DE4128439A1 - Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material - Google Patents

Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material

Info

Publication number
DE4128439A1
DE4128439A1 DE19914128439 DE4128439A DE4128439A1 DE 4128439 A1 DE4128439 A1 DE 4128439A1 DE 19914128439 DE19914128439 DE 19914128439 DE 4128439 A DE4128439 A DE 4128439A DE 4128439 A1 DE4128439 A1 DE 4128439A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
original
light source
contact
photosensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19914128439
Other languages
English (en)
Inventor
Hans-Joachim Dr Huf
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19914128439 priority Critical patent/DE4128439A1/de
Publication of DE4128439A1 publication Critical patent/DE4128439A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2002Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
    • G03F7/2008Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by the reflectors, diffusers, light or heat filtering means or anti-reflective means used
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B27/00Photographic printing apparatus
    • G03B27/02Exposure apparatus for contact printing
    • G03B27/14Details
    • G03B27/16Illumination arrangements, e.g. positioning of lamps, positioning of reflectors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
    • H05K3/0082Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Gerät zum Kontaktbelichten nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Beim Kontaktbelichten von lichtempfindlich beschichtetem Material, insbesondere von Offsetplatten, Flexodruckplatten, Leiterplatten und Folien kommt es zur Erzielung scharfer Konturen und genauer Abbildung sehr feiner Strukturen darauf an, einen möglichst engen Kontakt zwischen dem abzubildenden Original oder der Vorlage in Form beispielsweise eines Films und dem lichtempfindlich beschichteten Material herzustellen. Auf diese Weise werden Unterstrahlungen und damit Unschärfen minimiert, die durch von der Senkrechten abweichende Lichtanteile verursacht werden können. Ein seit langem angewendetes Verfahren benutzt einen Vakuumkopierrahmen, bei dem die ursprünglich zwischen der Vorlage und dem Kopiergut vorhandene Luft gleichmäßig abgesaugt wird. Der äußere Luftdruck preßt dabei die Vorlage mit maximal 1 Bar als Grenzwert auf das Kopiergut. Nachteilig hierbei ist, daß kein kontinuierliches Arbeiten im Durchlauf erreicht werden kann. Vielmehr muß immer erst nach dem Wechsel der Vorlage und des Kopiergutes, also des lichtempfindlich beschichteten Materials erst wieder die Luft möglichst weitgehend abgesaugt werden.
Ein anderes bekanntes Verfahren, das vorzugsweise in der Leiterplattenherstellung benutzt wird, verzichtet auf den Kontakt und sieht statt dessen einen definierten Abstand zwischen der Vorlage und der Leiterplatte vor. Dann muß aber sehr genau darauf geachtet werden, daß das eingestrahlte Licht überall senkrecht auftrifft und nur einen geringen Streulichtanteil hat.
Es ist auch bereits ein Verfahren bekannt (DE-PS 29 44 312) mit dem ein kontinuierliches Belichten von lichtempfindlich beschichtetem Material im Durchlauf möglich ist. Hierbei wird beim Durchlauf durch die Belichtungseinrichtung die Luft zwischen der Vorlage und dem lichtempfindlich beschichteten Material mit hohem Flächendruck herausgewalzt und so der nötige Kontakt hergestellt. Die Vorlage und das beschichtete Material werden dann plan aufeinander gepreßt unter einer Lichtquelle vorbeitransportiert.
Zum Belichten verwendet man bei den bekannten Verfahren und Vorrichtungen vorzugsweise Quecksilberdampf-Hochdrucklampen, die mit Gallium und/oder Eisen dotiert sind. Das Emissionsspektrum solcher Lampen ist bekannt. Sie liefern Anteile hoher Intensität im Wellenlängenbereich von 360 bis 420 nm, welche nötig ist, um kurze Belichtungszeiten für das lichtempfindliche Material zu erreichen, das in diesem Wellenlängenbereich besonders empfindlich ist.
In der Praxis treten bei den Belichtungsgeräten immer noch Ungenauigkeiten auf, insbesondere dann, wenn in bekannter Weise im Durchlauf gearbeitet wird. Es wurden umfangreiche Versuche unternommen, um solche Ungenauigkeiten bzgl. der Konturenschärfe insgesamt und auch an einzelnen Fehlerstellen möglichst vollständig zu beseitigen. So wurden die zum Anpassen verwendeten Rollen hinsichtlich ihrer Durchmesser, der Schore- Härte ihres Gummi- oder Kunststoffbelages verändert. Weitere Versuche betrafen unterschiedliche Durchlaufgeschwindigkeiten sowie auch die Verwendung von Andruckscheiben mit Markierungen unterschiedlicher Rauhtiefe. Es ließen sich zwar kleine Verbesserungen erzielen, in der Hauptsache blieben die Ungenauigkeitsprobleme jedoch ungelöst. Der Erfindung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, ein Gerät der eingangs definierten Art so zu verbessern, daß insbesondere im Durchlaufbetrieb Ungenauigkeiten bzgl. der Konturenschärfe und der gleichmäßigen Belichtung möglichst vollständig beseitigt werden. Der Lösung der Aufgabe liegt die Erkenntnis zugrunde, daß die beobachteten Störungen und Ungenauigkeiten durch Infrarotanteile des von den Quecksilberdampf-Hochdrucklampen abgestrahlten Lichtes verursacht werden. Demgemäß sieht die Lösung der Aufgabe vor, daß solche Infrarotanteile vor dem Auftreffen des Lichtes auf das lichtempfindliche Material entfernt werden.
