluss der Störkapazität zwischen
der Vibratorstruktur und dem Substrat zu vermeiden.
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Außerdem ist
bei jeder der oben erwähnten Ausgestaltungen
vorzugsweise vorgesehen, dass eine Verdrahtungsschicht leitfähig mit
dem Schwingkörper
oder der Erregerelektrode verbunden ist und ein Abstand von der
Verdrahtungsschicht zum Substrat größer ist als ein Abstand vom
Schwingkörper oder
der Erregerelektrode zum Substrat. Da dieser Ausgestaltung zufolge
der Abstand von der Verdrahtungsschicht zum Substrat größer ist
als der Abstand vom Schwingkörper
oder der Erregerelektrode zum Substrat, ist es möglich, die zwischen der Verdrahtungsschicht
und dem Substrat erzeugte Kapazität zu verringern. So werden
die normalen Komponenten der Kapazität klein, und es ist möglich, den
Anteil der aus der Schwingung resultierenden Änderungskomponenten der Kapazität insoweit
zu vergrößern. Als
Ergebnis ist es möglich,
die Ausgangseigenschaften des elektrostatischen Vibrators zu verbessern
und eine Antriebsspannung zu verringern.
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Dabei
bedeutet Verdrahtungsschicht eine Schicht, die eine leitfähige Verbindung
zum Zuführen eines
Potenzials zum Schwingkörper
oder der Erregerelektrode oder zum Herausführen eines Signals von dem
Schwingkörper
oder der Elektrode bildet, zum Beispiel einen Verdrahtungsabschnitt,
einen Verbindungsanschluss (Bonding Pad) oder dergleichen in nachfolgend
zu beschreibenden Ausgestaltungen. In Schwingkörper und Erregerelektrode kann der
Schwingkörper
beweglich konstruiert sein, so dass die elektrostatische Kraft zwischen
dem Schwingkörper
und der Erregerelektrode erzeugt werden kann.
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Bei
der vorliegenden Ausgestaltung ist die Verdrahtungsschicht vorzugsweise
auf einer isolierenden Schicht gebildet, die von dem Substrat weiter beabstandet
ist als eine Oberfläche,
auf der der Schwingkörper
oder die Elektrode geformt werden sollen. Da gemäß dieser Konstruktion die Verdrahtungsschicht
auf der isolierenden Schicht gebildet ist, ist es möglich, bequem
und sicher die Verdrahtungsschicht an einer Position bereit zu stellen,
die weiter vom Substrat entfernt ist als der Schwingkörper oder die
Erregerelektrode.
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In
diesem Fall ist der Schwingkörper
oder die Erregerelektrode vorzugsweise auf einer Oberfläche des
auf dem Substrat gebildeten Isolators konstruiert, und die isolierende
Schicht hat eine niedrigere dielektrische Konstante als der Isolator.
Dadurch ist es möglich,
die Kapazität
zwischen der Verdrahtungsschicht und dem Substrat im Vergleich zu
einem Fall, bei dem die isolierende Schicht und der Isolator die
gleiche dielektrische Komponente haben (zum Beispiel im Fall, dass
sie als die gleiche isolierende Schicht ausgebildet sind) oder einem
Fall, in welchem die isolierende Schicht eine höhere Dielektrizitätskonstante
als der Isolator hat, zu verringern.
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Die
isolierende Schicht ist ferner vorzugsweise ein poröser Film.
Da dieser Konstruktion zufolge die isolierende Schicht aus dem porösen Film
besteht, ist es möglich,
die Dielektrizitätskonstante
der isolierenden Schicht zu verringern. So ist es möglich, die
Kapazität
zwischen der Verdrahtungsschicht und dem Substrat weiter zu verringern.
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Bei
der vorliegenden Ausgestaltung ist vorzugsweise ein Zwischenraum
zwischen der Verdrahtungsschicht und dem Substrat vorgesehen. Da
gemäß dieser
Konstruktion der Zwischenraum zwischen der Verdrahtungsschicht und
dem Substrat vorgesehen ist, ist es möglich, die substantielle Dielektrizitätskonstante
zwischen der Verdrahtungsschicht und dem Substrat weiter zu verringern.
