JPS6261380A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6261380A JPS6261380A JP19951785A JP19951785A JPS6261380A JP S6261380 A JPS6261380 A JP S6261380A JP 19951785 A JP19951785 A JP 19951785A JP 19951785 A JP19951785 A JP 19951785A JP S6261380 A JPS6261380 A JP S6261380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- flow
- gain
- intensity distribution
- laser medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はガスレーザ発振器に係り、特に直交形の発振器
に関する。
に関する。
ガスレーザ媒質の流れと共振器元軸が交差するいわゆる
直交形のガスレーザ発振器では第２図の示すように放電
部において、励起されたガスレーザ媒質の利得がガス流
の上流側から下流側（こ至る間で不均一となり、非対称
な強度分布（Ｓ）となる現象が生じる。このような非対
称を強隻分佑をちったレーザ光では適正なレーザ加工が
行えない問題があった。この対策としては、特開昭６０
−７１８９号で開示されているよう１こ、ガスレーザ媒
實、ヅ） ＋、Ｃ＊用の送風機と放電部およびガス冷却
器を１セツトとした「レーザ励起ユニット」を榎数個配
江し。
直交形のガスレーザ発振器では第２図の示すように放電
部において、励起されたガスレーザ媒質の利得がガス流
の上流側から下流側（こ至る間で不均一となり、非対称
な強度分布（Ｓ）となる現象が生じる。このような非対
称を強隻分佑をちったレーザ光では適正なレーザ加工が
行えない問題があった。この対策としては、特開昭６０
−７１８９号で開示されているよう１こ、ガスレーザ媒
實、ヅ） ＋、Ｃ＊用の送風機と放電部およびガス冷却
器を１セツトとした「レーザ励起ユニット」を榎数個配
江し。
これら光学的に適宜接続して発振モードの１．Ｓ’ｉＦ
、全行う技術、あるいは共振光軸を偶数個に分利し。
、全行う技術、あるいは共振光軸を偶数個に分利し。
ガス流を交互に対向的に流す技術が特開昭６０−２８２
８８号に提案されている。これらの技術はいす丸らレー
ザ光に対し上記「レーザ励起ユニット」色群虱機が複数
台必要となり装置の大形化、複雑化を招く問題があった
。
８８号に提案されている。これらの技術はいす丸らレー
ザ光に対し上記「レーザ励起ユニット」色群虱機が複数
台必要となり装置の大形化、複雑化を招く問題があった
。
本発明は類〕略な襦成でレーザ光のモードの非対称性を
解消したガスレーザ発振器を提供することを目的とする
。
解消したガスレーザ発振器を提供することを目的とする
。
ガスレーザ媒質の流れにほぼ沿って共振光を折り返し上
記ガスレーザ媒質の流れに対して反転させる光学系を付
加した折り返し形光共振器を備えた構成にして上記目的
を達成するようにしたものである。
記ガスレーザ媒質の流れに対して反転させる光学系を付
加した折り返し形光共振器を備えた構成にして上記目的
を達成するようにしたものである。
以下、実施例を示す図面に基いて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例で、６枚の反射鏡で構成され
光共振器の部分を示している。すなわち。
光共振器の部分を示している。すなわち。
これら６枚の反射鏡は１枚を出力鏡（１）とし、他を全
反射鏡（２）乃至（６）としたもので、一端に位置する
出力鏡と５枚の全反射鏡のうち他端に位置する全反射鏡
（６）とはガスレーザ媒＊（’／）の流れる放電部（８
）の−刃側にそれぞれ配置されている。また放電部（８
）の他方側ｌこは残り４枚の全反射鏡（２）、 （３１
，（４）、 ＋５１がガスレーザ媒質（力の流れにほぼ
沿う方向のジグザグ形に折り返す反射角度に配置されて
いる。
反射鏡（２）乃至（６）としたもので、一端に位置する
出力鏡と５枚の全反射鏡のうち他端に位置する全反射鏡
（６）とはガスレーザ媒＊（’／）の流れる放電部（８
）の−刃側にそれぞれ配置されている。また放電部（８
）の他方側ｌこは残り４枚の全反射鏡（２）、 （３１
，（４）、 ＋５１がガスレーザ媒質（力の流れにほぼ
沿う方向のジグザグ形に折り返す反射角度に配置されて
いる。
上記により、放電部（８）において、二つの平行の利得
光路、すなわち、全反射鏡（６）と（５）との間の利得
光路ＯＱと、出力鏡（１）と全反射鏡（２）との間の利
得光路α１）とをもつ光共振器αりが構成される。ここ
で上記の二つの利得光路ｆ１１．（ｌυのガスレーザ媒
質（７）の流れと共振光軸の方向との関係においては互
いに上記流れに反転されたものとなっている。すなわち
、放電部（８）およびその近傍で、矢印（Ａ）をガスレ
ーザ媒質（力の上流、矢印（Ｂ）を下流とすると。
光路、すなわち、全反射鏡（６）と（５）との間の利得
光路ＯＱと、出力鏡（１）と全反射鏡（２）との間の利
得光路α１）とをもつ光共振器αりが構成される。ここ
で上記の二つの利得光路ｆ１１．（ｌυのガスレーザ媒
質（７）の流れと共振光軸の方向との関係においては互
いに上記流れに反転されたものとなっている。すなわち
、放電部（８）およびその近傍で、矢印（Ａ）をガスレ
ーザ媒質（力の上流、矢印（Ｂ）を下流とすると。
利得光路ｅｌｆ）において、光軸に垂直な断面の強度分
布は下流（Ｂ）側の方で利得が減少するため、上流（Ａ
）側に片寄った強度分布となる。また、利得光路αυ上
でも下流側の方で利得が減少することになるが、利得光
路αυは一方の利得光路Ｕυを反転しているので、両方
の利得光路（１ｉ］ｌ、（１１）における利イ４のテン
バランスは相殺され、出力鏡（１）から対称の断面強度
分布となったレーザ光（Ｌ）を取り出すことができた。
布は下流（Ｂ）側の方で利得が減少するため、上流（Ａ
）側に片寄った強度分布となる。また、利得光路αυ上
でも下流側の方で利得が減少することになるが、利得光
路αυは一方の利得光路Ｕυを反転しているので、両方
の利得光路（１ｉ］ｌ、（１１）における利イ４のテン
バランスは相殺され、出力鏡（１）から対称の断面強度
分布となったレーザ光（Ｌ）を取り出すことができた。
なお、共振光である利得光路における強度分布を反転す
る光学系、およびその（４成は上記実施例に限定される
ものでなく、要旨を逸脱しない範囲で掻々変形できる。
る光学系、およびその（４成は上記実施例に限定される
ものでなく、要旨を逸脱しない範囲で掻々変形できる。
対称の強度分布をもつレーザ光が得られろようになった
ので、切Ｍ幅や浴接深さを一定にする適正なレーザ加工
が安定に実施できるようになった。
ので、切Ｍ幅や浴接深さを一定にする適正なレーザ加工
が安定に実施できるようになった。
また、光学系の配置の組み換えによる構成より。
装置が大形化、複雑をこなる問題も生じない利点を得た
。
。
第１図は本発明の一実施例を示す要部構成図。
第２図は従来例におけるガスレーザ媒質の励起による強
度分布を示す図である。 （１）・・・出力鏡 （２）〜（６）・・・
全反射鏡（力・・・ガスレーザ媒質 （８）・・・
放１を部翰、０１）・・・利得光路 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第２ｖ：ｉ
度分布を示す図である。 （１）・・・出力鏡 （２）〜（６）・・・
全反射鏡（力・・・ガスレーザ媒質 （８）・・・
放１を部翰、０１）・・・利得光路 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第２ｖ：ｉ
Claims (2)
- （１）密閉容器内を一方向に沿って循環するガスレーザ
媒質と光軸が上記ガスレーザ媒質の流れに交差する向き
に配置された光共振器とを備えたガスレーザ発振器にお
いて、上記共振器はガスレーザ媒質の流れにほぼ沿って
共振光の強度分布を折り返し、上記ガスレーザ媒質の流
れに対して反転させる光学系を付加した折り返し形光共
振器としたことを特徴とするガスレーザ発振器。 - （２）折り返し形光共振器は互いに平行で利得が逆にな
る利得光路を形成することを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19951785A JPS6261380A (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19951785A JPS6261380A (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6261380A true JPS6261380A (ja) | 1987-03-18 |
Family
ID=16409138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19951785A Pending JPS6261380A (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6261380A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6442872A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
| JPH0441078U (ja) * | 1990-08-08 | 1992-04-07 |
-
1985
- 1985-09-11 JP JP19951785A patent/JPS6261380A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6442872A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-15 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
| JPH0441078U (ja) * | 1990-08-08 | 1992-04-07 |
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