JP2007212547A - 光学素子の製造方法および光学素子 - Google Patents

光学素子の製造方法および光学素子 Download PDF

Info

Publication number
JP2007212547A
JP2007212547A JP2006029899A JP2006029899A JP2007212547A JP 2007212547 A JP2007212547 A JP 2007212547A JP 2006029899 A JP2006029899 A JP 2006029899A JP 2006029899 A JP2006029899 A JP 2006029899A JP 2007212547 A JP2007212547 A JP 2007212547A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens member
lens
optical element
resin
diffraction grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006029899A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Kurihara
聡 栗原
Tadashi Horikawa
正 堀川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2006029899A priority Critical patent/JP2007212547A/ja
Publication of JP2007212547A publication Critical patent/JP2007212547A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

【課題】 レンズ部材間における回折格子の樹脂層の厚さを高い精度で制御できる手段を提供する。
【解決手段】 光学素子の製造方法の第1工程では、第1レンズ部材の一面側に回折格子形状を形成する。第2工程では、第1レンズ部材に重ねたときに第1レンズ部材の外縁部よりも外側に突出する突起部を有する第2レンズ部材を第1レンズ部材の一面側に配置する。そして、回折格子形状の形成領域と第2レンズ部材との間に未硬化の第1光学材料樹脂を充填するとともに、該第1光学材料樹脂を硬化させて第1レンズ部材および第2レンズ部材を貼り合わせる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、2枚のレンズの間に回折格子をなす樹脂層が形成されている光学素子の製造方法に関する。
従来から、外縁形状が同一に設定された2つのレンズ部材の間に回折格子をなす樹脂層を設けた光学素子(密着複層回折光学素子とも称される)が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開平10−268116号公報(図4,図6参照)
しかし、上記特許文献1では、レンズ間の相対間隔を適切に調整することが実際には非常に困難である。そのため、回折格子形状が形成される樹脂層の厚さが不均一となりやすく、完成した光学素子の光学性能にバラツキが生じやすい点で改善の余地があった。
本発明は上記従来技術の課題を解決するためのものであって、その目的は、レンズ部材間における回折格子の樹脂層の厚さを高い精度で制御できる手段を提供することである。
第1の発明に係る光学素子の製造方法は以下の第1工程と第2工程とを含む。第1工程では、第1レンズ部材の一面側に回折格子形状を形成する。第2工程では、第1レンズ部材に重ねたときに第1レンズ部材の外縁部よりも外側に突出する突起部を有する第2レンズ部材を第1レンズ部材の一面側に配置する。そして、回折格子形状の形成領域と第2レンズ部材との間に未硬化の第1光学材料樹脂を充填するとともに、該第1光学材料樹脂を硬化させて第1レンズ部材および第2レンズ部材を貼り合わせる。
上記の第1の発明では、第1工程の回折格子形状は、第1レンズ部材の一面側に塗布された第2光学材料樹脂に型材の形状を転写して形成されたものでもよい。そして、第1レンズ部材の外縁部は、型材の形状転写領域の外縁部よりも大きく設定されていることが好ましい。
上記の第1の発明では、第1光学材料樹脂または第2光学材料樹脂を硬化させるときに、第1レンズ部材と第2レンズ部材との相対間隔または第1レンズ部材と型材との相対間隔を、各々の樹脂の収縮量に応じて調整することが好ましい。
第2の発明に係る光学素子は、第1レンズ部材と、第2レンズ部材と、樹脂層とを備える。第2レンズ部材は、第1レンズ部材に重ねたときに第1レンズ部材の外縁部よりも外側に突出する突起部を有する。樹脂層は、第1レンズ部材および第2レンズ部材の間に形成されるとともに回折格子を構成する。
