JPS63229770A - 高繰返しパルスレ−ザ電極 - Google Patents
高繰返しパルスレ−ザ電極Info
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- JPS63229770A JPS63229770A JP6250887A JP6250887A JPS63229770A JP S63229770 A JPS63229770 A JP S63229770A JP 6250887 A JP6250887 A JP 6250887A JP 6250887 A JP6250887 A JP 6250887A JP S63229770 A JPS63229770 A JP S63229770A
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 238000009412 basement excavation Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、高繰返しパルスレーザ装置に使用される高繰
返しパルスレーザ電極に関するものであり、特にガス流
の整流技術に改良を施した高繰返しパルスレーザ電極に
係る。
返しパルスレーザ電極に関するものであり、特にガス流
の整流技術に改良を施した高繰返しパルスレーザ電極に
係る。
（従来の技術）
近年、ＣＯ２レーザ、エキシマレーザ等の各種高繰返し
パルスレーザ装置における技術の著しい。
パルスレーザ装置における技術の著しい。
進歩に伴い、これらの各種高繰返しパルスレーザ装置の
一層の小型化、高性能化が要求されている。
一層の小型化、高性能化が要求されている。
この様な高繰返しパルスレーザ装置としては、例えば、
第６図及び第７図に示す様な実開昭６１−１９６５６４
＠の考案が存在している。
第６図及び第７図に示す様な実開昭６１−１９６５６４
＠の考案が存在している。
第６図及び第７図において、発振ボックス１内には、主
放電電極２，３が対向配置され、この主放電電極２，３
の側方の近接位置には、予備電離Ｎ極４が並べて配置さ
れている。主放電電極２゜３及び予備電離電極４の片側
の側方には、若干距離をおいて送＆１機５が配置されて
いる。この送風機５は、発振ボックス１内のレーザガス
を強制循環させて、主放電電極２，３間の空間に矢印６
に示す様な方向にてレーザガスを送り、グロー放電によ
る残留ガスを除去して周部のガス交換を行うと共に、過
熱した主放電Ｎ極２，３を冷却するものである。発掘ボ
ックス１の隔壁には、送ｆｆ１１５による風向き６と直
交する方向を光軸として、リアミラー８と出力ミラー９
か対向配置されている。
放電電極２，３が対向配置され、この主放電電極２，３
の側方の近接位置には、予備電離Ｎ極４が並べて配置さ
れている。主放電電極２゜３及び予備電離電極４の片側
の側方には、若干距離をおいて送＆１機５が配置されて
いる。この送風機５は、発振ボックス１内のレーザガス
を強制循環させて、主放電電極２，３間の空間に矢印６
に示す様な方向にてレーザガスを送り、グロー放電によ
る残留ガスを除去して周部のガス交換を行うと共に、過
熱した主放電Ｎ極２，３を冷却するものである。発掘ボ
ックス１の隔壁には、送ｆｆ１１５による風向き６と直
交する方向を光軸として、リアミラー８と出力ミラー９
か対向配置されている。
このリアミラー８と出力ミラー９とは、主放電電極２，
３にパルス電圧が印加されて、この間にグロー放電を発
生し、これによってレーザガスが励起された際、両者で
共振器として作用し、レーザ発振を行うものである。な
お、発掘ボックス１は、排気パイプ１ａ及び給気パイプ
１ｂを有しており、給気パイプ１ｂには、調整弁１１を
介してガスボンベ１２が接続され、この構成にて発振ボ
ックス１内のガス調整がなされる様になっている。
３にパルス電圧が印加されて、この間にグロー放電を発
生し、これによってレーザガスが励起された際、両者で
共振器として作用し、レーザ発振を行うものである。な
お、発掘ボックス１は、排気パイプ１ａ及び給気パイプ
１ｂを有しており、給気パイプ１ｂには、調整弁１１を
介してガスボンベ１２が接続され、この構成にて発振ボ
ックス１内のガス調整がなされる様になっている。
ところで、益々高電圧化する高繰返しパルスレーザ装置
においては、主放電電極２，３部にて発生する熱量も大
きくなり、これに伴い、送風機５の送風による主放電電
極２．３の冷却機能が更に重要となっている。しかしな
がら、第６図及び第７図に示した装置において、主放電
電極２，３の側方に近接配置される予備電離電極４は、
一般に太い棒状とされ、且つ主放電電極２，３の長手方
向に沿って多数本配置されているため、送風機５による
ガス流の妨げとなる。この結果、予備電離電極４によっ