Für die wesentliche Verbesserung der Kopierqualität nach Entfernen der Infrarotanteile sind offenbar Veränderungen der fotoempfindlichen Schicht durch die Infrarot-Wärmestrahlung verantwortlich.
Für die praktische Verwirklichung der Erfindung bestehen in ihrer Weiterbildung mehrere Möglichkeiten. So kann vorgesehen sein, daß die Einrichtung zur Entfernung von Infrarotanteilen eine oder auch mehrere, hintereinander angeordnete Filterscheiben aufweist. Solche Filterscheiben, die Infrarotlicht absorbieren, ultraviolettes Licht dagegen durchlassen, sind bekannt. Die in den Filterscheiben durch die Infrarotabsorption erzeugte Wärme läßt sich auf einfache Weise durch Luftstrom abführen.
Eine andere Möglichkeit in Verbindung mit einem im Strahlengang der Lichtquelle angeordneten Umlenkspiegel besteht darin, den Umlenkspiegel mit einer für Infrarotlicht transparenten, Ultraviolettlicht reflektierenden Schicht zu versehen. Es kann auch vorgesehen sein, daß der üblicherweise vorhandene Reflektor der Lichtquelle mit einer für Infrarotlicht transparenten, Ultraviolettlicht reflektierenden Schicht versehen ist. Die drei vorstehend aufgezeigten Möglichkeiten lassen sich auch in Kombination anwenden. Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 schematisch das Prinzip der Kontaktbelichtung;
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel für ein Gerät nach der Erfindung, bei dem der Infrarotanteil durch Filterscheiben entfernt wird;
Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel für ein Gerät nach der Erfindung, bei dem der Infrarotanteil durch einen infrarotdurchlässigen Umlenkspiegel beseitigt wird.
Fig. 1 zeigt schematisch den Belichtungsvorgang einer empfindlich beschichteten Platte, die auf einem Aluminiumträger 1 eine insbesondere für ultraviolettes Licht empfindliche Beschichtung 2 üblicher Art besitzt. Auf die Platte 1 mit ihrer Beschichtung 2 ist im Kontakt die Vorlage in Form eines Films 3 aufgelegt, der die zu übertragenden, schematisch dargestellten Bildpunkte 5 in einer in üblicher Weise auf fototechnischem Weg erzeugten Schicht 4 enthält. Die Belichtung erfolgt möglichst senkrecht mit ultraviolettem Licht, das durch Pfeile 6 symbolisiert ist. Zur Erzielung scharfer Abbildungskonturen der Bildpunkte 5 in der lichtempfindlichen Schicht 2 muß ein möglichst enger Kontakt zwischen dem lichtempfindlichen Material oder Kopiergut 1, 2 einerseits und der Vorlage oder dem Original 3, 4 andererseits hergestellt werden.
Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, wobei nur die für das Verständnis erforderlichen Teile dargestellt sind. Das Kopiergut 1, 2 zusammen mit der aufgelegten Vorlage 3, 4 (beide nur schematisch gezeigt) läuft kontinuierlich in Richtung des Pfeiles über ein Transportband 8, das über Walzen 9 geführt und angetrieben ist. Im Bereich des Kopiergutes 1, 2 ist eine plane Auflage 10 vorgesehen. Weitere, auf dem Original 3, 4 aufliegende Walzen 11 sorgen zusammen mit einer transparenten Andruckscheibe 12 für einen guten Kontakt zwischen dem Kopiergut 1, 2 und der Vorlage 3, 4 während des Durchlaufes.
Das für die Belichtung erforderliche Ultraviolettlicht liefert eine Quecksilberdampf-Hochdrucklampe 13, die in einem Reflektor 14 angeordnet ist. Zur Beseitigung der Infrarotanteile des abgestrahlten Lichtes sind zwischen der Lichtquelle 13, 14 und der Andruckscheibe 12 zwei Filterscheiben 15 vorgesehen, die ultraviolettes Licht durchlassen, infrarotes Licht dagegen absorbieren. Eine Kühlung der Filterscheiben 15 kann durch einen zwischen ihnen hindurchgeführten Luftstrom erreicht werden. Die für die Lichtquelle 13, 14 erforderliche Kühlung ist ebenfalls nicht dargestellt.
Nach dem Durchlaufen des Belichtungsgerätes wird das Kopiergut 1, 2 einer nur schematisch gezeigten Entwicklungsvorrichtung 16 zugeführt, nachdem die Vorlage 3, 4 abtrennt wurde.
Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 entspricht in wesentlichen Teilen dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2, so daß die gleichen Bezugsziffern für gleiche Teile verwendet werden. Die Lichtquelle 13, 14 strahlt abweichend von dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 nicht von oben auf das Kopiergut, sondern liefert eine horizontale Lichtstrahlung, die über einen unter 45° geneigten Umlenkspiegel 17 auf das Kopiergut 3, 4 gerichtet wird. Der Umlenkspiegel 17 ist für Infrarotlicht durchlässig, wie die gestrichelt dargestellten Pfeile 18 andeuten. Ultraviolettes Licht wird hingegen reflektiert und belichtet das Kopiergut 1, 2. Zusätzlich kann eine Filterscheibe 15 vorgesehen sein, die schon einen Teil des infraroten Lichtes ausfiltert.

