DE60034616T2 - Iridium-Verbundsbarrierestruktur und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents
Iridium-Verbundsbarrierestruktur und Verfahren zu deren Herstellung Download PDFInfo
- Publication number
- DE60034616T2 DE60034616T2 DE60034616T DE60034616T DE60034616T2 DE 60034616 T2 DE60034616 T2 DE 60034616T2 DE 60034616 T DE60034616 T DE 60034616T DE 60034616 T DE60034616 T DE 60034616T DE 60034616 T2 DE60034616 T2 DE 60034616T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- iro
- barrier layer
- film
- deposition
- composite film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims description 93
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 64
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 title claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 title description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 52
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 48
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 48
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 35
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 20
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 17
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 17
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 16
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 10
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 8
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 6
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- REDNGDDUEDWIQI-UHFFFAOYSA-N [O].[Ta].[Ir] Chemical compound [O].[Ta].[Ir] REDNGDDUEDWIQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 5
- HWEYZGSCHQNNEH-UHFFFAOYSA-N silicon tantalum Chemical compound [Si].[Ta] HWEYZGSCHQNNEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical class [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N dioxoiridium Chemical compound O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 4
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 claims description 3
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 claims 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 6
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010022528 Interactions Diseases 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 229910000457 iridium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/60—Electrodes
- H01L28/65—Electrodes comprising a noble metal or a noble metal oxide, e.g. platinum (Pt), ruthenium (Ru), ruthenium dioxide (RuO2), iridium (Ir), iridium dioxide (IrO2)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/60—Electrodes
- H01L28/75—Electrodes comprising two or more layers, e.g. comprising a barrier layer and a metal layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
- H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
- H01L29/40111—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a layer which is used for its ferroelectric properties
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/51—Insulating materials associated therewith
- H01L29/516—Insulating materials associated therewith with at least one ferroelectric layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/55—Capacitors with a dielectric comprising a perovskite structure material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
- Die vorliegende Erfindung ist allgemein auf die Herstellung von integrierten Schaltkreisen (ICs) gerichtet und noch spezieller auf die Herstellung einer leitfähigen Elektrodenbarriere unter Verwendung eines Verbundfilms aus Iridium (Ir), Tantal (Ta) und Sauerstoff.
- Platin (Pt) und andere Edelmetalle werden in ferroelektrischen IC-Kondensatoren verwendet. Die Verwendung von Edelmetallen wird durch ihre inhärente chemische Beständigkeit begründet. Diese Eigenschaft ist insbesondere unter Hochtemperatursauerstoff-Härtungsbedingungen erwünscht, wie jenen bei der Herstellung von ferroelektrischen Kondensatoren. Zusätzlich ist die chemische Wechselwirkung zwischen Edelmetallen und ferroelektrischen Materialien, wie Perovskit-Metalloxiden, vernachlässigbar.
- Speziell werden die oben genannten Edelmetalle als leitende Elektrodenpaare, getrennt durch ein ferroelektrisches Material, verwendet. Eine oder beide der Elektroden werden häufig mit Transistorelektroden oder mit elektrisch leitenden Bahnen in ICs verbunden. Wie gut bekannt ist, können diese ferroelektrischen Vorrichtungen entsprechend der an die Elektrode angelegten Spannung polarisiert werden, wobei sich die Beziehung zwischen Ladung und Spannung in einer Hystereseschleife ausdrückt. Wenn in Speichervorrichtungen verwendet, kann die polarisierte ferroelektrische Vorrichtung verwendet werden, um eine "1" oder eine "0" darzustellen. Diese Speichervorrichtungen werden häufig als ferro-RAM oder FRAM bezeichnet. Ferroelektrische Vorrichtungen sind nichtflüchtig. Das heißt, die Vorrichtung bleibt polarisiert, selbst nachdem der Strom vom IC, in den das Ferroelektrikum eingebettet ist, entfernt wird.
- Hinsichtlich der Verwendung von Metall-, selbst Edelmetall-Elektroden, gibt es Probleme. Pt, das möglicherweise das am meisten verwendete Edelmetall darstellt, erlaubt die Diffusion von Sauerstoff speziell während Hochtemperatur-Härtungsverfahren. Die Diffusion von Sauerstoff durch Pt resultiert in der Oxidation der benachbarten Barriere und des Substratmaterials. Typischerweise ist das benachbarte Substratmaterial Silicium oder Siliciumdioxid. Die Oxidation kann in geringer Adhäsion zwischen dem Pt und der Nachbarschicht resultieren. Die Oxidation kann ebenfalls die Leitfähigkeit zwischen benachbarten Substratschichten beeinträchtigen. Silicium-Substrate unterliegen insbesondere Problemen, die als Ergebnis der Sauerstoffdiffusion auftreten. Das Endergebnis kann eine ferroelektrische Vorrichtung mit verschlechterten Speichereigenschaften sein. Alternativ muss die Temperatur des IC-Härtungsverfahrens begrenzt werden, um die Schädigung der ferroelektrischen Vorrichtung zu verhindern.
- Verschiedene Strategien wurden unternommen, um die Interdiffusions-, Adhäsions- und Leitfähigkeitsprobleme, die mit der Verwendung von Edelmetallen als leitfähigem Film bei der IC-Herstellung in Zusammenhang stehen, zu verbessern. Titan- (Ti), Titanoxid- (TiO2) und Titannitrid-(TiN)-Schicht wurden zwischen Edelmetall und Silicium-(Si)-Substrate eingeschoben, um die Interdiffusion von Sauerstoff zu unterdrücken. Jedoch sind Ti-Schichten im Allgemeinen nur unterhalb der Härtungstemperaturen von 600°C effektiv. Nach einem Härten bei 600°C diffundiert Pt durch die Ti-Schichten, um mit Silicium zu reagieren und ein Silicidprodukt zu bilden. Weiterhin kann das Pt die Sauerstoffdiffusion nicht stoppen. Nach einem Hochtemperaturhärten kann eine dünne Schicht von Siliciumoxid auf der Siliciumoberfläche gebildet werden, welche den Kontakt zwischen Silicium und der Elektrode abschirmt.
