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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Einrichtung und ein System für die Verwendung
in Halbleiterherstellungsausrüstung,
zum Beispiel eine Fluidsteuereinrichtung und Gasbehandlungssysteme, die
die Einrichtung umfassen, und insbesondere bezieht sich auf integrierte
Fluidsteuereinrichtungen gemäß der Präambel des
Anspruchs 1, die derart zusammengebaut sind, daß Fluidsteuerkomponenten hieraus
einzeln nach oben für
Wartung oder Inspektion entfernt werden können, und betrifft außerdem Gasbehandlungssysteme,
die die Einrichtung in sich beinhalten.
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Die
Begriffe „Vorderseite", „Rückseite", „Oberes" und „Unteres", wie sie hier verwendet
werden, haben die folgende Bedeutung. Der Begriff „Vorderseite" bezieht sich auf
die rechte Seite der 2 und der Begriff „Rückseite" bezieht sich auf
die linke Seite derselben. Die Begriffe „Oberer" und „Unterer" beziehen sich jeweils auf die oberen
und unteren Seiten der 2(a), und die
Begriffe „links" und „rechts" werden für die Einrichtung
verwendet, wie sie von der Vorderseite von hinten gesehen wird.
Diese Begriffe werden aus Gründen
der Bequemlichkeit verwendet; Die Einrichtung kann auch umgekehrt
mit Bezug auf die Längserstreckung
oder auf seiner Seite liegend verwendet werden.
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Fluidsteuereinrichtungen
für die
Verwendung in Halbleiterherstellungsausrüstung umfassen eine Vielzahl
von Reihen verschiedener Fluidsteuervorrichtungen und die Fluidkanäle der Fluidsteuervorrichtung
benachbarter Reihen. Sie sind durch Verbindungsmittel an spezifischen
Orten verbunden. Derartige Fluidsteuereinrichtungen wurden aufgrund
der Integration mit Mengenflußsteuereinrichtungen, Schaltventilen
und anderen Komponenten verbunden, ohne dabei Rohre zu verwenden
(siehe z.B. JP-A Nr. 9-29996 (1997). 18 ist
eine Draufsicht, die ein Beispiel der Einrichtung zeigt. Die dargestellte Fluidsteuereinrichtung
weist fünf
Leitungen P1, P2, P3, P4, P5 auf, die keinen Bypasskanal haben und drei
Leitungen Q1, Q2, Q3 auf, die jeweils einen Bypasskanal haben, d.h.
acht Leitungen insgesamt. Die Leitungen P1, P2, P3, P4, P5, die
alle keine Bypassleitung haben, weisen alle eine Mengenflußsteuereinrichtung 91,
ein Schaltventil 92, das auf der Einlaßseite davon mit einem Filter 93,
der dazwischen angeordnet ist, angeordnet ist und ein Schaltventil 94,
das auf der Auslaßseite
der Steuereinrichtung angeordnet ist, auf. Die bypass-ausgerüsteten Leitungen
Q1, Q2, Q3 weisen alle eine Mengenflußsteuereinrichtung 91,
zwei Schaltventile 95, ö96,
die auf der Einlaßseite
hiervon mit einem Filter 93, der zwischen die Steuereinrichtung
und das Ventil 90 eingefügt ist, ausgebildet sind, und
zwei Schaltventile 97, 98, die an der Auslaßseite der
Steuereinrichtung ausgebildet sind, und ein Byassrohr 99,
das ein Schaltventil 99 hat und das ein Flansch auf der
Einlaßseite
der Steuereinrichtung 91 und einen Flansch auf der Auslaßseite hiervon
verbindet. Die Fluidsteuereinrichtung wird mit Hilfe von festigenden
Kupplungselementen (nicht gezeigt), wie zum Beispiel zuerst Verbindungselemente
an einem Träger 100 mit
Schrauben und dem anschließenden
Anbringen von jeder Fluidsteuereinrichtung 91, 92, 93, 94, 95, 96, 97, 98,
wie zum Beispiel die Mengenflußsteuereinrichtung,
Filter und Schaltventile jeweils an zwei dieser Verbindungselement
zusammengebaut. Die Bypassrohre 99 parallel zu den Hauptbereichen
der bypass-ausgerüsteten Leitungen
Q1, Q2, Q3 ausgebildet sind ist für die Bereitstellung der Bypassrohre 99 für die drei
Leitungen Q1 bis Q3 ein Platz für
drei Leitungen nötig.
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Fluidsteuereinrichtung
der genannten Art werden für
Gasbehandlungssysteme, zum Beispiel für die Durchführung einer
Behandlung mit Plasma, Ätzen
oder der Ausbildung von Folein durch CVD verwendet.
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Die
US 6,068,016 offenbart ein
solches System, in dem ein Pumpenreinigungssystem integriert ist.
Das Pumpenreinigungssystem umfaßt
zumindest ein Zweiöffnungsventil
oder eine Kombination von Ventilen, die an einem modularen Verteiler
befestigt sind, die an einem modularen/monolithischen Gasbehandlungssystem
befestigt werden können.
