DE60105856T2

DE60105856T2 - Bogenverdampfer mit intensiver magnetführung für grossflächige targets

Info

Publication number: DE60105856T2
Application number: DE60105856T
Authority: DE
Inventors: Josu Goikoetxea Larrinaga
Original assignee: Fundacion Tekniker
Current assignee: Fundacion Tekniker
Priority date: 2001-03-27
Filing date: 2001-03-27
Publication date: 2005-10-20
Anticipated expiration: 2021-03-28
Also published as: WO2002077318A1; US7828946B2; US20060237309A1; CN100355933C; EP1382711A1; BR0116951A; ATE277204T1; US20040112736A1; CN1494603A; EP1382711B1; JP2004523658A; ES2228830T3; BR0116951B1; DE60105856D1

Description

GEGENSTAND DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Bogenverdampfer, das heisst, eine Vorrichtung zur Verdampfung eines Materials, elektrischer Leiter, so dass das besagte Material sich in Form von Dampf innerhalb eines Vakuums fortbewegen kann, um sich auf der Oberfläche des zu beschichtenden Stücks abzusetzen.
Gegenstand der Erfindung ist es, einen Bogenverdampfer zu erhalten, der eine intensive Magnetführung umfasst und es erlaubt, den Kathodenpunkt des Bogens auf unendlich viele verschiedene Bahnen zu lenken, die einzen wählbar sind und die ganze Oberfläche des Targets abdecken mit dem Zweck, einen gleichmässigen Gebrauch desselben zu erzielen. Gleichermassen erzeugt die intensive Magnetführung eine Verengung oder Verjüngung des Kathodenpunkts, wodurch die Temperatur und Ionisierung des abgegebenen Materials erhöht wird und das Erhalten von guten Beschichtungen ermöglicht.
Andererseits trägt die Magnetführung dazu bei, dass die Verlässlichkeit des Bogenverdampfers erhöht wird, da verhindert wird, dass der Bogen sich versehentlich an einen anderen Punkt der Verdampfungsoberfläche bewegt.
VORANGEGANGENE TECHNIK
Wie schon in dem vorangegangenen Abschnitt angemerkt wurde, sind die Bogenverdampfer Maschinen zum Verdampfen eines Materials, elektrischer Leiter, und es in das Innere einer Vakuumglocke in Form von Dampf abzugeben, der sich im Inneren der Glocke bewegen kann.
Normalerweise ist das zu verdampfende Material in Form einer Platte, deren eine Seite durch Wasser gekühlt wird und die andere zum Innere der Vakuumglocke gerichtet ist gegenüber des Stücks auf dem die Ablagerung der abgegebenen Dämpfe erwünscht ist, wobei die Verdampfung des Materials ausgelöst wird, indem ein elektrischer Bogen mit Gleichstrom, der etwa 22 Volt und 80 Ampere beträgt zwischen einer gekühlten Elektrode, die als Anode funktioniert und der Leiterplatte, die verdampft werden soll und als Kathode funktioniert, überspringt wobei normalerweise zusätzlich eine kleine Menge Gas in die Vakuumkammer gegeben wird, um den Bogen beizubehalten.
Konkreter wirkt der elektrische Bogen auf die Oberfläche der Platte ein, die zu verdampfen ist und zwar konzentriert auf einen einzigen Punkt, der der Kathodenpunkt ist und sich willkürlich auf der äusseren Oberfläche der Platte bewegt, wodurch eine wenig gleichmässige Abnutzung der besagten Platte entsteht oder anders ausgedrückt, es wird keine gute Nutzung des Materials erzielt, das die Platte bildet und dessen Kosten gross sind.
Um dieses Problem der fehlenden Gleichmässigkeit bei der Abnutzung der Platte zu beheben, wird versucht, die Bewegung des elektrischen Bogens zu kontrollieren und zu lenken, wofür Magnetführungen eingesetzt werden, die Felder erzeugen, die kontrolliert den Verlauf des elektrischen Bogens verändern können.
