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Hintergrund und Zusammenfassung der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf die Herstellung
von integrierten Schaltungen (ICs) und noch spezieller auf die Herstellung
einer ferroelektrischen Bleigermanatstruktur mit einer Elektrode
aus geschichteten Edelmetallen.
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Platin
(Pt) und andere Edelmetalle werden in ferroelektrischen IC-Kondensatoren
verwendet. Die Verwendung von Edelmetallen wird durch ihren inneren
chemischen Widerstand begründet.
Diese Eigenschaft ist insbesondere unter Hochtemperatursauerstoffhärtungsbedingungen
wie jenen, die bei der Herstellung von ferroelektrischen Kondensatoren
zu sehen sind, erwünscht.
Zusätzlich
ist die chemische Wechselwirkung zwischen Edelmetallen und ferroelektrischen
Materialien, wie Perovskitmetalloxiden, vernachlässigbar.
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Die
oben erwähnten
Edelmetalle werden als leitende Elektrodenpaare, getrennt durch
ein ferroelektrisches Material, verwendet. Eine oder beide der Elektroden
werden häufig
mit Transistorelektroden verbunden oder mit elektrisch leitenden
Bahnen in ICs. Wie gut bekannt ist, können diese ferroelektrischen
Anordnungen gemäß der an
die Elektrode angelegte Spannung mit der Beziehung zwischen Ladung
und Spannung, ausgedrückt
in einer Hystereseschleife, polarisiert werden. Wenn in Speichervorrichtungen
verwendet, kann die polarisierte ferroelektrische Vorrichtung verwendet
werden, um eine „1" oder eine „0" darzustellen. Diese
Speichervorrichtungen werden häufig
als ferro-RAM oder FeRAM bezeichnet. Ferroelektrische Vorrichtungen
sind nicht flüchtig.
Das heißt,
die Vorrichtung bleibt polarisiert, selbst nachdem der Strom vom
IC genommen wurde, in den das Ferroelektrikum eingebettet ist.
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Es
gibt Probleme bei der Verwendung von Metall-, selbst Edelmetallelektroden.
Pt, möglicherweise
das am weitestgehend verwendete Edelmetall, erlaubt die Diffusion
von Sauerstoff insbesondere während
Hochtemperaturhärtungsverfahren.
Die Diffusion von Sauerstoff durch Pt resultiert in der Oxidation
der benachbarten Barriere und des Substratmaterials. Typischerweise
ist das benachbarte Substratmaterial Silicium oder Siliciumdioxid.
Eine Oxidation kann in geringer Adhäsion zwischen dem Pt und der benachbarten
Schicht resultieren. Eine Oxidation kann ebenfalls die Leitfähigkeit
zwischen benachbarten Substratschichten beeinträchtigen. Siliciumsubstrate
unterliegen speziell den Problemen, die als Ergebnis der Sauerstoffdiffusion
auftreten. Das Endergebnis kann eine ferroelektrische Vorrichtung
mit verschlechterten Speichereigenschaften sein. Alternativ muss
die Temperatur des IC-Härtungsverfahrens
begrenzt werden, um die Degeneration der ferroelektrischen Vorrichtung
zu verhindern.
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Verschiedenartige
Strategien wurden versucht, um die Interdiffusion, Adhäsion und
Leitfähigkeitsprobleme
im Zusammenhang mit der Verwendung von Edelmetallen als einem leitfähigen Film
bei der IC-Herstellung zu verbessern. Titan-(Ti), Titanoxid-(TiO2)
und Titannitrid(TiN)-Schichten wurden zwischen Edelmetall und Silicium(Si)-Substrat eingeschoben,
um die Interdiffusion von Sauerstoff zu unterdrücken. Jedoch sind Ti-Schichten
im Allgemeinen nur bei Härtungstemperaturen
unterhalb 600°C
effektiv. Nach einem Härten
bei 600°C
diffundiert Pt durch die Ti-Schicht, um mit Silicium zu reagieren und
ein Silicidprodukt zu bilden. Weiterhin kann Pt die Sauerstoffdiffusion
nicht stoppen. Nach einem Hochtemperaturhärten kann eine dünne Schicht
aus Siliciumoxid auf der Siliciumoberfläche gebildet werden, welche
den Kontakt zwischen Silicium und der Elektrode isoliert.
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Andere
Probleme in Zusammenhang mit dem Härten eines Pt-Metallfilms sind
Abziehen und Hügelbildung.
Diese beiden Probleme stehen mit dem Unterschied in der thermischen
Expansion und Spannung von Pt mit benachbarten IC-Schichten während des
Hochtemperaturhärtens
in Zusammenhang. Eine Schicht von Ti, die über dem Pt-Film liegt, ist
dafür bekannt,
dass sie die Spannung des Pt-Films reduziert und die Hügelbildung
unterdrückt.
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Ir
wurde ebenfalls in Versuchen verwendet, um das Problem der Sauerstoffinterdiffusion
zu lösen.
Ir ist chemisch stabil mit einer hohen Schmelztemperatur. Verglichen
mit Pt ist Ir gegenüber
einer Sauerstoffdiffusion resistenter. Weiterhin bleibt Iridiumoxid
leitfähig,
selbst wenn es oxidiert ist. Wenn am nächsten zu Ti aufgeschichtet,
ist die Ir/Ti-Sperre gegenüber
Sauerstoffinterdiffusion außerordentlich
undurchlässig.
Jedoch kann Ir durch Ti diffundieren. Wie Pt ist Ir sehr reaktiv
mit Silicium oder Siliciumdioxid. Daher ist eine zweischichtige
Ir/Ti- oder Ir/TiN-Barriere kein ideales Barrieremetall.
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Pb5Ge3O11 ist
ein viel versprechender ferroelektrischer Materialkandidat für nicht
flüchtigen
Speicher, wie Eintransistor(lT)-Anwendungen, aufgrund seiner moderaten
Polarisation und der relativ geringen Dielektrizitätskonstante.
Aber dieses Material ist ein ferroelektrisches Material geringer
Symmetrie, und es wird weitgehend angenommen, dass nur entlang der
c-Achse spontane Polarisation vorliegt. Weiterhin ist im PbO-GeO2-System der Stabilitätsbereich für die Pb5Ge3O11-Phase sehr begrenzt.
Selbst eine relativ kleine Abweichung in der Zusammensetzung oder
der Wachstumstemperatur kann zur Bildung von anderen Bleigermanat(PGO)-Verbindungen
oder -Phasen führen.
Daher ist die erfolgreiche Verwendung dieses ferroelektrischen Mate rials
vom Abscheidungsverfahren und dem angrenzenden Elektrodenmaterial
abhängig.
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Eine
geeignete Bodenelektrode ist zur Abscheidung verwendbarer ferroelektrischer
Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilme
erforderlich. Die Bodenelektrode muss mit dem Substrat gute Adhäsion, gute
elektrische Leitfähigkeit
sowie gute Sperreigenschaften im Hinblick auf Sauerstoff und Blei
aufweisen. Eine gute Bodenelektrode muss ebenfalls die Erschöpfungsdegradation
des ferroelektrischen Dünnfilms
auf Bleibasis verbessern und den Leckstrom reduzieren. Vom Verarbeitungsgesichtspunkt her
sollte die Bodenelektrode eine bevorzugte Nukleierung und Wachstumsoberfläche für den c-achsenorientierten
Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilm
bei relativ geringer MOCVD-Temperatur bereitstellen.
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Einschichtiges
Platin wird weitgehend als Bodenelektrode in nichtflüchtigen
ferroelektrischen Speichern auf PZT- und SBT-Basis verwendet. Jedoch
können
Sauerstoff und Elemente, wie Blei, ohne weiteres durch Pt diffundieren
und mit Sperrschichten (Ti, TiN) und/oder dem Substrat (Si oder SiO2) reagieren, die sämtlich für eine Oxidation anfällig sind.
Eine schädliche
Oxidation führt
zu schlechter Adhäsion
mit dem Substrat, einer schlechten Grenzfläche zwischen Platin und ferroelektrischen
Schichten sowie einer schlechten Grenzfläche zwischen Platin und den
Substratschichten.
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Weiterhin
ist schwere Erschöpfung
ein inhärentes
Problem im Zusammenhang mit ferroelektrischen Dünnfilmen, das durch Verwendung
einer Einschichtplatinelektrode nicht verbessert wird. Erschöpfungsabbau
soll aufgrund Bereichsanhaftung durch Raumladung, verursacht durch
Lehrstelleneinbau von Sauerstoff an der Grenzfläche zwischen dem ferroelektrischen
Film und der Elektrode, verursacht werden. Es wird angenommen, dass
die Erschöpfungseigenschaften
signifikant durch Verwendung einer leitenden Oxidelektrode verbessert
werden können,
um die Raumladungsbildung an der Grenzfläche zu verhindern. Schließlich werden
typischerweise Hügel
auf der Oberfläche
von Einschichtplatinelektroden während
der Abscheidung von ferroelektrischen Dünnfilmen gefunden. Die Hügel werden
durch interne Spannungen im Platinfilm verursacht. Hügel resultieren
in erhöhten
Leckströmen oder
sogar Vorrichtungskurzschlüssen.
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Einschichtige
Iridiumbodenelektroden werden ebenfalls in Vorrichtungen auf PZT-
und SBT-Basis verwendet. Iridiumbodenelektroden haben überragende
Sperreigenschaften im Hinblick auf Blei und Sauerstoff genauso wie
gute Adhäsion
mit dem Substrat. Jedoch werden höhere Verarbeitungstemperaturen
für die
c-Achsen orientierten MOCVD-Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilmabscheidungsverfahren, verglichen
mit der Platinelektrode, erforderlich. Der MOCVD-Temperaturbereich,
um einen c-Achsen
orientierten Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilm
auf der Ir-Elektrode abzu scheiden, beträgt 500 bis 600°C. Weiterhin
verursacht eine kleinere Nukleierungsstellendichte eine sehr raue
Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilmoberfläche verglichen
mit einem auf einer Platinelektrode abgeschiedenen Film. Schließlich wird
die Hügelbildung
nach wie vor auf der Oberfläche
der Iridiumelektrode während
der MOCVD Verarbeitung beobachtet.
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Metalloxidelektroden,
wie RuO2, werden für nicht flüchtigen Speicher auf PZT-Basis verwendet, um
den Erschöpfungsabbau
zu verbessern. Aber RuO2-Elektroden verursachen
einen Anstieg des Leckstroms. Eine Oxid/Platin-Zweischichtelektrode reduziert
den Leckstrom und verbessert die Sperreigenschaften und das Hügelproblem.
Jedoch ist der Leckstrom nach wie vor größer als derjenige bei Verwendung
einer Einschichtplatinelektrode. Weiterhin wird ein dicker Oxidfilm
gebildet, resultierend in einem höheren Flächenwiderstand.
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Mehrere
andere Sauerstoff-Sperrschichten existieren einschließlich leitfähiger exotischer
Nitritschichten unter einer Platinschicht (Ti-Al-N), eine Edelmetall-Isolations-Legierungs-Sperrschicht (pd-Si-N)
und ähnliche
Variationen. Diese Oxidbarrieren erfordern kompliziertere Verfahrensschritte
und eine Mehrschichtelektrode, um die Anforderungen für eine Bodenelektrode
zu erfüllen.
Eine Pt/IrO2-Elektrode wird in Vorrichtungen
auf SBT-Basis verwendet. Jedoch ist die Pt/IrO2-Elektrode
nicht sehr geeignet für
Dünnfilme
auf Bleibasis. Dies ist so, weil eine dünne Oxidschicht nach wie vor
zwischen dem ferroelektrischen Film und der Platinelektrode benötigt wird,
um die Erschöpfungsdegradation
zu verbessern.
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Die
ebenfalls anhängige
US-Anmeldung Serien-Nr. 09/263,595 mit
dem Titel „Iridium
Conductive Elektrode/Barrier Structure and Method for Same", erfunden von Zhang
et al. und eingereicht am 5. März 1999,
offenbart einen mehrschichtigen Ir/Ta-Film, der gegenüber der Interdiffusion resistent
ist.
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Die
ebenfalls anhängige
US-Anmeldung Serien-Nr. 09/263,970 mit
dem Titel „Iridium
Composite Barrier Structure and Method for Same", erfunden von Zhang et al. und eingereicht
am 5. März
1999, offenbart einen Ir-Verbundfilm, der gegenüber Interdiffusion resistent
und während
Hochtemperaturhärten stabil
ist.
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Die
ebenfalls anhängige
US-Patentanmeldung Serien-Nr. 09/316,661 mit
dem Titel „Composite Iridium-Metal-Oxygen-Barrier
Structure with Oxidized Refractory Metal Companion Barrier and Method
for Same", erfunden
von Zhang et al. und eingereicht am 21. Mai 1999, offenbart einen
Ir-Verbundfilm mit einer oxidierten Übergangsmetall-Sperrschicht,
die Leitfähigkeit
und strukturelle Stabilität
nach Hochtemperaturhärten
in einer Sauerstoffumgebung aufrechterhält.
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Die
ebenfalls anhängige
US-Anmeldung Serien-Nr. 09/316,646 mit
dem Titel „Composite
Iridium Barriere Structure with Refractory Metal Companion Barrier
and Method for Same",
erfunden von Zhang et al. und eingereicht am 21. Mai 1999, offen bart
einen Ir-Verbundfilm, der Leitfähigkeit
und strukturelle Stabilität
nach einem Hochtemperaturhärten
in einer Sauerstoffatmosphäre
aufrechterhält.
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In
der ebenfalls anhängigen
US-Patentanmeldung Serien-Nr. 09/301,435 mit
dem Titel „Multi-Phase
Lead Germanate Film and Deposition Method", erfunden von Tingkai Li et al., eingereicht
am 28. April 1999, wird eine zweite Phase aus Pb
3GeO
5 zu Pb
5Ge
3O
11 unter Erhöhung der
polykristallinen Korngrößen ohne
c-Achsenorientierung zugegeben. Der resultierende Film hatte erhöhte Pr-Werte
und Dielektrizitätskonstanten
und verringerte Ec-Werte. Ein derartiger Film ist zur Herstellung
mikroelektromechanischer Systeme (MEMS), Hochgeschwindigkeitsmultichipmodulen
(MCMs), DRAMs und FeRAMs verwendbar.
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In
der ebenfalls anhängigen
US-Patentanmeldung Serien-Nr. 09/301,420 mit
dem Titel „C-Axis Oriented
Lead Germanate Film and Deposition Method", erfunden von Tingkai Li et al., eingereicht
am 28. April 1999, wird ein PGO-Film offenbart. Dieser Film hat
in erster Linie eine c-Achsenorientierung mit einem kleineren Pr-Wert,
kleinerer Dielektrizitätskonstante
und größerem Ec-Wert.
Ein derartiger Film ist verwendbar zur Herstellung von IT-Speichern.
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In
der ebenfalls anhängigen
US-Patentanmeldung Serien-Nr. 09/302,272 mit
dem Titel: „Epitaxially
Grown Lead Germanate Film and Deposition Method", erfunden von Tingkai Li et al., eingereicht am
28. April 1999, wird ein epitaxial gewachsener PGO-Film mit extrem
hoher c-Achsenorientierung offenbart. Folglich werden hohe Pr- und Ec- Werte, genauso
wie eine niedrigere Dielektrizitätskonstante
erhalten. Ein derartiger Film ist in IT- sowie in Ein-Transistor/Ein-Kondensator
(IT/IC)-FeRAM-Anwendungen
verwendbar.
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In
der ebenfalls anhängigen
US-Patentanmeldung Serien-Nr. 09/301,434 mit
dem Titel: „Ferroelastic
Lead Germanate Film and Deposition Method", erfunden von Tingkai Li et al., eingereicht
am 28. April 1999, wird ein CVD-Pb
3GeO
5-Film mit verbesserten ferroelastischen
Eigenschaften beschrieben, der zur Herstellung von MEMS und MCMs
verwendbar ist. Die oben erwähnten
ebenfalls anhängigen
Patentanmeldungen werden durch Bezugnahme hiermit einbezogen.
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Es
wäre vorteilhaft,
wenn eine ferroelektrische Elektrode hergestellt werden könnte, die
die besten Eigenschaften von Ir und Pt einbezieht.
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Es
wäre vorteilhaft,
wenn alternative Verfahren zur Verwendung von Ir und/oder Pt als
Leitern, leitfähigen
Barrieren oder Elektroden bei der IC-Herstellung entwickelt würden. Es
wäre vorteilhaft,
wenn Ir und Pt ohne Wechselwirkung mit einem darunter liegenden
Si-Substrat verwendet werden könnten.
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Es
wäre vorteilhaft,
wenn ein Ir- oder Pt-Film verändert
werden könnte,
um die Interdiffusionseigenschaften zu verbessern. Weiterhin wäre es vorteilhaft,
wenn dieser verbesserte Typ von Ir- oder Pt-Film mit einem dazwischen
geschobenen Film über schichtet
werden könnte,
um die Wechselwirkung von Ir oder Pt mit einem Siliciumsubstrat
zu verhindern. Es wäre
vorteilhaft, wenn ein dazwischen geschobener Film die Interdiffusion
zwischen Elektrode und dem ferroelektrischen Material verhindern könnte.
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Die
US 5,790,366 offenbart einen
Kondensator zur Verwendung auf Silicium oder einem anderem Substrat
mit einer Mehrschichtelektrodenstruktur. In einer bevorzugten Ausführungsform
weist eine Bodenelektrode, angeordnet auf dem Substrat, eine Bodenschicht
aus Pt-Rh-O
x, eine Zwischenschicht aus Pt-Rh
und eine Oberschicht aus Pt-Rh-O
x, auf.
Ein ferroelektrisches Material, wie PZT (oder ein anderes Material),
ist auf der Bodenelektrode angeordnet. Eine obere Elektrode, bevorzugt
mit identischer Zusammensetzung wie die Bodenelektrode, ist auf
der entgegengesetzten Seite des ferroelektrischen Materials der
Bodenelektrode angeordnet.
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Die
US 5,807,774 offenbart eine
ferroelektrische Kondensatorvorrichtung sowie ein Verfahren zur
Herstellung, worin ein Substrat eine Bodenelektrodenstruktur trägt mit einer
dazwischen geschobenen Adhäsions-/Diffusions-Sperrschicht.
Die Elektrodenschicht umfasst ein Metall oder eine Metalllegierung
sowie ein Oxid des Metalls oder der Legierung. Die Adhäsions-/Diffusions-Sperrschicht
ist ein ähnliches
Oxid. Ein ferroelektrisches Material wird zwischen eine obere Elektrode
sandwichartig dazwischen geschoben. Die obere Schicht umfasst ein
Metall oder eine Metalllegierung sowie ein Oxid desselben; das Metall
oder die Metalllegierung kann die gleiche sein, wie die Bodenelektrode,
aber dies muss nicht sein. Die Metall- und die Metalloxidelektroden können durch
bekannte Abscheidungstechniken abgeschieden werden oder das Metall
kann abgeschieden und das Oxid durch Härten in Sauerstoffumgebungsbedingung
gebildet werden.
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Die
EP 0 404 295 offenbart eine
Mehrschichtkondensatorstruktur in einer integrierten Schaltung,
enthaltend eine erste Elektrode, aufgebaut durch Bilden mindestens
einer Schicht über
einem Substrat und Bilden einer glatten Schicht über der (den) vorherigen Schicht(en).
Eine dielektrische Schicht wird über
dieser ersten Elektrode gebildet und eine zweite Elektrode wird über der
dielektrischen Schicht durch Bilden einer Plattenschicht über der
dielektrischen Schicht aufgebracht und bildet mindestens eine zusätzliche
Schicht über
der Plattenschicht. Jede Schicht kann für eine oder mehrere Funktionen
dienen. Ebenfalls offenbart ist eine weitere Ausführungsform,
enthaltend den Aufbau einer ersten Elektrode durch Bilden mindestens
einer Schicht auf einem Substrat, Bilden einer Plattenschicht über der
(den) vorhergehenden Schicht(en) und Bilden einer dielektrischen
Schicht über
der ersten Elektrode. Die resultierende Struktur wird dann erhitzt,
bevorzugt in einer Sauerstoffumgebung, um die untere Schicht zu
oxidieren. Eine zweite Elektrode kann dann über der dielektrischen Schicht
gebildet werden.
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Die
EP 0 042 009 offenbart eine
verbesserte polykristalline keramische Halbleiterzusammensetzung,
umfassend ein Erdalkalimetalltitanat, dotiert mit einem sechswertigen
Metalloxid, wie (MO
3)(Bi
2O
3)
x, worin M Wolfram
oder Molybdän
darstellt und X im Bereich von 0 bis 7 liegt, das mit Bleigermanat
flüssigphasengesintert
wird, um interne Isolationsgrenzen zu erzeugen. Die Zusammensetzung
ist feinkörnig
und liefert Dünnschicht-,
Mehrschichtkondensatoren, die hohe Werte der Dielektrizitätskonstanten,
geringe Verlustfaktoren und geringe Temperatur- und Spannungskoeffizienten
oder Kapazität
zeigen.
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Erfindungsgemäß wird eine
ferroelektrische Vorrichtung bereitgestellt, umfassend: ein Substrat; eine
erste Elektrodenschicht, enthaltend Ir, die über dem Substrat liegt; eine
zweite Elektrodenschicht, enthaltend Pt, die über der ersten Elektrodenschicht liegt;
eine erste Sperrschicht, die über
der zweiten Elektrodenschicht liegt, die sich zwischen der zweiten
Elektrodenschicht und einem ferroelektrischen Film erstreckt, und
eine zweite Sperrschicht, eingeschoben zwischen dem Substrat und
der ersten Elektrodenschicht, wobei das Material der zweiten Sperrschicht
ausgewählt
ist aus der Gruppe, bestehend aus Ta, TaN und ternären Nitriden,
enthaltend Stickstoff und ein feuerfestes Metall.
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Demgemäß kann eine
ferroelektrische Vorrichtung bereitgestellt werden, umfassend ein
Siliciumsubstrat, eine erste Elektrodenschicht aus Ir, die über dem
Substrat liegt, und eine zweite Elektrodenschicht aus Pt, die über der
ersten Elektrodenschicht liegt. Die ersten und zweiten Elektrodenschichten können eine
kombinierte Dicke von etwa 100 bis 400 nm aufweisen und werden verwendet,
um die Adhäsion,
die Sperreigenschaften und die Gleichmäßigkeit des PGO-Films zu verbessern.
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Bevorzugt
liegt eine erste Sperrschicht aus IrO2 über der
zweiten Elektrodenschicht, um die Grenzfläche zum PGO-Film zu verbessern
und die Diffusion von Sauerstoff in die erste und zweite Elektrodenschicht
zu begrenzen. Ein Bleigermanat(PGO)-Film mit einer Pb5Ge3O11-Phase von etwa 10
bis 100% kann über
der ersten Sperrschicht liegen. Gegebenfalls ist der PGO-Film eine
epitaxial gewachsene Pb5Ge3O11-Phase. In dieser Art und Weise kann eine
ferroelektrische Vorrichtung mit geringem Leckstrom und Beständigkeit
gegenüber
Erschöpfung
gebildet werden.
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Bevorzugt
wird die zweite Sperrschicht eines Materials, wie Ta, TaN oder eines
ternären
Nitrids, enthaltend Stickstoff und ein feuerfestes Metall, wie TiSiN
oder TaSiN, mit einer Dicke von etwa 10 bis 100 Nanometern (nm)
zwischen das Substrat und die erste Elektrodenschicht dazwischen
geschoben, um die Interdiffusion zwischen dem Substrat und den Elektrodenschichten
zu minimieren. Weiterhin wird die Adhäsion zwischen dem Substrat
und den Elektrodenschichten durch Verwendung der zweiten Sperre
verbessert.
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Schließlich bildet
die ferroelektrische Vorrichtung einen Kondensator mit Zufügung einer
leitenden oberen Filmelektrode, die über dem PGO-Film liegt. Die
obere Elektrode umfasst optional eine dritte Pt-Elektrodenschicht,
die über
dem PGO-Film liegt, sowie eine vierte Ir-Elektrodenschicht, die über der
dritten Elektrodenschicht liegt, um eine zweite Schichtelektrode
zu bilden. Wenn eine obere Schichtelektrode verwendet wird, wird eine
dritte Sperrschicht zwischen den PGO-Film und der dritten Elektrodenschicht
dazwischen geschoben, um die Grenzfläche mit dem darunterliegenden PGO-Film
zu verbessern.
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Gemäß eines
zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur
Herstellung einer ferroelektrischen Vorrichtung auf einem Substrat bereitgestellt,
umfassend die Schritte: a) Bilden einer zweiten Sperrschicht, die über dem
Substrat liegt; b) Bilden einer ersten Elektrodenschicht, enthaltend
Ir, die über
der zweiten Sperrschicht liegt; c) Bilden einer zweiten Elektrodenschicht,
enthaltend Pt, die über
der ersten Elektrodenschicht liegt; und d) Bilden einer ersten Sperrschicht,
die über
der zweiten Elektrodenschicht liegt, wobei die erste Sperrschicht
die Grenzfläche
zu nachfolgend abgeschiedenen Schichten verbessert und die Diffusion
von Sauerstoff in die erste und zweite Elektrodenschicht begrenzt,
wobei Schritt a) umfasst, dass das Material der zweiten Sperrschicht
ausgewählt
ist aus der Gruppe, bestehend aus Ta, TaN und ternären Nitriden,
enthaltend Stickstoff und ein feuerfestes Metall.
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Es
gibt drei verschiedene Verfahren zur Herstellung der ersten Sperrschicht.
In einem Verfahren enthält
Schritt c1) das Härten
der ersten und zweiten Elektrodenschichten, um ein erstes Sperrschichtoxid zu
bilden, das über
der zweiten Elektrodenschicht liegt. In einem zweiten Verfahren
enthält
Schritt c1) die Verwendung von Verfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend
aus PVD, CVD und MOCVD, um eine erste Sperrschicht aus IrO2 abzuscheiden. In einem dritten Verfahren
enthält
Schritt c1) das Bilden von IrO2 bei Vorbereitung
für ein
MOCVD-Verfahren in Schritt d) durch Vorfließenlassen von Sauerstoff bei
einer Flussgeschwindigkeit im Bereich von etwa 2000 bis 4000 sccm
bei einem Wachstumskammerdruck von etwa 10 torr, einer Substrattemperatur
im Bereich von etwa 400 bis 550°C
für eine
Dauer von etwa 10 bis 15 Minuten, wobei die erste Sperrschicht in
situ gebildet wird.
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Die
Schritte a) und b) enthalten bevorzugt das Abscheiden der ersten
und zweiten Elektrodenschichten durch Verfahren, ausgewählt aus
der Gruppe, bestehend aus Elektronenstrahlverdampfung, CVD, PVD
und MOCVD, bei einer Temperatur im Bereich von etwa 200 bis 300°C.
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Wenn
ein Kondensator gebildet wird, sind weitere bevorzugte Schritte,
die Schritt d) folgen:
- d1) Bilden einer dritten
Sperrschicht aus IrO2, die über dem
in Schritt d) gebildeten PGO-Film liegt, wobei die Grenzfläche zwischen
dem PGO-Film und der dritten und vierten Elektrodenschicht verbessert
wird;
- e) Bilden einer dritten Elektrodenschicht, die über dem
PGO-Film liegt; und
- f) Bilden einer vierten Elektrodenschicht, die über der
dritten Elektrodenschicht liegt, wobei ein ferroelektrischer Kondensator
gebildet wird.
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Um
die vorliegende Erfindung besser zu verstehen, werden nun spezifische
Ausführungsformen anhand
der beigefügten
Zeichnungen beschrieben.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Die 1(a)-1(c) veranschaulichen
die Flächenwiderstandsänderungen
der Pt-, TiN-, Ir/Ti- und Pt/Ir/Ti-Elektroden bei schnellem thermischem (rapid
thermal process RTP)-Härtungsverfahren.
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Die 2(a) und 2(b) veranschaulichen die
AES-Analyse der Elektrodentiefenprofile der vorliegenden Erfindung,
gehärtet
bei verschiedenen Temperaturen.
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Die 3(a)-3(c) veranschaulichen
die Mikrostrukturen von PGO-Dünnfilmen,
abgeschieden auf drei Elektroden, einschließlich einer Elektrode der vorliegenden
Erfindung.
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Die 4(a)-4(c) veranschaulichen
die ferroelektrischen Eigenschaften von Pb5Ge3O11-Dünnfilmen
auf den drei Elektroden der 3(a)-3(c) nach der Abscheidung von oberen Pt-Elektroden.
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Die 5 veranschaulicht
XRD-Daten von Emphasen-Pb5Ge3O11, gewachsen auf der Elektrode von 3(c), der Mehrschichtelektrode der vorliegenden
Erfindung.
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Die 6 bis 8 veranschaulichen Schritte
zur Vervollständigung
der ferroelektrischen Vorrichtung der vorliegenden Erfindung.
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9 ist
ein Flussdiagramm, das die Schritte in einem Verfahren zur Herstellung
einer ferroelektrischen Vorrichtung veranschaulicht.
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Detaillierte Beschreibung der bevorzugten
Ausführungsform
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Eine
Pb5Ge3O11-Phase,
PGO, hat eine relativ kleine Dielektrizitätskonstante von etwa 50 im
Gegensatz zu 1000 für
PZT und 300 für
SBT. Eine kleine Dielektrizitätskonstante
ist ein Schlüsselfaktor
zum Absenken der Programmierspannung für Eintransistorspeicheranwendungen.
Bleigermanat ist ein ferroelektrisches Material geringer Symmetrie.
Spontane Polarisation tritt nur entlang einer Achse (c-Achse) bei
einem Wert um 3 bis 5 μC/cm2 auf. Dessen Curie-Temperatur hegt um 177°C. Viele
Verfahren wurden verwendet, um dicke Bleigermanatfilme wachsen zu
lassen, wie schnelles Abschrecken, Drucken, thermische Verdampfung,
Flash-Verdampfung, pulsierte Excimer Laser Ablation, gleichstromreaktives Sputtern
und Sol-Gel.
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Die
vorliegende Erfindung offenbart die Herstellung eines Bleigermanat-Dünnfilms
durch metallorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) auf einer
Pt/Ir-Bodenelektrode.
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Experimentelle Daten
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Der
Bleigermanat-Dünnfilm
wurde auf Pt/TiN/SiO2/Si-, Ir/Ti/SiO2/Si- und Pt/Ir/Ti/SiO2-Elektroden
durch MOCVD-Verfahren wachsen gelassen. Ein flüssiges Freisetzungssystem wurde
verwendet, um [Pb(thd)2]- und [Ge(ETO)4]-Vorläufer
an die Wachstumskammer zu liefern. Die Temperatur des Verdampfers
betrug etwa 150 bis 200°C.
Das Mol-Verhältnis
von [Pb(thd)2] zu [Ge(ETO)4]
lag um 5:3 und die Substrattemperatur betrug etwa 400 bis 600°C. Der Wachstumskammerdruck
wurde von 2 bis 20 Torr variiert. Die Ar- und O2-Flussraten
waren 4.000 Standard-Kubikzentimeter pro Minute (sccm) bzw. 2.000
(sccm). Die Eigenschaften der Elektroden wurden durch Flächenwiderstandsmessung
und Auger-Elektronenmikroskop(AES)-Analyse untersucht. Die Mikrostrukturen
und Phasen der PGO-Dünnfilme wurden
jeweils durch Rasterelektronenmikroskop (REM) und Röntgenbeugung
(XRD) bestimmt. Die chemischen Zusammensetzungen der Filme wurden durch
energiedispersive Röntgenbeugungsspektroskopie
(EDX) bestimmt. Die Leckströme
und die Dielektrizitätskonstanten
der Filme wurden jeweils unter Verwendung eines HP 4155-6-Präzisionshalbleiterparameteranalysators
und eines Keithley 182 CV-Analysators gemessen. Die ferroelektrischen
Eigenschaften der Filme wurden durch ein Standard RT66A-Testgerät gemessen.
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Die
Ergebnisse zeigen, dass der PGO-Film, abgeschieden auf einer Pt-Bodenelektrode,
dazu neigt gleichmäßiger zu
sein, während
die für
den c-Achsen orientierten PGO-Dünnfilm
erforderliche Temperatur geringer ist (450 bis 500°C). Jedoch
sind sekundäre
Phasen einfacher bei geringeren Temperaturen auf Pt-Substraten zu
bilden. Andererseits ist ein PGO-Dünnfilm, abgeschieden auf einer
Ir-Elektrode, aufgrund der geringen Nukleierungsdichte rauer und
die Pb5Ge3O11-Phase neigt dazu, statistisch orientiert
zu werden, wenn die Abscheidungstemperatur um 400 bis 500°C liegt.
Durch Erhöhen
der Abscheidungstemperatur kann der c-achsenorientierte PGO-Dünnfilm erhalten werden, aber
eine sekundäre
Pb3GeO5-Phase mit
größeren Korngrößen wird ebenfalls
gebildet.
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Eine
Ir/Ti-Elektrode hat eine bessere Adhäsion als Pt/Ti-, Pt/TiO2- oder Pt/TiN-Elektroden. Daher, um die Vorteile der
Elektrodenoberflächenglätte, der PGO-Filmgleichmäßigkeit,
den resistiven Sperreigenschaften und der Adhäsion zu kombinieren, wurde
eine Schicht aus Pt auf dem Ir/Ti abgeschieden.
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Die 1(a) bis 1(c) veranschaulichen die
Flächenwiderstandsänderungen
von Pt/TiN-, Ir/Ti- und Pt/Ir/Ti-Elektroden beim schnellen thermischen
(RTP)-Härtungsverfahren.
Der Flächenwiderstand
der Pt/TiN-Elektrode nimmt geringfügig bei Temperaturen unter
550°C ab
und dann bis 750°C zu,
wobei die TiN-Schicht zu oxidieren beginnt. Ähnliche Ergebnisse werden mit
einer Pt/Ti-Elektrode erhalten. Jedoch nimmt der Flächenwiderstand
der Ir/Ti-Elektrode ab, bis Härtungstemperaturen
von 800°C
erreicht werden, was angibt, dass Körner von Ir-Kristallen wachsen
und weitere Oxidation der Sperrschicht unterblieben ist. Im Hinblick
auf die Pt/Ir/Ti-Elektrode
nimmt der Flächenwiderstand
bis 550°C
ab und steigt dann an, was ein Anzeichen für eine weitere Oxidation der
Sperrschicht darstellt.
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Die 2(a) und 2(b) veranschaulichen die
AES-Analyse der Elektrodentiefenprofile der vorliegenden Erfindung,
gehärtet
bei verschiedenen Temperaturen. Um den Oxidationsmechanismus der Pt/Ir/Ti-Elektrode
zu untersuchen, wurden Proben bei 550 und 650°C gehärtet. Aus dem AES-Spektrum der 2(b) kann ersehen werden, dass nach dem Härten bei
650°C in
O2 für
5 Minuten Interdiffusion zwischen Ir- und Pt-Schichten auftrat.
Gleichzeitig wurde die Ti-Schicht oxidiert. Daher wird angenommen,
dass die Interdiffusion von Pt und Ir die Sperreigenschaften der
Ir-Schicht verschlechtern
kann. Während
eines Hochtemperaturhärtens
diffundiert Ti durch die Pt/Ir-Schicht heraus, während Sauerstoff durch die
Pt/Ir-Schicht hineindiffundiert, was die gesamte Oxidation der Ti-Schicht
bewirkt.
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Andererseits
hatte die bei 550°C
gehärtete Probe
keine ersichtliche Interdiffusion zwischen sämtlichen Pt/Ir/Ti-Schichten,
wie in 2(a) gezeigt. Dies gibt an,
dass die Elektrode stabil bleibt, wenn bei Temperaturen unter 550°C gehärtet wird. Jedoch
kann ersehen werden, dass kleine Mengen an IrO2 nach
wie vor auf der Oberfläche
der Pt-Schicht erscheinen. Das IrO2 ändert seinen
Oberflächenzustand
für das
darauffolgende Abscheiden von PGO-Dünnfilmen.
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Die 3(a) bis 3(c) veranschaulichen die
Mikrostrukturen der PGO-Dünnfilme,
abgeschieden auf drei Elektroden, enthaltend eine Elektrode der
vorliegenden Erfindung. Es kann aus 3(a) ersehen
werden, dass der PGO-Film, abgeschieden auf der Pt-Elektrode, sehr
gleichmäßig ist
und Schichtwachstum zeigt. Der Film ist kontinuierlich, was bedeutet,
dass die Nukleirungsdichte hoch ist. Die XRD-Daten zeigen, dass
der Film eine c-achsenorientierte Pb5Ge3O11-Phase darstellt,
sowie einige Pb3GeO5-Sekundärphasen.
Die Verarbeitungstemperatur zur Abscheidung des c-achsenorientierten PGO-Dünnfilms
auf der Pt-Elektrode liegt typischerweise um 400 bis 500°C.
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3(b) veranschaulicht, dass der PGO-Dünnfilm,
abgeschieden auf dem Ir-Substrat rauer
ist. Die XRD-Daten geben an, dass es eine polykristalline Pb5Ge3O11-Phase mit bevorzugter
c-Achsenorientierung und etwas Pb3GeO5-Sekundärphase dar stellt.
Der raue PGO-Film auf der Ir-Elektrode wird durch geringe Nukleierungsdichte
und hohe Verarbeitungstemperatur (500 bis 600°C) hervorgerufen. Um die PGO-Filmqualität auf dem
Ir-Substrat zu verbessern, wurde ein Zweischritt-Abscheidungsverfahren
entwickelt. Ein erster Schritt scheidet eine Dünnschicht des PGO-Films bei
400 bis 450°C
ab, um hohe Nukleierungsdichte zu erhalten. Ein zweiter Schritt
scheidet den PGO-Film kontinuierlich bei höherer Temperatur, etwa 500
bis 600°C
ab, um einen c-achsenorientierten PGO-Film zu erhalten. Kontinuierliche
und glattere Filme können
durch die Zweischrittabscheidung erhalten werden. Da der zweite Schritt
bei höheren
Temperaturen durchgeführt
wird, ist die Pb3GeO5-Sekundärphase mit
größerer Korngröße kaum
zu vermeiden.
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3(c) ist ein reiner c-achsenorientierter PGO-Dünnfilm,
abgeschieden auf einem Pt/Ir-Substrat. Die Verfahrenstemperatur,
die verwendet wird, um einen PGO-Film
auf einer Pt/Ir-Elektrode abzuscheiden, liegt zwischen den Temperaturen,
die verwendet werden, um einen PGO-Film auf entweder einer Pt- oder
Ir-Elektrode abzuscheiden. In ähnlicher Weise
liegt die Gleichmäßigkeit
des PGO-Films, abgeschieden auf der Pt/Ir-Elektrode, zwischen denen der
Filme, die auf Ir- und Pt-Elektroden abgeschieden werden. Dies ist
aufgrund der Interdiffusion von Pt und Ir der Fall. Eine kleine
Menge von IrO2 auf der Pt-Oberfläche ändert den
Oberflächenzustand
der Pt/Ir-Elektrode.
Weiterhin wurde von der Adhäsion von
Pt/Ir/Ti gefunden, dass sie besser ist, als bei Pt/Ti-, Pt/TiN-
und PtT/TiO2-Elektroden.
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Die 4(a) bis 4(c) veranschaulichen die
ferroelektrischen Eigenschaften von Pb5Ge3O11-Dünnfilmen
auf den drei Elektroden der 3(a) bis 3(c) nach der Abscheidung der oberen Pt-Elektroden.
Der PGO-Film, abgeschieden auf der Pt-Bodenelektrode, hat eine 2Pr (Polarisationsfeld)
von etwa 2,04 Mikrocoulomb pro Quadratzentimeter (μC/cm2) wie in 4(a) gezeigt
mit einem Leckstrom um 4,5 × 10-
Ampere pro Quadratzentimeter (A/cm2) bei
100 Kilovolt pro Zentimeter (kV/cm), und einer Dielektrizitätskonstante
von etwa 50.
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Die
Korngröße des PGO-Films,
abgeschieden auf dem Ir-Substrat bei höheren Temperaturen, ist größer als
diejenige des PGO-Films, abgeschieden auf einer Pt-Elektrode. Deren
2Pr ist höher
als etwa 5,67 μC/cm2 mit einem Leckstrom von 2 × 10–6 A/cm2 bei 100 kV/cm und einer Dielektrizitätskonstante
von etwa 100. Jedoch, wie in 4(b) zu
sehen, wurde die Hystereseschleife durch die Pb3GeO5-Sekundärphase gestört.
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Der
Film, abgeschieden auf der Pt/Ir-Elektrode, hat eine kleinere Korngröße als diejenige
der PGO-Filme, die auf Pt- und Ir-Elektroden abgeschieden werden.
Deren 2Pr beträgt
etwa 1,38 μC/cm2 mit einem Leckstrom von 3,697 × 10–7 A/cm2 bei 100 kV/cm und einer Dielektrizitätskonstante
nahe bei 45. 4(c) veranschaulicht, dass die
verbleibende Polarisation der PGO-Dünnfilme stark von der Korngröße ab hängig ist.
Andererseits hängt
der Leckstrom sowohl von der PGO-Filmqualität als auch den Eigenschaften
der Elektroden ab.
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5 veranschaulicht
XRD-Daten der Pb5Ge3O11-Einzelphase, wachsen gelassen auf der Elektrode
von 3(c), der Mehrschichtelektrode der
vorliegenden Erfindung. Die XRD-Daten geben an, dass der Film ein
reiner (Einzelphase) c-achsenorientierter Pb5Ge3O11-Film ist.
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Die
Pt/Ir-Elektrode kann auf dem Substrat unter Verwendung von Elektrodenstrahlverdampfungs-,
CVD-, PVD- oder MOCVD-Verfahren abgeschieden werden. Der erste Schritt
ist gegebenenfalls Abscheiden einer dünnen Schicht von Ti, bevorzugt
25 nm dick. Der zweite Schritt ist die aufeinanderfolgende Abscheidung
der Iridium- und Platinschichten. Alle diese Abscheidungen werden
in einem bevorzugten Temperaturbereich von 200 bis 300°C durchgeführt.
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Die
dünne IrO2-Schicht kann in situ mit dem MOCVD-Verfahren
vor dem Abscheiden des PGO-Films gebildet werden. Die Kammer wird
zunächst
durch Vorfließenlassen
von Sauerstoff in die MOCVD-Wachstumskammer bei einer Wafertemperatur
von 400 bis 550°C
mit einer Flussrate von 2.000 bis 4.000 sccm für wenige Minuten, gerade bevor
der Vorläufer
eingeführt
wird, stabilisiert, um einen Bleigermanat-Dünnfilm abzuscheiden. Der c-achsenorientierte
Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilm
mit einer Dicke von etwa 100 bis 500 nm wird bei einer Wafertemperatur
von 400 bis 550°C
erhalten. Eine obere Platinelektrode, Iridiumelektrode oder IrO2-Elektrode wird abgeschieden, um einen ferroelektrischen
Kondensator zu bilden.
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Die
Dicke des IrO2 kann bei einer Dicke von etwa
10 bis 80 nm gehalten werden. Diese Dicke ist ausreichend, um die
Erschöpfungscharakteristika
zu verbessern, wenn diese dünn
genug ist, um einen sehr kleinen Leckstrom und eine leitfähige Bodenelektrode
zu unterstützen.
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Die 6 bis 8 veranschaulichen Schritte
bei der Vervollständigung
der ferroelektrischen Vorrichtung der vorliegenden Erfindung. 6 zeigt
eine ferroelektrische Vorrichtung 10, die ein Substrat 12 enthält. Das
Substrat 12 wird ausgewählt aus
der Gruppe von Materialien, bestehend aus Silicium, Polysilicium,
Siliciumdioxid und Siliciumgermaniumverbindungen. Eine erste Elektrodenschicht 14, enthaltend
ein Edelmetall, liegt über
dem Substrat 12. Typischerweise ist die erste Elektrodenschicht 14 Ir,
mit einer Dicke 16 im Bereich von etwa 50 bis 200. Ein Dickenbereich
von etwa 100 bis 200 nm ist bevorzugt, wobei 150 nm unter einigen
Umständen
optimal sind.
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Eine
zweite Elektrodenschicht 18, enthaltend ein Edelmetall,
liegt über
der ersten Elektrodenschicht 14. Die erste Elektrodenschicht 14 und
zweite Elektrodenschicht 18 verbessern die Adhäsion, Sperreigenschaften
und die Gleichmäßigkeit
von darauf folgend abgeschiedenen Filmen. Typischerweise ist die
zweite Elektroden schicht 18 Pt mit einer Dicke von 20 im
Bereich von etwa 10 bis 200 Nanometer. Eine Dicke von etwa 10 bis
150 Nanometer ist bevorzugt, wobei 50 nm unter einigen Aspekten
der Erfindung optimal sind. Die erste und zweite Elektrode 14/18
weisen eine kombinierte Dicke 22 im Bereich von etwa 100 bis 400
nm auf, wobei 200 nm unter einigen Aspekten der Erfindung optimal
sind.
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Eine
erste Sperrschicht 24 liegt über der zweiten Elektrodenschicht 18.
Eine erste Sperrschicht 24 verbessert die Grenzfläche zu nachfolgend
abgeschiedenen Schichten und begrenzt die Diffusion von Sauerstoff
in die ersten und zweiten Elektrodenschichten 14/18.
Typischerweise ist die erste Sperrschicht IrO2 und
weist eine Dicke 26 im Bereich von etwa 5 bis 50 nm auf,
wobei der Bereich von 10 bis 30 nm bevorzugt ist und eine Dicke
von etwa 15 nm optimal ist.
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Eine
zweite Sperrschicht 30 wird zwischen das Substrat 12 und
die erste Elektrodenschicht 14 eingeschoben, um die Interdiffusion
zwischen dem Substrat 12 und den Elektrodenschichten 14 und 18 zu
minimieren. Eine zweite Sperrschicht 30 verbessert ebenfalls
die Adhäsion
zwischen dem Substrat 12 und den Elektrodenschichten 14 und 18.
Die zweite Sperrschicht 30 weist eine Dicke 32 im
Bereich von etwa 10 bis 100 nm auf. Bevorzugt liegt die Dicke 32 im
Bereich von etwa 20 bis 50 nm und unter einigen Aspekten der Erfindung
sind 25 nm optimal. Das Material der zweiten Sperrschicht 30 wird
ausgewählt aus
der Gruppe, bestehend aus Ti, Ta, TiN, TaN und ternären Nitriden,
enthaltend Stickstoff und ein feuerfestes Metall. Typischerweise
enthält
das ternäre
Nitrid ein drittes Element, ausgewählt aus der Gruppe bestehend
aus Si und Al. Beispielsweise TiSiN, TaSiN und TiAlN.
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7 veranschaulicht
eine ferroelektrische Vorrichtung von 6 mit einem
ferroelektrischen Film. Ein Bleigermanat(PGO)-Film 40 liegt über der ersten
Sperrschicht 24. Die ferroelektrische Vorrichtung 10 wird
mit geringem Leckstrom und einer Beständigkeit gegenüber Erschöpfung gebildet.
Typischerweise liegt der PGO-Film 40 im Bereich von etwa 10 bis
100% Pb5Ge3O11-Phase, wobei die Bildung von kleineren
PGO-Kristallkörnern
unterstützt wird.
Unter einigen Aspekten der Erfindung enthält der PGO-Film 40 eine
zweite Pb3GeO5-Phase
aus PGO-Material, wobei die Bildung von größeren PGO Kristallkörnern unterstützt wird.
Unter einigen Aspekten der Erfindung wird der PGO-Film 40 epitaxial wachsen
gelassen, ein c-Achsen Pb5Ge3O11-Phasen PGO-Material.
Der PGO-Film 40 weist eine Dicke 42 im Bereich von etwa
50 bis 500 nm auf, wobei 50 bis 300 nm bevorzugt sind und 100 bis
200 nm optimal sind.
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8 veranschaulicht
eine ferroelektrische Vorrichtung 10, von 7,
worin ein Kondensator gebildet wird. Die ferroelektrische Vorrichtung 10 umfasst
weiterhin eine leitfähige
obere Filmelektrode 50, die über dem PGO-Film 40 liegt.
Unter einigen Aspekten der Erfindung umfasst die obere Elektrode 50 weiterhin
eine dritte Elektro denschicht 52, die über dem PGO-Film 40 liegt,
sowie eine vierte Elektrodenschicht 54, die über der
dritten Elektrodenschicht 52 liegt, wobei eine zweite Schichtelektrode
gebildet wird zusätzlich
zur Schichtelektrode, die durch die Elektrodenschichten 14 und 18 gebildet
wird.
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Wenn
eine obere Schichtelektrode gebildet wird, umfasst die ferroelektrische
Vorrichtung 10 typischerweise weiterhin eine dritte Sperrschicht 56,
die zwischen dem PGO-Film 40 und der dritten Elektrodenschicht 52 eingeschoben
wird. Die dritte Sperrschicht 56 verbessert die Grenzfläche zwischen
dem PGO-Film 40 und den dritten und vierten Elektrodenschichten 52/54.
Die vierte Elektrodenschicht 54 ist Ir, während die
dritte Elektrodenschicht 52 Pt darstellt. Bevorzugt stellt
die dritte Sperrschicht 56 IrO2 dar.
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9 ist
ein Flussdiagramm, das die Schritte in einem Verfahren zum Bilden
einer ferroelektrischen Vorrichtung veranschaulicht. Schritt 100 stellt ein
Substrat bereit. Schritt 101 bildet eine zweite Sperrschicht,
die über
dem Substrat liegt. Die zweite Sperre minimiert die Interdiffusion
zwischen dem Substrat und den Elektrodenschichten, während die Adhäsion zwischen
dem Substrat und den Elektrodenschichten verbessert wird. Das zweite
Sperrschichtmaterial ist ausgewählt
aus der Gruppe, bestehend aus Ti, Ta, TiN, TaN und ternären Nitriden, enthaltend
Stickstoff, sowie ein feuerfestes Metall. Typischerweise wird das
dritte Element der ternären Gruppe
ausgewählt
aus der Gruppe, bestehend aus Si und Al. Die zweite Sperrendicke
liegt im Bereich von etwa 10 bis 100 nm.
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Schritt 102 bildet
eine erste Elektrodenschicht, die über der zweiten Sperrschicht
liegt. Schritt 102 umfasst die Abscheidung von Ir auf eine Dicke
im Bereich von etwa 50 bis 200 nm. Schritt 104 bildet eine
zweite Elektrodenschicht, die über
der ersten Elektrodenschicht liegt. Schritt 104 umfasst
die Abscheidung von Pt auf eine Dicke im Bereich von etwa 10 bis
200 nm. Die Schritte 102 und 104 umfassen Abscheiden
von Ir und Pt auf eine kombinierte Dicke im Bereich von etwa 100
bis 400 nm. Die Schritte 102 und 104 umfassen
die Abscheidung der ersten und zweiten Elektrodenschichten durch
Verfahren, ausgewählt
aus der Gruppe, bestehend aus Elektrodenstrahlverdampfung, CVD,
PVD und MOCVD bei einer Temperatur im Bereich von etwa Raumtemperatur
bis 500°C.
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Schritt 106 bildet
eine erste Sperrschicht, die über
der zweiten Elektrodenschicht liegt. Schritt 106 umfasst
das Bilden der ersten Sperrschicht auf eine Dicke im Bereich von
etwa 5 bis 50 nm. Schritt 108 ist ein Produkt, eine ferroelektrische
Vorrichtung, worin die Sperrschichten die Grenzfläche für nachfolgend abgeschiedene
Schichten verbessern und Diffusion von Sauerstoff in die erste und
zweite Elektrodenschicht beschränken.
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Unter
einigen Aspekten der Erfindung enthält Schritt 106 das
Härten
der ersten und zweiten Elektrodenschicht in einer Sauerstoffumgebungsatmosphäre, um ein
erstes Sperrschichtoxid zu bilden, das über der zweiten Elektrodenschicht
liegt. Alternativ enthält
Schritt 106 die Verwendung von Verfahren, ausgewählt aus
der Gruppe bestehend aus PVD, CVD und MOCVD, um eine erste Sperrschicht
aus IrO2 abzuscheiden.
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Unter
einigen Aspekten der Erfindung folgt Schritt 106 ein weiterer
Schritt. Schritt 110 bildet eine PGO-Schicht, die über der
ersten Sperrschicht liegt. Schritt 110 enthält die Abscheidung
des PGO-Films durch MOCVD-Verfahren bei einer Temperatur im Bereich
von etwa 400 bis 550°C
sowie eine Dicke im Bereich von etwa 50 bis 500 nm. Unter einigen
Aspekten der Erfindung umfasst Schritt 110 den PGO-Film,
der im Bereich von etwa 10 bis 100% Pb5Ge3O11-Phase liegt,
wobei die Bildung von kleineren PGO-Kristallkörnern unterstützt wird.
Unter einigen Aspekten der Erfindung umfasst Schritt 110 den PGO-Film
mit einer zweiten Pb3GeO5-Phase
aus PGO-Material,
wobei die Bildung von größeren PGO-Kristallkörnern unterstützt wird.
Die erste und zweite Phase wird abhängig von gewünschten
ferroelektrischen und ferroelastischen Charakteristika variiert.
Eine große
Menge an erster Phase im PGO-Film unterstützt kleinere Polarisationsfelder,
so dass die resultierende Vorrichtung in Eintransistorspeichern
verwendbar ist. Die Erhöhung
der Menge an zweiter Phase lässt
den Pr-Wert ansteigen. In einigen Aspekten der Erfindung enthält der Schritt 101 ein
epitaxiales Wachsen eines c-Achsen Pb5Ge3O11-Phasen-PGO-Materials.
Schritt 110 enthält
das Bilden des PGO-Films auf eine Dicke im Bereich von etwa 50 bis
500 nm.
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Alternative
Verfahren liegen vor, um die erste Sperrschicht zu bilden. Schritt 106 umfasst
das Bilden von IrO2 bei Vorbereitung auf
ein MOCVD-Verfahren in Schritt 110. Das Stabilisierungsverfahren lässt Sauerstoff
bei einer Flussgeschwindigkeit im Bereich von etwa 2.000 bis 4.000
sccm bei einem Wachstumskammerdruck von etwa 2,67 bis 26,7 mbar
(2 bis 20 Torr) (10 ist bevorzugt) (1 Torr = 1,33 mbar), einer Substrattemperatur
im Bereich von etwa 400 bis 550°C
für eine
Dauer von etwa 5 bis 15 Minuten vorfließen. In dieser Art und Weise
wird die erste Sperrschicht in situ gebildet, gerade bevor der PGO-Film
abgeschieden wird.
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Unter
einigen Aspekten der Erfindung, wobei ein Kondensator gebildet wird,
folgen dem Schritt 110 weitere Schritte. Schritt 112 bildet
eine leitfähige
obere Filmelektrode, die über
dem PGO-Film liegt. Schritt 112 umfasst optional Unterschritte.
Schritt 112a bildet eine dritte Pt-Elektrodenschicht, die über dem
PGO-Film liegt; und Schritt 112b bildet eine vierte Ir-Elektrodenschicht,
die über
der dritten Elektrodenschicht liegt, wobei ein ferroelektrischer
Kondensator gebildet wird. Wenn eine obere Schichtelektrode in Schritt 112 gebildet
wird, folgt Schritt 110 ein weiterer Schritt. Schritt 110a bildet
eine dritte Sperrschicht aus IrO2, die über dem
PGO-Film liegt, der in Schritt 110 gebildet wird, wobei
die Grenzfläche
zwischen dem PGO-Film und den dritten und vierten Elektrodenschichten
verbessert wird.
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Alternativ
folgt Schritt 112b ein weiterer Schritt. Schritt 114 (nicht
gezeigt) härtet
die dritten und vierten Elektrodenschichten in einer Sauerstoffumgebungsatmosphäre. In dieser
Art und Weise tritt Schritt 110a in situ gleichzeitig mit
der Durchführung von
Schritt 114 auf. In einer weiteren Alternative tritt Schritt 110a nach
Schritt 110 und vor Schritt 112 auf. Dann enthält Schritt 110a das
Abscheiden von IrO2 durch Abscheidungsverfahren,
ausgewählt
aus der Gruppe, bestehend aus PVD, CVD und MOCVD. Schritt 116 ist
ein Produkt, ein Kondensator mit verbesserten Erschöpfungs-
und Leckstromeigenschaften.
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Die
ferroelektrische Struktur der vorliegenden Erfindung ist einfach
und ohne Weiteres herzustellen. Die Pt/Ir-Zweifachschicht wird vorteilhafterweise
mit einem Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilm verwendet.
Gute Adhäsion
zum Substrat tritt auf und die Sperreigenschaften im Hinblick auf
Sauerstoff und Blei sind gut. Die ferroelektrischen Eigenschaften
werden ohne Nachteile für
den Leckstrom unter Verwendung dieser Struktur verbessert, weil
eine dünne
IrO2-Schicht in situ während des MOCVD-Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilmverfahrens
gebildet wird. Unter Verwendung einer Pt/Ir-Elektrode ist eine relativ
niedrige MOCVD-Verarbeitungstemperatur erforderlich, um einen c-achsenorientierten
Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilm
zu erreichen. Der Temperaturbereich des c-achsenorientiertem MOCVD-Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilms
auf Pt/Ir beträgt
400 bis 500°C.
Weiterhin wird eine relativ große
Nukleierungsdichte erhalten, verglichen mit der Verwendung einer
einschichtigen Iridiumelektrode. Daher weist der Bleigermanat(Pb5Ge3O11)-Dünnfilm eine
glatte Oberfläche,
homogene Mikrostruktur und homogene ferroelektrische Eigenschaften
auf.
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Weiterhin
kann Hügelbildung
unterdrückt werden,
wenn eine Pt/Ir-Elektrode mit einem PGO-Film verwendet wird. Der
Flächenwiderstand
ist relativ gering, verglichen mit Einoxidschichtbodenelektroden
und Oxid/Platinelektroden. Schließlich ist die Flächenwiderstandsänderung
für diese
Mehrschichtelektrode während
dem Härten
relativ klein, verglichen mit einzelnen Platin- und einzelnen Iridiumelektroden.
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Die
oben erwähnte
ferroelektrische Struktur ist zur Herstellung von nichtflüchtigen
Speichern, wie Metall-ferroelektrisch-Metall-Oxid-Silicium (MFMOS),
Metall-ferroelektrisch-Metallsilicium
(MFMS), Metall-ferroelektrisch-Metall-Isolator-Silicium (MFMIS),
Transistoren, Kondensatoren, pyroelektrischen Infrarotsensoren,
optischen Anzeigen, optischen Schaltern, piezoelektrischen Transduktoren
und oberflächenakustischen
Wellen (surface acoustic wave, SAW)-Vorrichtungen verwendbar. Andere
Variationen und Ausführungsformen
sind dem Fachmann im Stand der Technik offensichtlich.