Die Zweiöffnungsventile
oder einzelnen Ventile arbeite in Kombination mit den Leitungen
des modularen Verteilers zusammen, wobei sie im Inneren des modularen
Verteilers angeordnet sind, um die Applikation von Vaku umpumpen
für ein
Transfer von Gas innerhalb eines modularen/monolithischen Gasbehandlungssystems,
das an das Reinigungssystem angeschlossen ist, zu ermöglichen.
Der Verteiler ermöglicht
die Verbindung von zwei oder mehr Gasbehandlungselementen und weist
zumindest einen Materialblock auf, der eine Vielzahl von inneren
Leitungen hat, die Gas von einem Gashandhabungselement zu einem
anderen innerhalb des Moduls leiten.
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In
dem Fall der beschriebenen konventionellen Fluidsteuereinrichtung
kann die einzelne Fluidsteuervorrichtung nach oben für Inspektion,
Reparatur oder Austausch entfernt werden, wobei allerdings keine
vollständige Überlegung
auf die Installation zusätzlicher
Leitungen oder die Modifikation der Leitung verwendet wurde. Demzufolge
benötigen
die Komponenten, wenn ein Bedarf entsteht das System zu modifizieren,
ein neu gegossenes Paneel für
den Ersatz der Paneelanordnung, aber dies führt zu der Entstehung des Problems,
daß das
Abschalten des Systems eine lange Zeitperiode oder eine Zunahme in
der Zahl der Arbeitsschritte und der Installation hervorruft. Die
konventionelle Fluidsteuereinrichtung hat weiterhin das Problem
der Notwendigkeit eines erhöhten
Gesamtraumes für
die Installation, da der Raum für
die Installation der bypass-ausgerüsteten Leitung größer ist
als für
die Leitung die keine Bypasskanäle
hat, und das Problem, daß die
Größe des Trägers in
Abhängikeit
von der Zahl der bypass-ausgerüsteten Leitungen
geändert
werden muß.
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In
Anbetracht dieser Situation ist es wichtig geworden, daß Fluidsteuereinrichtungen
des beschriebenen Typs derart angepaßt werden, daß sie ohne
weiteres die Notwendigkeit der Installation zusätzlicher Leitungen unter der
Modifikation existierender Leitungen ermöglichen.
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Weiterhin,
wenn das Gasbehandlungssystem, das die konventionelle Fluidsteuereinrichtung aufweist
und dadfür
ausgelegt ist, beispielsweise einen Silikondioxidfilm zu ätzen für eine unterschiedliche
Substanz, zum Beispiel für
das Ätzen
von Polysilikon zu verwenden, besteht ein Bedarf zusätzlich ein
Gas vom Chlortyp zu verwenden. In diesem Fall ist es notwendig,
die Fluidsteuereinrichtung vollständig zu zerlegen und die Einrichtung
von neuem anzufertigen. Wenn versucht wird, die Fluidsteuereinrichtung
zu modifizieren oder Komponenten hierzu in das existierende Gasbehandlungssystem
hinzuzufügen, ist
es nicht einfach, die Fluidsteuereinrichtung zu entfernen, auseinanderzunehmen
oder zu modifizieren und dazu Komponenten in dem begrenzten Raum der
Anwendung, wie in einem Reinendraum, hinzuzufügen, wodurch in der Folge die
Betriebsstunden verkürzt
werden.
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Eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine integrierte Fluidsteuereinrichtung
bereitzusellen, die ohne weiteres für eine zusätzliche Bereitstellung von
Leitungen oder die Modifikation existierender Leitungen ausgebildet
ist, und ein Gasbehandlungssystem bereitzustellen, das in sich eine Fluidsteuereinrichtung
beinhaltet.
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Diese
Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1
gelöst.
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Bei
der Fluidsteuereinrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung ist jede der Leitungen entfernbar an dem Träger mit
einer Vielzahl von Haltern befestigt, wobei die Kanalkommunikationsmittel
nach oben entfernbar ausgebildet sind, so daß Leitungen zusätzlich nur
durch das Entfernen Kanalkommunikationsmittel nach oben, wenn dies
notwendig ist, zusätzlich
installiert werden können,
wonach die hinzuzufügenden
Leitungen an dem Träger
befestigt werden und zuletzt die Kanalkommunikationsmittel, die für die Hinzufügung benötigt werden,
an ihrem Platz angebracht werden. Außerdem können die Leitungen nur durch
das Entfernen der Kanalkommunikationsmittel nach oben, wenn das
nötig ist,
verändert werden,
wonach die alten Leitungen, die gewechselt werden sollen, entfernt
werden, und die auszutauschenden Leitungen an dem Träger befestigt
werden und zuletzt die Kanalkommunikationsmittel, die für den Wechsel
benötigt
werden, an ihrem Platz installiert werden. Auf diese Weise können die
Leitungen auf einfache Weise hinzugefügt oder verändert werden.
