JPH11346018A - 固体スラブレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 固体スラブレーザ装置において、レーザ出力
光の断面形状と発散角の縦横比を均一等方化させる。 【解決手段】 スラブレーザ結晶１０１は、光軸１１１
に対して傾斜した端面１０７，１０８および光学的平滑
面１０３，１０４を有しており、スラブレーザ結晶１０
２も同一形状で９０度回転しており、それぞれのジグザ
グ光路のなす平面が９０度の角度で交差している。出力
ミラー１２１、高反射ミラー１２２により共振器が構成
されている。傾斜した端面から入射したレーザ光はスラ
ブレーザ結晶１０１内でｙ方向のジグザグ経路をたど
り、スラブレーザ結晶２０１内でｘ方向のジグザグ経路
をたどる。このため、レーザ光路１２はｘ，ｙ両方向に
ジグザグ経路をとるため、共振器条件はｘ，ｙ両方向と
も等しくなり、レーザ出力光の断面形状および発散角の
縦横比も等しくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固体スラブレーザ
装置に関し、特にレーザ光がスラブレーザ結晶内でジグ
ザグの光路をなす固体スラブレーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の固体スラブレーザ装置として、例
えば特開平１−２７０３７５号公報で公開されたものが
ある。図１２は従来例の固体スラブレーザ装置の概略構
成を示す模式的斜視図である。図１２において、スラブ
レーザ結晶６０１は光軸６１１に対して傾斜した端面６
０７、６０８を有し、かつ光軸６１１に直交する断面が
長方形のスラブ状結晶であり、光学的平滑面６０３，６
０４を有している。また光軸上のスラブレーザ結晶６０
１の両側に設けられた出力ミラー６２１、高反射ミラー
６２２により共振器が構成されている。

【０００３】次に従来の固体スラブレーザ装置のレーザ
光発振の動作について説明する。スラブレーザ結晶６０
１は光学的平滑面６０３，６０４を通して不図示の外部
光源により励起され、出力ミラー６２１と高反射ミラー
６２２とからなる共振器によりレーザ光を発生する。レ
ーザ光は出力ミラー６２１と高反射ミラー６２２との間
を往復し、一部が出力ミラー６２１を透過し出力として
取り出される。レーザ光の光路６１２は、スラブレーザ
結晶６０１外では光軸６１１に一致する。スラブレーザ
結晶６０１内では、光軸６１１に対して傾斜した端面６
０７，６０８への入出射によりレーザ光が屈折し、光学
的平滑面６０３，６０４に対しては全反射をなすような
角度となるため、レーザ光は図１２に示されるようなジ
グザグの経路をたどる。レーザ光がスラブレーザ結晶６
０１中を通過する際にジグザグの経路が形成する平面６
１３はＰ平面として知られている。また、光軸６１１を
含みながらＰ平面６１３に対して垂直な平面６１４はＳ
平面として知られている。

【０００４】一般的に、スラブレーザ結晶６０１のＳ平
面６１４内で測定されたレーザ光の幅ｗと、Ｐ平面６１
３内で測定されたレーザ光の厚さｔとの比は２以上であ
る。従って、Ｐ平面６１３内では安定であり、Ｓ平面６
１４内では不安定であるような共振器を構成することに
よって、スラブレーザ結晶６０１の長方形断面に適合し
た断面を持つ集束性の良いレーザ光を効率良く得てい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述の従来例の第１の
問題点は、固体スラブレーザ装置のレーザ出力光のビー
ム断面形状が悪いことである。その理由は、Ｐ平面とＳ
平面に対して異なった条件の共振器を構成しているため
に、出力ビーム断面幅がＳ平面とＰ平面とで異なった矩
形になってしまうからである。

【０００６】第２の問題点は、固体スラブレーザ装置の
レーザ出力光のビーム発散角が縦横で不均一なことであ
る。その理由は、同様にＰ平面とＳ平面に対して異なっ
た条件の共振器を構成しているために、レーザ発振条件
が各平面で異なっているからである。

【０００７】本発明の目的は、レーザ出力光の断面形状
と発散角の縦横比が均一等方化された固体スラブレーザ
装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の固体スラブレー
ザ装置は、レーザ光を発振させるための軸対象ミラーを
用いた共振器と、その共振器内に直列に配置されてそれ
ぞれレーザ光が励起される２個の同一形状のスラブレー
ザ結晶とを備え、それぞれのスラブレーザ結晶内ではレ
ーザ光がジグザグの光路を取りながら進行し、かつ、２
個のスラブレーザ結晶のジグザグの光路の含まれる平面
はそれぞれ９０℃の角度で交差している。

【０００９】共振器内に直列に配置されている２個のス
ラブレーザ結晶の間に２分の１波長板が配置されていて
もよい。

【００１０】スラブレーザ結晶は、断面形状が短辺と長
辺の長さが近似した長方形であり、断面において長辺を
なす平行した２面においてレーザ光が全反射を繰り返す
ことでジグザグの光路を形成することが好ましく、断面
形状は正方形であってもよく、スラブレーザ結晶のレー
ザ光の入出射端面が、そのスラブレーザ結晶内のジグザ
グの光路の含まれる平面と直交しかつレーザー光が全反
射を繰り返す平行した２面に傾斜して交差していること
が好ましい。

【００１１】本発明の別の態様では、レーザ光を発振さ
せるための出力ミラー、高反射ミラー、およびビーム折
り返し装置からなる共振器と、その共振器内に配置され
レーザ光が励起されるスラブレーザ結晶とを備えてい
る。ビーム折り返し装置は平行に入出射する２本のレー
ザー光を互いにＵ字型に反射させて折り返す機構を有
し、スラブレーザ結晶はビーム折り返し装置の２箇所の
レーザ光の入出射位置にまたがって片方の端面を向けて
配置され、スラブレーザ結晶の他方の端面側には１本の
レーザ光に対応して出力ミラーが、他のレーザ光に対応
して高反射ミラーが配置されている。

【００１２】スラブレーザ結晶とビーム折り返し装置と
の間の２本のレーザ光路のうちの１方のレーザ光路に２
分の１波長板が配置されていてもよく、２本のレーザ光
路の両方に４分の１波長板が配置されていてもよい。

【００１３】ビーム折り返し装置は、入射レーザ光の進
行方向を反転し、位置を平行移動し、かつレーザビーム
を光軸を中心に９０度回転させて出射させる光学的機構
を有することが好ましく、スラブレーザ結晶は、断面形
状が長方形でかつ長辺が短辺の２倍もしくはわずかに２
倍を超え、断面において長辺を形成する平行した２面の
間でレーザ光が全反射を繰り返すことでジグザグ光路を
形成することが好ましい。

【００１４】また、スラブレーザ結晶のレーザ光の入出
射端面が、そのスラブレーザ結晶内のジグザグの光路の
含まれる平面と直交しかつ長辺を形成する平行した２面
に傾斜して交差していることが好ましい。

【００１５】本発明の固体スラブレーザ装置では、共振
器内のレーザ光路がスラブレーザ結晶を２回通過するよ
うになっている。さらに、レーザ光の断面平面上の直交
軸ｕ，ｖに対して、スラブレーザ結晶通過の１回目のジ
グザグ方向はｕ方向、結晶通過２回目のジグザグ方向が
ｖ方向となるようになっている。また共振器を構成する
ミラーもｕ、ｖ両方向に対して同条件の軸対称ミラーが
使用される。

【００１６】レーザ光は共振器内において２回スラブレ
ーザ結晶を通過するうちにｕ，ｖ両方向にジグザグ光路
をとるため、スラブレーザ結晶における共振器の条件は
ｕ，ｖ両方向とも同じになる。共振器を構成するミラー
も軸対称であるため、共振器条件はｕ、ｖ両方向とも等
しくなる。以上から、レーザ出力光は断面形状および発
散角の縦横比が等しくなる。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施
の形態の固体スラブレーザ装置の模式的側面図であり、
図２は本発明の第１の実施の形態の固体スラブレーザ装
置の模式的平面図である。図１、図２において、光軸１
１１に対して直列に配置された第１のスラブレーザ結晶
１０１および第２のスラブレーザ結晶１０２は、断面形
状が正方形または短辺と長辺の長さが近似した長方形で
あり、それぞれ光軸１１１に対して傾斜した端面１０
７，１０８および１０９，１１０と、光軸１１１に平行
な光学的平滑面１０３，１０４および１０５，１０６と
を有している。

