DE4229461A1 - Festkoerperelektrolytkondensator und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Festkörperelektro­ lytkondensator und das Verfahren zu seiner Herstellung.

Herkömmlich wurden Festkörperelektrolytkondensatoren auf die nachbeschriebene Weise hergestellt:

Zuerst wurde ein Oxidfilm durch anodische Oxidation auf der Oberfläche eines Sinterkörpers aus Ventilmetall, wie z. B. Tantal (Ta), Aluminium (Al) und Niob (Nb) ausgeformt. Dann, nachdem eine Mangannitratwasserlösung auf ihm aufgebracht wurde, wurde eine Mangandioxid (MnO₂) -Schicht, die als Elektrolyt dient, auf dem Oxidfilm durch thermische Zerset­ zung des Mangannitrats ausgeformt. Zuletzt wurde eine Gra­ phitschicht und eine Silberschicht zum Bilden einer Elek­ trode auf der Mangandioxidschicht ausgebildet.

Im folgenden wird ein so hergestellter Festkörperelektro­ lytkondensator beschrieben:

Fig. 1 zeigt den Querschnittsaufbau eines Festkörperelek­ trolytkondensator aus Tantal. Fig. 2A bis 2C zeigen Querschnittansichten, die die Art und Weise zeigen, auf welche eine Tantalpentoxidschicht (Ta₂O₅-Schicht) 11 und eine erste Mangandioxidschicht (erste MnO₂-Schicht) 12 auf einem Teil eines porösen Tantal-Sinterkörpers (Ta-Sinter­ körper) 10 des Festkörperelektrolytkondensators von Fig. 1 ausgebildet werden. Eine Sinterkörperschicht 15 in Fig. 1 wird ausgeformt durch Ausbilden der Tantalpentoxidschicht 11 und der ersten Mangandioxidschicht 12 auf der Oberfläche des Tantal-Sinterkörpers 10, wie in Fig. 2A bis 2C gezeigt. Ein Draht 5 aus Tantal, der einen Anschluß bildet, wird elektrisch verbunden und befestigt mit dem Tantal-Sinter­ körper 10 (Fig. 2A). Zur Zeit der anodischen Oxidation des Tantal-Sinterkörpers 10, wird die Tantalpentoxidschicht 11 auch auf dem Draht 5 ausgebildet (Fig. 1).

Wie in Fig. 1 gezeigt, wird eine zweite Mangandioxidschicht (zweite MnO₂-Schicht) 20 auf der Oberfläche der Sinterkör­ perschicht 15 ausgebildet. Die Schicht 20 bedeckt die äußere Oberfläche des Sinterkörpers 15 und tritt kaum in die Sinterkörperschicht 15 ein. Eine Graphitschicht (Gr-Schicht) 30 und eine Silberschicht (Ag-Schicht) 40 sind auf der zweiten Manganschicht 20 ausgebildet.

Der oben beschriebene herkömmliche Kondensator zeigt die folgenden Probleme:

Erstens ist der herkömmliche Kondensator schwach gegen äußere Spannungen, da der Sinterkörper aus Ventilmetall eine geringe mechanische Stärke hat. Um die Spannungen zu erleichtern, wird normalerweise die zweite Mangandioxid­ schicht dick ausgebildet (30 bis 40 µm). Da aber die Oxid­ schicht extrem dünn ist (ungefähr ein Zehntel bis Tausend­ stel Angstroem), ist diese schwach für physikalische Span­ nungen und kann zusammenbrechen.

Zweitens hat der herkömmliche Kondensator einen hohen äqui­ valenten Serienwiderstand, da das Mangandioxid, welches als Elektrolyt dient, einen hohen spezifischen Widerstand hat (ungefähr 1 bis 10 Ωcm).

Drittens ist es schwer, die Feuchtigkeitswiderstandseigen­ schaften des Kondensators zu verbessern, da die Mangandio­ xidschicht eine geringe Wasserwiderstandsfähigkeit hat.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Festkör­ perelektrolytkondensator mit exzellenten Hochfrequenzeigen­ schaften und Wasserwiderstandsfähigkeit zu schaffen, der widerstandsfähig gegen externe Spannungen ist.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren vorzuschlagen zum Herstellen eines solchen Fest­ körperelektrolytkondensators.

Der erfindungsgemäße Festkörperelektrolytkondensator ist versehen mit einem Sinterkörper aus Ventilmetall, einer me­ tallischen Oxidschicht, die auf der Oberfläche des Sinter­ körpers vorgesehen ist und einer leitfähigen Hochpolymer­ schicht, die auf der Oberfläche der metallischen Oxid­ schicht vorgesehen ist.

Bei einem solchen Festkörperelektrolytkondensator ist die mechanische Stärke verbessert, da die leitfähige Hochpoly­ merschicht, die auf der metallischen Oxidschicht vorgesehen ist, welche als Pufferbeschichtung dient, externe Spannun­ gen absorbiert und verhindert, daß die metallische Oxid­ schicht zusammenbricht. Da die leitfähige Hochpolymer­ schicht einen geringen spezifischen Widerstand hat (z. B. ungefähr 0,01 Ωcm), sinkt der äquivalente Serienwiderstand bei hohen Frequenzen.

Ein Verfahren zur Herstellung eines Festkörperelektrolyt­ kondensators gemäß der Erfindung, bei welchem ein dielek­ trischer Film auf der Oberfläche eines Sinterkörpers aus Ventilmetall mit einem Anschluß ausgebildet ist und eine metallische Oxidschicht auf dem dielektrischen Film ausge­ bildet ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß eine leitfähige Paste auf dem Anschluß aufgebracht wird und daß eine leit­ fähige Hochpolymerschicht auf der metallischen Oxidschicht ausgebildet ist durch Durchführung einer elektrolytischen Oxidationspolymerisation durch elektrisches Verbinden des Anschlusses mit der Metalloxidschicht über die leitfähige Paste.

Diese und andere Aufgaben und Merkmale der Erfindung werden klar aus der folgenden Beschreibung, in welcher bevorzugte Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Figuren be­ schrieben werden. Es Zeigen:

Fig. 1 einen Querschnitt der Struktur eines herkömm­ lichen Festkörperelektrolytkondensator;

Fig. 2A bis 2B die innere Struktur eines Sinterkör­ pers des herkömmlichen Kondensators und der Erfindung beim Herstellungsverfahren des Sinterkörpers;

Fig. 3A bis 3I den Herstellungsprozeß des erfin­ dungsgemäßen Festkörperelektrolytkondensators nach einem ersten Verfahren und einem Festkörperelektrolytkondensator, der nach diesem Verfahren hergestellt wurde;

Fig. 4A bis 4I ein zweites Verfahren zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Festkörperelektrolytkondensators und einen Festkörperelektrolytkondensator, der nach diesem Verfahren hergestellt wurde.

Fig. 5A bis 5H ein drittes Verfahren zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Festkörperelektrolytkondensators und einen Festkörperelektrolytkondensator, der nach diesem Verfahren hergestellt wurde.

Ausführungsformen der Erfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Teile, die denen von Fig. 1 und 2A bis 2C entsprechen, sind mit glei­ chen Bezugszeichen bezeichnet und eine detaillierte Be­ schreibung dieser Teile wird weggelassen.

Fig. 3A bis 3I zeigen den Herstellungsprozeß eines Fest­ körperelektrolytkondensators, der eine erste Ausführungs­ form der Erfindung ist.

Zuerst wird ein Tantal-Sinterkörper 10 von 140 CV/p (Fig. 3A) in einer wäßrige Phosphorlösung von 0,1 Gew.-% einge­ taucht und durch anodische Oxidation über zwei oder drei Stunden bei 100 bis 200 V wurde eine Tantalpentoxidschicht (Ta₂O₅) 11 auf der Oberfläche des Tantal-Sinterkörpers 10 und einem Teil der Oberfläche des Drahtes 5 ausgebildet, wie in Fig. 3B gezeigt.