So ist es möglich,
die Kapazität
zwischen der Verdrahtungsschicht und dem Substrat weiter zu verringern.
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Bei
jeder der oben erwähnten
Ausgestaltungen ist das Substrat vorzugsweise ein Siliziumsubstrat.
Da gemäß dieser
Konstruktion eine integrierte Halbleiterschaltung oder dergleichen
in geeigneter Weise auf dem Siliziumsubstrat gebildet werden kann,
ist es möglich,
eine Schaltungsstruktur wie die integrierte Halbleiterstruktur und
den elektrostatischen Vibrator als einen Körper auszubilden. In diesem
Fall sind, wie oben beschrieben, vorzugsweise ein piezoelektrischer
Dünnfilm,
eine Elektrode und eine Verdrahtungsschicht auf dem Siliziumsubstrat mit
den Isolierschichten dazwischen gebildet. Ferner kann das Substrat
ein Halbleitersubstrat umfassen, auf dem ein IC wie etwa SiGe oder
GaAs erzeugt werden kann.
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Ferner
ist vorzugsweise zwischen dem Substrat und dem Schwingkörper oder
der Erregerelektrode eine Isolierschicht gebildet. So ist es möglich, die
Störkapazität zwischen
der Vibratorstruktur und dem Substrat insgesamt zu verringern.
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Ferner
ist der Schwingkörper
oder die Erregerelektrode vorzugsweise aus Polysilizium, amorphem
Silizium oder dergleichen gebildet. Diese Materialien können durch
Halbleiter-Fertigungstechniken leicht geformt werden. Insbesondere
ist dies in dem Fall, dass der elektrostatische Vibrator auf dem Siliziumsubstrat
gebildet ist, im Prozess vorteilhaft.
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Ferner
ist bei jeder der oben erwähnten
Ausgestaltungen das Substrat vorzugsweise aus einem Isolator gebildet.
Da dieser Konstruktion zufolge der ME-Vibrator unter Verwendung
des aus dem Isolator gefertigten Substrats gebildet wird, ist es
möglich,
die Störkapazität zwischen
der auf dem Substrat gebildeten Vibratorstruktur und dem Substrat
zu verringern. Da infolge dessen ein aufgrund der Störkapazität fließender Strom
drastisch verringert ist, ist es möglich, die Leistung des Vibrators
zu verbessern.
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Da
ferner das Substrat aus Glas gefertigt ist, ist es möglich, die
Materialkosten des Substrats zu verringern, und es ist ferner möglich, für Feinprozesse
am Glassubstrat in der Fertigung von Flüssigkristall-Anzeigeelementen
entwickelte Techniken einzusetzen. So ist es möglich, einen leistungsfähigen ME-Vibrator
zu erhalten und dabei die Fertigungskosten zu reduzieren.
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Ferner
umfasst ein Verfahren zum Herstellen eines ME-Vibrators nach der
vorliegenden Erfindung, der ein Substrat, einen auf dem Substrat
vorgesehenen Schwingkörper
und eine gegenüber
dem Schwingkörper
angeordnete Erregerelektrode umfasst, einen Konkavabschnitt-Erzeugungsschritt
des Erzeugens eines konkaven Abschnitts auf einer Oberfläche eines
aus einem Isolator gefertigten ersten Substrats und/oder eines zweiten
Substrats, das eine aktive Schicht auf seiner Oberfläche hat,
einen Substrat-Zusammenfügeschritt
des Zusammenfügens
des ersten Substrats und des zweiten Substrats, so dass eine Oberfläche des
ersten Substrats und eine Oberfläche
des zweiten Substrats einander gegenüberliegen, und einen Vibrator-Erzeugungsschritt
des Durchführens
eines vorgegebenen Prozesses an der zweiten Oberfläche, bei
dem wenigstens ein Teil der aktiven Schicht zurückbleibt, um den Schwingkörper und
die Erregerelektrode an dem ersten Substrat zu bilden.
