JP2001237477A - 自己補償形レーザ共振器 - Google Patents
自己補償形レーザ共振器Info
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- H01S3/107—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using electro-optic devices, e.g. exhibiting Pockels or Kerr effect
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 定在波形の自己補償形レーザ共振器におい
て、レーザの利用効率の低下を防止するとともに、レー
ザ光の品質を向上させることを目的とする。 【解決手段】 互いに直角に配置された第１及び第２の
反射面２１ａ，２１ｂを有する第１の反射装置２１と、
互いに直角に配置された第３及び第４の反射面２２ａ，
２２ｂを有する第２の反射装置２２とを、稜線２１ｃ，
２２ｃが直行するように互いに対向させ、第２の反射面
２１ｂと第４の反射面２２ｂとの間に、互いに反対向き
にかつ平行に配置された２つの反射面を有する第３の反
射装置２３を配置し、第１の反射面２１ａと第３の反射
面２２ａとの間にレーザ媒質２４を配置し、レーザ光が
稜線２１ｃ，２２ｃを通らないようにした。
て、レーザの利用効率の低下を防止するとともに、レー
ザ光の品質を向上させることを目的とする。 【解決手段】 互いに直角に配置された第１及び第２の
反射面２１ａ，２１ｂを有する第１の反射装置２１と、
互いに直角に配置された第３及び第４の反射面２２ａ，
２２ｂを有する第２の反射装置２２とを、稜線２１ｃ，
２２ｃが直行するように互いに対向させ、第２の反射面
２１ｂと第４の反射面２２ｂとの間に、互いに反対向き
にかつ平行に配置された２つの反射面を有する第３の反
射装置２３を配置し、第１の反射面２１ａと第３の反射
面２２ａとの間にレーザ媒質２４を配置し、レーザ光が
稜線２１ｃ，２２ｃを通らないようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば人工衛星
や航空機などの飛翔帯に搭載される固体レーザ装置に用
いられ、反射面の傾きを補償する自己補償形レーザ共振
器に関するものである。
や航空機などの飛翔帯に搭載される固体レーザ装置に用
いられ、反射面の傾きを補償する自己補償形レーザ共振
器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１０は例えば、Springer Series in O
ptical Sciences Vol.1「Solid-StateLaser Engineerin
g第４版」Walter Koechner著（１９９５年ドイツSpring
er社発行）197ページに示された従来のレーザ共振器を
示す説明図である。図１０において、１，２は互いに対
向して配置されレーザ光を閉じこめる一対の反射鏡、３
は反射鏡１，２間に配置されているレーザ媒質、４はレ
ーザ媒質３を励起する励起光源、５はレーザ共振器の光
軸、６は反射鏡２から反射鏡１へ進むレーザ光の光路、
７は反射鏡１から反射鏡２へ進むレーザ光の光路であ
る。
ptical Sciences Vol.1「Solid-StateLaser Engineerin
g第４版」Walter Koechner著（１９９５年ドイツSpring
er社発行）197ページに示された従来のレーザ共振器を
示す説明図である。図１０において、１，２は互いに対
向して配置されレーザ光を閉じこめる一対の反射鏡、３
は反射鏡１，２間に配置されているレーザ媒質、４はレ
ーザ媒質３を励起する励起光源、５はレーザ共振器の光
軸、６は反射鏡２から反射鏡１へ進むレーザ光の光路、
７は反射鏡１から反射鏡２へ進むレーザ光の光路であ
る。
【０００３】次に、動作について説明する。上述のよう
なレーザ共振器では、レーザ光が光路６，７を往復し、
同じ光路６，７を通り同じ位相状態を保持するレーザ光
のみが選択的に閉じこめられて増幅され、発振モードが
形成される。反射鏡１，２が互いに平行に配置されてい
る場合、レーザ光は、反射鏡１，２間で繰り返し反射さ
れ、光軸５に平行な光路６，７を往復する。このとき、
レーザ光は、励起光源４により励起されたレーザ媒質３
を繰り返し通過して増幅されていく。
なレーザ共振器では、レーザ光が光路６，７を往復し、
同じ光路６，７を通り同じ位相状態を保持するレーザ光
のみが選択的に閉じこめられて増幅され、発振モードが
形成される。反射鏡１，２が互いに平行に配置されてい
る場合、レーザ光は、反射鏡１，２間で繰り返し反射さ
れ、光軸５に平行な光路６，７を往復する。このとき、
レーザ光は、励起光源４により励起されたレーザ媒質３
を繰り返し通過して増幅されていく。
【０００４】これに対し、図１１に示すように、一方の
反射鏡１が傾斜して反射鏡１，２が平行でなくなった場
合、光軸５に平行な光路６を進むレーザ光は、光軸５に
対して角度をなす光路８に反射される。従って、往復し
たレーザ光は同じ光路を通らず、発振モードを形成する
ことができない。
反射鏡１が傾斜して反射鏡１，２が平行でなくなった場
合、光軸５に平行な光路６を進むレーザ光は、光軸５に
対して角度をなす光路８に反射される。従って、往復し
たレーザ光は同じ光路を通らず、発振モードを形成する
ことができない。
【０００５】このような問題を解決する手段として、上
述の「Solid-State Laser Engineering」227ページに
は、図１２に示すような自己補償形のレーザ共振器も示
されている。図１２において、１１はＺ軸に平行な稜線
１１ａを有するルーフプリズム、１２はＸ軸と平行な稜
線１２ａを有するルーフプリズム、１３はルーフプリズ
ム１１，１２に対向して配置されているコーナキューブ
プリズムであり、このコーナキューブプリズム１３とル
ーフプリズム１１との間にレーザ媒質３が配置されてい
る。
述の「Solid-State Laser Engineering」227ページに
は、図１２に示すような自己補償形のレーザ共振器も示
されている。図１２において、１１はＺ軸に平行な稜線
１１ａを有するルーフプリズム、１２はＸ軸と平行な稜
線１２ａを有するルーフプリズム、１３はルーフプリズ
ム１１，１２に対向して配置されているコーナキューブ
プリズムであり、このコーナキューブプリズム１３とル
ーフプリズム１１との間にレーザ媒質３が配置されてい
る。
【０００６】このような構成のレーザ共振器において
は、レーザ光は、光軸１４上を進行し、ルーフプリズム
１２上で反射される。ルーフプリズム１２で反射された
レーザ光は、コーナキューブ１３で折り返され、励起光
源４で励起されたレーザ媒質３を通過して増幅される。
レーザ媒質３で増幅されたレーザ光は、ルーフプリズム
１１上で反射されて、ふたたびレーザ媒質３により増幅
される。この後、レーザ光は、元の位置に戻り、レーザ
共振器内に閉じこめられる。
は、レーザ光は、光軸１４上を進行し、ルーフプリズム
１２上で反射される。ルーフプリズム１２で反射された
レーザ光は、コーナキューブ１３で折り返され、励起光
源４で励起されたレーザ媒質３を通過して増幅される。
レーザ媒質３で増幅されたレーザ光は、ルーフプリズム
１１上で反射されて、ふたたびレーザ媒質３により増幅
される。この後、レーザ光は、元の位置に戻り、レーザ
共振器内に閉じこめられる。
【０００７】次に、図１３は図９のルーフプリズム１２
に入射したレーザ光の反射状態を示す説明図である。図
１３において、稜線１２ａを挟む反射面１２ｂ，１２ｃ
は、互いに直角に固定され、かつ光軸１４とのなす角度
が４５度になっている。光軸１４と平行な光路１５を進
み、ルーフプリズム１２に入射したレーザ光は、反射面
１２ｂにより９０度曲げられ、反射面１２ｃにより９０
度曲げられ、計１８０度の方向の変化を与えられる。こ
のようにして反射されたレーザ光の光路１６は、光軸１
４と平行になる。即ち、ルーフプリズム１２は、入射し
たレーザ光を、入射したレーザ光と平行で進行方向が逆
方向のレーザ光として反射する。
に入射したレーザ光の反射状態を示す説明図である。図
１３において、稜線１２ａを挟む反射面１２ｂ，１２ｃ
は、互いに直角に固定され、かつ光軸１４とのなす角度
が４５度になっている。光軸１４と平行な光路１５を進
み、ルーフプリズム１２に入射したレーザ光は、反射面
１２ｂにより９０度曲げられ、反射面１２ｃにより９０
度曲げられ、計１８０度の方向の変化を与えられる。こ
のようにして反射されたレーザ光の光路１６は、光軸１
４と平行になる。即ち、ルーフプリズム１２は、入射し
たレーザ光を、入射したレーザ光と平行で進行方向が逆
方向のレーザ光として反射する。
【０００８】また、図１４に示すように、ルーフプリズ
ム１２が稜線１２ａを中心軸として角度α傾いた場合、
反射面１２ｂより与えられる角度変化は９０−２α、反
射面１２ｃにより与えられる角度変化は９０＋２αとな
り、光路１５を進むレーザ光とルーフプリズム１２によ
り反射されたレーザ光の光路１６の角度変化は計１８０
度となる。従って、稜線１２ａを中心軸とした傾きが生
じた場合でも、ルーフプリズム１２は、入射したレーザ
光を、入射したレーザ光と平行で進行方向が逆方向のレ
ーザ光として反射する。
ム１２が稜線１２ａを中心軸として角度α傾いた場合、
反射面１２ｂより与えられる角度変化は９０−２α、反
射面１２ｃにより与えられる角度変化は９０＋２αとな
り、光路１５を進むレーザ光とルーフプリズム１２によ
り反射されたレーザ光の光路１６の角度変化は計１８０
度となる。従って、稜線１２ａを中心軸とした傾きが生
じた場合でも、ルーフプリズム１２は、入射したレーザ
光を、入射したレーザ光と平行で進行方向が逆方向のレ
ーザ光として反射する。
【０００９】さらに、入射するレーザ光が光軸１４に対
して傾いた場合も同様に、ルーフプリズム１２は、入射
したレーザ光を、入射したレーザ光と平行で進行方向が
逆方向のレーザ光として反射する。なお、図１３および
図１４では、説明のため、光路１５および１６を光軸１
４からずらして示したが、実際には、光路１５も光路１
６もビームの中心が光軸１４に一致し、レーザ光は稜線
１２ａを含む範囲内に照射され反射される。
して傾いた場合も同様に、ルーフプリズム１２は、入射
したレーザ光を、入射したレーザ光と平行で進行方向が
逆方向のレーザ光として反射する。なお、図１３および
図１４では、説明のため、光路１５および１６を光軸１
４からずらして示したが、実際には、光路１５も光路１
６もビームの中心が光軸１４に一致し、レーザ光は稜線
１２ａを含む範囲内に照射され反射される。
【００１０】さらにまた、図１５に示したように、ルー
フプリズム１１の稜線１１ａ及びルーフプリズム１２の
稜線１２ａを、互いに直交する方向に配置することによ
り、ルーフプリズム１１，１２の傾きがお互いに補償さ
れ、自己補償形のレーザ共振器が構成される。
フプリズム１１の稜線１１ａ及びルーフプリズム１２の
稜線１２ａを、互いに直交する方向に配置することによ
り、ルーフプリズム１１，１２の傾きがお互いに補償さ
れ、自己補償形のレーザ共振器が構成される。
【００１１】ここで、レーザ共振器の構成として、進行
波形共振器と定在波形共振器について考える。進行波形
共振器では、レーザ媒質から出射されたレーザ光が、共
振器内を１周回する間に、同じ光路を通らずにレーザ媒
質へ戻り、レーザ共振器内に進行波として閉じこめられ
ている。この時、共振器内を１周する間に、レーザ光は
レーザ媒質を１回通過して増幅される。これに対して、
定在波形共振器では、レーザ媒質から出射されたレーザ
光が、同じ光路を往復してレーザ媒質へ戻り、定在波と
してレーザ共振器内に閉じこめられている。この時、共
振器内を１周する間に、レーザ光はレーザ媒質を２回通
過して増幅される。すなわち、レーザ光が共振器を１周
回したとき、進行波形共振器ではレーザ光を１回しか増
幅しないのに対して、定在波形共振器ではレーザ光は２
回増幅される。図１０，図１２に示したレーザ共振器
は、定在波形共振器である。
波形共振器と定在波形共振器について考える。進行波形
共振器では、レーザ媒質から出射されたレーザ光が、共
振器内を１周回する間に、同じ光路を通らずにレーザ媒
質へ戻り、レーザ共振器内に進行波として閉じこめられ
ている。この時、共振器内を１周する間に、レーザ光は
レーザ媒質を１回通過して増幅される。これに対して、
定在波形共振器では、レーザ媒質から出射されたレーザ
光が、同じ光路を往復してレーザ媒質へ戻り、定在波と
してレーザ共振器内に閉じこめられている。この時、共
振器内を１周する間に、レーザ光はレーザ媒質を２回通
過して増幅される。すなわち、レーザ光が共振器を１周
回したとき、進行波形共振器ではレーザ光を１回しか増
幅しないのに対して、定在波形共振器ではレーザ光は２
回増幅される。図１０，図１２に示したレーザ共振器
は、定在波形共振器である。
【００１２】上述のように構成された従来の自己補償形
レーザ共振器においては、レーザ光がルーフプリズム１
１，１２の稜線１１ａ，１２ａを含む範囲に照射される
ため、回折による損失が生じ、レーザ光の利用効率が低
下してしまう。また、微視的には稜線１１ａ，１２ａ上
では図１３に示したような反射が生じず、稜線１１ａ，
１２ａでレーザ光が切断されるため、レーザ光が２つま
たは４つに割れやすく、レーザ光の品質が劣化してしま
う。さらに、長い光路長を小さなレーザ共振器で実現し
ようとした場合、ルーフプリズム１１，１２とは別に、
コーナキューブプリズム１３のような折り返しのための
光学素子が別に必要となり、レーザ共振器の構成が複雑
になってしまう。また、ルーフプリズム１１，１２は、
稜線１１ａ，１２ａに平行な方向のレーザ光の電界成分
（Ｓ偏光）と垂直な方向のレーザ光の電界成分（Ｐ偏
光）に対して、それぞれ異なった位相の変化を与えるた
め、ルーフプリズム１１，１２を反射したレーザ光の偏
光状態は、稜線１１ａ，１２ａに平行または垂直な直線
偏光のレーザ光が入射した場合を除いて、偏光状態が保
存されないため、共振器を周回したレーザ光の位相状態
が一致せずに損失が生じ、レーザ光の利用効率の低下お
よびレーザ光の品質の劣化が生じる。
レーザ共振器においては、レーザ光がルーフプリズム１
１，１２の稜線１１ａ，１２ａを含む範囲に照射される
ため、回折による損失が生じ、レーザ光の利用効率が低
下してしまう。また、微視的には稜線１１ａ，１２ａ上
では図１３に示したような反射が生じず、稜線１１ａ，
１２ａでレーザ光が切断されるため、レーザ光が２つま
たは４つに割れやすく、レーザ光の品質が劣化してしま
う。さらに、長い光路長を小さなレーザ共振器で実現し
ようとした場合、ルーフプリズム１１，１２とは別に、
コーナキューブプリズム１３のような折り返しのための
光学素子が別に必要となり、レーザ共振器の構成が複雑
になってしまう。また、ルーフプリズム１１，１２は、
稜線１１ａ，１２ａに平行な方向のレーザ光の電界成分
（Ｓ偏光）と垂直な方向のレーザ光の電界成分（Ｐ偏
光）に対して、それぞれ異なった位相の変化を与えるた
め、ルーフプリズム１１，１２を反射したレーザ光の偏
光状態は、稜線１１ａ，１２ａに平行または垂直な直線
偏光のレーザ光が入射した場合を除いて、偏光状態が保
存されないため、共振器を周回したレーザ光の位相状態
が一致せずに損失が生じ、レーザ光の利用効率の低下お
よびレーザ光の品質の劣化が生じる。
【００１３】このような問題を解決する手段として、特
開平１１−２０１９００号公報には、図１５に示すよう
な自己補償形のレーザ共振器が開示されている。図１５
において、４１は互いに直角に配置された第１及び第２
の反射面４１ａ，４１ｂを有する第１の反射装置、４２
は互いに直角に配置された第３及び第４の反射面４２
ａ，４２ｂを有し、第１の反射装置２１に対向している
第２の反射装置である。第３及び第４の反射面４２ａ，
４２ｂが形成する第２の稜線４２ｃは、第１及び第２の
反射面４１ａ，４１ｂが形成する第１の稜線４１ｃにほ
ぼ直交する面に含まれ、第１および第２の反射面４１
ａ，４１ｂと第３及び第４の反射面４２ａ，４２ｂとが
互いに対向するように配置されている。３は第１の反射
面４１ａと第３の反射面４２ａとの間に設けられている
レーザ媒質、４はレーザ媒質３を励起する光源である。
開平１１−２０１９００号公報には、図１５に示すよう
な自己補償形のレーザ共振器が開示されている。図１５
において、４１は互いに直角に配置された第１及び第２
の反射面４１ａ，４１ｂを有する第１の反射装置、４２
は互いに直角に配置された第３及び第４の反射面４２
ａ，４２ｂを有し、第１の反射装置２１に対向している
第２の反射装置である。第３及び第４の反射面４２ａ，
４２ｂが形成する第２の稜線４２ｃは、第１及び第２の
反射面４１ａ，４１ｂが形成する第１の稜線４１ｃにほ
ぼ直交する面に含まれ、第１および第２の反射面４１
ａ，４１ｂと第３及び第４の反射面４２ａ，４２ｂとが
互いに対向するように配置されている。３は第１の反射
面４１ａと第３の反射面４２ａとの間に設けられている
レーザ媒質、４はレーザ媒質３を励起する光源である。
【００１４】次に、動作について説明する。光路Ｌ１を
進むレーザ光は、レーザ媒質３を通過して増幅された
後、第１の反射面４１ａおよび第２の反射面４１ｂで順
次反射され、光路Ｌ１と平行な光路Ｌ２を光路Ｌ１と反
対方向へ進む。光路Ｌ２を進むレーザ光は、第３の反射
面４２ａおよび第４の反射面４２ｂで順次反射され、光
路Ｌ２と平行な光路Ｌ３を光路Ｌ２と反対方向へ進む。
光路Ｌ３を進むレーザ光は、第２の反射面４１ａおよび
第１の反射面４１ａで順次反射され、光路Ｌ３と平行な
光路Ｌ４を光路Ｌ３と反対方向へ進む。
進むレーザ光は、レーザ媒質３を通過して増幅された
後、第１の反射面４１ａおよび第２の反射面４１ｂで順
次反射され、光路Ｌ１と平行な光路Ｌ２を光路Ｌ１と反
対方向へ進む。光路Ｌ２を進むレーザ光は、第３の反射
面４２ａおよび第４の反射面４２ｂで順次反射され、光
路Ｌ２と平行な光路Ｌ３を光路Ｌ２と反対方向へ進む。
光路Ｌ３を進むレーザ光は、第２の反射面４１ａおよび
第１の反射面４１ａで順次反射され、光路Ｌ３と平行な
光路Ｌ４を光路Ｌ３と反対方向へ進む。
【００１５】そして、光路Ｌ４を進むレーザ光は、第４
の反射面４２ｂおよび第３の反射面４２ａで順次反射さ
れ、光路Ｌ１へ戻り、レーザ媒質３でさらに増幅され
る。従って、レーザは、第１の反射装置４１の稜線４１
ｃ及び第２の反射装置４２の稜線４２ｃの上を通らず
に、レーザ共振器内に閉じこめられて増幅されていく。
すなわち、図１５に示した自己補償形レーザ共振器は、
進行波形共振器である。
の反射面４２ｂおよび第３の反射面４２ａで順次反射さ
れ、光路Ｌ１へ戻り、レーザ媒質３でさらに増幅され
る。従って、レーザは、第１の反射装置４１の稜線４１
ｃ及び第２の反射装置４２の稜線４２ｃの上を通らず
に、レーザ共振器内に閉じこめられて増幅されていく。
すなわち、図１５に示した自己補償形レーザ共振器は、
進行波形共振器である。
【００１６】このような構成のレーザ共振器において
は、第１の反射装置４１および第２の反射装置４２は、
第１の稜線４１ｃ及び第２の稜線４２ｃを、互いに直行
する方向に配置することにより、第１の反射装置４１お
よび第２の反射装置４２の傾きがお互い補償され、自己
補償形のレーザ共振器が構成される。また、第１の反射
装置４１の稜線４１ｃ及び第２の反射装置４２の稜線４
２ｃの上を通らないため、稜線の回折による損失が生じ
ず、レーザの利用効率の低下を防止することができる。
また、レーザ光が稜線により切断されないため、レーザ
光の品質を向上させることができる。
は、第１の反射装置４１および第２の反射装置４２は、
第１の稜線４１ｃ及び第２の稜線４２ｃを、互いに直行
する方向に配置することにより、第１の反射装置４１お
よび第２の反射装置４２の傾きがお互い補償され、自己
補償形のレーザ共振器が構成される。また、第１の反射
装置４１の稜線４１ｃ及び第２の反射装置４２の稜線４
２ｃの上を通らないため、稜線の回折による損失が生じ
ず、レーザの利用効率の低下を防止することができる。
また、レーザ光が稜線により切断されないため、レーザ
光の品質を向上させることができる。
【００１７】共振器を１周回したときの光学部品による
損失が同じ場合、進行波形共振器に比べて、定在形共振
器の方がレーザ光が大きく増幅されるため、定在波形共
振器の方がレーザ媒質に蓄積されたエネルギーの利用効
率が高くなる。特に、Er:Glass等の利得の小さなレーザ
媒質を用いた場合には、レーザ媒質による増幅の割合と
共振器の周回による損失の割合が同じ程度となる場合が
あり、進行波形共振器ではレーザ発振が得られない場合
が生じる。
損失が同じ場合、進行波形共振器に比べて、定在形共振
器の方がレーザ光が大きく増幅されるため、定在波形共
振器の方がレーザ媒質に蓄積されたエネルギーの利用効
率が高くなる。特に、Er:Glass等の利得の小さなレーザ
媒質を用いた場合には、レーザ媒質による増幅の割合と
共振器の周回による損失の割合が同じ程度となる場合が
あり、進行波形共振器ではレーザ発振が得られない場合
が生じる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】図１２に示した従来の
自己補償形レーザ共振器においては、レーザ光がルーフ
プリズム１１，１２の稜線１１ａ，１２ａを含む範囲に
照射されるため、回折による損失が生じ、レーザ光の利
用効率が低下してしまう。また、微視的には稜線１１
ａ，１２ａ上では図１３に示したような反射が生じず、
稜線１１ａ，１２ａでレーザ光が切断されるため、レー
ザ光が２つまたは４つに割れやすく、レーザ光の品質が
劣化してしまう。
自己補償形レーザ共振器においては、レーザ光がルーフ
プリズム１１，１２の稜線１１ａ，１２ａを含む範囲に
照射されるため、回折による損失が生じ、レーザ光の利
用効率が低下してしまう。また、微視的には稜線１１
ａ，１２ａ上では図１３に示したような反射が生じず、
稜線１１ａ，１２ａでレーザ光が切断されるため、レー
ザ光が２つまたは４つに割れやすく、レーザ光の品質が
劣化してしまう。
【００１９】さらに、長い光路長を小さなレーザ共振器
で実現しようとした場合、ルーフプリズム１１，１２と
は別に、コーナキューブプリズム１３のような折り返し
のための光学素子が別に必要となり、レーザ共振器の構
成が複雑になってしまう。
で実現しようとした場合、ルーフプリズム１１，１２と
は別に、コーナキューブプリズム１３のような折り返し
のための光学素子が別に必要となり、レーザ共振器の構
成が複雑になってしまう。
【００２０】また、ルーフプリズム１１，１２は、稜線
１１ａ，１２ａに平行な方向のレーザ光の電界成分（Ｓ
偏光）と垂直な方向のレーザ光の電界成分（Ｐ偏光）に
対して、それぞれ異なった位相の変化を与えるため、ル
ーフプリズム１１，１２を反射したレーザ光の偏光状態
は、稜線１１ａ，１２ａに平行または垂直な直線偏光の
レーザ光が入射した場合を除いて、偏光状態が保存され
ないため、共振器を周回したレーザ光の位相状態が一致
せずに損失が生じ、レーザ光の利用効率の低下およびレ
ーザ光の品質の劣化が生じる。
１１ａ，１２ａに平行な方向のレーザ光の電界成分（Ｓ
偏光）と垂直な方向のレーザ光の電界成分（Ｐ偏光）に
対して、それぞれ異なった位相の変化を与えるため、ル
ーフプリズム１１，１２を反射したレーザ光の偏光状態
は、稜線１１ａ，１２ａに平行または垂直な直線偏光の
レーザ光が入射した場合を除いて、偏光状態が保存され
ないため、共振器を周回したレーザ光の位相状態が一致
せずに損失が生じ、レーザ光の利用効率の低下およびレ
ーザ光の品質の劣化が生じる。
【００２１】また、図１５に示した従来の自己補償形レ
ーザ共振器においては、共振器の構成が進行波形共振器
であり、レーザ媒質に蓄積されたエネルギーの利用効率
が低下する。そして特に、Er:Glass等の利得の小さなレ
ーザ媒質を用いた場合には、レーザ媒質による増幅の割
合と共振器の周回による損失の割合が同じ程度となる場
合がありレーザ発振が得られないことがある。
ーザ共振器においては、共振器の構成が進行波形共振器
であり、レーザ媒質に蓄積されたエネルギーの利用効率
が低下する。そして特に、Er:Glass等の利得の小さなレ
ーザ媒質を用いた場合には、レーザ媒質による増幅の割
合と共振器の周回による損失の割合が同じ程度となる場
合がありレーザ発振が得られないことがある。
【００２２】この発明は、上述のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、簡単な構成
で、レーザの利用効率の低下を防止することができると
共に、レーザ光の品質を向上させた、定在波形の自己補
償形レーザ共振器を得ることを目的とする。
ることを課題としてなされたものであり、簡単な構成
で、レーザの利用効率の低下を防止することができると
共に、レーザ光の品質を向上させた、定在波形の自己補
償形レーザ共振器を得ることを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】この発明に係る自己補償
形レーザ共振器は、互いに直角に配置された第１及び第
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、互いに反対向きにか
つ平行に配置された第５及び第６の反射面を有し、第２
の反射面と第４の反射面との間に設けられている第３の
反射装置と、第１の反射面と第３の反射面との間に設け
られているレーザ媒質と、レーザ媒質を励起する光源と
を備え、第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成
する第２の稜線は、第１及び第２の反射面を含む二つの
平面が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれて
おり、レーザ媒質から第１の反射面へ向けて出射された
レーザ光は、第１の反射面、第２の反射面、第３の反射
面、第４の反射面、第５の反射面、第４の反射面、第３
の反射面、第２の反射面、および第１の反射面の順に反
射されて再びレーザ媒質に入射し、レーザ媒質を透過
し、さらに第３の反射面、第４の反射面、第１の反射
面、第２の反射面、第６の反射面、第２の反射面、第１
の反射面、第３の反射面、および第４の反射面の順に反
射されて再びレーザ媒質に入射される。
形レーザ共振器は、互いに直角に配置された第１及び第
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、互いに反対向きにか
つ平行に配置された第５及び第６の反射面を有し、第２
の反射面と第４の反射面との間に設けられている第３の
反射装置と、第１の反射面と第３の反射面との間に設け
られているレーザ媒質と、レーザ媒質を励起する光源と
を備え、第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成
する第２の稜線は、第１及び第２の反射面を含む二つの
平面が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれて
おり、レーザ媒質から第１の反射面へ向けて出射された
レーザ光は、第１の反射面、第２の反射面、第３の反射
面、第４の反射面、第５の反射面、第４の反射面、第３
の反射面、第２の反射面、および第１の反射面の順に反
射されて再びレーザ媒質に入射し、レーザ媒質を透過
し、さらに第３の反射面、第４の反射面、第１の反射
面、第２の反射面、第６の反射面、第２の反射面、第１
の反射面、第３の反射面、および第４の反射面の順に反
射されて再びレーザ媒質に入射される。
【００２４】また、第３の反射装置は、反射面を互いに
反対向きにして平行に配置され保持具で相互に固定され
た２つの片面反射鏡である。
反対向きにして平行に配置され保持具で相互に固定され
た２つの片面反射鏡である。
【００２５】また、第３の反射装置は、同一の面の表面
と裏面にてレーザ光を反射する両面反射面を有する反射
鏡である。
と裏面にてレーザ光を反射する両面反射面を有する反射
鏡である。
【００２６】また、互いに直角に配置された第１及び第
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、レーザ光の光軸上の
一側の端面に第７の両面反射面を有し、第１の反射面と
第３の反射面との間に設けられているレーザ媒質と、レ
ーザ媒質を励起する光源とを備え、第３及び第４の反射
面を含む二つの平面が形成する第２の稜線は、第１及び
第２の反射面を含む二つの平面が形成する第１の稜線に
ほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒質から第１の
反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第１の反射面、
第２の反射面、第３の反射面、第４の反射面、第２の反
射面、第１の反射面、第４の反射面、第３の反射面、お
よび第７の両面反射面の順に反射され、さらに第３の反
射面、第４の反射面、第１の反射面、第２の反射面、第
４の反射面、第３の反射面、第２の反射面、および第１
の反射面の順に反射されて再びレーザ媒質に入射され、
レーザ媒質を透過し、第７の両面反射面で反射する。
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、レーザ光の光軸上の
一側の端面に第７の両面反射面を有し、第１の反射面と
第３の反射面との間に設けられているレーザ媒質と、レ
ーザ媒質を励起する光源とを備え、第３及び第４の反射
面を含む二つの平面が形成する第２の稜線は、第１及び
第２の反射面を含む二つの平面が形成する第１の稜線に
ほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒質から第１の
反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第１の反射面、
第２の反射面、第３の反射面、第４の反射面、第２の反
射面、第１の反射面、第４の反射面、第３の反射面、お
よび第７の両面反射面の順に反射され、さらに第３の反
射面、第４の反射面、第１の反射面、第２の反射面、第
４の反射面、第３の反射面、第２の反射面、および第１
の反射面の順に反射されて再びレーザ媒質に入射され、
レーザ媒質を透過し、第７の両面反射面で反射する。
【００２７】また、互いに直角に配置された第１及び第
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、第１の反射面と第３
の反射面との間に設けられているレーザ媒質と、レーザ
媒質を励起する光源と、レーザ光の光軸上の一側の端面
に第８の両面反射面を有し、第２の反射面と第４の反射
面との間に設けられている光学部品とを備え、第３及び
第４の反射面を含む二つの平面が形成する第２の稜線
は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面が形成する
第１の稜線にほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒
質から第１の反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第
１の反射面、第２の反射面、第３の反射面、第４の反射
面、第８の両面反射面、第４の反射面、第３の反射面、
第２の反射面、および第１の反射面の順に反射されて再
びレーザ媒質に入射し、レーザ媒質を透過し、さらに第
３の反射面、第４の反射面、第１の反射面、および第２
の反射面の順に反射されて光学部品に入射し、さらに第
８の両面反射面、第２の反射面、第１の反射面、第３の
反射面、および第４の反射面の順に反射されて再びレー
ザ媒質に入射される。
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、第１の反射面と第３
の反射面との間に設けられているレーザ媒質と、レーザ
媒質を励起する光源と、レーザ光の光軸上の一側の端面
に第８の両面反射面を有し、第２の反射面と第４の反射
面との間に設けられている光学部品とを備え、第３及び
第４の反射面を含む二つの平面が形成する第２の稜線
は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面が形成する
第１の稜線にほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒
質から第１の反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第
１の反射面、第２の反射面、第３の反射面、第４の反射
面、第８の両面反射面、第４の反射面、第３の反射面、
第２の反射面、および第１の反射面の順に反射されて再
びレーザ媒質に入射し、レーザ媒質を透過し、さらに第
３の反射面、第４の反射面、第１の反射面、および第２
の反射面の順に反射されて光学部品に入射し、さらに第
８の両面反射面、第２の反射面、第１の反射面、第３の
反射面、および第４の反射面の順に反射されて再びレー
ザ媒質に入射される。
【００２８】また、第１及び第２の反射装置は、互いに
直角に配置された２つの平面反射鏡をそれぞれ有してい
る。
直角に配置された２つの平面反射鏡をそれぞれ有してい
る。
【００２９】また、互いに直角に配置された２つの平面
反射鏡は、間隔をおいて配置され、連結部材により相互
に連結されている。
反射鏡は、間隔をおいて配置され、連結部材により相互
に連結されている。
【００３０】また、第１及び第２の反射装置は、レーザ
光の入射面及び互いに直角に配置された２つの反射面を
それぞれ有するプリズムである。
光の入射面及び互いに直角に配置された２つの反射面を
それぞれ有するプリズムである。
【００３１】また、レーザ光が入射する第１の入射面
と、互いに直角に配置された第１及び第２の反射面を有
する第１のプリズムと、レーザ光が入射する第２の入射
面と、互いに直角に配置された第３及び第４の反射面を
有し、第２の入射面のレーザ光の光路に第９の両面反射
面を備え、第１の反射装置に対向している第２のプリズ
ムと、第１の反射面と第３の反射面との間に設けられて
いるレーザ媒質と、レーザ媒質を励起する光源とを備
え、第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成する
第２の稜線は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面
が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれてお
り、レーザ媒質から第１の反射面へ向けて出射されたレ
ーザ光は、第１の反射面、第２の反射面、第３の反射
面、第４の反射面、第２の反射面、第１の反射面、第９
の両面反射面、第１の反射面、第２の反射面、第４の反
射面、第３の反射面、第２の反射面、および第１の反射
面の順に反射されて再びレーザ媒質に入射され、レーザ
媒質を透過し、さらに、第３の反射面、第４の反射面、
第９の両面反射面、第４の反射面、および第３の反射面
で反射されて再びレーザ媒質に入射する。
と、互いに直角に配置された第１及び第２の反射面を有
する第１のプリズムと、レーザ光が入射する第２の入射
面と、互いに直角に配置された第３及び第４の反射面を
有し、第２の入射面のレーザ光の光路に第９の両面反射
面を備え、第１の反射装置に対向している第２のプリズ
ムと、第１の反射面と第３の反射面との間に設けられて
いるレーザ媒質と、レーザ媒質を励起する光源とを備
え、第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成する
第２の稜線は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面
が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれてお
り、レーザ媒質から第１の反射面へ向けて出射されたレ
ーザ光は、第１の反射面、第２の反射面、第３の反射
面、第４の反射面、第２の反射面、第１の反射面、第９
の両面反射面、第１の反射面、第２の反射面、第４の反
射面、第３の反射面、第２の反射面、および第１の反射
面の順に反射されて再びレーザ媒質に入射され、レーザ
媒質を透過し、さらに、第３の反射面、第４の反射面、
第９の両面反射面、第４の反射面、および第３の反射面
で反射されて再びレーザ媒質に入射する。
【００３２】さらに、第１及び第２のプリズムの第１及
び第２の稜線部分が削除されている。
び第２の稜線部分が削除されている。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による自
己補償形レーザ共振器を示す斜視図である。図１におい
て、２１は互いに直角に配置された第１及び第２の反射
面２１ａ，２１ｂを有する第１の反射装置、２２は互い
に直角に配置された第３及び第４の反射面２２ａ，２２
ｂを有し、第１の反射装置２１に対向している第２の反
射装置であり、これら第１及び第２の反射装置２１，２
２としては、例えば図２に示すように、互いに直角に配
置された２つの平面反射鏡２６，２７を有するものが用
いられる。また、図２には第２の反射装置２２のみを示
すが、第１の反射装置２１についても構成は同様であ
る。
について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による自
己補償形レーザ共振器を示す斜視図である。図１におい
て、２１は互いに直角に配置された第１及び第２の反射
面２１ａ，２１ｂを有する第１の反射装置、２２は互い
に直角に配置された第３及び第４の反射面２２ａ，２２
ｂを有し、第１の反射装置２１に対向している第２の反
射装置であり、これら第１及び第２の反射装置２１，２
２としては、例えば図２に示すように、互いに直角に配
置された２つの平面反射鏡２６，２７を有するものが用
いられる。また、図２には第２の反射装置２２のみを示
すが、第１の反射装置２１についても構成は同様であ
る。
【００３４】また、第３及び第４の反射面２２ａ，２２
ｂが形成する第２の稜線２２ｃは、第１及び第２の反射
面２１ａ，２１ｂが形成する第１の稜線２１ｃにほぼ直
行する面に含まれ、第１及び第２の反射面２１ａ，２１
ｂと第３及び第４の反射面２２ａ，２２ｂとが互いに対
向するように配置されている。第３の反射装置２３はお
互いにほぼ平行な第５及び第６の反射面２３ａ，２３ｂ
を有し、第２の反射面２１ｂと第４の反射面２２ｂとの
間に設けられている反射装置であり、第２の反射面２１
ｂと第６の反射面２３ｂは互いに対向するように配置さ
れ、第４の反射面２２ｂと第５の反射面２３ａは互いに
対向するように配置されている。２４は第１の反射面２
１ａと第３の反射面２２ａとの間に設けられているレー
ザ媒質、２５はレーザ媒質２４を励起する光源である。
ｂが形成する第２の稜線２２ｃは、第１及び第２の反射
面２１ａ，２１ｂが形成する第１の稜線２１ｃにほぼ直
行する面に含まれ、第１及び第２の反射面２１ａ，２１
ｂと第３及び第４の反射面２２ａ，２２ｂとが互いに対
向するように配置されている。第３の反射装置２３はお
互いにほぼ平行な第５及び第６の反射面２３ａ，２３ｂ
を有し、第２の反射面２１ｂと第４の反射面２２ｂとの
間に設けられている反射装置であり、第２の反射面２１
ｂと第６の反射面２３ｂは互いに対向するように配置さ
れ、第４の反射面２２ｂと第５の反射面２３ａは互いに
対向するように配置されている。２４は第１の反射面２
１ａと第３の反射面２２ａとの間に設けられているレー
ザ媒質、２５はレーザ媒質２４を励起する光源である。
【００３５】次に、動作について説明する。光路Ｌ１を
進むレーザ光は、レーザ媒質２４を通過して増幅された
後、第１の反射面２１ａおよび第２の反射面２１ｂで順
次反射され、光路Ｌ１と平行な光路Ｌ２を光路Ｌ１と反
対方向へ進む。光路Ｌ２を進むレーザ光は、第３の反射
面２２ａ及び第４の反射面２２ｂで順次反射され、光路
Ｌ２と平行な光路Ｌ３ａを光路Ｌ２と反対方向へ進む。
光路Ｌ３ａを進むレーザ光は、第３の反射装置の第５の
反射面２３ａで反射され、すなわち、入射したレーザ光
と反対方向に反射され、光路Ｌ３ａ、光路Ｌ２、光路Ｌ
１を通って、再びレーザ媒質２４に入射される。
進むレーザ光は、レーザ媒質２４を通過して増幅された
後、第１の反射面２１ａおよび第２の反射面２１ｂで順
次反射され、光路Ｌ１と平行な光路Ｌ２を光路Ｌ１と反
対方向へ進む。光路Ｌ２を進むレーザ光は、第３の反射
面２２ａ及び第４の反射面２２ｂで順次反射され、光路
Ｌ２と平行な光路Ｌ３ａを光路Ｌ２と反対方向へ進む。
光路Ｌ３ａを進むレーザ光は、第３の反射装置の第５の
反射面２３ａで反射され、すなわち、入射したレーザ光
と反対方向に反射され、光路Ｌ３ａ、光路Ｌ２、光路Ｌ
１を通って、再びレーザ媒質２４に入射される。
【００３６】そして、再びレーザ媒質２４に入射したレ
ーザ光は、レーザ媒質２４を通過してさらに増幅された
後、第３の反射面２２ａおよび第４の反射面２２ｂで順
次反射され、光路Ｌ１と平行な光路Ｌ４を光路Ｌ１と反
対方向へ進む。光路Ｌ４を進むレーザ光は、第１の反射
面２１ａ及び第２の反射面２１ｂで順次反射され、光路
Ｌ４と平行な光路Ｌ３ｂを光路Ｌ４と反対方向へ進む。
光路Ｌ３ｂを進むレーザ光は、第３の反射装置の第６の
反射面２３ｂで反射され、すなわち、入射したレーザ光
と反対方向に反射され、光路Ｌ３ｂ、光路Ｌ４、光路Ｌ
１を通って、レーザ媒質２４でさらに増幅される。この
ように、レーザ光は第１の反射装置２１の稜線２１ｃ及
び第２の反射装置２２の稜線２２ｃの上を通らずに、レ
ーザ共振器内に閉じこめられ増幅されていく。すなわ
ち、レーザ媒質２４から出射されたレーザ光が、同じ光
路を往復してレーザ媒質２４へ戻り、定在波としてレー
ザ共振器内に閉じこめられるため、定在波型のレーザ共
振器を構成している。
ーザ光は、レーザ媒質２４を通過してさらに増幅された
後、第３の反射面２２ａおよび第４の反射面２２ｂで順
次反射され、光路Ｌ１と平行な光路Ｌ４を光路Ｌ１と反
対方向へ進む。光路Ｌ４を進むレーザ光は、第１の反射
面２１ａ及び第２の反射面２１ｂで順次反射され、光路
Ｌ４と平行な光路Ｌ３ｂを光路Ｌ４と反対方向へ進む。
光路Ｌ３ｂを進むレーザ光は、第３の反射装置の第６の
反射面２３ｂで反射され、すなわち、入射したレーザ光
と反対方向に反射され、光路Ｌ３ｂ、光路Ｌ４、光路Ｌ
１を通って、レーザ媒質２４でさらに増幅される。この
ように、レーザ光は第１の反射装置２１の稜線２１ｃ及
び第２の反射装置２２の稜線２２ｃの上を通らずに、レ
ーザ共振器内に閉じこめられ増幅されていく。すなわ
ち、レーザ媒質２４から出射されたレーザ光が、同じ光
路を往復してレーザ媒質２４へ戻り、定在波としてレー
ザ共振器内に閉じこめられるため、定在波型のレーザ共
振器を構成している。
【００３７】次に、この例の共振器内におけるレーザ光
の偏光状態の変化について考える。まず、レーザ光が平
面上で反射する場合、入射光及び反射光の光線を含む面
内で振動する偏光成分をＰ偏光、入射光及び反射光の光
線を含む面に垂直に振動する偏光成分をＳ偏光とする。
一般に、反射面に対して垂直以外の角度で入射したレー
ザ光の位相の変化量は、Ｐ偏光成分とＳ偏光成分で異な
る。従って、レーザ光が、第１の反射装置２１の反射面
２１ａ，２１ｂで反射する際に、位相の変化量がＰ偏光
とＳ偏光とで異なるため、例えば光路Ｌ１における偏光
状態が反射面２１ａに対してＰ偏光の成分のみ、または
Ｓ偏光の成分のみの場合を除いて、光路Ｌ１のレーザ光
の偏光状態は光路Ｌ２において変化する。
の偏光状態の変化について考える。まず、レーザ光が平
面上で反射する場合、入射光及び反射光の光線を含む面
内で振動する偏光成分をＰ偏光、入射光及び反射光の光
線を含む面に垂直に振動する偏光成分をＳ偏光とする。
一般に、反射面に対して垂直以外の角度で入射したレー
ザ光の位相の変化量は、Ｐ偏光成分とＳ偏光成分で異な
る。従って、レーザ光が、第１の反射装置２１の反射面
２１ａ，２１ｂで反射する際に、位相の変化量がＰ偏光
とＳ偏光とで異なるため、例えば光路Ｌ１における偏光
状態が反射面２１ａに対してＰ偏光の成分のみ、または
Ｓ偏光の成分のみの場合を除いて、光路Ｌ１のレーザ光
の偏光状態は光路Ｌ２において変化する。
【００３８】ここで、光路Ｌ１における任意偏光のＸ軸
成分をＥｘ、Ｚ軸成分をＥｚとし、光路Ｌ１から光路Ｌ
３ａへ伝搬するレーザ光の偏光状態を考える。レーザ光
のＸ軸成分Ｅｘは、光路Ｌ１から光路Ｌ３ａに伝搬する
間に、第１の反射装置２１によりＳ偏光として２回反射
され、第２の反射装置２２によりＰ偏光として２回反射
される。また、レーザ光のＺ軸成分Ｅｚは、光路Ｌ１か
ら光路Ｌ３ａへ伝搬する間に、第１の反射装置２１によ
りＰ偏光として２回反射され、第２の反射装置２２によ
りＳ偏光として２回反射される。
成分をＥｘ、Ｚ軸成分をＥｚとし、光路Ｌ１から光路Ｌ
３ａへ伝搬するレーザ光の偏光状態を考える。レーザ光
のＸ軸成分Ｅｘは、光路Ｌ１から光路Ｌ３ａに伝搬する
間に、第１の反射装置２１によりＳ偏光として２回反射
され、第２の反射装置２２によりＰ偏光として２回反射
される。また、レーザ光のＺ軸成分Ｅｚは、光路Ｌ１か
ら光路Ｌ３ａへ伝搬する間に、第１の反射装置２１によ
りＰ偏光として２回反射され、第２の反射装置２２によ
りＳ偏光として２回反射される。
【００３９】Ｘ軸成分Ｅｘ、Ｚ軸成分Ｅｚ共に、Ｓ偏光
の反射による位相変化と、Ｐ偏光の反射による位相変化
とをそれぞれ２回ずつ受け、位相の変化量がＸ軸成分Ｅ
ｘとＺ軸成分Ｅｚとで同じ量になるため、光路Ｌ１の偏
光状態は光路Ｌ３ａにおいて保存される。従って、任意
の偏光状態のレーザ光に対して、光路Ｌ１と光路Ｌ３ａ
と光路Ｌ３ｂは互いに同じ偏光状態を保持し、光路Ｌ２
と光路Ｌ４は同じ偏光状態を保持する。対角線上の位置
関係にある光路Ｌ１，Ｌ３ａ，Ｌ３ｂ、または光路Ｌ
２，Ｌ４に光学部品を配置すれば、プリズムの反射によ
る偏光状態の変化がうち消されるため、レーザ共振器の
設計が容易になる。
の反射による位相変化と、Ｐ偏光の反射による位相変化
とをそれぞれ２回ずつ受け、位相の変化量がＸ軸成分Ｅ
ｘとＺ軸成分Ｅｚとで同じ量になるため、光路Ｌ１の偏
光状態は光路Ｌ３ａにおいて保存される。従って、任意
の偏光状態のレーザ光に対して、光路Ｌ１と光路Ｌ３ａ
と光路Ｌ３ｂは互いに同じ偏光状態を保持し、光路Ｌ２
と光路Ｌ４は同じ偏光状態を保持する。対角線上の位置
関係にある光路Ｌ１，Ｌ３ａ，Ｌ３ｂ、または光路Ｌ
２，Ｌ４に光学部品を配置すれば、プリズムの反射によ
る偏光状態の変化がうち消されるため、レーザ共振器の
設計が容易になる。
【００４０】このような構成の自己補償形レーザ共振器
では、レーザ光が反射装置２１，２２の稜線２１ｃ，２
２ｃ上を通らないため、稜線２１ｃ，２２ｃの回折によ
る損失がなく、レーザ光の利用効率の低下が防止され
る。また、レーザ光が稜線２１ｃ，２２ｃにより切断さ
れないため、レーザ光の品質が向上する。さらに、５つ
の光路Ｌ１乃至Ｌ４を平行に配置することができるた
め、レーザ共振器の小形化を図ることができる。さらに
また、平面反射鏡２６，２７は重量が軽いため、反射装
置２１，２２およびレーザ共振器全体をさらに軽量化す
ることができる。さらに、対角の関係にある光路では、
反射面２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂでの反射による
位相状態の変化がないため、レーザ共振器の設計が容易
となる。また、同じ光路を往復してレーザ媒質へ戻る定
在波型のレーザ共振器を構成しているため、レーザ媒質
に蓄積されたエネルギーの利用効率の低下が防止され
る。
では、レーザ光が反射装置２１，２２の稜線２１ｃ，２
２ｃ上を通らないため、稜線２１ｃ，２２ｃの回折によ
る損失がなく、レーザ光の利用効率の低下が防止され
る。また、レーザ光が稜線２１ｃ，２２ｃにより切断さ
れないため、レーザ光の品質が向上する。さらに、５つ
の光路Ｌ１乃至Ｌ４を平行に配置することができるた
め、レーザ共振器の小形化を図ることができる。さらに
また、平面反射鏡２６，２７は重量が軽いため、反射装
置２１，２２およびレーザ共振器全体をさらに軽量化す
ることができる。さらに、対角の関係にある光路では、
反射面２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂでの反射による
位相状態の変化がないため、レーザ共振器の設計が容易
となる。また、同じ光路を往復してレーザ媒質へ戻る定
在波型のレーザ共振器を構成しているため、レーザ媒質
に蓄積されたエネルギーの利用効率の低下が防止され
る。
【００４１】なお、上述の例ではレーザ媒質２４を光路
Ｌ１上に配置したが、光路Ｌ１乃至Ｌ４のいずれに配置
しても良い。また、複数組みのレーザ媒質２４および励
起光源２５を、複数の光路に配置しても良い。また、上
述の例では第３の反射装置２３は光路Ｌ１に配置した
が、光路Ｌ１乃至光路Ｌ４のいずれに配置しても良い。
Ｌ１上に配置したが、光路Ｌ１乃至Ｌ４のいずれに配置
しても良い。また、複数組みのレーザ媒質２４および励
起光源２５を、複数の光路に配置しても良い。また、上
述の例では第３の反射装置２３は光路Ｌ１に配置した
が、光路Ｌ１乃至光路Ｌ４のいずれに配置しても良い。
【００４２】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２による自己補償形レーザ共振器の第３の反射装置を
示す斜視図である。この例では、図１の第３の反射装置
２３に代わるものとして、反射鏡保持具３５によりお互
いに固定された二つの片面反射鏡３３，３４が用いられ
ている。片面反射鏡３３と片面反射鏡３４は、反射面３
３ａ，３４ａがほぼ平行で互いに外側を向くように保持
具３５により固定されている。他の構成は、実施の形態
１と同様である。
態２による自己補償形レーザ共振器の第３の反射装置を
示す斜視図である。この例では、図１の第３の反射装置
２３に代わるものとして、反射鏡保持具３５によりお互
いに固定された二つの片面反射鏡３３，３４が用いられ
ている。片面反射鏡３３と片面反射鏡３４は、反射面３
３ａ，３４ａがほぼ平行で互いに外側を向くように保持
具３５により固定されている。他の構成は、実施の形態
１と同様である。
【００４３】第１の反射装置の反射面２１ａ，２１ｂ、
第２の反射装置の反射面２２ａ，２２ｂは、それぞれお
互いにほぼ直角をなすように配置されているが、完全に
直角をなすように配置、製作することは難しく、価格が
高くなる。このような場合、光路Ｌ３ａと光路Ｌ３ｂに
角度ずれが生じる。この実施の形態においては、この角
度ずれを補償にするように反射面３３ａ，３４ａを反射
鏡保持具３５を用いて固定することが可能である。
第２の反射装置の反射面２２ａ，２２ｂは、それぞれお
互いにほぼ直角をなすように配置されているが、完全に
直角をなすように配置、製作することは難しく、価格が
高くなる。このような場合、光路Ｌ３ａと光路Ｌ３ｂに
角度ずれが生じる。この実施の形態においては、この角
度ずれを補償にするように反射面３３ａ，３４ａを反射
鏡保持具３５を用いて固定することが可能である。
【００４４】このような構成の自己補償形レーザ共振器
においては、第３の反射装置として、反射鏡保持具３５
により相互に固定された片面反射鏡３３，３４を用いる
ことにより、第１の反射装置の反射面２１ａ，２１ｂ、
第２の反射装置の反射面２２ａ，２２ｂのそれぞれの反
射面が形成する角度が直角からずれている場合でも、自
己補償形レーザ共振器を構成することが可能である。
においては、第３の反射装置として、反射鏡保持具３５
により相互に固定された片面反射鏡３３，３４を用いる
ことにより、第１の反射装置の反射面２１ａ，２１ｂ、
第２の反射装置の反射面２２ａ，２２ｂのそれぞれの反
射面が形成する角度が直角からずれている場合でも、自
己補償形レーザ共振器を構成することが可能である。
【００４５】実施の形態３．図４はこの発明の実施の形
態３による自己補償形レーザ共振器の第３の反射装置を
示す斜視図である。この例では、図１の第３の反射装置
２３に代わるものとして、反射面３６ａと反射防止面３
６ｂを有する両面反射鏡３６が用いられている。他の構
成は、実施の形態１と同様である。
態３による自己補償形レーザ共振器の第３の反射装置を
示す斜視図である。この例では、図１の第３の反射装置
２３に代わるものとして、反射面３６ａと反射防止面３
６ｂを有する両面反射鏡３６が用いられている。他の構
成は、実施の形態１と同様である。
【００４６】両面反射鏡３６の反射面３６ａにおいて
は、光路Ｌ３ａから入射したレーザ光を、反射面３６ａ
により入射したレーザ光と反対の方向へ反射する。一
方、光路Ｌ３ｂから入射したレーザ光は、反射防止面３
６ｂを透過して、反射面３６ａの裏面により反射され、
再び反射防止面３６ｂを透過して入射したレーザ光と反
対の方向へ反射される。このように、両面反射鏡３６を
用いることにより、同一の面の表面と裏面にてレーザ光
が反射されるので、二つの反射面のずれが生じない安定
した自己補償形レーザ共振器を構成することが可能であ
る。
は、光路Ｌ３ａから入射したレーザ光を、反射面３６ａ
により入射したレーザ光と反対の方向へ反射する。一
方、光路Ｌ３ｂから入射したレーザ光は、反射防止面３
６ｂを透過して、反射面３６ａの裏面により反射され、
再び反射防止面３６ｂを透過して入射したレーザ光と反
対の方向へ反射される。このように、両面反射鏡３６を
用いることにより、同一の面の表面と裏面にてレーザ光
が反射されるので、二つの反射面のずれが生じない安定
した自己補償形レーザ共振器を構成することが可能であ
る。
【００４７】実施の形態４．図５はこの発明の実施の形
態４による自己補償形レーザ共振器を示す斜視図であ
る。図５において、３７は一側端に両面反射面３７ａを
有するレーザ媒質である。レーザ媒質３７は、第１の反
射面２１ａと第３の反射面２２ａの間に配置されてい
る。両面反射面３７ａは、同一の面の表面と裏面にてレ
ーザ光を反射する。
態４による自己補償形レーザ共振器を示す斜視図であ
る。図５において、３７は一側端に両面反射面３７ａを
有するレーザ媒質である。レーザ媒質３７は、第１の反
射面２１ａと第３の反射面２２ａの間に配置されてい
る。両面反射面３７ａは、同一の面の表面と裏面にてレ
ーザ光を反射する。
【００４８】次に、動作について説明する。レーザ媒質
３７から第１の反射面２１ａの方向へ進むレーザ光は、
レーザ媒質３７を通過して増幅された後、第１の反射面
２１ａおよび第２の反射面２１ｂで順次反射され、光路
Ｌ１ａと平行な光路Ｌ２を光路Ｌ１ａと反対方向へ進
む。光路Ｌ２を進むレーザ光は、第３の反射面２２ａ及
び第４の反射面２２ｂで順次反射され、光路Ｌ２と平行
な光路Ｌ３を光路Ｌ２と反対方向へ進む。光路Ｌ３を進
むレーザ光は、第２の反射面２１ｂ及び第１の反射面２
１ａで順次反射され、光路Ｌ３と平行な光路Ｌ４を光路
Ｌ３と反対方向へ進む。光路Ｌ４を進むレーザ光は、第
４の反射面２２ｂおよび第３の反射面２２ａで順次反射
され、光路Ｌ４と平行な光路Ｌ１ｂを光路Ｌ４と反対方
向へ進む。光路Ｌ１ｂを進むレーザ光は、レーザ媒質３
７の一側端に設けられた両面反射面３７ａで反射され、
すなわち、入射したレーザ光と反対方向に反射され、光
路Ｌ１ｂ、光路Ｌ４、光路Ｌ３、光路Ｌ２，光路Ｌ１ａ
を通って、再びレーザ媒質３７に入射され、さらに増幅
された後、両面反射面３７ａで反射され、レーザ共振器
内に閉じこめられる。
３７から第１の反射面２１ａの方向へ進むレーザ光は、
レーザ媒質３７を通過して増幅された後、第１の反射面
２１ａおよび第２の反射面２１ｂで順次反射され、光路
Ｌ１ａと平行な光路Ｌ２を光路Ｌ１ａと反対方向へ進
む。光路Ｌ２を進むレーザ光は、第３の反射面２２ａ及
び第４の反射面２２ｂで順次反射され、光路Ｌ２と平行
な光路Ｌ３を光路Ｌ２と反対方向へ進む。光路Ｌ３を進
むレーザ光は、第２の反射面２１ｂ及び第１の反射面２
１ａで順次反射され、光路Ｌ３と平行な光路Ｌ４を光路
Ｌ３と反対方向へ進む。光路Ｌ４を進むレーザ光は、第
４の反射面２２ｂおよび第３の反射面２２ａで順次反射
され、光路Ｌ４と平行な光路Ｌ１ｂを光路Ｌ４と反対方
向へ進む。光路Ｌ１ｂを進むレーザ光は、レーザ媒質３
７の一側端に設けられた両面反射面３７ａで反射され、
すなわち、入射したレーザ光と反対方向に反射され、光
路Ｌ１ｂ、光路Ｌ４、光路Ｌ３、光路Ｌ２，光路Ｌ１ａ
を通って、再びレーザ媒質３７に入射され、さらに増幅
された後、両面反射面３７ａで反射され、レーザ共振器
内に閉じこめられる。
【００４９】このような構成の自己補償形レーザ共振器
においては、同一の面の表面と裏面にてレーザ光が反射
されるので、二つの反射面のずれが生じない安定した定
在波形の自己補償形レーザ共振器を構成することが可能
である。また、図１に示した第３の反射装置２３を必要
とせず光学部品の数が少なくなるため、レーザ光の損失
を抑えることができる。
においては、同一の面の表面と裏面にてレーザ光が反射
されるので、二つの反射面のずれが生じない安定した定
在波形の自己補償形レーザ共振器を構成することが可能
である。また、図１に示した第３の反射装置２３を必要
とせず光学部品の数が少なくなるため、レーザ光の損失
を抑えることができる。
【００５０】なお、レーザ共振器では、さらに図示しな
い偏光子、波長板、ポッケルスセルなどの光学部品が配
置されることがある。上述の実施の形態ではレーザ媒質
３７の１つの端面を両面反射面３７ａとしたが、上述の
偏光子、波長板、ポッケルスセルなどの光学部品のうち
いずれかの１つの端面を両面反射面とし、光路Ｌ１乃至
Ｌ４のいずれかに配置しても良い。
い偏光子、波長板、ポッケルスセルなどの光学部品が配
置されることがある。上述の実施の形態ではレーザ媒質
３７の１つの端面を両面反射面３７ａとしたが、上述の
偏光子、波長板、ポッケルスセルなどの光学部品のうち
いずれかの１つの端面を両面反射面とし、光路Ｌ１乃至
Ｌ４のいずれかに配置しても良い。
【００５１】実施の形態５．上述のような構成の自己補
償形レーザ共振器においては、稜線２１ｃ，２２ｃの部
分にはレーザ光があたらないため、平面反射鏡２６，２
７の稜線２１ｃ，２２ｃの部分は削除しても良い。即
ち、図６に示すように、図２のものよりも面積の小さい
平面反射鏡２８，２９を、互いに間隔をおいて配置し、
連結部材３０で互いに連結しても良く、このような構成
とすれば、レーザ共振器をさらに小型軽量にすることが
できる。
償形レーザ共振器においては、稜線２１ｃ，２２ｃの部
分にはレーザ光があたらないため、平面反射鏡２６，２
７の稜線２１ｃ，２２ｃの部分は削除しても良い。即
ち、図６に示すように、図２のものよりも面積の小さい
平面反射鏡２８，２９を、互いに間隔をおいて配置し、
連結部材３０で互いに連結しても良く、このような構成
とすれば、レーザ共振器をさらに小型軽量にすることが
できる。
【００５２】実施の形態６．図７はこの発明の実施の形
態６による自己補償形レーザ共振器の第１および第２の
反射装置を示す斜視図である。この例では、図１の反射
装置２１，２２に代わるものとしてルーフプリズム３１
が用いられている。ルーフプリズム３１は、レーザ光の
入射面３１ａと、互いに垂直に配置された２つの反射面
３１ｂ，３１ｃと、稜線３１ｄとを有している。また、
入射面３１ａと反射面３１ｂ，３１ｃとが形成する角度
は、それぞれ４５度である。さらに、入射面３１ａおよ
び反射面３１ｂ，３１ｃ以外の面（図７の上面及び底
面）は、レーザ光が通過する部分に干渉しない限り、任
意の形状、角度とすることができる。他の構成は、実施
の形態１乃至実施の形態４のいずれかと同様である。
態６による自己補償形レーザ共振器の第１および第２の
反射装置を示す斜視図である。この例では、図１の反射
装置２１，２２に代わるものとしてルーフプリズム３１
が用いられている。ルーフプリズム３１は、レーザ光の
入射面３１ａと、互いに垂直に配置された２つの反射面
３１ｂ，３１ｃと、稜線３１ｄとを有している。また、
入射面３１ａと反射面３１ｂ，３１ｃとが形成する角度
は、それぞれ４５度である。さらに、入射面３１ａおよ
び反射面３１ｂ，３１ｃ以外の面（図７の上面及び底
面）は、レーザ光が通過する部分に干渉しない限り、任
意の形状、角度とすることができる。他の構成は、実施
の形態１乃至実施の形態４のいずれかと同様である。
【００５３】次に、動作について説明する。レーザ光は
入射面３１ａを透過し、反射面３１ｂにより全反射され
る。反射面３１ｂにより全反射されたレーザ光は、反射
面３１ｃにより全反射され、入射したレーザ光に平行で
反対の方向に反射され、入射面３１ａから出射される。
入射面３１ａを透過し、反射面３１ｂにより全反射され
る。反射面３１ｂにより全反射されたレーザ光は、反射
面３１ｃにより全反射され、入射したレーザ光に平行で
反対の方向に反射され、入射面３１ａから出射される。
【００５４】このように、反射装置２１，２２としてル
ーフプリズム３１を用いた場合も、レーザ光が稜線３１
ｄを通らない自己補償形のレーザ共振器を構成すること
ができ、簡単な構成により、レーザ光の利用効率の低下
を防止できるとともに、レーザ光の品質を向上させるこ
とができる。また、反射面３１ｂ，３１ｃの角度ずれが
生じにくく、安定した自己補償形レーザ共振器を得るこ
とができる。
ーフプリズム３１を用いた場合も、レーザ光が稜線３１
ｄを通らない自己補償形のレーザ共振器を構成すること
ができ、簡単な構成により、レーザ光の利用効率の低下
を防止できるとともに、レーザ光の品質を向上させるこ
とができる。また、反射面３１ｂ，３１ｃの角度ずれが
生じにくく、安定した自己補償形レーザ共振器を得るこ
とができる。
【００５５】実施の形態７．上述の実施の形態６では稜
線３１ｄを有するルーフプリズム３１を示したが、例え
ば図８に示すように、入射面３２ａと、互いに直角に配
置された反射面３２ｂ，３２ｃとを有し、反射面３２
ｂ，３２ｃを含む二つの平面が形成する稜線３２ｄ付近
は、レーザ光が通過しないため、その部分を削除して断
面台形としても良い。また、切断面３２ｅは、レーザ光
が通過する部分に干渉しない限り、任意の形状、角度と
することができる。このように、稜線３２ｄの付近を切
断したルーフプリズム３２を用いることにより、レーザ
共振器全体の軽量化及び小型化を図ることができる。
線３１ｄを有するルーフプリズム３１を示したが、例え
ば図８に示すように、入射面３２ａと、互いに直角に配
置された反射面３２ｂ，３２ｃとを有し、反射面３２
ｂ，３２ｃを含む二つの平面が形成する稜線３２ｄ付近
は、レーザ光が通過しないため、その部分を削除して断
面台形としても良い。また、切断面３２ｅは、レーザ光
が通過する部分に干渉しない限り、任意の形状、角度と
することができる。このように、稜線３２ｄの付近を切
断したルーフプリズム３２を用いることにより、レーザ
共振器全体の軽量化及び小型化を図ることができる。
【００５６】実施の形態８．図９はこの発明の実施の形
態８による自己補償形レーザ共振器を示す斜視図であ
る。図９において、３１及び３８は実施の形態６で示し
たルーフプリズムである。そして、本実施の形態のルー
フプリズム３１は、入射面３１ａと光路Ｌ４とが交わる
部分にレーザ光を反射する両面反射面３９を有してい
る。両面反射面３９は、同一の面の表面と裏面にてレー
ザ光を反射する。
態８による自己補償形レーザ共振器を示す斜視図であ
る。図９において、３１及び３８は実施の形態６で示し
たルーフプリズムである。そして、本実施の形態のルー
フプリズム３１は、入射面３１ａと光路Ｌ４とが交わる
部分にレーザ光を反射する両面反射面３９を有してい
る。両面反射面３９は、同一の面の表面と裏面にてレー
ザ光を反射する。
【００５７】次に、動作について説明する。レーザ媒質
２４から反射面３８ｂの方向へ進むレーザ光は、レーザ
媒質２４を通過して増幅された後、入射面３８ａに入射
し、反射面３８ｂおよび反射面３８ｃで順次反射され、
光路Ｌ１と平行な光路Ｌ２を光路Ｌ１と反対方向へ進
む。光路Ｌ２を進むレーザ光は、入射面３１ａに入射
し、反射面３１ｂ及び反射面３１ｃで順次反射され、光
路Ｌ２と平行な光路Ｌ３を光路Ｌ２と反対方向へ進む。
光路Ｌ３を進むレーザ光は、反射面３８ｂ及び反射面３
８ａで順次反射され、光路Ｌ３と平行な光路Ｌ４を光路
Ｌ３と反対方向へ進む。光路Ｌ４を進むレーザ光は、両
面反射面３９で反射され、すなわち、入射したレーザ光
と反対方向に反射され、光路Ｌ４、光路Ｌ３、光路Ｌ
２、光路Ｌ１を通って、再びレーザ媒質２４に入射され
る。
２４から反射面３８ｂの方向へ進むレーザ光は、レーザ
媒質２４を通過して増幅された後、入射面３８ａに入射
し、反射面３８ｂおよび反射面３８ｃで順次反射され、
光路Ｌ１と平行な光路Ｌ２を光路Ｌ１と反対方向へ進
む。光路Ｌ２を進むレーザ光は、入射面３１ａに入射
し、反射面３１ｂ及び反射面３１ｃで順次反射され、光
路Ｌ２と平行な光路Ｌ３を光路Ｌ２と反対方向へ進む。
光路Ｌ３を進むレーザ光は、反射面３８ｂ及び反射面３
８ａで順次反射され、光路Ｌ３と平行な光路Ｌ４を光路
Ｌ３と反対方向へ進む。光路Ｌ４を進むレーザ光は、両
面反射面３９で反射され、すなわち、入射したレーザ光
と反対方向に反射され、光路Ｌ４、光路Ｌ３、光路Ｌ
２、光路Ｌ１を通って、再びレーザ媒質２４に入射され
る。
【００５８】さらに、再びレーザ媒質２４に入射したレ
ーザ光は、レーザ媒質２４を通過してさらに増幅された
後、入射面３１ａに入射し、反射面３１ｂおよび反射面
３１ｃで順次反射され、両面反射面３９で、入射したレ
ーザ光と反対方向に反射され、レーザ共振器内に閉じこ
められ増幅されていく。
ーザ光は、レーザ媒質２４を通過してさらに増幅された
後、入射面３１ａに入射し、反射面３１ｂおよび反射面
３１ｃで順次反射され、両面反射面３９で、入射したレ
ーザ光と反対方向に反射され、レーザ共振器内に閉じこ
められ増幅されていく。
【００５９】このように、同一の面の表面と裏面にてレ
ーザ光が反射されるので、二つの反射面のずれが生じな
い安定した自己補償形レーザ共振器を構成することが可
能であるまた、図１に示した第３の反射装置２３を必要
とせず光学部品の数が少なくなるため、レーザ光の損失
を抑えることができる。
ーザ光が反射されるので、二つの反射面のずれが生じな
い安定した自己補償形レーザ共振器を構成することが可
能であるまた、図１に示した第３の反射装置２３を必要
とせず光学部品の数が少なくなるため、レーザ光の損失
を抑えることができる。
【００６０】なお、上述の例では光路Ｌ４が入射面３１
ａと交差する部分に両面反射面３９を設けたが、光路Ｌ
１乃至Ｌ４と交差する入射面３１ａおよび３２ｂのいず
れに設けても良い。また、ルーフプリズム３１，３８は
実施の形態６で示したルーフプリズムを使用している
が、実施の形態７で示した稜線付近を削除したルーフプ
リズムを使用しても良い。
ａと交差する部分に両面反射面３９を設けたが、光路Ｌ
１乃至Ｌ４と交差する入射面３１ａおよび３２ｂのいず
れに設けても良い。また、ルーフプリズム３１，３８は
実施の形態６で示したルーフプリズムを使用している
が、実施の形態７で示した稜線付近を削除したルーフプ
リズムを使用しても良い。
【００６１】
【発明の効果】この発明に係る自己補償形レーザ共振器
は、互いに直角に配置された第１及び第２の反射面を有
する第１の反射装置と、互いに直角に配置された第３及
び第４の反射面を有し、第１の反射装置に対向している
第２の反射装置と、互いに反対向きにかつ平行に配置さ
れた第５及び第６の反射面を有し、第２の反射面と第４
の反射面との間に設けられている第３の反射装置と、第
１の反射面と第３の反射面との間に設けられているレー
ザ媒質と、レーザ媒質を励起する光源とを備え、第３及
び第４の反射面を含む二つの平面が形成する第２の稜線
は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面が形成する
第１の稜線にほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒
質から第１の反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第
１の反射面、第２の反射面、第３の反射面、第４の反射
面、第５の反射面、第４の反射面、第３の反射面、第２
の反射面、および第１の反射面の順に反射されて再びレ
ーザ媒質に入射し、レーザ媒質を透過し、さらに第３の
反射面、第４の反射面、第１の反射面、第２の反射面、
第６の反射面、第２の反射面、第１の反射面、第３の反
射面、および第４の反射面の順に反射されて再びレーザ
媒質に入射される。そのため、レーザ光が反射装置の稜
線上を通らず、従って稜線の回折による損失がなく、レ
ーザ光の利用効率の低下を防止することができる。ま
た、レーザ光が稜線により切断されないため、レーザ光
の品質を向上させることができる。さらにレーザ共振器
の小型化を図ることができる。また、対角の関係にある
光路では、反射面での反射による偏光状態の変化がない
ため、レーザ共振器の設計が容易になる。さらにまた、
同じ光路を往復してレーザ媒質へ戻る定在波形のレーザ
共振器を構成しているため、レーザ媒質に蓄積されたエ
ネルギーの利用効率の低下を防止することができる。
は、互いに直角に配置された第１及び第２の反射面を有
する第１の反射装置と、互いに直角に配置された第３及
び第４の反射面を有し、第１の反射装置に対向している
第２の反射装置と、互いに反対向きにかつ平行に配置さ
れた第５及び第６の反射面を有し、第２の反射面と第４
の反射面との間に設けられている第３の反射装置と、第
１の反射面と第３の反射面との間に設けられているレー
ザ媒質と、レーザ媒質を励起する光源とを備え、第３及
び第４の反射面を含む二つの平面が形成する第２の稜線
は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面が形成する
第１の稜線にほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒
質から第１の反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第
１の反射面、第２の反射面、第３の反射面、第４の反射
面、第５の反射面、第４の反射面、第３の反射面、第２
の反射面、および第１の反射面の順に反射されて再びレ
ーザ媒質に入射し、レーザ媒質を透過し、さらに第３の
反射面、第４の反射面、第１の反射面、第２の反射面、
第６の反射面、第２の反射面、第１の反射面、第３の反
射面、および第４の反射面の順に反射されて再びレーザ
媒質に入射される。そのため、レーザ光が反射装置の稜
線上を通らず、従って稜線の回折による損失がなく、レ
ーザ光の利用効率の低下を防止することができる。ま
た、レーザ光が稜線により切断されないため、レーザ光
の品質を向上させることができる。さらにレーザ共振器
の小型化を図ることができる。また、対角の関係にある
光路では、反射面での反射による偏光状態の変化がない
ため、レーザ共振器の設計が容易になる。さらにまた、
同じ光路を往復してレーザ媒質へ戻る定在波形のレーザ
共振器を構成しているため、レーザ媒質に蓄積されたエ
ネルギーの利用効率の低下を防止することができる。
【００６２】また、第３の反射装置は、反射面を互いに
反対向きにして平行に配置され保持具で相互に固定され
た２つの片面反射鏡である。そのため、第１および第２
の反射装置のそれぞれの反射面が直角からずれている場
合もレーザ共振器を構成することができ、価格を安くす
ることができる。
反対向きにして平行に配置され保持具で相互に固定され
た２つの片面反射鏡である。そのため、第１および第２
の反射装置のそれぞれの反射面が直角からずれている場
合もレーザ共振器を構成することができ、価格を安くす
ることができる。
【００６３】また、第３の反射装置は、同一の面の表面
と裏面にてレーザ光を反射する両面反射面を有する反射
鏡である。そのため、反射面の角度ずれがない安定した
レーザ共振器を構成することができる。
と裏面にてレーザ光を反射する両面反射面を有する反射
鏡である。そのため、反射面の角度ずれがない安定した
レーザ共振器を構成することができる。
【００６４】また、互いに直角に配置された第１及び第
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、レーザ光の光軸上の
一側の端面に第７の両面反射面を有し、第１の反射面と
第３の反射面との間に設けられているレーザ媒質と、レ
ーザ媒質を励起する光源とを備え、第３及び第４の反射
面を含む二つの平面が形成する第２の稜線は、第１及び
第２の反射面を含む二つの平面が形成する第１の稜線に
ほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒質から第１の
反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第１の反射面、
第２の反射面、第３の反射面、第４の反射面、第２の反
射面、第１の反射面、第４の反射面、第３の反射面、お
よび第７の両面反射面の順に反射され、さらに第３の反
射面、第４の反射面、第１の反射面、第２の反射面、第
４の反射面、第３の反射面、第２の反射面、および第１
の反射面の順に反射されて再びレーザ媒質に入射され、
レーザ媒質を透過し、第７の両面反射面で反射する。そ
のため、レーザ光が反射装置の稜線上を通らず、従って
稜線の回折による損失がなく、レーザ光の利用効率の低
下を防止することができる。また、レーザ光が稜線によ
り切断されないため、レーザ光の品質を向上させること
ができる。さらにレーザ共振器の小型化を図ることがで
きる。また、対角の関係にある光路では、反射面での反
射による偏光状態の変化がないため、レーザ共振器の設
計が容易になる。さらにまた、同じ光路を往復してレー
ザ媒質へ戻る定在波形のレーザ共振器を構成しているた
め、レーザ媒質に蓄積されたエネルギーの利用効率の低
下を防止することができる。また、レーザ媒質の一つの
反射面でレーザ光が両側に反射するので、反射面のずれ
が生じない安定した定在波形のレーザ共振器を構成でき
る。また、光学部品が少なくなるため、レーザ光の損失
を抑えることができる。
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、レーザ光の光軸上の
一側の端面に第７の両面反射面を有し、第１の反射面と
第３の反射面との間に設けられているレーザ媒質と、レ
ーザ媒質を励起する光源とを備え、第３及び第４の反射
面を含む二つの平面が形成する第２の稜線は、第１及び
第２の反射面を含む二つの平面が形成する第１の稜線に
ほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒質から第１の
反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第１の反射面、
第２の反射面、第３の反射面、第４の反射面、第２の反
射面、第１の反射面、第４の反射面、第３の反射面、お
よび第７の両面反射面の順に反射され、さらに第３の反
射面、第４の反射面、第１の反射面、第２の反射面、第
４の反射面、第３の反射面、第２の反射面、および第１
の反射面の順に反射されて再びレーザ媒質に入射され、
レーザ媒質を透過し、第７の両面反射面で反射する。そ
のため、レーザ光が反射装置の稜線上を通らず、従って
稜線の回折による損失がなく、レーザ光の利用効率の低
下を防止することができる。また、レーザ光が稜線によ
り切断されないため、レーザ光の品質を向上させること
ができる。さらにレーザ共振器の小型化を図ることがで
きる。また、対角の関係にある光路では、反射面での反
射による偏光状態の変化がないため、レーザ共振器の設
計が容易になる。さらにまた、同じ光路を往復してレー
ザ媒質へ戻る定在波形のレーザ共振器を構成しているた
め、レーザ媒質に蓄積されたエネルギーの利用効率の低
下を防止することができる。また、レーザ媒質の一つの
反射面でレーザ光が両側に反射するので、反射面のずれ
が生じない安定した定在波形のレーザ共振器を構成でき
る。また、光学部品が少なくなるため、レーザ光の損失
を抑えることができる。
【００６５】また、互いに直角に配置された第１及び第
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、第１の反射面と第３
の反射面との間に設けられているレーザ媒質と、レーザ
媒質を励起する光源と、レーザ光の光軸上の一側の端面
に第８の両面反射面を有し、第２の反射面と第４の反射
面との間に設けられている光学部品とを備え、第３及び
第４の反射面を含む二つの平面が形成する第２の稜線
は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面が形成する
第１の稜線にほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒
質から第１の反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第
１の反射面、第２の反射面、第３の反射面、第４の反射
面、第８の両面反射面、第４の反射面、第３の反射面、
第２の反射面、および第１の反射面の順に反射されて再
びレーザ媒質に入射し、レーザ媒質を透過し、さらに第
３の反射面、第４の反射面、第１の反射面、および第２
の反射面の順に反射されて光学部品に入射し、さらに第
８の両面反射面、第２の反射面、第１の反射面、第３の
反射面、および第４の反射面の順に反射されて再びレー
ザ媒質に入射される。そのため、レーザ光が反射装置の
稜線上を通らず、従って稜線の回折による損失がなく、
レーザ光の利用効率の低下を防止することができる。ま
た、レーザ光が稜線により切断されないため、レーザ光
の品質を向上させることができる。さらにレーザ共振器
の小型化を図ることができる。また、対角の関係にある
光路では、反射面での反射による偏光状態の変化がない
ため、レーザ共振器の設計が容易になる。さらにまた、
同じ光路を往復してレーザ媒質へ戻る定在波形のレーザ
共振器を構成しているため、レーザ媒質に蓄積されたエ
ネルギーの利用効率の低下を防止することができる。ま
た、レーザ媒質の一つの反射面でレーザ光が両側に反射
するので、反射面のずれが生じない安定した定在波形の
レーザ共振器を構成できる。また、光学部品が少なくな
るため、レーザ光の損失を抑えることができる。
２の反射面を有する第１の反射装置と、互いに直角に配
置された第３及び第４の反射面を有し、第１の反射装置
に対向している第２の反射装置と、第１の反射面と第３
の反射面との間に設けられているレーザ媒質と、レーザ
媒質を励起する光源と、レーザ光の光軸上の一側の端面
に第８の両面反射面を有し、第２の反射面と第４の反射
面との間に設けられている光学部品とを備え、第３及び
第４の反射面を含む二つの平面が形成する第２の稜線
は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面が形成する
第１の稜線にほぼ直行する面に含まれており、レーザ媒
質から第１の反射面へ向けて出射されたレーザ光は、第
１の反射面、第２の反射面、第３の反射面、第４の反射
面、第８の両面反射面、第４の反射面、第３の反射面、
第２の反射面、および第１の反射面の順に反射されて再
びレーザ媒質に入射し、レーザ媒質を透過し、さらに第
３の反射面、第４の反射面、第１の反射面、および第２
の反射面の順に反射されて光学部品に入射し、さらに第
８の両面反射面、第２の反射面、第１の反射面、第３の
反射面、および第４の反射面の順に反射されて再びレー
ザ媒質に入射される。そのため、レーザ光が反射装置の
稜線上を通らず、従って稜線の回折による損失がなく、
レーザ光の利用効率の低下を防止することができる。ま
た、レーザ光が稜線により切断されないため、レーザ光
の品質を向上させることができる。さらにレーザ共振器
の小型化を図ることができる。また、対角の関係にある
光路では、反射面での反射による偏光状態の変化がない
ため、レーザ共振器の設計が容易になる。さらにまた、
同じ光路を往復してレーザ媒質へ戻る定在波形のレーザ
共振器を構成しているため、レーザ媒質に蓄積されたエ
ネルギーの利用効率の低下を防止することができる。ま
た、レーザ媒質の一つの反射面でレーザ光が両側に反射
するので、反射面のずれが生じない安定した定在波形の
レーザ共振器を構成できる。また、光学部品が少なくな
るため、レーザ光の損失を抑えることができる。
【００６６】また、第１及び第２の反射装置は、互いに
直角に配置された２つの平面反射鏡をそれぞれ有してい
る。そのため、レーザ共振器全体を軽量化することがで
きる。
直角に配置された２つの平面反射鏡をそれぞれ有してい
る。そのため、レーザ共振器全体を軽量化することがで
きる。
【００６７】また、互いに直角に配置された２つの平面
反射鏡は、間隔をおいて配置され、連結部材により相互
に連結されている。そのため、２つの平面反射鏡を直接
交差させて固定する必要がなく、反射装置を小型化およ
び軽量化することができる。
反射鏡は、間隔をおいて配置され、連結部材により相互
に連結されている。そのため、２つの平面反射鏡を直接
交差させて固定する必要がなく、反射装置を小型化およ
び軽量化することができる。
【００６８】また、第１及び第２の反射装置は、レーザ
光の入射面及び互いに直角に配置された２つの反射面を
それぞれ有するプリズムである。そのため、反射面の角
度のずれが生じにくく、安定した自己補償形レーザ共振
器を得ることができる。
光の入射面及び互いに直角に配置された２つの反射面を
それぞれ有するプリズムである。そのため、反射面の角
度のずれが生じにくく、安定した自己補償形レーザ共振
器を得ることができる。
【００６９】また、レーザ光が入射する第１の入射面
と、互いに直角に配置された第１及び第２の反射面を有
する第１のプリズムと、レーザ光が入射する第２の入射
面と、互いに直角に配置された第３及び第４の反射面を
有し、第２の入射面のレーザ光の光路に第９の両面反射
面を備え、第１の反射装置に対向している第２のプリズ
ムと、第１の反射面と第３の反射面との間に設けられて
いるレーザ媒質と、レーザ媒質を励起する光源とを備
え、第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成する
第２の稜線は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面
が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれてお
り、レーザ媒質から第１の反射面へ向けて出射されたレ
ーザ光は、第１の反射面、第２の反射面、第３の反射
面、第４の反射面、第２の反射面、第１の反射面、第９
の両面反射面、第１の反射面、第２の反射面、第４の反
射面、第３の反射面、第２の反射面、および第１の反射
面の順に反射されて再びレーザ媒質に入射され、レーザ
媒質を透過し、さらに、第３の反射面、第４の反射面、
第９の両面反射面、第４の反射面、および第３の反射面
で反射されて再びレーザ媒質に入射する。そのため、レ
ーザ光が反射装置の稜線上を通らず、従って稜線の回折
による損失がなく、レーザ光の利用効率の低下を防止す
ることができる。また、レーザ光が稜線により切断され
ないため、レーザ光の品質を向上させることができる。
さらにレーザ共振器の小型化を図ることができる。ま
た、対角の関係にある光路では、反射面での反射による
偏光状態の変化がないため、レーザ共振器の設計が容易
になる。さらにまた、同じ光路を往復してレーザ媒質へ
戻る定在波形のレーザ共振器を構成しているため、レー
ザ媒質に蓄積されたエネルギーの利用効率の低下を防止
することができる。また、レーザ媒質の一つの反射面で
レーザ光が両側に反射するので、反射面のずれが生じな
い安定した定在波形のレーザ共振器を構成できる。ま
た、光学部品が少なくなるため、レーザ光の損失を抑え
ることができる。
と、互いに直角に配置された第１及び第２の反射面を有
する第１のプリズムと、レーザ光が入射する第２の入射
面と、互いに直角に配置された第３及び第４の反射面を
有し、第２の入射面のレーザ光の光路に第９の両面反射
面を備え、第１の反射装置に対向している第２のプリズ
ムと、第１の反射面と第３の反射面との間に設けられて
いるレーザ媒質と、レーザ媒質を励起する光源とを備
え、第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成する
第２の稜線は、第１及び第２の反射面を含む二つの平面
が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれてお
り、レーザ媒質から第１の反射面へ向けて出射されたレ
ーザ光は、第１の反射面、第２の反射面、第３の反射
面、第４の反射面、第２の反射面、第１の反射面、第９
の両面反射面、第１の反射面、第２の反射面、第４の反
射面、第３の反射面、第２の反射面、および第１の反射
面の順に反射されて再びレーザ媒質に入射され、レーザ
媒質を透過し、さらに、第３の反射面、第４の反射面、
第９の両面反射面、第４の反射面、および第３の反射面
で反射されて再びレーザ媒質に入射する。そのため、レ
ーザ光が反射装置の稜線上を通らず、従って稜線の回折
による損失がなく、レーザ光の利用効率の低下を防止す
ることができる。また、レーザ光が稜線により切断され
ないため、レーザ光の品質を向上させることができる。
さらにレーザ共振器の小型化を図ることができる。ま
た、対角の関係にある光路では、反射面での反射による
偏光状態の変化がないため、レーザ共振器の設計が容易
になる。さらにまた、同じ光路を往復してレーザ媒質へ
戻る定在波形のレーザ共振器を構成しているため、レー
ザ媒質に蓄積されたエネルギーの利用効率の低下を防止
することができる。また、レーザ媒質の一つの反射面で
レーザ光が両側に反射するので、反射面のずれが生じな
い安定した定在波形のレーザ共振器を構成できる。ま
た、光学部品が少なくなるため、レーザ光の損失を抑え
ることができる。
【００７０】さらに、第１及び第２のプリズムの第１及
び第２の稜線部分が削除されている。そのため、反射装
置を小型化および軽量化することができる。
び第２の稜線部分が削除されている。そのため、反射装
置を小型化および軽量化することができる。
【図１】 この発明の実施の形態１による自己補償形レ
ーザ共振器を示す概略の斜視図である。
ーザ共振器を示す概略の斜視図である。
【図２】 図１の第１及び第２の反射装置の一例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】 この発明の実施の形態２による自己補償形レ
ーザ共振器の第３の反射装置を示す斜視図である。
ーザ共振器の第３の反射装置を示す斜視図である。
【図４】 この発明の実施の形態３による自己補償形レ
ーザ共振器の第３の反射装置を示す斜視図である。
ーザ共振器の第３の反射装置を示す斜視図である。
【図５】 この発明の実施の形態４による自己補償形レ
ーザ共振器を示す概略の斜視図である。
ーザ共振器を示す概略の斜視図である。
【図６】 この発明の実施の形態５による自己補償形レ
ーザ共振器の第１及び第２の反射装置を示す斜視図であ
る。
ーザ共振器の第１及び第２の反射装置を示す斜視図であ
る。
【図７】 この発明の実施の形態６による自己補償形レ
ーザ共振器の第１及び第２の反射装置を示す斜視図であ
る。
ーザ共振器の第１及び第２の反射装置を示す斜視図であ
る。
【図８】 この発明の実施の形態７による自己補償形レ
ーザ共振器の第１及び第２の反射装置を示す斜視図であ
る。
ーザ共振器の第１及び第２の反射装置を示す斜視図であ
る。
【図９】 この発明の実施の形態８による自己補償形レ
ーザ共振器を示す概略の斜視図である。
ーザ共振器を示す概略の斜視図である。
【図１０】 従来のレーザ共振器の一例を示す説明図で
ある。
ある。
【図１１】 図７の一方の反射鏡が傾斜した場合を示す
説明図である。
説明図である。
【図１２】 従来の自己補償形レーザ共振器の一例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図１３】 図９のルーフプリズムに入射したレーザ光
の反射状態を示す説明図である。
の反射状態を示す説明図である。
【図１４】 図１０のルーフプリズムが傾斜した状態を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図１５】 従来の自己補償形レーザ共振器の他の一例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
２１ 第１の反射装置、２１ａ 第１の反射面、２１ｂ
第２の反射面、２１ｃ 第１の稜線、２２ 第２の反
射装置、２２ａ 第３の反射面、２２ｂ 第４の反射
面、２２ｃ 第２の稜線、２３ 第３の反射装置、２３
ａ 第５の反射面、２３ｂ 第６の反射面、２４ レー
ザ媒質、２５ 光源、２６，２７，２８，２９ 平面反
射鏡、３０ 連結部材、３１，３２ ルーフプリズム、
３１ａ，３２ａ 入射面、３１ｂ，３１ｃ，３２ｂ，３
２ｃ 反射面、３３，３４ 片面反射鏡、３６ 両面反
射鏡、３５ 反射鏡保持具、３７ レーザ媒質、３７
ａ，３９ 両面反射面。
第２の反射面、２１ｃ 第１の稜線、２２ 第２の反
射装置、２２ａ 第３の反射面、２２ｂ 第４の反射
面、２２ｃ 第２の稜線、２３ 第３の反射装置、２３
ａ 第５の反射面、２３ｂ 第６の反射面、２４ レー
ザ媒質、２５ 光源、２６，２７，２８，２９ 平面反
射鏡、３０ 連結部材、３１，３２ ルーフプリズム、
３１ａ，３２ａ 入射面、３１ｂ，３１ｃ，３２ｂ，３
２ｃ 反射面、３３，３４ 片面反射鏡、３６ 両面反
射鏡、３５ 反射鏡保持具、３７ レーザ媒質、３７
ａ，３９ 両面反射面。
Claims (10)
- 【請求項１】 互いに直角に配置された第１及び第２の
反射面を有する第１の反射装置と、 互いに直角に配置された第３及び第４の反射面を有し、
上記第１の反射装置に対向している第２の反射装置と、 互いに反対向きにかつ平行に配置された第５及び第６の
反射面を有し、上記第２の反射面と第４の反射面との間
に設けられている第３の反射装置と、 上記第１の反射面と第３の反射面との間に設けられてい
るレーザ媒質と、 上記レーザ媒質を励起する光源とを備え、 上記第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成する
第２の稜線は、上記第１及び第２の反射面を含む二つの
平面が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれて
おり、 上記レーザ媒質から上記第１の反射面へ向けて出射され
たレーザ光は、上記第１の反射面、上記第２の反射面、
上記第３の反射面、上記第４の反射面、上記第５の反射
面、上記第４の反射面、上記第３の反射面、上記第２の
反射面、および上記第１の反射面の順に反射されて再び
上記レーザ媒質に入射し、該レーザ媒質を透過し、さら
に上記第３の反射面、上記第４の反射面、上記第１の反
射面、上記第２の反射面、上記第６の反射面、上記第２
の反射面、上記第１の反射面、上記第３の反射面、およ
び上記第４の反射面の順に反射されて再び上記レーザ媒
質に入射されることを特長とする自己補償形レーザ共振
器。 - 【請求項２】 上記第３の反射装置は、反射面を互いに
反対向きにして平行に配置され保持具で相互に固定され
た２つの片面反射鏡であることを特徴とする請求項１記
載の自己補償形レーザ共振器。 - 【請求項３】 上記第３の反射装置は、同一の面の表面
と裏面にてレーザ光を反射する両面反射面を有する反射
鏡であることを特徴とする請求項１記載の自己補償形レ
ーザ共振器。 - 【請求項４】 互いに直角に配置された第１及び第２の
反射面を有する第１の反射装置と、 互いに直角に配置された第３及び第４の反射面を有し、
上記第１の反射装置に対向している第２の反射装置と、 レーザ光の光軸上の一側の端面に第７の両面反射面を有
し、上記第１の反射面と第３の反射面との間に設けられ
ているレーザ媒質と、 上記レーザ媒質を励起する光源とを備え、 上記第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成する
第２の稜線は、上記第１及び第２の反射面を含む二つの
平面が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれて
おり、 上記レーザ媒質から上記第１の反射面へ向けて出射され
たレーザ光は、上記第１の反射面、上記第２の反射面、
上記第３の反射面、上記第４の反射面、上記第２の反射
面、上記第１の反射面、上記第４の反射面、上記第３の
反射面、および上記第７の両面反射面の順に反射され、
さらに上記第３の反射面、上記第４の反射面、上記第１
の反射面、上記第２の反射面、上記第４の反射面、上記
第３の反射面、上記第２の反射面、および上記第１の反
射面の順に反射されて再び上記レーザ媒質に入射され、
該レーザ媒質を透過し、上記第７の両面反射面で反射す
ることを特長とする自己補償形レーザ共振器。 - 【請求項５】 互いに直角に配置された第１及び第２の
反射面を有する第１の反射装置と、 互いに直角に配置された第３及び第４の反射面を有し、
上記第１の反射装置に対向している第２の反射装置と、 上記第１の反射面と第３の反射面との間に設けられてい
るレーザ媒質と、 上記レーザ媒質を励起する光源と、 レーザ光の光軸上の一側の端面に第８の両面反射面を有
し、上記第２の反射面と第４の反射面との間に設けられ
ている光学部品とを備え、 上記第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成する
第２の稜線は、上記第１及び第２の反射面を含む二つの
平面が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれて
おり、 上記レーザ媒質から上記第１の反射面へ向けて出射され
たレーザ光は、上記第１の反射面、上記第２の反射面、
上記第３の反射面、上記第４の反射面、上記第８の両面
反射面、上記第４の反射面、上記第３の反射面、上記第
２の反射面、および上記第１の反射面の順に反射されて
再び上記レーザ媒質に入射し、該レーザ媒質を透過し、
さらに上記第３の反射面、上記第４の反射面、上記第１
の反射面、および上記第２の反射面の順に反射されて上
記光学部品に入射し、さらに上記第８の両面反射面、上
記第２の反射面、上記第１の反射面、上記第３の反射
面、および上記第４の反射面の順に反射されて再び上記
レーザ媒質に入射されることを特長とする自己補償形レ
ーザ共振器。 - 【請求項６】 上記第１及び第２の反射装置は、互いに
直角に配置された２つの平面反射鏡をそれぞれ有してい
ることを特長とする請求項１乃至５いずれかに記載の自
己補償形レーザ共振器。 - 【請求項７】 上記互いに直角に配置された２つの平面
反射鏡は、間隔をおいて配置され、連結部材により相互
に連結されていることを特長とする請求項６記載の自己
補償形レーザ共振器。 - 【請求項８】 上記第１及び第２の反射装置は、レーザ
光の入射面及び互いに直角に配置された２つの反射面を
それぞれ有するプリズムであることを特長とする請求項
１乃至５いずれかに記載の自己補償形レーザ共振器。 - 【請求項９】 レーザ光が入射する第１の入射面と、互
いに直角に配置された第１及び第２の反射面を有する第
１のプリズムと、 レーザ光が入射する第２の入射面と、互いに直角に配置
された第３及び第４の反射面を有し、第２の入射面のレ
ーザ光の光路に第９の両面反射面を備え、上記第１の反
射装置に対向している第２のプリズムと、 上記第１の反射面と第３の反射面との間に設けられてい
るレーザ媒質と、 上記レーザ媒質を励起する光源とを備え、 上記第３及び第４の反射面を含む二つの平面が形成する
第２の稜線は、上記第１及び第２の反射面を含む二つの
平面が形成する第１の稜線にほぼ直行する面に含まれて
おり、 上記レーザ媒質から上記第１の反射面へ向けて出射され
たレーザ光は、上記第１の反射面、上記第２の反射面、
上記第３の反射面、上記第４の反射面、上記第２の反射
面、上記第１の反射面、上記第９の両面反射面、上記第
１の反射面、上記第２の反射面、上記第４の反射面、上
記第３の反射面、上記第２の反射面、および上記第１の
反射面の順に反射されて再び上記レーザ媒質に入射さ
れ、該レーザ媒質を透過し、さらに、上記第３の反射
面、上記第４の反射面、上記第９の両面反射面、上記第
４の反射面、および上記第３の反射面で反射されて再び
上記レーザ媒質に入射することを特徴とする自己補償形
レーザ共振器。 - 【請求項１０】 上記第１及び第２のプリズムの第１及
び第２の稜線部分が削除されていることを特徴とする請
求項８または９記載の自己補償形レーザ共振器。
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