- Andere mit dem Härten eines Pt-Metallfilms in Zusammenhang stehende Probleme sind Abschälen und Hügelbildung. Diese beiden Probleme sind mit den Unterschieden der thermischen Expansion und der Spannung von Pt mit benachbarten IC-Schichten während des Hochtemperaturhärtens verbunden. Eine Schicht von Ti, die über dem Pt-Film liegt, ist dafür bekannt, dass sie die Spannung des Pt-Films verringert und die Hügelbildung unterdrückt.
- Ir wurde ebenfalls in Versuchen verwendet, um das Sauerstoff-Interdiffusionsproblem zu lösen. Ir ist chemisch stabil, mit einer hohen Schmelztemperatur. Verglichen mit Pt, ist Ir widerstandsfähiger gegen Oxidation und Sauerstoffdiffusion. Weiterhin, selbst wenn oxidiert, bleibt das Iridiumoxid leitfähig. Wenn benachbart zu Ti beschichtet, ist die Ir/Ti-Barriere gegen eine Sauerstoffinterdiffusion äußerst unzugänglich. jedoch kann Ir durch Ti diffundieren. Wie Pt, ist Ir mit Silicium oder Siliciumdioxid sehr reaktiv. Daher ist eine zweischichtige Ir/Ti- oder Ir/TiN-Barriere kein ideales Barrieremetall.
- Die anhängige Anmeldung Serien-Nr. 09/263 595 mit dem Titel "Iridium Conductive Electrode/Barrier Structure and Method for Same", erfunden von Zhang et al, eingereicht am 5. März 1999, offenbart einen Mehrschicht-Ir/Ta-Film, der gegenüber Interdiffusion resistent ist.
- Es wäre vorteilhaft, wenn alternative Verfahren zur Verwendung von Ir als einem Leiter, einer leitfähigen Barriere oder Elektrode bei der IC-Herstellung entwickelt würden. Es wäre vorteilhaft, wenn Ir ohne Wechselwirkung mit einem darunter liegenden Si-Substrat verwendet werden könnte.
- Es wäre vorteilhaft, wenn ein Ir-Film verändert werden könnte, um die Interdiffusionseigenschaften zu verbessern. Weiterhin wäre es vorteilhaft, wenn dieser verbesserte Typ von Ir-Film mit einem dazwischen geschobenen Film überschichtet werden könnte, um die Wechselwirkung von Ir mit einem Siliciumsubstrat zu verhindern. Es wäre vorteilhaft, wenn der mehrschichtige Film, einschließlich einer Schicht aus Ir, der Interdiffusion von Sauerstoff bei hohen Härtungstemperaturen widerstehen könnte. Es wäre ebenfalls vorteilhaft, wenn der mehrschichtige Film, enthaltend Ir, gegenüber den Abschälproblemen und der Hügelbildung nicht anfällig wäre.
- Es wäre vorteilhaft, wenn ein veränderter Ir-Film hergestellt werden könnte, der nach dem Härten bei hohen Temperaturen und unter Sauerstoffumgebungsbedingungen elektrisch leitend bleiben würde.
- Dem gemäß wird eine hochtemperaturstabile bzw. hochgradig temperaturstabile leitfähige Barriereschicht zur Verwendung in einem integrierten Schaltkreis bereitgestellt. Die Barriere umfasst ein darunter liegendes Siliciumsubstrat, einen ersten Barrierefilm, enthaltend Tantal (Ta) über dem Substrat und einen Iridium-Tantal-Sauerstoff(Ir-Ta-O)-Verbundfilm über dem ersten Barrierefilm. Der Ir-Ta-O-Verbundfilm bleibt nach dem Hochtemperatur-Härtungs- bzw. Glühverfahren in einer Sauerstoffumgebung leitend. Weiterhin zeigt der Ir-Verbundfilm keine Hügelbildung und kein Abschälen.
- In einigen Aspekten liegt ein zweiter Barrierefilm, enthaltend ein Edelmetall, über dem Ir-Ta-O-Verbundfilm. Der zweite Barrierefilm verbessert die Ir-Ta-O-Grenzfläche zu nachher bzw. später abgeschiedenen Schichten und begrenzt die Diffusion von Sauerstoff in den Ir-Ta-O-Film.
- Typischerweise wird der erste Barrierefilm ausgewählt aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Ta, Tantalsiliciumnitrid (TaSiN) und Tantalnitrid (TaN). Die erste Barriereschicht hat eine Dicke im Bereich von etwa 10 bis 100 Nanometer (nm).
- In einigen Aspekten der Erfindung wird die Barriere verwendet, um in einer ferroelektrischen Vorrichtung eine Elektrode zu bilden. Dann liegt ein ferroelektrischer Film über dem Ir-Ta-O-Film. Alternativ liegt die zweite Barriereschicht zwischen dem Ir-Ta-O-Film und dem ferroelektrischen Film. Ein leitfähiger Metallfilm, hergestellt aus einem Edelmetall, der oben erwähnte Ir-Verbundfilm, oder eine andere mehrschichtige leitfähige obere Elektrode liegt über dem ferroelektrischen Film. Der ferroelektrische Film ist dazu in der Lage, Ladungen zwischen der oberen und den Ir-Ta-O-Elektroden zu speichern.
- Speziell umfasst der Ir-Verbundfilm die nachfolgenden Materialien. Entweder Ir, Ta und Sauerstoff oder Ir, Ta und IrO2 oder Ir, Ta und Ta2O5 oder IrO2 und Ta2O5 oder IrO2, Ta2O5, Ir und Ta oder Ir und Ta2O5 oder Ta und IrO2 oder IrO2, Ta2O5 und Ir oder IrO2, Ta2O5 und Ta. Weiterhin sollen die oben erwähnten Ir-Verbundfilmgruppen gamma-Phasen-Variationen von Ta2O5 und (Ta, O) enthalten. Typischerweise hat der Ir-Ta-O-Verbundfilm eine Dicke im Bereich von etwa 10 bis 500 nm.
- Ebenfalls bereitgestellt wird ein Verfahren zum Bilden einer hochtemperaturstabilen bzw. hochgradig temperaturstabilen leitenden Barriereschicht über einem Substrat für integrierte Schaltkreise, worin das Verfahren die Schritte umfasst:
- a) Abscheiden einer ersten Barriereschicht, enthaltend Tantal (Ta) über dem Substrat; und
- b) Abscheiden eines Iridium-Tantal-Sauerstoff-Verbundfilms über der ersten Barriereschicht, wobei eine Mehrschichtstruktur gebildet wird, die gegenüber Wechselwirkungen mit dem Substrat widerstandsfähig ist.