Dann wurde nach Waschen in reinem Wasser der anodisch-oxi­ dierte Tantal-Sinterkörper 10 in eine wäßrige Manganni­ tratlösung von 40 bis 60 Gew.-% eingetaucht. Dann, nachdem das Wasser verdampft war, wurde das Mangannitrat thermisch bei 200 bis 300°C zersetzt. Der Prozeß, in welchem die wäßrige Mangannitratlösung auf den Tantal-Sinterkörper 10 aufgebracht und thermisch zersetzt wurde, wurde fünfmal wiederholt. Als Folge, wie in Fig. 3C gezeigt, wurde eine Mangandioxidschicht 12 auf der Tantalpentoxidschicht 11 (Fig. 3B) ausgebildet und der Tantal-Sinterkörper 10 umge­ wandelt in eine Sinterkörperschicht 15, und daraufhin, wie in Fig. 3B gezeigt, wurde eine zweite Mangandioxidschicht 20 auf der Sinterkörperschicht 15 ausgebildet.

Eine Probe eines herkömmlichen Kondensators wurde ebenfalls nach dem Prozeß von Fig. 3A bis 3D hergestellt, um sie mit der Probe gemäß der Erfindung in den nachbeschriebenen Tests zu vergleichen. Der Eintauchprozeß und die thermi­ sche Zersetzung wurden jeweils zehnmal wiederholt. Bei den ersten sieben Eintauchprozessen wurde die Mangandioxid­ schicht 12 im wesentlichen auf der inneren Fläche des Sin­ terkörpers gebildet. In den darauf folgenden drei Eintauch­ prozessen wurde die zweite Mangandioxidschicht im wesentli­ chen auf der externen Oberfläche des Sinterkörpers ausge­ bildet durch Verwendung von Manganlösungen mit unterschied­ lichen spezifischen Gewichten.

Während die ersten und zweiten Mangandioxidschichten 12 und 20 in dieser Ausführungsform durch Benutzung einer Art von wäßriger Mangannitratlösung ausgebildet wurden, da es mög­ lich ist, den Spannungswiderstand durch Ausbildung der nachbeschriebenen Polypyrrolschicht 50 zu verbessern, kön­ nen sie auch durch zwei Eintauchprozesse ausgebildet wer­ den, durch Benutzung von wäßrigen Mangannitratlösungen un­ terschiedlicher spezifischer Gewichte ähnlich zum herkömm­ lichen Kondensator.

Dann wurde eine leitfähige Paste 6, wie in Fig. 3E gezeigt, auf einem Teil des Drahtes 5 aufgebracht, um den Draht 5 elektrisch mit der zweiten Mangandioxidschicht 20 zu ver­ binden.

Es ist unmöglich, die im folgenden beschriebene Polypyrrol­ schicht 50 (Fig. 3G) elektrisch auf der zweiten Mangandio­ xidschicht 20 auszubilden, ohne die leitfähige Paste 6. Dies liegt daran, daß es unmöglich ist, die leitfähige Hochpolymerschicht auszubilden, da die Tantalpentoxid­ schicht 11, welche ein Isolator ist, zwischen dem Draht 5 und der ersten und zweiten Mangandioxidschicht 12 und 20 vorgesehen ist. Beim Ausbilden einer leitfähigen Hochpoly­ merschicht wie einer Polypyrrolschicht 50 durch Durchfüh­ rung einer elektrolytischen Oxidationspolymerisation, wird, da es nötig ist, daß die zweite Mangandioxidschicht 20 eine Anode ist, die leitfähige Paste 6 zum Ausbilden einer Elek­ trode auf einem Teil des Drahtes 5 aufgebracht, nachdem in dieser Ausführungsform die erste und zweite Mangandioxid­ schicht 12 und 20 ausgebildet wurden. Als eine solche leit­ fähige Paste 6 kann eine aus Graphit benutzt werden.

