CH690174A5 - Gegenstand aus Aluminium, Magnesium oder Titanium oder deren Legierungen und Verfahren zu dessen Herstellung. - Google Patents

Description

  
 



  Die Erfindung betrifft einen Gegenstand aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legierungen und ein Verfahren zu dessen Herstellung. 



  Für schnellaufende rotierende Teile, die mit korrosiv wirkenden Medien in Berührung kommen, wird auf Metalle zurückgegriffen, die entweder selbst chemisch sehr beständig aber damit teuer sind oder es werden Beschichtungsverfahren angewendet. Rotor und Stator von Turbomolekularpumpen, die bei Drehzahlen zwischen 25 000 und 60 000 U/min arbeiten, werden beispielsweise aus Leichtmetallegierungen gefertigt und zum Schutz gegen Verschleiss- und Korrosionserscheinungen durch Gas-Feststoff-Flüssigkeits-Reaktionen in einem wässrigen Elektrolyten anodisch oxidiert.

   Rotoren von Turbomolekularpumpen mit diesen Schutzschichten hatten bei dem Test, bei dem plasmaaktiviertes Chlor gepumpt wird zwar schon erheblich höhere Standzeiten als mit anderen Schutzschichten, genügten aber noch nicht vollständig den hohen Anforderungen unter den Betriebsbedingungen des Plasmaätzens von Aluminium oder Aluminiumlegierungen mit chlorhaltigen Gasen, das bei der Herstellung von Mikroelektronikteilchen üblich ist. 



  Auch in der Luft- und Raumfahrttechnik werden vielfach Leichtmetalle eingesetzt, wie auch neuerdings Magnesium und Magnesiumlegierungen (Schriftenreihe Praxisforum 12/88: "Neue Werkstoffe und Oberflächenschichten bei Metallen und Polymeren in Entwicklung und Anwendung". N. Zeuner, G. Betz "Neue Magnesiumlegierungen für die Luftfahrt- und Automobilindustrie"). 



  Es ist bekannt, auf sperrschichtbildenden Metallen oder deren Legierungen durch plasmachemische anodische Oxidation in wässrig-organischen Elektrolyten Oxidkeramikschichten herzustellen. (P. Kurze; Dechema-Monographien Band 121 - VCH Verlagsgesellschaft 1990, Seite 167-180 mit weiteren Literaturhinweisen). Der Aufbau solcher Oxidkeramikschichten ist in der Abbildung schematisch dargestellt: 



  Auf dem Metall 1, z.B. Aluminium, befindet sich eine dünne festhaftende Sperrschicht 2, die etwa bis 1  mu m dick, dicht und mit dem Grundmetall 1 sehr fest verbunden ist. Daran schliesst sich eine aufgesinterte porenarme Oxidkeramikschicht 3 an. Weil die Schmelze der Oxidkeramikschicht 3 zum Elektrolyten hin schnell durch den Elektrolyten abgekühlt wird, hinterlassen die noch abwandernden Gase, insbesondere Sauerstoff und Wasserdampf, eine Oxidkeramikschicht 4 mit einem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem. Aus rasterelektronenmikroskopischen Untersuchungen wurden Porendurchmesser von 0,1  mu m bis 30  mu m bestimmt   (CERAMIC COATINGS BY ANODIC SPARK     DEPOSITION G.P. Wirtz et al, MATERIALS &   MANUFACTURING PROCESSES 6 (1), 87-115 (1991), insbesondere Fig. 12). 



  Diese vorbekannten Keramikschichten haben insgesamt Dicken bis maximal 30  mu m, die für die meisten Verwendungen als Verschleiss- und Korrosionsschutzschichten unzureichend sind. 



  Mit Verbesserungen des Verfahrens der anodischen Oxidation unter Funkenentladung, die Gegenstand der gleichzeitig eingereichten europäischen Patentanmeldung Nr. 0 545 230 A1 der gleichen Anmelderin mit dem Titel "Verfahren zur Erzeugung von Oxidkeramikschichten auf sperrschichtbildenden Metallen" sind, gelingt es u.a. auch auf Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legierungen Oxidkeramikschichten zu erzeugen, die wesentlich höhere Schichtdicken bis zu 150  mu m haben und sehr abriebfest und korrosionsbeständig sind. Dieses Verfahren wird ausdrücklich in die Offenbarung der vorliegenden Patentanmeldung mit einbezogen. 



  Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, für hochbelastete Bauteile aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legierungen Schutzschichten zu schaffen, die auch unter extremen Bedingungen korrosionsbeständig und äusserst verschleissfest sind. Das gilt insbesondere für turbulent umströmte Leichtmetallbauteile, z.B. Rotoren von Pumpen mit hohen Drehzahlen wie Turbomolekularpumpen, Turbinenschaufeln, Turbolader, die Aussenhaut von Flugzeugen und Raketen, aber auch für Spezialteile der Vakuumtechnik und der Plasmatechnik, Walzen für Koronaentladungen oder Ultraschallsonotroden. 



  Gelöst wird diese Aufgabe durch die in den unabhängigen Ansprüchen definierten Merkmale. 



  Vorzugsweise geschieht das mit Gegenständen, die nach dem oben erwähnten Verfahren der europäischen Patentanmeldung Nr. 0 545 230 A1 eine Oxideramikschicht einer Dicke von 40 bis 150, insbesondere 50 bis 120  mu m erhalten haben. 



  Als Fluorpolymere eignen sich insbesondere die Polymeren und Copolymeren von Tetrafluorethylen, Hexafluorpropen, Vinylidenfluorid, Vinylfluorid und Trifluorchlorethylen. Für die Zwecke der Erfindung werden Polytetrafluorethylene (PTFE), Polyvinylidenfluorid (PVDF), Polyvinylfluorid (PVF), Polytrifluorchlorethylen (PCTFE) sowie TFE-Copolymere bevorzugt. Bezüglich der Handelsnamen und Einzelheiten der Herstellungsverfahren dieser Fluorpolymere wird auf Winnacker-Küchler, Chemische Technologie, 4. Aufl., Bd. 6, Abschnitt "Kunststoffe", 4.5 Fluorpolymere, S. 407-410 verwiesen. 



  Die in die äussere Oxidkeramikschicht einzubringenden Teilchen des Fluorpolymeren oder seiner Vorstufe liegen, sofern es sich nicht um Flüssigkeiten handelt, zweckmässig als Lösung oder Suspension in einem geeigneten Lösemittel, z.B. Wasser, vor. PTFE ist als  wässrige Dispersion mit Teilchen einer Grösse von 0,2 bis 1  mu m im Handel. Sofern Pulver oder Suspensionen in der für die Zwecke der Erfindung erforderlichen Teilchengrösse nicht handelsüblich sind, lassen sie sich mit geeigneten Koloidmahlverfahren herstellen. Fluorpolymere werden üblicherweise durch Suspensions- oder Emulsionspolymerisation hergestellt. PTFE z.B. wird technisch durch radikalische Polymerisation von Tetrafluorethylen in vorwiegend wässriger Flotte hergestellt, die auch das Katalysatorsystem enthält.

   Es ist möglich, die Teilchengrösse der für die Zwecke der Erfindung erforderlichen Fluorpolymeren durch die Dauer der Polymerisation zu bestimmen und so zu begrenzen, dass die Polymerteilchen nicht grösser werden als beispielsweise 10 bis 50 nm. 



  Der Anteil der Fluorpolymeren, insbesondere PTFE, in der Oxidkeramikschicht ist um so grösser je kleiner die Polymerpartikel sind. In der Praxis verwendet man daher eine Dispersion mit PTFE-Teilchen einer Grösse von 0,1 bis 10  mu m, insbesondere 0,3 bis 5  mu m. 



  Das Einbringen der Teilchen von Fluorpolymeren in die Poren der Oxidkeramikschicht geschieht in der Weise, dass der mit Oxidschicht versehene Gegenstand in Gegenwart einer Dispersion der Teilchen des Fluorpolymeren oder seiner Vorstufe in einem geeigneten inerten Lösungsmittel wechselnden Druckbedingungen ausgesetzt wird. Hierfür eignet sich ein Imprägniersystem, bei dem zunächst mittels Vakuum die Luft aus dem Kapillarsystem der Oxidkeramikschicht entfernt wird. Das kann in Gegenwart der genannten Polymersuspension oder    -lösung erfolgen oder auch in der  Weise, dass die evakuierte poröse Oxidkeramikschicht im Vakuum den flüssigen Polymersystemen ausgesetzt wird. Unter Einwirkung des Vakuums dringen sie in die Poren ein und werden, nach dem das Vakuum aufgehoben ist, durch den atmosphärischen Druck in die Poren gepresst und erreichen so auch die feinsten Verästelungen.

   Der Wechsel von Vakuum und Druck, der auch über den atmosphärischen Druck hinausgehen kann, wird erforderlichenfalls ein oder mehrmals wiederholt. Für dieses Einbringen der Teilchen von Fluorpolymeren in die Oxidkeramikschicht der Gegenstände geeignete Vorrichtungen stehen z.B. in Form des Maldaner-Imprägniersystems zur Verfügung. 



  Wenn turbulent umströmte Leichtmetallbauteile erfindungsgemäss mit den Fluorpolymeren kraftschlüssig versiegelt werden sollen, lassen sich die Betriebsbedingungen mit ihren wechselnden Druckbedingungen für das Einbringen der Fluorpolymeren in das Kapilarsystem und deren Verdichtung nutzen. Hierzu bedarf es einer Vorversiegelungsstufe, in der die poröse Oxidkeramikschicht mit dem    Fluorpolymer getränkt wird. Anschliessend erfolgt eine Endversiegelung, indem das Bauteil den Betriebsbedingungen der turbulenten Umströmung ausgesetzt wird. Das kann auch mit einem Schichtverbundsystem geschehen, das, wie oben beschrieben, bereits durch die Einwirkung wechselnder Druckbedingungen in geeigneten Vorrichtungen erhalten wurde. 



  Im Fall der Rotoren von Turbomolekularpumpen z.B. erfolgt die Endversiegelung im Turboraum der Pumpe, wo durch das Fehlen einer laminaren Unterschicht der Strömung ungewöhnlich hohe Polymolekularitätsparameter  erreicht werden. Durch die Druckbedingungen im Turboraum werden Wasser und Gas aus der Oxidkeramikschicht mit dem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem entfernt und das bereits vorhandene Fluorpolymer kraftschlüssig verankert. Das Fliessverhalten des Polymeren und seine mögliche Volumenzunahme wie beim PTFE tragen zur kraftschlüssigen Verankerung des Polymeren bei. PTFE eignet sich in diesem Fall besonders. Diese Endversiegelung des Oxidkeramik-   Fluorpolymer-Schichtverbunds erfolgt durch die Injektorwirkung während der extrem wechselnden Druckverhältnisse und die punktuell hohen Energiedichten.

   Es zeigt sich in Schliffbildern und rasterelektronischmikroskopischen Aufnahmen, dass nach der Endversiegelung das Kapillarsystem des Oxidkeramik-Polymerschichtverbundes mit den Fluorpolymeren (5) ausgefüllt ist, wie das schematisch in Fig. 1 dargestellt ist. 



  Der mit dem erfindungsgemässen Verfahren erhaltene Oxidkeramik-Polymerschichtverbund hat zum Metall hin eine hervorragende Haftung, ist korrosions- und verschleissfest, vakuumstabil und weist eine ungewöhnlich hohe Biegewechselfestigkeit auf, die bei den gebräuchlich anodisch hergestellten Oxidschichten, z.B. Eloxalschichten, nicht gegeben ist. 



  Falls gewünscht, ist es möglich, nicht nur die äussere Oxidkeramikschicht mit dem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem mit dem Fluorpolymeren auszufüllen, sondern auch die äussere Oberfläche damit zu bedecken. Diese Schicht ist über die bis an die Oberfläche reichenden Kapillaren in der porösen Oxidkeramikschicht verankert. Diese Deckschicht aus dem Fluorpolymeren hat zweckmässig eine Dicke bis zu 5  mu m, insbesondere von 0,5 bis 2  mu m. 



  Sofern die in die Poren oder die Kapillaren eingebrachten Fluorpolymere dort und in der oberflächlichen Beschichtung nicht schon als zusammenhängende Masse und oberflächlich als Kunststofffilm vorliegen, können sie nach den jeweils bekannten Techniken durch zumindest oberflächliches Erhitzen der Leichtmetallgegenstände gesintert oder, sofern sie thermoplastisch sind, miteinander verschmolzen werden. 



  Unter Einbeziehung des verbesserten Verfahrens zur anodischen Oxidation unter Funkenentladung nach der oben erwähnten gleichzeitig eingereichten Patentanmeldung stellt sich das Verfahren zum Aufbringen einer Oxidkeramikpolymerschicht auf Gegenstände aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legierungen insgesamt in der Weise dar, dass der Gegenstand in einem chloridfreien Elektrolytbad mit einem pH-Wert von 2 bis 8 bei konstanter Stromdichte von mindestens 1 A/dm<2> plasmachemisch oxidiert wird, bis sich die Spannung auf einen Endwert einstellt.

   Dann werden Elektrolytreste aus der Oxidkeramikschicht entfernt und anschliessend werden in die obere Aluminium-Oxidkeramikschicht mit dem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem Teilchen von Fluorpolymeren, insbesondere PTFE, die wenigstens in einer Dimension kleiner sind als der Durchmesser der Kapillaren, eingebracht und der Gegenstand mit dem vorgefüllten Kapillarsystem wechselnden Druckbedingungen ausgesetzt. 



  In dem Spezialfall des Aufbringens einer Oxidkeramik-Polymerschicht auf einen Rotor für Turbomolekularpumpen wird der Rotor in einem chloridfreien Elektrolytbad mit einem pH-Wert von 7 bis 8 bei konstanter  Stromdichte von mindestens 1 A/dm<2> plasmachemisch oxidiert bis sich die Spannung auf einen Endwert einstellt. Dann werden Elektrolytreste aus der Oxidkeramikschicht entfernt und anschliessend werden in die obere Aluminium-Oxidkeramikschicht mit dem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem Teilchen von Fluorpolymeren, insbesondere PTFE, die wenigstens in einer Dimension kleiner sind als der Durchmesser der Kapillaren, eingebracht und der Rotor mit dem mit PTFE gefüllten Kapillarsystem in der Turbomolekularpumpe den Betriebsbedingungen ausgesetzt. 



  Gegenstand der Erfindung sind auch Bauteile mit dem erfindungsgemäss hergestellten Oxidkeramik-Polymerschichtverbund, die sich dadurch auszeichnen, dass auf dem Metall (1) eine dünne festhaftende Sperrschicht (2) vorliegt, auf der sich eine gesinterte dichte Oxidkeramikschicht (3) und darauf eine Oxidkeramikschicht mit einem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem (4) befindet, das im Wesentlichen mit Fluorpolymeren (5) gefüllt ist. In der Abbildung ist das schematisch dargestellt. 



  Gegenstand der Erfindung sind ferner Rotoren für Turbomolekularpumpen, Spezialteile der Vakuum- oder Plasmatechnik, Walzen für Koronaentladungen, Ultraschallsonotroden und die Aussenhaut von Flugzeugen oder Raketen jeweils aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen mit diesem Aufbau des Oxidkeramik-Polymer-Schichtverbunds. 



  Unter Aluminium und dessen Legierungen werden im Rahmen der vorliegenden Erfindung Reinstaluminium und die Legierungen AlMn; AlMnCu; AlMgl; AlMg1,5; E-AlMgSi;  AlMgSi0,5; A1ZnMgCu0,5; AlZnMgCu1,5; G-AlSi-12;   G-AlSi5Mg; G-AlSi8Cu3; G-AlCu4Ti; G-AlCu4TiMg verstanden. 



  Für die Zwecke der Erfindung eignen sich ferner ausser Reinmagnesium insbesondere die Magnesiumgusslegierungen der ASTM-Bezeichnungen AS41, AM60, AZ61, AZ63, AZ81, AZ91, AZ92, HK31, QE22, ZE41, ZH62, ZK51, ZK61, EZ33, HZ32 sowie die Knetlegierungen AZ31, AZ61, AZ 80, M1, ZK60, ZK40. 



  Des Weiteren lassen sich Reintitanium oder auch Titanlegierungen wie TiA16V4; TiA15Fe2,5 u.a. einsetzen. 


 Beispiel 1 
 



  Ein Rotor einer Turbomolekularpumpe aus einer Metalllegierung (1) AlMgSi1 mit einer Oberfläche von 25 dm<2> wird entfettet, 30 s in 10%iger NaOH bei Raumtemperatur gebeizt und in destilliertem Wasser gespült. Anschliessend wird der Rotor in einem chloridfreien Elektrolytbad, das einen pH-Wert von 7,6 und die folgende Zusammensetzung hat,
 
 0,13 mol/l Natriumionen
 0,28 mol/l Ammoniumionen
 0,214 mol/l Phosphationen
 0,238 mol/l Borationen
 0,314 mol/l Fluoridionen
 0,6 mol/l Hexamethylentetramin
 
 bei einer Stromdichte von 4 A/dm<2> und einer Elektrolyttemperatur von 12 DEG C +/- 2 DEG C bis zu einem sich von selbst einstellenden Spannungsendwert von 253 V 40 min  lang mittels plasmachemischer anodischer Oxidation beschichtet und anschliessend intensiv mit destilliertem Wasser gespült.

   Die aufgesinterte porenarme Oxidkeramikschicht (3) ist    10  mu m und die Oxidkeramikschicht mit dem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem (4) 28  mu m stark. 



  Der jetzt so behandelte Rotor wird mit Polymer (5) vorversiegelt. Dazu wird er in eine wässrige anionische PTFE-Dispersion mit einer Teilchengrösse von 0,3  mu m unter Bewegung 1 min getaucht. Anschliessend wird mit fliessend heissem Wasser (90 DEG C) abgespült und warmluftgetrocknet. 



  Der vorversiegelte Rotor wird bei einer Maximalumdrehungszahl von 60 000 U/min in einem Ätzer eingesetzt. Die Endversiegelung ist nach ca. 10 h beendet. Die Standzeit des nach dem erfindungsgemässen Verfahren behandelten Rotors erhöht sich um mehr als auf das 4fache gegenüber einem Rotor, der nur mit einem vorbekannten anodischen plasmachemischen Verfahren eine Oxidkeramikschicht erhalten hat. 


 Beispiel 2 
 



  Die Oberfläche einer Walze aus der Legierung AlMgSi1 mit einem Durchmesser von 150 mm und einer Länge von 400 mm wird im Elektrolyten von Beispiel 1 bei einer Stromdichte von 2 A/dm<2> plasmachemisch anodisch oxidiert. Die Schichtdicke der Oxidkeramikschicht beträgt 50  mu m. Anschliessend wird die beschichtete Walze mit destilliertem Wasser gespült, um die Elektrolytreste zu entfernen. Die noch feuchte plasmachemisch  anodisch oxidierte Walze wird in einer wässrigen PTFE-Dispersion mit einer Teilchengrösse der PTFE-Teilchen von 1 bis 5  mu m 5 Minuten bei Raumtemperatur getränkt, anschliessend mit Wasser gespült und getrocknet. Die Walze wird im technologischen Prozess Koronaentladungen ausgesetzt. Die mit PTFE getränkte Keramikschicht ist gegenüber Koronaentladungen stabil. 


 Beispiel 3 
 



  Ein Verdichterrad aus der Legierung AlCu2Mg1,5 NiFe mit einer Oberfläche von 100 dm<2> wird im Elektrolyten wie in Beispiel 1 beschrieben bei       1 A/dm<2> plasmachemisch anodisch oxidiert. Die Schichtdicke der Oxidkeramikschicht beträgt 45  mu m. Anschliessend wird mit destilliertem Wasser gespült, um die Elektrolyreste zu entfernen. Das noch feuchte plasmachemisch anodisch oxidierte Verdichterrad wird in einer wässrigen PTFE-Dispersion (Teilchengrösse 1  mu m bis 5  mu m) 5 Minuten bei Raumtemperatur getränkt, anschliessend mit Wasser gespült und getrocknet. Die Standzeit des Verdichterrades erhöhte sich um den Faktor 4 im Vergleich zu anderen konventionellen Beschichtungen. 


 Beispiel 4 
 



  Eine Ultraschallsonotrode aus AlZnMgCu1,5 mit einer Oberfläche von 6,4 dm<2> wird entfettet und anschliessend mit destilliertem Wasser gespült. 



  Die so behandelte Ultraschallsonotrode wird in einem wässrig/organischen chloridfreien Elektrolytbad gemäss Beispiel 1 bei einer Stromdichte von 3,5 A/dm<2> und  einer Elektrolyttemperatur von 15 DEG C plasmachemischanodisch oxidiert. Nach einer Beschichtungszeit von 25 Minuten wird der Spannungsendwert von 250 Volt erreicht. 



  Die keramisierte Ultraschallsonotrode wird mit Wasser gespült und im nassen Zustand in eine wässrige PTFE Dispiersion mit einer mittleren Teilchengrösse von 0,3  mu m dreimal 1 Minute getaucht und jeweils mit heissem Wasser (60 DEG C) zwischengespült. Anschliessend wird mit fliessend heissem Wasser (60 DEG C) abgespült und warmluftgetrocknet. 



  Die Schichtdicke der mit Fluorpolymer gefüllten Oxidkeramikschicht beträgt 30  mu m. Die Ultraschallsonotrode zeigt bei Einsatz keine Rissbildung in der Oxidkeramikschicht so wie es vergleichbar mit aufgebrachten Eloxalschichten erwiesen ist. 

Claims (12)

1. Gegenstand aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legierungen, gekennzeichnet durch eine festhaftende Sperrschicht (2) auf dem Metall (1), auf der sich eine gesinterte dichte Oxidkeramikschicht (3) und darauf eine obere Oxidkeramikschicht mit einem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem (4) befindet, das im Wesentlichen mit Fluorpolymeren (5) gefüllt ist.

2. Gegenstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluorpolymere Polytetrafluorethylen (PTFE) ist.

3. Gegenstand nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Oxidkeramikschichten (3, 4) eine Dicke von 40 bis 150 mu m, vorzugsweise 50 bis 120 mu m haben.

4.

Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche der oberen Oxidkeramikschicht (4) mit einer Schicht des Fluorpolymeren bedeckt ist, die mit dem Fluorpolymeren in den äusseren der Kapillaren der oberen Oxidkeramikschicht verbunden und in den Kapillaren verankert ist.

5. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass er ein Rotor aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen für Turbomolekularpumpen ist.

6. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass er ein Turbolader aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen für Dieselmotoren oder Benzinmotoren ist.

7. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass er ein Bauteil der Vakuum- oder Plasmatechnik aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen ist.

8.

Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass er eine Walze für Koronaentladungen aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen ist.

9. Gegenstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass er eine Ultraschallsonotrode aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen ist.

10. Verfahren zur Herstellung von Gegenständen nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass man in die obere Oxidkeramikschicht mit einem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem auf Gegenständen aus Aluminium, Magnesium, Titanium oder deren Legierungen, Teilchen von Fluorpolymeren einbringt, die zumindest einen Durchmesser aufweisen, der kleiner ist als der Durchmesser der Kapillaren, und den Gegenstand mit dem so gefüllten Kapillarsystem wechselnden Druckbedingungen aussetzt.

11.

Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Oxidkeramikschichten durch plasmachemische Oxidation der Gegenstände in einem chloridfreien Elektrolytbad mit einem pH-Wert von 2 bis 8 bei konstanter Stromdichte von mindestens 1 A/dm<2> bis zur Einstellung der Spannung auf einen Endwert erzeugt werden.

12.

Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass es zum Aufbringen einer Oxidkeramik-Polymer-Schicht auf einen Rotor aus Aluminium oder Aluminiumlegierung für Turbomolekularpumpen bestimmt ist, und dass der Rotor in einem chloridfreien Elektrolytbad mit einem pH-Wert von 7 bis 8 bei konstanter Stromdichte von mindestens 1 A/dm<2> plasmachemisch oxidiert wird, bis sich die Spannung auf einen Endwert einstellt, dass Elektrolytreste aus der Oxidkeramikschicht entfernt werden und dass anschliessend in die obere Oxidkeramikschicht mit dem weitmaschig verknüpften Kapillarsystem Teilchen von Fluorpolymeren eingebracht werden, die zumindest einen Durchmesser aufweisen, der kleiner ist als der Durchmesser der Kapillaren, und dass der Rotor mit dem mit Fluorpolymeren gefüllten Kapillarsystem in der Turbomolekularpumpe den Betriebsbedingungen ausgesetzt wird.