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Gemäß dieser
Ausgestaltung sind das erste Substrat und das zweite Substrat so
zusammengefügt,
dass eine Oberfläche
des ersten Substrats und eine Oberfläche des zweiten Substrats einander
gegenüberliegen,
und ein vorgegebener Prozess an der zweiten Oberfläche, bei
dem wenigstens ein Teil der aktiven Schicht zurückbleibt, wird durchgeführt, um den
Schwingkörper
und die Erregerelektrode an dem ersten Substrat zu bilden. Da so
der Spalt zwischen dem Schwingkörper
und dem Substrat durch den konkaven Abschnitt gebildet werden kann,
ist es möglich,
den ME-Vibrator preiswert und mit hoher Produktivität zu fertigen.
Da außerdem
der resultierende ME-Vibrator die Vibratorstruktur auf dem aus dem
Isolator gefertigten Substrat aufweist, ist es möglich, die Störkapazität zwischen
der Vibratorstruktur und dem Substrat zu verringern. Daher ist es möglich, einen
leistungsfähigen
ME-Vibrator zu fertigen.
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In
diesem Fall kann der Konkavabschnitt-Erzeugungsschritt einen Schritt
des Ätzens
der aktiven Schicht des zweiten Substrats in vorgegebenem Umfang
an einer Position, an der die Vibratorstruktur gebildet werden soll,
umfassen. Außerdem
kann ein Schritt des Ätzens
der Oberfläche
des ersten Substrats in einem vorgegebenen Umfang gegenüber der Position
des zweiten Substrats, an der die Vibratorstruktur gebildet werden
soll, enthalten sein.
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Da
außerdem
das Substrat aus Glas gefertigt wird, ist es möglich, die Materialkosten des
Substrats zu verringern, und es ist ferner möglich, bei der Fertigung von
Flüssigkristall-Anzeigeelementen
entwickelte Techniken bei Feinprozessen an Glassubstraten einzusetzen.
So ist es möglich,
den leistungsstarken ME-Vibrator zu erhalten und dabei die Fertigungskosten
zu verringern.
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Bei
der vorliegenden Ausgestaltung umfasst der Vibrator-Erzeugungsschritt
vorzugsweise einen Ausdünnungsschritt
des Ausdünnens
des mit dem ersten Substrat zusammengefügten zweiten Substrats mit
einer vorgegebenen Dicke und einen Ätzschritt des Ätzens des
ausgedünnten
zweiten Substrats in eine vorgegebene Form in einem Zustand, in dem
wenigstens ein Teil der aktiven Schicht zurückbleibt. Gemäß dieser
Konstruktion wird, nachdem das erste Substrat und das zweite Substrat
zusammengefügt
worden sind, das zweite Substrat bis zu der vorgegebenen Dicke ausgedünnt, und
das ausgedünnte
zweite Substrat wird in die vorgegebene Form geätzt. So ist es möglich, die
Vibratorstruktur aus einem Halbleiter (aktive Schicht) auf dem aus dem
Isolator gefertigten Substrat mit niedrigen Kosten und hoher Effizienz
unter Verwendung bestehender Prozesstechniken zu bilden.
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Bei
der vorliegenden Ausgestaltung umfasst das zweite Substrat vorzugsweise
ein Siliziumsubstrat, einen auf dem Siliziumsubstrat gebildeten
isolierenden Film und die auf dem isolierenden Film gebildete aktive
Schicht, und der Ausdünnungsschritt
ist ein Schritt des Entfernens des Siliziumsubstrats durch Durchführung einer
Polierbearbeitung oder einer Ätzbearbeitung
an dem in dem zweiten Substrat enthaltenen Siliziumsubstrat. Gemäß dieser
Konstruktion wird die Polierbearbeitung und/oder die Ätzbearbeitung
an dem Siliziumsubstrat vorgenommen, das an dem zweiten Substrat
vorgesehen ist, welches mit dem ersten Substrat zusammengefügt ist, um
so das Siliziumsubstrat zu beseitigen. So ist es möglich, die
aktive Schicht und den isolierenden Film mit jeweils der vorgegebenen
Dicke am ersten Substrat exakt zu formen.