第3の発明に係る光学素子の製造方法は以下の第1工程と第2工程とを含む。第1工程では、複数個の光学素子を一体成形するための第1レンズ基板の一面側に、回折格子形状を複数配列した回折格子群を形成する。第2工程では、第1レンズ基板に重ねたときに第1レンズ基板の外縁部よりも外側に突出する突起部を有する第2レンズ基板を第1レンズ基板の一面側に配置する。そして、回折格子群の形成領域と第2レンズ基板との間に未硬化の第1光学材料樹脂を充填するとともに、該第1光学材料樹脂を硬化させて第1レンズ基板および第2レンズ基板を貼り合わせる。
ここで、第3の発明には、第1の発明で記載した付加的構成をほぼ同様に適用することが可能である。なお、第3の発明の構成を、第1レンズ基板、第2レンズ基板および樹脂層を有する光学素子に変換して表現したものも本発明の具体的態様として有効である。
本発明では、2つのレンズ部材を貼り合わせる際に、第2レンズ部材の突起部を位置合わせに用いてレンズ部材間の相対間隔を高い精度で調整できる。
(第1実施形態の説明)
まず、第1実施形態の光学素子の構成を図1および図2に示す。光学素子は、第1レンズ部材11と、第2レンズ部材12と、第1樹脂層13および第2樹脂層14とを有している。
第1レンズ部材11の全体形状は円形に形成されている。第1レンズ部材11の一面側(図1での上側の面)には第1樹脂層13が密着している。一方、第1レンズ部材11の他面(図1での下側の面)は球面または非球面に加工されてレンズ面を形成している。
第2レンズ部材12は、本体部12aと突起部12bとを有している(図2参照)。第2レンズ部材12の本体部12aは、第1レンズ部材11とほぼ同径の円形に形成されている。この本体部12aの一面(図1での上側の面)は球面または非球面に加工されてレンズ面を形成している。一方、本体部12aの他面(図1での下側の面)は第1レンズ部材11に対向する接合面をなしている。この接合面には第2樹脂層14が密着している。
第2レンズ部材12の突起部12bは、本体部12aの外周に成形されている。第1実施形態では、本体部12aの外周にそれぞれ等間隔をおいて同一形状の突起部12bが3つ配置されている。各々の突起部12bは第2レンズ部材12の光軸直角方向に延長している。また、各々の突起部12bの第1レンズ部材11側の面は、それぞれの面が同一平面上に位置するように揃えられている。そして、第1レンズ部材11と第2レンズ部材12とをそれぞれ光軸が一致するように重ねたときに、各々の突起部12bはいずれも先端が第1レンズ部材11の外縁部よりも外側に突出する位置関係にある。
第1樹脂層13および第2樹脂層14は、第1レンズ部材11と第2レンズ部材12との間に形成されている。この第1樹脂層13および第2樹脂層14はそれぞれ屈折率と分散の傾向が異なる別の光学材料樹脂で形成されている。また、第1樹脂層13と第2樹脂層14との境界面は、回折格子をなす同心円状の輪帯パターンが形成されている。すなわち、第1樹脂層13および第2樹脂層14には、互いにかみあう形状の輪帯状の回折格子をそれぞれ構成する。なお、第1樹脂層13および第2樹脂層14は、第1レンズ部材11と第2レンズ部材12とを貼り合わせて一体化する役目も果たしている。
次に、図3および図4を参照しつつ、第1実施形態の光学素子の製造方法を説明する。
(第1樹脂層の形成)
第1工程では、本体部15aと可動台座15bとを有する第1の成形装置15を使用して、第1レンズ部材11に第1樹脂層13を形成する。
ここで、第1の成形装置15の構成を簡単に説明する。本体部15aの上面は、第1レンズ部材11の外径よりも小さな円形をなしている。そして、本体部15aの上面は金型となっている。この金型の形状転写領域には、回折格子に対応した同心円状の輪帯パターンが形成されている。
一方、可動台座15bは本体部15aの上面近傍に配置される。可動台座15bは、本体部15aの側面を囲繞する環状に形成されており、本体部15aに対してその側面を上下方向に摺動可能に構成されている。また、可動台座15bの内径は第1レンズ部材11の外縁よりも小さく設定されている。したがって、可動台座15bの上面には第1レンズ部材11を載置できる(なお、第1の成形装置15の平面図については省略する)。
以下、第1工程の内容を順次説明する。
(1)第1の成形装置15の金型の中心に紫外線硬化樹脂16を滴下する(図3(a)参照)。このとき、可動台座15bの位置はその上面が金型の位置よりも高くなるように予め調整しておく。
(2)レンズ搬送装置17によって第1レンズ部材11を可動台座15bの上方に搬送する。そして、第1レンズ部材11の光軸と金型の中心軸とを位置合わせした後に、可動台座15bの上面に第1レンズ部材11を載置する(図3(b)参照)。このとき、第1レンズ部材11はレンズ面を上にしておく。この状態では、第1レンズ部材11の一面は可動台座15bの上面とほぼ同一面で保持されることとなる。