Es gibt heute verschiedene Lösungen für die besagten Magnetführungen, die alle darauf abzielen, die Bewegung des Bogens auf der Kathode zu kontrollieren, um so die gleichmässige Abnutzung zu optimieren und von denen die folgenden hervorzuheben sind:

– Das USA-Patent Nr. 4.673.477 beschreibt eine Magnetführung, die sich durch mechanische Mittel auf der hinteren Seite der zu verdampfenden Platte bewegt, so dass das veränderbare Magnetfeld, dass dieser Magnet hervorruft eine Führung des elektrischen Bogens auf der Kathode auslöst. Diese Maschine kann auch über eine magnetische Wicklung verfügen, die die Kathodenplatte umläuft, um die Kraft des magnetischen Feldes in senkrechter Richtung zu der aktiven Oberfläche der Kathode zu erhöhen oder zu verringern und so die Führung der Elektrode zu verbessern. Das Problem dieser Vorrichtung ist, dass das Magnetsystem permanent mobiler Magnete mechanisch sehr kompliziert und von daher störanfällig ist.
– Das USA-Patent Nr. 4.724.058 bezieht sich auf eine magnetische Führung, die über Spulen verfügt, die sich auf der Rückseite der Kathodenplatte befinden und den elektrischen Bogen in einer einzigen Richtung parallel zu der Spulenrichtung führen. Um die Abnutzungswirkung vorzugsweise in eine einzige Richtung herabzusetzen, werden Methoden eingesetzt, die versuchen, die Wirkung der Führung des magnetischen Feldes abzuschwächen, so dass diese einer Zufallskomponente unterliegt. Es ist konkret vorgesehen, dass das Magnetfeld, das durch die Spule entsteht an- und ausgestellt wird, so dass sich der Bogen die meiste Zeit zufällig über die Kathode bewegt und nur ein sehr geringer Teil durch das Magnetfeld geführt wird. Das Problem dieser Maschine ist, dass letztlich die Führung nur sehr kurze Zeit stattfindet und der Rest zufällig ist, weswegen keine genaue und wirksame Kontrolle der Abnutzung der Kathodenplatte gewährleistet ist.
– Das USA-Patent Nr. 5.861.088 beschreibt eine magnetische Führung, die einen permanenten Magnet umfasst, der sich in der Mitte und auf der Rückseite des Targets befindet und eine Spule, die den besagten permanenten Magneten umläuft, wodurch die Anordnung einen Konzentrator des magnetischen Feldes ausbildet. Das System wird durch eine zweite Spule vervollständigt, die sich auf der Aussenseite des Verdampfers befindet. Das Problem dieser Maschine ist, dass das erzeugte Magnetfeld schwach ist und somit auch die Führung, die es auf den elektrischen Bogen ausübt.
– Das US-Patent Nr. 5.298.136 beschreibt eine Magnetführung für dicke Targets in Kreisverdampfern, die zwei Spulen und ein Magnetteil besonderer Gestaltung umfasst, das sich an die Ränder des zu verdampfenden Targets anpasst, so dass die Anordnung wie ein einziges Magnetelement mit zwei Magnetpolen funktioniert. Obwohl es diese Anordnung gestattet, den Verlauf des Bogens bis zu einem gewissen Grad zu verschieben, ist sie nicht in der Lage den Verlauf desselben bis zum äusseren Rand des Targets oder bis kurz davor zu verschieben, weswegen für eine wirksame Ausnutzung des Kathodenmaterials die Führung schwach genug sein muss, um zu gestatten, dass eine Zufallskomponente über die magnetisch hervorgerufene Bewegung gelegt wird.

Zusammenfassend weisen alle bekannten Systeme magnetischer Führungen die Problematik auf, dass für die gleichmässige Abnutzung der gesamten Kathodenoberfläche der Bogen mit einer gewissen Freiheit bewegt werden können muss und aus dem Grunde schwache Führungen (mit geringer magnetischer Intensität) eingesetzt werden müssen, weswegen es nicht möglich ist, die Kontrolle über den Bogenverlauf zu jedem Zeitpunkt zu behalten.
Wenn im Gegenteil sehr intensive magnetische Führungen verwendet werden, ist es nicht möglich eine gleichmässige Abnutzung der gesamten Target- oder Kathodenoberfläche zu erzielen.
BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Der Bogenverdampfer, den die Erfindung vorschlägt, löst die vorgenannte Problematik zur vollständigen Zufriedenheit in jedem einzelnen der genannten Gesichtspunkte aufgrund der Aufnahme einer intensiven Magnetführung, die allerdings durch ihre besondere Gestaltung eine Führung des Bogens auf unendlich vielen verschiedenen Verläufen erlaubt, die individuell wählbar sind und die gesamte Oberfläche des Targets abdecken einschliesslich der Ränder und der Mitte desselben, wodurch eine gleichmässige Abnutzung des Targets oder der Kathode erzielt wird.
