JPH09283822A - スラブ型固体レーザ発振装置 - Google Patents
スラブ型固体レーザ発振装置Info
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- JPH09283822A JPH09283822A JP11055696A JP11055696A JPH09283822A JP H09283822 A JPH09283822 A JP H09283822A JP 11055696 A JP11055696 A JP 11055696A JP 11055696 A JP11055696 A JP 11055696A JP H09283822 A JPH09283822 A JP H09283822A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 幅方向のビーム品質を改善したスラブ型固体
レーザ発振装置。 【解決手段】 厚み方向断面内で、両端面１１ａ，１１
ｂをブリュースタ条件をほぼ満たすようにカットしたＹ
ＡＧレーザ結晶からなるスラブ型レーザ媒質１は、励起
光１０でレーザ励起される。端面１１ａ側には折返し鏡
（球面鏡）４、端面１１ｂ側には部分反射鏡２と全反射
鏡３が並列傾斜配置される。スラブ型レーザ媒質１内部
の厚み方向断面内で全反射を繰り返すジグザグ光路が形
成される。一方、幅方向断面内では、レーザビーム光束
９がスラブ型レーザ媒質１の幅方向断面を斜めに横切る
ように進行するので、屈折率勾配に起因した位相のずれ
が小さくなり、出力ビーム１２の幅方向に関するレーザ
ビームの品質低下が回避される。高出力を得るために
は、ｕ＋ｓ≦（Ｌ＋ｈ）／２の関係が成立することが好
ましい。
レーザ発振装置。 【解決手段】 厚み方向断面内で、両端面１１ａ，１１
ｂをブリュースタ条件をほぼ満たすようにカットしたＹ
ＡＧレーザ結晶からなるスラブ型レーザ媒質１は、励起
光１０でレーザ励起される。端面１１ａ側には折返し鏡
（球面鏡）４、端面１１ｂ側には部分反射鏡２と全反射
鏡３が並列傾斜配置される。スラブ型レーザ媒質１内部
の厚み方向断面内で全反射を繰り返すジグザグ光路が形
成される。一方、幅方向断面内では、レーザビーム光束
９がスラブ型レーザ媒質１の幅方向断面を斜めに横切る
ように進行するので、屈折率勾配に起因した位相のずれ
が小さくなり、出力ビーム１２の幅方向に関するレーザ
ビームの品質低下が回避される。高出力を得るために
は、ｕ＋ｓ≦（Ｌ＋ｈ）／２の関係が成立することが好
ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工装置等
に搭載して使用される固体レーザ発振装置に関する。
に搭載して使用される固体レーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＹＡＧレーザのような固体レーザ発振装
置は、高出力で安定したレーザビームが得られることか
ら、金属あるいは非金属の材料の切断、溶接などを行な
うレーザ加工装置等に広く使用されている。図４は、ス
ラブ型レーザ発振装置を例にとり、従来の固体レーザ発
振装置の要部構造を２つの方向から見た断面図（ａ），
（ｂ）で示したものである。
置は、高出力で安定したレーザビームが得られることか
ら、金属あるいは非金属の材料の切断、溶接などを行な
うレーザ加工装置等に広く使用されている。図４は、ス
ラブ型レーザ発振装置を例にとり、従来の固体レーザ発
振装置の要部構造を２つの方向から見た断面図（ａ），
（ｂ）で示したものである。
【０００３】併記した座標系は、方向を指示するための
もので、スラブ型レーザ媒質の厚み方向をｘ軸、幅方向
をｙ軸、長手方向をｚ軸で表わしている。従って、図中
のＴはスラブ型レーザ媒質（レーザ結晶）の厚み（厚み
方向長さ）を表わし、Ｄは幅（幅方向長さ）を表わす。
なお、「厚み方向」、「幅方向」の呼称は便宜的なもの
であり、スラブ型レーザ媒質の矩形断面の向い合う一対
の辺に対応する方向を厚み方向とすれば他方の辺に対応
する方向が幅方向となる。
もので、スラブ型レーザ媒質の厚み方向をｘ軸、幅方向
をｙ軸、長手方向をｚ軸で表わしている。従って、図中
のＴはスラブ型レーザ媒質（レーザ結晶）の厚み（厚み
方向長さ）を表わし、Ｄは幅（幅方向長さ）を表わす。
なお、「厚み方向」、「幅方向」の呼称は便宜的なもの
であり、スラブ型レーザ媒質の矩形断面の向い合う一対
の辺に対応する方向を厚み方向とすれば他方の辺に対応
する方向が幅方向となる。
【０００４】厚みＴ、幅Ｄを有するスラブ型レーザ媒質
（例えば、ＹＡＧレーザ結晶）１はクリプトンランプ、
半導体レーザ等からなる励起光源（図示省略）と共に内
面を高光反射率としたリフレクタ（図示省略）内に配置
されている。図４（ａ）中に矢印群１０で記したよう
に、スラブ型レーザ媒質１は励起光源からの直接光ある
いはリフレクタによる反射を経た光からなる励起光によ
ってレーザ励起される。
（例えば、ＹＡＧレーザ結晶）１はクリプトンランプ、
半導体レーザ等からなる励起光源（図示省略）と共に内
面を高光反射率としたリフレクタ（図示省略）内に配置
されている。図４（ａ）中に矢印群１０で記したよう
に、スラブ型レーザ媒質１は励起光源からの直接光ある
いはリフレクタによる反射を経た光からなる励起光によ
ってレーザ励起される。
【０００５】スラブ型レーザ媒質１の両側方には部分反
射鏡２並びに全反射鏡３が配置され、ファブリペロー型
の光共振器が構成される。光共振器の効率を高く保つた
めに、スラブ型レーザ媒質１の両端面１１ａ，１１ｂ
は、ブリュースタ条件をほぼ満たす角度を持たせて厚み
方向（ｘ軸方向）に関して斜めにカットされている。
射鏡２並びに全反射鏡３が配置され、ファブリペロー型
の光共振器が構成される。光共振器の効率を高く保つた
めに、スラブ型レーザ媒質１の両端面１１ａ，１１ｂ
は、ブリュースタ条件をほぼ満たす角度を持たせて厚み
方向（ｘ軸方向）に関して斜めにカットされている。
【０００６】本例では、部分反射鏡２、スラブ型レーザ
媒質１、全反射鏡３が一直線上に並ぶ配置がとられ、ス
ラブ型レーザ媒質１の中心軸６の延長線上に、両鏡２，
３が反射面を正対し合う関係で配置されている。また、
部分反射鏡２並びに全反射鏡３は平面鏡として描かれて
いるが、一方または両方を凹面鏡（例えば、凹球面鏡）
とすることもある。
媒質１、全反射鏡３が一直線上に並ぶ配置がとられ、ス
ラブ型レーザ媒質１の中心軸６の延長線上に、両鏡２，
３が反射面を正対し合う関係で配置されている。また、
部分反射鏡２並びに全反射鏡３は平面鏡として描かれて
いるが、一方または両方を凹面鏡（例えば、凹球面鏡）
とすることもある。
【０００７】励起光１０によってスラブ型レーザ媒質１
がレーザ励起されて発生するレーザビーム光束９は、反
射鏡２，３間を往復しながらスラブ型レーザ媒質１内で
増幅され、その一部が外部にレーザビーム出力１２とし
て取り出される。部分反射鏡２から外部に取り出された
ビーム出力１２は、レーザ加工等の目的に供される。
がレーザ励起されて発生するレーザビーム光束９は、反
射鏡２，３間を往復しながらスラブ型レーザ媒質１内で
増幅され、その一部が外部にレーザビーム出力１２とし
て取り出される。部分反射鏡２から外部に取り出された
ビーム出力１２は、レーザ加工等の目的に供される。
【０００８】レーザ励起されたスラブ型レーザ媒質１内
では大量の熱が発生するので、これを除去する必要が生
じる。これは、レーザ媒質として円柱状の断面を有する
ロッド型レーザ結晶を用いた場合でも同様である。レー
ザ媒質内に発生する熱の除去には、一般に、冷却媒体
（純水）をスラブ型レーザ媒質１（またはロッド型レー
ザ媒質）の表面に接触するように循環させる手法が用い
られている。
では大量の熱が発生するので、これを除去する必要が生
じる。これは、レーザ媒質として円柱状の断面を有する
ロッド型レーザ結晶を用いた場合でも同様である。レー
ザ媒質内に発生する熱の除去には、一般に、冷却媒体
（純水）をスラブ型レーザ媒質１（またはロッド型レー
ザ媒質）の表面に接触するように循環させる手法が用い
られている。
【０００９】ここで問題となるのは、レーザ媒質の表面
部から中心部へ向かって内部に温度勾配が発生すること
である。温度勾配の発生は必然的に屈折率勾配の発生を
意味する。このような屈折率勾配は、レーザビームの品
質低下を招く原因となる。何故ならば、部分反射鏡２と
全反射鏡３の間を往復する光がレーザ媒質内を通過する
際の光学的光路長（屈折率を考慮した光路長。以下、同
じ。）の均一性が低下するからである。即ち、相対的に
低温（低屈折率）の表面付近を長く通過する光と相対的
に高温（高屈折率）となっている中心軸６付近を長く通
過する光では光学的光路長に差異が生じるため、実質的
な共振器長が一定でなくなる。
部から中心部へ向かって内部に温度勾配が発生すること
である。温度勾配の発生は必然的に屈折率勾配の発生を
意味する。このような屈折率勾配は、レーザビームの品
質低下を招く原因となる。何故ならば、部分反射鏡２と
全反射鏡３の間を往復する光がレーザ媒質内を通過する
際の光学的光路長（屈折率を考慮した光路長。以下、同
じ。）の均一性が低下するからである。即ち、相対的に
低温（低屈折率）の表面付近を長く通過する光と相対的
に高温（高屈折率）となっている中心軸６付近を長く通
過する光では光学的光路長に差異が生じるため、実質的
な共振器長が一定でなくなる。
【００１０】その結果、共振器内に存在する光の位相の
均一性が低下し、発散性のレーザ光が出力されるように
なる。このようなレーザ光は、集光光学系を通してもエ
ネルギ密度の高い微細なビームに絞ることが難しく、一
般に、低い品質のレーザ光と見なされる。
均一性が低下し、発散性のレーザ光が出力されるように
なる。このようなレーザ光は、集光光学系を通してもエ
ネルギ密度の高い微細なビームに絞ることが難しく、一
般に、低い品質のレーザ光と見なされる。
【００１１】仮に、レーザ媒質として円柱状の断面を有
するロッド型レーザ結晶を用いたとすると、中心軸付近
で屈折率が最も高く周面部に近づくほど屈折率が低下す
るような、ほぼ同心円状の屈折率プロファイルが生まれ
る。その結果、円柱状の断面を有するロッド型レーザ結
晶を通過した光束は、位相が揃わず、発散的なものとな
る。
するロッド型レーザ結晶を用いたとすると、中心軸付近
で屈折率が最も高く周面部に近づくほど屈折率が低下す
るような、ほぼ同心円状の屈折率プロファイルが生まれ
る。その結果、円柱状の断面を有するロッド型レーザ結
晶を通過した光束は、位相が揃わず、発散的なものとな
る。
【００１２】これに対して、レーザ媒質としてスラブ型
レーザ結晶を用いた場合には、上記問題をある程度解決
することが出来る。即ち、図４（ａ）に示したように、
スラブ型レーザ媒質１内でジグザグ状に全反射を繰り返
す光路が形成されるようにすることで、スラブ型レーザ
媒質１内の高屈折率領域（中心軸６に近い領域）から低
屈折率領域（表面付近）までまんべんなく光束が通過
し、大きな光学的光路長差が発生し難くなる。
レーザ結晶を用いた場合には、上記問題をある程度解決
することが出来る。即ち、図４（ａ）に示したように、
スラブ型レーザ媒質１内でジグザグ状に全反射を繰り返
す光路が形成されるようにすることで、スラブ型レーザ
媒質１内の高屈折率領域（中心軸６に近い領域）から低
屈折率領域（表面付近）までまんべんなく光束が通過
し、大きな光学的光路長差が発生し難くなる。
【００１３】なお、スラブ型レーザ媒質１の両端面１１
ａ，１１ｂが傾斜している場合、その傾斜角がブリュー
スタ条件を満たしていなくともスラブ型レーザ媒質１内
でジグザグ状の光路をとらせることは可能であり、それ
によって光学的光路長の均質化を図ることが出来る。ま
た、スラブ型レーザ媒質１の両端面１１ａ，１１ｂが傾
斜していない場合であっても、両端面１１ａ，１１ｂに
おける入出射が斜めから行われるように部分反射鏡２と
全反射鏡３を配置すれば、やはりスラブ型レーザ媒質１
内でジグザグ状に全反射を繰り返す光路を形成し、レー
ザ光の品質を向上させることが出来る。
ａ，１１ｂが傾斜している場合、その傾斜角がブリュー
スタ条件を満たしていなくともスラブ型レーザ媒質１内
でジグザグ状の光路をとらせることは可能であり、それ
によって光学的光路長の均質化を図ることが出来る。ま
た、スラブ型レーザ媒質１の両端面１１ａ，１１ｂが傾
斜していない場合であっても、両端面１１ａ，１１ｂに
おける入出射が斜めから行われるように部分反射鏡２と
全反射鏡３を配置すれば、やはりスラブ型レーザ媒質１
内でジグザグ状に全反射を繰り返す光路を形成し、レー
ザ光の品質を向上させることが出来る。
【００１４】このような事情は、高出力の固体レーザ発
振装置でスラブ型レーザ媒質が採用される理由にもなっ
ている。しかし、図４（ｂ）におけるレーザビーム光束
９の描示からも判るように、スラブ型レーザ媒質１内の
光路をジグザグにとれるのは、１方向（ここではｘ軸方
向、即ち厚み方向）のみであり、それと垂直な幅方向
（ｙ軸方向）について同時に光路をジグザグにとること
は出来ない。
振装置でスラブ型レーザ媒質が採用される理由にもなっ
ている。しかし、図４（ｂ）におけるレーザビーム光束
９の描示からも判るように、スラブ型レーザ媒質１内の
光路をジグザグにとれるのは、１方向（ここではｘ軸方
向、即ち厚み方向）のみであり、それと垂直な幅方向
（ｙ軸方向）について同時に光路をジグザグにとること
は出来ない。
【００１５】スラブ型レーザ媒質１内の屈折率勾配は、
当然、厚み方向だけでなく幅方向に関しても生じている
から、上記の光路ジグザグ化の手法によるレーザ光の品
質改善は、厚み方向（または幅方向）にしか期待出来な
い。そのため、従来のスラブ型レーザ媒質を用いたレー
ザ発振器においては、出力レーザビームの可収束性（ど
れ位微細なビームに絞ることが出来るかと言うこと）に
ついて、一つの方向（ｘ軸方向またはｙ軸方向）につい
ては良好であるが、これと垂直な方向（ｙ軸方向または
ｘ軸方向）については十分でないという事態を生じてい
た。
当然、厚み方向だけでなく幅方向に関しても生じている
から、上記の光路ジグザグ化の手法によるレーザ光の品
質改善は、厚み方向（または幅方向）にしか期待出来な
い。そのため、従来のスラブ型レーザ媒質を用いたレー
ザ発振器においては、出力レーザビームの可収束性（ど
れ位微細なビームに絞ることが出来るかと言うこと）に
ついて、一つの方向（ｘ軸方向またはｙ軸方向）につい
ては良好であるが、これと垂直な方向（ｙ軸方向または
ｘ軸方向）については十分でないという事態を生じてい
た。
【００１６】この問題を解決するために、スラブ型レー
ザ媒質１の幅Ｄを厚みＴよりも十分に大きくし、幅方向
に関して屈折率勾配の小さい中央部のみをレーザ発振に
用いるという方法がある。しかし、この方法はレーザ媒
質の大きさに対してレーザ増幅に使用出来る部分が小さ
くなる、言い換えれば、レーザ出力が同じでも相対的に
大きなレーザ結晶が必要となるという欠点がある。
ザ媒質１の幅Ｄを厚みＴよりも十分に大きくし、幅方向
に関して屈折率勾配の小さい中央部のみをレーザ発振に
用いるという方法がある。しかし、この方法はレーザ媒
質の大きさに対してレーザ増幅に使用出来る部分が小さ
くなる、言い換えれば、レーザ出力が同じでも相対的に
大きなレーザ結晶が必要となるという欠点がある。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の目的
は、新規な共振器配置を採用して、厚み方向だけでなく
幅方向に関しても高い品質を持つレーザ光を出力出来る
ようにしたスラブ型レーザ発振装置を提供することにあ
り、特に、レーザ増幅に使用されない部分を増大させず
に、厚みと幅の両方向について高い品質を持つレーザ光
を出力出来るようにしたスラブ型レーザ発振装置を提供
することにある。
は、新規な共振器配置を採用して、厚み方向だけでなく
幅方向に関しても高い品質を持つレーザ光を出力出来る
ようにしたスラブ型レーザ発振装置を提供することにあ
り、特に、レーザ増幅に使用されない部分を増大させず
に、厚みと幅の両方向について高い品質を持つレーザ光
を出力出来るようにしたスラブ型レーザ発振装置を提供
することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明は、光共振器内に
ＮｄをドープしたＹＡＧレーザ結晶等からなるスラブ型
レーザ媒質を配置し、該スラブ型レーザ媒質をレーザ励
起してレーザ出力を得る固体レーザ発振装置において、
スラブ型レーザ媒質内部に生じる屈折率勾配の悪影響を
減殺するように斜め折返し光路が光共振器内に形成され
るようにすることによって、上記技術課題を解決した。
ＮｄをドープしたＹＡＧレーザ結晶等からなるスラブ型
レーザ媒質を配置し、該スラブ型レーザ媒質をレーザ励
起してレーザ出力を得る固体レーザ発振装置において、
スラブ型レーザ媒質内部に生じる屈折率勾配の悪影響を
減殺するように斜め折返し光路が光共振器内に形成され
るようにすることによって、上記技術課題を解決した。
【００１９】即ち、本発明に従えば、光共振器は、スラ
ブ型レーザ媒質の長手方向における一方の端面側に配置
された折返し鏡と、他方の端面側に並列傾斜配置された
部分反射鏡と全反射鏡を備えたものとされる。これによ
って、スラブ型レーザ媒質の矩形断面の向かい合う一対
の辺に対応した方向に沿った断面（第一の断面）内にお
いて、部分反射鏡と全反射鏡の間を折返し鏡を経由して
折り返す光路が、スラブ型レーザ媒質の長手軸を鋏むよ
うに傾斜して形成される。レーザ出力は、部分反射鏡か
ら光共振器の外部に取り出される。
ブ型レーザ媒質の長手方向における一方の端面側に配置
された折返し鏡と、他方の端面側に並列傾斜配置された
部分反射鏡と全反射鏡を備えたものとされる。これによ
って、スラブ型レーザ媒質の矩形断面の向かい合う一対
の辺に対応した方向に沿った断面（第一の断面）内にお
いて、部分反射鏡と全反射鏡の間を折返し鏡を経由して
折り返す光路が、スラブ型レーザ媒質の長手軸を鋏むよ
うに傾斜して形成される。レーザ出力は、部分反射鏡か
ら光共振器の外部に取り出される。
【００２０】スラブ型レーザ媒質の光共振器内の配置位
置は、スラブ型レーザ媒質の少なくとも５０％の部分が
光共振器内に形成される斜め折返し光路で占められるよ
うなものであることが好ましい。この条件は、折返し鏡
として球面鏡を使用し、部分反射鏡及び全反射鏡には平
面鏡を使用した場合、ｕ＋ｓ≦（Ｌ＋ｈ）／２で表現さ
れる。ここで、ｓはスラブ型レーザ媒質の長手方向長
さ、ｕは球面鏡の反射面の中心とスラブ型レーザ媒質の
相対的に近い方の端面の間の距離、Ｌは球面鏡の反射面
の曲率半径、ｈは部分反射鏡と折返し鏡の間の光束通路
と全反射鏡と折返し鏡の間の光束通路との重なり領域
の、スラブ型レーザ媒質の長手方向に沿った長さであ
る。
置は、スラブ型レーザ媒質の少なくとも５０％の部分が
光共振器内に形成される斜め折返し光路で占められるよ
うなものであることが好ましい。この条件は、折返し鏡
として球面鏡を使用し、部分反射鏡及び全反射鏡には平
面鏡を使用した場合、ｕ＋ｓ≦（Ｌ＋ｈ）／２で表現さ
れる。ここで、ｓはスラブ型レーザ媒質の長手方向長
さ、ｕは球面鏡の反射面の中心とスラブ型レーザ媒質の
相対的に近い方の端面の間の距離、Ｌは球面鏡の反射面
の曲率半径、ｈは部分反射鏡と折返し鏡の間の光束通路
と全反射鏡と折返し鏡の間の光束通路との重なり領域
の、スラブ型レーザ媒質の長手方向に沿った長さであ
る。
【００２１】また、折返しが行なわれる平面と垂直な方
向の断面（第二の断面）内においては、ジグザグ状に全
反射を繰り返す光路が形成されることが好ましい。更
に、スラブ型レーザ媒質の両端面は、前記第二の断面内
において、ほぼブリュースタ条件を満たす角度を以て傾
斜していることが好ましい。
向の断面（第二の断面）内においては、ジグザグ状に全
反射を繰り返す光路が形成されることが好ましい。更
に、スラブ型レーザ媒質の両端面は、前記第二の断面内
において、ほぼブリュースタ条件を満たす角度を以て傾
斜していることが好ましい。
【００２２】
【発明の実施の形態】図１は、図４に準じた形式と参照
符号を用いて本発明の一つの実施形態について説明する
図であり、本発明に従ったスラブ型レーザ発振装置の要
部構造が厚み方向に沿った断面図（ａ）並びに幅方向に
沿った断面図（ｂ）で描かれている。両断面図中に併記
されている座標系は、図４と同様に、スラブ型レーザ媒
質の厚み方向（ｘ軸方向）、幅方向（ｙ軸方向）、及び
長手方向（ｚ軸方向）を表わすためのものである。
符号を用いて本発明の一つの実施形態について説明する
図であり、本発明に従ったスラブ型レーザ発振装置の要
部構造が厚み方向に沿った断面図（ａ）並びに幅方向に
沿った断面図（ｂ）で描かれている。両断面図中に併記
されている座標系は、図４と同様に、スラブ型レーザ媒
質の厚み方向（ｘ軸方向）、幅方向（ｙ軸方向）、及び
長手方向（ｚ軸方向）を表わすためのものである。
【００２３】本実施形態で使用されるスラブ型レーザ媒
質１は、従来装置と同様、キセノンランプ、半導体レー
ザ等からなる励起光源（図示省略）と共に内面を高光反
射率としたリフレクタ（図示省略）内に配置されてい
る。スラブ型レーザ媒質１の具体例としては、Ｎｄイオ
ンをドープしたＹＡＧレーザ結晶が好適である。ＹＡＧ
レーザ結晶１のサイズの一例として、長さｓ＝２０６ｍ
ｍ、厚みＴ＝６ｍｍ、幅Ｄ＝２５ｍｍがある。
質１は、従来装置と同様、キセノンランプ、半導体レー
ザ等からなる励起光源（図示省略）と共に内面を高光反
射率としたリフレクタ（図示省略）内に配置されてい
る。スラブ型レーザ媒質１の具体例としては、Ｎｄイオ
ンをドープしたＹＡＧレーザ結晶が好適である。ＹＡＧ
レーザ結晶１のサイズの一例として、長さｓ＝２０６ｍ
ｍ、厚みＴ＝６ｍｍ、幅Ｄ＝２５ｍｍがある。
【００２４】スラブ型レーザ媒質１の両端面１１ａ，１
１ｂは、ブリュースタ条件をほぼ満たす角度を持たせて
厚み方向（ｘ軸方向）に関して斜めにカットされてい
る。図１（ａ）に矢印群１０で記したように、スラブ型
レーザ媒質１は励起光源からの直接光あるいはリフレク
タによる反射を経た光からなる励起光によってレーザ励
起される。スラブ型レーザ媒質１が、レーザ共振器を構
成するために複数の反射鏡（全反射鏡あるいは部分反射
鏡）を用いた光共振器中に配置される点は、従来の個体
レーザ発振装置と同様である。しかし、両図、特に図４
（ａ）に示されているように、光共振器の構成が従来装
置とは異なっている。
１ｂは、ブリュースタ条件をほぼ満たす角度を持たせて
厚み方向（ｘ軸方向）に関して斜めにカットされてい
る。図１（ａ）に矢印群１０で記したように、スラブ型
レーザ媒質１は励起光源からの直接光あるいはリフレク
タによる反射を経た光からなる励起光によってレーザ励
起される。スラブ型レーザ媒質１が、レーザ共振器を構
成するために複数の反射鏡（全反射鏡あるいは部分反射
鏡）を用いた光共振器中に配置される点は、従来の個体
レーザ発振装置と同様である。しかし、両図、特に図４
（ａ）に示されているように、光共振器の構成が従来装
置とは異なっている。
【００２５】即ち、スラブ型レーザ媒質１の長手方向に
おける一方の端面１１ａ側に折返し鏡４を配置するとと
もに他方の端面１１ｂ側に部分反射鏡２と全反射鏡３を
並列傾斜配置し、それら部分反射鏡２と全反射鏡３の間
を往復するとともに前記折返し鏡４で折り返される光路
が形成されるようなファブリペロー型の光共振器を構成
する。本実施形態では、部分反射鏡２と全反射鏡３に平
面鏡を用い、折返し鏡４に球面鏡を用いている。
おける一方の端面１１ａ側に折返し鏡４を配置するとと
もに他方の端面１１ｂ側に部分反射鏡２と全反射鏡３を
並列傾斜配置し、それら部分反射鏡２と全反射鏡３の間
を往復するとともに前記折返し鏡４で折り返される光路
が形成されるようなファブリペロー型の光共振器を構成
する。本実施形態では、部分反射鏡２と全反射鏡３に平
面鏡を用い、折返し鏡４に球面鏡を用いている。
【００２６】折返し鏡に球面鏡４を用いて部分反射鏡
（部分反射平面鏡）２と全反射鏡（全反射平面鏡）３の
間でこのような折返し光路を形成するには、次の条件で
各鏡を配置すれば良い。
（部分反射平面鏡）２と全反射鏡（全反射平面鏡）３の
間でこのような折返し光路を形成するには、次の条件で
各鏡を配置すれば良い。
【００２７】（１）各鏡２，３，４の厚み方向（ｘ軸方
向）位置は整列関係を保持する。これにより、厚み方向
断面について見る限り、図１（ａ）に示したような光路
が形成される。即ち、スラブ型レーザ媒質１内部では厚
み方向（ｘ軸方向）に振れて全反射を繰り返すジグザグ
光路が形成され、スラブ型レーザ媒質１外部では厚み方
向（ｘ軸方向）に振れが無く、長手方向（ｚ軸方向）に
沿った光路が形成される。
向）位置は整列関係を保持する。これにより、厚み方向
断面について見る限り、図１（ａ）に示したような光路
が形成される。即ち、スラブ型レーザ媒質１内部では厚
み方向（ｘ軸方向）に振れて全反射を繰り返すジグザグ
光路が形成され、スラブ型レーザ媒質１外部では厚み方
向（ｘ軸方向）に振れが無く、長手方向（ｚ軸方向）に
沿った光路が形成される。
【００２８】（２）部分反射鏡２の反射面の中心点７と
全反射鏡３の反射面の中心点８とを結ぶ直線とスラブ型
レーザ媒質１の中心軸６との交点が、球面鏡４の反射面
の曲率中心Ｑに一致すること。 （３）両鏡２，３の傾斜角θが、部分反射鏡２の反射面
の中心点７において該反射面に立てた垂線と全反射鏡３
の反射面の中心点８において該反射面に立てた垂線が球
面鏡４の反射面の中心点５で交わるように設定されてい
ること。
全反射鏡３の反射面の中心点８とを結ぶ直線とスラブ型
レーザ媒質１の中心軸６との交点が、球面鏡４の反射面
の曲率中心Ｑに一致すること。 （３）両鏡２，３の傾斜角θが、部分反射鏡２の反射面
の中心点７において該反射面に立てた垂線と全反射鏡３
の反射面の中心点８において該反射面に立てた垂線が球
面鏡４の反射面の中心点５で交わるように設定されてい
ること。
【００２９】但し、部分反射鏡２と全反射鏡３の位置と
それに整合する傾斜角θの組合せは、設計的に選択し得
ることに注意する必要がある。即ち、図１（ｂ）から理
解されるように、部分反射鏡２と全反射鏡３を並列傾斜
配置し、折返し鏡４を介して両者間を往復する光路を形
成すると、往復光路（部分反射鏡２と球面鏡４の間の光
路と全反射鏡３と球面鏡４の間の光路）の間に鋏み状の
開きが生じる。一般に、傾斜角θが大きいとこの開きも
大きくなる。
それに整合する傾斜角θの組合せは、設計的に選択し得
ることに注意する必要がある。即ち、図１（ｂ）から理
解されるように、部分反射鏡２と全反射鏡３を並列傾斜
配置し、折返し鏡４を介して両者間を往復する光路を形
成すると、往復光路（部分反射鏡２と球面鏡４の間の光
路と全反射鏡３と球面鏡４の間の光路）の間に鋏み状の
開きが生じる。一般に、傾斜角θが大きいとこの開きも
大きくなる。
【００３０】往復光路にこのような開きがあると、球面
鏡（折返し鏡）４に近い側に往復光路が重なる三角形状
の重なり領域２０が生じる一方、遠い側には三角形状の
空白領域３０が生じる。一般に、傾斜角θが大きくなる
程、重なり領域２０の長さｈが短くなり、空白領域３０
の長さＬ−ｈ（Ｌは球面鏡４の曲率半径）は大きくな
る。スラブ型レーザ媒質１を用いてレーザ発振を高効率
で起こさせるには、重なり領域２０内にスラブ型レーザ
媒質１の多くの部分が収まるような配置が好ましい。
鏡（折返し鏡）４に近い側に往復光路が重なる三角形状
の重なり領域２０が生じる一方、遠い側には三角形状の
空白領域３０が生じる。一般に、傾斜角θが大きくなる
程、重なり領域２０の長さｈが短くなり、空白領域３０
の長さＬ−ｈ（Ｌは球面鏡４の曲率半径）は大きくな
る。スラブ型レーザ媒質１を用いてレーザ発振を高効率
で起こさせるには、重なり領域２０内にスラブ型レーザ
媒質１の多くの部分が収まるような配置が好ましい。
【００３１】そこで、本実施形態では、スラブ型レーザ
媒質１は、その全長ｓが、重なり領域２０の長さｈ内に
収まるように配置した。また、図１（ｂ）に示した如
く、共振器内を往復する光束がスラブ型レーザ媒質１を
通過する際に幅方向断面内を斜めにほぼ全幅Ｗを横切る
ような光路をとるように、全体配置が設計されている。
一例として、長さｓ＝２０６ｍｍ、厚みＴ＝６ｍｍ、幅
Ｄ＝２５ｍｍのＮｄドープＹＡＧレーザ結晶を用いて、
このような条件を満たすように部分反射鏡２、全反射鏡
３の位置、傾斜角θ、レーザ結晶１の位置等を調整した
ところ、Ｌ＝８００ｍｍ、ｕ＝２００ｍｍ、ｈ＝５０５
ｍｍとなった。
媒質１は、その全長ｓが、重なり領域２０の長さｈ内に
収まるように配置した。また、図１（ｂ）に示した如
く、共振器内を往復する光束がスラブ型レーザ媒質１を
通過する際に幅方向断面内を斜めにほぼ全幅Ｗを横切る
ような光路をとるように、全体配置が設計されている。
一例として、長さｓ＝２０６ｍｍ、厚みＴ＝６ｍｍ、幅
Ｄ＝２５ｍｍのＮｄドープＹＡＧレーザ結晶を用いて、
このような条件を満たすように部分反射鏡２、全反射鏡
３の位置、傾斜角θ、レーザ結晶１の位置等を調整した
ところ、Ｌ＝８００ｍｍ、ｕ＝２００ｍｍ、ｈ＝５０５
ｍｍとなった。
【００３２】この構成の下で、クリプトンランプを用い
てスラブ型レーザ媒質１を励起したところ、レーザ出力
は、連続発振、パルス発振いずれの条件においても最大
で１ｋＷの平均出力を得た。また、部分反射鏡２から出
射される出力ビームのビーム品質を表わす指標として、
ビームウエストとビーム全拡がり角の積を求めたとこ
ろ、スラブ型レーザ媒質１の幅方向について８０ｍｍ・
ｍｒａｄであった。比較のために、同じスラブ型レーザ
媒質１を用いた従来装置について、上記指標を求めたと
ころ、５１０ｍｍ・ｍｒａｄであった。
てスラブ型レーザ媒質１を励起したところ、レーザ出力
は、連続発振、パルス発振いずれの条件においても最大
で１ｋＷの平均出力を得た。また、部分反射鏡２から出
射される出力ビームのビーム品質を表わす指標として、
ビームウエストとビーム全拡がり角の積を求めたとこ
ろ、スラブ型レーザ媒質１の幅方向について８０ｍｍ・
ｍｒａｄであった。比較のために、同じスラブ型レーザ
媒質１を用いた従来装置について、上記指標を求めたと
ころ、５１０ｍｍ・ｍｒａｄであった。
【００３３】このように、スラブ型レーザ媒質１の幅方
向についてビーム品質を大幅に改善することが確かめら
れた。
向についてビーム品質を大幅に改善することが確かめら
れた。
【００３４】このような構成によって幅方向のビーム品
質が改善される理由は、部分反射鏡２と全反射鏡３の間
を往復するレーザビーム光束９は、そのどの部分をとっ
ても、スラブ型レーザ媒質１の幅方向断面を斜めに横切
るように進行する。即ち、スラブ型レーザ媒質１内の屈
折率が相対的に高い領域のみ通過するビームや、逆に屈
折率が相対的に低い領域のみ通過するビームが生じるこ
とが無くなる。
質が改善される理由は、部分反射鏡２と全反射鏡３の間
を往復するレーザビーム光束９は、そのどの部分をとっ
ても、スラブ型レーザ媒質１の幅方向断面を斜めに横切
るように進行する。即ち、スラブ型レーザ媒質１内の屈
折率が相対的に高い領域のみ通過するビームや、逆に屈
折率が相対的に低い領域のみ通過するビームが生じるこ
とが無くなる。
【００３５】その結果、レーザビーム光束９がスラブ型
レーザ媒質１を通過する時に発生する位相のずれが全体
として小さくなり、部分反射鏡２から出力として取り出
されるレーザビーム１２が非発散性となる。言い換えれ
ば、冷却によってスラブ型レーザ媒質１内に発生する温
度勾配による悪影響を幅方向（一般には、矩形断面の向
かい合う一対の辺に対応した方向）について、レーザビ
ームの品質低下が防止される。
レーザ媒質１を通過する時に発生する位相のずれが全体
として小さくなり、部分反射鏡２から出力として取り出
されるレーザビーム１２が非発散性となる。言い換えれ
ば、冷却によってスラブ型レーザ媒質１内に発生する温
度勾配による悪影響を幅方向（一般には、矩形断面の向
かい合う一対の辺に対応した方向）について、レーザビ
ームの品質低下が防止される。
【００３６】図１に示した実施形態では、スラブ型レー
ザ媒質１を全長ｓについて重なり領域２０の長さｈ内に
収まるように配置したが、実際上は、スラブ型レーザ媒
質１の配置位置をある程度の部分反射鏡２あるいは全反
射鏡３側へずれても差し支えない。しかし、図２に示し
たように、スラブ型レーザ媒質１全体が重なり領域２０
からはずれてしまうような配置は、明らかに不都合であ
る。
ザ媒質１を全長ｓについて重なり領域２０の長さｈ内に
収まるように配置したが、実際上は、スラブ型レーザ媒
質１の配置位置をある程度の部分反射鏡２あるいは全反
射鏡３側へずれても差し支えない。しかし、図２に示し
たように、スラブ型レーザ媒質１全体が重なり領域２０
からはずれてしまうような配置は、明らかに不都合であ
る。
【００３７】そこで、部分反射鏡２と全反射鏡３に平面
鏡を用い、折返し鏡４に反射面の曲率半径Ｌの球面鏡を
用いた場合について、計算上、スラブ型レーザ媒質１内
の少なくとも５０％を光束９が通過し得る条件を求めて
みる。
鏡を用い、折返し鏡４に反射面の曲率半径Ｌの球面鏡を
用いた場合について、計算上、スラブ型レーザ媒質１内
の少なくとも５０％を光束９が通過し得る条件を求めて
みる。
【００３８】図３はこの条件について説明する図で、斜
線を施した２つの長方形は、スラブ型レーザ媒質１の軸
６に関して対称な幅Ｄ／２（Ｄはスラブ型レーザ媒質１
の幅方向長さ）、長さｓ（ｓはスラブ型レーザ媒質１の
長手方向長さ）の四辺形を考え、その両側部を幅Ｄ／４
で切りとったものを表わしている。この斜線を施した２
つの長方形が、光束９内に収まれば、上記条件（５０％
通過）が満たされると考えて良い。そのためには、次式
［１］が成立すれば良い。 ｕ＋ｓ≦（Ｌ＋ｈ）／２ ・・・［１］ 図１（ｂ）に示した通りの各符号の意味を繰り返して記
せば、ｓはスラブ型レーザ媒質１の長手方向長さ、ｕは
球面鏡４の反射面の中心５とスラブ型レーザ媒質１の端
面１１ｂの間の距離、Ｌは球面鏡４の反射面の曲率半
径、ｈは重なり領域２０の長さである。
線を施した２つの長方形は、スラブ型レーザ媒質１の軸
６に関して対称な幅Ｄ／２（Ｄはスラブ型レーザ媒質１
の幅方向長さ）、長さｓ（ｓはスラブ型レーザ媒質１の
長手方向長さ）の四辺形を考え、その両側部を幅Ｄ／４
で切りとったものを表わしている。この斜線を施した２
つの長方形が、光束９内に収まれば、上記条件（５０％
通過）が満たされると考えて良い。そのためには、次式
［１］が成立すれば良い。 ｕ＋ｓ≦（Ｌ＋ｈ）／２ ・・・［１］ 図１（ｂ）に示した通りの各符号の意味を繰り返して記
せば、ｓはスラブ型レーザ媒質１の長手方向長さ、ｕは
球面鏡４の反射面の中心５とスラブ型レーザ媒質１の端
面１１ｂの間の距離、Ｌは球面鏡４の反射面の曲率半
径、ｈは重なり領域２０の長さである。
【００３９】上記［１］式の条件は、本発明の技術思想
を適用した固体レーザ発振装置が、実際上好ましい効率
で動作する一つの目安と考えて差し支えない。なお、実
施形態における具体値、ｓ＝２０６ｍｍ，Ｌ＝８００ｍ
ｍ、ｕ＝２００ｍｍ、ｈ＝５０５ｍｍについて上記
［１］式を検証すると、［１］式の左辺＝４０６ｍｍ、
［１］式の右辺＝６８２．５ｍｍとなり、上記［１］式
は余裕を以て成立している。
を適用した固体レーザ発振装置が、実際上好ましい効率
で動作する一つの目安と考えて差し支えない。なお、実
施形態における具体値、ｓ＝２０６ｍｍ，Ｌ＝８００ｍ
ｍ、ｕ＝２００ｍｍ、ｈ＝５０５ｍｍについて上記
［１］式を検証すると、［１］式の左辺＝４０６ｍｍ、
［１］式の右辺＝６８２．５ｍｍとなり、上記［１］式
は余裕を以て成立している。
【００４０】以上、部分反射鏡２、全反射鏡３として平
面鏡、折返し鏡４として球面鏡を使用した例を中心に説
明した。しかし、折返し鏡４として球面鏡以外の凹面鏡
を使用しても、本発明の原理に従って斜め折返し光路が
形成出来ることは明らかである。また、部分反射鏡２、
全反射鏡３として曲率半径の大きな球面鏡などの使用
も、斜め折返し光路の形成が不可能にならない限り許容
されることは言うまでもない。
面鏡、折返し鏡４として球面鏡を使用した例を中心に説
明した。しかし、折返し鏡４として球面鏡以外の凹面鏡
を使用しても、本発明の原理に従って斜め折返し光路が
形成出来ることは明らかである。また、部分反射鏡２、
全反射鏡３として曲率半径の大きな球面鏡などの使用
も、斜め折返し光路の形成が不可能にならない限り許容
されることは言うまでもない。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、スラブ型レーザ媒質を
用いた固体レーザ発振装置に折返し鏡を経由して部分反
射鏡と全反射鏡との間を往復する光路を形成した共振器
構造を取り入れることにより、スラブ型レーザ媒質の矩
形断面の一方方向について高い品質を持つレーザ光を出
力出来るようになった。また、ジグザグ光路を形成する
手法と組み合わせることにより、スラブ型レーザ媒質の
矩形断面の両方向について高い品質を持つレーザ光の出
力が可能になった。
用いた固体レーザ発振装置に折返し鏡を経由して部分反
射鏡と全反射鏡との間を往復する光路を形成した共振器
構造を取り入れることにより、スラブ型レーザ媒質の矩
形断面の一方方向について高い品質を持つレーザ光を出
力出来るようになった。また、ジグザグ光路を形成する
手法と組み合わせることにより、スラブ型レーザ媒質の
矩形断面の両方向について高い品質を持つレーザ光の出
力が可能になった。
【図１】本発明の一つの実施形態の要部構造を２つの方
向から見た断面図（ａ），（ｂ）で示したものである。
向から見た断面図（ａ），（ｂ）で示したものである。
【図２】スラブ型レーザ媒質の不適当な配置位置を説明
する図である。
する図である。
【図３】スラブ型レーザ媒質内の少なくとも５０％を光
束が通過し得る条件について説明する図である。
束が通過し得る条件について説明する図である。
【図４】スラブ型レーザ媒質を用いた従来の固体レーザ
発振装置の一例を示した図である。
発振装置の一例を示した図である。
１ スラブ型レーザ媒質（レーザ結晶） ２ 部分反射鏡 ３ 全反射鏡 ４ 折返し鏡（球面鏡） ５ 球面鏡の反射面の中心点 ６ スラブ型レーザ媒質の中心軸 ７ 部分反射鏡の反射面の中心点 ８ 全反射鏡の反射面の中心点 ９ レーザビーム光束 １０ 励起光（矢印群） １１ａ，１１ｂ スラブ型レーザ媒質の端面 １２ レーザビーム出力 ２０ 部分反射鏡と折返し鏡の間の光束通路と全反射鏡
と折返し鏡の間の光束通路との重なり領域 ３０ 部分反射鏡と折返し鏡の間の光束通路と全反射鏡
と折返し鏡の間の光束通路との間に鋏まれた三角形状の
空白領域 ｘ スラブ型レーザ媒質の厚み方向を表わす座標軸 ｙ スラブ型レーザ媒質の幅方向を表わす座標軸 ｚ スラブ型レーザ媒質の長手方向を表わす座標軸 Ｔ スラブ型レーザ媒質の厚み（厚み方向の長さ） Ｄ スラブ型レーザ媒質の幅（幅方向の長さ） Ｑ 球面鏡４の反射面の曲率中心
と折返し鏡の間の光束通路との重なり領域 ３０ 部分反射鏡と折返し鏡の間の光束通路と全反射鏡
と折返し鏡の間の光束通路との間に鋏まれた三角形状の
空白領域 ｘ スラブ型レーザ媒質の厚み方向を表わす座標軸 ｙ スラブ型レーザ媒質の幅方向を表わす座標軸 ｚ スラブ型レーザ媒質の長手方向を表わす座標軸 Ｔ スラブ型レーザ媒質の厚み（厚み方向の長さ） Ｄ スラブ型レーザ媒質の幅（幅方向の長さ） Ｑ 球面鏡４の反射面の曲率中心
Claims (6)
- 【請求項１】 光共振器内にスラブ型レーザ媒質を配置
し、該スラブ型レーザ媒質をレーザ励起してレーザ出力
を得る固体レーザ発振装置において、 前記光共振器が、前記スラブ型レーザ媒質の長手方向に
おける一方の端面側に配置された折返し鏡と、他方の端
面側に並列傾斜配置された部分反射鏡と全反射鏡を備
え、 前記スラブ型レーザ媒質の矩形断面の向かい合う一対の
辺に対応した方向に沿った第一の断面内において、前記
部分反射鏡と全反射鏡の間を前記折返し鏡を経由して折
り返す光路が、前記スラブ型レーザ媒質の長手軸を鋏む
ように傾斜して形成され、 前記部分反射鏡から前記レーザ出力が前記光共振器の外
部に取り出される、前記スラブ型固体レーザ発振装置。 - 【請求項２】 光共振器内にスラブ型レーザ媒質を配置
し、該スラブ型レーザ媒質をレーザ励起してレーザ出力
を得る固体レーザ発振装置において、 前記光共振器が、前記スラブ型レーザ媒質の長手方向に
おける一方の端面側に配置された折返し鏡と、他方の端
面側に並列傾斜配置された部分反射鏡と全反射鏡を備
え、 前記スラブ型レーザ媒質の矩形断面の向かい合う一対の
辺に対応した方向に沿った第一の断面内において、前記
部分反射鏡と全反射鏡の間を前記折返し鏡を経由して折
り返す光路が、前記スラブ型レーザ媒質の長手軸を鋏む
ように傾斜して形成され、 前記部分反射鏡から前記レーザ出力が前記光共振器の外
部に取り出されるようになっており、 前記スラブ型レーザ媒質は、前記スラブ型レーザ媒質の
少なくとも５０％の部分が前記光共振器内に形成される
斜め折返し光路で占められるように、前記スラブ型レー
ザ媒質が配置されている、前記スラブ型固体レーザ発振
装置。 - 【請求項３】 光共振器内にスラブ型レーザ媒質を配置
し、該スラブ型レーザ媒質をレーザ励起してレーザ出力
を得る固体レーザ発振装置において、 前記光共振器が、前記スラブ型レーザ媒質の長手方向に
おける一方の端面側に配置された球面鏡からなる折返し
鏡と、他方の端面側に並列傾斜配置された平面鏡からな
る全反射鏡と平面鏡からなる部分反射鏡を備え、 前記スラブ型レーザ媒質の矩形断面の向かい合う一対の
辺に対応した方向に沿った第一の断面内において、前記
部分反射鏡と全反射鏡の間を前記折返し鏡を経由して折
り返す光路が、前記スラブ型レーザ媒質の長手軸を鋏む
ように傾斜して形成され、 前記部分反射鏡から前記レーザ出力が前記光共振器の外
部に取り出されるようになっており、更に、 ｕ＋ｓ≦（Ｌ＋ｈ）／２ ・・・［１］ （但し、ｓ；スラブ型レーザ媒質の長手方向長さ ｕ；球面鏡の反射面の中心とスラブ型レーザ媒質の相対
的に近い方の端面の間の距離 Ｌ；球面鏡の反射面の曲率半径 ｈ；部分反射鏡と折返し鏡の間の光束通路と全反射鏡と
折返し鏡の間の光束通路との重なり領域の、スラブ型レ
ーザ媒質の長手方向に沿った長さ）、 が成立している、前記スラブ型固体レーザ発振装置。 - 【請求項４】 前記スラブ型レーザ媒質内部には、前記
第一の断面と垂直な第二の断面内において、ジグザグ状
に全反射を繰り返す光路が形成される、請求項１〜請求
項３のいずれか１項に記載されたスラブ型固体レーザ発
振装置。 - 【請求項５】 前記スラブ型レーザ媒質の両端面が、前
記第二の断面内において、ほぼブリュースタ条件を満た
す角度を以て傾斜している、請求項１〜請求項４のいず
れか１項に記載されたスラブ型固体レーザ発振装置。 - 【請求項６】 前記スラブ型レーザ媒質が、Ｎｄをドー
プしたＹＡＧレーザ結晶である、請求項１〜請求項５の
いずれか１項に記載されたスラブ型固体レーザ発振装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055696A JPH09283822A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | スラブ型固体レーザ発振装置 |
| PCT/JP1997/001195 WO1997038473A1 (fr) | 1996-04-08 | 1997-04-08 | Oscillateur de laser a plaque |
| EP97914629A EP0831567B1 (en) | 1996-04-08 | 1997-04-08 | Slab laser oscillator |
| DE69704070T DE69704070T2 (de) | 1996-04-08 | 1997-04-08 | Plattenförmiger laseroszillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055696A JPH09283822A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | スラブ型固体レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283822A true JPH09283822A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14538830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11055696A Pending JPH09283822A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | スラブ型固体レーザ発振装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0831567B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09283822A (ja) |
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