Claims (4)

1. Gerät zum Kontaktbelichten von lichtempfindlich beschichtetem Material (1, 2) in Form von Platten, Folien oder dergleichen mit einer Auflage (10) und einer Anpreßvorrichtung (8, 9, 11, 12) für das lichtempfindlich beschichtete Material (1, 2) in Kontakt mit einem Original (3, 4) und einer ultraviolettes Licht abstrahlenden Lichtquelle (13, 14), die das lichtempfindlich beschichtete Material (1, 2) durch das Original (3, 4) hindurch belichtet, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (15, 17), die Infrarotanteile des von der Lichtquelle (13, 14) abgestrahlten Lichtes vor dem Auftreffen auf das lichtempfindlich beschichtete Material (1, 2) entfernt.
2. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Entfernung von Infrarotanteilen eine oder mehrere, hintereinander angeordnete Filterscheiben (15) aufweist.
3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, mit einem im Strahlengang der Lichtquelle (13, 14) angeordneten Umlenkspiegel (17), dadurch gekennzeichnet, daß der Umlenkspiegel (17) mit einer für Infrarotlicht transparenten, ultraviolettes Licht reflektierenden Schicht versehen ist.
4. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle einen Reflektor (14) aufweist, der mit einer für Infrarotlicht transparenten, ultraviolettes Licht reflektierenden Schicht versehen ist.
DE19914128439 1991-08-27 1991-08-27 Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material Withdrawn DE4128439A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914128439 DE4128439A1 (de) 1991-08-27 1991-08-27 Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914128439 DE4128439A1 (de) 1991-08-27 1991-08-27 Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4128439A1 true DE4128439A1 (de) 1993-03-04

Family

ID=6439254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19914128439 Withdrawn DE4128439A1 (de) 1991-08-27 1991-08-27 Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4128439A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19545821A1 (de) * 1995-12-08 1997-06-12 Friedrich Dipl Ing Luellau Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten
DE19944761A1 (de) * 1999-09-17 2001-03-22 Basys Print Gmbh Systeme Fuer Vorrichtung und Verfahren zur wellenlängenabhängigen Lichtauskupplung

