JPS607189A - クロスフロ−型レ−ザ装置のモ−ドパタ−ン修正方法およびクロスフロ−型レ−ザ装置 - Google Patents
クロスフロ−型レ−ザ装置のモ−ドパタ−ン修正方法およびクロスフロ−型レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS607189A JPS607189A JP11378583A JP11378583A JPS607189A JP S607189 A JPS607189 A JP S607189A JP 11378583 A JP11378583 A JP 11378583A JP 11378583 A JP11378583 A JP 11378583A JP S607189 A JPS607189 A JP S607189A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- medium
- excitation
- rade
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーデの発振方向とレーデ媒質の循環方向とが
直交するクロスフロー型レーデ装置のモード・ぐターン
修正方法およびクロスフロー型レーデ装置に関する。
直交するクロスフロー型レーデ装置のモード・ぐターン
修正方法およびクロスフロー型レーデ装置に関する。
従来、この種のクロスフロー型レーデ装置としては、第
１図に示すものがある。このクロスフロー型レーザ装置
は、気密性の高い真空容器１、プロペラファン２、がイ
ドダクト３およびラジエタ４等から構成されている。レ
ーザ媒質はファン２によって矢印で示す循環経路内を循
環し得るようになっている。なお、第１図においては図
示の都合上循環経路は２次元的に示されているが、放電
電極５が設けられている放電部においては、レーザ媒質
が紙面の裏側から表側に向って流れるように循環経路は
形成されている。
１図に示すものがある。このクロスフロー型レーザ装置
は、気密性の高い真空容器１、プロペラファン２、がイ
ドダクト３およびラジエタ４等から構成されている。レ
ーザ媒質はファン２によって矢印で示す循環経路内を循
環し得るようになっている。なお、第１図においては図
示の都合上循環経路は２次元的に示されているが、放電
電極５が設けられている放電部においては、レーザ媒質
が紙面の裏側から表側に向って流れるように循環経路は
形成されている。
放電部では連続的に供給されるレーデ媒雀を放電電極５
間の放電によって連、続的に励起し、放電部に反転分布
領域を作り出し、この反転分布領域に蓄わえられたエネ
ルギは流れに対し直角方向に配設されたフロントミラー
６、リヤミラー７からなる光共振器によシレーザ光りと
して取り出される。
間の放電によって連、続的に励起し、放電部に反転分布
領域を作り出し、この反転分布領域に蓄わえられたエネ
ルギは流れに対し直角方向に配設されたフロントミラー
６、リヤミラー７からなる光共振器によシレーザ光りと
して取り出される。
一方、放電部を通過して温度が上昇したレーデ媒質は、
ラゾエタ４を介して冷却され、再びファン２の入口に戻
る。
ラゾエタ４を介して冷却され、再びファン２の入口に戻
る。
かかる従来のクロスフロー型レーザ装置は、第２図に示
すようにレーザ媒質の流れの方向がレーザの発振方向と
直交するため、レーデ媒質の上流側と下流側の間で、励
起されたレーザ媒質の分布が第３図に示すように非対称
となる。
すようにレーザ媒質の流れの方向がレーザの発振方向と
直交するため、レーデ媒質の上流側と下流側の間で、励
起されたレーザ媒質の分布が第３図に示すように非対称
となる。
したがって、レーザ光りに垂直な断面での光の強度分布
（モードパターン）も非対称となっていた。なお、モー
ドパターンが非対称なレーデ光は、レンズ等を用いて絞
ることができず、レーザ光を切断、穿孔等に応用する際
に問題となる。
（モードパターン）も非対称となっていた。なお、モー
ドパターンが非対称なレーデ光は、レンズ等を用いて絞
ることができず、レーザ光を切断、穿孔等に応用する際
に問題となる。
また、第１図に示すクロスフロー型レーザ装置は、真空
容器１内にファン２、〃イドダクト３、ラジェター４等
を単体で組み込んで循環経路を形成しているため、循環
経路におけるレーザ媒質の膨張、収縮箇所、コーナーな
どが多く、ここでのレーデ媒質の圧力損失も大きくなっ
ていた。したがってファン２は大出力、大型化し、ラゾ
エタ４も大型化せざるを得す、その結果、レーデ全体で