ここで、レンズ搬送装置17は下側に真空チャックを有している。この真空チャックはOリング17aを介して第1レンズ部材11の上面と当接するとともに、第1レンズ部材11を吊り下げた状態で吸着保持できる。上記のOリング17aの内径は第1の成形装置15の金型の形状転写領域よりも大きく設定されている。また、Oリング17aの外径は第1レンズ部材11の周縁部よりも小さく設定されている。なお、レンズ搬送装置17の内側は、紫外線を下方に照射可能とするために中空に形成されている。
(3)レンズ搬送装置17で第1レンズ部材11を上から押さえた状態を維持しつつ、可動台座15bを徐々に下降させる(図3(c)参照)。これにより、金型と第1レンズ部材11との相対間隔が小さくなって、紫外線硬化型樹脂16は金型の中心から同心円状に押し広げられて塗布される。なお、紫外線硬化型樹脂16を押し広げる速度が速いと、樹脂が空気を巻き込んでしまうため樹脂層(13)に気泡が発生する。そのため、可動台座15bの下降速度は第1の成形装置15によって精密に制御される。
(4)第1レンズ部材11に紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂16を硬化させる(図3(d)参照)。これにより、第1レンズ部材11の一面に回折格子をなす第1樹脂層13が形成される。
具体的には、まず、Oリング17aによって第1レンズ部材11を上から押さえた状態で、レンズ搬送装置17の内側から紫外線を照射する。そして、紫外線硬化型樹脂16がある程度硬化した段階で、レンズ搬送装置17を退避させるとともに第1レンズ部材11の全体に紫外線を照射する。
ここで、紫外線照射時には、紫外線硬化型樹脂16の収縮量に応じて、第1の成形装置15の可動台座15bが下降するように制御する。これにより、第1レンズ部材11に作用する収縮応力をキャンセルできるとともに、硬化中に金型から樹脂が剥離することを防止できる。
(5)そして、紫外線硬化型樹脂16の硬化後に可動台座15bを上昇させる。これにより、第1樹脂層13が形成された第1レンズ部材11は金型から離脱する(図3(e)参照)。
(レンズ部材の貼り合わせ)
第2工程では、第1の成形装置15とほぼ同様に構成された第2の成形装置18を使用して、第1レンズ部材11と第2レンズ部材12とを貼り合わせる。
ここで、第2の成形装置18と第1の成形装置15との相違点を簡単に説明する。第2の成形装置18では、本体部18aの上面が第1レンズ部材11よりも若干大きな円形に形成されている。そして、本体部18aの上面は第1レンズ部材11を載置可能に構成されている。
以下、第2工程の内容を順次説明する。
(1)レンズ搬送装置17によって第1レンズ部材11を第2の成形装置18の本体部18aの上方に搬送する。そして、第1レンズ部材11の光軸と本体部18aの中心とを位置合わせした後に、本体部18aの上面に第1レンズ部材11を載置する(図4(a)参照)。このとき、第1レンズ部材11は第1樹脂層13の形成面を上にしておく。なお、第1レンズ部材11の搬送には、第1工程のレンズ搬送装置17をそのまま使用できる。
(2)第1樹脂層13の中心に紫外線硬化樹脂19を滴下する(図4(b)参照)。第2工程では、上記第1工程とは別の光学材料樹脂が使用される。なお、このとき、第2の成形装置18の可動台座18bの位置は、その上面が第1樹脂層13の位置よりも高くなるように予め調整しておく。
(3)レンズ搬送装置によって第2レンズ部材12を可動台座18bの上方に搬送する。そして、第1レンズ部材11と第2レンズ部材12との光軸を位置合わせした後に、可動台座18bの上面にレンズ面を上にして第2レンズ部材12を載置する(図4(c)参照)。この状態では、第2レンズ部材12の3つの突起部12bが可動台座18bの上面に引っ掛かるため、第2レンズ部材12の本体部12aは可動台座18bの上面と平行に保持されることとなる。なお、第2レンズ部材12の搬送には、第1工程のレンズ搬送装置17をそのまま使用できる。
(4)レンズ搬送装置17で第2レンズ部材12を上から押さえた状態を維持しつつ、可動台座18bを徐々に下降させる(図4(d)参照)。これにより、第1レンズ部材11と第2レンズ部材12との相対間隔が小さくなって、紫外線硬化型樹脂19は第1樹脂層13の中心から同心円状に押し広げられて塗布される。なお、この場合にも、可動台座18bの下降速度は第2の成形装置18によって精密に制御される。
(5)第2レンズ部材12に紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂19を硬化させる(図4(e)参照)。この紫外線照射の説明は、上記の第1工程の場合とほぼ共通するので重複説明を省略する。なお、第2工程においても、紫外線硬化型樹脂19の収縮量に応じて、第2の成形装置18の可動台座が下降するように制御する。
これにより、第1レンズ部材11と第2レンズ部材12とが貼り合わされた光学素子が形成される。また、第2工程では、第1樹脂層13の回折格子のパターンが型材としての役目を果たす。そのため、レンズ部材の間にある第1樹脂層13および第2樹脂層14には、互いにかみあう形状の回折格子が形成される。なお、光学素子の形成後には、第2レンズ部材12の各突起部12bは、例えばホットニッパーなどで切断して除去してもよい。
以下、第1実施形態の作用効果を述べる。
第1実施形態の第2工程では、第1レンズ部材11よりも外側に位置する可動台座18bに第2レンズ部材12の突起部12bを載せることで、第2レンズ部材12の接合面が可動台座18bの上面で容易に位置合わせされる。すなわち、第1実施形態では、第2レンズ部材12と冶具との位置関係の誤差が小さくなるので、レンズ部材を貼り合わせる際にレンズ部材の相対間隔をより高い精度で調整できるようになる。
また、第1実施形態の第1工程では、金型よりも外側に位置する可動台座15bに第1レンズ部材11を載せることで、第1レンズ部材11の一面が可動台座15bの上面で容易に位置合わせされる。すなわち、第1実施形態では、第1レンズ部材11と冶具との位置関係の誤差が小さくなるので、第1レンズ部材11に樹脂層で回折格子を形成する場合の成形精度も向上する。
(第2実施形態の説明)
図5および図6は第2実施形態の光学素子を示す図である。この第2実施形態では、円形のレンズ基板上に矩形の光学素子を複数同時に形成する。この光学素子は、後工程において基板をワイヤソー等で切断することで個片化される。なお、第2実施形態で第1実施形態と共通の構成には同一符号を付して説明を省略する。
光学素子は、第1レンズ基板21と、第2レンズ基板22と、第1樹脂層13および第2樹脂層14とを有している。第1レンズ基板21の全体形状は円形に形成されている。第1レンズ基板21の一面側には第1樹脂層13が密着している。一方、第1レンズ基板21の他面には、それぞれ同一形状の矩形のレンズ面が格子状に複数配置されている。
第2レンズ基板22は、本体部22aと突起部22bとを有している。第2レンズ基板22の本体部22aは、第1レンズ基板21とほぼ同径の円形に形成されている。この本体部22aの一面には、第1レンズ基板21の他面と対応する位置に矩形のレンズ面がそれぞれ形成されている。一方、本体部22aの他面は第1レンズ基板21に対向する接合面であり、この接合面には第2樹脂層14が密着している。なお、第2レンズ基板22の突起部22bの説明は、第2レンズ部材12の突起部12bの説明と共通するので重複説明は省略する。
第1樹脂層13および第2樹脂層14は、第1レンズ基板21と第2レンズ基板22との間に形成されている。第2実施形態では、第1樹脂層13および第2樹脂層14の回折格子は、第1レンズ基板21および第2レンズ基板22の個々のレンズ面の対応位置にそれぞれ形成されている。
この第2実施形態の光学素子も、上記の第1実施形態の光学素子と同様の製造方法によって製造することが可能である。なお、第2実施形態の製造方法の説明は、第1,第2レンズ部材(11,12)を第1,第2レンズ基板(21,22)に置き換えるとともに、第1の成形装置の金型を第2実施形態に対応する金型に置換する点を除いて第1実施形態の説明と共通するので、重複説明は省略する。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上記の実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に限定されるものではない。
(1)本発明の光学材料樹脂は紫外線硬化型樹脂に限定されることなく、例えば加熱硬化型樹脂であってもよい。
(2)本発明での樹脂層の数は、上記実施形態のように2層に限定されるものではない。例えば、光学素子の樹脂層は1層だけであってもよく、あるいは樹脂層が3層以上積層されたものであってもよい。
(3)第2レンズ部材12または第2レンズ基板22の突起部(12b,22b)の構成は、例えば、レンズ部材の全周に薄肉のフランジを形成する構成で代替することも可能である。
(4)また、光学材料樹脂を硬化させるときに、レンズ部材と型材との相対間隔を光学材料樹脂の収縮量に応じて調整する構成は、球面ガラスと非球面金型の間に流し込んだ紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射し、ガラスと樹脂を一体化した複合非球面レンズを製造する場合にも広く適用できる。
第1実施形態の光学素子の側部断面図 第1実施形態の光学素子の平面図 第1実施形態の第1工程を示す説明図 第1実施形態の第2工程を示す説明図 第2実施形態の光学素子の側部断面図 第2実施形態の光学素子の平面図
符号の説明
11…第1レンズ部材、12…第2レンズ部材、12a…本体部、12b…突起部、13…第1樹脂層、14…第2樹脂層、16,19…紫外線硬化樹脂、21…第1レンズ基板21、22…第2レンズ基板、22a…本体部、22b…突起部