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Die
Leitungen sind Leitungen, die keinen Bypasskanal haben und Leitungen,
die jeweils einen Bypasskanal haben, und die bypass-versehenen Leitungen
haben jeweils ein Bypassrohr für
die Verbindung einer Einlaßseite
einer bestimmten Fluidsteuervorrichtung mit einer Auslaßseite hiervon
oberhalb der Fluidsteuervorrichtung. Die Leitungen haben keinen
Bypasskanal und die bypass-versehenen leitungen können dann
dieselbe Breite bekommen. Dies ermöglicht eine leichte Modifikation
und dient weiterhin dazu, den Platz, der von der Fluidsteuereinrichtung
eingenommen wird, zu begrenzen.
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Vorzugsweise
ist ein Verteilerblockverbindungselement, das auf dem unteren Niveau
für die Verbindung
von zumindest drei der Leitungen angeordnet ist, zumindest auf einer
der Einlaßseite
und Auslaßseite
ausgebildet und mit dem Träger
durch einen Halter verbunden. Die Vielzahl von Leitungen kann dann
durch eine vereinfachte Anordnung verbunden werden, was die Fluidsteuereinrichtung
einfach zusammenbaubar oder modifizierbar macht.
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Vorzugsweise
ist das Verteilerblockverbindungselement mit zumindest einem Abteilungskanal zum
Anschließen
einer Leitung versehen, der eine Öffnung besitzt, welche mit
einem Verschlußelement verschlossen
ist. Eine zusätzliche
Leitung kann einfach durch das Entfernen des Verschluß elements und
das Verbinden eines entsprechenden Elementes der neuen Leitung an
den Zweikanal des Verteilerblockverbindungselementes ausgebildet
werden. Dies erleichtert das Hinzufügen einer Leitung oder Leitungen
oder die Modifikation der Fluidsteuereinrichtung.
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Es
ist erstrebenswert, daß die
Fluidsteuereinrichtung in den Gasbehandlungssystemen wie zum Beispiel
Plasmabehand lungssystemen verwendet wird. Das Gasbehandlungssystem
kann dann einfach gemäß Änderung
in den Spezifikationen modifiziert werden, wobei die Faktoren, die
Betriebsstunden des Systems kürzen
würden,
unterdrückt werden.
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1 ist
eine perspektivische Ansicht, die eine ersten Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Fluidsteuereinrichtung
zeigt;
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2(a) und (b) sind jeweils eine Seitenansicht
und eine Draufsicht, die die Konstruktion einer Linie zeigen, die
keinen Bypasskanal aufweist;
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3(a) und (b) sind jeweils eine Seitenansicht
und eine Draufsicht, die die Konstruktion einer Leitung zeigen,
die ein Bypasskanal aufweist;
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4 ist
ein Schnitt, der ein Verteilerblockverbindungselement für die Verbindung
der Leitungen, das kein Bypasskanal aufweist, zeigt;
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5 ist
einer perspektivische Ansicht, die eine zweite Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Fluidsteuereinrichtung
zeigt;
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6 ist
eine perspektivische Ansicht, die ein Verfahren zur Hinzufügung einer
neuen Leitung, die keinen Bypasskanal aufweist, zu der Fluidsteuereinrichtung
gemäß 5 zeigt;
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7 ist
einer perspektivische Ansicht, die eine dritte Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Fluidsteuereinrichtung
zeigt, die durch Hinzufügung der
Leitungen, die keinen Bypasskanal aufweisen, zu der Fluidsteuereinrichtung
gemäß 5 hergestellt wurde;
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8 ist
eine perspektivische Ansicht, die eine vierte Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Fluidsteuereinrichtung
zeigt;
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9 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen Schritt eines Verfahrens
zur Hinzufügung
einer Leitung, die einen Bypasskanal zu der Fluidsteuereinrichtung
gemäß 8 zeigt;
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10 ist
eine perspektivische Ansicht, um einen anderen Schritt des Verfahrens
zur Hinzufügung
der bypass-versehenen
Leitung zu der Fluidsteuereinrichtung gemäß 8 zu zeigen;
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11 ist
eine perspektivische Ansicht, um noch einen weiteren Schritt des
Verfahrens zur Hinzufügung
der bypass-versehenen Leitung zu der Fluidsteuereinrichtung gemäß 8 zu
zeigen;
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12 ist
eine perspektivische Ansicht, die eine erfindungsgemäße Fluidsteuereinrichtung
zeigt, die durch Hinzufügung
der bypass-versehenen Leitung zu der Fluidsteuereinrichtung gemäß 8 hergestellt
wurde, wobei die Ansicht die dritte Ausführungsform gemäß 7 zeigt,
wie diese aus einer anderen Richtung gesehen wird;
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13 ist
einer perspektivische Ansicht, die einen Schritt eines Verfahrens
zur Entfernung einer Mengenflußsteuereinrichtung
der Fluidsteuereinrichtung, gezeigt in 12, zeigt;
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14 ist
einer perspektivische Ansicht, die einen weiteren Schritt des Verfahrens
zur Entfernung der Mengenflußsteuereinrichtung
aus der Fluidsteuereinrichtung, gezeigt in 12, zeigt;
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15 ist
einer perspektivische Ansicht, die einen weiteren Schritt der Entfernung
der Mengenflußsteuereinrichtung
aus der Fluidsteuereinrichtung, gezeigt in 12, zeigt;
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16 ist
eine perspektivische Ansicht, die einen weiteren Schritt des Verfahrens
zur Entfernung der Mengenflußsteuereinrichtung
aus der Fluidsteuereinrichtung, gezeigt in 12, zeigt;
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17 ist
eine Systemdiagramm, das ein Beispiel eines Gasbehandlungssystems
zeigt, das die erfindungsgemäße Fluidsteuereinrichtung
aufweist; und
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18 ist
eine Draufsicht, die eine konventionelle Fluidsteuereinrichtung
zeigt.
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BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung werden unten mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
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Mit
Bezug auf 1 wird eine erste Ausführungsform
der Fluidsteuereinrichtung der vorliegenden Erfindung durch das
parallele Anordnen auf einen Substrat 1 von drei Leitungen
A1, A2, A3, die keinen Bypasskanal haben und drei Leitungen B1,
B2, B3, die jeweils einen Bypasskanal haben, hergestellt.
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Die
Leitungen A1, A2, A3, die jeweils keinen Bypasskanal haben und die
bypass-versehenen Leitungen B1, B2, B3 weisen jeweils eine Vielzahl
von Fluidsteuereinrichtungen 2, 3, 4, 5, 6, 7,
die eine Mengenflußsteuereinrichtung,
Schaltventil und Sperröffnungsvorrichtung,
die auf einem höheren
Niveau angeordnet sind und eine Vielzahl von Kupplungselementen 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17,
die auf einem unteren Niveau angeordnet sind, um die Fluidsteuervorrichtungen 2, 3, 4, 5, 6, 7 in
Kommunikation miteinander zu halten.
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Die
Fluidsteuervorrichtungen von jeder der Leitung A1, A2, A3 haben
keinen Bypasskanal und sind die Mengenflußsteuereinrichtung, das einlaßseitige
An-Aus-Ventil 3, das mit der Einlaßseite der Mengenflußsteuereinrichtung 2 mit
Hilfe eines Filters verbunden ist und das auslaßseitige Schaltventil 5,
das auf der Auslaßseite
der Mengenflußsteuereinrichtung 2 ausgebildet
ist. Die Fluidsteuervorrichtungen jeder der bypass-versehenen Leitungen
B1, B2, B3 sind die Mengenflußsteuereinrichtung 2,
die einlaßseitige
Absperröffnungsvorrichtung 6,
die mit der Einlaßseite
der Mengenflußsteuereinrichtung 2 mit
Hilfe eines Filters 4 verbunden ist und die auslaßseitige Absperröffnungsvorrichtung 7,
die auf der Auslaßseite
der Mengenflußsteuereinrichtung 2 ausgebildet
ist.
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Mit
Bezug zu 2 hat die Mengenflußsteuereinrichtung 2 von
jeder der Leitungen A1, A2, A3, die keinen Bypasskanal aufweisen,
einen einlaßseitigen
Flansch 2a und einen auslaßseitigen Flansch 2b an
den Vorder- und Rückwänden seines
unteren Endes und ist an dem Träger 1 durch
einen invertierten U-förmigen
Halter 8, der nach außen
hervorragende Kanten aufweist, befestigt. Der Filter 4 ist
in Kommunikation mit dem einlaßseitigen
Schaltventil 3 durch ein Blockverbindungselement 11,
das unterhalb dieser Komponenten angeordnet ist, verbunden. Unterhalb
der vorderen Hälfte
des einlaßseitigen
Ventils 3 ist ein weiteres Blockverbindungselement 12 angeordnet,
das mit einem einlaßseitigen
rohrförmigen Verbindungselement 13 versehen
ist. Ein Blockverbindungselement 14 ist ebenfalls unterhalb
der hinteren Hälfte
des Filters 4 angeordnet. An diesem Ventilbetätigungselemente 14 ist
ein rohrförmiges
Verbindungselement 15, das mit dem einlaß seitigen Flansch 2a der
Mengenflußsteuereinrichtung 2 verbunden
ist, angebracht. Unterhalb der vorderen Hälfte des auslaßseitigen
Schaltventils 5 ist ein Blockverbindungselement 16 bereitgestellt,
das ähnlich
zu dem Verbindungselement 14, das unterhalb des Filters 4 angeordnet
ist, ist. An diesem Verbindungselement 16 ist ein rohrförmiges Verbindungselement 17, das
mit dem auslaßseitigen
Flansch 2b der Mengenflußsteuereinrichtung 2 verbunden
ist, angebracht. Die drei Blockverbindungselemente 11, 12, 14,
die auf der Einlaßseite
auf dem unteren Niveau angeordnet sind, werden mit Schrauben 37 an
dem Filter oder an dem einlaßseitigen
Schaltventil von oben befestigt und weiterhin durch einen invertierten
U-förmigen Halter 9,
der äußere Kanten
hat, befestigt. Der Halter 9 ist an dem Träger 1 befestigt.
Die Leitungen A1, A2, A3, die keinen Bypasskanal haben, sind entfernbar an
dem Träger 1 in
dem Zustand, der in der 2 gezeigt ist, befestigt. Die
Mengenflußsteuereinrichtung 2 ist
einzeln nach oben entfernbar, indem die Verbindungselemente 15, 17 auf
ihren gegenüberliegenden Seiten
und der Filter 4 und die Schaltventile 3, 5 einzeln
nach oben durch das Entfernen der Schrauben 37 entfernbar
sind.
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Das
Blockverbindungselement 12, das das einlaßseitige
rohrförmige
Verbindungselement 13 hat, ist unterhalb des einlaßseitigen
Schaltventils an einem Ort entfernt von der Mengenflußsteuereinrichtung 2 angeordnet,
wo hingegen ein ähnliches
Kupplungselement nicht unterhalb des auslaßseitigen Schaltventils 5 an
einer Position entfernt von der Mengenflußsteuereinrichtung 2 angeordnet
ist. Anstelle dessen ist ein Verteilerblockverbindungselement 40,
das einzeln die drei Leitungen A1, A2, A3 miteinander, wie dies
in 1 zu sehen ist, verbindet.
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Wie
dies in 4 gezeigt ist weist das Verteilerblockverbindungselement 40 einen
Kanal auf, der sich in lateraler Richtung erstreckt, d.h. einen
Hauptkanal 40a, der orthogonal zu den Leitungen A1, A2, A3,
die keinen Bypasskanal aufweisen, ist und fünf Abzweigkanäle 40b, 40c,
die von dem Hauptkanal 40a abzweigen und sich nach oben
erstrecken. Der Hauptkanal 40a hat ein offenes Ende auf
der linken Seite und ist an dem anderen Ende geschlossen. Die hinteren
Hälften
der Körper 5a der
auslaßseitigen Schaltventile 5 der
Linien A1, A2, A3 sind jeweils in Kommunikation mit den drei Abzweigkanälen 40b an dem
Verteilerblockverbindungselement 40 befestigt. Kanalverschließungsblöcke (Verschlußelemente) 41 sind
an dem Verteilerblockverbindungselement 40 befestigt, um
die übrigen
zwei Kanäle 40c zu
verschließen.
Demzufolge fließt
das Fluid, das durch die Mengenflußsteuereinrichtung 2 in
jede der Leitungen A1, A2, A3 in das auslaßseitige Schaltventil 5 über das
Blockverbindungselement 16 unterhalb des Ventils 5.
Das Verteilerblockverbindungselement 40 ist an dem Träger durch
einen invertierten U-förmigen Halter 42 befestigt.
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Mit
Bezug auf 3 hat die Mengenflußsteuereinrichtung
an jeder der bypass-versehenen Leitungen B1, B2, B3 einen einlaßseitigen
Flansch 2a und einen auslaßseitigen Flansch 2b,
jeweils an den Frontrückwänden an
seinem unteren Ende und er ist an dem Träge 1 durch einen invertierten
U-förmigen Halter 18,
der nach außen
herovrragende Kanten hat, befestigt. Die einlaßseitige Absperröffnungsvorrichtung 6 weist
einen Blockkörper 21,
zwei Schaltventilauslöser 22, 23,
die daran befestigt sind, ein Blockverbindungselement 24,
das ein röhrenförmiges Verbindungselement
hat und an der oberen Wand des Körpers 21 befestigt
ist, und einen Kanalblock 25, der an der Seitenwand des
Körpers
befestigt ist, auf.
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Der
Filter 4 ist in Kommunikation mit dem Kanalblock 25 der
einlaßseitigen
Absperröffnungsvorrichtung 6 durch
ein Blockverbindungselement 11, das unterhalb dieser Komponenten
angeordnet ist, gehalten. Ein Blockverbindungselement 12 ist
unterhalb des vorderen Endes des Körpers 21 der Vorrichtung 6 angeordnet
und mit einem einlaßseitigen
röhrenförmigen Verbindungselement 13 versehen.
Ein Blockverbindungselement 14 ist ebenfalls unter der hinteren
Hälfte
des Filters 4 angeordnet und weist daran befestigt ein
Verbindungselement 15 auf, das mit dem einlaßseitigen
Flansch 2a mit der Mengenflußsteuereinrichtung 2 verbunden
ist. Die drei Blockverbindungselement 11, 12, 14 des
unteren Niveaus sind von oben an den Filter 4 und den Körper 21 der Sperröffnungsvorrichtung 6 mit
Schrauben 37 von oben und weiterhin mit einem invertierten
U-förmigen Halter 19,
der nach außen
hervorragende Kanten hat, befestigt. Der Halter 19 ist
an dem Träger 1 befestigt.