の効率の低下を招いていた。
容器１内にファン２、〃イドダクト３、ラジェター４等
を単体で組み込んで循環経路を形成しているため、循環
経路におけるレーザ媒質の膨張、収縮箇所、コーナーな
どが多く、ここでのレーデ媒質の圧力損失も大きくなっ
ていた。したがってファン２は大出力、大型化し、ラゾ
エタ４も大型化せざるを得す、その結果、レーデ全体で
の効率の低下を招いていた。
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、その第１の
目的は、レーデ光のモードパターンの非対称性を解消す
るようにしたクロスフロー型レーザ装置のモードパター
ン修正方法を提供するととＫある。
目的は、レーデ光のモードパターンの非対称性を解消す
るようにしたクロスフロー型レーザ装置のモードパター
ン修正方法を提供するととＫある。
また、第２の目的は、レーザ光のモードパターンの非対
称性を解消するとともに、装置の小型化、高効率化を図
ったクロスフロー型レーザ装置を提供することにある。
称性を解消するとともに、装置の小型化、高効率化を図
ったクロスフロー型レーザ装置を提供することにある。
この発明によれば、真空容器内でレーザ媒質を循環させ
る駆動装置と、前記レーザ媒質が循環する循環経路内で
放電する放電電極と、前記レーザ媒質を冷却する冷却手
段とからなるレーザ励起ユニットを複数準備し、各レー
ザ励起ユニット間に折シ返しミラーを配設して前記複数
のレーデ励起ユニットを光学的に接続する際に、各レー
デ励起ユニットの励起部におけるレーデ媒質の流れの方
向および前記折シ返しミラーによるビームの折り返し方
向に基づいて前記複数のレーザ励起ユニットを適宜配列
して光学的に接続し、レーザ媒質の流れにともなうビー
ムの強度分布の非対称性を補償するようにしている。
る駆動装置と、前記レーザ媒質が循環する循環経路内で
放電する放電電極と、前記レーザ媒質を冷却する冷却手
段とからなるレーザ励起ユニットを複数準備し、各レー
ザ励起ユニット間に折シ返しミラーを配設して前記複数
のレーデ励起ユニットを光学的に接続する際に、各レー
デ励起ユニットの励起部におけるレーデ媒質の流れの方
向および前記折シ返しミラーによるビームの折り返し方
向に基づいて前記複数のレーザ励起ユニットを適宜配列
して光学的に接続し、レーザ媒質の流れにともなうビー
ムの強度分布の非対称性を補償するようにしている。
また、この発明によれば、真空容器として円筒型のもの
を用い、この容器内に該容器内壁とガイ（５） ドダクトとによってレーザ媒質の循環経路を形成し、前
記容器内壁の一部を後ケーシングとし、がイドダクトの
一部を前ケーシングとする軸方向の長さが前記円筒型真
空容器の長手方向の長さとほぼ同一の貫流ファンと、前
記循環経路内で放電する放電電極と、前記レーザ媒質を
冷却する冷却手段とからなるレーデ励起ユニットを、前
記循環経路内に等間隔で複数配設し、各レーザ励起ユニ
ット間に折り返しミラーを配設して前記複数のレーザ励
起ユニットを光学的に接続し、各レーデ励起ユニットに
おいて励起されたレーザ媒質の非対称性を実効的に相殺
するようにしている。
を用い、この容器内に該容器内壁とガイ（５） ドダクトとによってレーザ媒質の循環経路を形成し、前
記容器内壁の一部を後ケーシングとし、がイドダクトの
一部を前ケーシングとする軸方向の長さが前記円筒型真
空容器の長手方向の長さとほぼ同一の貫流ファンと、前
記循環経路内で放電する放電電極と、前記レーザ媒質を
冷却する冷却手段とからなるレーデ励起ユニットを、前
記循環経路内に等間隔で複数配設し、各レーザ励起ユニ
ット間に折り返しミラーを配設して前記複数のレーザ励
起ユニットを光学的に接続し、各レーデ励起ユニットに
おいて励起されたレーザ媒質の非対称性を実効的に相殺
するようにしている。
以下、本発明を添付図面を参照して詳細に説明する。
まず、本発明に係るクロスフロー型レーデ装置のモート
ノリーン修正方法を原理的に説明する。
ノリーン修正方法を原理的に説明する。
レーザ光のモードパターンの非対称性を補償する場合、
そのモードパターン＼とは全く極性が異な□るモード・
母ターンのレーデ光を重畳し、互いにその非対称性を相
殺するようにすればよいことが考（６） えられる。
そのモードパターン＼とは全く極性が異な□るモード・
母ターンのレーデ光を重畳し、互いにその非対称性を相
殺するようにすればよいことが考（６） えられる。
すなわち、第４図（、）に示すように、モードパターン
ａｌとａ２ とのレーザ光を加算することにより実効的
に空間的均一なモード・ぐターンＡのレーザ光を得るこ
とができる。なお、ａ２はａ！を１８０°回転したもの
である。同様に、第４図（ｂ）に示すように、モードパ
ターンｌ）Ｉ ｒ ｂ２およびｂ３のレーデ光を加算す
ることにより更に均一性に優れたモードパターンＢのレ
ーデ光を得ることができる。なお、ｂ２はｂｌを１２０
°回転したものであり、ｂ３はｂ２を１２０°回転した
ものである。
ａｌとａ２ とのレーザ光を加算することにより実効的
に空間的均一なモード・ぐターンＡのレーザ光を得るこ
とができる。なお、ａ２はａ！を１８０°回転したもの
である。同様に、第４図（ｂ）に示すように、モードパ
ターンｌ）Ｉ ｒ ｂ２およびｂ３のレーデ光を加算す
ることにより更に均一性に優れたモードパターンＢのレ
ーデ光を得ることができる。なお、ｂ２はｂｌを１２０
°回転したものであり、ｂ３はｂ２を１２０°回転した
ものである。
第５図は本発明方法を適用したレーザ装置の概略構成図
である。この装置は、レーザ励起ユニット１０および１
１と、フロントミラー１２と、リアミラー１３と、折り
返しミラー１４およヒ１５とから構成されている。
である。この装置は、レーザ励起ユニット１０および１
１と、フロントミラー１２と、リアミラー１３と、折り
返しミラー１４およヒ１５とから構成されている。
レーザ励起ユニット１０および１１は、それぞれ独自に
ユニット内でレーザ媒質を循環させるための駆動装置と
、レーザ媒質が循環する伽猿経路内で放電する放電電極
と、レーザ媒質を冷却する冷却手段とを有している（第
１図参照）。なお、レーザ励起ユニッ）１０および１１
の励起部におけるレーザ媒質の流れの方向はそれぞれ矢
印Ｘ方向および矢印Ｘ方向である。ところで、前述した
ように励起されたレーザ媒質の分布は、第３図に示すよ
うにレーデ媒質の上流側と下流側の間で非対称であり、
エネルギ損失を少なくするように上記各種ミラーを配設
すると、レーザ光の強度のピークは若干下流側にずれる
。すなわち、レーザ励起ユニット１０のみで発振させた
場合には、そのビームモードは第４図（、）のａ４のよ
うになる。一方、レーデ励起ユニット１１のみで発振さ
せた場合には、そのビームモードは第４図（ａ）のａ２
のようになる。
ユニット内でレーザ媒質を循環させるための駆動装置と
、レーザ媒質が循環する伽猿経路内で放電する放電電極
と、レーザ媒質を冷却する冷却手段とを有している（第
１図参照）。なお、レーザ励起ユニッ）１０および１１
の励起部におけるレーザ媒質の流れの方向はそれぞれ矢
印Ｘ方向および矢印Ｘ方向である。ところで、前述した
ように励起されたレーザ媒質の分布は、第３図に示すよ
うにレーデ媒質の上流側と下流側の間で非対称であり、
エネルギ損失を少なくするように上記各種ミラーを配設
すると、レーザ光の強度のピークは若干下流側にずれる
。すなわち、レーザ励起ユニット１０のみで発振させた
場合には、そのビームモードは第４図（、）のａ４のよ
うになる。一方、レーデ励起ユニット１１のみで発振さ
せた場合には、そのビームモードは第４図（ａ）のａ２
のようになる。
第５図のレーザ装置は、レーデ励起ユニット１０と１１
とが折り返しミラー１４および１５によって光学的に接
続され、励起されるレーザ媒質の分布が、フロントミラ
ー１２と折り返しミラー１４の間と折多返しミラー１５
とリアミラー１３との間で１８０°異なるように光共振
器を構成しているため、この光共振器内でレーデ媒質の
分布の非対称性を補償し、その結果強度分布が対称なレ
ーザ光を発振することができる。
とが折り返しミラー１４および１５によって光学的に接
続され、励起されるレーザ媒質の分布が、フロントミラ
ー１２と折り返しミラー１４の間と折多返しミラー１５
とリアミラー１３との間で１８０°異なるように光共振
器を構成しているため、この光共振器内でレーデ媒質の
分布の非対称性を補償し、その結果強度分布が対称なレ
ーザ光を発振することができる。
第６図は本発明方法を適用したレーザ装置の他の実施例
を示した概略構成図である。この場合、レーデ励起ユニ
ット２０および２１ば、各励起部におけるレーデ媒質の
流れの方向が同一（矢印Ｘ方→になるように配列されて
いる。この装置は、リアミラー２３と折シ返しミラー２
５との間（またはフロントミラー２２と折９返しミラー
２４との間）で励起されるレーデ光のビームモードを、
折り返しミラー２５および２４によって反転するだめ、
ビームモードの非対称性を補償したレーデ光を発振する
ことができる。
を示した概略構成図である。この場合、レーデ励起ユニ
ット２０および２１ば、各励起部におけるレーデ媒質の
流れの方向が同一（矢印Ｘ方→になるように配列されて
いる。この装置は、リアミラー２３と折シ返しミラー２
５との間（またはフロントミラー２２と折９返しミラー
２４との間）で励起されるレーデ光のビームモードを、
折り返しミラー２５および２４によって反転するだめ、
ビームモードの非対称性を補償したレーデ光を発振する
ことができる。
なお、レーザ励起ユニットの数は上記実施例に限らず所
望の数だけ用いるようにしてもよいが、少なくとも各レ
ーザ励起ユニットの励起部におけるレーザ媒質の流れの
方向および折り返しミラーによるビームの折シ返し方向
を考慮し、レーザ媒質の流れにともなうビームの強度分
布の非対称性（９） を補償するように各レーザ励起ユニットを適宜配列して
光学的に接続する必要がある。
望の数だけ用いるようにしてもよいが、少なくとも各レ
ーザ励起ユニットの励起部におけるレーザ媒質の流れの
方向および折り返しミラーによるビームの折シ返し方向
を考慮し、レーザ媒質の流れにともなうビームの強度分
布の非対称性（９） を補償するように各レーザ励起ユニットを適宜配列して
光学的に接続する必要がある。
第７図は本発明に係るクロスフロー型レーザ装置の一実
施例を７ｆ＜す構造図である。この装置は、真空容器と
して円筒型のものを用い、３つのレーザ励起ユニットを
等間隔で円筒内周囲に設けるようにしている。
施例を７ｆ＜す構造図である。この装置は、真空容器と
して円筒型のものを用い、３つのレーザ励起ユニットを
等間隔で円筒内周囲に設けるようにしている。
円筒型真空容器３０は、ＣＯ２，Ｎ２．Ｈｅの混合気体
であるレーザ媒質と外気とを遮断するとともに、その内
壁とガイドダクト４０とによってレーザ媒質の円形の循
環経路を構成している。また、容器内壁部３１，３２．
および３３はファン５１ 、５２ 。
であるレーザ媒質と外気とを遮断するとともに、その内
壁とガイドダクト４０とによってレーザ媒質の円形の循
環経路を構成している。また、容器内壁部３１，３２．
および３３はファン５１ 、５２ 。
および５３の後ケーシングとして作用する。ガイドダク
ト４０は、上記循環経路の構成要素であるとともに、フ
ァン５１．５２．および５３の前縁、舌部となる前ケー
シング４１，４２．および４３を形成している。
ト４０は、上記循環経路の構成要素であるとともに、フ
ァン５１．５２．および５３の前縁、舌部となる前ケー
シング４１，４２．および４３を形成している。
ファン５１．５２．および５３はそれぞれ容器３０の内
壁に沿って配設され、その軸方向の長さは円筒型真空容
器３０の長手方向の長さとほぼ同（１０） −である。そして、後ケーシング３１１前ケーシング４
１およびファン５１は貫流ファンを構成している。同様
に、後ケーシング３２、前ケーシング４２、ファン５２
および後ケーシング３３、前ケーシング４３、ファン５
３もそれぞれ貫流ファンを構成している。この３つの質
流ファンは、３つのレーデ励起ユニットのレーデ媒質を
循環させるための駆動装置として作用する。
壁に沿って配設され、その軸方向の長さは円筒型真空容
器３０の長手方向の長さとほぼ同（１０） −である。そして、後ケーシング３１１前ケーシング４
１およびファン５１は貫流ファンを構成している。同様
に、後ケーシング３２、前ケーシング４２、ファン５２
および後ケーシング３３、前ケーシング４３、ファン５
３もそれぞれ貫流ファンを構成している。この３つの質
流ファンは、３つのレーデ励起ユニットのレーデ媒質を
循環させるための駆動装置として作用する。
一方、放電電極６１，６２．および６３はそれぞれファ
ン５１，５２．および５３の出口に、ラノエタ７１，７
２．および７３はそれぞれファン５１．５２．および５
３の人口に設けられている。
ン５１，５２．および５３の出口に、ラノエタ７１，７
２．および７３はそれぞれファン５１．５２．および５
３の人口に設けられている。
また、放電電極６１の両端にはそれぞれリアミラー８０
および折シ返しミラー９０が配設され、放電電極６２の
両端にはそれぞれ折シ返しミラー９２および９３が配設
され、放電電極６３０両端にはそれぞれ折り返しミラー
９５およびフロントミラー８１が配設されている。さら
に、放電電極６１と６２における光路は折９返しミラー
９０゜９１．９２によって光学的に接続され、放電電極
６２と６３における光路は折り返しミラー９３゜９４．
９５によって光学的に接続されている。すなわち、３つ
のレーデ励起ユニットの励起部を直 ゛列接続して光共
振器が構成されている。なお、第７図において、放電電
極６１間を流れるレーデ媒質の流れの方向は、右６０度
下方でおり、放電電極６２間を流れるレーデ媒質の流れ
の方向は、右６０度上方であり、放電電極６３間を流れ
るレーデ媒質の流れの方向は左水平方向でおる。
および折シ返しミラー９０が配設され、放電電極６２の
両端にはそれぞれ折シ返しミラー９２および９３が配設
され、放電電極６３０両端にはそれぞれ折り返しミラー
９５およびフロントミラー８１が配設されている。さら
に、放電電極６１と６２における光路は折９返しミラー
９０゜９１．９２によって光学的に接続され、放電電極
６２と６３における光路は折り返しミラー９３゜９４．
９５によって光学的に接続されている。すなわち、３つ
のレーデ励起ユニットの励起部を直 ゛列接続して光共
振器が構成されている。なお、第７図において、放電電
極６１間を流れるレーデ媒質の流れの方向は、右６０度
下方でおり、放電電極６２間を流れるレーデ媒質の流れ
の方向は、右６０度上方であり、放電電極６３間を流れ
るレーデ媒質の流れの方向は左水平方向でおる。
さて、上記のようなレーデ媒質の流れの方向によシ、放
電電極６１部で励起されるレーザ光のビームモードは第
４図（ｂ）のｂ！のようＫな）、放電電極６２部で励起
されるレーザ光のビームモードは第４図（ｂ）のｂ２の
ようになり、放電電極６３部で励起されるレーデ光のビ
ームモードは第４図（ｂ）のｂ３のようになる。
電電極６１部で励起されるレーザ光のビームモードは第
４図（ｂ）のｂ！のようＫな）、放電電極６２部で励起
されるレーザ光のビームモードは第４図（ｂ）のｂ２の
ようになり、放電電極６３部で励起されるレーデ光のビ
ームモードは第４図（ｂ）のｂ３のようになる。
したがって、この光共振器から発振されるレーザ光のビ
ームモードは第４図（ｂ）のＢのようになシ対称性に優
れたものとなる。なお、それぞれ３つの折り返しミラー
９０，９１．９２および９３゜９４．９５によって光を
３６０度回転させているため、折り返しミラーによるビ
ームモードの方向性は変化せず、第４図（ｂ）に示すよ
うにビームモードＪ１ｂ２およびｂ３を単純に重ね合わ
せたビームモードＢとなる。
ームモードは第４図（ｂ）のＢのようになシ対称性に優
れたものとなる。なお、それぞれ３つの折り返しミラー
９０，９１．９２および９３゜９４．９５によって光を
３６０度回転させているため、折り返しミラーによるビ
ームモードの方向性は変化せず、第４図（ｂ）に示すよ
うにビームモードＪ１ｂ２およびｂ３を単純に重ね合わ
せたビームモードＢとなる。
なお、上記実施例ではレーザ励起ユニットが３つの場合
について説明したが、レーザ励起ユニットの数は任意に
設定でき、また数が多ければ多いほどビームモードが全
方向にわたって対称となる。
について説明したが、レーザ励起ユニットの数は任意に
設定でき、また数が多ければ多いほどビームモードが全
方向にわたって対称となる。
以上説明したように本発明方法によれば、クロスフロー
型レーデ装置の非対称なレーザ光のモードパターンを対
称にがるように修正し、ビームの質の向上を図ることが
できる。また、本発明装置によれば、上記と同様にして
クロスフロー型であるにもかかわらず対称なモード・母
ターンのレーザ光を発振することができ、循環経路での
圧力損失が極めて小さいためファン動力が小さくて済み
、また装置全体の容量もノ」−型化することができる。
型レーデ装置の非対称なレーザ光のモードパターンを対
称にがるように修正し、ビームの質の向上を図ることが
できる。また、本発明装置によれば、上記と同様にして
クロスフロー型であるにもかかわらず対称なモード・母
ターンのレーザ光を発振することができ、循環経路での
圧力損失が極めて小さいためファン動力が小さくて済み
、また装置全体の容量もノ」−型化することができる。
（１３）
第１図は従来のクロスフロー型レーデ装置を示す構成図
、第２図は第１図の励起部斜視図、第３図は励起部の上
流側と下流側の間における励起されたレーデ媒質の分布
図、第４図（、）および第４図（ｂ）はそれぞれ本発明
を説明するために用いたレーザ光のビームモードの模式
図、第５図および第６図はそれぞれ本発明方法を適用し
たレーザ装置の概略構成図、第７図は本発明に係るクロ
スフロー型レーデ装置の一実施例を示す構造図である。 １０．１１，２０．２１・・・レーザ励起ユニット、１
２．２２，８１・・・フロントミラー、１３，２３゜８
０・・・リアミラー、１４，１５，２４，２５゜９０．
９１，９２，９３，９４．９５・・・折り返しミラー、
３０・・・円筒型真空容器、４０・・・ガイドダクト、
５１，５２，５３・・・ファン、６１．６２゜６３・・
・放電電極、７１，７２，７３・・・ラジエタ。 （１４） 第１図 第２図 １流 Ｔ−處
、第２図は第１図の励起部斜視図、第３図は励起部の上
流側と下流側の間における励起されたレーデ媒質の分布
図、第４図（、）および第４図（ｂ）はそれぞれ本発明
を説明するために用いたレーザ光のビームモードの模式
図、第５図および第６図はそれぞれ本発明方法を適用し
たレーザ装置の概略構成図、第７図は本発明に係るクロ
スフロー型レーデ装置の一実施例を示す構造図である。 １０．１１，２０．２１・・・レーザ励起ユニット、１
２．２２，８１・・・フロントミラー、１３，２３゜８
０・・・リアミラー、１４，１５，２４，２５゜９０．
９１，９２，９３，９４．９５・・・折り返しミラー、
３０・・・円筒型真空容器、４０・・・ガイドダクト、
５１，５２，５３・・・ファン、６１．６２゜６３・・
・放電電極、７１，７２，７３・・・ラジエタ。 （１４） 第１図 第２図 １流 Ｔ−處
Claims (2)
- （１）真空容器内でレーザ媒質を循環させる駆動装置と
、前記レーザ媒質が循環する循環経路内で放電する放電
電極と、前記レーデ媒質を冷却する冷却手段とからなる
レーザ励起ユニットを複数準備し、各レーザ励起ユニッ
ト間に折シ返しミラーを配設して前記複数のレーデ励起
ユニットを光学的に接続する際に、各レーデ励起ユニッ
トの励起部におけるレーデ媒質の流れの方向および前記
折り返しミラーによるビームの折り返し方向に基づいて
前記複数のレーザ励起ユニットを適宜配列して光学的に
接続し、レーデ媒質の流れにともなうビームの強度分布
の非対称性を補償することを特徴とするクロスフロー型
レーザ装置のモード・ぐターン修正方法。 - （２） 円筒型真空容器内に該容器内壁とがイドダクト
とによってレーザ媒質の循環経路を彬成し、前記容器内
壁の一部を後ケーシングとし、がイドダクトの一部を前
ケーシングとする軸方向の長さが前記円筒型真空容器の
長手方向の長さとほぼ同一の貫流ファンと、前記循環経
路内で放電する放電電極と、前記レーデ媒質を冷却する
冷却手段とからなるレーザ励起ユニットを、帥記循禦経
路内に等間隔で複数配設し、各レーデ励起ユニット間に
折シ返しミラーを配設して前記複数のレーデ励起ユニッ
トを光学的に接続してなるクロスフロー型レーデ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11378583A JPS607189A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | クロスフロ−型レ−ザ装置のモ−ドパタ−ン修正方法およびクロスフロ−型レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11378583A JPS607189A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | クロスフロ−型レ−ザ装置のモ−ドパタ−ン修正方法およびクロスフロ−型レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607189A true JPS607189A (ja) | 1985-01-14 |
Family
ID=14621033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11378583A Pending JPS607189A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | クロスフロ−型レ−ザ装置のモ−ドパタ−ン修正方法およびクロスフロ−型レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607189A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01151282A (ja) * | 1987-12-08 | 1989-06-14 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| JPH01118468U (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 | ||
