JPS6316686A - ３軸直交型レ−ザ発振装置 - Google Patents
３軸直交型レ−ザ発振装置Info
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- JPS6316686A JPS6316686A JP15956386A JP15956386A JPS6316686A JP S6316686 A JPS6316686 A JP S6316686A JP 15956386 A JP15956386 A JP 15956386A JP 15956386 A JP15956386 A JP 15956386A JP S6316686 A JPS6316686 A JP S6316686A
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- Japan
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- cathode
- discharge
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- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 4
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- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 abstract description 2
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- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 abstract 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 8
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 5
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- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は３軸直交型レーザ発振装置に係り、更に詳細に
は、ガスレーザのｆｌｉ？ｌｌｆの安定化とアークに移
行するまでの注入電力の最大化を狙った３軸直交型レー
ザ発振装置に関するものである。
は、ガスレーザのｆｌｉ？ｌｌｆの安定化とアークに移
行するまでの注入電力の最大化を狙った３軸直交型レー
ザ発振装置に関するものである。
［発明の技術的背景とその問題点］
３３軸直交型レーザ搬装置としての連続発成Ｃｏ２レー
ザ装置は、通常のガラス管壁ＣＯ２レーザ装置ｉニ比べ
、レーサｔｓ質（ＣＯ２−Ｎ２−ＨＩ３の混合気体）を
高速にて循環することにより、単位体積のレーザ媒質へ
の注入放電電力を高め、かつ強制循環により気体冷却を
効率的に行なうことができる結果、飛躍的に高い出力を
発生することができる。その際に生ずる問題点は陰極の
冷却が困難になり、アーク放電へ移行しやすくなること
である。
ザ装置は、通常のガラス管壁ＣＯ２レーザ装置ｉニ比べ
、レーサｔｓ質（ＣＯ２−Ｎ２−ＨＩ３の混合気体）を
高速にて循環することにより、単位体積のレーザ媒質へ
の注入放電電力を高め、かつ強制循環により気体冷却を
効率的に行なうことができる結果、飛躍的に高い出力を
発生することができる。その際に生ずる問題点は陰極の
冷却が困難になり、アーク放電へ移行しやすくなること
である。
すなわち、従来の放電部は、平板状の陽極とこの陽極側
に突出する陰極とをレーザビームをはさんで対向して配
置した構成である。しかも、前記陰極に気体の下流方向
に頭斜した突出放電端部が形成されている。
に突出する陰極とをレーザビームをはさんで対向して配
置した構成である。しかも、前記陰極に気体の下流方向
に頭斜した突出放電端部が形成されている。
しかしながら、これら陰極の形状では、放電は陰極の下
流側から起り、放電端部が加熱してアーク放電へ移行し
やすいという問題があった。
流側から起り、放電端部が加熱してアーク放電へ移行し
やすいという問題があった。
本発明の目的は、上記事情に鑑み従来の装置の欠点を取
除き、陰極の過熱によって生ずる放電の不安定を抑制す
ると共にアークに移行するまでの注入電力の最大化を図
った３軸直交型レーザ発振装置を提供するものである。
除き、陰極の過熱によって生ずる放電の不安定を抑制す
ると共にアークに移行するまでの注入電力の最大化を図
った３軸直交型レーザ発振装置を提供するものである。
［問題を解決するための手段］
本発明は上記目的を達成するために、陽極とこの陽極側
に突出する陰極とを対向して配置し、上記両極間に気体
を流通させるレーザ発振装置において、上記陰極を大略
Ｕ字形状に形成すると共に復故の端部を冷却領域内へ突
出させたことを構成とするものである。
に突出する陰極とを対向して配置し、上記両極間に気体
を流通させるレーザ発振装置において、上記陰極を大略
Ｕ字形状に形成すると共に復故の端部を冷却領域内へ突
出させたことを構成とするものである。
［作用コ
本発明を採用することにより、陰極の冷却効果が大巾に
