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Technisches
Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft
ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung eines äußerst luftdichten
Verbundglieds auf Keramikbasis.
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Die Schubkammer einer Raketentriebwerks, das
einen Treibstoff wie etwa NTO/N2 H4 und NTO/MMH verwendet, muss bei einer sehr
hohen Temperatur betrieben werden können, um eine höhere Triebwerkleistung
vorzusehen. Zu diesem Zweck werden herkömmlich Nioblegierungen mit
einer Beschichtung, die bei einer Temperatur von ungefähr 1.500°C betrieben
werden kann, als Kammermaterial für viele Raketentriebwerke verwendet.
Diese Materialien weisen jedoch den Nachteil einer hohen Dichte, eines
hohen Gewichts, einer niedrigen Festigkeit bei einer hohen Temperatur
und einer kurzen Lebensdauer der Beschichtung auf.
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Keramiken sind hitzebeständig, aber
brüchig,
sodass ein Keramikmatrixverbundmaterial (CMC) entwickelt wurde,
in dem Keramiken durch Keramikfasern verstärkt sind. Mit anderen Worten besteht
das Keramikmatrixverbundmaterial (CMC) aus Keramikfasern und einer
Keramikmatrix. Gewöhnlich
wird ein CMC durch seine Bestandteile wiedergegeben, d.h. Keramikfasern/Keramikmatrix
(zum Beispiel SiC/SiC, wenn beide Bestandteie aus SiC sind).
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Ein CMC weist ein geringes Gewicht
auf und kann mit großer
Festigkeit bei einer hohen Temperatur betrieben werden, sodass dieses
Material wie oben beschrieben für
die Schubkammer eines Raketentriebwerks sowie für Treibstoffrohre in Abschnitten mit
hohen Temperaturen, Turbinenblätter,
Verbrennungskammern und Komponententeile eines Nachbrenners in einem
Düsentriebwerk
usw. verwendet werden können.
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Herkömmliche CMCs sind jedoch problematisch,
weil keine Luftdichtigkeit erhalten werden kann und die Beständigkeit
gegenüber
Hitzeschocks schlecht ist. Bei einem herkömmlichen CMC wurden Keramikfasern
in eine vorbestimmte Form gebracht und wurde mittels des sogenannten
CVI-Prozesses (Chemical Vapor Infiltration) eine Matrix in den Zwischenräumen zwischen
den Fasern hergestellt, um die Zwischenräume zwischen den Fasern durch
die mittels des CVI-Prozesses hergestellte Matrix zu füllen, wofür allerdings
eine unpraktisch lange Zeit (z. B. mehr als ein Jahr) erforderlich
war, was schwer annehmbar ist.
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Um die Luftdichtigkeit des CMC selbst
zu erhöhen,
ist der PIP-Prozess (Polymer Impregnate and Pyrolysis) effektiv,
in dem Komponenten aus Keramikfasern nur in ein geschmolzenes Polymermaterial getaucht
werden, wobei jedoch der Zyklus für das Imprägnieren und Erhitzen viele
Male wiederholt werden muss (zum Beispiel mehr als 40 Mal), sodass
die Effizienz gering ist.
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Außerdem gibt das US-Patent Nr.
05632320 ein RTM-Verfahren (Resin Transfer Molding) an, das einer
der Druckinfiltrationsprozesse ist, die in einem PMC (Polymer Matrix
Composite) für
die Polymermatrixinfiltration verwendet werden. Diese Verfahren
benötigt
jedoch einige sehr große
Vorrichtungen wie etwa Formen.
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EP 1 024 121 A2 wurde zuvor nicht veröffentlicht
und stellt Stand der Technik gemäß Artikel
54 (3) EPC dar. Diese Anmeldung gibt eine hybride Behandlung zur
Herstellung eines Verbundgliedes auf Keramikbasis dar, das eine
chemische Dampfinfiltrationsbehandlung, eine Polymerimprägnierung
und eine Pyrolysebehandlung umfasst. Die chemische Dampfinfiltrierung
wird durchgeführt,
um eine SiC-Matrix auf einer Oberfläche einer geformten Struktur
vorzusehen. Die Polymerimprägnierung
und die Pyrolysebehandlung können
eine Druckinfiltration umfassen, wobei die hermetischen Eigenschaften des
Verbundgliedes durch die Durchführung
einer Infiltration mittels Druck in einer Druckrichtung während der
Verwendung verbessert werden können.
Diese Anmeldung gibt nicht an, dass das Verbundglied unter einem
Druck gehalten wird, sodass das organische Silikonpolymer für eine vorbestimmte
Zeitdauer durch Zwischenräume
in der Matrixphase dringt. Außerdem
macht die Anmeldung keine Angaben in Bezug auf eine Vorrichtung
zur Herstellung eines Verbundgliedes auf Keramikbasis.
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Es ist eine Aufgabe der Erfindung,
ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung eines Verbundgliedes
auf Keramikbasis anzugeben, die die Luftdichtigkeit erhöhen können und
auf praktische Schubkammern usw. innerhalb von kurzer Zeit angewendet
werden können.
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Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch
das Verfahren nach Anspruch 1 und die Vorrichtung nach Anspruch
2 gelöst.
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Gemäß dem Verfahren der vorliegenden
Erfindung wird, nachdem eine SiC-Matrixphase auf der Oberfläche einer
Faserstruktur erzeugt wurde, die Struktur in einem Druckinfiltrationsprozess
verarbeitet. Die SiC-Matrixphase kann zum Beispiel durch einen CVI-Prozess
als eine dichte und risslose Matrix um die Keramikfasern erzeugt
werden. Dann wird ein organisches Silikonpolymer in der Richtung
des praktischen Betriebsdrucks der Faserstruktur unter Druck gesetzt
und mittels eines PIP-Prozesses druckinfiltriert, sodass die Matrix
vorzugsweise in den Zwischenräumen
in der Matrixphase erzeugt wird, die Zwischenräume nach dem CVI-Prozess gefüllt werden
und die Luftdichtigkeit des Glieds erhöht werden kann.
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Weil mikroskopische Risse in der
durch den PIP-Prozess erzeugten Matrix vorhanden sind, sind die
Bindungskräfte
zwischen den keramischen Fasern schwach. Deshalb kann wie in der
japanischen Patentanmeldung Nr. 019416/1999 (unveröffentlicht) angegeben,
wenn das Glied zusätzlich
zu dem CVI-Prozess auch dem PIP-Prozess unterworfen wird, der Elastizitätsmodul
stärker
reduziert werden als derjenige eines herkömmlichen CMC, das nur durch
den CVI-Prozess erzeugt wird, sodass thermische Spannungen reduziert
und die Beständigkeit gegenüber Hitzeschocks
wesentlich verbessert werden können,
was durch Experimente belegt werden kann.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung
wird das Glied für
eine vorbestimmte Zeitdauer unter einem Druck gehalten, sodass das
organische Silikonpolymer durch die Zwischenräume in der Matrixphase während des
zuvor genannten Druckinfiltrationsprozesses dringt. Danach wird
das Glied einem Erhitzungsprozess unterworfen, wobei dieser Druckinfiltrationsprozess
und der Erhitzungsprozess außerdem zyklisch
angewendet werden, bis eine zufriedenstellende Luftdichtigkeit des
Gliedes erreicht wird.
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Auf diese Weise wird eine Matrix
vorzugsweise in Zwischenräumen
des Verbundmaterials erzeugt, wodurch die Luftdichtigkeit in kurzer
Zeit erhöht
werden kann.
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Der oben beschriebene Druckinfiltrationsprozess
sollte vorzugsweise ausgeführt
werden, nachdem die Matrix durch CVI infiltriert wurde, um eine Oxidation
zu verhindern. Der Prozess kann jedoch auch zu einem beliebigen
anderen Zeitpunkt angewendet werden, solange die Schnittstellenbeschichtung
noch nicht abgeschlossen ist.
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Die vorliegende Erfindung gibt auch
eine Vorrichtung zur Herstellung eines Verbundgliedes auf Keramikbasis
an, die umfasst: eine Halteeinrichtung (12) zum luftdichten
Halten einer Faserstruktur (11), auf deren Oberfläche eine
SiC-Matrixphase ausgebildet ist, eine Druckzufuhreinrichtung (14),
die ein organisches Silikonpolymer (8) in der Richtung
des Anwendungsdrucks während
der Verwendung der Faserstruktur unter Druck setzt und das Polymer
zuführt,
und eine Entgasungseinrichtung (16), die einen Teil des
Polymers mit Gasblasen aus dem zugeführten organischen Silikonpolymer
entfernt.
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In dieser Konfiguration gemäß der Erfindung wird
die Faserstruktur (11), auf deren Oberfläche die SiC-Matrixphase
ausgebildet ist, unter Verwendung der Halteeinrichtung (12)
wasserdicht gehalten, wobei das organische Silikonpolymer (8)
in der Richtung, in welcher während
der Verwendung Druck auf die Faserstruktur ausgeübt wird, unter Druck gesetzt und
zugeführt
wird, sodass durch eine Anpassung des Drucks das organische Silikonpolymer
mit einem im wesentlichen gleichmäßigen Druck in die Faserstruktur
eingeführt
werden kann. Weil außerdem
das organische Silikonpolymer in der Richtung des Betriebsdrucks
auf die Struktur unter Druck gesetzt und unter Druck in die Struktur
infiltriert werden kann, wird die Matrix vorzugsweise in den Zwischenräumen in der
Matrixphase erzeugt, sodass nach den CVI- und PPI-Prozessen verbleibende
Zwischenräume
gefüllt werden
können,
wodurch die Luftdichtigkeit der Struktur erhöht werden kann. Außerdem kann
die Entgasungseinrichtung (16) den Teil des organischen Silikonpolymers
entfernen, der viele Gasblasen enthält, sodass ein gleichmäßiges organisches
Silikonpolymer ohne Blasen vorzugsweise in die Zwischenräume in der
Matrixphase eingeführt
und eine äußerst luftdichte
Matrix erzeugt werden kann.
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Die vorliegende Erfindung wird beispielhaft und
mit Bezug auf die beigefügten
Zeichnungen ausführlicher
beschrieben.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung eines Verbundgliedes
auf Keramikbasis gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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2 ist
eine allgemeine Konfigurationsansicht der Vorrichtung zur Herstellung
eines Verbundgliedes auf Keramikbasis gemäß der Erfindung.
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3 ist
eine andere allgemeine Konfigurationsansicht der Vorrichtung zur
Herstellung eines Verbundgliedes auf Keramikbasis gemäß der Erfindung.
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4 zeigt
die Ergebnisse des Lecktests für das
CMC der vorliegenden Erfindung.
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Im Folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
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1 ist
ein Flussdiagramm, das das Verfahren zur Herstellung eines Verbundgliedes
auf Keramikbasis gemäß der Erfindung
zeigt. Das Verfahren der vorliegenden Erfindung umfasst einen Formprozess 1,
einen CVI-Infiltrationsprozess 2, einen PIP-Infiltrationsprozess 3, einen
Druckinfiltrationsprozess 4, einen Erhitzungsprozess mit
mittlerer Temperatur 5 und einen Erhitzungsprozess mit hoher Temperatur
6.
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In dem Formprozess 1 wird
eine Faserstruktur mit einer vorbestimmten Form unter Verwendung von
SiC-Fasern erzeugt. Bevorzugte Formen sind dreidimensional und müssen für die Schubkammer eines
Raketentriebwerkes, Treibstoffrohre in Abschnitten mit hoher Temperatur,
Turbinenblätter,
Verbrennungskammern und Nachverbrennungskomponenten usw. geeignet
sein.
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Der CVI-Infiltrationsprozess 2 ist
ein Prozess für
die CVI-Verarbeitung, in dem eine SiC-Matrixphase in einer Umgebung mit reduziertem
Druck auf der Oberfläche
der geformten Faserstruktur erzeugt wird. Die CVI-Verarbeitung umfasst
einen Schnitstellen-CVI-Prozess und einen SiC-Matrix-CVI-Prozess. In
dem Schnittstellen-CVI-Prozess wird die erzeugte Faserstruktur mit
Kohlenstoff (vorzugsweise Graphit), BN usw. beschichtet. Die bevorzugte
Dicke der Beschichtung liegt zwischen ungefähr 0,1 und 1,0 μm. Eine derartige
Beschichtungsphase trennt die Keramikfasern von der Matrix und verbessert
die Stärke
der Fasern, wie in der nicht geprüften japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 12671/1988 angegeben.
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Der SiC-Matrix-CVI-Prozess ist ein
Prozess, in dem ein Werkstück
durch das sogenannte CVI-Verfahren (Chemical Vapor Infiltration)
verarbeitet wird, eine in einem Ofen unter Verwendung von dedizierten
Vorrichtungen befestigte Struktur erhitzt wird, unter reduziertem
Druck zum Beispiel Methyltrichlorosilan eingeführt wird und SiC synthetisiert
wird. Dieser Prozess wird nach Bedarf wiederholt, sodass das volumetrische
Verhältnis
einer durch die CVI-Verarbeitung synthetisierten Matrix zu ungefähr 5% oder
mehr und bis zu 80% steigt.
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Der PIP-Infiltrationsprozess 3 umfasst
einen Infiltrationsprozess zum Infiltrieren eines organischen Silikonpolymers
in Zwischenräume
in der durch den DVI-Infiltrationsprozess 2 erzeugten Matrixphase
als Basismaterial und einen darauf folgenden Erhitzungsprozess.
Die Infiltrations- und Erhitzungsprozesse werden bei Bedarf wiederholt.
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Der Druckinfiltrationsprozess 4 ist
ein Prozess, in dem ein organisches Silikonpolymer in der Richtung,
in der während
der Verwendung der Betriebsdrucks wirkt, unter Druck gesetzt wird,
um das Polymer in die Zwischenräume
in der zuvor genannten Matrixphase zu infiltrieren, d. h. es handelt
sich um einen Typ von PIP-Infiltration. In dem Druckinfiltrationsprozess 4 wird
ein Druck, mit dem das organische Silikonpolymer einfach durch die
Zwischenräume
in der Matrixphase dringt, für
eine vorbestimmte Zeitdauer aufrechterhalten. Die vorbestimmte Zeitdauer
beträgt
beispielsweise 2 Minuten oder 5 Minuten.
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Das in dem Druckinfiltrationsprozess 4 verwendete
Silikonpolymer sollte vorzugsweise aus der folgenden Gruppe gewählt werden:
Polykarbosilanlösung,
Polyvinylsilan, Polymetallokarbosilan usw. oder eine Mischung aus
diesen und SiC-Pulver. Mit dem Druckinfiltrationsprozess 4 zum
Infiltrieren einer dieser organischen Silikonpolymere sowie zum
folgenden Erhitzen kann eine Matrix mit mikroskopischen Rissen schnell
erzeugt werden.
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In dem Erhitzungsprozess 5 wird
das Werkstück
bei einer Temperatur nahe der Betriebstemperatur (zum Beispiel zwischen
ungefähr
1.000 bis 1.400°C)
für eine
vorbestimmte Zeit (zum Beispiel eine Stunde oder mehr) erhitzt.
Der Druckinfiltrationsprozess 4 und der Erhitzungsprozess 5 werden wiederholt,
bis eine zufriedenstellende Luftdichtigkeit erreicht wird.
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2 zeigt
eine allgemeine Konfiguration der Vorrichtung zur Herstellung eines
Verbundgliedes auf Keramikbasis gemäß der vorliegenden Erfindung. 3 ist eine allgemeine Konfigurationsansicht
der Vorrichtung zur Herstellung eines Verbundgliedes auf Keramikbasis
gemäß der Erfindung.
Wie in 2 und 3 gezeigt, umfasst die Vorrichtung 10 zur
Herstellung eines Verbundgliedes auf Keramikbasis gemäß der Erfindung
eine Halteeinrichtung 12, eine Druckzufuhreinrichtung 14 und
eine Entgasungseinrichtung 16.
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Die Halteeinrichtung 12 hält die Faserstruktur 11,
auf deren Oberfläche
eine SiC-Matrixphase ausgebildet ist, wasserdicht. In diesem Beispiel
ist die Faserstruktur 11 ein hohles Zylinderglied, dessen Öffnungen
an beiden Enden (oberes und unteres Ende) zwischen einem oberen
und einem unteren Halteglied 12b und zwischen gegenüber Lösungen beständigen Dichtungsgummis 12a gehalten
wird, sodass das organische Silikonpolymer 8 nicht an den beiden
Enden eindringt. Ein Haltedruck wird derart gewählt, dass die Faserstruktur 11 nicht
beschädigt wird.
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Wenn außerdem wie in 3 gezeigt ein Ende der Faserstruktur
aufgrund seiner Dicke oder Form nicht zwischen dem oberen und unteren
Halteglied gehalten werden kann, kann die Innenfläche der Faserstruktur
zum Halten verwendet werden.
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Die Druckzufuhreinrichtung 14 umfasst
ein Lösungsgefäß 14a,
das ein organisches Silikonpolymer 8 enthält, ein
luftdichtes Gefäß 14b,
das das Lösungsgefäß 14a luftdicht
einschließt,
ein Zufuhrrohr 14c, das das organische Silikonpolymer 8 in
dem Lösungsgefäß 14a in
das Innere der Faserstruktur 11 führt, usw. Das Innere des luftdichten
Gefäßes 14b wird
durch ein Druckmediumgas (Ar, N2, usw.)
unter Druck gesetzt und das organische Silikonpolymer 8 in
dem Lösungsgefäß 14a wird
nach oben gepumpt und in die Faserstruktur 11 geführt.
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Die Entgasungseinrichtung 16 ist
ein Öffnungs-/Schließventil,
das in diesem Beispiel in dem oberen Halteglied 12b installiert
ist. Das Ventil wird geschlossen, nachdem ein Teil des organischen
Silikonpolymers, das viele Gasblasen enthält, zugeführt wurde. Die vorliegende
Erfindung ist jedoch nicht auf die Konfiguration von 2 und 3 beschränkt, und der gesamte Aufbau
kann auch horizontal oder auf den Kopf gestellt vorgesehen werden.
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Gemäß der Herstellungsvorrichtung 10 in 2 und 3 wird die Faserstruktur 11,
auf deren Oberfläche
eine SiC-Matrixphase erzeugt ist, mittels des Halteeinrichtung 12 in
einem wasserdichten Zustand gehalten, wobei das organische Silikonpolymer 8 durch
das Druckmediumgas in der Richtung des Betriebsdrucks der Faserstruktur
unter Druck gesetzt und in die Struktur eingeführt wird, sodass unter Anpassung
des Drucks des Druckmediumgases das organische Silikonpolymer mit
einem im wesentlichen gleichmäßigen Druck
in die Faserstruktur eingeführt werden
kann. Weil das organische Silikonpolymer außerdem in der Richtung, in
der während
des Betriebs Druck ausgeübt
wird, unter Druck gesetzt und unter Druck infiltriert werden kann,
wird die Matrix vorzugsweise in der bevorzugten Richtung für die Luftdichtigkeit
in die nach der CVI-Verarbeitung verbleibenden Zwischenräumen gefüllt, wodurch
die Luftdichtigkeit effektiv erhöht
werden kann. Außerdem
kann die Entgasungseinrichtung 16 einen Teil des organischen
Silikonpolymers, der auf der Oberfläche des Polymers mit großen Mengen
an Gasblasen ausgebildet ist, entfernen, sodass ein gleichmäßiges organisches
Silikonpolymer ohne Blasen vorzugsweise in den Zwischenräumen in
der Matrixphase vorgesehen werden kann, wodurch eine äußerst luftdichte
Matrix erzeugt werden kann.
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Außerdem kann eine andere Druckerzeugungseinrichtung
wie etwa ein Kolben anstelle des Druckmediumgases verwendet werden.
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[Ausführungsformen]
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Im Folgenden werden Ausführungsformen der
Erfindung beschrieben.
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1. Verfahren
zur Herstellung der Kammer
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SiC/SiC-Kammern wurden in Übereinstimmung
mit dem in 1 gezeigten
Herstellungsverfahren hergestellt. Tyranno Lox-M-Fasern von Ube Industries,
Ltd. wurden als SiC-Fasern für
die Kammer verwendet. Die Fasern wurden auf einen Dornrahmen geflochten,
und die SiC-Matrix wurde infiltriert. Um die Matrix zu infiltrieren,
wurden der CVI-Infiltrationsprozess 2, der gewöhnliche
PIP-Behandlungsprozess 3 und der oben genannte Druckinfiltrationsprozess 4 kombiniert.
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2. Lecktest
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Ein Lecktest wurde bei 0,7 MPa durchgeführt. Eine
Kammer wurde in Wasser getaucht und mit N2-Gas
unter Druck gesetzt, und durch die Kammer geführtes Gas wurde gesammelt und
gemessen, um die Leckrate zu messen. Es wurde ein Siegel zwischen
der Kammer und dem Kammerhals angebracht.
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3 zeigt
die Ergebnisse des Lecktests. Auch nachdem das Werkstück in dem
CVI-Infiltrationsprozess 2 ungefähr einen
Monat lang CVI-verarbeitet wurde, waren Leerräume in einem Umfang von ungefähr 20% des
Gesamtvolumens vorhanden, wobei die gesamte gemessene Leckrate einem
Loch von ungefähr
0,04 mm2 der Durchschnittsfläche entspricht.
Obwohl diese Rate für
das CMC zufriedenstellend klein ist, ist die Rate für eine Schubkammer, ein
Treibstoffrohr usw., die eine höhere
Luftdichtigkeit erfordern, übermäßig hoch.
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Dann wurde das Werkstück in einem
gewöhnlichen
PIP-Behandlungsprozess 3 einschließlich einer Erhitzung in ungefähr 20 Zyklen
verarbeitet. Als Resultat davon wurde die Leckrate auf ungefähr ein Siebtel
oder weniger vermindert, sodass ein praktisch annehmbarer Wert erreicht
wurde. Eine Verarbeitungsperiode von ungefähr 1,5 Monaten war für diese
Zyklen in dem PIP-Behandlungsprozess 3 erforderlich.
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Dann wurde der zuvor genannten Druckinfiltrationsprozess 4 drei
Mal wiederholt, sodass die Leckrate absolut null wurde. Die für diese
Verarbeitung erforderliche Zeit betrug ungefähr eine Woche.
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3. Hochdrucktest
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Unter Verwendung eines Druckwassermediums
wurden die Kammern bei einem hohem Druck von 4,5 MPa getestet. Das
Dichtungsverfahren war dasselbe wie für den Lecktest.
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Für
den Hochdrucktest wurde ein Testdruck von 3 MPa für ungefähr 10 Minuten
aufrechterhalten, wobei das Werkstück dann durch ein Druckprofil
mit einem Höchstdruck
von 4,5 MPa getestet wurde. Es konnte weder ein Leck, noch eine
Verformung oder andere Beschädigung
festgestellt werden.
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4. Verfahren
für Verbrennungstest
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Es wurde ein Verbrennungstest unter
Verwendung von einer Raketentesteinrichtung durchgeführt, um
die Beständigkeit
des getesteten Werkstücks
gegenüber
Hitze und Säuren
unter Verbrennungsbedingungen zu bestätigen, wobei ein NTO/N2H4-Treibstoff verwendet
wurde. In diesem Test wurden zwei Düsenmembranen-Kühlverhältnisse
von 26% und 9% verwendet.
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Als Ergebnis aus vier durchgeführten Zyklen von
Verbrennungstests lag die längste
Betriebszeit bei 22 Sekunden. Die gemessene Höchsttemperatur der Kammerwand
lag bei 1.424°C.
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Das Verfahren der vorliegenden Erfindung
ist wie oben beschrieben dadurch gekennzeichnet, dass nach der Ausbildung
einer SiC-Matrixphase auf der Oberfläche einer Faserstruktur diese
Struktur einem Druckinfiltrationsprozess unterworfen wird. Die SiC-Matrixphase kann
zum Beispiel durch einen CVI-Prozess erzeugt werden, wobei eine
dichte und rissfreie Matrix um die Keramikfasern herum erzeugt wird.
Dann wird die Matrix vorzugsweise in Zwischenräumen in der Matrixphase erzeugt,
indem ein organisches Silikonpolymer in der Richtung, in der während der
Verwendung Druck ausgeübt
wird, unter Druck gesetzt wird und durch einen PIP-Prozess infiltriert
wird, sodass die nach dem CVI-Prozess
verbleibenden Zwischenräume
gefüllt
werden, wodurch die Luftdichtigkeit erhöht wird.
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Weiterhin hält die Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung mit der Halteeinrichtung 12 eine Faserstruktur 11 in
einer wasserdichten Bedingung, nachdem die SiC-Matrix auf der Oberfläche der Struktur
gebildet wurde, und verwendet die Druckzufuhreinrichtung 14,
um ein organisches Siliziumpolymer 8 in der Richtung unter
Druck zu setzen, in der während
der Verwendung der Betriebsruck auf die Faserstruktur wirkt, wobei
durch Anpassung des Gasdrucks das organische Silikonpolymer mit
einem im wesentlichen gleichmäßigen Druck
zu der Faserstruktur zugeführt
werden kann.
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Außerdem kann das organische
Silikonpolymer unter Druck gesetzt und in der Richtung, in der während der
Verwendung der Betriebsdruck wirkt, infiltriert werden, sodass die
Matrix in den Zwischenräumen
in der Matrixphase gebildet wird, wodurch die nach dem CVI-Prozess
verbleibenden Zwischenräume
gefüllt
werden können
und die Luftdichtigkeit der Struktur erhöht werden kann. Außerdem kann
die Entgasungseinrichtung 16 einen Oberflächenteil
des organischen Silikonpolymers, der viele Gasblasen enthält, entfernen,
sodass folglich ein blasenfreies und gleichmäßiges organisches Silikonpolymer
vorzugsweise in die Zwischenräume
in der Matrixphase gefüllt
werden kann, wodurch eine äußerst luftdichte Matrix
erzeugt werden kann.
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Das Verfahren und die Vorrichtung
zur Herstellung eines Verbundgliedes auf Keramikbasis gemäß der vorliegenden
Erfindung können
also die Luftdichtigkeit des Glieds innerhalb einer kurzen Herstellungszeit
verbessern, um ein mit ausgezeichneten Eigenschaften versehenes
Glied für
Schubkammern usw. praktisch verwendbar zu machen.