- Der Ir-Ta-O-Verbundfilm und die erste Barriereschicht werden durch Abscheidungsverfahren abgeschieden, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus physikalischer Dampfabscheidung (PVD), chemischer Dampfabscheidung (CVD) und metallorganischer DVD (MOCVD). In einigen Aspekten der Erfindung umfasst Schritt b) das Co-Sputtern von sowohl Ir- als auch Ta-Targets bei einer Leistung im Bereich von etwa 200 bis 400 Watt, wobei die Leistung am Ta-Target größer oder gleich der Leistung am Ir-Target ist, und worin das Ar- zu O2-Verhältnis etwa 1:X beträgt, wobei X größer oder gleich 1 ist.
- Einige Aspekte der Erfindung umfassen einen weiteren Schritt, der Schritt b) folgt, von:
- c) Abscheiden einer zweiten Barriereschicht, enthaltend ein Edelmetall über dem Ir-Ta-O-Verbundfilm, wobei die zweite Barriereschicht der Diffusion von Sauerstoff in den Ir-Ta-O-Film widersteht, wodurch die Grenzfläche des Ir-Ta-O-Films gegenüber nachher bzw. später abgeschiedenen Materialien verbessert wird. Der zweite Barrierefilm, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Ir, Ru, IrO2, Platin (Pt) und RuO2, weist eine Dicke im Bereich von etwa 10 bis 200 nm auf. Schritt c) umfasst das Abscheiden der zweiten Barriereschicht durch Abscheidungsverfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus physikalischer Dampfabscheidung (PVD), chemischer Dampfabscheidung (CVD) und metallorganischer CVD (MOCVD). Wenn ein ferroelektrischer Kondensator gebildet werden soll, sind die weiteren Schritte, die Schritt c) folgen:
- d) Abscheiden eines ferroelektrischen Materials über der Ir-Ta-O-Verbundschicht und
- e) Abscheiden einer leitenden oberen Elektrode über dem ferroelektrischen Material, wodurch ein ferroelektrischer Kondensator gebildet wird.
- Die JP-A-10242409 (Sony Corp.) offenbart eine Diffusionsschutzschicht, die neben vielen an deren Möglichkeiten aus Ir-Ta-O hergestellt werden kann.
- Die
1 bis3 veranschaulichen Schritte in einer vollständigen hochtemperaturstabilen bzw. hochgradig temperaturstabilen leitenden Barriereschicht zur Verwendung in einem integrierten Schaltkreis. -
4 veranschaulicht die Flächenwiderstandseigenschaften des Ir-Verbundfilms der vorliegenden Erfindung. -
5 veranschaulicht Röntgenbeugungsspektren des Ir-Verbundfilms der vorliegenden Erfindung bei verschiedenen Härtungstemperaturen unter 650°C in einer Sauerstoffumgebung für 5 Minuten. -
6 veranschaulicht Röntgenbeugungsspektren des Ir-Verbundfilms der vorliegenden Erfindung bei einer Vielzahl von Härtungstemperaturen über 650°C in einer Sauerstoffumgebung für 5 Minuten. -
7 ist ein Bild einer Querschnittsansicht des Ir-Ta-O-Films der vorliegenden Erfindung über einem Siliciumsubstrat. -
8 ist ein Flussdiagramm, das die Schritte in einem Verfahren zur Bildung einer hochtemperaturstabilen bzw. hochgradig temperaturstabilen leitenden Barriereschicht wie in einem ferroelektrischen Kondensator verwendet veranschaulicht. -
9 ist ein Flussdiagramm, das die Schritte bei der Bildung eines ferroelektrischen Kondensators unter Verwendung des leitenden Barriere-Ir-Verbundfilms der vorliegenden Erfindung zeigt. - Die
1 bis3 veranschaulichen Schritte in einer vollständigen hochtemperaturstabilen bzw. hochgradig temperaturstabilen leitenden Barriereschicht zur Verwendung in einem integrierten Schaltkreis. Speziell ist die leitende Barriere als eine Elektrode in einem ferroelektrischen Kondensator verwendbar.1 zeigt die leitende Barriere10 , umfassend ein Substrat12 , eine erste Barriere14 , enthaltend Tantal (Ta) über dem Substrat12 , und einen Iridum-Tantal-Sauerstoff-(Ir-Ta-O)-Verbundfilm16 über dem ersten Barrierefilm14 . Der Ir-Ta-O-Verbundfilm1b bleibt nach Hochtemperatur-Härtungsverfahren in einer Sauerstoffumgebung leitend. - Das Substrat
12 wird aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Silicium-, Polysilicium-, Siliciumdioxid- und Siliciumgermaniumverbindungen ausgewählt, wobei die erste Barriereschicht14 die Bildung von Ir-Silicid-Produkten verhindert. Der erste Barrierefilm14 wird ausgewählt aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Ta, Tantalsiliciumnitrid (TaSiN) und Tantalnitrid (TaN). Die erste Barriereschicht14 hat eine Dicke18 im Bereich von etwa 10 bis 100 Nanometer (nm). - Speziell sind mehrere Typen des Ir-Verbundfilms
