JPH0639469Y2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH0639469Y2 JPH0639469Y2 JP12222187U JP12222187U JPH0639469Y2 JP H0639469 Y2 JPH0639469 Y2 JP H0639469Y2 JP 12222187 U JP12222187 U JP 12222187U JP 12222187 U JP12222187 U JP 12222187U JP H0639469 Y2 JPH0639469 Y2 JP H0639469Y2
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- JP
- Japan
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- gas
- discharge
- laser
- discharge part
- laser device
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案はガスレーザ装置，とくにそのビームの高安定
化に関するものである。
化に関するものである。
第２図（ａ）（ｂ）は各々，特開昭55-154790号公報に
示された従来の三軸直交型，即ちレーザガス流方向，放
電方向，レーザ光軸方向が互いに直交するCO2レーザ装
置を示す縦断面構成図及び横断面構成図である。
示された従来の三軸直交型，即ちレーザガス流方向，放
電方向，レーザ光軸方向が互いに直交するCO2レーザ装
置を示す縦断面構成図及び横断面構成図である。
図において，（1a）（1b）は対向して配置された一対の
誘電体電極，（２）は放電空間，（３）はレーザガス循
環用ブロア，（４）は熱交換器，（５）は筐体，（６）
はガス流，（７）は交流電極，（８）は全反射鏡，
（９）は部分反射鏡，（10）はレーザ光である。
誘電体電極，（２）は放電空間，（３）はレーザガス循
環用ブロア，（４）は熱交換器，（５）は筐体，（６）
はガス流，（７）は交流電極，（８）は全反射鏡，
（９）は部分反射鏡，（10）はレーザ光である。
また、特開昭61-75576号公報には、一対の電極を具備
し、光軸がガス流を斜交する面内に折返された折返し共
振器光路によって装置を構成し、レーザ装置のコンパク
ト化，ハイパワー化を図った従来例が開示されている。
し、光軸がガス流を斜交する面内に折返された折返し共
振器光路によって装置を構成し、レーザ装置のコンパク
ト化，ハイパワー化を図った従来例が開示されている。
次に動作について説明する。
筐体（５）には，数十〜百数十Torrの圧力でCO2,He,Ne
等よりなるレーザガスが封入されている。電極（1a）
（1b）間で発生した放電によりCO2分子が励起される。
この励起エネルギーは光共振器を構成する全反射鏡
（８）及び部分反射鏡（９）によりレーザ光（10）とな
り部分反射鏡（９）より取出される。
等よりなるレーザガスが封入されている。電極（1a）
（1b）間で発生した放電によりCO2分子が励起される。
この励起エネルギーは光共振器を構成する全反射鏡
（８）及び部分反射鏡（９）によりレーザ光（10）とな
り部分反射鏡（９）より取出される。
一方，放電安定化及び放電部のガス温度上昇を抑えるた
め，ブロア（３）によりレーザガスは矢印方向に熱交換
器（４）を介して循環される。
め，ブロア（３）によりレーザガスは矢印方向に熱交換
器（４）を介して循環される。
従来のガスレーザ装置は以上のように構成されているの
で，放電空間（２）のガス温度はガス流（６）の方向に
分布をもつ。
で，放電空間（２）のガス温度はガス流（６）の方向に
分布をもつ。
このようにガス温度に分布がある場合，取出されるレー
ザ光は高温部と低温部において光の屈折率が変化し，位
相がずれたものとなり，この結果，放電電力の増大とと
もにビーム形状の対称性がくずれたり，ビームの出射方
向がずれるという問題点があつた。
ザ光は高温部と低温部において光の屈折率が変化し，位
相がずれたものとなり，この結果，放電電力の増大とと
もにビーム形状の対称性がくずれたり，ビームの出射方
向がずれるという問題点があつた。
この考案は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので，発振のエネルギー効率が高く，ビームの安定
性が極めてすぐれたレーザ装置を得ることを目的とす
る。