| EP0678768A2 (en) * | 1994-04-22 | 1995-10-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Projection exposure apparatus and microdevice manufacturing method |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP11378583A patent/JPS607189A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01151282A (ja) * | 1987-12-08 | 1989-06-14 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| JPH01118468U (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 | ||
| EP0678768A2 (en) * | 1994-04-22 | 1995-10-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Projection exposure apparatus and microdevice manufacturing method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4500998A (en) | Gas laser | |
| US4099143A (en) | Gas recirculating stabilized laser | |
| US4602372A (en) | Gas laser generator | |
| JP2010186990A (ja) | レーザ光増幅器及びそれを用いたレーザ装置 | |
| JPS59152680A (ja) | クロスフロ−型レ−ザ装置 | |
| JPH07211972A (ja) | レーザ発振器 | |
| US4578792A (en) | High-power lasers | |
| JPS607189A (ja) | クロスフロ−型レ−ザ装置のモ−ドパタ−ン修正方法およびクロスフロ−型レ−ザ装置 | |
| US4486887A (en) | High-power lasers | |
| US4771436A (en) | Gas laser oscillator having a gas flow smoothing device to smooth gas flow in the electrical discharge region | |
| US4564947A (en) | High-power lasers | |
| JP4137961B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS6327081A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| Habich et al. | Industrial 30-kW CO2 laser with fast axial gas flow and rf excitation | |
| GB2145274A (en) | Gas laser system | |
| JPS63110683A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS6350082A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JP3139103B2 (ja) | 軸流形レーザ発振器 | |
| JP2673510B2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPH0666487B2 (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPH06350165A (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2000058952A (ja) | 気体レーザー発振器 | |
| JPH1187807A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPH01233784A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPS6261380A (ja) | ガスレ−ザ発振器 |