16 möglich: die leitende Barriereschicht10 enthält den Ir-Ta-O-Verbundfilm16 , ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus den folgenden Materialien; Ir und Ta; Ir, Ta und Sauerstoff; Ir, Ta und IrO2; Ir, Ta und Ta2O5; IrO2 und Ta2O5; IrO2, Ta2O5, Ir und Ta; Ir und Ta2O5; Ta und IrO2; IrO2, Ta2O5 und Ir; IrO2, Ta2O5 und Ta, wobei das Ta2O5 der oben erwähnten Gruppen gamma-Phasen-Variationen von Ta2O5 und (Ta, O) einschließt. Der Ir-Ta-O-Verbundfilm16 weist eine Dicke20 im Bereich von etwa 10 bis 500 nm auf. -
2 zeigt einen weiteren Aspekt des leitenden Barrierefilms10 von1 . Die leitende Barriereschicht10 umfasst weiterhin einen zweiten Barrierefilm30 , enthaltend ein Edelmetall über dem Ir-Ta-O-Verbundfilm16 . Der zweite Barrierefilm30 verbessert die Ir-Ta-O-Film 16-Grenzfläche zu nachher bzw. später abgeschiedenen Schichten (nicht gezeigt) und begrenzt die Diffusion von Sauerstoff in den Ir-Ta-O-Film16 . - Der zweite Barrierefilm
30 wird ausgewählt aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Iridiumoxid (IrO2), Rutheniumoxid (RuO2), Ir, Platin (Pt) und Ruthenium (Ru). Der zweite Barrierefilm30 weist eine Dicke32 im Bereich von etwa 10 bis 200 nm auf. -
3 veranschaulicht die leitende Barriereschicht10 von1 oder2 , enthaltend einen Teil eines ferroelektrischen Kondensators40 . Der ferroelektrische Kondensator40 umfasst weiterhin einen ferroelektrischen Film42 , der über dem Ir-Ta-O-Film16 liegt. In einigen Aspekten der Erfindung liegt die zweite Barriereschicht30 (nicht gezeigt) über dem Ir-Verbundfilm16 . Ein leitender Metallfilm44 liegt über dem ferroelektrischen Film42 . In dieser Art und Weise ist der ferroelektrische Film42 dazu in der Lage, Ladungen zu speichern oder die Polarität aufrecht zu erhalten zwischen der oberen Elektrode44 und der Ir-Ta-O-Elektrode16 . Die obere Elektrode44 ist eine Edelmetallelektrode, eine Mehrschichtelektrode und ein Ir-Verbundfilm16 sind alternative Aspekte der Erfindung. -
4 veranschaulicht die Flächenwiderstandseigenschaften des Ir-Verbundfilms der vorliegenden Erfindung. Ein 100 nm-Film aus Ta wird auf einem Si-Substrat abgeschieden mit einem 300 nm-Film aus Ir-Ta-O über dem Ta-Film. Versuchsergebnisse zeigen, dass die Ir-Ta-O/Ta/Si-Struktur mindestens 1000°C-Sauerstoffhärten für 5 Minuten ohne Bilden von Hügeln oder Abschälen aushalten kann. Der Flächenwiderstand erhöht sich geringfügig von 500 auf 550°C und beginnt oberhalb 600°C abzunehmen. Ein minimaler Wert wird bei 850°C erhalten, und über 900°C beginnt der Flächenwiderstand anzusteigen. Jedoch ist der 1000°C entsprechende Flächenwiderstand nach wie vor geringer als der Flächenwiderstand vor dem Härten. Das heißt, der Ir-Ta-O-Film bleibt nach einem 1000°C-Sauerstoffhärten für 5 Minuten leitend. - Das Symbol "/", wie hier verwendet, definiert ein Aufschichten von Filmen, so dass Ir/Ta eine Schicht des Ir-Films über einem Ta-Film darstellt. Das Symbol "-", wie hier verwendet, definiert ein Kombination oder Mischung von Elementen, so dass ein Ir-Ta-Film einen Verbundfilm darstellt, der die Elemente Ir und Ta enthält.
-
5 veranschaulicht Röntgenbeugungsspektren des Ir-Verbundfilms der vorliegenden Erfindung bei einer Vielzahl von Härtungstemperaturen unter 650°C in einer Sauerstoffumgebung für 5 Minuten. Der Ir-Verbundfilm, wie abgeschieden, enthält sehr feines polykristallines Ir. IrO2 und Ta2O5-Peaks sind nicht ersichtlich, aber sie können im amorphen Zustand vorliegen. Während des Sauerstoffhärtens unter 650°C werden keine kristallisierten Ta-Oxid-Peaks beobachtet, während ein gewisser Anstieg in der Intensität entsprechend dem IrO2 vorliegt. Diese Beobachtung gibt an, dass IrO2 zu kristallisieren beginnt, und dass die Korngröße der existierenden Kristalle wächst. -
6 veranschaulicht Röntgenbeugungsspektren des Ir-Verbundfilms der vorliegenden Erfindung bei einer Vielzahl von Härtungstemperaturen über 650°C in einer Sauerstoffumgebung für 5 Minuten. Über 700°C werden sowohl kristallisierte Ta2O5- und stöchiometrische IrO2-Peaks beobachtet. Dieses Phänomen entspricht einer Abnahme des Flächenwiderstands. - Bei höheren Temperaturen nehmen die IrO2-Peaks weiter zu, während die Ir-Peaks abnehmen. Über 900°C ist die Intensität der Ir-Peaks sehr schwach, und es ist kein Intensitätsanstieg bei den IrO2-Peaks ersichtlich. Dieses Auftreten entspricht der Zunahme des Flächenwiderstands über 850°C. Die Intensitätsänderungen in den Ta2O5-Peaks sind über 700°C nicht ersichtlich. Weiterhin werden kein Tantalsilicid oder Ir-Silicid beobachtet, was angibt, dass die Barriereeigenschaften des Ir-Verbundfilms sich nicht verschlechtert haben.
