DE4239391C2 - Gegenstände aus Aluminium, Magnesium oder Titan mit einer mit Fluorpolymeren gefüllten Oxidkeramikschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents
Gegenstände aus Aluminium, Magnesium oder Titan mit einer mit Fluorpolymeren gefüllten Oxidkeramikschicht und Verfahren zu ihrer HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung
von Oxidkeramik-Fluorpolymer-Schichtverbunden auf Gegen
ständen aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren
Legierungen, insbesondere von Leichtmetall-Bauteilen
die in der Turbopumpen- und Turbinentechnik eingesetzt
werden sowie die damit erhaltenen neuen Gegenstände.
Für schnellaufende rotierende Teile, die mit korrosiv
wirkenden Medien in Berührung kommen, wird auf Metalle
zurückgegriffen, die entweder selbst chemisch sehr be
ständig aber damit teuer sind oder es werden Beschich
tungsverfahren angewendet. Rotor und Stator von Turbo
molekularpumpen, die bei Drehzahlen zwischen 25 000
und 60 000 U/min arbeiten, werden beispielsweise aus
Leichtmetallegierungen gefertigt und zum Schutz gegen
Verschleiß- und Korrosionserscheinungen durch Gas-
Feststoff-Flüssigkeits-Reaktionen in einem wäßrigen
Elektrolyten anodisch oxidiert. Rotoren von Turbomole
kularpumpen mit diesen Schutz schichten hatten bei dem
Test, bei dem plasmaaktiviertes Chlor gepumpt wird
zwar schon erheblich höhere Standzeiten als mit ande
ren Schutzschichten, genügten aber noch nicht voll
ständig den hohen Anforderungen unter den Betriebsbe
dingungen des Plasmaätzens von Aluminium oder Alumi
niumlegierungen mit chlorhaltigen Gasen, das bei
der Herstellung von Mikroelektronikteilchen üblich
ist.
Auch in der Luft- und Raumfahrttechnik werden viel
fach Leichtmetalle eingesetzt, wie auch neuerdings
Magnesium und Magnesiumlegierungen (Schriftenreihe
Praxisforum 12/88: "Neue Werkstoffe und Oberflä
chenschichten bei Metallen und Polymeren in Ent
wicklung und Anwendung". N. Zeuner, G. Betz "Neue
Magnesiumlegierungen für die Luftfahrt- und Auto
mobilindustrie").
Es ist bekannt, auf sperrschichtbildenden Metallen
oder deren Legierungen durch plasmachemische anodische
Oxidation in wäßrig-organischen Elektrolyten Oxid
keramikschichten herzustellen. (P. Kurze; Dechema-
Monographien Band 121 - VCH Verlagsgesellschaft 1990,
Seite 167-180 mit weiteren Literaturhinweisen). Der
Aufbau solcher Oxidkeramikschichten ist in der Ab
bildung schematisch dargestellt:
Auf dem Metall 1, z. B. Aluminium, befindet sich eine
dünne festhaftende Sperrschicht 2, die etwa bis 1 µ
dick, dicht und mit dem Grundmetall 1 sehr fest ver
bunden ist. Daran schließt sich eine aufgesinterte
porenarme Oxidkeramikschicht 3 an. Weil die Schmelze
der Oxidkeramikschicht 3 zum Elektrolyten hin schnell
durch den Elektrolyten abgekühlt wird, hinterlassen
die noch abwandernden Gase, insbesondere Sauerstoff
und Wasserdampf, eine Oxidkeramikschicht 4 mit einem
weitmaschig verknüpften Kapillarsystem. Aus raster
elektronenmikroskopischen Untersuchungen wurden
Porendurchmesser von 0,1 µm bis 30 µm bestimmt
(CERAMIC COATINGS BY ANODIC SPARK DEPOSITION G.P.
Wirtz et al, MATERIALS & MANUFACTURING PROCESSES 6
(1) , 87-115 (1991) , insbesondere Fig. 12).
Diese vorbekannten Keramikschichten haben insgesamt Dicken bis maximal
30 µm, die für die meisten Verwendungen als Verschleiß- und Korrosionsschutz
schichten unzureichend sind.
Mit Verbesserungen des Verfahrens der anodischen Oxidation unter Funkenent
ladung, die Gegenstand der gleichzeitig eingereichten Patentanmeldung
P 41 39 006 der gleichen Anmelderin mit dem Titel "Verfahren zur Erzeugung
von Oxidkeramikschichten auf sperrschichtbildenden Metallen" sind, gelingt es
u. a. auch auf Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legierungen
Oxidkeramikschichten zu erzeugen, die wesentlich höhere Schichtdicken bis zu
150 µm haben und sehr abriebfest und korrosionsbeständig sind. Dieses
Verfahren wird ausdrücklich in die Offenbarung der vorliegenden
Patentanmeldung mit einbezogen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, für hochbelastete Bauteile aus Alumi
nium, Magnesium, Titanium oder deren Legierungen Schutzschichten zu schaffen,
die auch unter extremen Bedingungen korrosionsbeständig und äußerst ver
schleißfest sind. Das gilt insbesondere für turbulent umströmte Leichtmetallbau
teile, z. B. Rotoren von Pumpen mit hohen Drehzahlen wie Turbomolekularpum
pen, Turbinenschaufeln, Turbolader, die Außenhaut von Flugzeugen und Rake
ten, aber auch für Spezialteile der Vakuumtechnik und der Plasmatechnik, Wal
zen für Koronaentladungen oder Ultraschallsonotroden.
Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß man in die äußere Oxidkeramikschicht
von Gegenständen aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legierun
gen, die bereits in an sich bekannter Weise mit einer Oxidkeramikschicht mit
einem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem versehen wurden, Fluorpolymere
einer Teilchengröße von 10 bis 50 nm einbringt und den Gegenstand mit dem
so vorgefüllten Kapillarsystem wechselnden Druckbedingungen aussetzt.
Vorzugsweise geschieht das mit Gegenständen, die nach dem oben erwähnten
Verfahren der gleichzeitig eingereichten Patentanmeldung eine Oxidkeramik
schicht einer Dicke von 40 bis 150, insbesondere 50 bis 120 µm, erhalten haben.
Die Teilchen der Fluorpolymeren müssen wenigstens in einer Dimension kleiner
sein als der Durchmesser der Kapillaren.
Gegenstand der älteren Patentanmeldung DE 41 42 730 A1 ist ein Verfahren zur
Einlagerung von Polymeren in mikroporöse Oberflächen, die durch klassische
anodische Oxidation (ELOXAL-Verfahren) hergestellt wurden. Solche Oberflächen
bestehen aus "einer etwa 0,15 µm dicken zusammenhängenden Unterschicht und
einer Deckschicht, die von senkrecht zur Metall stehenden Kapillaren von 0,01
bis 0,05 µm (10 bis 50 nm) in einem Abstand von etwa 0,3 µm durchsetzt ist".
ELOXAL-Schichten auf Aluminiumwerkstoffen werden hauptsächlich durch
Anodisation in Schwefel-, Phosphor- oder Oxalsäure hergestellt. Dabei wird das
zu beschichtende Werkstück in der Beschichtungszelle, die die entsprechende
Säure enthält, als Anode gepolt. Als Kathode dient im Regelfalle eine
Edelstahlelektrode. Die verwendeten Spannungen liegen bei 20 bis 100 V, je nach
eingesetzten Elektrolyten. In der Regel wird Gleichstrom verwendet. Das
gebräuchlichste Verfahren ist die Hartanodisation in Schwefelsäure unter
Verwendung von Gleichstrom. Sie wird in der Literatur als GS-Verfahren
bezeichnet. Das ELOXAL-Verfahren ist ein rein elektrochemisches Verfahren. Es
entstehen regelmäßig geformte hexagonale Zellen aus Al₂O₃, die jeweils eine
senkrechte Pore enthalten. Die Porendurchmesser liegen bei Schwefelsäure als
Elektrolyt in einem Bereich von 15 nm. Im Falle von Aluminium als Grundmetall
besteht die Oxidschicht aus γ-AluminiumoM.d, ist amorph, glasartig und somit
nicht kristallin, siehe D. Hönicke "Porentextur von anodisch gebildeten
Alumiumoxiden", Aluminium 65 (1989), S. 1154-1158.
Im Gegensatz zur älteren Anmeldung wird erfindungsgemäß eine
Oxidkeramikschicht, die sich auf einer Sperrschicht bildende Metalloberfläche
befindet, mit einem Fluorpolymeren gefüllt.
Die für die Zwecke der Erfindung erforderlichen Dispersionen der
Fluorpolymeren sind bekannt. Als Fluorpolymere eignen sich insbesondere die
Polymeren und Copolymeren von Tetrafluorethylen, Hexafluorpropen,
Vinylidenfluorid, Vinylfluorid und Trifluorchlorethylen. Für die Zwecke der
Erfindung werden Polytetrafluorethylene (PTFE), Polyvinylidenfluorid (PVDF),
Polyvinylfluorid (PVF), Polytnfluorchlorethylen (PCTFE) sowie TFE-Copolymere
bevorzugt. Insbesondere werden Polymere und Copolymere von
Tetrafluorethylen bevorzugt. Bezüglich der Handelsnamen und Einzelheiten der
Herstellungsverfahren dieser Fluorpolymere wird auf Winnacker-Küchler,
Chemische Technolgie, 4. Aufl., Bd. 6, Abschnitt "Kunststoffe", 4.5
Fluorpolymere, S. 407-410 verwiesen.
Die in die äußere Oxidkeramikschicht einzubringenden Teilchen des Fluorpoly
meren oder seiner Vorstufe liegen, sofern es sich nicht um Flüssigkeiten handelt,
zweckmäßig als Lösung oder Suspension in einem geeigneten Lösemittel, z. B.
Wasser, vor. PTFE ist als
wäßrige Dispersion mit Teilchen einer Größe von 0,2
bis 1 µm im Handel. Sofern Pulver oder Suspensionen in
der für die Zwecke der Erfindung erforderlichen
Teilchengröße nicht handelsüblich sind, lassen sie
sich mit geeigneten Koloidmahlverfahren herstellen.
Fluorpolymere werden üblicherweise durch Suspensions-
oder Emulsionspolymerisation hergestellt. PTFE z. B.
wird technisch durch radikalische Polymerisation von
Tetrafluorethylen in vorwiegend wäßriger Flotte
hergestellt, die auch das Katalysatorsystem enthält.
Es ist möglich, die Teilchengröße der für die Zwecke
der Erfindung erforderlichen Fluorpolymeren durch die
Dauer der Polymerisation zu bestimmen und so zu
begrenzen, daß die Polymerteilchen nicht größer werden
als beispielsweise 10 bis 50 nm.
Der Anteil der Fluorpolymeren, insbesondere PTFE, in
der Oxidkeramikschicht ist umso größer je kleiner die
Polymerpartikel sind. In der Praxis verwendet man
daher eine Dispersion mit PTFE-Teilchen einer Größe
von 0,1 bis 10 µm, insbesondere 0,3 bis 5 µm.
Das Einbringen der Teilchen von Fluorpolymeren in
die Poren der Oxidkeramikschicht geschieht in der
Weise, daß der mit Oxidschicht versehene Gegenstand
in Gegenwart einer Dispersion der Teilchen des Fluor
polymeren oder seiner Vorstufe in einem geeigneten
inerten Lösungsmittel wechselnden Druckbedingungen
ausgesetzt wird. Hierfür eignet sich ein Imprägnier
system, bei dem zunächst mittels Vakuum die Luft aus
dem Kapillarsystem der Oxidkeramikschicht entfernt
wird. Das kann in Gegenwart der genannten Polymer
suspension oder -lösung erfolgen oder auch in der
Weise, daß die evakuierte poröse Oxidkeramikschicht im
Vakuum den flüssigen Polymersystemen ausgesetzt
wird. Unter Einwirkung des Vakuums dringen sie in die
Poren ein und werden, nach dem das Vakuum aufgehoben
ist, durch den atmosphärischen Druck in die Poren
gepreßt und erreichen so auch die feinsten Veräste
lungen. Der Wechsel von Vakuum und Druck, der auch
über den atmosphärischen Druck hinausgehen kann, wird
erforderlichenfalls ein oder mehrmals wiederholt. Für
dieses Einbringen der Teilchen von Fluorpolymeren in
die Oxidkeramikschicht der Gegenstände geeignete
Vorrichtungen stehen z. B. in Form des Maldaner-Impräg
niersystems zur Verfügung.
Wenn turbulent umströmte Leichtmetallbauteile erfin
dungsgemäß mit den Fluorpolymeren kraftschlüssig ver
siegelt werden sollen, lassen sich die Betriebsbe
dingungen mit ihren wechselnden Druckbedingungen für
das Einbringen der Fluorpolymeren in das Kapilarsystem
und deren Verdichtung nutzen. Hierzu bedarf es einer
Vorversiegelungsstufe, in der die poröse Oxidkeramik
schicht mit dem Fluorpolymer getränkt wird. Anschlies
send erfolgt eine Endversiegelung, indem das Bauteil
den Betriebsbedingungen der turbulenten Umströmung
ausgesetzt wird. Das kann auch mit einem Schichtverbund
system geschehen, das, wie oben beschrieben, bereits
durch die Einwirkung wechselnder Druckbedingungen in
geeigneten Vorrichtungen erhalten wurde.
Im Fall der Rotoren von Turbomolekularpumpen z. B.
erfolgt die Endversiegelung im Turboraum der Pumpe, wo
durch das Fehlen einer laminaren Unterschicht der
Strömung ungewöhnlich hohe Polymolekularitätsparameter
erreicht werden. Durch die Druckbedingungen im Turbo
raum werden Wasser und Gas aus der Oxidkeramikschicht
mit dem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem ent
fernt und das bereits vorhandene Fluorpolymer kraft
schlüssig verankert. Das Fließverhalten des Polymeren
und seine mögliche Volumenzunahme wie beim PTFE tragen
zur kraftschlüssigen Verankerung des Polymeren bei.
PTFE eignet sich in diesem Fall besonders. Diese
Endversiegelung des Oxidkeramik-Fluorpolymer-Schicht
verbunds erfolgt durch die Injektorwirkung während der
extrem wechselnden Druckverhältnisse und die punktuell
hohen Energiedichten. Es zeigt sich in Schliffbildern
und rasterelektronischmikroskopischen Aufnahmen, daß
nach der Endversiegelung das Kapillarsystem des Oxid
keramik-Polymerschichtverbundes mit den Fluorpolymeren
(5) ausgefüllt ist, wie das schematisch in Fig. 1
dargestellt ist.
Der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren erhaltene Oxid
keramik-Polymerschichtverbund hat zum Metall hin eine
hervorragende Haftung, ist korrosions- und verschleiß
fest, vakuumstabil und weist eine ungewöhnlich hohe
Biegewechselfestigkeit auf, die bei den gebräuchlich
anodisch hergestellten Oxidschichten, z. B. Eloxal
schichten, nicht gegeben ist.
Falls gewünscht, ist es möglich, nicht nur die äußere
Oxidkeramikschicht mit dem weitmaschig verknpüften
Kapillarsystem mit dem Fluorpolymeren auszufüllen,
sondern auch die äußere Oberfläche damit zu bedecken.
Diese Schicht ist über die bis an die Oberfläche rei
chenden Kapillaren in der porösen Oxidkeramikschicht
verankert. Diese Deckschicht aus dem Fluorpolymeren
hat zweckmäßig eine Dicke bis zu 5 µm, insbesondere
von 0,5 bis 2 µm.
Sofern die in die Poren oder die Kapillaren eingebrachten Fluorpolymere dort
und in der oberflächlichen Beschichtung nicht schon als zusammenhängende
Masse und oberflächlich als Kunststoffilm vorliegen, können sie nach den jeweils
bekannten Techniken durch zumindest oberflächliches Erhitzen der Leichtmetall
gegenstände gesintert oder, sofern sie thermoplastisch sind, miteinander ver
schmolzen werden.
Unter Einbeziehung des verbesserten Verfahrens zur anodischen Oxidation unter
Funkenentladung nach der oben erwähnten gleichzeitig eingereichten Patentan
meldung stellt sich das Verfahren zum Aufbringen einer Oxidkeramikpolymer
schicht auf Gegenstände aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legie
rungen insgesamt in der Weise dar, daß der Gegenstand in einem chloridfreien
Elektrolytbad mit einem pH-Wert von 2 bis 8 bei konstanter Stromdichte von
mindestens 1 A/dm² plasmachemisch oxidiert wird, bis sich die Spannung auf
einen Endwert einstellt. Dann werden Elektrolytreste aus der Oxidkeramikschicht
entfernt und anschließend werden in die obere Aluminium-Oxidkeramikschicht
Teilchen von Fluorpolymeren, insbesondere PTFE, eingebracht und der Gegen
stand mit dem vorgefüllten Kapillarsystem wechselnden Druckbedingungen aus
gesetzt.
In dem Spezialfall des Aufbringens einer Oxidkeramik-Polymerschicht auf einen
Rotor für Turbomolekularpumpen wird der Rotor in einem chloridfreien Elektro
lytbad mit einem pH-Wert von 7 bis 8 bei konstanter Stromdichte von mindestens
1 A/dm² plasmachemisch oxidiert bis sich die Spannung auf einen Endwert ein
stellt. Dann werden Elektrolytreste aus der Oxidkeramikschicht entfernt und
anschließend werden in die obere Aluminium-Oxidkeramikschicht Teilchen von
Fluorpolymeren, insbesondere PTFE, eingebracht und der Rotor mit dem mit den
Fluorpolymeren gefüllten Kapillarsystem in der Turbomolekularpumpe den
Betriebsbedingungen ausgesetzt.
Gegenstand der Erfindung sind auch Bauteile mit dem erfindungsgemäß herge
stellten Oxidkeramik-Polymerschichtverbund, die sich dadurch auszeichnen, daß
auf dem Metall (1) eine dünne festhaftende Sperrschicht (2) vorliegt, auf der sich
eine gesinterte dichte Oxidkeramikschicht (3) und darauf eine Oxidkeramik
schicht mit einem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem (4) beflndet, das im
wesentlichen mit Fluorpolymeren (5) gefüllt ist. In der Abbildung ist das schema
tisch dargestellt.
Gegenstand der Erfindung sind ferner Rotoren für Turbomolekularpumpen, Spe
zialteile der Vakuum- oder Plasmatechnik, Walzen für Koronaentladungen, Ultra
schallsonotroden und die Außenhaut von Flugzeugen oder Raketen jeweils aus
Aluminium oder Aluminiumlegierungen mit diesem Aufbau des Oxidkeramik-
Polymer-Schichtverbunds.
Unter Aluminium und dessen Legierungen werden im Rahmen der vorliegenden
Erfindung Reinstaluminium und die Legierungen AlMn; AlMnCu; AlMg1; AlMg1,5;
E-AlMgSi;
AlMgSi0,5; AlZnMgCu0,5; AlZnMgCu1,5; G-AlSi-12;
G-AlSi5Mg; G-AlSi8Cu3; G-AlCu4Ti; G-AlCu4TiMg ver
standen.
Für die Zwecke der Erfindung eignen sich ferner außer
Reinmagnesium insbesondere die Magnesiumgußlegierungen
der ASTM-Bezeichnungen AS41, AM60, AZ61, AZ63, AZ81,
AZ91, AZ92, HK31, QE22, ZE41, ZH62, ZK51, ZK61, EZ33,
HZ32 sowie die Knetlegierungen AZ31, AZ61, AZ 80, M1,
ZK60, ZK40.
Des weiteren lassen sich Reintitanium oder auch Titan
legierungen wie TiAl6V4; TiAl5Fe2,5 u. a. einsetzen.
Ein Rotor einer Turbomolekularpumpe aus einer Metall
legierung (1) AlMgSi1 mit einer Oberfläche von 25dm2
wird entfettet, 30 s in 10%iger NaOH bei Raumtemperatur
gebeizt und in destilliertem Wasser gespült.
Anschließsend wird der Rotor in einem chloridfreien
Elektrolytbad, das einen pH-Wert von 7,6 und die fol
gende Zusammensetzung hat,
0,13 mol/l Natriumionen
0,28 mol/l Ammoniumionen
0,214 mol/l Phosphationen
0,238 mol/l Borationen
0,314 mol/l Fluoridionen
0,6 mol/l Hexamethylentetramin
0,28 mol/l Ammoniumionen
0,214 mol/l Phosphationen
0,238 mol/l Borationen
0,314 mol/l Fluoridionen
0,6 mol/l Hexamethylentetramin
bei einer Stromdichte von 4 A/dm² und einer Elektro
lyttemperatur von 12°C ± 2°C bis zu einem sich von
selbst einstellenden Spannungsendwert von 253 V 40 min
lang mittels plasmachemischer anodischer Oxidation
beschichtet und anschließend intensiv mit destilliertem
Wasser gespült. Die aufgesinterte porenarme Oxidkeramik
schicht (3) ist 10 µm und die Oxidkeramikschicht mit
dem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem (4) 28 µm
stark.
Der jetzt so behandelte Rotor wird mit Polymer (5)
vorversiegelt. Dazu wird er in eine wäßrige anionische
PTFE-Dispersion mit einer Teilchengröße von 0,3 µm
unter Bewegung 1 min getaucht. Anschließend wird mit
fließend heißem Wasser (90°C) abgespült und warmluft
getrocknet.
Der vorversiegelte Rotor wird bei einer Maximalum
drehungszahl von 60 000 U/min in einem Ätzer einge
setzt. Die Endversiegelung ist nach ca. 10 h beendet.
Die Standzeit des nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
behandelten Rotors erhöht sich um mehr als auf das
4-fache gegenüber einem Rotor, der nur mit einem
vorbekannten anodischen plasmachemischen Verfahren
eine Oxidkeramikschicht erhalten hat.
Die Oberfläche einer Walze aus der Legierung AlMgSi1
mit einem Durchmesser von 150 mm und einer Länge
von 400 mm wird im Elektrolyten von Beispiel 1 bei
einer Stromdichte von 2 A/dm² plasmachemisch anodisch
oxidiert. Die Schichtdicke der Oxidkeramikschicht be
trägt 50 µm. Anschließend wird die beschichtete Walze
mit destilliertem Wasser gespült, um die Elektrolyt
reste zu entfernen. Die noch feuchte plasmachemisch
anodisch oxidierte Walze wird in einer wäßrigen PTFE-
Dispersion mit einer Teilchengröße der PTFE-Teilchen
von 1 bis 5 µm 5 Minuten bei Raumtemperatur getränkt,
anschließend mit Wasser gespült und getrocknet. Die
Walze wird im technologischen Prozeß Koronaentladungen
ausgesetzt. Die mit PTFE getränkte Keramikschicht ist
gegenüber Koronaentladungen stabil.
Ein Verdichterrad aus der Legierung AlCu2Mg1,5 NiFe
mit einer Oberfläche von 100 dm² wird im Elektrolyten
wie in Beispiel 1 beschrieben bei 1 A/dm² plasmache
misch anodisch oxidiert. Die Schichtdicke der Oxid
keramikschicht beträgt 45 µm.
Anschließend wird mit destilliertem Wasser gespült,
um die Elektrolyreste zu entfernen. Das noch feuchte
plasmachemisch anodisch oxidierte Verdichterrad wird
in einer wäßrigen PTFE-Dispersion (Teilchengröße 1 µm
bis 5 µm) 5 Minuten bei Raumtemperatur getränkt, an
schließend mit Wasser gespült und getrocknet. Die
Standzeit des Verdichterrades erhöhte sich um den
Faktor 4 im Vergleich zu anderen konventionellen Be
schichtungen.
Eine Ultraschallsonotrode aus AlZnMgCu1,5 mit einer
Oberfläche von 6,4 dm² wird entfettet und anschlie
ßend mit destilliertem Wasser gespült.
Die so behandelte Ultraschallsonotrode wird in einem
wäßrig/organischen chloridfreien Elektrolytbad gemäß
Beispiel 1 bei einer Stromdichte von 3,5 A/dm² und
einer Elektrolyttemperatur von 15°C plasmachemisch
anodisch oxidiert. Nach einer Beschichtungszeit von
25 Minuten wird der Spannungsendwert von 250 Volt er
reicht.
Die keramisierte Ultraschallsonotrode wird mit Wasser
gespült und im nassen Zustand in eine wäßrige PTFE
Dispiersion mit einer mittleren Teilchengröße von
0,3 µm dreimal 1 Minute getaucht und jeweils mit
heißem Wasser (60°C) zwischengespült. Anschließend
wird mit fließend heißem Wasser (60°C) abgespült
und warmluftgetrocknet.
Die Schichtdicke der mit Fluorpolymer gefüllten Oxid
keramikschicht beträgt 30 µm. Die Ultraschallsono
trode zeigt bei Einsatz keine Rißbildung in der Oxid
keramikschicht so wie es vergleichbar mit aufgebrach
ten Eloxalschichten erwiesen ist.
Claims (12)
1. Gegenstand aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legie
rungen mit einer dünnen, fest haftenden Sperrschicht (2) auf dem
Metall (1), auf der sich eine gesinterte dichte Oxidkeramikschicht (3)
und darauf eine Oxidkeramikschicht mit einem weitmaschig verknüpf
ten Kapillarsystem (4) befindet, die durch plasmachemische anodische
Oxidation aufgebracht wurden, dadurch gekennzeichnet, daß in das
weitmaschig verknüpfte Kapillarsystem Fluorpolymere (5) einer Teil
chengröße von 10 bis 50 nm eingebracht sind.
2. Gegenstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Fluor
polymer ein Polymeres oder Copolymeres von Tetrafluorethylen ist.
3. Gegenstand nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Oxidkeramikschicht eine Dicke von 40 bis 150 µm, vorzugsweise 50 bis
120 µm, hat.
4. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeich
net, daß die Oberfläche der Oxidkeramikschicht (4) mit einer Schicht
des Fluorpolymeren bedeckt ist, die mit dem Fluorpolymeren in den
äußeren Kapillaren verbunden und in den Kapillaren verankert ist.
5. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich
net, daß er ein Rotor aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen für
Turbomolekularpumpen ist.
6. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich
net, daß er ein Turbolader aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen
für Dieselmotoren oder Benzinmotoren ist.
7. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich
net, daß er ein Bauteil der Vakuum- oder Plasmatechnik aus Aluminium
oder Aluminiumlegierungen ist.
8. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich
net, daß er eine Walze für Koronaentladungen aus Aluminium oder
Aluminiumlegierungen ist.
9. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich
net, daß er eine Ultraschallsonotrode aus Aluminium oder Aluminium
legierungen ist.
10. Verfahren zur Herstellung von Gegenständen nach einem der Ansprü
che 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß man in die obere Oxidkera
mikschicht (3) die Teilchen des Fluorpolymeren einbringt und den
Gegenstand mit dem so gefüllten Kapillarsystem wechselnden Druck
bedingungen aussetzt.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Oxid
keramikschicht durch plasmachemische Oxidation der Gegenstände in
einem chloridfreien Elektrolytbad mit einem pH-Wert von 2 bis 8 bei
konstanter Stromdichte von mindestens 1 A/dm² bis zur Einstellung der
Spannung auf einen Endwert erzeugt wurde.
12. Verfahren zum Aufbringen von einer Oxidkeramik-Polymer-Schicht auf
einen Rotor aus Aluminium oder Aluminiumlegierung für Turbomoleku
larpumpen nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Rotor in
einem chloridfreien Elektrolytbad mit einem pH-Wert von 7 bis 8 bei
konstanter Stromdichte von mindestens 1 A/dm² plasmachemisch oxi
diert wird, bis sich die Spannung auf einen Endwert einstellt, daß Elek
trolytreste aus der Oxidkeramikschicht (3) entfernt werden und daß
anschließend in die obere Aluminiumoxidkeramikschicht die Teilchen
von Fluorpolymeren eingebracht werden und daß der Rotor mit dem
mit Fluorpolymeren gefüllten Kapillarsystem in der Turbomolekular
pumpe den Betriebsbedingungen ausgesetzt wird.
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