Die Erfindung betrifft einen hochfrequenzangeregten Hoch
leistungsgaslaser, umfassend
zwei einander gegenüberliegend angeordnete Resona
torspiegelflächen aufweisende Resonatorspiegel,
einen zwischen den Resonatorspiegelflächen liegen
den Gasentladungsraum,
einen sich zwischen diesen Resonatorspiegelflächen
erstreckenden Wellenleiter mit zwei einander gegen
überliegenden und dem Gasentladungsraum zugewandten
reflektierenden Wellenleiterflächen, und einem
Strahlenverlauf, welcher, von einem sich seiner
seits in einer senkrecht auf einem Bereich der
ersten Spiegelfläche stehenden Ausgangsrichtung zur
zweiten Spiegelfläche hin ausbreitenden Wellen
bündel ausgehend, und durch mehrfache Hin- und Her
reflexion zwischen der zweiten und der ersten
Spiegelfläche sich in einer zur Ausgangsrichtung
senkrechten Querrichtung zwischen den Wellenleiter
flächen mit räumlicher Kohärenz als Wellenbündel
system ausbreitet.
Ein derartiger hochfrequenzangeregter Hochleistungslaser
ist aus der EP-A-0 305 893 bekannt.
Bei diesem Laser wird die Entstehung des Wellenbündel
system ausgehend von dem Ausgangswellenbündel dadurch be
wirkt, daß die Spiegelflächen gemäß den Spiegelflächen
eines instabilen Laserresonators geformt - beispielsweise
zylindrisch gekrümmt - sind.
Der Wellenleiter hingegen umfaßt, sich in zwei parallel
zueinander verlaufenden Ebenen erstreckende Wellenleiter
flächen, welche die Strahlen in der Richtung ohne Rich
tungsveränderung weiterreflektieren, in welche sie von den
Resonatorspiegelflächen reflektiert werden.
Die Herstellung und Justierung der Resonatorspiegelflächen
als Spiegelflächen eines instabilen Resonators birgt Pro
bleme und kann aufwendig sein.
Aus diesem Grund liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde,
einen Hochleistungslaser der gattungsgemäßen Art derart zu
verbessern, daß zur Bildung des Wellenbündelsystems, aus
gehend von dem Ausgangswellenbündel, eine Anordnung der
Resonatorspiegelflächen als solche eines instabilen Reso
nators nicht zwingend notwendig ist, sondern daß die Aus
breitung des Wellenbündelsystems mit räumlicher Kohärenz
in der zur Ausgangsrichtung senkrechten Querrichtung durch
andere Maßnahmen bewirkt werden kann.
Diese Aufgabe wird bei einem Hochleistungslaser der
eingangs beschriebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst,
daß die senkrecht zur Ausgangsrichtung verlaufenden
Tangenten an die beiden das Ausgangswellenbündel reflek
tierenden ersten Wellenleiterflächenbereiche parallel
zueinander verlaufen und daß sich ein Abstand der sich an
die das Ausgangswellenbündel reflektierenden ersten
Wellenleiterflächenbereiche anschließenden zweiten Wellen
leiterflächenbereiche über eine Ausbreitungsstrecke in
Richtung der Querrichtung mit zunehmender Ausbreitung des
Wellenbündelsystems, ausgehend von dem Abstand der
ersten Wellenleiterflächenbereiche, stetig vergrößert.
Durch die erfindungsgemäße Lösung wird somit die Möglich
keit geschaffen, die kohärente Ausbreitung des Wellen
bündelsystems in der Querrichtung durch die spezielle Form
der Wellenleiterflächen zu erreichen, so daß keine beson
dere Form und Anordnung der Resonatorspiegel hierzu erfor
derlich ist.
Damit ist in besonders einfacher Weise die Möglichkeit ge
schaffen, einen Hochleistungslaser der eingangs beschrie
benen Art auf möglichst einfache und kostengünstige Weise
herzustellen, nämlich durch geeignete Form und Anordnung
der Wellenleiterflächen.
Aus der NL-Z: Optics Communications 60; NO. 1, 2; Seiten 84
bis 86 (1986) ist ein Wellenleiterlaser bekannt, bei
welchem zwei konvexe und einander zugewandte Elektroden
einen Wellenleiter bilden und Wellenleiterflächen auf
weisen, deren Abstand in der Mitte maximal ist, um ein
möglichst gleichförmiges elektrisches Feld zu erzeugen.
Ein derartiges System ist mit der erfindungsgemäßen Lösung
nicht vergleichbar, da kein mit räumlicher Kohärenz sich
von einem Ausgangswellenbündel ausbreitendes Wellenbündel
system in der Querrichtung erzeugt wird.
Darüberhinaus ist aus der DE-OS 26 08 830 ein Wellenlei
terlaser bekannt, bei diesem sind jedoch die Abstände
zwischen den Mantelflächen zweier konzentrischer Zylinder
zwangsläufig konstant, so daß auch dadurch die erfindungs
gemäße Lösung nicht nahegelegt ist.
Besonders vorteilhaft bei der erfindungsgemäßen Lösung
ist, daß die gegenseitige Ausrichtung der Wellenleiter
flächen bei der vorliegenden Erfindung keiner so empfind
lichen Justierung bedarf, wie die gegenseitige Anordnung
der Resonatorspiegelflächen, so daß sich mit der erfin
dungsgemäßen Ausführung insbesondere der Justieraufwand
und der Aufwand, um die einzelnen Komponenten in der
justierten gegenseitigen Ausrichtung zu halten, erheblich
verringert.
Ein auf Grund der einfachen Herstellung besonders vorteil
haftes Ausführungsbeispiel sieht vor, daß die erste
Spiegelfläche eben ausgebildet ist.
Desweiteren ist es aus Kostengründen von Vorteil, wenn die
zweite Spiegelfläche eben ausgebildet ist. Ein besonders
bevorzugtes Ausführungsbeispiel sieht dabei vor, daß die
erste und die zweite Spiegelfläche eben ausgebildet sind
und parallel zueinander ausgerichtet verlaufen.
Hinsichtlich der Ausbildung der ersten Wellenleiter
flächenbereiche wurden im Rahmen der bislang beschriebenen
Ausführungsbeispiele keine näheren Angaben gemacht. So
können die ersten Wellenleiterflächenbereiche eine
nennenswerte Breite aufweisen. Besonders vorteilhaft ist
es jedoch, wenn diese so schmal wie möglich gehalten sind,
wobei vorzugsweise die ersten Wellenleiterflächenbereiche
im wesentlichen eine kleinstmögliche Erstreckung,
in der Querrichtung auf
weisen.
Hinsichtlich der Art und der Ausbildung der zweiten
Wellenleiterbereiche wurden bislang keine näheren Angaben
gemacht. So ist es besonders vorteilhaft, wenn sich der
Abstand der sich an die das Ausgangswellenbündel reflek
tierenden ersten Wellenleiterflächenbereiche anschlie
ßenden zweiten Wellenleiterflächenbereiche über die ge
samte Erstreckung dieser zweiten Wellenleiter
flächenbereiche in der Querrichtung stetig vergrößert.
Die zweiten Wellenleiterflächenbereiche können dabei im
einen Fall im wesentlichen als Ebenen ausgebildet sein.
Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn eine der Wellen
leiterflächen in der Querrichtung konvex und eine der
Wellenleiterflächen in der Querrichtung konkav ausgebildet
ist, so daß durch die konvexe und konkave Krümmung der
Wellenleiterflächen in einfacher Weise die Möglichkeit
geschaffen ist, an die ersten Wellenleiterflächenbereiche
mit parallelen Tangenten durch Veränderung der Krümmung
die zweiten Wellenleiterflächenbereiche anschließen zu
lassen.
Die einfachste Realisierung gekrümmter Wellenleiterflächen
ist die, daß die Wellenleiterflächen in der Querrichtung
zylindrisch gekrümmt sind.
Im Fall von zylindrisch gekrümmten Wellenleiterflächen ist
jeder zylindrischen Krümmung eine Krümmungsachse zuge
ordnet. So lassen sich die erfindungsgemäßen Wellenleiter
flächen besonders einfach dadurch relativ zueinander an
ordnen, daß die Krümmungsachsen der Wellenleiterflächen im
Abstand parallel zueinander verlaufen. Es ist aber auch
alternativ dazu denkbar, daß die Krümmungsachsen in einer
Ebene liegen, jedoch miteinander einen Winkel ein
schließen. Als weitere Alternative ist es denkbar, daß die
Krümmungsachsen windschief zueinander verlaufen.