-
7 ist ein Bild einer Querschnittsansicht des Ir-Ta-O-Films der vorliegenden Erfindung über einem Siliciumsubstrat.7 zeigt die Integrität des Films nach einem 950°C-Sauerstoffhärten für 5 Minuten. Es wurden keine Hügel gebildet und es trat kein Abschälen zwischen den verschiedenen Schichten des Films auf. -
8 ist ein Flussdiagramm, das die Schritte in einem Verfahren zum Bilden einer hochgradig temperaturstabilen leitenden Barriereschicht, wie in einem ferroelektrischen Kondensator verwendet, veranschaulicht. Schritt100 liefert ein Substrat für einen integrierten Schaltkreis. Das Substrat wird ausgewählt aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Silicium-, Polysilicium-, Siliciumdioxid- und Siliciumgermaniumverbindungen. Schritt102 scheidet eine erste Barriereschicht ab, enthaltend Tantal (Ta) über dem Substrat. Schritt102 umfasst das Abscheiden einer ersten Barriere, ausgewählt aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Ta, Tantalsiliciumnitrid (TaSiN) und Tantalnitrid (TaN). Schritt102 umfasst Abscheiden der ersten Barriereschicht durch Abscheidungsverfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus CVD, PVD und MOCVD. In einigen Aspekten der Erfindung umfasst Schritt102 das Abscheiden der ersten Barriereschicht, bei etwa Raumtemperatur. Schritt102 umfasst ebenfalls Abscheiden der ersten Barriereschicht in einer Dicke im Bereich von etwa 10 bis 100 nm. - Schritt
104 scheidet einen Iridium-Tantal-Sauerstoff-(Ir-Ta-O)-Verbundfilm über der ersten Barriereschicht ab. Schritt104 umfasst das Abscheiden des Ir-Ta-O-Verbundfilms durch Abscheidungsverfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus PVD, CVD und MOCVD. In einigen Aspekten der Erfindung umfasst Schritt104 das Abscheiden des Ir-Ta-O-Verbundfilms bei etwa Raumtemperatur. Schritt104 umfasst den Ir-Ta-O-Verbundfilm, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus den folgenden Materialien:
Ir, Ta und Sauerstoff;
Ir, Ta und IrO2;
Ir, Ta und Ta2O5;
IrO2 und Ta2O5;
IrO2, Ta2O5, Ir und Ta;
Ir und Ta2O5;
Ta und IrO2;
IrO2, Ta2O5 und Ir;
IrO2, Ta2O5 und Ta; und
worin das Ta2O5 in den oben erwähnten Gruppen gamma-Phasen-Variationen von Ta2O5 und (Ta, O) enthält. Schritt104 umfasst das Abscheiden der Ir-Ta-O-Verbundfilmschicht in einer Dicke im Bereich von etwa 10 bis 500 nm. - Schritt
106 ist ein Produkt, worin eine Mehrschichtstruktur gebildet wird, die gegenüber einer Wechselwirkung mit dem Substrat resistent ist. - In einigen Aspekten der Erfindung umfasst Schritt
104 das Abscheiden des Ir-Ta-O-Verbundfilms durch PVD-Abscheidung. Speziell wird ein Gleichstrom-Co-Sputtern von getrennten Ir- und Ta-Targets in einer Sauerstoffumgebung verwendet. Es versteht sich, dass Argon (Ar) typischerweise in sämtlichen Sputterverfahren verwendet wird, und der Sauerstoff wird mit Ar in einigen Aspekten der Erfindung verwendet. Weiterhin umfasst Schritt104 das Co-Sputtern sowohl von Ir- als auch Ta-Targets bei einer Leistung im Bereich von etwa 200 bis 400 Watt, und worin das Ar-zu-O2 Verhältnis etwa 1:X beträgt, wobei X größer oder gleich 1 ist. Die Leistung am Ta-Target ist größer oder gleich der Leistung am Ir-Target. In einigen Aspekten der Erfindung werden multiple Quelltargets ausgewählt aus der Gruppe von Targetmaterialien, bestehend aus Ir, Ta, Zusammensetzungen aus Ir und Ta, Zusammensetzungen aus Ir und Sauerstoff und Zusammensetzungen aus Ta und Sauerstoff. Wenn das Quelltarget Sauerstoff enthält, ist es möglich, einen Ir-Ta-O-Film zu bilden, selbst wenn das Sputtern nicht in einer Sauerstoffumgebung sattfindet. - Alternativ umfasst der Schritt
104 das Abscheiden des Ir-Ta-O-Verbundfilms durch PVD-Abscheidung, Gleichstrom- oder RF(Radiofrequenz)-Sputtern mit einer einzelnen Verbundquelle, Ir-Ta-Target in einer Ar-Umgebung. Das Ir-Ta-Verbundquelltarget ist ausgewählt aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Ta-IrO2, Ir-Ta2O5, IrO2/Ta2O5, Ir/Ta/IrO2/Ta2O5, Ir-IrO2-Ta2O5, Ir-Ta-IrO2, Ir-Ta-Ta2O5, Ta-IrO2-Ta2O5. Wie oben erwähnt, umfasst das Sputterverfahren von Schritt104 in einigen Aspekten der Erfindung ebenfalls die Verwendung von O2 genauso wie Ar. - In einigen Aspekten der Erfindung umfasst Schritt
104 das Härten bei einer Temperatur im Bereich zwischen etwa 600 und 1000°C für eine Zeitdauer im Bereich von etwa 1 bis 30 Minuten. In dieser Art und Weise wird die Verbundfilmstruktur stabilisiert, während gute Leitfähigkeit aufrechterhalten wird. - Einige Aspekte der Erfindung umfassen einen weiteren Schritt, der Schritt
104 folgt. Schritt105 (nicht gezeigt) scheidet eine zweite Barriereschicht ab, die ein Edelmetall enthält, die über dem Ir-Ta-O-Verbundfilm liegt, wobei die zweite Barriereschicht der Diffusion von Sauerstoff in den Ir-Ta-O-Film widersteht, und die Ir-Ta-O-Filmgrenzfläche für nachher bzw. später abgeschiedene Materialien verbessert. Schritt105 umfasst die Abscheidung eines zweiten Barrierefilms, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Ir, Ru, IrO2, Platin (Pt) und RuO2. Schritt105 umfasst das Abscheiden der zweiten Barriereschicht in einer Dicke im Bereich von etwa 10 bis 200 nm. Die zweite Barriereschicht durch Abscheidungsverfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus PVD, CVD und MOCVD. In einigen Aspekten der Erfindung umfasst Schritt105 das Abscheiden der zweiten Barriereschicht bei etwa Raumtemperatur. -