向上し、放電の安定化が図られると共に、アークに移行
するまでの最大注入電力が高められる。
向上し、放電の安定化が図られると共に、アークに移行
するまでの最大注入電力が高められる。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
第１図を参照するに、３軸直交型レーザ発振装置の発撮
部１は発振容器３を備えていると共に、出力ミラー５と
リヤミラー７などを備えている。
部１は発振容器３を備えていると共に、出力ミラー５と
リヤミラー７などを備えている。
発振容器３は、平板状の陽極９とある一定の間隙を持っ
て対向した位置に複数配列された陰極１１などから構成
されている。複数の陰極１１は、各陰極１１間を絶縁す
る放電壁１３に取付けである。
て対向した位置に複数配列された陰極１１などから構成
されている。複数の陰極１１は、各陰極１１間を絶縁す
る放電壁１３に取付けである。
さらに、放電壁１３には、各陰極１１に接続された安定
抵抗１５が設けである。
抵抗１５が設けである。
前記陽極９“および陰極１１はそれぞれ図示省略の高圧
電源装置に接続されて、陽極９と陰極１１との隙間に放
電領域が形成される。
電源装置に接続されて、陽極９と陰極１１との隙間に放
電領域が形成される。
第１図において手前側から矢印１７の如く、レーザ媒質
である気体が循環される。すなわら、矢印１７は前記気
体の流通方向を示している。
である気体が循環される。すなわら、矢印１７は前記気
体の流通方向を示している。
この状態において、出力ミラー５とリヤミラー７との間
でレーザビームが反射されると共に、レーザビームは第
１図において陽極９と陰極１１との間の間隙部である放
電領域を通って右側へ矢印１９の如く出力ミラー５から
出力されることになる。
でレーザビームが反射されると共に、レーザビームは第
１図において陽極９と陰極１１との間の間隙部である放
電領域を通って右側へ矢印１９の如く出力ミラー５から
出力されることになる。
なお、放電壁１３の下部には、陰極容器２１が設けられ
、該陰極容器２１内に絶縁油が充填されて陰極１１およ
び安定抵抗１５などが過熱するのを防止するために冷却
している。高温になった絶縁油は例えば外部へ導かれて
図示省略の熱交換器により冷却されるようになっている
。
、該陰極容器２１内に絶縁油が充填されて陰極１１およ
び安定抵抗１５などが過熱するのを防止するために冷却
している。高温になった絶縁油は例えば外部へ導かれて
図示省略の熱交換器により冷却されるようになっている
。
前記平板状の陽極９に対する各陰極１１の配置および形
状は第２図に示す如くなっている。すなわら、各陰極１
１は陽極９側へ突出した大略Ｕ字形状をして複数例えば
２本の棒状である端部１１Ａと気体の流通方向に平行な
放電部１１Ｂからなっている。２本の端部１１Ａのうら
、気体の流通方向に対する上流側の端部１１Ａに安定抵
抗１５が接続されている。なお、陰極１１の形状である
大略Ｕ字形状とは、Ｕ字形状だけでなく、■字形状した
ものも包含されるものである。
状は第２図に示す如くなっている。すなわら、各陰極１
１は陽極９側へ突出した大略Ｕ字形状をして複数例えば
２本の棒状である端部１１Ａと気体の流通方向に平行な
放電部１１Ｂからなっている。２本の端部１１Ａのうら
、気体の流通方向に対する上流側の端部１１Ａに安定抵
抗１５が接続されている。なお、陰極１１の形状である
大略Ｕ字形状とは、Ｕ字形状だけでなく、■字形状した
ものも包含されるものである。
上記構成により、放電部１１Ｂと下流側の端部１１Ａの
曲がり部１１Ｃが放電開始部となり、かつそのｔｌｉ電
開始部である曲がり部１１Ｇが冷却されているため過熱
せず、アーク放電への移行が抑制されることになる。而
して、アークに移行するまでの最大注入電力を高めるこ
とになって、ｔｌｉ電の安定化が図られる。
曲がり部１１Ｃが放電開始部となり、かつそのｔｌｉ電
開始部である曲がり部１１Ｇが冷却されているため過熱
せず、アーク放電への移行が抑制されることになる。而
して、アークに移行するまでの最大注入電力を高めるこ
とになって、ｔｌｉ電の安定化が図られる。
第３図は第２図に代る他実施例を示しているが、第２図
における陰極１１の向きを気体の流通方向に対して反対
向きに設置したもので、それ以外、の構成はほぼ同じで
あるから詳細な説明は省略する。
における陰極１１の向きを気体の流通方向に対して反対
向きに設置したもので、それ以外、の構成はほぼ同じで
あるから詳細な説明は省略する。
第３図においても、第２図と同様の効果が得られるので
ある。
ある。
第４図は他の実施例を示し、第２図における陰極１１と
比べて陰極１１の例えば２本の端部１１Ａに安定抵抗１
５が接続しである点が異なっている以外は、はぼ同じ構
造となっている。したがって、第４図の実施例も第２図
のものと同様の効果が得られる。
比べて陰極１１の例えば２本の端部１１Ａに安定抵抗１
５が接続しである点が異なっている以外は、はぼ同じ構
造となっている。したがって、第４図の実施例も第２図
のものと同様の効果が得られる。
第５図は別の実施例を示し、Ｕ字形の陰極１１Ａが気体
の流通方向に対して直交させて設けられている。それ以
外の構造は、第２図のものとほぼ同じである。したがっ
て、第５図の実施例も第２図のものと同様の効果が得ら
れる。
の流通方向に対して直交させて設けられている。それ以
外の構造は、第２図のものとほぼ同じである。したがっ
て、第５図の実施例も第２図のものと同様の効果が得ら
れる。
なお、本発明は上述の実施例のみに限ることなく、適宜
の変更を行なうことにより、その他の態様で実施し得る
ものである。
の変更を行なうことにより、その他の態様で実施し得る
ものである。
［効果］
以上のごとき実施例の説明から理解されるように、本発
明によれば、陰極の形状を大略Ｕ字形状にしたものであ
るから、陰極の放電部が常に冷却されて陰極の冷却効果
が大巾に向上する。さらにアークに移行するまでの最大
注入電力が高められて放電の安定化が図られる効果を奏
する。
明によれば、陰極の形状を大略Ｕ字形状にしたものであ
るから、陰極の放電部が常に冷却されて陰極の冷却効果
が大巾に向上する。さらにアークに移行するまでの最大
注入電力が高められて放電の安定化が図られる効果を奏
する。
第１図は本発明を実施した一実施例の３軸直交型レ一ツ
発振装置の発振部の構成を示す斜視図で第３図、第４図
および第５図は第２図に代る他の実施例の横断面回およ
び斜視図である。 ［図面の主要な部分を表わす符号の説明］１・・・発振
部 ９・・・＠極 １１・・・陰極 １１Ａ・・・端部 １１Ｂ・・・放電部 １１Ｇ・・・曲がり部代理人 弁
理士 三 好 保 男 第１図 第２閃 第３図 第４図
発振装置の発振部の構成を示す斜視図で第３図、第４図
および第５図は第２図に代る他の実施例の横断面回およ
び斜視図である。 ［図面の主要な部分を表わす符号の説明］１・・・発振
部 ９・・・＠極 １１・・・陰極 １１Ａ・・・端部 １１Ｂ・・・放電部 １１Ｇ・・・曲がり部代理人 弁
理士 三 好 保 男 第１図 第２閃 第３図 第４図
Claims (3)
- （１）陽極とこの陽極側に突出する陰極とを対向して配
置し、上記両極間に気体を流通させるレーザ発振装置に
おいて、上記陰極を大略Ｕ字形状に形成すると共に複数
の端部を冷却領域内へ突出させたことを特徴とする３軸
直交型レーザ発振装置。 - （２）端部がレーザガス流と平行な方向に配置されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の３軸
直交型レーザ発振装置。 - （３）端部がレーザガス流と平行な方向に配置されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の３軸
直交型レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15956386A JPS6316686A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | ３軸直交型レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15956386A JPS6316686A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | ３軸直交型レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316686A true JPS6316686A (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=15696463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15956386A Pending JPS6316686A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | ３軸直交型レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6316686A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006108558A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
| US10294362B2 (en) | 2012-08-06 | 2019-05-21 | Daikin Industries, Ltd. | Resin composition and molded article |
-
1986
- 1986-07-09 JP JP15956386A patent/JPS6316686A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006108558A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
| JP4496430B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2010-07-07 | 澁谷工業株式会社 | ガスレーザ発振器 |
| US10294362B2 (en) | 2012-08-06 | 2019-05-21 | Daikin Industries, Ltd. | Resin composition and molded article |
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