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Die
aktive Schicht kann aus beliebigen Materialien bestehen, mit denen
der Schwingkörper
oder die Erregerelektrode des ME-Vibrators konstruiert werden können, d.h.
die bei Energiezufuhr die elektrostatische Kraft erzeugen.
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1A und 1B sind
eine schematische Draufsicht und ein Längsschnitt einer Konstruktion einer
ersten Ausgestaltung.
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2A und 2B sind
Diagramme, die einen Schwingungsmodus der ersten Ausgestaltung veranschaulichen,
und 2C ist ein Diagramm, das einen Schwingungsmodus
eines scheibenförmigen Schwingkörpers gemäß dem Stand
der Technik veranschaulicht.
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3A und 3B sind
eine schematische Draufsicht und ein Längsschicht einer Konstruktion nach
einer zweiten Ausgestaltung.
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4A und 4B sind
Draufsichten, die Beispiele von planaren Formen von anderen Schwingkörpern zeigen.
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5A bis 5F sind
Querschnitte, die einen Fertigungsprozess der ersten Ausgestaltung
zeigen.
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6A bis 6D sind
Querschnitte, die den Fertigungsprozess der ersten Ausgestaltung
zeigen.
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Erste Ausgestaltung
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Als
nächstes
wird eine erste Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung mit Bezug
auf die beigefügten
Zeichnungen beschrieben. 1 zeigt eine Struktur
eines ME-Vibrators 100 gemäß der ersten Ausgestaltung
der vorliegenden Erfindung zusammen mit einer Schaltungskonstruktion,
und 1A ist eine schematische Draufsicht und 1B ein Längsschnitt.
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In
dem ME-Vibrator 100 ist ein isolierender Film 102 zum
Isolieren einer Vibratorstruktur auf einer Oberfläche eines
Substrats 101 aus einem Siliziumsubstrat oder dergleichen
gebildet. Auf dem Substrat 101 oder dem Isolierfilm 102 sind
eine Ausgangselektrode 103, ein Trägerabschnitt 104 und
ein Schwingkörper 105 konstruiert.
Ferner sind an beiden Seiten des Schwingkörpers 105 (in dem
in der Zeichnung gezeigten Beispiel der oberen und unteren Seite
in 1A oder der vorderen und hinteren Seite in 1B)
ein Paar von Erregerelektroden 107 gegenüber einem äußeren Umfangsabschnitt
des Schwingkörpers 105 mit
einem Spalt 106 dazwischen angeordnet.
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Ferner
ist in dem ME-Vibrator 100 eine Speiseschaltung 110 vorgesehen,
die ein Speisemittel zum Anlegen von Wechselspannungsenergie in
Phase an das Paar von Erregerelektroden 107 umfasst. In
der Speiseschaltung 110 sind eine Wechselspannungs-Energiequelle 111 und
eine Speiseleitung 112 zum Verbinden der Wechselspannungs-Energiequelle 111 und
der Erregerelektroden 107 vorgesehen. Die Speiseschaltung 110 ist
vorzugsweise monolithisch auf dem gleichen Substrat 101 konstruiert.
Die Speiseschaltung 110 kann aber auch getrennt vom Substrat 101 konstruiert
sein, oder sie kann lediglich eine Verdrahtungsstruktur zum Zuführen von
Wechselspannungsenergie von einer externen Quelle sein.
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Zusätzlich ist
eine Ausgangsschaltung 120 vorgesehen, die zusammen mit
der Ausgangselektrode 103 ein Mittel zum Ausgeben eines
Ausgangssignals entsprechend einer Streckschwingung des Schwingkörpers 105 bildet.
In der Ausgangsschaltung 120 ist eine Induktivität 122 zwischen
einen Energiequellen-Potenzialknoten 123 und eine Ausgangsleitung 121 der
Ausgangselektrode 103 geschaltet, und ein Lastwiderstand 125 ist
zwischen die Ausgangsleitung 121 und Masse geschaltet.
Ferner ist eine Kapazität 124 zwischen
die Ausgangselektrode 103 und die Verbindung zwischen dem
Lastwiderstand 125 und dem Ausgangsanschluss 126 geschaltet.
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Der
Schwingkörper 105 erzeugt
eine Schwingung, bei der die planare Form des Schwingkörpers 105 in
einer Ebene zwischen dem Paar von Erregerelektroden 107 gestreckt
wird, und der Spalt 106 ändert sich entsprechend der
Streckschwingung. So nimmt die Kapazität zwischen dem Schwingkörper 105 und
den Erregerelektroden 107 zu und ab. Da die Zunahme und
Abnahme der Kapazität
als ein Ausgangsstrom Io an der Ausgangsschaltung 120 erscheint,
wird ein Ausgangspotenzial Vo entsprechend dem Ausgangsstrom Io
und dem Lastwiderstand 125 am Ausgangsanschluss 126 ausgegeben. Das
Ausgangspotenzial Vo hat eine Schwingungswellenform, die einer natürlichen
Schwingfrequenz des Schwingkörpers 105 entspricht.
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Die
Streckschwingung des Schwingkörpers 105 ist
eine Schwingung in Durchmesserrichtung, die einer Formänderung
des Umrisses (des äußeren Umfangs)
der planaren Form des plattenförmigen Schwingkörpers 105 folgt,
und resultiert aus der elektrostatischen Kraft zwischen dem Schwingkörper 105 und
den Erregerelektroden 107. In dem Schwingmodus hat der
Schwingkörper 105 eine
natürliche Schwingfrequenz,
die festgelegt ist durch die planare Form, die Dicke und die Dichte
oder Elastizitätseigenschaft
des Materials (zum Beispiel den Young-Modul oder das Poisson-Verhältnis).
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Der
Schwingkörper 105 ist
unterstützt
durch den auf dem Substrat 101 gebildeten Trägerabschnitt 104,
und ferner ist er in einer Form konstruiert, die in der Nähe des Trägerabschnitts 104 gestreckt
ist. Er ist somit so konstruiert, dass bei der Streckschwingung
der Einfluss des Trägerabschnitts 104 verringert
wird, und hohe Frequenz ist leicht entsprechend der planaren Form
des Schwingkörpers
realisierbar.
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Die
planare Form des Schwingkörpers 105 umfasst
einen gekrümmten
Umriss, der Halsabschnitte, wie in den Zeichnungen gezeigt, umfasst. Genauer
gesagt umfasst der Umriss des Schwingkörpers 105, wie in 2A gezeigt,
eine Mehrzahl von Kreisbogenabschnitten 105a und 105b (in
dem Beispiel sind zwei Kreisbogenabschnitte gezeigt) und eine Mehrzahl
von Halsabschnitten 105c und 105d (in dem Beispiel
sind zwei Halsabschnitte gezeigt), wobei jeder der Halsabschnitte
die Kreisbogenabschnitte glatt verbindet. In dem in den Zeichnungen gezeigten
Beispiel sind die Kreisbogenabschnitte 105a und 105b symmetrisch,
und auch die Halsabschnitte 105c und 105d sind
symmetrisch.
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Die
in 1 durch durchgezogene Linien bezeichneten
Erregerelektroden 107 sind gegenüber den Halsabschnitten 105c beziehungsweise 105d des
Schwingkörpers 105 angeordnet.
Die Elektrodenstruktur kann jedoch auch durch Erregerelektroden 107' konstruiert
sein, die gegenüber
den Kreisbogenabschnitten 105a und 105b angeordnet
sind, die jeweils beiderseits den Halsabschnitten 105c und 105d als
Mitte angeordnet sind, wie als strichpunktierte Linien in 1 dargestellt. Ferner kann die Elektrodenstruktur
durch Erregerelektroden 107'' konstruiert
sein, die gegenüber
einem Mittelabschnitt der Kreisbogenabschnitte 105a und 105b angeordnet
sind, wie durch Strich-Punkt-Punkt-Linien
in 1 dargestellt.