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2806887A1 (de) * 1977-02-17 1978-08-24 Toppan Printing Co Ltd Verfahren zur herstellung einer druckplatte nach einem mikrofilmnegativ
DE3340653A1 (de) * 1983-11-10 1985-05-23 Hans 6250 Limburg Haus Vorrichtung zum gleichzeitigen oder aufeinanderfolgenden belichten von, auf beide seiten von leiterplatten o. dgl. aufgelegten ebenen kopiervorlagen
DE8907322U1 (de) * 1989-05-18 1989-08-31 Brömmelstroet, Henk te, Dipl.-Ing., 3362 Windhausen Projektionsapparat zur Herstellung von Druckformen der Reproduktionstechnik

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2806887A1 (de) * 1977-02-17 1978-08-24 Toppan Printing Co Ltd Verfahren zur herstellung einer druckplatte nach einem mikrofilmnegativ
DE3340653A1 (de) * 1983-11-10 1985-05-23 Hans 6250 Limburg Haus Vorrichtung zum gleichzeitigen oder aufeinanderfolgenden belichten von, auf beide seiten von leiterplatten o. dgl. aufgelegten ebenen kopiervorlagen
DE8907322U1 (de) * 1989-05-18 1989-08-31 Brömmelstroet, Henk te, Dipl.-Ing., 3362 Windhausen Projektionsapparat zur Herstellung von Druckformen der Reproduktionstechnik

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19545821A1 (de) * 1995-12-08 1997-06-12 Friedrich Dipl Ing Luellau Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten
DE19944761A1 (de) * 1999-09-17 2001-03-22 Basys Print Gmbh Systeme Fuer Vorrichtung und Verfahren zur wellenlängenabhängigen Lichtauskupplung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2755047C2 (de)
DE2915899A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ueberpruefung von koerpern, die eine vielzahl von die koerper durchsetzenden, parallelen kanaelen haben
DE3734097C2 (de)
DE69305584T2 (de) Gerät und Verfahren zum Eliminieren von Feedback-Rauschen beim thermischen Laserdrucken
DE3876452T2 (de) Optisches system fuer lasermarkierung.
DE69206983T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur belichtung lichtempfindlichen materials mittels eines kopiergerätes, welches mit einer vertikal beweglichen laser-einheit ausgerüstet ist
DE4128439A1 (de) Geraet zum kontaktbelichten von lichtempfindlichem material
DE3236384A1 (de) Belichtungsvorrichtung, insbesondere fuer ein kopiergeraet
DE2846190A1 (de) Vorrichtung zum verarbeiten einer fingerabdruck betreffenden information
CH623272A5 (de)
DE1114658B (de) Einrichtung zur optischen Abtastung von Aufzeichnungstraegern
DE3209725A1 (de) Vorrichtung zur verhinderung des verwerfens lithographischer druckplatten
DE2027776C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Bildern und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE60110474T2 (de) Vorrichtung zur Lasermarkierung von Erkennungszeichen auf einer Lichtempfindlichen Bahn
DE2938638A1 (de) Kontaktkopierverfahren sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
EP0044454B1 (de) Korrekturfilter für die Belichtung von Leuchtstoffschirmen für Farbbildröhren und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2932944C2 (de) Beleuchtungseinrichtung für Fotosatzgeräte oder -maschinen
DE634308C (de) Verfahren zur Herstellung von positiven Reflexkopien unter Verwendung positiv kopierender Diazotypschichten
AT271196B (de) Verfahren zum Herstellen gerasterter photographischer Abbildungen
EP0505865B1 (de) Verfahren zur Belichtung von Druckplatten
DE1547973C3 (de) Vorrichtung für die kontinuierliche Teilbelichtung lichthärtbarer Schichten auf der Rückseite eines Rasterfilmbandes im Rahmen der Überführung des Filmbandes in ein photographisches Mehrfarbenraster
DE676577C (de) Einrichtung zum Kontaktkopieren von Linsenrasterfilm auf Linsenrasterfilm
DE443609C (de) Verfahren zur drahtlosen UEbertragung von Schriftstuecken
DE1522791A1 (de) Photographischer Kontaktdrucker
DE685064C (de) Verfahren zur Herstellung und Wiedergabe von Linsenrasterfarbaufnahmen

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee