JPH0821741B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH0821741B2 JPH0821741B2 JP62199353A JP19935387A JPH0821741B2 JP H0821741 B2 JPH0821741 B2 JP H0821741B2 JP 62199353 A JP62199353 A JP 62199353A JP 19935387 A JP19935387 A JP 19935387A JP H0821741 B2 JPH0821741 B2 JP H0821741B2
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- Japan
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- gas
- laser device
- optical
- laser
- gas flow
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はガスレーザ装置，とくにそのビームの高安
定化に関するものである。
定化に関するものである。
第３図（ａ）（ｂ）は各々特開昭55−154790号公報に
示された従来の三軸直交型，即ちレーザガス流方向，放
電方向，レーザ光軸方向がお互いに直交するCO2レーザ
装置を示す縦断面構成図及び横断面構成図である。
示された従来の三軸直交型，即ちレーザガス流方向，放
電方向，レーザ光軸方向がお互いに直交するCO2レーザ
装置を示す縦断面構成図及び横断面構成図である。
図において，（1a）（1b）は対向して配置された一対
の誘電体電極，（２）は放電部，（３）はレーザガス循
環用ブロア，（４）は熱交換器，（５）は筺体，（６）
はガス流，（７）は交流電源，（８）は全反射鏡，
（９）は部分反射鏡，（10）はレーザ光である。
の誘電体電極，（２）は放電部，（３）はレーザガス循
環用ブロア，（４）は熱交換器，（５）は筺体，（６）
はガス流，（７）は交流電源，（８）は全反射鏡，
（９）は部分反射鏡，（10）はレーザ光である。
次に動作について説明する。
筺体（５）には，数十〜百数十Torrの圧力でCO2,He,N
2等よりなるレーザガスが封入されている。
2等よりなるレーザガスが封入されている。
電極（1a）（1b）間で発生した放電によりCO2分子が
励起される。この励起エネルギーは光共振器を構成する
全反射鏡（８）及び部分反射鏡（９）によりレーザ光
（10）となり部分反射鏡（９）により取出される。
励起される。この励起エネルギーは光共振器を構成する
全反射鏡（８）及び部分反射鏡（９）によりレーザ光
（10）となり部分反射鏡（９）により取出される。
一方，放電安定化及び放電部のガス温度上昇を抑える
ため，ブロア（３）によりレーザガスは矢印方向に熱交
換器（４）を介して循環される。
ため，ブロア（３）によりレーザガスは矢印方向に熱交
換器（４）を介して循環される。
従来のガスレーザ装置は以上のように構成されている
ので、放電部（２）のガス温度はガス流（６）の方向に
分布をもつ。
ので、放電部（２）のガス温度はガス流（６）の方向に
分布をもつ。
このようにガス温度に分布がある場合，取出されるレ
ーザ光は高温部と低温部において光の屈折率が変化し，
位相がずれたものとなる。
ーザ光は高温部と低温部において光の屈折率が変化し，
位相がずれたものとなる。
この結果放電電力の増大とともにビーム形状の対称性
がくずれたり，ビームの出射方向がずれるという問題点
があつた。
がくずれたり，ビームの出射方向がずれるという問題点
があつた。
この発明は上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので，ビームの品質が極めて安定なガスレーザ装
置を得ることを目的とする。
れたもので，ビームの品質が極めて安定なガスレーザ装
置を得ることを目的とする。
この発明に係るガスレーザ装置は、光共振器を、ガス
流方向と直交する面内に設けられた２つの光路と、上記
ガス流方向と直交する面に交差し、上記２つの光路の間
をつなぐ光路とで構成された折り返し共振器としたもの
である。
流方向と直交する面内に設けられた２つの光路と、上記
ガス流方向と直交する面に交差し、上記２つの光路の間
をつなぐ光路とで構成された折り返し共振器としたもの
である。
この発明におけるガスレーザ装置は，放電部のガス温
度分布によりレーザ光に与える悪影響を第２〜第４ミラ
ーにより折り返しによつて相殺し，形状と出射方向が極
めて安定なレーザ光を出力する。
度分布によりレーザ光に与える悪影響を第２〜第４ミラ
ーにより折り返しによつて相殺し，形状と出射方向が極
めて安定なレーザ光を出力する。
以下，この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例によるガスレーザ装置を
示す部分構成図であり，図において，（21）（23）は各
々レーザガスのガス流（６）方向と直交しかつ放電部
（２）を含む面内に設けられた第２及び第４ミラー，
（22）は第４ミラー（23）の中心点を含み，かつガス流
（６）方向に平行な面内にある第３ミラーであり，これ
ら第２ないし第４ミラーはいずれも放電部（２）の外側
にある。
示す部分構成図であり，図において，（21）（23）は各
々レーザガスのガス流（６）方向と直交しかつ放電部
（２）を含む面内に設けられた第２及び第４ミラー，
（22）は第４ミラー（23）の中心点を含み，かつガス流
（６）方向に平行な面内にある第３ミラーであり，これ
ら第２ないし第４ミラーはいずれも放電部（２）の外側
にある。
（10a）（10b）（10c）（10d）は全反射鏡（第１ミラ
ー），（８），第２〜第４ミラー，及び部分反射鏡（第
５ミラー）（９）を順次結んで形成される折り返し光路
である。
ー），（８），第２〜第４ミラー，及び部分反射鏡（第
５ミラー）（９）を順次結んで形成される折り返し光路
である。
光路（10a）における，ガスの下流側即ち高温側は第
２〜第４ミラー（21）（22）（23）による折り返し光路
で反転し，光路（10d）においてガスの上流側即ち低温
側になる。
２〜第４ミラー（21）（22）（23）による折り返し光路
で反転し，光路（10d）においてガスの上流側即ち低温
側になる。
したがつて放電部（２）におけるガス流（６）方向の
温度分布によるビームのずれは光路（10a）と（10d）に
おいて相殺される。
温度分布によるビームのずれは光路（10a）と（10d）に
おいて相殺される。
光路（10b）においては第３ミラー（22）が放電部
（２）より外側に位置しているため，光路（10b）のう
ち放電部（２）を通る部分は短かくなり，温度分布の影
響を無視してよいと考えられる。
（２）より外側に位置しているため，光路（10b）のう
ち放電部（２）を通る部分は短かくなり，温度分布の影
響を無視してよいと考えられる。
従つて，放電電力を増してレーザ出力を増大する場合
にも，出力されるレーザ光（10）のビーム形状が非対称
となつたり，出射角度がずれるといつたことはほとんど
なくなる。
にも，出力されるレーザ光（10）のビーム形状が非対称
となつたり，出射角度がずれるといつたことはほとんど
なくなる。
この効果は，放電の方向がガス流に直交する場合で
も，平行な場合でも同様である。
も，平行な場合でも同様である。
第２図は，この発明の他の実施例によるガスレーザ装
置を示す部分構成図であり，上記実施例の折り返し光路
を基本として，折り返しの回数を増やした構成のもので
ある。
置を示す部分構成図であり，上記実施例の折り返し光路
を基本として，折り返しの回数を増やした構成のもので
ある。
図において，（24）（25）は各々ガス流方向と直交
し，かつ放電部を含む面内に設けられた第２及び第４ミ
ラーであり，これにより基本となる折り返し光路（10
a）〜（10d）の両側にそれぞれ光路（10e）（10f）が加
えられる。
し，かつ放電部を含む面内に設けられた第２及び第４ミ
ラーであり，これにより基本となる折り返し光路（10
a）〜（10d）の両側にそれぞれ光路（10e）（10f）が加
えられる。
なお，上記実施例では第２ミラー及び第４ミラーと全
反射鏡（８）及び部分反射鏡（９）とは同一面内にある
ものを示したが，ガス流方向に直交し，放電部（２）を
含む面であれば必らずしもこれに限るものではない。
反射鏡（８）及び部分反射鏡（９）とは同一面内にある
ものを示したが，ガス流方向に直交し，放電部（２）を
含む面であれば必らずしもこれに限るものではない。
以上のように，この発明によれば，光共振器を、ガス
流方向と直交する面内に設けられた２つの光路と、３上
記ガス流方向と直交する面に交差し、２つの光路の間を
つなぐ光路とで構成された折り返し共振器としたので、
ガス温度分布の影響を相殺することができ，ビームの安
定性がすぐれたガスレーザ装置が得られる効果がある。
流方向と直交する面内に設けられた２つの光路と、３上
記ガス流方向と直交する面に交差し、２つの光路の間を
つなぐ光路とで構成された折り返し共振器としたので、
ガス温度分布の影響を相殺することができ，ビームの安
定性がすぐれたガスレーザ装置が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるガスレーザ装置の光
共振器部分を示す構成図，第２図はこの発明の他の実施
例によるガスレーザ装置の光共振器部分を示す構成図，
並びに第３図（ａ）（ｂ）は各々従来のガスレーザ装置
を示す縦断面構成図，及び横断面構成図である。 （２）は放電部，（６）はガス流，（８）は全反射鏡，