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Die
auslaßseitige
Absperröffnungsvorrichtung 7 weist
einen ersten Blockkörper 26,
der nach der Mengenflußsteuereinrichtung 2 angeordnet
ist, einen ersten Schaltventilauslöser 27, der an dem Körper 26 angebracht
ist, einen zweiten Blockkörper 28,
der rückseitig
und benachbart zu dem ersten Blockkörper 26 angeordnet
ist, zwei Schaltventilauslöser 29, 30,,
die an dem Körper 28 befestigt
sind, ein Blockverbindungselement 31, das ein röhrenförmiges Verbindungselement
hat und an der Decke des ersten Körpers 26 angebracht
ist, einen Kanalblock 32, der an der Seitenwand des Körpers 26 befestigt ist
und ein Blockverbindungselement 33, das ein röhrenförmiges Verbindungselement
aufweist und an der Decke des zweiten Körpers 28 befestigt
ist, auf.
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Unter
dem Kanalblock 32 der auslaßseitigen Absperröffnungsvorrichtung 7 ist
ein Blockverbindungselement 16, das ein daran befestigtes
röhrenförmiges Verbindungselement 17 aufweist,
das mit dem auslaßseitigen
Flansch 2b der Mengenflußsteuereinrichtung 2 verbunden
ist, angeordnet. Das Blockverbindungselement 16 unterhalb
des Kanalblocks 32 ist einzeln mit dem Träger 1 durch
einen invertierten U-förmigen
Halter 20, der nach außen
hervorragende Kanten hat, befestigt.
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Ein
T-förmiges
röhrenförmiges Verbindungselement 34 für das Abzweigen
eines Bypasskanals ist zwischen dem Blockverbindungselement 14 unter dem
Filter und dem röhrenför migen Verbindungselement 15 für die Verbindung
mit der Mengenflußsteuereinrichtung 2 angeordnet.
Ein invertiertes U-förmiges
Bypassrohr 35, das swich oberhalb der Mengenflußsteuereinrichtung 2 erstreckt,
hat ein Ende, das mit dem T-förmigen
Verbindungselement 34 verbunden ist und das andere Ende
mit dem flansch-versehenen Blockkupplungselement 31 der
auslaßseitigen Absperröffnungsvorrichtung 7 verbunden
ist. In einem mittleren Bereich des Bypassrohrs 35 ist
ein röhrenförmiges Verbindungselement 36 ausgebildet, das
das Rohr 35 teilbar in einen invertierten L-förmigen Teil 35a und
einen I-förmigen
Teil 35b macht.
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Die
bypass-versehenen Leitungen B1, B2, B3 sind entfernbar an dem Träger 1 in
dem in 3 gezeigten Zustand befestigt. Die Mengenflußsteuereinrichtung 2 ist
einzeln nach oben entfernbar indem die Verbindungselemente 15, 17 an
den gegenüberliegenden
Seiten davon entfernt werden. Weiterhin ist der Filter 4 und
die Körper 21, 26, 28 der
Absperröffnungsvorrichtungen 6, 7 und
die Kanalblöcke 25, 32 hiervon
genauso individuell durch das Entfernen von Schruaben 37 entfernbar.
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Genauso
wie die Auslaßseiten
der Leitungen A1, A2, A3, die keine4n Bypasskanal haben, sind die hinteren
Endbereiche der auslaßseitigen
Absperröffnungsvorrichtung 7 darunter
mit einem Verteilerblockverbindungselement 43 versehen.
Obwohl nicht im Detail gezeigt hat das Verteilerblockverbindungselement 43 drei
Abzweigungskanäle,
die den Abzweigungskanälen 40b, 40c des
Verteilerblockverbindungselementes 40, gezeigt in 4,
entsprechen. Die in den hinteren Bereichen der zweiten Blockkörper 28 der
auslaßseitigen
Absperröffnungsvorrichtung 7 der
bypass-versehenen
Leitungen B1, B2, B3 sind durch das Verteilerblockverbindungselement 43 in
Kommunikation miteinander gehalten. Der Halter 42, der
daran das Verteilerblockverbindungselement 42 für die Leitungen,
die keinen Bypasskanal haben, unterstützt, erstreckt sich von einem
Ende des Trägers 1 bis
zu dem anderen Ende davon und das Verteilerblockverbindungselement 43 für die bypass-versehenen Leitungen
ist ebenfalls an diesem Halter 42 befestigt. Das Verteilerblockverbindungselement 40 ist
mit dem Verteilerblockverbindungselement 43 durch ein Kommunikationsrohr 44 verbunden
und das Abschlußende
des Verteilerblockverbindungselementes 43 dient als ein
Auslaß der
den Verbindungselementen 40, 43 gemeinsam ist
und mit einem Schaltventil 45 versehen ist, das ein röhrenförmiges Verbindungselement 46 hat.
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Die
bypass-versehenen Leitungen B1, B2, B3 sind miteinander durch Zusammenschalten
der mit röhrenförmigen Verbindungselementen
versehenen Blockverbindungselemente 24 der einlaßseitigen Absperröffnungsvorrichtung 6 und
durch Zusammenschalten der zweiten mit röhrenförmigen Verbindungselementen
versehenen Blockverbindungselementen 33 der auslaßseitigen
Absperröffnungsvorrichtung 7 jeweils
mit invertierten U-förmigen
Kommunikationsröhren 47, 48,
die als Kanalkommunikationsmittel dienen, verbunden.
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Beispielsweise
werden zwei Leitungen, die keinen Bypasskanal haben, zu einer so
konstruierten Fluidsteuereinrichtung in der folgenden Weise hinzugefügt.
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Wie
in 5 gezeigt ist werden die zwei Kanalverschließungsblöcke 41 von
dem Verteilerblockverbindungselement 40 entfernt, und eine
Leitung A4, die keinen Bypasskanal hat und in dem Zustand der in 2 gezigt
ist, zusammengebaut ist, miteingebaut, wie dies in 6 zu
sehen ist. Das Verfahren kann nur durch das Befestigen der Halter 8, 9 an
dem Träger 1 durchgeführt werden,
wobei der Körper 5a des
auslaßseitigen
Schaltventils 5 an einem Platz angeordnet ist, der in Register
mit dem entsprechenden Abzweigungskanal 40c des Verteilerblockverbindungselementes 40 angeordnet
ist. Dieses Verfahren wird auch für eine weitere Leitung A5,
die kein Bypasskanal hat, wiederholt. Demzufolge wird eine Fluidsteuereinrichtung
erhalten, die parallel auf dem Träger 1 angeordnet fünf Leitungen
A1, A2, A3, A4, A5, die keinen Bypasskanal haben, und drei bypass-versehene
Leitungen B1, B2, B3 aufweist, wie das in 7 zu sehen
ist.
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Eine
bypass-versehene Leitung kann in der folgenden Weise zu einer Fluidsteuereinrichtung,
die parallel auf einem Träger
angeordnete fünf
Leitungen A1, A2, A3, A4, A5, die keinen Bypasskanal haben und zwei
bypass-versehene Leitungen B1, B2 aufweisen, wie dies in 8 gezeigt
ist, hinzugefügt werden.
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Mit
Bezug auf 9 wird zuerst der Kanalverschlußblock 41 von
dem Verteilerblockverbindungselement 43 für die bypass-versehenen
Linien entfernt und gleichzeitig das mit dem röhrenförmigen Verbindungselement versehene
Blockverbindungselement 24 der einlaßseitigen Absperröffnungsvorrichtung 6 von
zwei bypass-versehenen Leitungen B1, B2 und das mit dem röhrenförmigen Flansch
versehene Blockverbindungselement 33 des zweiten Körpers der
auslaßseitigen
Absperröffnungsvorrichtung 7 der
Linien B1, B2 mit den invertierten U-förmigen Kommunikationsröhren 47, 48 entfernt.
Eine bypass-versehene Leitung B3, die zu dem Zustand, der in 3 gezeigt
ist, zusammengebaut ist, kann so angebracht werden, wie dies in 10 gezeigt
ist. Das Verfahren kann nur durch das Anbringen der Halterungen 18, 19,
an den Träger 1 durchgeführt werden,
wobei der zweite Blockkörper 28 der
auslaßseitigen
Absperröffnungsvorrichtung 7 genau
für den entsprechenden
Aktionskanal 43c des Verteilerblockverbindungselementes 43 positioniert
ist. Das mit einem röhrenförmigen Flansch
versehene Blockverbindungselement 24 der einlaßseitigen
Absperröffnungseinrichtung 6 der
drei Linien B1, B2, B3 und das mit dem röhrenförmigen Flansch versehene Blockverbindungselement 33 auf
dem zweiten Körper 28 der
auslaßseitigen
Absperröffnungsvorrichtung 7 der
Linien B1 bis B3 sind an einem Platz neben den Kommunikationsröhren 47, 48 angebracht, wie
dies in 11 gezeigt ist. Demzufolge wird
eine Fluidsteuereinrichtung erhalten die parallel auf dem Träger 1 angeordnete
fünf Leitungen
A1, A2, A3, A4, A5, die keinen Bypasskanal haben und drei bypass-versehene
Leitungen B1, B2, B3 aufweisen, wie dies in 12 zu
sehen ist.
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In
der Fluidsteuereinrichtung (gezeigt in 12), die
parallel auf dem Träger 1 angeordnet fünf Leitungen
A1, A2, A3, A4, A5, die keinen Bypasskanal haben, und drei bypass-versehene
Leitungen B1, B2, B3 aufweisen, ist die Mengenflußsteuereinrichtung 2 der
bypass-versehenen Linie 3 durch eine andere in der folgenden
Art ersetzt.
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Wie
dies in der 13 gezeigt ist wird zuerst das
röhrenförmige Verbindungselement 36 von
der Bypassröhre 35 der
bypass-versehenen Linie B3 entfernt. Das mit dem röhrenförmigen Flansch
versehene Blockverbindungselement 31 der auslaßseitigen Absperröffnungsvorrichtung 7 wird
dann entfernt, wobei der invertierte L-förmige Bereich 35a des
Bypassrohres 35 an dem Verbindungselement 31 befestigt ist,
wie dies in 14 gezeigt ist. Als nächstes werden
wie dies in 15 zu sehen ist, die röhrenförmigen Verbindungselemente 15 und 17 von
der Einlaßseite
und der Auslaßseite
der Mengenflußsteuereinrichtung 2 entfernt,
wodurch die Mengenflußsteuereinrichtung 2 nach
oben entfernbar wird, wie dies in 16 gezeigt
ist. Die Mengenflußsteuereinrichtung 2 kann
an dem Platz installiert werden, indem diese Folge von Schritten
in umgekehrter Reihenfolge ausgeführt wird.
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Die
beschriebenen Fluidsteuereinrichtungen werden insbesondere in Gasbehandlungssystemem verwendet,
zum Beispiel um Behandlung mit Plasma, Ätzen oder das Ausbilden von
Folien CVD durchzuführen.
Die 17 zeigt ein Beispiel eines Gasbehandlungssystems.
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Dieses
System ein Plasmaätzsystem 100, das
in sich eingebaut eine Fluidsteuereinrichtung 101 aufweist,
die normalerweise drei Leitungen C, D, E hat. Die Einrichtung 101 ist
in einer Buchs untergebracht, die eine geschlossene Struktur aufweist,
um den Unfall von Gaslecks zu verhindern und dafür ausgelegt ist Gase abzugeben.
Das von der Einrichtung 101 bereitgestellte Ätzgas wird
in eine Reaktionskammer 102 mit Hilfe einer Gasversorgungsrohrleitung 103 und
einem Gasbrausenkopf 104, der innerhalb der Kammer 102 angeordnet
ist, eingeleitet. Das Ätzgas
wird aus der Kammer 102 durch eine Auslaßrohrleitung 108 und
durch eine nicht gezeigte Auslaßleitung
abgegeben. Zu diesem Zeitpunkt wird ein Substrathalter 105 Hochfrequenzwellen,
die von einer Hochfrequenzstromquelle 106 für die Erzeugung
von Plasma erzeugt werden, ausgesetzt, wodurch eine Abgabe von Plasma
in der Nähe
eines Substrates 107 zur Ätzung des Substrates 107 bewirkt
wird.
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Silikondioxidfolien
können
mit diesem Plasmaätzesystem 100 geätzt werden,
wenn man zum Beispiel CHF3, O2 und
C2F6 als Gase verwendet.
Um dieses System für
die Ätzung
von Polysilikon verwendbar zu machen ist es notwendig, zusätzliche Leitungen
für Cl2 und SF6-Gase bereitzustellen.
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Wenn
eine konventionelle Fluidsteuereinrichtung in diesem Fall verwendet
ist, besteht die Notwendigkeit, alle Fluidsteuervorrichtungen sowie
Mengenflußsteuereinrichtungen
zu entfernen und neu geschweißte
Rohre herzustellen und die Fluidsteuervorrichtungen wieder zusammenzusetzen.
In solch einem Fall ist die Gasrohrleitung der Atmosphäre für eine verlängerte Periode
von Zeit ausgesetzt, was es dem Wasser in der Atmosphäre erlaubt,
mit den Gaskomponenten, die von der Rohrleitung absorbiert worden
sind, zu reagieren und was dazu führt, daß das Problem entsteht, daß die Rohrleitung
Korrosion entwickelt. Aus diesem Grund müssen die gasausgesetzten Bereiche
der Komponenten anders als jene, die zusätzlich verwendet oder ausgetauscht
werden, separiert und abgewaschen werden. Bei dem Plasmaätzsystem,
das Fluidsteuereinrichtung der Erfindung aufweist, können nur
die Komponenten, die für zusätzliche
Gase benötigt
werden, zu der Fluidsteuereinrichtung hinzugefügt werden, und ist daher eine stark
vereinfachte Modifikation.
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Die
Gasbehandlungssysteme, die die vorliegende Fluidsteuereinrichtung
aufweisen, beinhalten zusätzlich
zu Plasmaätzsystem
CVD-Systeme, Plasma-CVD-Systeme und Sputtersysteme, bei denen gepanschte
verwendet werden oder in die Gase eingeleitet werden. Jedes solches
System kann einfach für
die Verwendung verschiedener Gase oder zusätzlicher Gase modifiziert werden.