Hinsichtlich der Ausrichtung der Spiegelflächen relativ zu
den Krümmungsachsen wurden bei den bislang beschriebenen
Ausführungsbeispielen keine näheren Angaben gemacht. So
sieht ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel vor, daß eine
Spiegelfläche senkrecht zu einer Krümmungsachse verläuft.
Noch vorteilhafter ist es jedoch, wenn beide Spiegel
flächen senkrecht zu der einen Krümmungsachse verlaufen
oder noch besser, wenn beide Spiegelflächen senkrecht zu
den beiden Krümmungsachsen verlaufen, was jedoch bedingt,
daß die Krümmungsachsen parallel zueinander verlaufen.
Im Rahmen der bislang beschriebenen Ausführungsbeispiele
wurde nicht näher darauf eingegangen, wie eine Auskopplung
eines Laserstrahls aus dem erfindungsgemäßen Hoch
leistungslaser erfolgen soll.
So sieht ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel vor, daß eine
Auskopplung des Laserstrahls durch einen teildurchlässigen
Spiegelbereich erfolgt. Dieser teildurchlässige Spiegel
bereich kann entweder dadurch realisiert sein, daß er nur
einen Teil der auftreffenden Strahlung reflektiert, den
anderen Teil hindurchtreten läßt oder daß der teildurch
lässige Spiegelbereich mit nicht reflektierenden Bereichen
versehen ist, die die Möglichkeit eines Durchtritts für
die Laserstrahlung schaffen.
Eine besonders zweckmäßige Konzeption ist dabei so aufge
baut, daß der teildurchlässige Spiegelbereich in einer das
Wellenbündelsystem hin- und herreflektierenden Spiegel
fläche liegt, das heißt also, daß das Ausgangswellenbündel
von zwei vollreflektierenden Spiegelflächen begrenzt ist,
und lediglich im Bereich des Wellenbündelsystems teil
durchlässige Spiegelbereiche vorgesehen sind.
Bezüglich der Anregung des erfindungsgemäßen Hochlei
stungslasers wurden keine näheren Angaben gemacht. Vor
zugsweise sind dabei die Wellenleiterflächen tragenden
Wellenleiterwände so ausgebildet, daß sie Elektroden um
fassen, wobei in diese Wellenleiterwände entweder Elek
troden auf- oder eingesetzt sein können oder die Wellen
leiterwände selbst als Elektroden, das heißt also bei
spielsweise aus Metall, ausgebildet sein können. Im
übrigen wird bezüglich der Art der Anregung, der Art des
Lasergases und der möglichen Wellenlängen auf die Aus
führungen in der EP-A-0 305 893 Bezug genommen.
Weitere Merkmale und Vorteile des erfindungsgemäßen Hoch
leistungslasers sind Gegenstand der nachfolgenden Be
schreibung sowie der zeichnerischen Darstellung einiger
Ausführungsbeispiele.
In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische schematische Darstellung
eines ersten Ausführungsbeispiels in nicht
maßstäblichen Größenverhältnissen;
Fig. 2 eine Ansicht in Richtung des Pfeils A Fig. 1;
Fig. 3 eine Ansicht in Richtung des Pfeils B in Fig. 1;
Fig. 4 eine ausschnittsweise vergrößerte Darstellung
eines Teilbereichs eines Wellenleiters in Fig. 1
mit nicht maßstäblichen Größenverhältnissen;
Fig. 5 eine perspektivische Darstellung eines zweiten
Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen
Hochleistungslasers mit weggelassenen Spiegeln in
nicht maßstäblichen Größenverhältnissen.
Ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Hochleistungslasers, dargestellt in den Fig. 1 bis 4 um
faßt einen als Ganzes mit 10 bezeichneten optischen
Wellenleiter mit einer unteren Wellenleiterfläche 12 und
einer oberen Wellenleiterfläche 14, die jeweils optisch
reflektierend ausgebildet und einander zugewandt sind.
Diese beiden Wellenleiterflächen 12 und 14 werden getragen
von oberen und unteren Wellenleiterwänden 16 bzw. 18 des
Wellenleiters 10.
Die Wellenleiterflächen 12 und 14 der Wellenleiterwände 16
und 18 erstrecken sich dabei von einer vorderen Stirnseite
20, gebildet durch vordere Stirnseitenkanten 22 und 24 zu
einer hinteren Stirnseite 26, gebildet durch hintere
Stirnseitenkanten 28 und 30 in einer Längsrichtung 32
sowie von einer linken Längsseite 34 mit Längsseitenkanten
36 und 38 in einer Querrichtung 40 zu einer rechten Längs
seite 42 mit Längsseitenkanten 44 und 46.
Den beiden Stirnseiten 20 und 26 zugewandt sind jeweils
Resonatorspiegelflächen 50 und 52 von Resonatorspiegeln 54
und 56 angeordnet, wobei die Resonatorspiegelflächen 50
und 52 vorzugsweise in einer Ebene liegen, die parallel zu
den Stirnseitenkanten 22 und 24 bzw. 28 und 30 verläuft.
Bevorzugterweise stehen die Resonatorspiegelflächen 50 und
52 parallel zueinander und senkrecht auf der Längsrichtung
32.
Von den beiden Wellenleiterflächen 12 und 14 ist ein Gas
entladungsraum 60 eingeschlossen, welcher sich in der
Querrichtung 40 erfindungsgemäß mindestens von den Längs
seitenkanten 36 und 38 bis zu den Längsseitenkanten 44 und
46 erstreckt und in der Längsrichtung 32 von den Stirn
seitenkanten 22 und 24 bis zu den Stirnseitenkanten 28 und
30, vorzugsweise jedoch über diese hinaus jeweils bis zu
den Resonatorspiegeln 50 und 52.
In dem Gasentladungsraum ist das jeweilige Lasergas einge
schlossen, das vorzugsweise in diesem strömungsfrei steht,
wobei die Gasmoleküle desselben lediglich durch Diffu
sionsprozesse wandern. Dabei erfolgt eine Kühlung des
Lasergases bevorzugt durch Stöße mit den Wellenleiter
flächen 12 und 14 und Abkühlung des Gases an den Wellen
leiterwänden 16 und 18, wobei die Wellenleiterwände bevor
zugterweise mit einer Kühleinrichtung gekühlt sind, die im
einfachsten Fall in den Wellenleiterwänden 14 und 16 ver
laufende Kühlkanäle umfaßt.
Bevorzugterweise erfolgt die Anregung des Lasergases in
dem Gasentladungsraum 60 durch Hochfrequenzeinkopplung,
wobei eine besonders günstige Lösung vorsieht, daß die
Wellenleiterwände 16 und 18 Hochfrequenzelektroden um
fassen, welche über Hochfrequenzleitungen 62 und 64 mit
einer zeichnerisch nicht dargestellten Hochfrequenzquelle
verbunden sind.
Im einfachsten Fall sind die Wellenleiterwände 16 und 18
aus einem Metall, welches für die Laserstrahlung reflek
tierend ist, so daß die Wellenleiterflächen 12 und 14 un
mittelbar durch entsprechend bearbeitete Oberflächen der
Wellenleiterwände 16 und 18 gebildet sind.
Wie in Fig. 2 und 3 dargestellt, laufen die Wellenleiter
flächen 12 und 14 in der Längsrichtung 32 parallel zuein
ander, während sie in der Querrichtung 40 ausgehend von
den Längsseitenkanten 36 und 38 mit zunehmender Er
streckung in der Querrichtung 40 einen sich ständig ver
größernden Abstand a aufweisen, wobei die Wellenleiter
flächen 12 und 14 in der Längsrichtung 32 nach wie vor
weiterhin parallel zueinander verlaufen. Die Wellenleiter
flächen 12 und 14 bilden in Querrichtung unterschiedliche
Bereiche. Zunächst bilden sie unmittelbar im Anschluß an
die Längsseitenkanten 36 und 38 erste Wellenleiter
flächenbereiche 68 und 70, deren senkrecht zu den Längs
seitenkanten 36 und 38 verlaufende Tangenten 72 und 74
untereinander parallel zueinander verlaufen, so daß die
ersten Wellenleiterbereiche 68 und 70 ebenfalls in der
Querrichtung 40 im wesentlichen über eine kurze Distanz
parallel zueinander ausgerichtet sind. Im Anschluß an die
ersten Wellenleiterbereiche 68 und 70 gehen die Wellen
leiterflächen 12 und 14, beispielsweise über einen ge
krümmten Bereich, stetig in zweite Wellenleiter
flächenbereiche 76 bzw. 78 über, wobei die Wellenleiter
flächenbereiche 76 und 78 im einfachsten Falle keilförmig
zueinander verlaufende ebene Flächen sind, die mit den
Tangenten 72 und 74 jeweils einen Keilwinkel α
einschließen.
Ein mit derartigen Wellenleiterflächen 12 und 14 ver
sehener Wellenleiter 10 führt in der Längsrichtung 32
- wie bereits bei Wellenleitern mit parallelen Wellen
leiterflächen bekannt - zu einer Hin- und Herreflexion
eines Lichtstrahls 80 zwischen den Wellenleitern 12 und
14, wenn dieser sich von einer Resonatorspiegelfläche 50
zur anderen Resonatorspiegelfläche 52 oder umgekehrt
ausbreitet.
Da in den ersten Wellenleiterflächenbereichen 68 und 70
die Tangenten 72 und 74 parallel zueinander verlaufen,
bildet sich in dem ersten Wellenleiterflächenbereich ein
in Fig. 1 und 4 dargestelltes Ausgangswellenbündel 82 aus,
welches bei der Reflexion an den Wellenleiterflächen 12
und 14 keine Reflexionskomponente in der Querrichtung 40
erfährt, sondern lediglich in der Längsrichtung 32 reflek
tiert wird. Dieses Ausgangswellenbündel 82 breitet sich
somit in einer Ausgangsrichtung 84 aus, welche zumindest
senkrecht auf der Resonatorspiegelfläche 50, vorzugsweise
aber auch senkrecht auf der Resonatorspiegelfläche 52
steht. Im dargestellten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1
bis 4 verläuft die Ausgangsrichtung 84 parallel zur Längs
richtung 32.
In Form des Ausgangswellenbündels 82 erfolgt ein
"Anschwingen" des Lasers, wobei die ersten Wellenleiter
flächenbereiche 68 und 70 in der Querrichtung 40 so schmal
wie möglich
ausgebildet sind. Sobald nun das Ausgangswellenbündel eine
geringfügige Ablenkung quer zur Ausgangsrichtung 84 in der
Querrichtung 40, die ebenfalls senkrecht zur Ausgangs
richtung 84 verläuft, erfährt, erfolgt die Reflexion der
Lichtstrahlen 80 an einem der zweiten Wellenleiter
flächenbereiche 76 und 78, die auf Grund ihres in Quer
richtung 40 nicht parallelen Verlaufes dazu führen, daß
ein reflektierter Lichtstrahl zusätzlich noch in der Quer
richtung 40 reflektiert wird. Der Einfachheit halber ist
in Fig. 3 die Reflexion eines Lichtstrahls 82 lediglich
in Richtung der Querrichtung 40 dargestellt, wobei zu er
kennen ist, daß sich die Komponente q, mit welcher der
Lichtstrahl 82 in Querrichtung reflektiert wird, ständig
vergrößert, da der Einfallswinkel e von Reflexion zu
Reflexion an den zweiten Wellenleiterflächenbereichen 76
und 78 stets größer wird.
In Fig. 4 ist anhand eines Lichtstrahls 86, welcher sich
mit einer Komponente p parallel zur Ausgangsrichtung 84
und einer Komponente q parallel zur Querrichtung 40 aus
breitet, die Reflexion an dem zweiten Wellenleiter
flächenbereich 76 perspektivisch dargestellt.
Durch die Reflexion in der Querrichtung 40 wird aus dem
Ausgangswellenbündel 82, wie in Fig. 1 schematisch ange
deutet, ein Wellenbündelsystem 88, welches aus dem Aus
gangswellenbündel 82 durch Hin- und Herreflexion an den
Resonatorspiegelflächen 52 und 50 mit einer zusätzlichen
Reflexionskomponente q in der Querrichtung 40, hervorge
rufen durch die Reflexionen an den zweiten Wellenleiter
flächenbereichen 76 und 78, entsteht. Der Übersichtlich
keit halber wurde bei der zeichnerischen Darstellung des
Wellenbündelsystems 88 in Fig. 1 dieses lediglich mit
seinen Komponenten in Ausgangsrichtung 84 und Querrichtung
40 dargestellt, und die Reflexion zwischen den Wellen
leiterflächen 12 und 14 weggelassen.
Um einen Laserstrahl 90 auskoppeln zu können, ist die
Resonatorspiegelfläche 50 vollständig reflektierend aus
gebildet, während die Resonatorspiegelfläche 52 einen
vollständig reflektierenden Bereich 92 aufweist, der sich
in Querrichtung von der Längsseite 34 in Richtung der
Längsseite 42 erstreckt, jedoch im Abstand von der Längs
seite 42 endet und in einen teilreflektierenden Bereich 94
übergeht, welcher den Laserstrahl 90 im wesentlichen
parallel zur Ausgangsrichtung 84 austreten lädt.
Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel (Fig. 5) eines er
findungsgemäßen Hochleistungslasers ist zur besseren Ver
anschaulichung lediglich der Wellenleiter 110 desselben
dargestellt.
Insoweit als dieselben Teile und Elemente wie beim ersten
Ausführungsbeispiel Verwendung finden, sind diese mit den
selben Bezugszeichen versehen, so daß vollinhaltlich auf
die Ausführungen zum ersten Ausführungsbeispiel Bezug ge
nommen werden kann.
Im Gegensatz zum ersten Ausführungsbeispiel sind die
Wellenleiterflächen 112 und 114 mit einer konstanten
Krümmung versehen, wobei die Wellenleiterfläche 112 konkav
und die Wellenleiterfläche 114 konvex gekrümmt ist.
In gleicher Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel
haben die Wellenleiterflächen 112 und 114 einen ersten
Wellenleiterflächenbereich 168 und 170, dessen Tangenten
172 und 174 parallel zueinander verlaufen. Der erste
Wellenleiterflächenbereich begrenzt das Ausgangswellen
bündel 82, welches sich in der Ausgangsrichtung 84 aus
breitet, die senkrecht zu den Tangenten 174 und 172 ver
läuft und senkrecht auf der zeichnerisch nicht darge
stellten Resonatorspiegelfläche 50, bei welcher es sich um
eine ebene Spiegelfläche handelt, steht.
An diese ersten Wellenleiterbereiche 168 und 170 schließen
sich die zweiten Wellenleiterbereiche 176 und 178 an,
deren Abstand a sich mit zunehmender Erstreckung derselben
in der Querrichtung 40 vergrößert, wobei im Unterschied
zum ersten Ausführungsbeispiel die zweiten Wellenleiter
flächenbereiche 176 und 178 im wesentlichen keine Ebenen,
sondern gekrümmte Flächen sind.
In gleicher Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel
weisen die Wellenleiterflächen 112 und 114 jedoch über
ihre gesamte Erstreckung parallel zur Ausgangsrichtung 84
denselben Abstand a auf.
Das zweite Ausführungsbeispiel funktioniert in gleicher
Weise wie das erste Ausführungsbeispiel, das heißt es
bildet sich das Ausgangswellenbündel 82, von welchem aus
gehend sich dann ein Wellenbündelsystem 88 mit räumlicher
Kohärenz in Querrichtung 40 ausbreitet, wobei in gleicher
Weise eine Auskopplung des Laserstrahls 90 über eine teil
durchlässige Spiegelfläche erfolgt.
Bei allen nicht maßstäblich dargestellten Ausführungs
beispielen betragen bei einer funktionierenden Ausfüh
rungsform der Abstand der ersten Wellenleiter
flächenbereiche ungefähr 1,5 mm, der Abstand der zweiten
Wellenleiterflächenbereiche ungefähr 1,5 mm bis ungefähr 2
mm, die Erstreckung der zweiten Wellenleiter
flächenbereiche in der Querrichtung ungefähr 30 mm bis 100
mm und die Erstreckung der Wellenleiterflächenbereiche in
der Ausgangsrichtung ungefähr 200 mm bis 60 mm. Als Laser
gas wird vorzugsweise Co2 + N2 + He bei einem Druck von
ungefähr 150 mbar verwendet und angeregt wird mit
Frequenzen von ungefähr 100 MHz bis 200 MHz.