（９）は部分反射鏡，（10）はレーザ光，（10a）（10
b）（10c）（10d）（10e）（10f）は光路，（21）（2
4）は第２ミラー，（22）は第３ミラー，（23）（25）
は第４ミラー。 なお図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
共振器部分を示す構成図，第２図はこの発明の他の実施
例によるガスレーザ装置の光共振器部分を示す構成図，
並びに第３図（ａ）（ｂ）は各々従来のガスレーザ装置
を示す縦断面構成図，及び横断面構成図である。 （２）は放電部，（６）はガス流，（８）は全反射鏡，
（９）は部分反射鏡，（10）はレーザ光，（10a）（10
b）（10c）（10d）（10e）（10f）は光路，（21）（2
4）は第２ミラー，（22）は第３ミラー，（23）（25）
は第４ミラー。 なお図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
フロントページの続き (72)発明者 田中 正明 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社応用機器研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−61379（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−61380（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】対向する一対の電極間にレーザガスを流す
と共に、上記電極間に電圧を印加して放電を生成し、光
共振器により上記レーザガスの流れの方向と直交してレ
ーザ光を発生させるものにおいて、上記光共振器は、ガ
ス流方向と直交する面内に設けられた２つの光路と、上
記ガス流方向と直交する面に交差し、上記２つの光路の
間をつなぐ光路とで構成された折り返し共振器であるこ
とを特徴とするガスレーザ装置。 - 【請求項２】上記２つの光路の間をつなぐ光路の少なく
とも一部が放電部の外側に設けられた特許請求の範囲第
１項記載のガスレーザ装置。 - 【請求項３】上記ガス流方向と直交する面内に設けられ
た光路を形成する全反射鏡の数を増加させ、上記ガス流
方向と直交する面内に設けられた光路の折り返し回数を
増加させた特許請求の範囲第１項又は第２項記載のガス
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62199353A JPH0821741B2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62199353A JPH0821741B2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6442872A JPS6442872A (en) | 1989-02-15 |
| JPH0821741B2 true JPH0821741B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=16406349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62199353A Expired - Lifetime JPH0821741B2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821741B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2862032B2 (ja) * | 1991-10-01 | 1999-02-24 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振装置 |
| CN1178341C (zh) * | 1999-07-30 | 2004-12-01 | 三菱电机株式会社 | 正交型气体激光器装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6261380A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-18 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振器 |
-
1987
- 1987-08-10 JP JP62199353A patent/JPH0821741B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6442872A (en) | 1989-02-15 |
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