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Wie
als Strich-Punkt-Punkt-Linie in 2A dargestellt,
wird in dem Streckmodus, in dem die Breite zwischen den Kreisbogenabschnitten 105a und 105b und
die Breite zwischen den Halsabschnitten 105c und 105d umgekehrt
gestreckt werden, das auf der vorliegenden Ausgestaltung basierende
Beispiel mit einem Vergleichsbeispiel verglichen, in welchem ein
in 2C gezeigter plattenförmiger Vibrator verwendet wird.
Bei dem Vergleichsbeispiel wird ein plattenförmiger Vibrator mit einem Durchmesser
r verwendet, der gleich der Breite zwischen den Kreisbogenabschnitten 105a und 105b bei
der vorliegenden Ausgestaltung ist. Die Dicke t des Schwingkörpers und
die mit den Speisemitteln verbundene Elektrodenstruktur sind die
gleichen wie bei der vorliegenden Ausgestaltung. Bei dem Beispiel
und dem Vergleichsbeispiel ist die Dicke t des Schwingkörpers 1 μm, der Durchmesser
r ist 10 μm,
und das Material des Schwingkörpers
ist Polysilizium. Ferner ist sowohl in dem Beispiel als auch in
dem Vergleichsbeispiel ein kreisrunder Trägerabschnitt mit einem Durchmesser
von 1 μm
am Mittelabschnitt des Vibrators vorgesehen. Dann wird eine Analyse
der natürlichen
Schwingfrequenz durchgeführt.
Als Materialkonstanten des Schwingkörpers für diese Berechnung beträgt der Young-Modul
160 GPa, das Poisson-Verhältnis
0,3 und die Dichte 2.500 kg/m3. Als Ergebnis
beträgt
die natürliche
Schwingfrequenz bei dem Vergleichsbeispiel ca. 385 MHz, bei der
vorliegenden Ausgestaltung aber ist die natürliche Schwingfrequenz ca.
441 MHz. Ferner ist, wie in 2B gezeigt,
bei dem Schwingkörper 105 der
vorliegenden Ausgestaltung die natürliche Schwingfrequenz in dem
Schwingmodus, in welchem die Breite zwischen den Kreisbogenabschnitten 105a und 105b und
die Breite zwischen den Halsabschnitten 105c und 105d in
Phase gestreckt werden, zirka 983 MHz. So bestätigt sich, dass der ME-Vibrator
nach der vorliegenden Ausgestaltung eine höhere Frequenz im Vergleich
zu dem Vergleichsbeispiel mit herkömmlicher Struktur erreichen
kann.
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Zweite Ausgestaltung
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Als
nächstes
wird der ME-Vibrator 200 gemäß einer zweiten Ausgestaltung
der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf 3 beschrieben.
Der Vibrator 200 hat den Schwingkörper 205 mit in etwa
der gleichen planaren Form wie der des Schwingkörpers in der ersten Ausgestaltung.
Allerdings unterscheidet sich der Schwingkörper in der zweiten Ausgestaltung von
dem Schwingkörper 105 der
ersten Ausgestaltung darin, dass ein Mittelabschnitt eines Paares
von Halsabschnitten mit dem balkenförmigen Trägerabschnitt 204 verbunden
ist. Der Trägerabschnitt 204 unterstützt den
Schwingkörper 205 von
beiden Seiten in Balkenform und ist konstruiert, um ungefähr horizontal
(das heißt
parallel zu der Oberfläche
des Substrats 201) gestreckt zu werden. Ferner ist ein anderes
Ende des Trägerabschnitts 204 mit
der Ausgangselektrode 203 verbunden.
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Des
weiteren ist bei der vorliegenden Ausgestaltung ein Paar von Erregerelektroden 207 gegenüber dem
Mittelabschnitt der Kreisbogenabschnitte des Schwingkörpers 205 angeordnet.