9 ist ein Flussdiagramm, das Schritte bei der Bildung eines ferroelektrischen Kondensators unter Verwendung des leitfähigen Barriere-Ir-Verbundfilms der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Schritte200 bis204 replizieren die Schritte100 bis104 von8 . Wie oben, scheidet ein Schritt205 (nicht gezeigt) einen zweiten Barrierefilm ab, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Ir, Ru, IrO2, Platin (Pt) und RuO2. Zusätzliche Schritte folgen. Schritt206 scheidet ein ferroelektrisches Material ab, das über der Ir-Ta-O-Verbundschicht liegt. Schritt208 scheidet eine leitfähige obere Elektrode ab, die über dem ferroelektrischen Material liegt. Schritt210 ist ein Produkt, worin ein ferroelektrischer Kondensator gebildet wurde. - Ein Ir-Verbundfilm wurde bereitgestellt, der beim Bilden einer Elektrode eines ferroelektrischen Kondensators verwendbar ist. Der Verbundfilm umfasst Tantal und Sauerstoff genauso wie Iridium. Der Ir-Verbundfilm widersteht effektiv einer Sauerstoffdiffusion zum Substrat und widersteht einem Hochtemperaturhärten in Sauerstoffumgebungen. Wenn mit einer darunter liegenden Ta- oder TaN-Schicht verwendet, unterdrückt die resultierende leitende Barriere ebenfalls die Diffusion von Ir in irgendeines der darunter liegenden Si-Substrate. Folglich werden die Ir-Silicid-Produkte, die die Elektrodengrenzflächen-Charakteristika verschlechtern, nicht gebildet. Der Ir-Verbundfilm bleibt leitend und widersteht einem Abschälen und einer Hügelbildung während Hochtemperaturhärtungsverfahren, selbst in einer Sauerstoffatmosphäre. Der oben erwähnte Ir-Verbundfilm ist bei Herstellung von nicht flüchtigen Speichern, wie Metall-ferroelektrischem Metalloxidsilicium (MFMOS), Metall-ferroelektrischem Metallsilicium (MFMS), Metall-ferroelektrischem Isolator-Silicium (MIFS), Metallisolatorferroelektrischem Silicium (MIFS), Metall-ferroelektrischem Silicium (MFS), Kondensatoren, pyroelektrischen Infrarotsensoren, optischen Anzeigen, optischen Schaltern, piezoelektrischen Transduktoren und oberflächenakustischen Wellen(SAW)-Vorrichtungen, verwendbar. Zusätzlich ist der Ir-Verbundfilm in anderen Hochtemperatur-Sauerstoffumgebungen verwendbar. Beispielsweise in Raumfahrtanwendungen, wie Material, verwendet bei der Herstellung von Raketenschubdüsen. Andere Variationen und Ausführungsformen sind dem Fachmann im Stand der Technik offensichtlich.
Claims (30)
- Hochtemperaturstabile bzw. hochgradig temperaturstabile leitfähige Barriereschicht für einen integrierten Schaltkreis, umfassend: ein Substrat; einen ersten Barrierefilm, enthaltend Tantal (Ta), über dem Substrat; einen Iridium-Tantal-Sauerstoff-(Ir-Ta-O)-Verbundfilm über dem ersten Barrierefilm; wobei der Ir-Ta-O-Verbundfilm nach Hochtemperaturhärtungsprozessen in einer Sauerstoffumgebung leitend bleibt.
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 1, ferner umfassend: einen zweiten Barrierefilm, enthaltend ein Edelmetall, über dem Ir-Ta-O-Verbundfilm, wobei der zweite Barrierefilm die Ir-Ta-O-Grenzfläche zu nachher abgeschiedenen Schichten verbessert und die Diffusion von Sauerstoff in den Ir-Ta-O-Film begrenzt.
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 2, worin der zweite Barrierefilm ausgewählt ist aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Iridiumoxid (IrO2), Rutheniumoxid (RuO2), Ir, Platin (Pt) und Ruthenium (Ru).
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 3, worin der zweite Barrierefilm eine Dicke im Bereich von ungefähr 10 bis 200 nm aufweist.
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 1, worin das Substrat ausgewählt ist aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Silicium, Polysilicium, Siliciumdioxid und Silicium-Germanium-Verbindungen, wobei die erste Barriereschicht die Bildung von Ir-Silicid-Produkten verhindert.
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 1, worin der erste Barrierefilm ausgewählt ist aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Ta, Tantalsiliciumnitrid (TaSiN) und Tantalnitrid (TaN).
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 6, worin die erste Barriereschicht eine Dicke im Bereich von ungefähr 10 bis 100 Nanometer (nm) aufweist.
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 1, weiterhin umfassend: einen ferroelektrischen Film über dem Ir-Ta-O-Film; und einen leitenden Metallfilm über dem ferroelektrischen Film, wobei ein ferroelektrischer Kondensator gebildet wird, der in der Lage ist, Ladungen zwischen der oberen und den Ir-Ta-O-Elektroden zu speichern.
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 1, worin der Ir-Ta-O-Verbundfilm ausgewählt ist aus der Gruppe, bestehend aus den folgenden Materialien: Ir, Ta und Sauerstoff; Ir, Ta und IrO2; Ir, Ta und Ta2O5; IrO2 und Ta2O5; IrO2, Ta2O5, Ir und Ta; Ir und Ta2O5; Ta und IrO2; IrO2, Ta2O5 und Ir; IrO2, Ta2O5 und Ta; und in denen das Ta2O5 in den oben erwähnten Gruppen gamma-Phasenvariationen von Ta2O5 und (Ta, O) enthält.
- Leitende Barriereschicht nach Anspruch 9, worin der Ir-Ta-O-Verbundfilm eine Dicke im Bereich von ungefähr 10 bis 500 nm aufweist.
- Verfahren zur Herstellung einer hochtemperaturstabilen bzw. hochgradig temperaturstabilen leitenden Barriereschicht über einem Substrat für integrierte Schaltkreise, worin das Verfahren die Schritte umfasst: a) Abscheiden einer ersten Barriereschicht, enthaltend Tantal (Ta) über dem Substrat; und b) Abscheiden eines Iridium-Tantal-Sauerstoff-(Ir-Ta-O)-Verbundfilms über der ersten Barriereschicht, wobei eine Mehrschichtstruktur gebildet wird, die gegenüber Wechselwirkungen mit dem Substrat widerstandsfähig ist.
- Verfahren nach Anspruch 11, umfassend einen auf Schritt b) folgenden weiteren Schritt: c) Abscheiden einer zweiten Barriereschicht, enthaltend ein Edelmetall, über dem Ir-Ta-O-Verbundfilm, wobei die zweite Barriereschicht der Diffusion von Sauerstoff in den Ir-Ta-O-Film widersteht, wodurch die Grenzfläche des Ir-Ta-O-Films gegenüber nachher abgeschiedenen Materialien verbessert wird.