Hierzu und konkreter konzentriert der besagte Verdampfer seine Eigenschaften auf der Tatsache, dass seine Magnetführung aus zwei von einander unabhängigen Magnetsystemen gebildet wird, das heisst aus vier Magnetpolen, was es ermöglicht, mit den Werten der magnetischen Intensität beider Systeme zu arbeiten und zu erzielen, dass die entstehende zum Magnetfeld senkrechte Komponente an dem gewünschten Punkt der Targetoberfläche Null ist, womit eine Führung des Bogens auf jedem Verlauf ermöglicht wird, vom Mittelpunkt des Targets bis hin zu dessen äusseren Rändern.
Auf diese Weise und mit einem System, dass es erlaubt, die Führung des Bogens in allen Punkten des Targets zu gewährleisten, ist es möglich stärkere magnetische Systeme einzusetzen, die es somit erlauben, hohe magnetische Intensitäten auf jeden der Verläufe anzuwenden, wodurch eine starke Verjüngung des Kathodenpunktes erreicht wird, die zu einem bedeutenden Temperatur- und Ionisierungsgradanstieg des abgegebenen Materials fühlt, was in hohem Masse zur Erzielung guter Beschichtungen beiträgt. Ausserdem wird die Verlässlichkeit des Verdampfers erhöht, da die intensiven Magnetfelder einen Punkt fest halten, auf den der Bogen bei dem gewählten Lauf angewendet wird, womit vermieden wird, dass er versehentlich auf einen nicht vorgesehenen Bereich fällt.
Konkret können die beiden Magnetsysteme, die die Führung bilden, ein System aus sehr starken, permanenten Magneten sein und ein System aus auch sehr starken Elektromagneten, die eine hohe magnetische Intensität gewährleisten und somit eine gute Kontrolle über den elektrischen Bogen, aber gleichtzeitig ist es möglich auf die Elektromagnete einzuwirken, indem ihre Intensität verändert wird, wodurch der Verlauf des Bogens auf dem Target verändert wird. Somit erzielen wir mit diesem System eine starke magnetische Führung, die es ausserdem gestattet, den Verlauf des Bogens auf dem Target zu verändern und somit zu kontrollieren, wodurch eine gleichmässige Abnutzung der gesamten Fläche desselben erzielt wird.
Das System der permanenten Magnete könnte auch durch ein zweites System aus Elektromagneten ersetzt werden, da die Arbeitsweise der Anordnung ähnlich wäre.
BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Um die Beschreibung, die hier durchgeführt wird, zu vervollständigen und mit dem Ziel, das bessere Verständnis der Eigenschaften der Erfindung zu unterstützen, wird als Teil dieser Beschreibung ein Satz Zeichnungen gemäss der bevorzugten praktischen Umsetzung dieser Erfindung beigefügt, in dem anschaulich, wenn auch nicht beschränkend, Folgendes dargestellt ist:
Die 1 – Zeigt eine schematische Darstellung des Querschnitts durch den rechteckigen Bogenverdampfer mit intensiver Magnetführung gemäss dem Gegenstand der vorliegenden Erfindung.
Die 2 – Zeigt auch gemäss einer schematischen Darstellung einen Aufriss des Verdampfers der vorherigen Figur.
Die 3, 4 und 5 geben den Querschnitt der 1 wieder, wobei in der 3 eine Graphik der senkrechten Komponente des Magnetfeldes hinzugefügt wurde, das durch die permanenten Magnete ausserhalb gebildet wird, in der 4 eine ähnliche Graphik, die aber den Magnetfeldern entspricht, die von dem Elektromagneten erzeugt werden, der sich auf der Rückseite des Targets befindet, wenn verschiedene elektrische Intensitäten auf den Elektromagneten angewendet werden und in der 5 die Magnetfelder, die von den permanenten Magneten erzeugt werden, die sich ausserhalb des Verdampfers befinden und der Elektromagnet, der sich auf der Rückseite des Targets befindet, gleichermassen bei Anwendung verschiedener elektrischer Intensitäten auf den Elektromagnet.
Die 6 – Zeigt einen ähnlichen Querschnitt wie in der 1, gemäss einer Ausführungsvariante, bei der die Form des durchlässigen Materials des Elektromagneten verändert wurde.
Die 7 – Zeigt letztlich einen weiteren ähnlichen Querschnitt wie in der 1, aber entsprechend einer anderen Ausführungsvariante der Erfindung, bei der die permanenten Magneten ausserhalb des Verdampfers jeweils durch Elektromagneten ersetzt wurden.
BEVORZUGTE AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Bei Betrachtung der genannten Zeichnungen und besonders der 1 und 2 ist ersichtlich, wie an dem Bogenverdampfer, den die Erfindung vorschlägt, eine Anode (1) teilnimmt und eine Kathode oder Target (2), sowie eine Magnetführung, so dass sich der elektrische Bogen aus Gleichstrom logischerweise zwischen der Anode (1) und dem Target (2) bildet, das die Kathode des besagten elektrischen Bogens darstellt und so Material von seiner Oberfläche abgibt.
Um zu gewährleisten, dass sich der Punkt des Targets (2) auf den der Bogen einwirkt (Punkt, an dem die senkrechte Komponente des Magnetfeldes Null ist) gleichmässig über die gesamte Oberfläche des besagten Targets (2) bewegt, wird eine magnetische Führung eingesetzt, die aus zwei unabhängigen magnetischen Systemen besteht, wobei das erste magnetische System aus einer Anordnung von permanenten Magneten (3) besteht, die sich in der Peripherie des Verdampfers so angeordnet sind, dass ihre Magnetisierung senkrecht zur Oberfläche des Targets verläuft und ein zweites Magnetsystem, das aus einem einzigen Elektromagneten (4–5) besteht, der sich auf der Rückseite des Targets etwas von diesem entfernt befindet, wobei der dem Target (2) nächste Pol parallel zur Oberfläche des besagten Targets verläuft.
Der Elektromagnet (4–5) auf der Rückseite des Targets (2) verfügt über einen Kern (4) aus einem Material, das über eine hohe magnetische Durchlässigkeit und eine geringe Koerzitivkraft verfügt, wie Weicheisen umhüllt von einer elektrischen Spule (5), die dazu dient, den notwendigen elektrischen Fluss zu erzeugen, um das Weicheisen zu magnetisieren, wobei der besagte Kern (4) einen rechteckigen Querschnitt aufweist, die in der 1 dargestellt ist, mit beiden Polen parallel zur Oberfläche des Targets (2).
Konkreter befindet sich der Elektromagnet (4–5) perfekt eingepasst in dem Inneren des Körpers (6) des Verdampfers, der eine Art Kappe ausbildet, an deren Öffnung die Kathode oder das Target (2) angepasst wird, das mit Hilfe von nicht dargestellten Schrauben befestigt wird, wobei der Elektromagnet (4–5) unterhalb des Target ist und in einem gewissen Abstand zu diesem, um zu gewährleisten, dass das Magnetfeld ausreichend gleichmässig auf der Oberfläche des Targets ist, wobei so zwischen dem Target (2) und dem Elektromagneten (4–5) eine Kammer (11) ausgebildet wird, die verwendet werden kann, um die notwendigen Systeme aufzunehmen, um die angemessene Kühlung des Targets (2) sowie der restlichen Verdampferkomponenten zu gewährleisten. Wie angegeben wurde, ist die Höhe dieser Kühlkammer dadurch bestimmt, dass eine Notwendigkeit besteht, einen gewissen Abstand zwischen der Oberseite des eisenmagnetischen Kerns und der Verdampferoberfläche zu erzielen, damit das Magnetfeld auf dieser ausreichend gleichmässig ist.
Die Anordnung wird durch ein äusseres Auflager (9), seitliche und äussere Holme (8) und eine Leistenbarriere (13) vervollständigt, die einen Rahmen bilden, der zum einen die Schrauben schützt, die das Target (2) an dem Körper (6) befestigen und zum anderen den Bogen innerhalb des Targets (2) einfassen, womit die Verdampfungsoberfläche begrenzt wird. Gleichermassen sind die Isolierleisten (13) mit Schrauben (7') befestigt, die entsprechend elektrisch isoliert sind. Alle diese Elemente, Leisten (13), Holme (8) und Auflager (9) bestehen aus bei hohen Temperaturen elektrisch isolierenden Materialien wie Aluminiumoxyd, Glaskeramik, Bornitrid oder PTFE, die erschweren, dass der Bogen nicht erwünschte Oberflächen erreicht. Diese Teile müssen einer regelmässigen Wartung unterliegen, da sie im Verlauf des Funktionierens des Bogens mit elektrisch leitendem Material belegt werden, wodurch ihre Wirksamkeit verringert wird, den Bogen einzugrenzen.
Die Magnete (3), die das erste Magnetsystem in der Peripherie des Körpers (6) des Verdampfers bilden, sind im Bereich des Targets (2) als äussere permanente Magnete (3) ausgeführt, die über wenig Höhe verfügen dürfen und so angeordnet sein müssen, dass ihre Mittellinie mit der mittleren Ebene übereinstimmt, die zwischen der Ausgangsoberfläche des Targets (2) und der Oberfläche definiert ist, die es am Ende seiner Einsatzzeit aufweist, wobei die Magnete ausserdem so stark wie möglich sein müssen, weswegen sie so Breit wie möglich sind und sie aus Materialien mit hoher Koerzitivkraft bestehen wie zum Beispiel SmCo, NdFeB oder Hartferrit.
Der beschriebene Mechanismus wird durch eine Vakuumkammer oder -glocke vervollständigt, die nicht in den Zeichnungen dargestellt ist, in deren Inneren das Stück (10) angeordnet ist, das mit dem vom Target (2) verdampfenden Material zu beschichten ist.
In der 3 ist eine Graphik (12) dargestellt, die mit der senkrechten Komponente des Magnetfelds übereinstimmt, das von den permanenten Magnete (3) erzeugt wird, die sich ausserhalb des Körpers (6) des Verdampfers befinden und auf Höhe der Oberfläche des Targets (2).
In der 4 entsprechen die dargestellten Graphiken (13) (14) und (15) den senkrechten Komponenten der Magnetfelder, die durch den Elektromagneten (4–5) hergestellt werden, der sich hinter der Oberfläche des Targets (2) im Inneren des Körpers (6) des Verdampfers befindet, wenn verschiedene elektrische Intensitäten auf den besagten Elektromagneten (4–5) angewendet werden.
Letztlich werden in der 5 die Graphiken (16) (17) und (18) dargestellt, die den senkrechten Komponenten der Magnetfelder auf der Oberfläche des Targets (2) entsprechen, sowohl von den permanenten Magneten ausserhalb des Verdampfers über der Oberfläche des Targets (2), als auch von dem Elektromagneten (4–5) auf der Rückseite des Targets (2), wenn verschiedene elektrische Intensitäten auf den besagten Elektromagneten (4–5) angewendet werden.
Wie ersichtlich ist, ist diese Graphik das Ergebnis des Aufsummierens des Magnetfeldes, das von dem Elektromagneten (4–5) erzeugt wird und des Magnetfeldes, das von den permanenten Magneten (3) erzeugt wird und das Ergebnis ist eine senkrechte Verschiebung der den permanenten Magneten entsprechenden Graphik, so dass jetzt ein Teil dieser Graphik im positiven Bereich der senkrechten Achse liegt. Der Kathodenpunkt folgt eben einem Verlauf auf der Oberfläche des Targets, der aus den Punkten besteht, bei denen der Wert der senkrechten Komponenten des Magnetfeldes Null ist und so verliefe, wenn zum Beispiel die auf den Elektromagneten angewendete Stärke so angepasst wird, dass die entsprechende Graphik die mit der Nummer 16 dargestellte wäre, der Verlauf des Kathodenpunkts auf dem Target durch die Punkte 19 und 20, während er bei Anpassung der Intensität entsprechend der Graphik 18 durch die Punkte 23 und 24 auf der Oberfläche des Targets wäre, in einem mittleren Verlauf (17) wären die Kathodenpunkte 21 und 22.
Wie aus der 6 ersichtlich, kann der Magnetkern (4) in einer anderen praktischen Ausführung einen "T"-Querschnitt aufweisen mit einem seiner Pole parallel zum Target (2) und dem anderen senkrecht zum Target, wobei diese Anordnung eine höhere Intensität des Magnetfeldes auf der Oberfläche des Verdampfers erlaubt sowie eine grössere horizontale Ausdehnung des Magnetfeldes, wodurch die Entfernung zwischen der Oberseite des eisenmagnetischen Kerns (4) und dem Target (2) verringert werden kann.
Zuletzt wird hervorgehoben, dass die permanenten Magnete (3) durch Elektromagnete (3') ersetzt werden könnten mit einer ähnlichen Struktur wie die Elektromagneten (4–5), wie aus der in der 7 dargestellten Ausführung ersichtlich.

Claims

Bogenverdampfer mit intensiver Magnetführung für Auffangelektroden mit grosser Oberfläche, die von der Art sind, die über eine Anode (1) und eine Kathode oder eine Auffangelektrode (2) im Inneren einer Vakuumglocke verfügen, in der sich auch ein Teil (10) befindet, das mit Material beschichtet werden soll, das die Auffangelektrode (2) mittels eines elektrischen Bogens verdampft, der zwischen der Anode (1) und der Kathode (2) entsteht, die ausserdem über eine Magnetführung zum Kontrollieren und Leiten der Bewegung des elektrischen Bogens verfügt und dadurch gekennzeichnet ist, dass die besagte magnetische Führung aus zwei unabhängigen magnetischen Systemen besteht, das heisst aus vier magnetischen Polen, die es erlauben, die sich ergebende magnetische Stärke zu variieren, damit der elektrische Bogen dem gewünschten Weg auf der Auffangelektrode folgt, wobei eines der magnetischen Systeme aus einem Aufbau permanenter Magnete (3) besteht, die auf dem Umlauf des Verdampfers koplanar zu der Auffangelektrode (2) angeordnet sind mit senkrechter Magnetisierung zur Oberfläche der besagten Auffangelektrode (2) und das zweite Magnetsystem aus einem Elektromagnet (4–5) besteht, das sich auf der Rückseite der Auffangelektrode (2) mit einem Abstand zu diesem befindet, wobei der obere oder der Auffangelektrode (2) nähere Magnetpol parallel zur Oberfläche der besagten Auffangelektrode (2) angeordnet ist.
Bogenverdampfer mit intensiver Magnetführung für Auffangelektroden mit grosser Oberfläche gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Elektromagnet (4–5), der dem zweiten Magnetsystem entspricht, innerhalb des Körpers (6) des Verdampfers befindet, der eine Art Gehäuse darstellt, an deren Mündung die Auffangelektrode (2) befestigt wird, die ausreichend Abstand zum Elektromagneten (4–5) einhält, um zwischen diesen Elementen die Kühlsysteme der Auffangelektrode (2) vorzusehen, wobei die Auffangelektrode an dem Körper (6) mittels entsprechender Schrauben befestigt wird und auf diesen eine Begrenzung aus Leisten (7) angebracht wird, die aus Material besteht, das gegen hohe Temperaturen isoliert und der Körper (6) mit vielen Streben (8) und einer Rückbasis (9) abgeschlossen wird und alle diese Teile aus elektrisch gegen hohe Temperaturen isolierendem Material bestehen wie Aluminiumoxid, Glaskeramik, Bornitrid oder PTFE.
Bogenverdampfer mit intensiver Magnetführung für Auffangelektroden mit grosser Oberfläche gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektromagnet (4–5), der das zweite Magnetsystem darstellt, basierend auf einem Kern (4) aufgebaut ist, der eine hohe magnetische Durchlässigkeit und geringe Koerzitivkraft aufweist, wie Weicheisen, wobei um diesen herum eine elektrische Spule (5) angeordnet ist, die dazu dient, den notwendigen Magnetfluss herzustellen, um den Kern (4) zu magnetisieren.
Bogenverdampfer mit intensiver Magnetführung für Auffangelektroden mit grosser Oberfläche gemäss vorangegangener Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der besagte magnetische Kern (4) einen rechteckigen Querschnitt aufweist mit beiden magnetischen Polen in paralleler Anordnung zur Oberfläche der Auffangelektrode (2).
Bogenverdampfer mit intensiver Magnetführung für Auffangelektroden mit grosser Oberfläche gemäss den Ansprüchen 1, 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Kern (4) des Elektromagneten einen Querschnitt in "T"-Form aufweist, so dass einer der Pole parallel zur Auffangelektrode (2) liegt und der andere Pol senkrecht zur besagten Auffangelektrode (2).
Bogenverdampfer mit intensiver Magnetführung für Auffangelektroden mit grosser Oberfläche gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die permanenten Magneten (3) über eine geringe Höhe verfügen und so angeordnet sind, dass die mittlere Linie der Magneten mit de mittleren Ebene übereinstimmt, die zwischen der anfänglichen Oberfläche der Auffangelektrode (2) und der Oberfläche ausgebildet ist, die sie am Ende ihrer Lebensdauer aufweist, wobei sie die grösstmögliche Breite aufweist, um die höchstmögliche Leistung zu erzielen und aus Materialien mit einer hohen Koerzitivkraft besteht wie SmCo, NdFeB oder Hartferrit.
Bogenverdampfer mit intensiver Magnetführung für Auffangelektroden mit grosser Oberfläche gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Magnetsysteme aus Elektromagneten bestehen.