CN103323893B - 晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜聚合体 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜聚合体。为了提供一种能够可靠地粘结晶圆透镜和隔离件的晶圆透镜聚合体的制造方法，晶圆透镜聚合体备有：至少在一面上设置了多个固化性树脂光学部件的第1基板；与第1基板接合的第2基板；被设在第1基板和第2基板之间的光阑部件；通过光固化性树脂粘结剂第1基板和第2基板制造晶圆透镜聚合体，作为其制造方法，备有：在接合部分涂布光固化性树脂粘结剂的粘结剂涂布工序；形成光阑部件的工序；在光阑部件形成工序后，对在粘结剂涂布工序涂布的粘结剂照光使所述粘结剂的固化进展的光固化工序；其中，光阑部件被形成为不妨碍在光固化工序照射的光到达粘结剂。

Description

晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜聚合体

本申请是申请号为200980114461.9（PCT/JP2009/057185）、申请日为2009年4月8日（递交日为2010年10月22日）、发明名称为“晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜的制造方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜的制造方法。

背景技术

在光学透镜的制造领域中，以往，技术探讨了在玻璃平板上设置用热固化性树脂等固化性树脂形成的透镜部（光学部件），由此得到耐热性高的光学透镜（例如请参照专利文献1）。

作为应用该技术开发的一种光学透镜的制造方法，其中，在玻璃平板表面形成由金属膜构成的调整入射光量的光阑，进一步在光阑的表面设多个由固化性树脂形成的光学部件形成所谓的“晶圆透镜”。然后，在多个透镜一体化的状态下垫入隔离件，使隔离件碰到和光学面一起形成的突出部重叠并粘结，形成多组透镜，然后切开玻璃平板。这种制造方法能够降低光学透镜的制造成本。

先行技术

专利文献

专利文献1：特许第3926380号公报

发明内容

发明欲解决的课题

但是，将晶圆透镜叠成多层制造晶圆透镜聚合物时，必须在玻璃平板之间垫入隔离件，由该隔离件支撑上下晶圆透镜，并且调整上下位置上的光学部件之间的配置位置。此时，隔离件必须用光固化性树 脂粘结剂等粘结在光阑表面。通常，光阑由不透过粘结剂固化用光的金属膜形成，所以，存在在光阑表面不能粘结隔离件之问题（这里说明的是玻璃平板的情况，但塑料平板及透明的陶瓷平板的情况都相同，下面对玻璃平板的情况作说明，但本发明并不局限于玻璃，也包括塑料和陶瓷等其他的透明平板）。

当在构成晶圆透镜的一个基板上接合其他晶圆透镜基板，而该其他晶圆透镜基板上预先形成了用来调整与上述一个基板之间隔的部件时，也同样存在上述问题。

本发明鉴于上述情况，目的在于提供一种晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜的制造方法，其中能够可靠地粘结晶圆透镜和隔离件等其他基板。

用来解决课题的手段

上述课题通过下述解决。一种晶圆透镜聚合体的制造方法，晶圆透镜聚合体备有：第1基板，其具有正面和反面，在所述正面和反面的至少一个面上设固化性树脂的多个光学部件；第2基板，被接合在所述第1基板的正面或反面；光阑部件，被设置在所述第1基板和所述第2基板之间，对所述光学部件调整入射光量；所述第1基板和所述第2基板通过光固化性树脂粘结剂接合，晶圆透镜聚合体制造方法的特征在于，备有下述各工序：粘结剂涂布工序，在所述第1基板的与所述第2基板接合的接合部上或所述第2基板的与所述第1基板接合的接合部上涂布光固化性树脂粘结剂；光阑部件形成工序，在所述第1基板和所述第2基板之间形成光阑部件；光固化工序，在所述光阑部件形成工序之后，对在所述粘结剂涂布工序涂布的粘结剂照射光，使所述粘结剂的固化进展；其中，所述光阑部件被形成在不妨碍所述光固化工序照射的光到达所述粘结剂的位置上。

另外，通过下述解决。一种晶圆透镜的制造方法，晶圆透镜是在具有正面和反面的基板的一面上设多个固化性树脂的第1光学部件，在另一面上设多个固化性树脂的第2光学部件，在所述基板的正面或反面上在各个所述第1或第2光学部件中设光阑部件，晶圆透镜制造方法的特征在于，备有下述各工序：在所述基板的所述一面上形成调 准标志；在相对所述调准标志定位具有所述第1光学部件成型面的第1成型模具的状态下，在所述第1成型模具和所述基板之间充填所述固化性树脂，使之固化成型所述第1光学部件；在所述基板的正面或反面上形成光阑部件；在相对所述调准标志定位具有所述第2光学部件成型面的第2成型模具的状态下，在所述第2成型模具和所述基板之间充填所述固化性树脂，使之固化成型所述第2光学部件；其中，由形成所述光阑部件的工序形成的光阑部件，被形成在不妨碍相对所述调准标志定位所述第1或第2成型模具的位置上。

另外，通过下述解决。一种晶圆透镜聚合体的制造方法，用来在基板的一面上形成光阑部件，并在所述光阑部件表面设固化性树脂光学部件构成晶圆透镜，然后垫入隔离件上下叠层晶圆透镜，制造晶圆透镜聚合体，晶圆透镜聚合体制造方法的特征在于，在一个晶圆透镜的一面和所述隔离件的一面之间，涂布光固化性树脂粘结剂，通过照光粘结所述隔离件和所述一个晶圆透镜，在所述另一个晶圆透镜上的与所述隔离件的另一面相应的位置上，不形成所述光阑部件，在所述另一个晶圆透镜的对着所述一个晶圆透镜的面的没有形成所述光阑部件的部位上，配置所述隔离件的另一面，在所述隔离件的另一面和所述另一个晶圆透镜的没有形成所述光阑部件的部位之间，涂布所述粘结剂，通过照光粘结所述隔离件和所述另一个晶圆透镜。

另外，通过下述解决。一种晶圆透镜的制造方法，晶圆透镜是在基板的一面上设第1光阑部件，在所述第1光阑部件表面上设固化性树脂的第1光学部件，在所述基板的另一面上设第2光阑部件，在所述第2光阑部件表面上设固化性树脂的第2光学部件，晶圆透镜制造方法的特征在于，在所述基板的所述一面上形成多个调准标志及所述第1光阑部件，然后，在相对所述多个调准标志中的所定调准标志定位具有所述第1光学部件成型面的第1成型模具的状态下，在所述第1光阑部件表面和所述第1成型模具之间充填所述固化性树脂，使之固化成型所述第1光学部件，然后，在相对所述多个调准标志中的所定调准标志在所述基板的所述另一面上定位掩模的状态下，形成所述第2光阑部件，然后，在相对所述多个调准标志中的所定调准标志定 位具有所述第2光学部件成型面的第2成型模具的状态下，在所述第2光阑部件表面和所述第2主成型模具之间充填所述固化性树脂，使之固化成型所述第2光学部件。

这里所说的基板不局限于玻璃基板，可以是热固性和热塑性的塑料基板，也可以是透明的陶瓷基板。本发明不受基板的材料限定。

发明效果

根据本发明，在另一晶圆透镜的接合其他基板的接合相应位置（其他基板是隔离件时是该隔离件另一面相应的位置）上，不形成光阑，所以，固化用光直接入射到粘结剂，能够可靠地粘结隔离件等其他基板和晶圆透镜。

另外，在玻璃平板两面上形成光学部件时，有时两面的光学部件和光阑在垂直面内相互偏离，在偏离状态（偏离误差）下被重叠。因此，重叠多个部件时产生误差累积，难以使两面的光学部件和光阑在光轴方向高精度一致，但是，通过以基板的一面上形成的所定调准标志为基准，分别定位第1光学部件、第2光学部件地进行成型，能够使它们在光轴方向高精度一致。这尤其在光学部件和光阑被形成在基板的两面上时，能够使它们在光轴方向高精度一致，这一点非常有利。

附图说明

图1：本发明优选实施方式（第1实施方式）晶圆透镜的概略剖面图。

图2：本发明优选实施方式（第1实施方式）晶圆透镜的概略分解立体图。

图3的（a）、（b）、（c）、（d）：本发明优选实施方式（第1实施方式）晶圆透镜制造方法的概略说明图。

图4：主模的制造方法说明图。

图5：光阑的调准标志和主模的定位说明图。

图6：光阑的调准标志和主模的定位说明图。

图7：光阑结构及其制造方法的变形例说明图。

图8：本发明优选实施方式（第2实施方式）晶圆透镜聚合体的 概略剖面图。

图9：本发明优选实施方式（第2实施方式）晶圆透镜的概略分解立体图。

图10的（a）、（b）：本发明优选实施方式（第2实施方式）晶圆透镜聚合体制造方法的概略说明图。

图11的（a）、（b）：本发明优选实施方式（第2实施方式）晶圆透镜制造方法的概略说明图。

图12的（a）、（b）、（c）：图10的（a）、（b）的后续工序概略说明图。

图13：本发明优选实施方式（第3实施方式）晶圆透镜制造方法的概略说明图。

图14：图13的变形例说明图。

图15：本发明优选实施方式（第3实施方式）晶圆透镜聚合体制造方法的概略说明图。

图16：图15的变形例说明图。

图17的（a）、（b）：图13及图15的变形例说明图。

图18：隔离件与树脂部一体化的晶圆透镜聚合体制造方法的概略说明图。

图19：图18的变形例说明图。

具体实施方式

以下参照附图，对本发明的优选实施方式作说明。

第1实施方式

如图1所示，晶圆透镜1主要由玻璃基板10、光阑20、30、树脂部40、50构成。图1是图2中I－I线的剖面图。玻璃基板10被配置在晶圆透镜1中央，玻璃基板10的上下面上分别形成了光阑20、30。在玻璃基板10的上部形成了树脂部40，树脂部40覆盖光阑20间的间隙。在玻璃基板10的下部形成了树脂部50，树脂部50覆盖光阑30间的间隙。

如图2所示，玻璃基板呈圆盘状，具有所定的厚度。光阑20、30是调整对晶圆透镜1的光量的要素。光阑20、30由遮光性金属膜2 0A、30A构成，分别成膜在玻璃基板10的上面和下面上。

光阑20、30也可以用遮光性的光刻胶、硅成膜物和碳成膜物等构成。另外，可以用热固性树脂、光固化性树脂、热塑性树脂等透明塑料基板来代替玻璃基板10，也可以用透明的陶瓷基板，相当于玻璃基板10的基板只要由透光性的材料构成即可，种类不限。

光阑20上形成多个圆形透光部22。透光部22是没有形成金属膜20A的部位，允许光透过。在光阑20边缘上形成了3对调准标志24a、24b、24c。调准标志24a被配置在穿过光阑20中心的线上对称于光阑20中心的位置上。调准标志24b、24c的配置与调准标志24A相同。

在光阑30上形成了多个圆形透光部32。透光部32是没有形成金属膜30A的部位，允许光透过。在光阑30边缘上形成了1对圆形开口34c。开口34c被配置在穿过光阑30中心的线上的对称于光阑30中心的位置上。

树脂部40、50由透明树脂40A、50A构成。树脂40A、50A是光固化性树脂。树脂部40中形成了多个透镜42。透镜42是上侧呈凸形的部位，其表面是光学面。树脂部50中也形成了多个透镜52。透镜52是下侧呈凸形的部位，其表面是光学面。

上述晶圆透镜1中，从图2中的上方起依次，在上下方向的对应位置上配置着透镜42、透光部22、透光部32、透镜52，在平面图上它们的位置都是一致的。光阑20的调准标志24c和光阑30的开口34c也被配置在上下方向对应的位置上，在平面图上它们的位置是一致的。

接下去对晶圆透镜1的制造方法作说明。

如图3（a）所示，用周知的光蚀刻技术在玻璃基板10上形成光阑20。具体如下：用镀气、溅射等方法对玻璃基板10形成金属膜20A，然后涂光刻胶。然后采用掩模和曝光装置对光刻胶进行曝光/显影处理。掩模采用具有图案的掩模，该图案能够对光阑20形成透光部22和调准标志24a、24b、24c。然后通过腐蚀，蚀刻金属膜20A，形成具有透光部22和调准标志24a、24b、24c的光阑20。

然后如图3（b）所示，在玻璃基板10上载置单体状态（固化前）的树脂40A，从上方按压主模60，将树脂40A充填到主模60腔62中。

如图4所示，主模60是从母主模70（母模具）转印而成的模具，由透明的光固化性树脂构成。母主模70由硅、金属、石英等构成，母主模70上形成了与树脂部40的透镜42形状相同的凸部72、以及与光阑20的调准标志24a、24b、24c相应的定位部74。主模60制作工序中，在母主模70上充填透明的光固化性树脂，照光使之固化。于是主模60上形成了与母主模70凸部72相应的腔62和与母主模70的定位部74相应的定位部64，本实施方式中将它用作树脂部40成型用的模具。

然后如图3（b）所示，在主模60腔62中充填了树脂40A的状态下，从上方照光。如上所述主模60是透明的，所以照射的光透过主模60入射到树脂40A，树脂40A固化。形成树脂部40（透镜42）。

尤其是在图3（b）的工序中，是在定位了光阑20的调准标志24a与主模60的定位部64的状态下，将主模60按压到玻璃基板10上，然后进行光照射。

具体如图5所示，在只能在上下方向移动的显微镜90中，从玻璃基板10上方，将焦点对在光阑20的调准标志24a上（参照图5（1））。然后使显微镜90向上方移动，在显微镜90和玻璃基板10之间的位置上配置主模60，调整显微镜90的高度位置，将其焦点位置对在主模60定位部64或其附近（参照图5（2））。

此时，焦点位置先对准的调准标志24a和焦点位置后对准的定位部64是例如如图6上方的图中所示的状态的话，则使主模60在水平方向上移动，直至定位部64与光阑20的调准标志24a的位置一致（参照图6下方的图），在该状态下，对玻璃基板10按压主模60（参照图5（3）），然后照光。

接下去，从主模60脱模形成了树脂部40的玻璃基板10并将其反过来，如图3（c）所示，在玻璃基板10的另一面上形成光阑30。

此时，采用周知的图形反转去胶技术在玻璃基板10上形成光阑3 0。具体如下：在玻璃基板10上涂（覆盖）光刻胶，然后使掩模介于光刻胶和曝光装置之间，在该状态下对光刻胶曝光，形成光刻胶像。

采用的掩模具有能够对光阑30形成透光部32和开口34c的图案形状，并具有与光阑20的调准标志24b相应的定位部。实际的曝光工序中，与图3（b）工序中使主模60的定位部64与光阑20的调准标志24a一致相同，在使掩模的定位部与调准标志24b一致的状态下曝光。

然后，用溅射装置、镀气装置等，在没有光刻胶的部分上形成金属膜30A，最后剥离残留的光刻胶，形成光阑30。

然后如图3（d）所示，在玻璃基板10上载置单体状态（固化前）的树脂50A，从上方按压主模80，将树脂50A充填到主模80腔82中。

主模80用与主模60同样的手法制作。即主模80也是从母主模转印而成的模具，由透明的光固化性树脂构成。与主模60相同，主模80上也形成了形状与树脂部50的透镜52相应的腔82以及与光阑20的调准标志24c相应的定位部（84），本实施方式中，将它用作树脂部50成型用模具。

然后，在主模80的腔82中充填了树脂50A的状态下，从上方照光。主模80也与主模60一样是透明的，所以照射的光透过主模80入射到树脂50A，树脂50A固化。形成树脂部50（透镜52）。

尤其是在图3（d）的工序中，与图3（b）工序中使主模60的定位部64与光阑20的调准标志24a一致相同，在定位了光阑20的调准标志24c和主模80没有图示的定位部的状态下，将主模80按压到玻璃基板10上，然后照光。在定位调准标志24c和没有图示的定位部时，因为在图3（c）工序中在光阑30上形成了开口34c，所以充分确保了显微镜90的可见性，防止主模80在偏离玻璃基板10的状态下按下。

然后从主模80脱模形成了树脂部50的玻璃基板10，晶圆透镜1制成。

上述实施方式中，在光阑20上形成3对调准标志24a、24b、24 c，以各调准标志24a、24b、24c为基准，分别定位并形成树脂部40、光阑30、树脂部50。具体如下：相对调准标志24a利用主模60的定位部64，形成树脂部40（透镜42）；相对调准标志24b利用曝光用掩模的定位部，形成光阑30；相对调准标志24c利用主模80的定位部84，形成树脂部50（透镜52）（参照图2）。

这样，使定位的基准集中在光阑20上，能够将光阑20、30、树脂部40、50在水平方向相互偏离被重叠的误差抑制在最小范围，进而言之，能够使树脂部40的透镜42、光阑20的透光部22、光阑30的透光部32、树脂部50的透镜52在光轴方向高精度一致。

变形例1

也可以不在光阑20上形成调准标志24a、24b、24c，而是在玻璃基板10的1处设调准标志，以它作为光阑20、30、树脂部40、50的定位基准。也就是说相对该调准标志来说，只要使掩模的定位部一致地形成光阑20、30；使主模60、80的定位部64、84一致地形成树脂部40、50即可。此时，光阑20、30上必须形成使该调准标志能够看到的开口部，通过开口部，使该调准标志与主模60、80的定位部64、84一致。

变形例2

光阑20、30也可以印刷（印刷/描绘）构成，而非金属膜20A、30A。

光阑20、30可以不用金属膜20A、30A，而是用含有碳黑等遮光性物质的光刻胶构成。即可以在基板的一面上涂布含有碳黑的光刻胶，然后对光刻胶曝光/显影，由此形成所定图案的光阑。作为一例，举例如形成光阑20的例子，如图7所示，对基板10涂布含有碳黑的光刻胶20B并曝光显影，残存的光刻胶20B就此作为光阑20使用。此时，可以省去金属膜20A、20B的有关工序（溅射和镀气、腐蚀等），能够简化晶圆透镜21的制造工序。

第2实施方式

第2实施方式不同于第1实施方式的主要内容如下，除此之外与第1实施方式相同。

如图8所示，对晶圆透镜1叠层晶圆透镜10，构成晶圆透镜聚合体100。在晶圆透镜1的树脂部5的下方通过粘结层142粘结着隔离件140。隔离件140是由玻璃或透明树脂构成的圆盘状部件，隔离件140在晶圆透镜1的与透镜52相应的位置上形成了开口（透镜52从该开口露出）。粘结层142由光固化性树脂粘结剂142A构成。

晶圆透镜1和晶圆透镜101之间也通过粘结层152、154设置了隔离件150。隔离件150也是由玻璃或透明树脂构成的圆盘状部件，隔离件150在晶圆透镜1的与透镜42和晶圆透镜101的与透镜52相应的位置上形成了开口（透镜42、52从该开口露出）。粘结层152、154与粘结层142相同，也由光固化性树脂粘结剂152A、154A构成。

晶圆透镜101上代替晶圆透镜1的光阑20、30采用光阑120、130。光阑120、130与晶圆透镜1的光阑20、30图案形状略有不同。如图9所示，光阑120上没有形成调准标志14a、24b、24c，并由金属膜120A构成。光阑130是围着透光部32形成金属膜130A，没有图2的开口34c。本实施方式中，隔离件150（粘结层154）对着没有形成光阑130的部位。光阑120、130也可以由遮光性的光刻胶和硅成膜物、碳成膜物等构成。

接下去对晶圆透镜聚合体100的制造方法作说明。

按照图3（a）～（d）的工序制造晶圆透镜1，对制成的晶圆透镜1立设隔离件140。具体如图10（a）所示，在晶圆透镜1树脂部50的上面上或隔离件140的下面上涂布粘结剂142A，对晶圆透镜1载置隔离件140。然后从隔离件140上方照光使粘结剂142A固化，将隔离件140固定在晶圆透镜1上。

然后与固定隔离件140相同，如图10（b）所示，对晶圆透镜1树脂部40固定隔离件150（由此制成的制造物称为“前驱体160A”）。

与图10的（a）、（b）的工序分开，另行制造晶圆透镜101的一部分。具体如图11（a）所示，采用周知的光蚀刻技术、图形反转去胶技术，在玻璃基板10上形成金属膜130A，形成光阑130。此时，作为掩模，采用的掩模具有能够形成光阑130的图案形状。

然后与形成晶圆透镜1的树脂部50（透镜52）相同，如图11（b） 所示，在主模80的腔82中充填树脂50A，在该状态下照光，形成树脂部50（由此制成的制造物称为“前驱体160B”）。

然后如图12（a）所示，在前驱体160A的隔离件150的上面上或前驱体160B的树脂部50的下面上涂布粘结剂154A，在前驱体160A上载置前驱体160B。然后，从前驱体160B的玻璃基板10的上方照光，使粘结剂154A固化，在前驱体160A、160B之间固定隔离件150。

然后如图12（b）所示，采用周知的光蚀刻技术、图形反转去胶技术，在前驱体160B的玻璃基板10上形成金属膜，形成光阑120。此时，作为掩模，优选采用在与前驱体160A的光阑20的调准标志24a、24b、24c的任意一个相应的位置上备有定位部的掩模，防止光阑120相对光阑20在水平方向位置偏离。

图12（a）、（b）的工序中，前驱体160B玻璃基板10的上面（没有形成光学面的面）上当初没有形成光阑120，而是在用粘结剂154A粘结前驱体160B和前驱体160A之后形成光阑120的，但是，也可以在粘结前驱体160B和前驱体160A之前，在前驱体160B玻璃基板10的上面上，对着粘结隔离件150的部位，在前驱体160B玻璃基板10上预先形成光能够入射的光阑图案，就此将该前驱体160B粘结到前驱体160A上。

然后与形成晶圆透镜1的树脂部40（透镜42）相同，如图12（c）所示，在主模60腔62中充填树脂40A，在该状态下照光，形成树脂部40。此时，优选在图12（b）工序中，对光阑120在与前驱体160A的调准标志24a相应的位置上形成开口，通过该开口使主模60的定位部64与调准标志24a一致，这样能够防止前驱体160B上的树脂部40相对光阑20在水平方向上位置偏离。

然后从主模60脱模形成了树脂部40的玻璃基板10，晶圆透镜聚合体100制成。

上述本实施方式中，因为在制造前驱体160B的工序中不在对着隔离件150的位置上形成光阑130（参照图11的（a）、（b）），所以在粘结前驱体160A和前驱体160B时，粘结剂154A固化用照射光经由前驱体160B的玻璃基板10直接入射到粘结剂154A（参照图12 （a）），能够可靠地使粘结剂154A固化。上述实施方式中，作为前驱体160A，说明的是在玻璃基板上接合了分开的隔离件140、150的例子，但可以如图18所示，将通过对玻璃基板250形成透镜树脂部250A而一体形成了规定与其他基板之间间隔的隔离部251A的构造体A，接合到其他基板上。同样也可以是接合到一体形成了隔离部251B的构造体B的结构。

此时，粘结剂252被涂布在各构造体A、B上形成的隔离部251A和251B的接合部的至少一个上，然后接合构造体A、B，照光固化。

此时，为了使光阑254不妨碍向固化粘结剂的光照射，可以采取如图18所示的结构，只在构造体A的基板两面上形成光阑254，从构造体B的底部一侧向粘结剂照射光。

也可以在对构造体A接合构造体B之后，在构造体B的底部一侧成型相当于透镜的树脂部250A、通过粘结剂接合另外的隔离件253。

此时，如图19所示，也可以在接合着隔离件253的玻璃基板的底面一侧，事先在没有涂布粘结剂的部位上形成光阑。

变形例1

也可以用磨砂玻璃来构成隔离件140、150，优选使孔部分（与透镜42、52相应的开口部分）侧壁的表面粗糙度Ra在0.1μm以上。因为隔离件是通常的玻璃，在玻璃平板的基板表面上用光固化性树脂粘结剂等粘结。但是，玻璃一般反射照射光，尤其是在入射角大的条件下，从空气能够入射到玻璃内的光量将减少到几分之一，即使照光，光也不能充分到达粘结剂，会出现粘结不可靠之问题。

但是通过上述结构，例如举例使粘结剂142A固化的情况作说明的话则如图10（a）所示，即使是光从隔离件140的斜上方入射时，光在隔离件140的侧壁上也不全反射地入射到隔离件140上色散，在隔离件140中传播，到达粘结剂142A。因此，能够促进粘结剂142A固化。于是能够可靠地粘结隔离件140和一方的晶圆透镜，叠层另一方的晶圆透镜。

尤其是使粘结剂固化的光的入射方向，通常为了避开成为光阑的阴影而在成型的光学面的光轴方向，但是，这对被隔离件空出的光路 孔的侧壁来说是非常浅的角度（入射角大），所以，侧壁的表面粗糙度小的话入射光量的大部分将反射。从光的散射观点来说，有波长程度障碍物的话将产生瑞利散射，所以，隔离件侧壁上有该程度大小的表面粗糙度的话，可以期待入射光因散射效果而进入隔离件内。一般表面粗糙度的平均凹凸宽度（Rz、Rty等）值是平均表面粗糙度Ra的3至4倍，因此，散射物大小的Rz、Rty值在波长程度的话，为了得到散射效果可以说优选Ra值大概在0.1μm以上。Ra值太大的话侧壁面成为完全破碎面容易缺损不优选，所以上限值大概在1μm程度。