【００１８】さらに、第１のスラブレーザ結晶１０１と
第２のスラブレーザ結晶１０２とでは、それぞれのジグ
ザグのレーザ光路１１２の含まれる平面が互いに９０度
の角度で交差している。また第１のスラブレーザ結晶１
０１と第２のスラブレーザ結晶１０２の光軸１１１の両
側に設けられた出力ミラー１２１、高反射ミラー１２２
により共振器が構成されている。

【００１９】次にレーザ光発振の動作について説明す
る。第１のスラブレーザ結晶１０１および第２のスラブ
レーザ結晶１０２は、光学的平滑面１０３，１０４およ
び１０５，１０６を通して不図示の外部光源により励起
され、出力ミラー１２１と高反射ミラー１２２とからな
る共振器によりレーザ光を発生する。

【００２０】レーザ光は出力ミラー１２１と高反射ミラ
ー１２２との間を往復し、一部が出力ミラー１２１を透
過し出力として取り出される。レーザ光路１１２は、第
１のスラブレーザ結晶１０１および第２のスラブレーザ
結晶１０２の外では光軸１１１に一致する。

【００２１】第１のスラブレーザ結晶１０１内では、光
軸１１１に対して傾斜した端面１０７，１０８への入出
射によりレーザ光が屈折し、光学的平滑面１０３，１０
４に対しては全反射をなすような角度となるため、レー
ザ光は図１に示されるようなｙ方向のジグザグ経路をた
どる。

【００２２】第１のスラブレーザ結晶１０１を出射した
レーザ光は、第２のスラブレーザ結晶１０２の断面形状
が正方形または短辺と長辺の長さが近似した長方形なの
で、特別の光学的機構を経由しなくても第２のスラブレ
ーザ結晶１０２の端面に入射する。反対方向のレーザ光
についても同様である。

【００２３】第２のスラブレーザ結晶１０２内では、光
軸１１１に対して傾斜した端面１０９，１１０への入出
射によりレーザ光が屈折し、光学的平滑面１０５，１０
６に対しては全反射をなすような角度となるため、レー
ザ光は図２に示されるようなｘ方向のジグザグ経路をた
どる。このため、レーザ光路１１２はｘ，ｙ両方向にジ
グザグ経路をとるため、共振器条件はｘ，ｙ両方向とも
等しくなり、レーザ出力光の断面形状および発散角の縦
横比も等しくなる。

【００２４】図３は本発明の第２の実施の形態の固体ス
ラブレーザ装置の模式的側面図であり、図４は本発明の
第２の実施の形態の固体スラブレーザ装置の模式的平面
図である。図３、図４において、光軸２１１に対して直
列に配置された第１のスラブレーザ結晶２０１および第
２のスラブレーザ結晶２０２は断面形状が正方形または
短辺と長辺の長さが近似した長方形であり、それぞれ光
軸２１１に対して傾斜した端面２０７，２０８および２
０９，２１０と、光軸２１１と平行な光学的平滑面２０
３，２０４および２０５，２０６とを有している。

【００２５】さらに、第１のスラブレーザ結晶２０１と
第２のスラブレーザ結晶２０２とでは、それぞれのジグ
ザグのレーザ光路２１２の含まれる平面が互いに９０度
の角度で交差している。２分の１波長板２２３は第１の
スラブレーザ結晶２０１と第２のスラブレーザ結晶２０
２との間に配置されている。また第１のスラブレーザ結
晶２０１と第２のスラブレーザ結晶２０２の光軸２１１
の両側に設けられた出力ミラー１２１、高反射ミラー１
２２により共振器が構成されている。

【００２６】第１の実施の形態とは、２分の１波長板２
２３が第１のスラブレーザ結晶２０１と第２のスラブレ
ーザ結晶２０２との間に配置されている以外は同様であ
る。

【００２７】次に第１の実施の形態と異なるレーザ光発
振の動作について説明する。第１のスラブレーザ結晶２
０１および第２のスラブレーザ結晶２０２の端面２０
７，２０８および２０９，２１０は光軸２１１に対して
傾斜しているのでレーザ光路２１２はここで屈折する。
このため端面での透過率は、第１のスラブレーザ結晶２
０１ではレーザ光のＳ偏光の方向がｘ方向のとき高く、
第２のスラブレーザ結晶２０２ではレーザ光のＳ偏光の
方向がｙ方向のとき高くなる。第１のスラブレーザ結晶
２０１で透過率の高いＳ偏光がｘ方向であるレーザ光
は、２分の１波長板２２３によりＳ偏光方向がｙ方向と
なるため、第２のスラブレーザ結晶２０２においても高
い透過率が得られる。このため、第１のスラブレーザ結
晶２０１および第２のスラブレーザ結晶２０２の双方に
おいて損失を少なくすることができるため、高出力レー
ザ光が得られる。

【００２８】図５は本発明の第３の実施の形態の固体ス
ラブレーザ装置の模式的側面図であり、図６は本発明の
第３の実施の形態の固体スラブレーザ装置の模式的平面
図である。図５、図６において、スラブレーザ結晶３０
１は断面形状が長方形でかつ長辺が短辺の２倍もしくは
わずかに２倍を超え、長辺を形成する平行した２面に直
交しかつ光軸３１１に対して傾斜して交差している端面
３０７，３０８と、光軸３１１に平行な光学的平滑面３
０３，３０４とを有している。

【００２９】出力ミラー３２１、高反射ミラー３２２と
ビーム折り返し装置３２４により概略Ｕ字型の形状をし
た共振器が構成され、スラブレーザ結晶３０１はビーム
折り返し装置３２４と出力ミラー３２１、高反射ミラー
３２２との間に長辺の方向が折り返し方向となるように
配置され、レーザ光路３１２は共振器を１パスするうち
にスラブレーザ結晶３０１を２回通過する。

【００３０】図７は本発明の第３の実施の形態のビーム
折り返し装置３２４の光学的経路を示す模式的斜視図で
ある。ビーム折り返し装置３２４は折り返しミラー３２
５〜３２８により構成され、後述のような光路を形成す
るように図示のごとく配置されている。

【００３１】次にレーザ光発振の動作について説明す
る。スラブレーザ結晶３０１は、光学的平滑面３０３，
３０４を通して不図示の外部光源により励起され、出力
ミラー３２１、高反射ミラー３２２およびビーム折り返
し装置３２４とからなる共振器によりレーザ光を発生す
る。レーザ光は出力ミラー３２１、高反射ミラー３２２
およびビーム折り返し装置３２４からなる概略Ｕ字型を
した共振器内を往復し、一部が出力ミラー３２１を透過
して出力として取り出される。

【００３２】スラブレーザ結晶３０１内において、結晶
内を２回通過するレーザ光路３１２は共に光軸３１２に
対して傾斜する端面３０７，３０８への入出射により屈
折し、光学的平滑面３０３，３０４に対しては全反射を
なすような角度となるため、レーザ光は往復ともに図５
に示されるようなｙ方向のジグザグ経路をたどる。ビー
ム折り返し装置３２４では、図７に示すように−ｚ方向
に進行する入射レーザ光３１２が、折り返しミラー３２
５〜３２８により順次進行方向を＋ｘ，＋ｙ，−ｙ＋
ｚ，＋ｚと偏向されるとともに、位置も＋ｘ方向にシフ
トされた後、出射される。このときレーザ光の断面平面
上の直交軸をｕ，ｖとおくと、入射レーザ光のｕ軸は図
５および図６での共振器のｙ軸と同方向であるのに対
し、出射レーザ光のｕ軸はｘ軸と同方向となる。これら
から、２回レーザ光が通過するスラブレーザ結晶３０１
内において、１回目の通過時にはｕ方向を２回目の通過
時にはｖ方向をジグザグ経路とすることができるため、
共振器条件はｕ，ｖ両方向とも等しくなり、レーザ出力
光の断面形状および発散角の縦横比も等しくなる。

【００３３】図８は本発明の第４の実施の形態の固体ス
ラブレーザ装置の模式的側面図であり、図９は本発明の
第４の実施の形態の固体スラブレーザ装置の模式的平面
図である。図８、図９において、スラブレーザ結晶４０
１は断面形状が長方形でかつ長辺が短辺の２倍もしくは
わずかに２倍を超え、光軸４１１に対して傾斜した端面
４０７，４０８と、光軸４０１に平行な光学的平滑面４
０３，４０４とを有している。

【００３４】２分の１波長板４２３はスラブレーザ結晶
４０１とビーム折り返し装置４２４との間で、２本のレ
ーザ光路のうちの１方のみが通過するように配置されて
いる。また出力ミラー４２１、高反射ミラー４２２、２
分の１波長板４２３およびビーム折り返し装置４２４に
より概略Ｕ字型形状をした共振器が構成され、レーザ光
路４１２は共振器を１パスするうちにスラブレーザ結晶
４０１を２回通過する。

【００３５】２分の１波長板４２３がスラブレーザ結晶
４０１とビーム折り返し装置４２４との間で、２本のレ
ーザ光路のうちの１方のみが通過するように配置されて
いる以外はビーム折り返し装置４２４の構成を含め第３
の実施の形態と同様である。

【００３６】次に第３の実施の形態と異なるレーザ光発
振の動作について説明する。スラブレーザ結晶４０１の
端面４０７，４０８は光軸４１１に対して傾斜している
のでレーザ光路４１２はここで屈折する。このため端面
での透過率は、スラブレーザ結晶４０１ではレーザ光の
Ｓ偏光の方向がｘ方向のとき高くなる。１回目のスラブ
レーザ結晶４０１通過で透過率の高いＳ偏光がｘ方向で
あるレーザ光は、ビーム折り返し装置４２４によりＳ偏
光方向がｙ方向に回転するが、２分の１波長板４２３に
より再びＳ偏光方向がｘ方向へ戻されるため、２回目の
スラブレーザ結晶の１通過においても高い透過率が得ら
れる。このため、スラブレーザ結晶４０１の２回の通過
時に双方において損失を少なくすることができるため、
高出力レーザ光が得られる。

【００３７】図１０は本発明の第５の実施の形態の固体
スラブレーザ装置の模式的側面図であり、図１１は本発
明の第５の実施の形態の固体スラブレーザ装置の模式的
平面図である。図１０、図１１において、スラブレーザ
結晶５０１は断面形状が長方形でかつ長辺が短辺の２倍
もしくはわずかに２倍を超え、光軸５１１に対して傾斜
した端面５０７，５０８と、光軸５０１に平行な光学的
平滑面５０３，５０４とを有している。

【００３８】４分の１波長板５３３はスラブレーザ結晶
５０１とビーム折り返し装置５２４との間で、２本のレ
ーザ光路の両方が通過するように配置されている。また
出力ミラー５２１、高反射ミラー５２２、４分の１波長
板５３３およびビーム折り返し装置５２４により概略Ｕ
字型形状をした共振器が構成され、レーザ光路５１２は
共振器を１パスするうちにスラブレーザ結晶５０１を２
回通過する。

【００３９】４分の１波長板５３３がスラブレーザ結晶
５０１とビーム折り返し装置５２４との間で、２本のレ
ーザ光路の両方が通過するように配置されている以外は
ビーム折り返し装置５２４の構成を含め第３の実施の形
態と同様である。

【００４０】次に第３の実施の形態と異なるレーザ光発
振の動作について説明する。スラブレーザ結晶５０１の
端面５０７，５０８は光軸５１１に対して傾斜している
のでレーザ光路５１２はここで屈折する。このため端面
５０７，５０８での透過率は、スラブレーザ結晶５０１
ではレーザ光のＳ偏光の方向がｘ方向のとき高くなる。
１回目のスラブレーザ結晶１通過で透過率の高いＳ偏光
がｘ方向であるレーザ光は、ビーム折り返し装置５２４
により９０度回転されるが、２回通過する４分の１波長
板５３３により補正されるので、Ｓ偏光方向がｘ方向と
いう高い透過率条件下で２回目のスラブレーザ結晶５０
１を通過することができる。このため、スラブレーザ結
晶５０１の２回の通過時双方において損失を少なくする
ことができるため、高出力レーザ光が得られる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明の固体スラブ
レーザ装置の第１の効果は、レーザ出力光のビーム断面
強度分布の縦横比が均一等方化されていることである。

【００４２】その理由は、共振器内のレーザ光路がスラ
ブレーザ結晶を２回通過する様にし、レーザ光の断面平
面上の直交軸ｕ，ｖに対して、スラブレーザ結晶通過の
１回目のジグザグ方向はｕ方向、結晶通過２回目のジグ
ザグ方向がｖ方向となる様にしたため、共振器条件が
ｕ、ｖ両方向に対して同条件となったからである。

【００４３】第２の効果は、レーザ出力光のビーム発散
角の縦横比が均一等方化されていることである。

【００４４】その理由も、共振器内のレーザ光路がスラ
ブレーザ結晶を２回通過する様にし、レーザ光の断面平
面上の直交軸ｕ，ｖに対して、スラブレーザ結晶通過の
１回目のジグザグ方向はｕ方向、結晶通過２回目のジグ
ザグ方向がｖ方向となる様にしたため、共振器条件が
ｕ、ｖ両方向に対して同条件となったからである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の固体スラブレーザ
装置の模式的側面図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態の固体スラブレーザ
装置の模式的平面図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態の固体スラブレーザ
装置の模式的側面図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態の固体スラブレーザ
装置の模式的平面図である。

【図５】 本発明の第３の実施の形態の固体スラブレー
ザ装置の模式的側面図である。

【図６】本発明の第３の実施の形態の固体スラブレーザ
装置の模式的平面図である。

【図７】本発明の第３の実施の形態のビーム折り返し装
置の光学的経路を示す模式的斜視図である。

【図８】本発明の第４の実施の形態の固体スラブレーザ
装置の模式的側面図である。

【図９】本発明の第４の実施の形態の固体スラブレーザ
装置の模式的平面図である。

【図１０】本発明の第５の実施の形態の固体スラブレー
ザ装置の模式的側面図である。

【図１１】本発明の第５の実施の形態の固体スラブレー
ザ装置の模式的平面図である。

【図１２】従来例の固体スラブレーザ装置の概略構成を
示す模式的斜視図である。

【符号の説明】

１０１，１０２，２０１，２０２，３０１，４０１，５
０１，６０１ スラブレーザ結晶 １０３〜１０６，２０３〜２０６，３０３，３０４，４
０３，４０４，５０３，５０４，６０３，６０４ 光
学的平滑面 １０７〜１１０，２０７〜２１０，３０７，３０８，４
０７，４０８，５０７，５０８，６０７，６０８ 端
面 １１１，２１１，３１１，４１１，５１１，６１１
光軸 １１２，２１２，３１２，４１２，５１２，６１２
レーザ光路 １３０，２３０，３３０，４３０，５３０ 光軸に直
交する平面 １２１，２２１，３２１，４２１，５２１，６２１
出力ミラー １２２，２２２，３２２，４２２，５２２，６２２
高反射ミラー ２２３，４２３ ２分の１波長板 ３２４，４２４，５２４ ビーム折り返し装置 ３２５〜３２８ 折り返しミラー ３３１ スラブレーザ結晶通過レーザ光１パス目のレ
ーザ光断面平面上の直交軸ｕ，ｖ方向 ３３２ スラブレーザ結晶通過レーザ光２パス目のレ
ーザ光断面平面上の直交軸ｕ，ｖ方向 ５３３ ４分の１波長板 ６１３ Ｐ平面 ６１４ Ｓ平面

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光を発振させるための軸対象ミラ
   ーを用いた共振器と、該共振器内に直列に配置されてそ
   れぞれレーザ光が励起される２個の同一形状のスラブレ
   ーザ結晶とを備え、それぞれの前記スラブレーザ結晶内
   ではレーザ光がジグザグの光路を取りながら進行し、か
   つ、前記２個のスラブレーザ結晶のジグザグの光路の含
   まれる平面はそれぞれ９０℃の角度で交差していること
   を特徴とする固体スラブレーザ装置。
2. 【請求項２】 前記共振器内に直列に配置されている２
   個の前記スラブレーザ結晶の間に２分の１波長板が配置
   されている請求項１に記載の固体スラブレーザ装置。
3. 【請求項３】 前記スラブレーザ結晶は、断面形状が短
   辺と長辺の長さが近似した長方形であり、断面において
   長辺をなす平行した２面においてレーザ光が全反射を繰
   り返すことでジグザグの光路を形成する請求項１または
   請求項２に記載の固体スラブレーザ装置。
4. 【請求項４】 前記スラブレーザ結晶は、断面形状が正
   方形であり、所定の平行した２面においてレーザ光が全
   反射を繰り返すことでジグザグの光路を形成する請求項
   １または請求項２に記載の固体スラブレーザ装置。
5. 【請求項５】 前記スラブレーザ結晶のレーザ光の入出
   射端面が、該スラブレーザ結晶内のジグザグの光路の含
   まれる平面と直交しかつレーザー光が全反射を繰り返す
   平行した２面に傾斜して交差している請求項１または請
   求項２のいずれか１項に記載の固体スラブレーザ装置。
6. 【請求項６】 レーザ光を発振させるための出力ミラ
   ー、高反射ミラー、およびビーム折り返し装置からなる
   共振器と、該共振器内に配置されレーザ光が励起される
   スラブレーザ結晶とを備え、前記ビーム折り返し装置は
   平行に入出射する２本のレーザー光を互いにＵ字型に反
   射させて折り返す機構を有し、前記スラブレーザ結晶は
   前記ビーム折り返し装置の２箇所のレーザ光の入出射位
   置にまたがって片方の端面を向けて配置され、前記スラ
   ブレーザ結晶の他方の端面側には１本のレーザ光に対応
   して出力ミラーが、他のレーザ光に対応して高反射ミラ
   ーが配置されていることを特徴とする固体スラブレーザ
   装置。
7. 【請求項７】 前記スラブレーザ結晶と前記ビーム折り
   返し装置との間の２本のレーザ光路のうちの１方のレー
   ザ光路に、２分の１波長板が配置されている請求項６に
   記載の固体スラブレーザ装置。
8. 【請求項８】 前記スラブレーザ結晶と前記ビーム折り
   返し装置との間の２本のレーザ光路の両方に４分の１波
   長板が配置されている請求項６に記載の固体スラブレー
   ザ装置。
9. 【請求項９】 前記ビーム折り返し装置は、入射レーザ
   光の進行方向を反転し、位置を平行移動し、かつレーザ
   ビームを光軸を中心に９０度回転させて出射させる光学
   的機構を有する請求項６から請求項８のいずれか１項に
   記載の固体スラブレーザ装置。
10. 【請求項１０】 前記スラブレーザ結晶は、断面形状が
    長方形でかつ長辺が短辺の２倍もしくはわずかに２倍を
    超え、断面において長辺を形成する平行した２面の間で
    レーザ光が全反射を繰り返すことでジグザグ光路を形成
    する請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の固体
    スラブレーザ装置。
11. 【請求項１１】 前記スラブレーザ結晶のレーザ光の入
    出射端面が、該スラブレーザ結晶内のジグザグの光路の
    含まれる平面と直交しかつ長辺を形成する平行した２面
    に傾斜して交差している請求項６から請求項８のいずれ
    か１項に記載の固体スラブレーザ装置。