- Verfahren nach Anspruch 12, worin Schritt c) die Abscheidung eines zweiten Barrierefilms, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Ir, Ru, IrO2, Platin (Pt) und RuO2, umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 11, worin Schritt b) die Abscheidung des Ir-Ta-O-Verbundfilms bis zu einer Dicke im Bereich von etwa 10 bis 500 nm umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 13, worin Schritt c) die Abscheidung einer zweiten Barriereschicht durch Abscheidungsverfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus PVD, CVD und MOCVD, umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 11, worin ein ferroelektrischer Kondensator gebildet wird, umfassend die weiteren Schritte, die auf Schritt c) folgen: d) Abscheiden eines ferroelektrischen Materials über der Ir-Ta-O-Verbundschicht; und e) Abscheiden einer leitenden oberen Elektrode über dem ferroelektrischen Material, wodurch ein ferroelektrischer Kondensator gebildet wird.
- Verfahren nach Anspruch 11, worin Schritt a) die Abscheidung einer ersten Barriere, ausgewählt aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Ta, Tantalsiliciumnitrid (TaSiN) und Tantalnitrid (TaN), umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 17, worin Schritt a) die Abscheidung der ersten Barriereschicht durch Abscheidungsverfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus CVD, PVD und MOCVD, umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 11, worin Schritt b) die Abscheidung des Ir-Ta-O-Verbundfilms durch Abscheidungsverfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus PVD, CVD und MOCVD, umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 11, worin Schritt b) den Ir-Ta-O-Verbundfilm umfasst, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus den folgenden Materialien: Ir, Ta und Sauerstoff; Ir, Ta und IrO2; Ir, Ta und Ta2O5; IrO2 und Ta2O5; IrO2, Ta2O5, Ir und Ta; Ir und Ta2O5; Ta und IrO2; IrO2, Ta2O5 und Ir; IrO2, Ta2O5 und Ta; und in denen das Ta2O5 in den oben erwähnten Gruppen gamma-Phasenvariationen von Ta2O5 und (Ta, O) enthält.
- Verfahren nach Anspruch 11, worin Schritt b) die Abscheidung des Ir-Ta-O-Verbundfilms etwa bei Raumtemperatur umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 12, worin Schritt c) die Abscheidung der zweiten Barriereschicht etwa bei Raumtemperatur umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 17, worin Schritt a) die Abscheidung der ersten Barriereschicht etwa bei Raumtemperatur umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 19, worin Schritt b) die Abscheidung des Ir-Ta-O-Verbundfilms durch PVD-Abscheidung, Gleichstrom-Cosputtern von getrennten Ir- und Ta-Targets in einer Sauerstoffumgebung umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 24, worin Schritt b) das Cosputtern von sowohl Ir- als auch Ta-Targets bei einer Leistung im Bereich von etwa 200 bis 400 Watt umfasst, und wobei das Ar-zu-O2-Verhältnis ungefähr 1:X ist, wobei X größer oder gleich 1 ist.
- Verfahren nach Anspruch 25, worin in Schritt b) die Leistung am Ta-Target größer oder gleich der Leistung am Ir-Target ist.
- Verfahren nach Anspruch 24, worin Schritt b) ein Härten bei einer Temperatur im Bereich zwischen etwa 600 und 1000°C für eine Zeitdauer im Bereich von etwa 1 bis 30 Minuten umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 19, worin Schritt b) die Abscheidung des Ir-Ta-O-Verbundfilms durch PVD-Abscheidung, Sputtern mit einem einzelnen Ir-Ta-Target, einer Verbundquelle, in einer Sauerstoffumgebung umfasst.
- Verfahren nach Anspruch 28, worin in Schritt b) das Ir-Ta-Target ausgewählt wird aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Ta-IrO2, Ir-Ta2O5, IrO2/Ta2O5, Ir/Ta/IrO2/Ta2O5, Ir-IrO2 Ta2O5, Ir-Ta-IrO2, Ir-Ta-Ta2O5 und Ta-IrO2-Ta2O5.
- Verfahren nach Anspruch 11, worin das Substrat ausgewählt ist aus der Gruppe von Materialien, bestehend aus Silicium, Polysilicium, Siliciumdioxid und Silicium-Germanium-Verbindungen.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US263970 | 1994-06-29 | ||
US09/263,970 US6236113B1 (en) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | Iridium composite barrier structure and method for same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60034616D1 DE60034616D1 (de) | 2007-06-14 |
DE60034616T2 true DE60034616T2 (de) | 2007-12-27 |
Family
ID=23004018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60034616T Expired - Lifetime DE60034616T2 (de) | 1999-03-05 | 2000-03-06 | Iridium-Verbundsbarrierestruktur und Verfahren zu deren Herstellung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6236113B1 (de) |
EP (1) | EP1035589B1 (de) |
JP (1) | JP2000260958A (de) |
KR (1) | KR100358430B1 (de) |
DE (1) | DE60034616T2 (de) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6399521B1 (en) * | 1999-05-21 | 2002-06-04 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Composite iridium barrier structure with oxidized refractory metal companion barrier and method for same |
JP2002198324A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-07-12 | Sharp Corp | Framおよびdram用途のための高温電極およびバリア構造物 |
US6885570B2 (en) * | 2001-11-09 | 2005-04-26 | Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw (IMEC vzw) | Simplified bottom electrode-barrier structure for making a ferroelectric capacitor stacked on a contact plug |
KR100440072B1 (ko) * | 2001-12-10 | 2004-07-14 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체소자의 캐패시터 형성방법 |
JP2003298134A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-10-17 | Toyota Motor Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
JP4578777B2 (ja) * | 2003-02-07 | 2010-11-10 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2004356464A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | 強誘電体素子の製造方法、強誘電体素子及びFeRAM |
US6921671B1 (en) * | 2004-02-23 | 2005-07-26 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Buffer layers to enhance the C-axis growth of Bi4Ti3O12 thin film on high temperature iridium-composite electrode |
US20050199924A1 (en) * | 2004-03-10 | 2005-09-15 | Fox Glen R. | Optimized ferroelectric material crystallographic texture for enhanced high density feram |
JP4703500B2 (ja) * | 2006-06-30 | 2011-06-15 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4376959B2 (ja) | 2007-07-31 | 2009-12-02 | 日鉱金属株式会社 | 無電解めっきにより金属薄膜を形成しためっき物およびその製造方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0779136B2 (ja) * | 1986-06-06 | 1995-08-23 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
GB8802930D0 (en) | 1988-02-09 | 1988-03-09 | Plasmon Data Systems Uk Ltd | Improved data storage medium |
US4990997A (en) * | 1988-04-20 | 1991-02-05 | Fujitsu Limited | Crystal grain diffusion barrier structure for a semiconductor device |
US5489548A (en) * | 1994-08-01 | 1996-02-06 | Texas Instruments Incorporated | Method of forming high-dielectric-constant material electrodes comprising sidewall spacers |
US5622893A (en) * | 1994-08-01 | 1997-04-22 | Texas Instruments Incorporated | Method of forming conductive noble-metal-insulator-alloy barrier layer for high-dielectric-constant material electrodes |
US5585300A (en) | 1994-08-01 | 1996-12-17 | Texas Instruments Incorporated | Method of making conductive amorphous-nitride barrier layer for high-dielectric-constant material electrodes |
US5576579A (en) * | 1995-01-12 | 1996-11-19 | International Business Machines Corporation | Tasin oxygen diffusion barrier in multilayer structures |
US5668040A (en) * | 1995-03-20 | 1997-09-16 | Lg Semicon Co., Ltd. | Method for forming a semiconductor device electrode which also serves as a diffusion barrier |
JP3279453B2 (ja) | 1995-03-20 | 2002-04-30 | シャープ株式会社 | 不揮発性ランダムアクセスメモリ |
JP3504046B2 (ja) * | 1995-12-05 | 2004-03-08 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
US5973342A (en) * | 1996-04-25 | 1999-10-26 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device having an iridium electrode |
KR100246989B1 (ko) | 1996-09-09 | 2000-03-15 | 김영환 | 반도체소자의 캐패시터 형성방법 |
JP4214553B2 (ja) * | 1996-12-26 | 2009-01-28 | ソニー株式会社 | 誘電体キャパシタおよび不揮発性メモリ |
US6011284A (en) * | 1996-12-26 | 2000-01-04 | Sony Corporation | Electronic material, its manufacturing method, dielectric capacitor, nonvolatile memory and semiconductor device |
JP3299909B2 (ja) * | 1997-02-25 | 2002-07-08 | シャープ株式会社 | 酸化物導電体を用いた多層構造電極 |
KR100230422B1 (ko) * | 1997-04-25 | 1999-11-15 | 윤종용 | 반도체장치의 커패시터 제조방법 |
US5998258A (en) * | 1998-04-22 | 1999-12-07 | Motorola, Inc. | Method of forming a semiconductor device having a stacked capacitor structure |
KR100329733B1 (ko) * | 1998-10-09 | 2002-05-09 | 박종섭 | 반도체소자의캐패시터형성방법 |
US6541806B2 (en) * | 1999-01-14 | 2003-04-01 | Symetrix Corporation | Ferroelectric device with capping layer and method of making same |
-
1999
- 1999-03-05 US US09/263,970 patent/US6236113B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-02-29 JP JP2000054745A patent/JP2000260958A/ja active Pending
- 2000-03-06 KR KR1020000011071A patent/KR100358430B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-03-06 EP EP00301790A patent/EP1035589B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-03-06 DE DE60034616T patent/DE60034616T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-21 US US09/717,993 patent/US6479304B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6479304B1 (en) | 2002-11-12 |
US6236113B1 (en) | 2001-05-22 |
KR100358430B1 (ko) | 2002-10-25 |
JP2000260958A (ja) | 2000-09-22 |
EP1035589B1 (de) | 2007-05-02 |
EP1035589A2 (de) | 2000-09-13 |
EP1035589A3 (de) | 2002-03-20 |
KR20000071418A (ko) | 2000-11-25 |
DE60034616D1 (de) | 2007-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19928280B4 (de) | Ferroelektrischer Kondensator und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE19926711B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines ferroelektrischen Speicherbauelements | |
DE69632769T2 (de) | Verfahren zum Fertigen eines ferroelektrischen Schichtelements und das ferroelektrische Schichtelement sowie das ferroelektrische Speicherelement, die mit Hilfe dieses Verfahrens gefertigt werden | |
DE60035311T2 (de) | Ferroelektrische Struktur aus Bleigermanat mit mehrschichtiger Elektrode | |
DE69826015T2 (de) | Herstellung von layered - superlattice - materialien unter ausschluss von sauerstoff | |
DE60224379T2 (de) | Methode, eine dielektrische Schicht abzuscheiden | |
DE69633423T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines mit einer dünnen ferroelektrischen Schicht überdeckten Substrats | |
DE69633367T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines in einer Halbleitervorrichtung integrierten Kondensators | |
US5191510A (en) | Use of palladium as an adhesion layer and as an electrode in ferroelectric memory devices | |
JP3249496B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
DE60034616T2 (de) | Iridium-Verbundsbarrierestruktur und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE10100695B4 (de) | Halbleitervorrichtung | |
EP1153424A1 (de) | Kondensatorelektrodenanordnung | |
DE69628129T2 (de) | Dünne ferroelektrische Schicht, mit einer dünnen ferroelektrischen Schicht überdecktes Substrat, Anordnung mit einer Kondensatorstruktur und Verfahren zur Herstellung einer dünnen ferroelektrischen Schicht | |
DE10393850T5 (de) | Ferroelektrischer Kondensator und Prozeß zu seiner Herstellung | |
EP1138065A1 (de) | Verfahren zum herstellen einer strukturierten metalloxidhaltigen schicht | |
WO2000013224A1 (de) | Mikroelektronische struktur, verfahren zu deren herstellung und deren verwendung in einer speicherzelle | |
EP1113488A2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer strukturierten metalloxidhaltigen Schicht | |
DE19958200B4 (de) | Mikroelektronische Struktur und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE19959711A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer strukturierten Metallschicht | |
KR20010051466A (ko) | 전자 박막 재료, 유전체 캐패시터, 및 비휘발성 메모리 | |
DE10009762B4 (de) | Herstellungsverfahren für einen Speicherkondensator mit einem Dielektrikum auf der Basis von Strontium-Wismut-Tantalat | |
DE19929307C1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer strukturierten Schicht und dadurch hergestellte Elektrode | |
WO2000028584A1 (de) | Verfahren zum herstellen einer strukturierten metalloxidhaltigen schicht | |
DE4218789A1 (de) | Mikroelektronikkompatibler pyroelektrischer Detektor und Verfahren zu seiner Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |