DE60016324T2 - Optische Baugruppe und Verfahren zur Herstellung von Linsensystemen - Google Patents

Optische Baugruppe und Verfahren zur Herstellung von Linsensystemen Download PDF

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Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf optische Baugruppen und Verfahren zum Herstellen von optischen Baugruppen und Linsensystemen unter Verwendung von Linsenanordnungen und insbesondere auf die Verfahren zum Anbringen und Fixieren von zwei oder mehr Linsenanordnungen in präziser relativer Position zueinander.
  • Nach der in der Branche üblichen Praxis für den Zusammenbau von Linsensystemen werden bei jedem einzelnen Linsenelement die einzelnen diskreten Linsenelemente relativ zueinander montiert. Diese Technik eignet sich zwar für Linsensysteme mit großen Linsenelementen, bei sehr kleinen Linsenelementen (kleiner als 1 mm Durchmesser) ist ihr Einsatz jedoch sehr schwierig. Durch die Herstellung zahlreicher Linsenelemente auf einem gemeinsamen Träger, einer so genannten Linsenanordnung, lässt sich die Herstellung von Linsenelementen rationeller gestalten.
  • Es ist bekannt, Anordnungen optischer Elemente an elektronischen Modulen anzubringen. Baugruppen dieser Art werden in US-A-5 638 469 mit dem Titel "Mikroelektronisches Modul mit optischen und elektrischen Verbindungen" und US-A-5 661 831 mit dem Titel "Optisches Modul mit durch Höcker auf rechteckigen Blöcken angeordnetem selbst ausrichtendem Element mit optischem Lichtleiter und Verfahren zum Zusammenbau desselben" beschrieben. Die in diesen Patenten beschriebenen Verfahren sind jedoch für die spätere Herstellung eines einzigen (d.h. eines einzelnen) Linsensystems nicht optimal. Darüber hinaus erfolgt bei vielen der Verfahren zum Anbringen von Linsenelementen an elektronischen Modulen die Ausrichtung mittels Lötperlen. Die Verwendung von Lötperlen erfordert jedoch zusätzliche Schritte für die Musterung, das Aufbringen und Aufschmelzen des Lötmaterials.
  • US-A-5 694 246 beschreibt ein Verfahren für die Herstellung einer dichten Linsenanordnung.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, den präzisen Zusammenbau kleiner Linsenelemente, die Bestandteil von Linsenanordnungen sind, zu Linsensystemen zu ermöglichen.
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung umfasst ein Verfahren zum Herstellen einer Linsenbaugruppe unter Verwendung einer Vielzahl von Linsenanordnungen mit einer Vielzahl von sphärischen Linsen und mindestens einem Abstandshalter mit einer Vielzahl von Öffnungen die Schritte: (i) Anordnen mindestens zweier Linsenanordnungen und des Abstandshalters derart, dass der Abstandshalter zwischen den beiden Linsenanordnungen angeordnet ist und dass die sphärischen Linsen der einen Linsenanordnung die sphärischen Linsen der anderen Linsenanordnung überlagern und dass die Öffnungen des Abstandshalters zwischen den sphärischen Linsen liegen, (ii) Befestigen der Linsenanordnungen und des Abstandshalters aneinander, um eine Anordnungsbaugruppe zu bilden, und (iii) Vereinzeln oder Aufteilen der Anordnungsbaugruppe, um eine Vielzahl einzelner Linsensysteme zu bilden.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfasst die optische Baugruppe mindestens zwei Linsenanordnungen und mindestens einen Abstandshalter mit einer Vielzahl von Öffnungen. Der Abstandshalter ist zwischen den beiden Linsenanordnungen angeordnet und an den beiden Linsenanordnungen befestigt. Der Abstandshalter weist eine Dicke von 0,05 bis 0,5 mm auf. Die Linsenanordnungen weisen eine Vielzahl von sphärischen Linsen mit einem Durchmesser von höchstens 1 mm auf. Bevorzugt ist, dass die Linsenanordnungen eine größte Ausdehnung von mindestens 5 mm aufweisen.