Dann wurde die Polypyrrolschicht 50 mit einer Dicke von un­ gefähr 30 µm, wie in Fig. 3G gezeigt, ausgebildet durch Durchführung einer elektrolytischen Oxidationspolymerisa­ tion bei 100 µA und für dreißig bis sechzig Minuten pro Sinterkörper durch Anlegen von Plus an den Draht 5 und Mi­ nus an eine Wanne 8 mit einer elektrolytischen Lösung 7, wie in Fig. 3F gezeigt. Die Dicke der Polypyrrolschicht 50, welche eine Hochpolymerschicht ist, kann gesteuert werden durch Einstellen der Stromquantität (Coulomb-Menge).

In dieser Ausführungsform wurde Pyrrol mit 0,5 bis 1 Gew.-% als Monomer verwendet, welches das Grundmaterial von Poly­ pyrrolschicht 50 ist; Acetonitril als Medium; und eine elektrolytische Lösung, bestehend aus p-Toluolsulfinsäure­ tetraethyl-ammonium mit 0,5 bis 1,0 Gew.-%, als Trägerelek­ trolyt.

Pyrrol, Furan und Thiophen können als Monomer benutzt wer­ den, welches das Grundmaterial der leitfähigen Hochpolymer­ schicht ist. Polymere aus diesen Monomeren waren herkömm­ lich bekannt als leitfähige Hochpolymere. Das Monomer ist nicht darauf beschränkt. Jedes Monomer kann benutzt werden, so lange es ein leitfähiges Polymer bildet. Es ist aber vorzuziehen, Pyrrol zu verwenden, da Pyrrol eine Poly­ pyrrolschicht bildet mit geringem Widerstand.

Ein polares aprotisches Lösungsmittel, wie das oben er­ wähnte Acetonitril, kann als Medium verwendet werden. Am Material, welches ein univalentes Anion erzeugt, wie das oben erwähnte p-Toluolsulfinsäure-tetraethyl-ammonium, kann als Trägerelektrolyt verwendet werden. Die Polypyrrol­ schicht 50 dient als Pufferbeschichtung, d. h. als Puffer­ teil zum Erleichtern der Spannungen vom gegossenen Teil und zum Verbessern der Wasserwiderstandseigenschaften durch Verhindern von Eindringen von Wasser von außen.

Nach der Vervollständigung der Ausbildung der Polypyrrol­ schicht 50 wurde die leitfähige Paste 6 mit Pinzetten ent­ fernt, wie in Fig. 3H gezeigt. Die leitfähige Paste 6 kann durch jede herkömmliche bekannte physikalische oder chemi­ sche Methode entfernt werden, wie z. B. durch eine, die Plasma benutzt. Die leitfähige Paste 6 kann zu jedem Zeit­ punkt entfernt werden, so lange sie nur entfernt wird, nachdem die Polypyrrolschicht 50 ausgebildet ist. Als letz­ tes wurde eine Graphitschicht 30 durch Eintauchen des Sin­ terkörpers in eine Graphitlösung ausgebildet und eine Sil­ berschicht wurde ausgebildet wurde Aufbringen von Silberpa­ ste auf den Sinterkörper, wie in Fig. 3I gezeigt. Die ex­ ternen metallischen Schichten können nach einem Verfahren hergestellt werden, wie es herkömmlich bekannt ist als Her­ stellungsverfahrens eines Festkörperelektrolytkondensators. Bei der oben erwähnten Probe eines herkömmlichen Festkör­ perelektrolytkondensators wurde in gleicher Weise die Gra­ phitschicht 30 und die Silberschicht 40 auf der zweiten Mangandioxidschicht 20 ausgeformt.

Für die Festkörperelektrolytkondensatoren-Proben, die durch die oben beschriebene Methode erhalten wurden, wurden die folgenden Leistungstests durchgeführt. Die Testergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt, zusammen mit denen der Proben eines herkömmlichen Kondensators.

Lasttest

Festkörperelektrolytkondensatoren haben den fatalen Nach­ teil, daß sie durch Kurzschlüsse durchbrennen, wenn ihre Oxidschicht (Ta₂O₅-Schicht) 11 aufgrund von externen physi­ kalischen Belastungen zusammenbricht. Um die mechanische Festigkeit zu überprüfen, wurde ein Lasttest ausgeführt, bei welchem untersucht wurde, bei welcher Last der Konden­ sator zusammenbricht. Wie in Fig. 1 gezeigt, war der Kon­ densator der ersten Ausführungsform widerstandsfähig gegen Lasten bis mindestens 20 kgρ, während der herkömmliche Kon­ densator nur Lasten von 5 bis 10 kgρ aushielt.

Messung des äquivalenten Serienwiderstandes bei hohen Fre­ quenzen

Der äquivalente Serienwiderstand der Probe bei hohen Fre­ quenzen (100 KHz) (Hochfrequenz ESR) wurde gemessen.

Messung der Feuchtigkeitswiderstandseigenschaften

Die Probe wurde in einem Raum von konstanter Luftfeuchtig­ keit (85°C, 25%) belassen. Die Kapazität C zum Startzeit­ punkt des Testes und die Kapazitätsänderung ΔC nach 500 Stunden wurden gemessen, um die Kapazitätsänderungsrate ΔC/C zu erhalten.

Thermischer Schocktest

Die Ergebnisse eines Temperaturzyklustests (-55°C, 30 Mi­ nuten; 125°C, 30 Minuten) sind in Tabelle 1 gezeigt.

Ein Festkörperelektrolytkondensator hat den fatalen Fehler, daß er durch einen Kurzschluß durchbrennt, wenn seine Oxid­ film (Ta₂O₅) -Schicht 11 gebrochen wird durch Spannungen, die durch Temperaturänderungen verursacht sind. Spannungs­ widerstandseigenschaften des Kondensators können herausge­ funden werden durch Untersuchung, bei welchem Ausmaß von thermalen Schocks der Kondensator in den Kurzschlußzustand aufgrund einer Änderung der elektrischen Eigenschaften im thermischen Schocktest gebracht wird.

Fig. 4A bis 4I zeigen den Herstellungsprozeß eines Fest­ körperelektrolytkondensators, welcher eine zweite Ausfüh­ rungsform der vorliegenden Erfindung ist.

Die Beschreibung der Verfahrensschritte der Fig. 4A bis 4D wird ausgelassen, da diese Schritte die gleichen sind, wie von Fig. 3A bis 3D.

Wie oben erwähnt, ist es unmöglich, die Polypyrrolschicht 50 elektrisch auf der zweiten Mangandioxidschicht 20 auszu­ bilden, da die Tantalpentoxidschicht 11, welche ein Isola­ tor ist, zwischen dem Draht 5 und der ersten und zweiten Mangandioxidschicht 12 und 20 ausgebildet ist. Deshalb ist es nötig, um sie elektrisch auszubilden, daß die zweite Mangandioxidschicht 20 eine Anode sein muß. In dieser Aus­ führungsform wurde eine erste Graphitschicht 31 ausgebildet wie in Fig. 4E gezeigt, durch Eintauchen des Sinterkörpers tief in eine Graphitlösung, bis der Draht 5 eingetaucht ist. Als Folge wird ein Effekt erzielt, der ähnlich ist dem, der erzielt wird durch die Aufbringung der leitfähigen Paste 6 im ersten Ausführungsbeispiel.

Dann wird, wie in Fig. 4F gezeigt, die Polypyrrolschicht 50 mit einer Dicke von etwa 30 µm ausgebildet durch eine elek­ trolytische Oxidationspolymerisation ähnlich der ersten Ausführungsform (Fig. 3F und 3G).

Nach der Ausbildung der Polypyrrolschicht 50 wurde der Teil der ersten Graphitschicht 31, der der Polypyrrolschicht 50 ausgesetzt war und in Kontakt mit dem Draht 5 war und die zweite Mangandioxidschicht 20 mit einer Pinzette entfernt. Die Graphitschicht 31 kann durch Benutzung eines herkömmli­ chen physikalischen oder chemischen Prozesses entfernt wer­ den, ähnlich der Entfernung der leitfähigen Paste 6 in der ersten Ausführungsform. Sie kann jederzeit entfernt werden, so lange sie entfernt wird, nachdem die Polypyrrolschicht 50 ausgebildet ist.