Wechselspannungsenergie wird den Erregerelektroden 207 in Phase
durch die Wechselspannungs-Energiequelle 211 und die Speiseleitung 212 der
Speiseschaltung 210 zugeführt. Ferner ist die Ausgangsschaltung 220 mit
der Ausgangselektrode 203 verbunden. Wie bei der ersten
Ausgestaltung sind in der Ausgangsschaltung 220 die Ausgangsleitung 221,
die Induktivität 222,
der Energiequellen-Potenzialknoten 223, die Kapazität 224,
der Lastwiderstand 225 und der Ausgangsanschluss 226 vorgesehen.
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Wie
bei der ersten Ausgestaltung ist es auch bei dieser Ausgestaltung
möglich,
eine höhere
Frequenz des Schwingkörpers 205 zu
erreichen. Da ferner der Schwingkörper 205 und der Trägerabschnitt 204 in
der gleichen Schicht und mit der gleichen Höhe konstruiert werden, bleibt
eine Marge für
den Filmbildungsprozess im Vergleich zu der ersten Ausgestaltung,
und es wird möglich,
den Schwingkörper schnell
und mit hoher Reproduzierbarkeit zu formen.
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Andere Ausgestaltungen
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4 ist eine Draufsicht auf Schwingkörper mit
anderen planaren Formen, die anstelle der oben erwähnten Schwingkörper verwendet
werden. Die planare Form des in 4A gezeigten
Schwingkörpers 2305 hat
einen Umriss, bei dem drei Kreisbogenabschnitte 2305a, 2305b und 2305c um
dessen Mitte herum vorgesehen sind und Halsabschnitte 2305d, 2305e bzw. 2305f die
Kreisbogenabschnitte verbinden. Die planare Form des in 4B gezeigten
Schwingkörpers 2405 hat
einen Umriss, bei dem vier Kreisbogenabschnitte 2405a, 2405b, 2405c und 2405d vorgesehen
sind und Halsabschnitte 2405e, 2405f, 2405g bzw. 2405h die
Kreisbogenabschnitte verbinden.
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Fertigungsverfahren
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5 und 6 sind
Querschnitte, die ein Beispiel eines Fertigungsprozesses des ME-Vibrators 100 nach
der oben erwähnten
ersten Ausgestaltung zeigen. In diesem Prozess werden zuerst, wie
in 5A gezeigt, die isolierende Schicht 102A aus SiO2 und die isolierende Schicht 102B aus
Si3N4 auf dem aus
Silizium oder dergleichen gebildeten Substrat 101 gebildet.
Die isolierende Schicht 102 kann durch ein thermisches
Oxidationsverfahren oder dergleichen gebildet werden, und die isolierende
Schicht 102B kann durch ein Plasma-CVD-Verfahren oder dergleichen
gebildet werden. Die isolierende Schicht 102A und die isolierende
Schicht 102B bilden den oben erwähnten isolierenden Film 102.
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Als
nächstes
wird, wie in 5B gezeigt, eine Öffnung 102x in
der isolierenden Schicht 102A und der isolierenden Schicht 102B unter
Verwendung eines fotolithografischen Verfahrens oder dergleichen
gebildet, und, wie in 5C gezeigt, wird darauf eine
leitfähige
Schicht 103p aus einem metallischen Material wie etwa Aluminium
durch ein Dampfabscheidungsverfahren, ein Sputterverfahren oder
dergleichen gebildet. Dann werden durch Strukturieren der leitfähigen Schicht 103p durch
das fotolithografische Verfahren oder dergleichen die Ausgangselektrode 103 und
die Eingangselektrode 107p gebildet, wie in 5D gezeigt.
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Anschließend wird,
wie in 5E gezeigt, eine Opferschicht 108 aus
einem PSG-(Phosphordotiertes Glas)-Film durch das CVD-Verfahren
oder dergleichen gebildet, und ferner wird, wie in 5F gezeigt,
eine Öffnung 108x erzeugt.
Anschließend
wird, wie in 6A gezeigt, eine leitfähige Schicht 105S mit
Polysilizium oder dergleichen als Film gebildet. In dieser Situation
wird gleichzeitig der Trägerabschnitt 104 innerhalb
der Öffnung 108x gebildet.
Zusätzlich wird,
wie in 6B gezeigt, eine Maske 109 aus
einem Resist oder dergleichen gebildet, und die leitfähige Schicht 105S wird
durch die Maske 109 strukturiert. Als Ergebnis werden,
wie in 6C gezeigt, der Schwingkörper 105,
der Spalt 106 und die Elektrode 107 gebildet.
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Schließlich wird,
wie in 6D gezeigt, die Opferschicht 108 durch Ätzen oder
dergleichen entfernt, so dass die in 1 gezeigte
Vibratorstruktur vollständig
ist. Hier sind die Erregerelektroden 107 auf einer Trägerschicht
(aus der oben erwähnten
Opferschicht oder dergleichen) unterstützt, die nicht dargestellt
ist. Ferner sind die Erregerelektroden 107 leitfähig mit
der Eingangselektrode 107p auf dem Substrat über ein
(nicht dargestelltes) Kontaktloch oder dergleichen verbunden.
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Da
wie oben beschrieben bei der vorliegenden Erfindung die Halsabschnitte
im Umriss der planaren Form des Schwingkörpers vorhanden sind, ist eine
hohe Frequenz realisierbar. Da außerdem die Kontrolle des Streckschwingungsmodus
(eines Schwingungsmodus, bei dem sich der Umriss ändert) des
Schwingkörpers
durch die Halsabschnitte einfach wird, wird es möglich, die Streckschwingung stabiler
anzuregen. Zum Beispiel können,
indem die Halsabschnitte vorgesehen werden, mehrere natürliche Schwingfrequenzen
erhalten werden. So ist es möglich,
einen Schwingkörper
bei verschiedenen Schwingfrequenzen je nach Elektrodenstruktur,
angelegter Frequenz oder dergleichen zu verwenden. Außerdem können wie
die Erregerelektroden 107 und 107'' bei
der ersten Ausgestaltung mehrere Gruppen von Erregerelektroden vorgesehen
werden, bei denen die Erregerelektroden in jeder Gruppe aus verschiedenen
Richtungen gegenüber
dem Schwingkörper
angeordnet werden. In diesem Fall wird es möglich, je nach benötigter Frequenzcharakteristik eine
geeignete Gruppe von Erregerelektroden zu verwenden.
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Bei
der vorliegenden Ausgestaltung hat der Schwingkörper vorzugsweise eine planare
Form, die symmetrisch in Bezug auf das an beiden Seiten davon anzuordnende
Paar von Erregerelektroden ist, so dass stabile Schwingungen erzeugt
werde können.
Eine Form, die symmetrisch in Bezug auf das Paar von Erregerelektroden
ist, bedeutet zum Beispiel eine Form mit Liniensymmetrie, die eine
vertikale Halbierende eines die Mittelabschnitte des Paars von Erregerelektroden
verbindenden Liniensegments als Symmetrieachse hat. In diesem Fall
kann es sich auch um eine Form mit einer Liniensymmetrie handeln,
von der eine Symmetrieachse das die Mittelabschnitte des Paars von
Elektroden verbindende Liniensegment ist. Zum Beispiel kann durch
Verwendung der Schwingkörper 105 und 205 in
der ersten und zweiten Ausgestaltung oder des in 4B gezeigten
Schwingkörpers 2405 hohe
Symmetrie realisiert werden.
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Ferner
ist der ME-Vibrator nach der vorliegenden Erfindung nicht auf die
in den Zeichnungen gezeigten Beispiele beschränkt, sondern kann im Rahmen
der Ansprüche
in unterschiedlicher Weise abgewandelt werden. Zum Beispiel sind
die ME-Vibratoren bei den obigen Ausgestaltungen mit getrennten
Eingangs- und Ausgangsschaltungen konstruiert, doch können diverse
Konstruktionen verwendet werden, wie etwa eine Konstruktion, bei
der Eingangsschaltung und Ausgangsschaltung mit einer gemeinsamen
Schaltungsstruktur realisiert sind.