たもので，発振のエネルギー効率が高く，ビームの安定
性が極めてすぐれたレーザ装置を得ることを目的とす
る。
この考案に係るガスレーザ装置は、同一平面内に平行に
配設された対向する第１の電極及び第２の電極と、この
第１の電極間に形成される第１の放電部と上記第２の電
極間に形成される第２の放電部とこれら放電部の中間領
域とにより光路がＮ型をなす光共振器を備え、レーザガ
ス流方向を、上記第１の放電部と上記第２の放電部とで
互いに逆方向としたものである。
配設された対向する第１の電極及び第２の電極と、この
第１の電極間に形成される第１の放電部と上記第２の電
極間に形成される第２の放電部とこれら放電部の中間領
域とにより光路がＮ型をなす光共振器を備え、レーザガ
ス流方向を、上記第１の放電部と上記第２の放電部とで
互いに逆方向としたものである。
この考案におけるガス流の向きの異なる２つの平行な放
電部は，ガスの温度分布に起因する悪影響を相殺し，安
定性のすぐれたレーザ光を供給する。
電部は，ガスの温度分布に起因する悪影響を相殺し，安
定性のすぐれたレーザ光を供給する。
以下，この考案の実施例を図について説明する。
第１図（ａ）（ｂ）は各々，この考案の一実施例による
ガスレーザ装置を示す縦断面構成図及び第１図（ａ）の
B-B線での横断面図である。
ガスレーザ装置を示す縦断面構成図及び第１図（ａ）の
B-B線での横断面図である。
図において，（11a）（11b）及び（12a）（12b）は各々
同一平面内に平行に配設された２対の対向する電極，
（16）（17）はミラーであり，全反射鏡（８），ミラー
（16）（17），部分反射鏡（９）によつて構成される光
共振器のＮ型の光路は,2つの平行な放電部（2a）（2b）
及びこれら放電部（2a）（2b）の中間領域（15）を通
る。（13）（14）はガスガイド，（131）（132）はガス
ガイド（13）に設けられたスリツト状の孔であり，これ
らガスガイド（13）（14）及び孔（131）（132）によ
り，平行な２つの放電部（2a）（2b）に互いに逆向きの
レーザガス（61a）（16b）を流す第１ガス流路と，放電
部（2a）（2b）の中間領域（15）に放電部（2a）（2b）
を通らないレーザガス（62）を流す第２ガス流路とを構
成する。
同一平面内に平行に配設された２対の対向する電極，
（16）（17）はミラーであり，全反射鏡（８），ミラー
（16）（17），部分反射鏡（９）によつて構成される光
共振器のＮ型の光路は,2つの平行な放電部（2a）（2b）
及びこれら放電部（2a）（2b）の中間領域（15）を通
る。（13）（14）はガスガイド，（131）（132）はガス
ガイド（13）に設けられたスリツト状の孔であり，これ
らガスガイド（13）（14）及び孔（131）（132）によ
り，平行な２つの放電部（2a）（2b）に互いに逆向きの
レーザガス（61a）（16b）を流す第１ガス流路と，放電
部（2a）（2b）の中間領域（15）に放電部（2a）（2b）
を通らないレーザガス（62）を流す第２ガス流路とを構
成する。
光共振器内部のレーザ光の軌跡をたどると，例えば放電
部（2a）で光軸のガス流下流側即ち高温部を通過した光
は，次の放電部（2b）では光軸のガス流上流側，即ち低
温部を通過する。
部（2a）で光軸のガス流下流側即ち高温部を通過した光
は，次の放電部（2b）では光軸のガス流上流側，即ち低
温部を通過する。
このため，ガスの温度分布によるビームのずれは光共振
器内で相殺され，放電電力の増大によつても，ほとんど
ビームの対称性のくずれや，ビーム出射方向のずれがな
くなる。
器内で相殺され，放電電力の増大によつても，ほとんど
ビームの対称性のくずれや，ビーム出射方向のずれがな
くなる。
また，レーザガス（61a）（61b）の流れる第１ガス流路
の他に，放電部（2a）（2b）を通らない少量の，レーザ
ガス（62）が放電部（2a）（2b）の中間領域（15）に形
成される光路に添つて流入し，その光路部分のガス温度
を低下させ，ガスによるレーザ光の自己吸収を低減さ
せ，発振のエネルギー効率が向上する。
の他に，放電部（2a）（2b）を通らない少量の，レーザ
ガス（62）が放電部（2a）（2b）の中間領域（15）に形
成される光路に添つて流入し，その光路部分のガス温度
を低下させ，ガスによるレーザ光の自己吸収を低減さ
せ，発振のエネルギー効率が向上する。
以上に説明したとおり、この考案のガスレーザ装置は、
同一平面内に平行に配設された対向する第１の電極及び
第２の電極と、この第１の電極間に形成される第１の放
電部と上記第２の電極間に形成される第２の放電部とこ
れら放電部の中間領域とにより光路がＮ型をなす光共振
器とを備え、レーザガス流方向を、上記第１の放電部と
上記第２の放電部とで互いに逆方向としたので、発振の
エネルギー効率が高くビームの安定性が極めてすぐれた
レーザ装置が得られる効果がある。
同一平面内に平行に配設された対向する第１の電極及び
第２の電極と、この第１の電極間に形成される第１の放
電部と上記第２の電極間に形成される第２の放電部とこ
れら放電部の中間領域とにより光路がＮ型をなす光共振
器とを備え、レーザガス流方向を、上記第１の放電部と
上記第２の放電部とで互いに逆方向としたので、発振の
エネルギー効率が高くビームの安定性が極めてすぐれた
レーザ装置が得られる効果がある。
第１図（ａ）はこの考案の一実施例によるガスレーザ装
置を示す縦断面構成図，第１図（ｂ）は第１図（ａ）の
B-B線での横断面図，並びに第２図（ａ）（ｂ）は各各
従来のガスレーザ装置を示す縦断面構成図及び横断面構
成図である。 （11a）（11b）（12a）（12b）……電極，（2a）（2b）
……放電部，（61a）（61b）（62）……レーザガス，
（８）……全反射鏡，（９）……部分反射鏡，（10）…
…レーザ光，（13）（14）……ガスガイド，（131）（1
32）……孔，（15）……中間領域，（16）（17）……ミ
ラー。 なお，図中，同一符号は同一又は相当部分を示す。
置を示す縦断面構成図，第１図（ｂ）は第１図（ａ）の
B-B線での横断面図，並びに第２図（ａ）（ｂ）は各各
従来のガスレーザ装置を示す縦断面構成図及び横断面構
成図である。 （11a）（11b）（12a）（12b）……電極，（2a）（2b）
……放電部，（61a）（61b）（62）……レーザガス，
（８）……全反射鏡，（９）……部分反射鏡，（10）…
…レーザ光，（13）（14）……ガスガイド，（131）（1
32）……孔，（15）……中間領域，（16）（17）……ミ
ラー。 なお，図中，同一符号は同一又は相当部分を示す。
フロントページの続き (72)考案者 田中 正明 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社応用機器研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−51277（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】同一平面内に平行に配設された対向する第
１の電極及び第２の電極、 この第１の電極間に形成される第１の放電部と上記第２
の電極間に形成される第２の放電部とこれら放電部の中
間領域とにより光路がＮ型をなす光共振器を備え、 レーザガス流方向を、上記第１の放電部と上記第２の放
電部とで互いに逆方向としたことを特徴とするガスレー
ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12222187U JPH0639469Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12222187U JPH0639469Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426871U JPS6426871U (ja) | 1989-02-15 |
| JPH0639469Y2 true JPH0639469Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=31369946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12222187U Expired - Lifetime JPH0639469Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639469Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-08-10 JP JP12222187U patent/JPH0639469Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6426871U (ja) | 1989-02-15 |
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