Zuletzt, wie in Fig. 4I gezeigt, wurde eine zweite Graphit­ schicht 32 in ähnlicher Weise die die Graphitschicht 30 der ersten Ausführungsform ausgebildet (Fig. 3I) und die Sil­ berschicht 40 wurde in gleicher Weise wie beim ersten Aus­ führungsbeispiel (Fig. 3I) ausgebildet.

Als Ergebnis der Durchführung der oben erwähnten Leistungs­ tests für Festkörperelektrolytkondensatoren nach der oben beschriebenen Methode, wurden die gleichen Ergebnisse wie für die erste Ausführungsform erhalten.

Die zweite Graphitschicht 32 wurde innerhalb der Silber­ schicht 40 ausgebildet, um den Kontaktwiderstand zur Poly­ pyrrolschicht 50 zu reduzieren, ähnlich wie in der ersten Ausführungsform.

Die Fig. 5A bis 5H zeigen ein Herstellungsverfahren eines Festkörperelektrolytkondensators, welcher eine dritte Aus­ führungsform der Erfindung ist.

Eine Beschreibung der Verfahren von Fig. 5A bis 5D wird weggelassen, da die Schritte die gleichen sind, wie in den Fig. 3A bis 3D.

Während bei der ersten und zweiten Ausführungsform die Po­ lymerisation des Pyrrols durch elektrolytische Oxidations­ polymerisation durchgeführt wurde, wurde sie in dieser Aus­ führungsform durch die nachbeschriebene chemische Polymeri­ sationsmethode durchgeführt.

Zuerst wurde, nachdem die zweite Manganschicht 20, wie in Fig. 5D gezeigt, ausgebildet worden war, der Sinterkörper bei 252,5°C für fünf Minuten in eine elektrolytische Lö­ sung 7 ähnlich der der ersten Ausführungsform eingetaucht, wie in Fig. 5E gezeigt. Dann, wie in Fig. 5F gezeigt, wurde er bei 50°C für dreißig Minuten in Schwefelsäureat­ mosphäre A polymerisiert. Die Atmosphäre ist nicht begrenzt auf Schwefelsäureatmosphäre. Jede Atmosphäre kann benutzt werden, solang sie eine saure Umgebung ist. "Saure Umge­ bung" meint "saure Atmosphäre" in der Gasphase und "saure Lösung" in der flüssigen Phase. Die vorbeschriebene Imprä­ gnation und Polymerisation wurde ein oder mehrere Male wie­ derholt, um die Polypyrrolschicht 50 mit einer Dicke von ungefähr 30 µm auszubilden (Fig. 5G).

Da der Widerstand der ausgebildeten Polypyrrolschicht 50 höher ist, als der der Polypyrrolschicht, die durch elek­ trolytische Oxidationspolymerisation ausgebildet ist, wird die Polymerisation vorzugsweise durch elektrolytische Oxi­ dationspolymerisation durchgeführt.

Zuletzt, wie in Fig. 5H gezeigt, werden die Graphitschicht 30 und die Silberschicht 40 in gleicher Weise wie in der ersten Ausführungsform ausgebildet (Fig. 3I).

Als Resultat der Durchführung der oben beschriebenen Lei­ stungstests für den nach der oben beschriebenen Methode hergestellten Festkörperelektrolytkondensator, wurden die gleichen Resultate erzielt wie für die erste Ausführungs­ form.

Auch wenn in den oben beschriebenen Ausführungsformen der Elektrolyt aus Mangandioxid besteht, kann ein metallisches Oxid wie Bleioxid oder Lithiumoxid statt des Mangandioxids verwendet werden. Wenn diese metallischen Oxide verwendet werden, um eine metallische Oxidschicht zu bilden, wurden Ergebnisse erhalten, welche die gleichen waren, wie die, bei denen Mangandioxid benutzt wurde.

Tabelle 1

Claims (7)

1. Festkörperelektrolytkondensator, gekennzeichnet durch: einen Sinterkörper (10) aus Ventilmetall;
eine Metalloxidschicht (20), die auf der Oberfläche des Sinterkörpers vorgesehen ist; und
eine leitfähige Hochpolymerschicht (50), die auf der Oberfläche der Metalloxidschicht (20) angeordnet ist.

2. Kondensator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Hochpolymerschicht eine Polypyrrol­ schicht (50) ist.

3. Kondensator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Oxidschicht eine Mangandioxid­ schicht (12, 20) ist.

4. Festkörperelektrolytkondensator, gekennzeichnet durch
eine Sinterkörperschicht (15) mit einem Tantal-Sinter­ körper (10) mit einem Anschluß (5) und einer ersten Mangandioxidschicht (12), die auf dem Tantal-Sinterkör­ per (15) ausgeformt ist;
eine zweite Mangandioxidschicht (20), die auf der Ober­ fläche der Sinterkörperschicht (15) ausgebildet ist;
eine leitfähige Hochpolymerschicht (50), die auf der Oberfläche der zweiten Mangandioxidschicht (20) ausge­ formt ist;
eine Graphitschicht (30), die auf der Oberfläche der leitfähigen Hochpolymerschicht (50) angeordnet ist; und
eine metallische Schicht (40), die auf der Oberfläche der Graphitschicht ausgeformt ist.

5. Verfahren zum Herstellen eines Festkörperelektrolytkon­ densators, bei welchem ein dielektrischer Film auf einer Oberfläche eines Sinterkörpers (10) ausgebildet ist, welcher einen Anschluß (5) aufweist und aus Ventilme­ tall besteht, und eine metallische Oxidschicht (20) auf dem dielektrischen Film ausgebildet ist, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine leitfähige Paste (6) auf dem An­ schluß (5) aufgebracht wird und eine leitfähige Hochpo­ lymerschicht (50) auf der metallischen Oxidschicht (20) ausgebildet wird durch Durchführung einer elektrolyti­ schen Oxidationspolymerisation durch elektrisches Ver­ binden des Anschlusses (5) mit der metallischen Oxid­ schicht (20) über die leitfähige Paste (6).

6. Verfahren zum Herstellen eines Festkörperelektrolytkon­ densators, bei welchem ein dielektrischer Film auf einer Oberfläche eines Sinterkörpers (10) ausgebildet ist, welcher einem Anschluß (5) aufweist und aus Ventilme­ tall besteht, und eine metallische Oxidschicht (20) auf dem dielektrischen Film ausgebildet ist, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine Graphitschicht (31) ausgebildet wird auf dem Anschluß (5) und der metallischen Oxid­ schicht (20), und eine leitfähige Hochpolymerschicht (50) auf der Graphitschicht (31) ausgebildet wird durch Durchführung einer elektrolytischen Oxidationspolymeri­ sation durch elektrisches Verbinden des Anschlusses (5) mit der metallischen Oxidschicht (20) über die Graphit­ schicht (31).

7. Verfahren zur Herstellung eines Festkörperelektrolyt­ kondensators, bei welchem ein dielektrischer Film aus­ gebildet wird auf der Oberfläche eines Sinterkörpers (10), der ein Ventilmetall enthält und eine metallische Oxidschicht (20) auf dem dielektrischen Film ausgeformt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Sinterkörper (10), auf welchem die metallische Oxidschicht (20) aus­ gebildet ist, in eine elektrolytische Lösung (7), die ein Monomer enthält, welches das Grundmaterial eines leitfähigen Hochpolymers ist, eingetaucht wird und eine leitfähige Hochpolymerschicht (50) auf der metallischen Oxidschicht ausgebildet wird durch Durchführung einer Polymerisation in sauerer Umgebung (A).