Claims (7)

  1. 第1レンズ部材の一面側に回折格子形状を形成する第1工程と、
    前記第1レンズ部材に重ねたときに前記第1レンズ部材の外縁部よりも外側に突出する突起部を有する第2レンズ部材を前記第1レンズ部材の一面側に配置し、前記回折格子形状の形成領域と前記第2レンズ部材との間に未硬化の第1光学材料樹脂を充填するとともに、該第1光学材料樹脂を硬化させて前記第1レンズ部材および前記第2レンズ部材を貼り合わせる第2工程と、
    を含むことを特徴とする光学素子の製造方法。
  2. 請求項1に記載の光学素子の製造方法において、
    前記第1工程の前記回折格子形状は、前記第1レンズ部材の一面側に塗布された第2光学材料樹脂に型材の形状を転写して形成され、
    前記第1レンズ部材の外縁部は、前記型材の形状転写領域の外縁部よりも大きく設定されていることを特徴とする光学素子の製造方法。
  3. 請求項1または請求項2に記載の光学素子の製造方法において、
    前記第1光学材料樹脂または前記第2光学材料樹脂を硬化させるときに、前記第1レンズ部材と前記第2レンズ部材との相対間隔または前記第1レンズ部材と前記型材との相対間隔を、各々の樹脂の収縮量に応じて調整することを特徴とする光学素子の製造方法。
  4. 第1レンズ部材と、
    前記第1レンズ部材に重ねたときに前記第1レンズ部材の外縁部よりも外側に突出する突起部を有する第2レンズ部材と、
    前記第1レンズ部材および前記第2レンズ部材の間に形成されるとともに回折格子を構成する樹脂層と、
    を備えることを特徴とする光学素子。
  5. 複数個の光学素子を一体成形するための第1レンズ基板の一面側に、回折格子形状を複数配列した回折格子群を形成する第1工程と、
    前記第1レンズ基板に重ねたときに前記第1レンズ基板の外縁部よりも外側に突出する突起部を有する第2レンズ基板を前記第1レンズ基板の一面側に配置し、前記回折格子群の形成領域と前記第2レンズ基板との間に未硬化の第1光学材料樹脂を充填するとともに、該第1光学材料樹脂を硬化させて前記第1レンズ基板および前記第2レンズ基板を貼り合わせる第2工程と、
    を含むことを特徴とする光学素子の製造方法。
  6. 請求項5に記載の光学素子の製造方法において、
    前記第1工程の前記回折格子群は、前記第1レンズ基板の一面側に塗布された第2光学材料樹脂に型材の形状を転写して形成され、
    前記第1レンズ基板の外縁部は、前記型材の形状転写領域の外縁部よりも大きく設定されていることを特徴とする光学素子の製造方法。
  7. 請求項5または請求項6に記載の光学素子の製造方法において、
    前記第1光学材料樹脂または前記第2光学材料樹脂を硬化させるときに、前記第1レンズ基板と前記第2レンズ基板との相対間隔または前記第1レンズ基板と前記型材との相対間隔を各々の樹脂の収縮量に応じて調整することを特徴とする光学素子の製造方法。
JP2006029899A 2006-02-07 2006-02-07 光学素子の製造方法および光学素子 Pending JP2007212547A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006029899A JP2007212547A (ja) 2006-02-07 2006-02-07 光学素子の製造方法および光学素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006029899A JP2007212547A (ja) 2006-02-07 2006-02-07 光学素子の製造方法および光学素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007212547A true JP2007212547A (ja) 2007-08-23

Family

ID=38491080

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006029899A Pending JP2007212547A (ja) 2006-02-07 2006-02-07 光学素子の製造方法および光学素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007212547A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009141376A1 (en) * 2008-05-21 2009-11-26 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Process for applying a coating onto a fresnel lens forming surface
US20090324881A1 (en) * 2008-06-30 2009-12-31 Fujitsu Limited Adhesive surface structure of optical components
CN103389532A (zh) * 2012-05-11 2013-11-13 佳能株式会社 叠层衍射光学元件及其制造方法
JP2015535941A (ja) * 2012-08-22 2015-12-17 ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション ソフトリソグラフィを用いてミニチュア内視鏡を製作するためのシステム、方法、およびコンピュータ・アクセス可能媒体
EP2995977A1 (en) 2014-09-12 2016-03-16 Canon Kabushiki Kaisha Multilayer diffractive optical element
US10852460B2 (en) 2017-08-04 2020-12-01 Canon Kabushiki Kaisha Diffraction optical element, manufacturing method thereof, and optical apparatus

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11352308A (ja) * 1998-06-04 1999-12-24 Nissin Kohki Co Ltd レンズ装置及びその製造方法
JP2003019725A (ja) * 2001-07-09 2003-01-21 Canon Inc 光学素子及びその成形用金型及び成形方法
JP2003262713A (ja) * 2002-03-11 2003-09-19 Nikon Corp 回折光学素子及び回折光学素子の製造方法
JP2005254720A (ja) * 2004-03-15 2005-09-22 Chinontec Kk 複合光学素子の製造方法及び製造装置
JP2005309104A (ja) * 2004-04-22 2005-11-04 Fuji Photo Film Co Ltd プラスチック製レンズを用いた光学ユニット

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11352308A (ja) * 1998-06-04 1999-12-24 Nissin Kohki Co Ltd レンズ装置及びその製造方法
JP2003019725A (ja) * 2001-07-09 2003-01-21 Canon Inc 光学素子及びその成形用金型及び成形方法
JP2003262713A (ja) * 2002-03-11 2003-09-19 Nikon Corp 回折光学素子及び回折光学素子の製造方法
JP2005254720A (ja) * 2004-03-15 2005-09-22 Chinontec Kk 複合光学素子の製造方法及び製造装置
JP2005309104A (ja) * 2004-04-22 2005-11-04 Fuji Photo Film Co Ltd プラスチック製レンズを用いた光学ユニット

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009141376A1 (en) * 2008-05-21 2009-11-26 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Process for applying a coating onto a fresnel lens forming surface
KR20110015563A (ko) * 2008-05-21 2011-02-16 에실러에떼르나쇼날(꽁빠니제네랄돕띠끄) 프레넬 렌즈를 형성하는 표면의 코팅 공정
US8252369B2 (en) 2008-05-21 2012-08-28 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Process for applying a coating onto a fresnel lens forming surface
CN102036808B (zh) * 2008-05-21 2014-06-18 埃西勒国际通用光学公司 在形成菲涅耳透镜的表面上施用涂层的方法
KR101603291B1 (ko) 2008-05-21 2016-03-14 에실러에떼르나쇼날(꽁빠니제네랄돕띠끄) 프레넬 렌즈를 형성하는 표면의 코팅 공정
US20090324881A1 (en) * 2008-06-30 2009-12-31 Fujitsu Limited Adhesive surface structure of optical components
CN103389532A (zh) * 2012-05-11 2013-11-13 佳能株式会社 叠层衍射光学元件及其制造方法
US9557454B2 (en) 2012-05-11 2017-01-31 Canon Kabushiki Kaisha Laminated diffraction optical element and production method therefor
JP2015535941A (ja) * 2012-08-22 2015-12-17 ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション ソフトリソグラフィを用いてミニチュア内視鏡を製作するためのシステム、方法、およびコンピュータ・アクセス可能媒体
EP2995977A1 (en) 2014-09-12 2016-03-16 Canon Kabushiki Kaisha Multilayer diffractive optical element
US9696469B2 (en) 2014-09-12 2017-07-04 Canon Kabushiki Kaisha Multilayer diffractive optical element
US10852460B2 (en) 2017-08-04 2020-12-01 Canon Kabushiki Kaisha Diffraction optical element, manufacturing method thereof, and optical apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5390277B2 (ja) マイクロレンズ、マイクロレンズの製造方法、マイクロレンズの製造装置、及びマイクロレンズを備えたカメラモジュール
JP2007212547A (ja) 光学素子の製造方法および光学素子
CN103323893A (zh) 晶圆透镜聚合体的制造方法及晶圆透镜聚合体
TWI490555B (zh) 晶圓級攝像器之透鏡板及其製造方法
WO2012140851A1 (ja) 光学素子の製造方法および光学素子
US20120045619A1 (en) Substrate provided with optical structure and optical element using the same
JP2006337985A (ja) ハイサグレンズの製作方法及びこれを利用し製作されたレンズ
JP5760714B2 (ja) ナノインプリント用モールド
JP2011061206A (ja) 堆積ディスク状光学レンズアレイ、堆積ディスク状レンズモジュールアレイ及びその製法(StackedDisk−shapedOpticalLensArray,StackedDisk−shapedLensModuleArrayandTheMethodofManufacturingThereof)
WO2012173252A1 (ja) ウェハーレンズの製造方法及びウェハーレンズ、並びにレンズユニットの製造方法及びレンズユニット
US7294293B2 (en) Method for manufacturing diffraction optical element
JP2012252113A (ja) ウェハレンズの製造方法
WO2017073370A1 (ja) フィルムモールド及びインプリント方法
JP2006263975A (ja) 光学素子の製造方法
JP5503115B2 (ja) 造形物の製造方法及び造形物製造システム
JP2011209699A (ja) ウェハレンズアレイ及びその製造方法
JP2005305875A (ja) 金型および複合光学素子の製造方法ならびに複合光学素子
JP2006221062A (ja) 積層型回折光学素子の製造方法及び積層型回折光学素子
WO2012161220A1 (ja) ウェハーレンズの製造方法、ウェハーレンズの製造装置及び光学素子
JP4481531B2 (ja) 光学素子
WO2012121221A1 (ja) 成形型、ウェハーレンズ及び光学レンズの製造方法
US20220137269A1 (en) Method of manufacturing a plurality of optical elements and product thereof
JP2008129229A (ja) 複合光学素子および複合光学素子の製造方法
WO2013084475A1 (ja) レンズユニットの製造方法およびレンズユニット
JP2008046469A (ja) 回折光学素子の製造方法および樹脂吐出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090115

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100819

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100831

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101015

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20111004