变形例2

至于晶圆透镜101的光阑130、树脂部50，因为在粘结前驱体160A和前驱体160B时不精密定位，所以，晶圆透镜1的透镜42、52和晶圆透镜101的透镜52可能会有一些偏离。因此，可以多少降低树脂部50的透镜52的光学精度，或可以不形成光阑130、树脂部50，就此将前驱体160B的玻璃基板10粘结到前驱体160A上。

变形例3

粘结剂142A、152A、154A改用光/热固化并用的树脂粘结剂的场合，使它们固化时，可以先照光作半固化，然后加热完全固化。

变形例4

晶圆透镜聚合体100是被按各透镜42、52切断后用在摄像装置的光学系统等中的，对晶圆透镜1单体重叠晶圆透镜101和隔离件140、150，相应地厚度增大。因此，透镜42、52之间的切断部位C上（参照图12（c））可以不形成光阑20、30、120，使切断处理容易进行。

第3实施方式

第3实施方式是在第1实施方式的图3（d）的工序中如图13所示，使用第1夹具210形成树脂部50，并且在第2实施方式的图10（a）的工序中如图15所示，使用按压部230及第2夹具220粘结隔离件140的情况，此外与第1实施方式相同。本来，作为高精度晶圆透镜的要求规格，在玻璃平板的两面上形成光学部件时，使相互配置在上下的二个光学部件的轴上厚分别为一定。但是，以往是通过光学 部件成型材料的固化性树脂的量、粘度以及成型模具向玻璃平板的移动距离来规制光学部件的轴上厚的，所以，保管和成型中的温度变化或树脂体积的计量误差直接影响轴上厚，所以不能实现提高晶圆透镜的精度。

本实施方式鉴于上述事由，目的在于提供一种能够分别使设在两面上的光学部件的轴上厚一定、制造高精度晶圆透镜的晶圆透镜的制造方法，以及叠层多个晶圆透镜制造晶圆透镜聚合体的晶圆透镜聚合体的制造方法。

达成上述目的的一结构如下。

一种在基板的一面上设固化性树脂的第1光学部件、在所述基板的另一面上设固化性树脂的第2光学部件的晶圆透镜的制造方法，其中，使用具有所述第1光学部件成型面的第1主成型模具，在所述基板的一面上成型所述第1光学部件，使用第1夹具，该第1夹具备有所述第1光学部件侧的表面所碰到的第1碰到面和具有所述第2光学部件成型面的第2主成型模具上的按压所述基板的所述另一面的按压面所碰到的第2碰到面，使用该第1夹具，使所述第1光学部件侧的表面碰到所述第1碰到面，在所述基板的所述另一面和所述第2主成型模具的成型面之间充填所述固化性树脂，通过使所述按压面碰到所述第2碰到面，成型所述第2光学部件。

另一结构如下。一种通过隔离件上下相互叠层用上述晶圆透镜制造方法制成的晶圆透镜、制造晶圆透镜聚合体的晶圆透镜聚合体的制造方法，在一个晶圆透镜的所述第2光学部件侧的表面上配置所述隔离件的一面，使用按压所述隔离件另一面的按压部和第2夹具，该第2夹具备有一个晶圆透镜的所述第1光学部件侧的表面所碰到的第3碰到面和碰到所述按压部的按压所述隔离件另一面的按压面的第4碰到面，使用按压所述隔离件另一面的按压部和该第2夹具，使所述一个晶圆透镜的所述第1光学部件侧的表面碰到所述第3碰到面，在所述一个晶圆透镜的所述第2光学部件侧的表面和所述隔离件的一面之间涂布光固化性树脂粘结剂，用所述按压部按压所述隔离件的另一面，使所述按压面碰到所述第4碰到面，然后照射光，粘结所述隔 离件。

如图13所示，第1夹具210具有基台211，在基台211的上面上形成了载置晶圆透镜1的凹部212。该凹部212的中心是上下开口的，晶圆透镜1被载置在形成凹部212的底面213上。底面213被作为树脂部40的下面外周缘所碰到的第1碰到面213A。基台211的上面214被作为按压主模80中玻璃基板10的上面上被充填的树脂50A的按压面81所碰到的第2碰到面214A。

使用这种第1夹具210先使树脂部40的下面外周缘碰到第1碰到面213A。然后在玻璃基板10上载置单体状态的树脂50A，从上方使主模80向下方移动，使主模80的按压面81碰到第2碰到面214A。由此在主模80的腔82中充填树脂50A。

然后与第1实施方式相同，照光使树脂50A固化，由此形成树脂部50（透镜52）。

如图14所示，上述第1夹具210也可以是在基台211a的上面上设置夹具部215a的结构。此时，基台211a的上面被作为第1碰到面213Aa，夹具部215a的上面被作为第2碰到面214Aa。这样，使第1夹具210a分割成基台211a和夹具部215a的话，只要适当改变夹具215a的高度，便能够容易地调整树脂部50光轴方向的高度。

接下去如图15所示，使用按压部230及第2夹具220，首先如上所述，在制成的晶圆透镜1上载置隔离件140。

按压部230是按压载置在晶圆透镜1树脂部50上面上的隔离件140的上面的部分。按压部230的按压面231是水平面。 

第2夹具220形状基本上与第1夹具210相同，但与第1夹具210相比，第3碰到面223A和第4碰到面224A之间的高度恰好增加隔离件140的高度高低。具体如下，第2夹具220具有形成了凹部222的基台221。形成凹部222的底面223被作为树脂部40的下面外周缘所碰到的第3碰到面223A。基台221的上面224被作为碰到按压部230的按压面231的第4碰到面224A。

使用这种第2夹具220先使树脂部40的下面外周缘碰到第3碰到面223A。接下去在树脂部50的上面上或隔离件140的下面上涂布 粘结剂142A，载置隔离件140。然后使按压部230移到下方，使按压部230的按压面231碰到第4碰到面224A。由此隔离件140被按压在树脂部50上。

然后从隔离件140上方照光，使粘结剂142A固化，由此将隔离件140粘结在晶圆透镜1上。

如图16所示，上述第2夹具220也可以是在基台221a的上面上依次设置2个夹具部226a、227a之结构。此时，基台221a的上面被作为第3碰到面223Aa，夹具部227a的上面被作为第4碰到面224Aa。

这样，使第2夹具220a分割成基台221a和2个夹具部226a、227a的话，只要改变夹具部227a的高度，便能够容易地调整隔离件140的高度位置。

上述实施方式中，以第1夹具210的第1碰到面213A为基准面，先使树脂部40的下面碰到第1碰到面213A，再使主模80的按压面81碰到第2碰到面214A按压主模80腔82与玻璃基板10的上面之间的树脂50A。因此，即使基板厚度有参差，也能够保持第1碰到面213A与第2碰到面214A之间的距离为一定。于是能够得到2个透镜42、52的轴上厚M（参照图8）是一定的高精度晶圆透镜1。

在制造晶圆透镜1之后，以第2夹具220的第3碰到面223A为基准面，先使树脂部40的下面碰到第3碰到面223A，再使按压部230的按压面231碰到第4碰到面224A按压隔离件140的下面与树脂部50的上面之间的粘结剂142A。因此，能够保持第3碰到面223A与第4碰到面224A之间的距离为一定。于是，能够将该晶圆透镜1的透镜52与晶圆透镜1上方叠层的其他晶圆透镜101的下面侧的透镜42之间的面距离（例如图8中晶圆透镜1的透镜42与晶圆透镜101的透镜52之间的面距离N）保持为一定。

变形例

变形例中如图17（a）所示，在玻璃基板10的下面上形成树脂部50，使用按压部330和第3夹具310粘结隔离件140。然后如图17（b）所示，使用第4夹具320在玻璃基板10的上面上形成树脂部4 0。

图17（a）、（b）的工序中，玻璃基板10的上面（没有形成光学面的面）上当初不形成光阑20，而是在将隔离件140粘结到玻璃基板10上之后形成光阑20，但也可以在粘结隔离件140之前，预先在玻璃基板10的上面上形成光阑20，对该玻璃基板10粘结隔离件140。

第3夹具310具有基台311，基台311的上面上形成了载置隔离件140的凹部312。形成凹部312的底面313被作为隔离件140的下面所碰到的第5碰到面313A。基台311的上面314被作为碰到按压部330的按压面331的第6碰到面314A。

使用这种按压部330及第3夹具310，先使隔离件140的下面碰到第5碰到面313A，将隔离件140载置到所定位置。此时，在隔离件140的上面上或树脂部50的下面上涂布粘结剂142A。然后用按压部330全面吸住玻璃基板10的上面，在该状态下使按压部330向下方移去，使按压部330的按压面331碰到第6碰到面314A。由此，用树脂部50的下面按压隔离件140的上面。

然后从隔离件140的下方照光，使粘结剂142A固化，由此在树脂部50上粘结隔离件140。

接下去。在如上所述粘结了隔离件140的玻璃基板10的上面上，使用第4夹具320，形成树脂部40。

第4夹具320形状基本上与第3夹具310相同，但与第3夹具310相比，第7碰到面323A和第8碰到面324A之间的高度恰好增加光阑20的厚度高低。具体如下，第4夹具320具有形成了凹部322的基台321。形成凹部322的底面323被作为隔离件140的下面所碰到的第7碰到面323A。基台321的上面324被作为主模60的按压面61所碰到的第8碰到面324A。

使用这种第4夹具320先使隔离件140的下面碰到第7碰到面323A。然后在玻璃基板10上载置单体状态的树脂40A，从上方使主模60向下方移动，使主模60的按压面61碰到第8碰到面324A。由此在主模60的腔62中充填树脂40A。

然后与第1实施方式相同，照光使树脂40A固化，由此形成树脂部40（透镜42）。

上述变形例中，以第3夹具310的第5碰到面313A为基准面，先使隔离件140的下面碰到第5碰到面313A，再使按压部330的按压面331碰到第6碰到面314A按压隔离件140的上面与树脂部50的下面之间的粘结剂142A。因此，能够保持第5碰到面313A与第6碰到面314A之间的距离为一定。于是，能够将该晶圆透镜1的透镜52与晶圆透镜1下方叠层的其他晶圆透镜101的上面侧的透镜42之间的面距离（例如图8中所示的面距离N），保持为一定。

粘结隔离件140之后，以第4夹具320的第7碰到面323A为基准，先使隔离件140的下面碰到该第7碰到面323A，再使主模60的按压面61碰到第8碰到面324A按压主模60腔62与玻璃基板10的上面之间的树脂40A。因此，即使基板厚度有参差，也能保持第17碰到面323A与第8碰到面324A之间的距离为一定。于是能够得到2个透镜42、52的轴上厚M（参照图8）为一定的高精度晶圆透镜1。

符号说明

1  晶圆透镜

10  玻璃基板

20  光阑（第1光阑）

20Ａ  金属膜

22  透光部

24ａ、24ｂ、24ｃ  调准标志

30  光阑（第2光阑）

30Ａ  金属膜

32  透光部

34ｃ  开口

40  树脂部（第1光学部件）

40Ａ  树脂

42  透镜

50  树脂部（第2光学部件）

50Ａ  树脂

52  透镜

60  主模（第1主成型模具）

62  腔

64  定位部

70  母主模（母模具）

72  凸部

74  定位部

80  主模（第2主成型模具）

81  按压面

82  腔

84  定位部

100  晶圆透镜聚合体

101  晶圆透镜

120  光阑

130  光阑

134  开口

140  隔离件

142  粘结层

142Ａ  粘结剂

150  隔离件

152、154  粘结层

152Ａ、154Ａ  粘结剂

160Ａ、160Ｂ  前驱体

210  第1夹具

213Ａ  第1碰到面

214Ａ  第2碰到面

220  第2夹具

223Ａ  第3碰到面

224Ａ  第4碰到面

230  按压部

231  按压面。

Claims (11)

1.一种晶圆透镜聚合体的制造方法，其中，在所述晶圆透镜聚合体中，在具有正面和反面的由透光性的材料构成的第1基板的一个面设置了用固化性树脂制成的多个光学部件，在所述第1基板的正面或者反面上设置了形成在与所述多个光学部件分别对应的位置上的第1光阑部件，该第1光阑部件具有圆形的多个透光部，所述晶圆透镜聚合体的制造方法的特征在于，具有：

第1光阑形成工序，在所述第1基板的一个面形成所述第1光阑部件；

光学部件形成工序，在形成有所述第1光阑部件的一个面，在与所述第1光阑部件的所述多个透光部分别对应的位置形成所述多个光学部件；

粘结剂涂布工序，涂布将形成有所述多个光学部件的所述第1基板与第2基板进行接合的由光固化性树脂构成的粘结剂；以及

光固化工序，在所述粘结剂涂布工序之后，经由所述第1基板，向为了接合所述第1基板与所述第2基板而涂布的所述粘结剂照射光，使固化进展，

其中，所述第1光阑部件被形成在不妨碍通过所述光固化工序照射的光到达所述粘结剂的位置上。

2.如权利要求1所述的晶圆透镜聚合体的制造方法，其特征在于，

在所述第1基板的与形成有所述第1光阑部件的面相反的面，在所述光固化工序之前进行形成具有多个透光部的第2光阑部件的第2光阑形成工序，并且，在该第2光阑形成工序中形成的第2光阑部件被形成在不妨碍通过所述光固化工序照射的光到达所述粘结剂的位置上。

3.如权利要求1所述的晶圆透镜聚合体的制造方法，其特征在于，

所述第1光阑部件由针对所述多个透光部的每一个独立地设置的多个环状光阑构成。

4.如权利要求1所述的晶圆透镜聚合体的制造方法，其特征在于，

在所述第2基板上形成有隔离部件。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的晶圆透镜聚合体的制造方法，其特征在于，

所述第2基板具有正面和反面，

所述晶圆透镜聚合体的制造方法具有在正反面之中的一个面形成多个光学部件的光学部件形成工序。

6.如权利要求5所述的晶圆透镜聚合体的制造方法，其特征在于，

在所述第1基板上，在与将所述第1基板和所述第2基板进行接合的一侧相反的一侧，接合有隔离部件。

7.一种晶圆透镜聚合体，其特征在于，具有：

第1晶圆透镜，该第1晶圆透镜具有：具有正面和反面的由透光性的材料构成的第1基板、在所述第1基板的正反面之中的一个面形成的具有多个透光部的第1光阑部件、以及在所述第1基板的正反面之中的一个面在与所述第1光阑部件的多个透光部分别对应的位置形成的用固化性树脂制成的多个光学部件；以及

第2基板，经由由光固化性树脂构成的粘结剂而与所述第1基板接合，

其中，所述第1光阑部件被形成在不妨碍经由所述第1基板为了使所述粘结剂的固化进展而照射的光到达所述粘结剂的位置上。

8.如权利要求7所述的晶圆透镜聚合体，其特征在于，

在所述第1基板的与形成有所述第1光阑部件的面相反的面，形成有具有多个透光部的第2光阑部件。

9.如权利要求8所述的晶圆透镜聚合体，其特征在于，

所述第2光阑部件被形成在不妨碍为了使所述粘结剂的固化进展而照射的光到达所述粘结剂的位置上。

10.如权利要求7～9中的任一项所述的晶圆透镜聚合体，其特征在于，

所述第1光阑部件由针对所述多个透光部的每一个独立地设置的多个环状光阑构成。

11.如权利要求7所述的晶圆透镜聚合体，其特征在于，

在所述第1基板上，在与和所述第2基板进行接合的一侧相反的一侧，具有经由由光固化性树脂构成的粘结剂而接合的隔离部件。