  • Ein Vorteil der Erfindung liegt darin, dass bei der Herstellung von Linsenbaugruppen unter Verwendung einer oder mehrerer Linsenanordnungen die Teile größer werden und dadurch besser herzustellen und einfacher zusammenbauen sind.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 1A eine Seitenansicht einer Linsenanordnung;
  • 1B eine perspektivische Ansicht von fünf sphärischen Linsen einer Linsenanordnung gemäß 1A;
  • 1C eine vergrößerte perspektivische Ansicht einer der sphärischen Linsen gemäß 1B;
  • 2 eine Ansicht zweier Linsenanordnungen;
  • 3 die beiden miteinander verbundenen Linsenanordnungen gemäß 2;
  • 4A einen Querschnitt einer Dublette nach der Vereinzelung;
  • 4B eine perspektivische Ansicht einer Dublette gemäß 4A;
  • 5A einen für die Herstellung eines Abstandshalters verwendeten Laser, der die beiden Linsenanordnungen trennt;
  • 5B einen Querschnitt des hergestellten Abstandshalters;
  • 6A–6E Lithografieschritte für die Herstellung von Durchgangsöffnungen im Abstandshalter;
  • 7A–7C die Herstellung des Abstandshalters mittels elektrischer Entladungsbearbeitung;
  • 8 die Herstellung des Glas-Abstandshalters durch Formpressen;
  • 9A einen beiderseits mit Epoxidharz beschichteten Abstandshalter;
  • 9B zwei an den Abstandshaltern der 9A befestigte Linsenanordnungen;
  • 9C eine von der Linsenanordnungsbaugruppe der 9B abgetrennte vereinzelte Dublette;
  • 9D einen Querschnitt eines Tripletts;
  • 10A einen Abstandshalter mit SiO2-Film;
  • 10B den Einsatz eines Lasers, dessen Laserstrahl dazu dient, den Abstandshalter gemäß 10A durch Aufschmelzen des SiO2-Films mit der Linsenanordnung zu verbinden;
  • 11A einen Abstandshalter mit mittels einer Düsenspritzvorrichtung aufgebrachtem Kleber;
  • 11B eine Anordnungsbaugruppe mit zwei durch Kleben am Abstandshalter gemäß 11A befestigten Linsenanordnungen;
  • 12A einen Glas-Abstandshalter mit zwei Linsenanordnungen;
  • 12B einen Laser, mittels dessen zur Herstellung einer Verbindung zwischen den Linsenanordnungen und dem Abstandshalter die Grenzfläche zwischen dem Abstandshalter aus 12A und den Linsenanordnungen erwärmt wird;
  • 13 eine Orthogonalprojektion einer Linsenanordnung, in der eine Anordnung von Rahmenmarken und Linsenelementen zu erkennen ist;
  • 14 einen Abstandshalter mit Ausrichtmerkmalen sowie Linsenelemente mit komplementären Merkmalen zum mechanischen Ausrichten des Abstandshalters zu den Linsenanordnungen; und
  • 15 eine Draufsicht der verbundenen Anordnungsbaugruppe mit den Linsenelementen sowie den Vereinzelungskerben.
  • 1A zeigt eine Seitenansicht einer Linsenanordnung 10. Die Linsenanordnung 10 besteht aus einer flachen Glasscheibe mit einer Vielzahl von aus Glas hergestellten Elementen 12. Bei dieser Ausführungsform weisen die Linsenelemente 12 einen Durchmesser von 270 mm auf und ragen um 62 μm über die Oberfläche der Linsenanordnung 10 hinaus. Die Linsenanordnung kann aus Glas oder Kunststoff bestehen. 1B und 1C sind Kopien eines Fotos, in dem das Linsenelement 12 in Perspektive zu sehen ist.
  • 2 zeigt zwei nebeneinander angeordnete Linsenanordnungen 10. Gemäß einem Aspekt der Erfindung können die beiden Linsenanordnungen mittels derselben Form hergestellt sein, so dass zwei identische Linsenanordnungen (eine obere und eine untere) vorliegen. Die Ausbildung der Anordnungsbaugruppe unter Verwendung zweier identischer Linsenanordnungen ergibt eine ausgezeichnete Ausrichtung zwischen allen Linsenelementen der oberen und unteren Anordnungen. Außerdem können die Linsenelemente 12 der oberen Linsenanordnung 10 praktisch gleichzeitig mit den Linsenelementen 12 der unteren Linsenanordnung 10 ausgerichtet werden.
  • Die Linsenelemente 12 der oberen Linsenanordnung 10 und die Linsenelemente 12 der unteren Linsenanordnung 10 bilden zusammen mit einem Abstandshalter 31 eine Baugruppe 32 aus Dubletten 41. Ein Linsenelement besteht aus einem einzigen Stück eines Licht brechenden Materials mit zwei Oberflächen, von denen zumindest eine eine optische Wirkung hat. Dubletten bestehen aus zwei durch einen Luftzwischenraum getrennten Linsenelementen. Siehe 3. Bei dieser Ausführungsform hat der Abstandshalter 31 eine Dicke von 0,09 mm.
  • In 4A und 4B ist eine vereinzelte (d.h. von der zusammengebauten Anordnung von Dubletten 32 abgetrennte) Dublette 41 dargestellt. Wie vorstehend bereits beschrieben wurde, sind die Linsenelemente 12 der oberen Linsenanordnung 10 jeweils mit den entsprechenden Linsenelementen 12 der unteren Linsenanordnung 10 ausgerichtet. Auf diese Weise werden die Linsenelemente 12 der Dublette 41 zueinander ausgerichtet. Dies ist sehr viel einfacher und billiger als das bekannte Verfahren des Zusammenbaus einzelner Linsenelemente, bei dem jedes Linsenelement einzeln zu den anderen Linsenelementen ausgerichtet wird.
  • 5A, 5B, 6A–6E und 7A–7C zeigen verschiedene für die Herstellung von Abstandshaltern 31 einsetzbare Verfahren. Ein Abstandshalter ist ein mechanisches Teil, das zwei Linsenanordnungen trennt. Ein mögliches Material für den Abstandshalter 31 ist Silizium. Silizium hat den Vorteil, dass es in einfacher Weise eben poliert werden und mittels der in der Halbleitertechnik bekannten Verfahren geätzt werden kann. Selbstverständlich könnten für den Abstandshalter 31 auch andere Werkstoffe, etwa Keramik, verwendet werden. Bevorzugt ist, das Abstandshaltermaterial so zu mustern, dass man Durchgangsöffnungen 31A erhält, damit das Licht durch die Dublette hindurchgehen kann. Zu beachten ist, dass auch ein Abstandshalter aus einer später zu polymerisierenden oder zu härtenden Flüssigkeit verwendet werden könnte, wobei diese Art von Abstandshalter jedoch die optische Wirkung des Linsensystems beeinträchtigen könnte und dieser Effekt bei der Auslegung des Linsensystems berücksichtigt werden muss.
  • In 5A ist ein Excimer-Laser 51 dargestellt, der mittels eines fokussierten Laserstrahls 51A die Öffnungen 31A in Siliziumplättchen 53 herstellt. Der Vorteil des Excimer-Lasers 51 besteht darin, dass er Silizium relativ schnell schneiden kann. Es gibt Anbieter, die solche Bearbeitungsleistungen für Silizumplättchen anbieten. Ein solcher Anbieter ist zum Beispiel Resonetics Inc., 5 Bud Way # 21, Nashua, NH, USA. Natürlich könnten die Plättchen auch mittels anderer Verfahren gemustert werden. In 5B ist der fertige Abstandshalter 31 dargestellt. Der Abstandshalter 31 kann ebenso aus Glas, Metall, Keramik, einem Polymer oder Kombinationen dieser Werkstoffe bestehen.
  • In 6A–6E ist ein Fotolithografieverfahren zur Herstellung gemusterten Plättchen dargestellt. Diese Verfahren werden üblicherweise in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Ein Anbieter derartiger Plättchen ist zum Beispiel Advanced Micromachines aus Cleveland, OH, USA. In 6A ist das massive Plättchen 53 mit einem Fotoresistlack-Material 62 beschichtet. In 6B wird mittels einer Maske 63 und einer Belichtungslampe 64 das Bild der Maske 63 auf des Fotoresistlack-Material aufbelichtet. In 6C ist das Ergebnis dieser Belichtung zu sehen. In 6D werden das belichtete Plättchen 53 und das Fotolackmaterial 62 in ein Bad 66 eingelegt, das das nicht geschützte Abstandshaltermaterial auflöst, so dass man den fertigen Abstandshalter 31 (in 6E dargestellt) erhält.
  • In 7A–7C ist ein anderes Verfahren zur Herstellung des Abstandshalters 31 dargestellt. 7A zeigt ein Kohle-Funkenerosionswerkzeug 74 mit den positiven Bildmerkmalen 74A mit den für den Abstandshalter 31 erforderlichen Öffnungen 31A. Aus 7B ist ersichtlich, dass das Kohle-Funkenerosionswerkzeug 74 (auch Kohle-Elektrode genannt) und ein Abstandshaltermaterial 75 dicht benachbart zueinander angeordnet sind. Zwischen dem Abstandshaltermaterial 75 und dem Funkenerosionswerkzeug 74 wird ein elektrischer Strom hindurchgeleitet, der einen Lichtbogen zwischen den Merkmalen 74 und dem Abstandshaltermaterial 75 erzeugt. Dadurch entstehen eine Vielzahl von Öffnungen im Abstandshaltermaterial 75. Das Ergebnis ist in 7C dargestellt. Im einzelnen zeigt 7C das erhaltene Muster des hergestellten Abstandshalters 31 mit den so erzeugten Öffnungen 31A. Zu beachten ist, dass anstelle eines Funkenerosionswerkzeugs auch ein ebenso geladenes Metallwerkzeug eingesetzt werden kann, mittels dessen Öffnungen 31A im Abstandshalter 31 durch Ultraschall (Vibration) hergestellt werden könnten.
  • Wenn das Linsensystem (zum Beispiel die Dublette 41) in einer Umgebung mit wechselnden Temperaturen eingesetzt werden soll, kann es von Vorteil sein, wenn der Abstandshalter 31 aus demselben oder einem ähnlichen Material besteht wie die sphärischen Linsen 12. Durch die Verwendung desselben oder eines ähnlichen Materials (d.h. eines Materials mit derselben oder einer ähnlichen Wärmeausdehnung) für den Abstandshalter 31 werden Spannungen, die sich aus Unterschieden in den Wärmeausdehnungskoeffizienten des Abstandshalters und der Linse ergeben, minimiert. Dabei ist bevorzugt, dass 0.8T2<T1<1,2T2, wobei T1 der Koeffizient der Wärmeausdehnung des Materials der sphärischen Linsen 12 und T1 der Koeffizient der Wärmeausdehnung des Abstandshaltermaterials ist. Noch bevorzugter ist ein Verhältnis von 0,95T2<T1<1,05T2, und besonders bevorzugt ist ein solches von 0,98T2<T1<1,08T1. Am stärksten bevorzugt ist ein Verhältnis von T2=T1. Die Herstellung eines Glas-Abstandshalters 31 aus demselben Glas, aus dem auch die Glas-Linsenanordnungen bestehen, würde so die Unterschiede zwischen den Wärmekoeffizienten T1 und T2 eliminieren.
  • In 8 sind zwei Verfahren zur Herstellung eines Glas-Abstandshalters dargestellt. Dabei zeigt 8A einen Abstandshalter 82, der mittels eines Presswerkzeuges 81 aus Glas geformt wurde.
  • Das Befestigen des Abstandshalters an den Linsenanordnungen kann auf unterschiedliche Weise erfolgen. In 9A – 9C, 10, 11A – 11B und 12A – 12B sind verschiedene Verfahren zum Befestigen des Abstandshalters 31 an der Linsenanordnung 10 dargestellt.
  • In 9A ist der Abstandshalter 31 beiderseits mit Epoxidharz 91 beschichtet. In 9B sind zwei Linsenanordnungen 10 bezüglich des Abstandshalters 31 positioniert. Das Epoxidharz 91 wird (je nach Art des gewählten Epoxidharzes) mittels Wärme oder Ultraviolettstrahlung gehärtet, wodurch eine verbundene Linsenbaugruppe entsteht. In 9C ist die vereinzelte Dublette 41 nach dem Abtrennen von der verbundenen Anordnungsbaugruppe dargestellt. Zu beachten ist, dass auch andere Linsensysteme, etwa Tripletts, auf diese Weise hergestellt werden können. Ein Triplett-Linsensystem dieser Art ist in 9D dargestellt.
  • 10A zeigt einen Silizium-Abstandshalter 31 mit einer darauf angebrachten dünnen Schicht SiO2 (Siliziumdioxid) 101. Die Siliziumdioxidschicht 101 kann mittels eines Beschichtungsverfahrens (z.B. durch Elektronenstrahlverdampfung) oder eines Wachstumsprozesses (z.B. durch physikalisches oder chemisches Aufdampfen) hergestellt werden. In 10B sind die Linsenanordnungen 10 bezüglich des Abstandshalters 31 positioniert. Ein vorzugsweise auf die Grenzfläche zwischen Linsensystem 12 und SiO2-Schicht fokussierter Laser 51 bewirkt die Verbindung der beiden Schichten von Anordnung 10 und Abstandshalter 31. Für die Verbindung kann jedoch auch eine andere Art Glas oder Glas/SiO2-Zusammensetzung verwendet werden.
  • In 11A und 11B ist ein weiteres mögliches Verfahren für die Herstellung von Linsensystemen dargestellt. Dabei wird in 11A ein Kleber mittels einer Düsen-Spritzvorrichtung 102 auf den Abstandshalter 31 aufgebracht. Bei diesem Verfahren wird der perforierte Abstandshalter 31 mit Hilfe der Düsen-Spritzvorrichtung 102 "beschichtet", wobei Klebermaterial nur auf den Abstandshalter 31 aufgebracht wird und nicht in die Perforationen gelangt. Der Vorteil einer Düsen-Spritzvorrichtung 102 besteht darin, dass die Position des Klebers präzise gesteuert werden kann. Diese Technologie wird in einem Artikel mit dem Titel "Mikrostrahl-Drucken von Brechungs-Mikrolinsen" von W. Royall Cox, Ting Chen, Chi Guan, Donald J. Hayes und Rick E. Hoenigman, Brian T. Teipen und Duncan L. MacFarlane, Protokoll des OSA Diffractive Optics and Micro-Optics Topical Meeting, Kailua-Kona, Hawaii, Juni 1998, sowie in US-A-5 681 757 beschrieben. 11B zeigt zwei Linsenanordnungen 10 und den Abstandshalter 31, die während des Härtens des Klebers 103 mittels Wärme oder UV-Strahlung in der korrekten Ausrichtung gehalten werden.
  • In 12A ist ein durch Pressen hergestellter Glas-Abstandshalter 31 dargestellt. Der Glas-Abstandshalter 31 besteht aus demselben Material wie die Linsenanordnungen 10. In 12B ist der Glas-Abstandshalter 31 zu den beiden Linsenanordnungen 10 ausgerichtet. Außerdem zeigt 12B das Verbinden der Linsenanordnungsbaugruppe durch Lichtstrahlschweißen mittels eines Lasers 51. Die Verbindung kann jedoch auch mittels Wärme hergestellt werden.
  • Nicht dargestellt, aber ebenfalls möglich ist die Verbindung eines Silizium-Abstandshalters mit einer Natrium oder ähnliche Materialien enthaltenden Glas-Linsenanordnung durch anodisches Kleben. Dieses Verfahren bietet den Vorteil, dass eine starke Verbindung ohne zusätzliches Material hergestellt wird. Die Technik ist in der Halbleiterindustrie für den kompakten Zusammenbau von Sensoren allgemein bekannt.
  • Während des Zusammenbaus müssen der Abstandshalter und die beiden Linsenanordnungen ausgerichtet werden. Dieses Ausrichten kann auf unterschiedliche Weise erreicht werden. Eine Möglichkeit besteht in optischen Verfahren, wie sie zum Beispiel für das Ausrichten von Masken beim lithografischen Halbleiterdruck allgemein üblich sind. Bei dieser Lösung wird eine Rahmenmarke 105 (in 13 dargestellt) dazu verwendet, die als Bestandteil der Linsenanordnung 10 hergestellt wird. In 13 sind die Linsenelemente 12 in radialer Anordnung dargestellt. Die Rahmenmarke 15 könnte auch aus einer der Oberflächen eines Linsenelements 12 bestehen.
  • Ein weiteres Ausrichtverfahren ist in 14 dargestellt. Dabei ist in die obere und untere Oberfläche des Abstandshalters 31 ein Merkmal 122 eingearbeitet. Ein komplementäres Merkmal 123 ist in der Linsenanordnung 10 ausgebildet. Das Merkmal 123 passt in das Merkmal 122 des Silizium-Abstandshalters 31. Die genannten Merkmale weisen eine so genannte kinematische Passung auf. Die Merkmale 122 und 123 ermöglichen die wiederholbare Positionierung des Abstandshalters 31 und der Linsenanordnungen 10 ohne Ausrichthilfsmittel und ersparen so Zeit und Kosten. Ein Beispiel eines nützlichen Ausrichtmerkmals 122 wäre eine V-Nut. In diesem Fall wird in der Linsenanordnung 10 ein komplementärer Vorsprung 123 ausgebildet. Möglich sind jedoch auch andere verblockende oder ineinander greifende Merkmale. Letzter Schritt des Herstellungsverfahrens ist das in 4 dargestellte Abtrennen der Dublette 41 von der Baugruppe gemäß 3. In 15 ist zu sehen, wie die runde Linsenbaugruppe geschnitten wird, um die einzelnen Dubletten abzutrennen. Die Ziffer 141 in 15 bezeichnet die von der Schneidvorrichtung hinterlassene Kerbe. Als "Kerbe" wird dabei der Bereich des durch das Sägen, Brennen oder den sonstigen Arbeitsgang fehlenden Materials bezeichnet. Das Vereinzeln der einzelnen Linsensysteme kann zum Beispiel mittels Trennsägen, Excimer-Laser, Kernsägen oder Kerbtrenngeräten bewerkstelligt werden. Diese kommerziell verfügbaren Verfahren werden nur zum Vereinzeln der hergestellten Linsensysteme eingesetzt.
  • Bevorzugt ist, dass die Dicke des Abstandshalters 0,05 bis 0,5 mm beträgt und dass der Abstandshalter und die Linsenanordnungen 5 mm bis 30 mm lang sind oder einen Durchmesser von 5 mm bis 30 mm aufweisen.
  • Die Erfindung wurde vorstehend im einzelnen unter besonderer Bezugnahme auf bestimmte bevorzugte Ausführungsformen beschrieben, es versteht sich jedoch, dass Abweichungen und Modifikationen im Rahmen der Erfindung möglich sind.

Claims (9)

  1. Verfahren zum Herstellen einer Linsenbaugruppe (32) unter Verwendung einer Vielzahl von Linsenanordnungen (10) mit einer Vielzahl von sphärischen Linsen (12) und mindestens einem Abstandshalter (31) mit einer Vielzahl von Öffnungen (31A), mit den Schritten: i) Anordnen mindestens zweier Linsenanordnungen (10) und des Abstandshalters (31) derart, dass der Abstandshalter (31) zwischen den beiden Linsenanordnungen (10) derart angeordnet ist, dass die sphärischen Linsen (12) der einen Linsenanordnung (10) die sphärischen Linsen (12) der anderen Linsenanordnung (10) überlagern und dass die Öffnungen (31A) zwischen den sphärischen Linsen (12) liegen; ii) Befestigen der Linsenanordnungen (10) und des Abstandhalters (31) aneinander, um eine Anordnungsbaugruppe (32) zu bilden; und iii) Vereinzeln oder Aufteilen der Anordnungsbaugruppe (32), um eine Vielzahl einzelner Linsensysteme (41) zu bilden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, mit dem Schritt: Anordnen der Elemente in einem rechteckigen Rastermuster.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, mit dem Schritt: Ausrichten der Linsenanordnungen und mindestens eines Abstandshalters durch Verwendung von kinematischen Merkmalen oder Rahmenmarken.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, mit dem Schritt: Vor dem Vereinzeln Verbinden mindestens zweier Abstandshalter und dreier Linsenanordnungen zu einer einzelnen Baugruppe.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, worin die Vereinzelungsschritte aus dem Aufteilen der zusammengesetzten Struktur und aus dem Erzeugen mindestens einer Dublette bestehen.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, mit dem Schritt: Auswählen eines Ausdehnungskoeffizienten T2 des Abstandshalters derart, dass 0,8T2≤T1<1,2T2, wobei T1 der Koeffizient der Wärmeausdehnung für das Material der sphärischen Linsen ist.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, mit dem Schritt: Herstellen des Abstandshalters unter Verwendung eines der folgenden Verfahren: Laserbearbeitung, fotolithografisches Ätzen, elektrische Entladungsbearbeitung oder Ultraschallbearbeitung.
  8. Optische Baugruppe (32) mit: i) mindestens zwei Linsenanordnungen (10) mit einer Vielzahl von Linsenelementen (12) und ii) mindestens einem Abstandshalter (31) mit einer Vielzahl von Öffnungen (31A), wobei der Abstandshalter (31) zwischen den beiden Linsenanordnungen (10) angeordnet und daran befestigt ist und eine Dicke von 0,02 mm to 0,5 mm aufweist, und wobei die Linsenanordnungen (10) eine Vielzahl von sphärischen Linsen (12) mit einem Durchmesser von höchstens 1 mm aufweisen.
  9. Optische Baugruppe nach Anspruch 8, wobei die Linsenanordnungen eine größte Ausdehnung von mindestens 5 mm aufweisen.
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