DE4233094A1

DE4233094A1 - Laseroszillatorvorrichtung mit spiegelwinkeleinstellung

Info

Publication number: DE4233094A1
Application number: DE4233094A
Authority: DE
Inventors: Akihiro Otani; Satoshi Nishida; Masaki Kuzumoto; Tetuya Endo
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1991-10-01
Filing date: 1992-10-01
Publication date: 1993-04-15
Anticipated expiration: 2012-10-02
Also published as: DE4233094C2; TW306084B; DE4244797B4; US5357539A; TW209917B; JPH0595142A; JP2862032B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laseroszillatorvorrichtung, und inbesondere eine Laseroszillatorvorrichtung, die zur Stabilisierung der Zielrichtung eines Laserstrahls ausgelegt ist.

Die Fig. 21 und 22 sind Perspektivansichten, welche beispielhaft die Anordnung einer Laseroszillatorvorrichtung nach dem Stand der Technik darstellen, die in der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 2 54 684 aus dem Jahre 1985 beschrieben ist. In Fig. 22 bezeichnet die Bezugsziffer 10 eine Umhüllung zum Einschließen eines Lasergasmediums, 4 ein Paar Entladungselektroden, 8 einen Wärmetauscher, 6 ein Gebläse, 26, 28 und 30 Totalreflektoren, 32 einen Teilreflektor, 12a eine erste Laserstrahlreflektoreinheit, welche den Teilreflektor 32 und den Totalreflektor 28 umfaßt, 12b eine zweite Laserstrahlreflektoreinheit, welche die Totalreflektoren 26 und 30 umfaßt, und 2 einen Laserstrahl. Fig. 23 zeigt einen Querschnitt der ersten Laserstrahlreflektoreinheit 12a, wobei die Bezugsziffern 14 und 15 Blendenöffnungen bezeichnen, die unmittelbar vor dem Teilreflektor 32 bzw. dem Totalreflektor 28 angeordnet sind, 36 eine optische Basis zum Haltern der ersten Laserstrahlreflektoreinheit 12a, 44 eine Verbindungsstange zur Verbindung der optischen Basis 36 und einer optischen Basis für die zweite Laserstrahlreflektoreinheit 12b, 54 einen Federbalg, auf welchem die Umhüllung 10 und die optische Basis 36 angebracht sind, um Vakuum und Luftdichtigkeit aufrechtzuerhalten, 38 eine optische Platte, die auf der optischen Basis 36 angebracht ist, und 40 und 42 Einstellplatten, die bei dem Totalreflektor 38 und dem Teilreflektor 32 angebracht sind, um den Winkel des Totalreflektors 28 bzw. des Teilreflektors 32 einzustellen.

Die Fig. 24 und 25 erläutern die optische Platte 38 und eine Winkeleinstellvorrichtung der Einstellplatte 40, die auf der optischen Platte 38 angebracht ist. Fig. 24 ist eine Seitenansicht, und Fig. 25 ist eine Schnittansicht entlang der Ebene 25-25 von Fig. 24. In den Fig. 25 und 25 bezeichnet die Bezugsziffer 46 Einstellschrauben zum Einstellen des Winkels der Einstellplatte 40, 47 einen mit Gewinde versehenen Abschnitt, an welchem die Einstellschraube 46 in die optische Platte 38 eingeschraubt ist, 48 einen O-Ring zur Vakuumabdichtung und gleichzeitigen Halterung der Einstellschraube 46 drehbar gegen die optische Platte 38, 49 ein Aufnahmeteil, welches auf der Einstellplatte 40 vorgesehen ist, so daß es mit dem Ende der Einstellschraube 46 in Berührung tritt, 55 eine Feder, die so angeordnet ist, daß sie die Einstellplatte 40 zur optischen Platte 38 hinzieht, 50 eine Stütze, die auf der Einstellplatte 40 vorgesehen ist, 56 ein Kühlmittel, welches in der Einstellplatte 40 fließt, 58 Rohre, in welchen das Kühlmittel 56 fließt, 51a und 51b Löcher, die in der optischen Platte 38 ausgebildet sind, um einen Fluß des Kühlmittels 56 zuzulassen, und 52 Verbinder zum Verbinden der Rohre 58, der optischen Platte 38 und der Einstellplatte 40.

Nunmehr wird der Betriebsablauf der Laseroszillatorvorrichtung mit dem voranstehend beschriebenen Aufbau geschildert.

Fig. 26 ist eine schematische, vertikale Schnittansicht in der Längsrichtung der Oszillatorvorrichtung einschließlich der Resonatorlichtwege der in Fig. 22 gezeigten Laseroszillatorvorrichtung. Wie aus den Fig. 26 und 22 hervorgeht, sind wie voranstehend beschrieben in der Umhüllung 10 das Paar Entladungselektroden 4 zur Erzeugung einer Entladung und zur Anregung des Lasergasmediums vorgesehen, das Gebläse 6 zum Zirkulieren des Lasergasmediums, und der Wärmetauscher 8 zum Kühlen des Lasergasmediums, und das Lasergasmedium gelangt zwischen das Paar der Entladungselektroden 4 und wird so angeregt, daß es zu einer Laserschwingung bereit ist. Dann tritt das Lasergasmedium in den Wärmetauscher 8 ein, wird dadurch gekühlt, gelangt durch das Gebläse 6, und zirkuliert in der Richtung eines Pfeils A. Mittlerweile verlaufen drei Resonatorlichtwege durch einen Anregungsbereich 18, in welcher das Lasergasmedium durch die Entladung angeregt wird, und zwar in einem Z-förmigen Muster. Die drei Teile werden durch Resonatorspiegel gebildet, welche die Totalreflektoren 26, 28 und 30 und den Teilreflektor 32 umfassen, die in der Längsrichtung der Umhüllung 10 angeordnet sind.

Der von dem Totalreflektor 26 reflektierte Laserstrahl 2 durchquert eine erste optische Achse 20 und erreicht den Totalreflektor 28. Da der Totalreflektor 28 um einen Winkel R in Bezug auf die erste optische Achse 20 nach unten geneigt ist, durchquert der Laserstrahl 2 eine zweite optische Achse 22, die in einem Winkel von 2R in Bezug auf die erste optische Achse 20 nach unten geneigt ist, und erreicht den Totalreflektor 30. Da der Totalreflektor 30 mit einer Neigung nach oben in einem Winkel von R in Bezug auf die erste optische Achse 20 angeordnet ist, durchquert der Laserstrahl 2 eine dritte optische Achse 24, parallel zur ersten optischen Achse 20, und erreicht den Teilreflektor 32. Ein Teil des den Teilreflektor 32 erreichenden Laserstrahls 2 wird intakt an die Außenseite abgegeben, und der Rest des Laserstrahl kehrt zum Totalreflektor 25 auf dem entgegengesetzten Weg, wie voranstehend beschrieben, zurück. Durch Wiederholung dieses Vorgangs wird der Laserstrahl 2 verstärkt, während er wiederholt durch den Anregungsbereich 18 gelangt, und wird von dem Teilreflektor 32 auf einem geordneten Energiepegel nach außen abgegeben.

Die Winkeleinstellvorrichtung des Totalreflektors 28 wird nunmehr unter Bezug auf die Fig. 24 und 25 beschrieben. Der Winkel des Totalreflektors 28, der auf der Einstellplatte 40 angebracht ist, wird durch die Einstellung des Winkels der Einstellplatte 40 eingestellt. Da die Einstellplatte 40 durch die Feder 55 in Richtung zur optischen Platte 38 gezogen wird, und durch die Halterung 50 und zwei Einstellschrauben 46 zurückgedrückt wird, wird der Winkel der Einstellplatte 40 durch die Beziehung zwischen der Länge der Halterung 50 und der Vorsprunglänge der Einstellschrauben 46 gegenüber der optischen Platte 38 festgelegt. Durch Drehen der Einstellschrauben 46 wird nämlich deren Vorsprunglänge gegenüber der optischen Platte 38 geändert, und hierdurch kann der Winkel der Einstellplatte 40 nach oben und unten und/oder von einer Seite zur anderen eingestellt werden.

Beim Empfang des Laserstrahls 2 absorbiert der Totalreflektor 28, der für den Laserstrahl 2 einen bestimmten Absorptionsfaktor aufweist, einen Teil des Laserstrahls 2 und erzeugt Wärme. Der Totalreflektor 28 wird indirekt durch das Kühlmittel 56 gekühlt, welches die Einstellplatte 40 kühlt. Das Kühlmittel 56 gelangt von außen in das Rohr 58, durchquert das Loch 51a in der optischen Platte 38, durchquert dann ein Loch, welches in der Einstellplatte 40 ausgebildet ist, tritt wiederum in das Loch 51b in der optischen Platte 38 ein, und tritt schließlich aus.

Bezüglich der Temperatur wird angemerkt, daß zwar die optische Platte 38, die in direkter Berührung mit dem Kühlmittel 56 steht, von der Kühlmitteltemperatur abhängt, daß jedoch die optische Basis 36 von der Umgebungstemperatur abhängt. Tritt daher ein Unterschied zwischen der Kühlmitteltemperatur und der Umgebungstemperatur auf, so wird auch zwischen der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36 eine Temperaturdifferenz hervorgerufen. Da der lineare Ausdehnungskoeffizient der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36 unterschiedlich ist, wird zwischen diesen Teilen eine thermische Belastung hervorgerufen. Im allgemeinen ist die optische Basis 36 sehr robust aufgebaut, um die meisten Bauteile der ersten oder zweiten Laserstrahlreflektoreinrichtung 12a oder 12b zu haltern. Daher führt die thermische Belastung, die zwischen der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36 hervorgerufen wird, zu einer Verspannung der optischen Platte 38.

Tritt, wie voranstehend beschrieben, eine Verspannung in der optischen Platte 38 auf, so ändern sich die Winkel der Einstellplatten 40 und 42, und dies führt dazu, daß sich die Winkel des Totalreflektors 28 und des Teilreflektors 32 ändern, wodurch die optischen Achsen des Laserstrahls in dem Resonator dejustiert werden, und dies verschlechtert die Zielstabilität (Lagegenauigkeit) des Laserstrahls.

Nunmehr werden die zweite optische Achse 22 in Fig. 26 und die Totalreflektoren 28 und 30, die an beiden Enden der zweiten optischen Achse 22 angeordnet sind, beschrieben. Da der Totalreflektor 28, wie voranstehend beschrieben, um den Winkel R in Bezug auf die erste optische Achse 20 nach unten geneigt ist, erreicht der Laserstrahl 2 den Totalreflektor 30 über die zweite optische Achse 22, die in Bezug auf die erste optische Achse 20 um den Winkel 2R nach unten geneigt ist. Da der Totalreflektor 30 um den Winkel R in Bezug auf die erste optische Achse 20 nach oben geneigt ist, durchquert der Laserstrahl 2 die dritte optische Achse 24 parallel zur ersten optischen Achse 20. Mit anderen Worten ist die zweite optische Achse 22 um den Winkel 2R in Bezug auf die erste und dritte optische Achse 20 bzw. 24 geneigt, und die reflektierenden Oberflächen der Totalreflektoren 28 und 30, die an beiden Enden der zweiten optischen Achse 22 angeordnet sind, verlaufen parallel zueinander, und sind um den Winkel R gegenüber der ersten bzw. dritten optischen Achse 20 bzw. 24 verkippt.

Bei einer derartigen Anordnung treten, wie in Fig. 27 gezeigt ist, Abschnitte 34 und 35 in den Öffnungen der Blendenöffnungen 14 und 15 auf, an welchen die reflektierenden Oberflächen der Totalreflektoren 28 und 30 einander gegenüberliegen. Dies führt zu einer Wahrscheinlichkeit, daß eine parasitäre Oszillation 36 zwischen den Abschnitten 34 und 35 erzeugt wird, an welchen die Totalreflektoren 28 und 30 einander gegenüberliegen, und zwar zusätzlich zur normalen Laseroszillation. Wenn diese parasitäre Oszillation stattfindet, so ergibt sich ein Fehler der Strahlmode des Laserstrahls 2, der von der Laseroszillatorvorrichtung ausgesandt wird, oder es verschlechtert sich die Stabilität der Strahlmode.

Die Größe der Strahlmodensteuerung wird durch ein Verhältnis Φ/ω festgelegt (nachstehend als der "Strahlmodensteuerfaktor" bezeichnet); hierbei ist ω der 1/e²-Radius in einer Einzelmode, die durch die Resonatorspiegelkrümmung und die Resonatorlänge festgelegt ist (die Lichtweglänge vom Totalreflektor 26 zum Teilreflektor 32), wobei e die Basis des natürlichen Logarithmus bezeichnet, und Φ ist ein Blendenöffnungsdurchmesser. Bei der Einzelmode wird oft eine Blendenöffnung mit einem Strahlmodensteuerfaktor Φ/ω von annähernd 3,1 bis 3,4 als ein Steuerwert für die Blendenöffnung festgelegt. Wenn der Strahlmodensteuerfaktor Φ/ω kleiner wird, wird daher der Steuergrad der Strahlmode größer.

Bei der konventionellen Laseroszillatorvorrichtung ist der Strahlmodensteuerfaktor Φ/ω einer der vier Blendenöffnungen 14 bis 17, gezeigt in Fig. 18, kleiner gewählt als der der anderen drei Blendenöffnungen, um das Auftreten der parasitären Oszillation 36 zu verhindern. Dies erfolgt aus dem Grunde, daß die Einstellung der Resonatorspiegel schwierig wird, wenn die Mode an mehreren Orten gesteuert wird. Beispielsweise werden die Blendenöffnungen 14, 16 und 17 auf den Strahlmodensteuerfaktor Φ/ω von 3,6 eingestellt, und nur die Blendenöffnung 15 wird auf den Strahlmodensteuerfaktor Φ/ω von 3,2 eingestellt, zur Verwendung als Blendenöffnung zum Steuern der Einzelmode.

Bei dieser konventionellen Anordnung ist die Einstellung der Resonatorspiegel verhältnismäßig einfach, da die Strahlmode an einem einzigen Ort gesteuert wird. Da allerdings der Weg des Laserstrahls 2 auch an einem Ort gesteuert wird, variiert der optische Weg 24 des Laserstrahls 2 innerhalb eines Bereichs, in welchem die Blendenöffnungssteuerung locker ist, und dies führt dazu, daß es nicht möglich ist, die Zielstabilität des Laserstrahls 2 aufrechtzuerhalten.

Die, wie voranstehend erläutert, aufgebaute, konventionelle Laseroszillatorvorrichtung weist keine stabilisierte Laserstrahlzielrichtung auf.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die beim Stand der Technik bestehenden Schwierigkeiten dadurch zu überwinden, daß eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung gestellt wird, welche eine hervorragende Zielstabilität des Laserstrahls aufweist.

Wie hier beschrieben, stellt die Erfindung eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung, welche eine hervorragende Zielstabilität eines Laserstrahl aufweist, da eine optische Platte gegenüber dem Kühlmittel wärmeisoliert ist.

Die vorliegende Erfindung stellt eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung, welche eine Strahlmode stabilisiert und eine bessere Zielstabilität eines ausgesandten Laserstrahl aufweist. Zwei Lichtwege, die im wesentlichen parallel zueinander verlaufen, in dem Z-förmigen Umkehrmuster der Resonatorlichtwege, sind so ausgelegt, daß sie miteinander verdreht sind, so daß die effektiven Oberflächen zweier Totalreflektoren, die an beiden Enden eines verkippten Lichtweges in den sich Z-förmig drehenden Lichtwegen liegen, nicht einander gegenüberliegen.

Die vorliegende Erfindung stellt eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung, welche eine herausragende Stabilität bezüglich des Zielens eines Laserstrahls aufweist. Die Strahlmodensteuerfaktoren zweier Blendenöffnungen, die jeweils unmittelbar vor zwei Totalreflektoren angeordnet sind, die sich an beiden Enden eines verkippten Lichtweges in dem Z-förmigen Umkehrmuster der Resonatorlichtwege befinden, sind kleiner gewählt als die der anderen Blendenöffnungen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus welchen sich weitere Vorteile und Merkmale ergeben. Es zeigt:

Fig. 1 eine schematische Ansicht zur Erläuterung der Winkeleinstellvorrichtung einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine Schnittansicht entlang der Ebene 2-2 von Fig. 1;

Fig. 3 die Kühlmittelkanäle, welche eine optische Platte einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung durchqueren;

Fig. 4 eine Darstellung des Kühlmittelkanals, welcher eine optische Platte einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung durchquert;

Fig. 5 eine Darstellung des Kühlmittelkanals, welcher eine optische Platte einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung durchquert;

Fig. 6 eine Darstellung des Kühlmittelkanals, welcher eine optische Platte einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung durchquert;

Fig. 7 eine schematische Ansicht mit einer Darstellung der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 8 eine Bodenansicht von Fig. 7;

Fig. 9 einen zweiten Lichtweg der Resonatorlichtwege und Resonatorspiegel und Blendenöffnungen, die an beiden Enden des zweiten Lichtweges einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung liegen;

Fig. 10 eine schematische Ansicht mit einer Darstellung der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 11 eine Bodenansicht von Fig. 10;

Fig. 12 eine schematische Ansicht mit einer Darstellung der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 13 eine Bodenansicht von Fig. 12;

Fig. 14 eine schematische Ansicht mit einer Darstellung der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 15 eine Bodenansicht von Fig. 14;

Fig. 16 die Resonatoranordnung einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 17 eine Bodenansicht von Fig. 16;

Fig. 18 eine Erläuterung, wie sich die optischen Oszillatorachsen des Resonators bei der Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ändern;

Fig. 19 eine Erläuterung, wie sich die optischen Oszillatorachsen des Resonators bei der Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ändern;

Fig. 20 eine Erläuterung, wie sich die optischen Oszillatorachsen des Resonators bei der Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ändern;

Fig. 21 eine vertikale, schematische Schnittansicht in einer Längsrichtung einer Oszillatorvorrichtung einschließlich der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und des Stands der Technik;

Fig. 22 eine Perspektivansicht mit einer Darstellung der Anordnung der Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 23 eine Schnittansicht einer Laserstrahlreflektoreinrichtung der Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 24 eine schematische Ansicht mit einer Darstellung der Winkeleinstellvorrichtung der Laseroszillatorvorrichtung nach dem Stand der Technik;

Fig. 25 eine Schnittansicht entlang der Ebene 25-25 von Fig. 24;

Fig. 26 eine vertikale, schematische Schnittansicht in der Längsrichtung der Oszillatorvorrichtung einschließlich der Resonatorlichtwege der Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und gemäß dem Stand der Technik; und

Fig. 27 einen zweiten Lichtweg unter Resonatorlichtwegen und Resonatorspiegeln und Blendenöffnungen, die sich an beiden Enden des zweiten Lichtweges befinden, bei der Laseroszillatorvorrichtung des Stands der Technik.

Nunmehr wird unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Perspektivansicht mit einer Darstellung der Laseroszillatorvorrichtung in Fig. 22, die Schnittansicht der Laserstrahlreflektoreinrichtung in Fig. 23, und die schematische, vertikale Schnittansicht in der Längsrichtung der Oszillatorvorrichtung einschließlich der Resonatorlichtwege der Laseroszillatorvorrichtung von Fig. 26 sind identisch mit den entsprechenden Darstellungen der konventionellen Vorrichtung und werden hier nicht weiter beschrieben.

Fig. 1 und 2 sind schematische Ansichten mit einer Darstellung einer Winkeleinstellvorrichtung einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 1 ist eine Seitenansicht, und Fig. 2 ist eine Schnittansicht entlang der Ebene 2-2 von Fig. 1. Diese erste Ausführungsform unterscheidet sich darin von der in den Fig. 24 und 25 dargestellten, konventionellen Laseroszillatorvorrichtung, daß die Löcher 51a und 51b, durch welche das Kühlmittel 56 gelangt, in zweiten Teilen 60a und 60b vorgesehen sind, und daß die zweiten Teile 60a und 60b auf der optischen Platte 38 über O-Ringe 62 angebracht sind.

Bei der ersten Ausführungsform tritt das in den zweiten Teilen 60a, 60b fließende Kühlmittel 56 in thermische Berührung mit den zweiten Teilen 60a, 60b. Da jedoch die zweiten Teile 60a, 60b mit Hilfe der O-Ringe 62 so angebracht sind, daß sie nicht in direkter Berührung mit der optischen Platte 38 stehen, ist die optische Platte 38 thermisch gegenüber den zweiten Teilen 60a, 60b isoliert, und demzufolge gegenüber dem Kühlmittel wärmeisoliert. Daher hängt die Temperatur der optischen Platte 38 von der Umgebungstemperatur ab. Wenn daher eine Differenz zwischen der Kühlmitteltemperatur und der Umgebungstemperatur auftritt, so tritt keine Temperaturdifferenz zwischen der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36 auf, und in der optischen Platte 38 tritt keine Verwindung infolge thermischer Spannungen zwischen der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36 auf, wodurch die Winkel der Einstellplatten 40, 42 stabiliert werden. Daher weist die Zielrichtung des abgezogenen Laserstrahls eine hervorragende Stabilität auf.

Nunmehr wird eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf Fig. 3 beschrieben, welche eine schematische Darstellung eines Kanals für das Kühlmittel 56 ist, das die optische Platte 38 einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung durchquert. Wie aus Fig. 3 hervorgeht, ist das zweite Teil 60a an der optischen Platte 38 befestigt, und das Loch 51a, in welchem das Kühlmittel 56 fließt, ist in dem zweiten Teil 60a vorgesehen. Die Bezugsziffer 62 bezeichnet einen O-Ring zur Aufrechterhaltung des Vakuums, und das zweite Teil 60a besteht aus einem Isoliermaterial wie beispielsweise Teflon (PTFE). Das Isolierteil dient sowohl als elektrisch isolierendes Material als auch als schlechter Wärmeleiter, und die Temperatur des Kühlmittels 56, welches in dem zweiten Teil 60a fließt, beeinflußt kaum die Temperatur des Außenumfangs des zweiten Teils 60a.

Bei der zweiten Ausführungsform ist die optische Platte 38 gegenüber dem Kühlmittel 56 wärmeisoliert. Daher hängt die Temperatur der optischen Platte 38 nur von der Umgebungstemperatur ab, und wenn eine Differenz zwischen der Kühlmitteltemperatur und der Umgebungstemperatur auftritt, gibt es keine Temperaturdifferenz zwischen der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36, und es treten keine Verwindungen infolge thermischer Belastungen zwischen der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36 in der optischen Platte 38 auf, wodurch die Winkel der Einstellplatten 40, 42 stabilisiert werden. Daher ist die Zielrichtung des abgezogenen Laserstrahls in ihrer Stabilität verbessert.

Nunmehr wird unter Bezug auf Fig. 4 eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben, wobei Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Kanals des Kühlmittels 56 ist, welches die optische Platte 38 einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform durchquert. Das Kühlmittel 56 fließt in dem zweiten Teil 60a, und ein drittes Teil 64a ist zwischen dem zweiten Teil 60a und der optischen Platte 38 eingeführt. Die Bezugsziffer 62 bezeichnet einen O-Ring zur Aufrechterhaltung des Vakuums. Das dritte Teil 64a besteht aus einem Isoliermaterial wie beispielsweise Teflon, und das zweite Teil 60a besteht aus Metall, um die Gewindestärke der Verbindungen 52 für die Rohre 58 sicherzustellen. Bei dieser Anordnung können die Verbindungen 52 aus einem Metall bestehen, welches eine hohe Festigkeit und Verläßlichkeit aufweist. Zwar beeinflußt die Temperatur des Kühlmittels 56, welches in dem zweiten Teil 60a fließt, die Temperatur des Außenumfangs des zweiten Teils 60a, jedoch beeinflußt die Temperatur des Außenumfangs des zweiten Teils 60a kaum die Temperatur des Außenumfangs des dritten Teils 64a, welches ein schlechter Wärmeleiter ist. Bei der dritten Ausführungsform ist die optische Platte 38 gegenüber dem Kühlmittel 56 thermisch isoliert, wodurch die Winkel der Einstellplatten 40, 42 stabilisiert waren. Daher ist die Stabilität der Zielrichtung des abgezogenen Laserstrahls verbessert.

Nunmehr wird eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf Fig. 5 beschrieben, welche eine schematische Darstellung eines Kanals des Kühlmittels 56 ist, das die optische Platte 38 einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform durchquert. Wie aus Fig. 5 hervorgeht, ist das Loch 51a, in welchem das Kühlmittel 56 fließt, in dem zweiten Teil 60a vorgesehen, und das zweite Teil 60a ist an der optischen Platte 38 über eine Schraube 66 und eine Beilagscheibe 65 befestigt, die aus einem wärmeisolierenden Material besteht.

Ein Abstandsstück 63 aus einem Isoliermaterial ist zwischen die optische Platte 38 und das zweite Teil 60a eingefügt. Die Bezugsziffer 62 bezeichnet einen O-Ring zur Aufrechterhaltung des Vakuums, und das zweite Teil 60a besteht aus einem Material, wie beispielweise Metall, welches eine hohe Festigkeit und Verläßlichkeit aufweist.

Bei der vierten Ausführungsform fließt das Kühlmittel 56 in den zweiten Teilen 60a, 60b und steht thermisch in Berührung mit den zweiten Teilen 60a, 60b. Allerdings sind die Außenumfänge der zweiten Teile 60a, 60b so angeordnet, daß sie infolge der O-Ringe 62 nicht in direkter Berührung mit der optischen Platte 38 stehen, und die Abschnitte, an denen die zweiten Teile 60a, 60b an der optischen Platte 38 befestigt sind, sind so gebaut, daß infolge der aus Isoliermaterial bestehenden Abstandsstücke 63 keine direkte Berührung mit der optischen Platte 38 erfolgt. Zwar wird über die Schrauben 66, die zur Installierung an der optischen Platte 38 vorgesehen sind, Wärme von der optischen Platte 38 übertragen, jedoch ist eine Wärmeisolierung zwischen der optischen Platte 38 und den zweiten Teilen 60a, 60b durch die Beilagsscheiben 65 zur Verfügung gestellt, die aus wärmeisolierendem Material bestehen. Daher ist die optische Platte 38 gegenüber den zweiten Teilen 60a, 60b wärmeisoliert, und demzufolge gegenüber dem Kühlmittel 56 wärmeisoliert.

Es wird darauf hingewiesen, daß bei der vierten Ausführungsform ohne die Beilagsscheiben 65 dann eine identische Wirkung erzielt wird, wenn die Schrauben 66 aus Isoliermaterial bestehen.

Nunmehr wird eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf Fig. 6 beschrieben, welche eine schematische Darstellung eines Kanals des Kühlmittels 56 ist, welches die optische Platte 38 einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform durchquert. Das Kühlmittel 56 durchquert die optische Platte 38 durch das Rohr 58. Das Rohr 58 ist im Abschnitt B über ein viertes Bauteil 68 befestigt, welches aus einem wärmeisolierenden Material in Form eines Verbinders besteht, und welches eingeschraubt und an der optischen Platte 38 befestigt wurde, und so gehalten wird, daß es nicht mit der optischen Platte 38 in Berührung steht. Ein Teflonrohrverbinder wäre ein Beispiel für das vierte Bauteil 68. Ein Körper 70 des vierten Bauteils 68 ist mit einem Gewinde versehen und in der optischen Platte 38 befestigt, und das Rohr 58 kann durch Anziehen einer Mutter 71 befestigt werden.

Bei der vierten Ausführungsform wird an das Rohr 58 Wärme übertragen, wenn sich die Temperatur des Kühlmittels 56 ändert. Da jedoch das Rohr 58 nicht in Berührung mit der optischen Platte 38 steht, wird von dem Abschnitt B zur optischen Platte 38 über das vierte Bauteil 68, welches aus dem verbinderförmigen Isoliermaterial besteht, Wärme übertragen. Da das vierte Bauteil 68 aus dem Wärmeisoliermaterial besteht, ist die optische Platte 38 gegenüber dem Kühlmittel 56 wärmeisoliert. Daher befindet sich die optische Platte 38 auf Umgebungstemperatur, und wenn eine Differenz zwischen der Kühlmitteltemperatur und der Umgebungstemperatur auftritt, so ergibt sich keine Temperaturdifferenz zwischen der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36, und es tritt in der optischen Platte 38 keine Verwindung infolge thermischer Spannungen zwischen der optischen Platte 38 und der optischen Basis 36 auf, wodurch die Winkel der Einstellplatten 40, 42 ungeändert bleiben.

Daher verbessert sich die Zielstabilität des abgezogenen Laserstrahls.

Nunmehr wird unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen eine sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Diese Ausführungsform verhindert parasitäre Schwingungen und stellt eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung, die so ausgelegt ist, daß sie die Strahlmode eines Laserstrahls stabilisiert und eine verbesserte Zielstabilität des Laserstrahls zur Verfügung stellt.

Fig. 7 und 8 sind schematische Darstellungen der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 7 ist eine Schnittansicht von vorne, und Fig. 8 ist deren Ansicht von unten. Die Laseroszillatorvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform unterscheidet sich darin von der konventionellen Anordnung, daß die Blendenöffnung 15 nicht in der Ebene der Fig. 7 vorliegt, sondern geringfügig vor dieser Ebene liegt. Der Offset des Strahlortes um einen Winkel ϕ, welcher es erforderlich macht, daß der Spiegel 38 gegenüber der Normalen um denselben Winkel ϕ verschoben ist, und der Spiegel 30 und ϕ/2 verschoben ist, ist in Fig. 8 dargestellt. Dies führt dazu, daß die erste optische Achse 20 und die dritte optische Achse 24 im wesentlichen parallel zueinander verlaufen, jedoch miteinander verdreht sind, wie aus den Fig. 7 und 8 hervorgeht. Abschnitte, an denen die reflektierenden Oberflächen der Totalreflektoren 28 und 30 einander gegenüberliegen, existieren nicht in den Öffnungen der Blendenöffnungen 15, 16, wie in Fig. 9 gezeigt, wodurch die Möglichkeit ausgeschaltet wird, daß eine parasitäre Oszillation auftritt. Wie in der Figur dargestellt ist, repräsentieren die unterbrochenen Linien zwischen 14 und 15 die Projektion von Spiegel 30, wogegen die unterbrochene Linie zwischen den Blendenöffnungen 16 und 17 die Projektion von Spiegel 28 repräsentiert. Die Abwesenheit irgendeiner Überlappung der Projektion in die Blendenöffnungen hinein stellt eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung, welche eine hervorragende Zielstabilität eines Laserstrahls sicherstellt.

Es sind zahlreiche weitere Anordnungen möglich, welche es zulassen, daß die reflektierenden Oberflächen der Totalreflektoren 28 und 30 einander gegenüberliegen, wobei die Öffnungen der Blendenöffnungen 15, 16 verschoben sind, wodurch die Wahrscheinlichkeit des Auftretens einer parasitären Oszillation ausgeschaltet wird.

Beispielsweise sind die Fig. 10 und 11 schematische Ansichten mit einer Darstellung der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 10 ist eine Schnittansicht, gesehen von vorne, und Fig. 11 eine Bodenansicht. Die Laseroszillatorvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform unterscheidet sich von dem konventionellen Aufbau in der Hinsicht, daß die Blendenöffnungen 15 und 16 nicht in der Ebene der Fig. 10 liegen, sondern die Blendenöffnung 15 vor dieser Ebene liegt, und die Blendenöffnung 16 hinter dieser Ebene. Fig. 10 zeigt den Unterschied gegenüber Fig. 8 als einen Offset des Spiegels 28 um nur ϕ/2, was dazu führt, daß der Strahl 20 einen Winkel ϕ gegenüber den Strahlen 22 und 24 aufweist. Daher verlaufen die erste optische Achse 20 und die dritte optische Achse 24 im wesentlichen parallel, jedoch verdreht, und es existieren, wie in Fig. 9 gezeigt ist, keine Abschnitte, in welchen die reflektierenden Oberflächen der Totalreflektoren 28 und 30 einander in den Öffnungen der Blendenöffnungen 15, 16 gegenüberliegen, wodurch die Möglichkeit ausgeschaltet ist, daß parasitäre Oszillationen auftreten können. Hier durch wird eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung gestellt, welche eine hervorragende Zielstabilität des erzeugten Laserstrahls aufweist.

Die Fig. 12 und 13 sind schematische Ansichten mit einer Darstellung der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 12 ist eine Schnittansicht, gesehen von vorne, und Fig. 13 ist deren Bodenansicht. Die Laseroszillatorvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform unterscheidet sich dadurch von der Vorrichtung nach dem Stand der Technik, daß die Blendenöffnungen 14 und 15 nicht in der Ebene der Fig. 12 liegen, sondern die Blendenöffnung 15 vor dieser Ebene liegt, und die Blendenöffnung 14 hinter dieser Ebene. Daher verlaufen die erste optische Achse 20 und die dritte optische Achse 24 im wesentlichen parallel, jedoch verdreht, und es existieren keine Abschnitte, in welchen die reflektierenden Oberflächen der Totalreflektoren 28 und 30 einander in den Öffnungen der Blendenöffnungen 15, 16 gegenüberliegen, wie in Fig. 9 gezeigt ist, wodurch die Möglichkeit ausgeschaltet wird, daß eine parasitäre Oszillation erzeugt wird. Dies stellt eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung, welche eine verbesserte Zielstabilität des Laserstrahls aufweist.

Fig. 14 und 15 sind schematische Ansichten mit einer Darstellung der Resonatorlichtwege einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 14 ist eine Schnittansicht, von vorne gesehen, und Fig. 15 stellt eine Bodenansicht dar. Die Laseroszillatorvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform unterscheidet sich darin von der Vorrichtung nach dem Stand der Technik, daß die Blendenöffnungen 14, 15, 16 und 17 nicht in der Ebene der Fig. 14 liegen, sondern die Blendenöffnungen 15 und 17 vor dieser Ebene liegen, und die Blendenöffnungen 14 und 16 hinter dieser Ebene. Wie aus Fig. 15 hervorgeht, weisen die Reflektoren 28 und 30 einen Winkel ϕ auf, und die Strahlen 20 und 24 bilden jedenfalls einen Winkel 2ϕ mit dem Strahl 22. Daher verlaufen die erste optische Achse 20 und die dritte optische Achse 24 im wesentlichen parallel, jedoch verdreht, und es existieren keine Abschnitte, in welchen die reflektierenden Oberflächen der Totalreflektoren 28 und 30 einander gegenüberliegen, in den Öffnungen der Blendenöffnungen 15, 16, wie in Fig. 9 gezeigt ist, wodurch die Möglichkeit ausgeschaltet wird, daß eine parasitäre Oszillation hervorgerufen wird. Hierdurch wird eine Laseroszillatorvorrichtung zur Verfügung gestellt, die eine verbesserte Zielstabilität des Laserstrahls aufweist.

Nunmehr wird die Resonatoranordnung einer Laseroszillatorvorrichtung gemäß einer zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf Fig. 16 und 17 beschrieben. Fig. 16 ist eine Schnittansicht, gesehen von vorn, und Fig. 17 stellt deren Bodenansicht dar. Bei der Laseroszillatorvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden die Strahlmodensteuerfaktoren Φ/ω der beiden Blendenöffnungen 15, 16, die jeweils unmittelbar vor den beiden Totalreflektoren 28, 30 liegen, die an beiden Enden des gekippten Lichtweges 22 unter den Z-förmigen Umkehrlichtwegen in den vier Blendenöffnungen angeordnet sind, kleiner gewählt als die Strahlmodensteuerfaktoren Φ/ω der beiden anderen Blendenöffnungen. Beispielweise sind die Strahlmodensteuerfaktoren Φ/ω der Blendenöffnungen 14, 17 auf 3,6 eingestellt, und der Strahlmodensteuerfaktor der Blendenöffnung 15 ist auf 3,2 eingestellt, zur Verwendung als Blendenöffnung zum Steuern einer Einzelmode, und der der Blendenöffnung 16 ist auf 3,3 eingestellt. Diese Blendenöffnungen 15, 16 legen die Position des gekippten Lichtweges fest. Bei einer derartigen Anordnung, an welcher zwei Orte streng durch die Blendenöffnungen 15, 16 kontrolliert werden, ist die optische Achse 24 des Laserstrahls 2 fixiert, wodurch die Stabilität des Zielens des Laserstrahl 2 aufrechterhalten wird. Die wird nachstehend mit weiteren Einzelheiten erläutert.

Die Fig. 18 bis 20 erläutern, wie sich die optischen Oszillatorachsen des Resonators ändern. Bei den jeweiligen Darstellungen sind die Z-förmig verlaufenden Resonatorlichtwege schematisch auf einer geraden Linie dargestellt. Die Punkte 33 und 27 stellen das Krümmungszentrum des Teilreflektors 32 bzw. des Totalreflektors 26 dar, und die optische Achse des Laserstrahls 2 zum Zeitpunkt der Laseroszillation ist an eine gerade Linie angepaßt, welche die Krümmungszentren 33 und 27 des Teilreflektors 32 und des Totalreflektors 26 verbindet. Fig. 18 zeigt einen Anfangszustand, und Fig. 19 erläutert einen Zustand, in welchem sich der Winkel beispielsweise des Teilreflektors 32 verschoben hat. Da sich der Winkel des Teilreflektors 32 verschoben hat, ändert sich das Krümmungszentrum 33 des Teilreflektors 32, wie in Fig. 19 gezeigt. In diesem Fall ist die Bewegung der optischen Achse des Laserstrahls 2 auf den Blendenöffnungen 15 und 16 kleiner als die auf der Blendenöffnung 17. Nunmehr wird unter Bezug auf Fig. 20 ein Zustand beschrieben, in welchem sich der Winkel des Totalreflektors 26 verschoben hat. Da sich der Winkel des Totalreflektors 26 verschoben hat, ändert sich das Krümmungszentrum 27 des Totalreflektors 26 so, wie dies in Fig. 20 gezeigt ist. In diesem Fall ist die Bewegung der optischen Achse des Laserstrahls 2 auf den Blendenöffnungen 15 und 16 kleiner als die auf der Blendenöffnung 14. Hieraus wird deutlich, daß die Blendenöffnungen 15, 16 toleranter bezüglich der Winkelverschiebung der Resonatorspiegel sind als die Blendenöffnungen 17 und 14. Durch Anordnung von Blendenöffnungen mit kleineren Strahlmodensteuerfaktoren Φ/ω in den Positionen der Blendenöffnungen 15 und 16 kann die Zielausrichtung des Laserstrahls 2 stabilisiert werden, und zwar praktisch ohne Schwierigkeiten bezüglich der Justierung der Resonatorspiegel.

Die Resonatorlichtwege sind nicht auf die Z-Anordnung beschränkt, die bei dieser Ausführungsform beschrieben wurde, und können ein Z-förmiges Umkehrmuster umfassen. Beispielsweise erzeugen Resonatorlichtwege, die zusätzliche Totalreflektoren 26 und 34 aufweisen, wie in Fig. 21 gezeigt, ebenfalls eine identische Wirkung.

Claims

1. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines stabilisierten Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums und Ausbreitung des Laserstrahls entlang festgelegter Strahlwege, gekennzeichnet durch:
erste, mehrere Resonatorspiegel, welche einen Resonator bilden;
zweite, mehrere Einstellteile zur Einstellung der Winkel der Resonatorspiegel und zur Festlegung der Strahlwege;
eine an den Einstellteilen angebrachte optische Platte;
zumindest einen Kühlmittelkanal zum Durchleiten eines Kühlmittels; und
eine Einrichtung zur Wärmeisolierung der optischen Platte gegenüber dem Kühlmittel.

2. Laseroszillatorvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Wärmeisolierung ein Wärmeisolierteil aufweist, welches zwischen zumindest einen Kühlmittelkanal und der optischen Platte vorgesehen ist.

3. Laseroszillatorvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmeisolierteile Löcher aufweisen, welche die Kühlkanäle umfassen, und daß die Teile in der optischen Platte so angebracht sind, daß eine direkte Wärmeberührung mit der Platte vermieden wird.

4. Laseroszillatorvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile in der optischen Platte mit einem Isoliermaterial dazwischen angebracht sind.

5. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines stabilisierten Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums und Ausbreitung des Laserstrahls entlang festgelegter Strahlwege innerhalb eines Resonators, gekennzeichnet durch:
erste, mehrere Resonatorspiegel, welche einen Teilreflektor und Totalreflektoren umfassen, zur Festlegung der Strahlwege, wobei zumindest ein erster und zweiter Reflektor an gegenüberliegenden Seiten des Resonators angeordnet sind, und so angeordnet sind, daß die Resonatorstrahlwege ein Z-förmiges Umkehrmuster aufweisen; und
wobei zwei im wesentlichen parallele Lichtwege in dem Z-förmigen Umkehrmuster der Resonatorstrahlwege miteinander verschlungen sind.

6. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß weiterhin zweite, mehrere Blendenöffnungen vorgesehen sind, wobei zumindest eine erste und zweite dieser Blendenöffnungen nahe an dem einen entsprechenden Reflektor unter dem ersten und zweiten Reflektor angeordnet sind, und zwischen den ersten und zweiten Reflektoren entlang einem der Strahlwege.

7. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Reflektoren einander gegenüberliegend angeordnet sind, und daß eine Projektion des ersten Reflektors in Richtung auf den zweiten Reflektor im wesentlichen dagegen abgeblockt ist, daß sie durch die entsprechende zweite Blendenöffnung des zweiten Reflektors gelangt.

8. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die parallen Strahlen in einer Ebene angeordnet sind, welche die ersten und zweiten Reflektoren umfaßt, und daß zumindest eine unter den ersten und zweiten Blendenöffnungen in einer Position orthogonal zu dieser Ebene angeordnet ist.

9. Laseroszillatorvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Blendenöffnungen in einer Position orthogonal zu der Ebene angeordnet sind.

10. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums innerhalb eines Resonators, gekennzeichnet durch:
mehrere Resonatorspiegel, die zumindest einen Teilreflektor und erste und zweite Totalreflektoren umfassen, um Resonatorlichtwege festzulegen, und die so angeordnet sind, daß die Resonatorlichtwege Z-förmiges Umkehrmuster aufweisen, wobei die ersten und zweiten Reflektoren einander gegenüberliegend entlang dem Muster angeordnet sind;
mehrere Blendenöffnungen, die zumindest eine erste und zweite Blendenöffnung umfassen, und optisch in Bezug auf den zugehörigen Reflektor der Reflektoren angeordnet sind, zur Auswahl einer Strahlmode; und
wobei die Strahlmodensteuerfaktoren der ersten und zweiten Blendenöffnungen, die entlang dem Z-förmigen Umkehrmuster und unmittelbar vor den ersten und zweiten Totalreflektoren angeordnet sind, die an beiden Enden eines gekippten Lichtweges in dem Z-förmigen Umkehrmuster liegen, kleiner sind als die Strahlmodensteuerfaktoren anderer der mehreren Blendenöffnungen.

11. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlmodensteuerfaktor durch Φ/ω repräsentiert wird, wobei Φ ein Blendenöffnungsdurchmesser ist und ω der 1/e²-Radius, in einer Einzelmode, welche durch die Resonatorspiegelkrümmung und die Resonatorlänge (Lichtweglänge von dem Totalreflektor (26) zu dem Teilreflektor (22)) festgelegt ist, wobei e die Basis der natürlichen Logarithmen angibt.

12. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenöffnungsgrößen so gewählt sind, daß im wesentlichen parasitäre Oszillationen verhindert werden.

13. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der Teilreflektor und der erste und zweite Reflektor einen Krümmungsradius aufweisen, und daß die Winkel zumindest eines der Reflektoren in Bezug auf eine gemeinsame Bezugsgröße unterschiedlich von den Winkeln der anderen Reflektoren ist, um so das optische Krümmungszentrum für diesen zumindest einen Reflektor zu verschieben.

14. Laseroszillatorvorrichtung zur Ausgabe eines Laserstrahls durch Anregung eines Lasermediums nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der Teilreflektor und einer der Totalreflektoren in unterschiedlichen Winkeln angeordnet sind, und daß die Bewegung des Strahls auf den zugehörigen Blendenöffnungen der Totalreflektoren kleiner ist als auf anderen der mehreren Blendenöffnungen.