てガス流が乱され、渦流が発生する等してガス流による
ガス交換効率及び冷却効率が著しく低下するため、安定
したレーザ出力が得られなくなってしまうという問題点
を生じている。
においては、主放電電極２，３部にて発生する熱量も大
きくなり、これに伴い、送風機５の送風による主放電電
極２．３の冷却機能が更に重要となっている。しかしな
がら、第６図及び第７図に示した装置において、主放電
電極２，３の側方に近接配置される予備電離電極４は、
一般に太い棒状とされ、且つ主放電電極２，３の長手方
向に沿って多数本配置されているため、送風機５による
ガス流の妨げとなる。この結果、予備電離電極４によっ
てガス流が乱され、渦流が発生する等してガス流による
ガス交換効率及び冷却効率が著しく低下するため、安定
したレーザ出力が得られなくなってしまうという問題点
を生じている。
（発明が解決しようとする問題点）
上記の様に、従来の高繰返しパルスレーザ装置において
は、予備電離電極がガス流の妨げとなり、ガス流による
ガス交換効率及び冷却効率が低下する問題点が存在して
いた。
は、予備電離電極がガス流の妨げとなり、ガス流による
ガス交換効率及び冷却効率が低下する問題点が存在して
いた。
本発明は、この様な問題点を解決するために提案された
ものであり、その目的は、ガス流を妨げない様な予備電
離Ｎ極を実現することにより、ガス交換効率及び冷却効
率を向上して、安定したレーザ出力を得られる様な、優
れた高繰返しパルスレーザ電極を提供することである。
ものであり、その目的は、ガス流を妨げない様な予備電
離Ｎ極を実現することにより、ガス交換効率及び冷却効
率を向上して、安定したレーザ出力を得られる様な、優
れた高繰返しパルスレーザ電極を提供することである。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明による高繰返しパルスレーザ電極は、予備電離電
極を、ガス流方向に沿った平板形状とし、且つ主放電電
極の逆側から主放電電極に対向する側に沿って主放電電
極間の中心部に向かう斜辺を設け、ガス流を整流する整
流格子を兼ねる様にしたことを構成の特徴としている。
極を、ガス流方向に沿った平板形状とし、且つ主放電電
極の逆側から主放電電極に対向する側に沿って主放電電
極間の中心部に向かう斜辺を設け、ガス流を整流する整
流格子を兼ねる様にしたことを構成の特徴としている。
（作用）
以上の様な構成を有する本発明においては、平板形状と
された予備電離電極に沿ってガス流が流れ、且つその斜
辺を有する形状にてガスの整流をもなされるため、ガス
交換効率及び冷却効率を向上できる。
された予備電離電極に沿ってガス流が流れ、且つその斜
辺を有する形状にてガスの整流をもなされるため、ガス
交換効率及び冷却効率を向上できる。
（実施例）
以上説明した様な本発明による高繰返しパルスレーザ電
極の実施例を以下に説明する。なお、第６図及び第７図
に示した従来技術と同一部分には同一符号を付し、説明
を省略する。
極の実施例を以下に説明する。なお、第６図及び第７図
に示した従来技術と同一部分には同一符号を付し、説明
を省略する。
■第１実施例
第１図に、本発明の基本的実施例を示す。第１図に示す
様に、本実施例において、ガス流方向に沿って平板形状
とされた予備電離電極４は、その先端部を、頂角を鋭角
とする三角形状とされ、且つその両側の斜辺が主放電電
極２，３間の中心部に向かう様に形成されている。ここ
で、予備電離電極４の寸法は、対向する予備電離電極４
同士の頂点が近接位置に来る程度の大きさとされている
。
様に、本実施例において、ガス流方向に沿って平板形状
とされた予備電離電極４は、その先端部を、頂角を鋭角
とする三角形状とされ、且つその両側の斜辺が主放電電
極２，３間の中心部に向かう様に形成されている。ここ
で、予備電離電極４の寸法は、対向する予備電離電極４
同士の頂点が近接位置に来る程度の大きさとされている
。
なお、図中７は、予備電離電極４に接続されたピーキン
グコンデンサであり、予備電離Ｎ極４の予備電離の際に
充電を行い、充電したパルス電圧を主放電電極２，３間
に印加する機能を有するものである。また、第２図（Ａ
）（Ｂ）は、本実施例の予備電離電極４を示す側面図と
正面図である。
グコンデンサであり、予備電離Ｎ極４の予備電離の際に
充電を行い、充電したパルス電圧を主放電電極２，３間
に印加する機能を有するものである。また、第２図（Ａ
）（Ｂ）は、本実施例の予備電離電極４を示す側面図と
正面図である。
以上の様な構成を有する本実施例においては、平板形状
とされている予備電離電極４の平面に沿ってガス流が流
れるため、太い棒状とされていた従来の予備電離電極４
の様に、ガス流の妨げとなることがなくなっている。こ
れに６口えぞ、本実施例では、予備電離電極４の先端部
を、主放電電極２．３間の中心部へ向かう鋭角三角形と
したため、予備電離電極４かガス流を整流するという積
極的な機能をも有している。従って、本実施例において
は、無駄のないガス流循環が可能となり、従来に比べて
ガス交換効率と冷却効率とを大幅に向上できるため、安
定したレーザ出力の実現に大いに貢献できる。
とされている予備電離電極４の平面に沿ってガス流が流
れるため、太い棒状とされていた従来の予備電離電極４
の様に、ガス流の妨げとなることがなくなっている。こ
れに６口えぞ、本実施例では、予備電離電極４の先端部
を、主放電電極２．３間の中心部へ向かう鋭角三角形と
したため、予備電離電極４かガス流を整流するという積
極的な機能をも有している。従って、本実施例において
は、無駄のないガス流循環が可能となり、従来に比べて
ガス交換効率と冷却効率とを大幅に向上できるため、安
定したレーザ出力の実現に大いに貢献できる。
■第２実施例
第３図（Ａ＞（Ｂ）に、本発明の第２実施例を示す。第
２実施例は、予備電離電極４ａの主放電電極２，３に対
向する側に絶縁物カバ−４ｂ＠装着した実施例であり、
その基本的形状は第１実施例と同様とされている。
２実施例は、予備電離電極４ａの主放電電極２，３に対
向する側に絶縁物カバ−４ｂ＠装着した実施例であり、
その基本的形状は第１実施例と同様とされている。
この様な構成を有する本実施例においては、第１実施例
の作用に加えて、主放電電極２，３と予備電離電極４ａ
間でのグロー放電の発生が抑制されるため、同品にグロ
ー放電を生ずることによるレーザ出力の不安定化を防止
できる利点がある。
の作用に加えて、主放電電極２，３と予備電離電極４ａ
間でのグロー放電の発生が抑制されるため、同品にグロ
ー放電を生ずることによるレーザ出力の不安定化を防止
できる利点がある。
■第３実施例
第４図及び第５図に本発明による第３実施例を示す。第
３実施例は、第１実施例の構成に加えて、主成電電＃Ａ
２．３の送風機と逆側の側方に、整流格子１０を配置し
て成る実施例である。ここで、整流格子１０は、主放電
電極２，３の逆側から主放電電極２，３に対向する側に
沿って主放電電極２．３間の中心部に向かう傾斜面を縦
横に組合せて形成され、且つ衝撃波扱き１４を設けられ
ている。
３実施例は、第１実施例の構成に加えて、主成電電＃Ａ
２．３の送風機と逆側の側方に、整流格子１０を配置し
て成る実施例である。ここで、整流格子１０は、主放電
電極２，３の逆側から主放電電極２，３に対向する側に
沿って主放電電極２．３間の中心部に向かう傾斜面を縦
横に組合せて形成され、且つ衝撃波扱き１４を設けられ
ている。
この様な構成を有する本実施例では、第１実施例の作用
に加えて、グロー放電時に発生する衝撃波をより積極的
に吸収できるため、この点からグロー放電の安定化に貢
献できる効果がある。
に加えて、グロー放電時に発生する衝撃波をより積極的
に吸収できるため、この点からグロー放電の安定化に貢
献できる効果がある。
■他の実施例
なお、本発明は前記各実施例に限定されるものではなく
、例えば、予備電離電極の形状は、整流作用を得られる
ものであればよく、曲線状の斜辺を設けることも可能で
ある。また、本発明は電極部の形状及び配置構成のみに
係るものであるため、本発明の電極を収納する発振ボッ
クス１の構成や、ガスの給気、排気構成は自由に選択可
能である。
、例えば、予備電離電極の形状は、整流作用を得られる
ものであればよく、曲線状の斜辺を設けることも可能で
ある。また、本発明は電極部の形状及び配置構成のみに
係るものであるため、本発明の電極を収納する発振ボッ
クス１の構成や、ガスの給気、排気構成は自由に選択可
能である。
［発明の効果］
以上説明した様に、本発明においては、予備電離電極を
整流機能を備えた平板形状とするという簡単な構成の改
良により、予備電離電極によってガスの流れが妨げられ
ていた従来技術に比へ、ガス流が乱されることがなくな
るばかりか、より積極的にガス流の整流をも行えるため
、ガス交換効率及び冷却効率を大幅に向上でき、安定し
たレーザ出力を得られる様な優れた高繰返しパルスレー
ザ電極を提供できる。
整流機能を備えた平板形状とするという簡単な構成の改
良により、予備電離電極によってガスの流れが妨げられ
ていた従来技術に比へ、ガス流が乱されることがなくな
るばかりか、より積極的にガス流の整流をも行えるため
、ガス交換効率及び冷却効率を大幅に向上でき、安定し
たレーザ出力を得られる様な優れた高繰返しパルスレー
ザ電極を提供できる。
第１図は本発明による高繰返しパルスレーザ電極の第１
実施例を示す断面図、第２図（Ａ＞（Ｂ）はそれぞれ第
１実施例に使用する予備電離電極を示す側面図と正面図
、第３図（Ａ）（Ｂ）は本発明の第２実施例に使用する
予備電離電極を示す側面図と正面図、第４図は本発明の
第３実施例を示す断面図、第５図は第３実施例に使用す
る整流格子を示す斜視図である。 第６図及び第７図はそれぞれ従来の高繰返しパルスレー
ザ装置を別方向から示す断面図である。 １・・・発振ボックス、１ａ・・・排気パイプ、１ｂ・
・・給気パイプ、２．３−、、＝主放電電極、４．４ａ
・・・予備電離電極、４ｂ・・・絶縁物カバー、５・・
・送風機、６・・・風向、７・・・ピーキングコンデン
サ、８・・・リアミラー、９・・・出力ミラー、１０・
・・整流格子、１１・・・調整弁、１２・・・ガスボン
ベ、１４・・・衡撃波抜き。
実施例を示す断面図、第２図（Ａ＞（Ｂ）はそれぞれ第
１実施例に使用する予備電離電極を示す側面図と正面図
、第３図（Ａ）（Ｂ）は本発明の第２実施例に使用する
予備電離電極を示す側面図と正面図、第４図は本発明の
第３実施例を示す断面図、第５図は第３実施例に使用す
る整流格子を示す斜視図である。 第６図及び第７図はそれぞれ従来の高繰返しパルスレー
ザ装置を別方向から示す断面図である。 １・・・発振ボックス、１ａ・・・排気パイプ、１ｂ・
・・給気パイプ、２．３−、、＝主放電電極、４．４ａ
・・・予備電離電極、４ｂ・・・絶縁物カバー、５・・
・送風機、６・・・風向、７・・・ピーキングコンデン
サ、８・・・リアミラー、９・・・出力ミラー、１０・
・・整流格子、１１・・・調整弁、１２・・・ガスボン
ベ、１４・・・衡撃波抜き。
Claims (3)
- （１）対向配置された主放電電極の側方に予備電離電極
を備え、主放電電極の表面に沿ってレーザガスを強制循
環させる高繰返しパルスレーザ電極において、 前記予備電離電極が、ガス流方向に沿った平板形状とさ
れ、且つ主放電電極の逆側から主放電電極に対向する側
に沿って主放電電極間の中心部に向かう斜辺を設けられ
、ガス流を整流する整流格子を兼ねる様にされたことを
特徴とする高繰返しパルスレーザ電極。 - （２）予備電離電極が、その主放電電極と対向する側に
絶縁物を装着されたものである特許請求の範囲第１項記
載の高繰返しパルスレーザ電極。 - （３）予備電離電極が、その主放電電極の逆側に、主放
電電極の逆側から主放電電極に対向する側に沿って主放
電電極間の中心部に向かう傾斜面を縦横に組み合せて成
る整流格子を有するものである特許請求の範囲第１項記
載の高繰返しパルスレーザ電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6250887A JPS63229770A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6250887A JPS63229770A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63229770A true JPS63229770A (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=13202186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6250887A Pending JPS63229770A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63229770A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0236579A (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-06 | Komatsu Ltd | 放電励起ガスレーザ装置の紫外線予備電離電極 |
| JP2004526334A (ja) * | 2001-05-11 | 2004-08-26 | サイマー， インコーポレイテッド | ４ＫＨｚガス放電レーザシステム |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP6250887A patent/JPS63229770A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0236579A (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-06 | Komatsu Ltd | 放電励起ガスレーザ装置の紫外線予備電離電極 |
| JP2004526334A (ja) * | 2001-05-11 | 2004-08-26 | サイマー， インコーポレイテッド | ４ＫＨｚガス放電レーザシステム |
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