DE4118466C2 - Temperatursensor - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Temperatursensor
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Insbesondere be
zieht sich die Erfindung auf einen Temperatursensor, der den
Temperaturkoeffizienten eines durch einen Widerstand gebil
deten Widerstandswertes benutzt.
Ein Temperatursensor, der bezüglich des Gegenstandes der
vorliegenden Erfindung von Interesse ist, besteht aus einem
isolierenden, keramischen Substrat, das ein Widerstands
muster trägt. Da das Widerstandsmuster aus einem Material
besteht, welches einen geeigneten Temperaturkoeffizienten
des Widerstandswertes aufweist, ist es möglich, Temperatur
änderungen als Änderungen des Widerstandswertes des Wider
standsmusters zu erfassen.
Allgemein besteht das Material für Widerstandsmuster eines
derartigen Temperatursensors hauptsächlich aus einem Edel
metall, wie beispielsweise Platin. Beispielsweise kann eine
Paste, die ein derartiges Edelmetall enthält, verwendet
werden, um das Widerstandsmuster auf dem isolierenden Sub
strat mittels Drucken aufzubringen, woraufhin das Wider
standsmuster eingebrannt wird. Jedoch hat ein derartiges
Edelmetall, wie beispielsweise Platin, den Nachteil, daß es
sehr teuer ist.
Die DE 38 29 764 A1 zeigt einen Platin-Temperatursensor in Form
eines vielschichtigen keramischen Produktes mit mehrlagigen,
mit einander in Reihe geschalteten Widerstandsmustern.
Die DE 28 39 887 A1 zeigt ein temperaturempfindliches Element
für ein Widerstandsthermometer mit einem Substrat aus einem
elektrisch nicht leitenden Material, auf dem ein Pfad aus
einem elektrisch leitenden Material angeordnet ist, der eine
gegen chemische Reduktion widerstandsfähige Phase aus Glas
aufweist, die mit elektrisch leitenden Partikeln beladen
ist.
Die US 3 781 749 zeigt ein Widerstandsthermometerelement
mit einem Substrat, auf dem Widerstandsbahnen aus Nickel
angeordnet sind.
Die US 35 75 053 zeigt einen linearen Temperatursensor,
der ein Magnesium und ein Nickel Element, die seriell
verbunden sind, aufweist, die in einem Epoxidharz-Dünnfilm
eingekapselt sind.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegen
den Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, einen kostengün
stigen Temperatursensor zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch einen Temperatursensor gemäß Pa
tentanspruch 1 und Patentanspruch 2 gelöst.
Erfindungsgemäß wurde versucht, das Grundmaterial für ein
Widerstandsmuster aus einem kostengünstigen Basismetall zu
schaffen.
Ein typisches, kostengünstiges Basismetall ist Kupfer.
Kupfer hat jedoch lediglich einen geringen Widerstandswert
von ρ = 1,72 µΩcm bei 20°C, obwohl dessen Temperaturkoeffi
zient einen relativ hohen Wert von 4.330 ppm/°C aufweist.
Bei diesem Material ist es erforderlich, das Brennen in
einer gesteuerten Atmosphäre, wie beispielsweise einer
Stickstoffatmosphäre, durchzuführen, da dieses Material in
der Luft leicht oxidiert. Daher wurde Kupfer bislang bei
sehr begrenzten Anwendungsgebieten lediglich in Spulenform
eingesetzt.
Die obigen Ausführungen gelten gleichfalls für Nickel.
Die Erfindung ermöglicht die Verwendung von Kupfer oder
Nickel für ein Widerstandsmuster in einem Temperatursensor,
der ein isolierendes Substrat und ein darauf ausgebildetes
Widerstandsmuster hat.
Gemäß einem ersten Aspekt umfaßt der erfindungsgemäße
Temperatursensor ein keramisches, geschichtetes Produkt mit
vielschichtiger Struktur, welche aus einer Mehrzahl von
keramischen Schichten mit jeweiligen Hauptflächen gebildet
ist; eine Mehrzahl von Widerstandsmustern, welche auf den
ersten Hauptflächen der Mehrzahl von keramischen Schichten
angeordnet sind; eine leitfähigen Verbindungseinrichtung für
die serielle Verbindung der Mehrzahl von Widerstandsmustern
miteinander, wobei ein Abschnitt der Verbindung sich durch
die keramischen Schichten erstreckt; und Anschlüsse, die mit
den beiden Enden der in Reihe geschalteten Mehrzahl von Wi
derstandsmustern verbunden sind, wobei die Widerstandsmuster
aus Kupfer bestehen, und die keramischen Schichten eines der
folgenden Materialien aufweisen:
BaO · SiO₂ · Al₂O₃ · CaO · B₂O₃; oder
Al₂O₃ · CaO · SiO₂ · MgO · B₂O₃; oder
Cordierit; oder
ZnO · MgO · Al₂O₃ · SiO₂; oder
SiO₂ · B₂O₃-Glas und Al₂O₃.
Al₂O₃ · CaO · SiO₂ · MgO · B₂O₃; oder
Cordierit; oder
ZnO · MgO · Al₂O₃ · SiO₂; oder
SiO₂ · B₂O₃-Glas und Al₂O₃.
Gemäß einem zweiten Aspekt umfaßt der erfindungsgemäße
Temperatursensor ein keramisches, geschichtetes Produkt mit
vielschichtiger Struktur, welche aus einer Mehrzahl von
keramischen Schichten mit jeweiligen Hauptflächen gebildet
ist; eine Mehrzahl von Widerstandsmustern, welche auf den
ersten Hauptflächen der Mehrzahl von keramischen Schichten
angeordnet sind; eine leitfähigen Verbindungseinrichtung für
die serielle Verbindung der Mehrzahl von Widerstandsmustern
miteinander, wobei ein Abschnitt der Verbindung sich durch
die keramischen Schichten erstreckt; und Anschlüsse, die mit
den beiden Enden der in Reihe geschalteten Mehrzahl von Wi
derstandsmustern verbunden sind, wobei die Widerstandsmuster
aus Nickel bestehen, und die keramischen Schichten eines der
folgenden Materialien aufweisen:
TiO₂ · BaO · CaO · ZrO₂; oder
(BaxCa1-x)yZrO₃ + zMnO₂, wobei
0 < x < 0,20
0,85 < y < 1,30
0.005 < z < 0,08; oder
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · TiO₂, wobei
1,005 m 1,03
0,02 x 0,22
0,05 y 0,35; oder
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · (Ti1-zZrz)O₂, wobei
1,005 m 1,03
0,02 x 0,22
0,05 y 0,35
0,00 < z 0,20.
(BaxCa1-x)yZrO₃ + zMnO₂, wobei
0 < x < 0,20
0,85 < y < 1,30
0.005 < z < 0,08; oder
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · TiO₂, wobei
1,005 m 1,03
0,02 x 0,22
0,05 y 0,35; oder
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · (Ti1-zZrz)O₂, wobei
1,005 m 1,03
0,02 x 0,22
0,05 y 0,35
0,00 < z 0,20.
Vorzugsweise besteht der leitfähige Pfad bzw. die leitfähige
Verbindung für die Serienschaltung der Mehrzahl von Wider
standsmustern zumindest teilweise aus leitfähigen Verbin
dungsstrukturen, wie beispielsweise aus Löchern oder Durch
gangslöchern, die sich durch die keramischen Schichten er
strecken.
Erfindungsgemäß werden eine Mehrzahl von Widerstandsmustern
in einem gestapelten Zustand angeordnet, um den nachteiligen
geringen Widerstandswert des Grundmaterials zu kompensieren,
wobei die jeweiligen Widerstandsmuster in Reihenschaltung
miteinander verbunden werden.
Daher werden erfindungsgemäß für die Widerstands
muster Kupfer oder
Nickel ausgewählt, wodurch es möglich ist, einen Tempera
tursensor mit niedrigen Kosten zu schaffen.
Ferner sind die Mehrzahl von Widerstandsmustern, die in
Reihenschaltung miteinander verbunden sind, um den durch das
Kupfer oder Nickel gelieferten Widerstandswert zu erhöhen, in
einem gestapelten Zustand angeordnet, wodurch die Elemente
größe im Gegensatz zu einem Fall, bei dem lediglich eine
lange Widerstandsschaltung zur Erhöhung des Widerstandswer
tes gebildet wird, nicht erhöht wird.
Durch Verbinden der Mehrzahl von Widerstandsmustern miteinander durch
leitfähige Verbindungen, wie beispielsweise Löcher oder
Durchgangslöcher, die sich durch die keramischen Schichten
erstrecken, ist es möglich, die elektri
sche Verbindung der Mehrzahl von Widerstandsmustern aus
schließlich in dem Inneren des keramischen, geschichteten
Produktes vorzunehmen. Daher ist es möglich, auf kompakte
Weise den Temperatursensor zu erzeugen, der ein derartiges
geschichtetes keramisches Produkt umfaßt.
Der erfindungsgemäße Temperatursensor wird vorzugsweise
durch Bilden von Widerstandsmustern aus
Kupfer oder Nickel auf grünen kerami
schen Schichten (ungebrannten Keramikschichten) durch Dick
filmdrucken, Stapeln einer derartigen Mehrzahl von kerami
schen grünen Schichten, Zusammenbringen der keramischen
grünen Schichten unter Druckkontakt und Brennen derselben
hergestellt. Da Kupfer
oder Nickel in der Luft leicht oxidiert, werden die grünen
keramischen Schichten in einer reduzierenden oder neutralen
Atmosphäre, wie beispielsweise einer Stickstoffatmosphäre,
gebrannt.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung der äußeren Gestalt
eines Temperatursensors gemäß einem Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine perspektivische Explosionsdarstellung, welche
die einzelnen keramischen Schichten darstellt, die
das geschichtete, keramische Produkt bilden, welches
in dem Temperatursensor gemäß Fig. 1 enthalten ist;
Fig. 3 Änderungen des Widerstandswertes aufgrund von Tempe
raturveränderungen, welche experimentell anhand von
Beispielen erhalten wurden;
Fig. 4 Verhältnisse der Widerstandswerte bei bestimmten
Temperaturen bezogen auf die Widerstandswerte bei
der Temperatur 0°C bei experimentell erhaltenen
Probenkörpern; und
Fig. 5 Temperaturkoeffizienten des Widerstandswertes bei
jeweiligen Temperaturen bei experimentell erhaltenen
Probenkörpern.
Fig. 1 ist eine perspektivische Darstellung der äußeren Ge
stalt des Temperatursensors 1 gemäß einem
Ausführungsbeispiel. Fig. 2 ist eine perspektivische Explo
sionsdarstellung von einzelnen keramischen Schichten 3, die
ein keramisches, geschichtetes Produkt 2 bilden, welches in
dem Temperatursensor 1 gemäß Fig. 1 enthalten ist.
Wie in Fig. 2 gezeigt ist, hat das keramische, geschichtete
Produkt 2 eine vielschichtige Struktur, die aus einer Mehr
zahl von keramischen Schichten 3 gebildet ist.
Die keramischen Schichten 3 werden in Abhängigkeit von den
auf ihren Hauptflächen ausgebildeten Mustern in vier Typen
einklassifiziert. In der Fig. 2 sind die vier Typen von ke
ramischen Schichten 3 mit den Bezugszeichen 3a, 3b, 3c und
3d bezeichnet.
Ein mäanderförmiges Widerstandsmuster 4a ist auf einer
Hauptfläche einer jeden keramischen Schicht 3a ausgebildet.
Ein Steg 5a ist zur Verbindung mit einem Ende des Wider
standsmusters 4a ausgebildet, während ein weiterer Steg 6a
zur Verbindung mit dessen anderem Ende ausgebildet ist. Ein
Durchgangsloch 7a ist in diesem Steg 6a erzeugt. Wiederum
ein weiterer Steg 8a ist unabhängig von dem Widerstandsmu
ster 4a und den Stegen 5a, 6a gebildet. Ein Durchgangsloch
9a ist in diesem Steg 8a vorgesehen.
Ein mäanderförmiges Widerstandsmuster 4b ist auf einer
Hauptfläche einer jeden keramischen Schicht 3b gebildet. Ein
Steg 5b ist für eine Verbindung mit einem Ende des Wider
standsmusters 4b ausgebildet, während ein weiterer Steg 6b
zur Verbindung mit dessen anderen Ende ausgebildet ist. Ein
Durchgangsloch 7b ist in dem Steg 5b erzeugt. Wiederum ein
weiterer Steg 8b ist unabhängig von dem Widerstandsmuster 4b
und den Stegen 6b, 5b vorgesehen. Ein Durchgangsloch 9b ist
in diesem Steg 8b vorgesehen.
Ein mäanderförmiges Widerstandsmuster 4c ist auf einer
Hauptfläche der keramischen Schicht 3c vorgesehen. Ein Steg
5c ist zur Verbindung mit einem Ende des Widerstandsmusters
4c ausgebildet, während ein weiterer Steg 6c zur Verbindung
mit dessen anderen Ende vorgesehen ist. Ein Durchgangsloch
9c ist in diesem Steg 6c vorgesehen.
Ein Steg 8d ist in der keramischen Schicht 3d erzeugt. Das
Durchgangsloch 9d ist in diesem Steg 8d vorgesehen.
Wie in Fig. 2 gezeigt ist, sind die Durchgangslöcher 7a ent
sprechend den Stegen 6b angeordnet, wie dies durch Pfeile 10
gezeigt ist, während die Durchgangslöcher 7b entsprechend
den Stegen 5a wie auch entsprechend dem Steg 5c angeordnet
sind, wie dies durch die Pfeile 11 bzw. 12 gezeigt ist. Die
Durchgangslöcher 9a, 9b, 9c 9d sind in einer Lagebeziehung
zueinander angeordnet, wie dies durch einen Pfeil 13 ver
deutlicht ist.
Die Widerstandsmuster 4a, 4b und 4c sind durch Dickfilm
drucken einer Paste erzeugt, die ein Grundmaterial, wie bei
spielsweise Kupfer oder Nickel enthält. Die Stege 5a bis 5c,
6a bis 6c, 8a und 8b werden gleichzeitig in einem derartigen
Druckverfahrensschritt erzeugt. Der Steg 8d wird gleichfalls
durch Dickschichtdrucken oder Dickfilmdrucken einer Paste,
die ein Grundmetall enthält, gebildet.
Bei diesem Druckverfahrensschritt unter Verwenden des Grund
metalles füllt die Grundmetallpaste gleichfalls die Durch
gangslöcher 7a, 7b und die Durchgangslöcher 9a bis 9d, wo
durch jeweils die andere Hauptfläche der keramischen Schich
ten 3a bis 3d erreicht wird. Wenn die Schichten 3a bis 3d in
der Reihenfolge 3a, 3b, 3a, 3b, . . ., 3c und 3d angeordnet
werden, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist, werden die Stege 6a
mit den Stegen 6b mittels der Durchgangslöcher 7a und die
Stege 5b mit den Stegen 5a oder dem Steg 5c mittels der
Durchgangslöcher 7b verbunden, wobei die Durchgangslöcher 9a
bis 9d eine Serie von leitfähigen Verbindungen festlegen.
Anstelle des Druckens der Grundmetallpaste oder zusätzlich
zu dem Drucken der Grundmetallpaste kann die Grundmetall
paste durch Vakuumansaugen oder mittels eines Werkzeuges,
wie beispielsweise einer Nadel, in die Durchgangslöcher 9a
bis 9d eingebracht werden, nachdem die keramischen Schichten
3a bis 3d aufeinander in der gewünschten Art gestapelt sind,
um eine Reihe leitfähiger Verbindungen durch die Durchgangs
löcher 9a bis 9d festzulegen.
In der Praxis werden diese Verfahrensschritte in dem soge
nannten grünen, ungebrannten Zustand der Keramikschichten 3a
bis 3d ausgeführt. Daher werden die keramischen Schichten 3a
bis 3d in Druckkontakt miteinander gebracht, nachdem diese
zunächst aufgestapelt und dann gebrannt wurden. Die Grund
metallpaste, die die Widerstandsmuster 4a bis 4c, usw.,
festlegt, wird gleichzeitig gebrannt.
Um ein solches gleichzeitiges Brennen des in den keramischen
Schichten 3a bis 3d enthaltenen keramischen Materials und
des Grundmetalles, das in den Widerstandsmustern 4a bis 4c,
usw., enthalten ist, zu ermöglichen, wird das keramische
Material, das in den keramischen Schichten 3a bis 3d enthal
ten ist, aus einer sich nicht reduzierenden bzw. aus einer
nicht schrumpfenden Keramik hergestellt, woraufhin die kera
mischen Schichten 3a bis 3d in einer gesteuerten Atmosphäre,
wie beispielsweise einer Stickstoffatmosphäre, gebrannt wer
den.
Auf diese Weise wird das in Fig. 1 gezeigte keramische, ge
schichtete Produkt 2 erhalten. Anschlußdrähte 14 und 15, die
als Anschlüsse zum Verbinden der Stege 5a und 8a dienen,
welche auf der oberen Fläche des keramischen, geschichteten
Produktes 2 ausgebildet sind, vervollständigen den Tempera
tursensor 1.
Eine (nicht dargestellte) Schutzschicht aus Harz oder Glas
kann vorgesehen sein, um das Widerstandsmuster 4a gegen
Feuchtigkeit, Staub und dergleichen zu schützen, welches auf
der Oberfläche des keramischen, geschichteten Produktes 2
erscheint.
Bei dem oben genannten Temperatursensor 1 sind eine Mehrzahl
von Widerstandsmustern 4a, 4b und 4c miteinander in Reihe
geschaltet. Die Leitungsverbindung von dem Anschlußdraht 14
bis zu dem Anschlußdraht 15 erfolgt über den Steg 5a, der
mit dem Draht 14 verbunden ist, zu dem Steg 5a in der näch
sten keramischen Schicht 3a über das Widerstandsmuster 4a,
den Steg 6a, das Durchgangsloch 7a, den Steg 6b, das Wider
standsmuster 4b, den Steg 5b und das Durchgangsloch 7b, wo
bei diese Verbindung eine vorgegebene Anzahl von Malen wie
derholt wird, so daß das letzte Durchgangsloch 7b mit dem
Steg 5c verbunden ist. Dieser Steg 5c ist durch das Wider
standsmuster 4c und die Serie von Durchgangslöchern 9a bis
9d mit dem Steg 8a verbunden, welches mit dem anderen An
schlußdraht 15 verbunden ist.
Während die Durchgangslöcher 7a und 7b für die Serienver
bindung der Mehrzahl von Widerstandsmustern 4a bis 4c mit
einander verbunden werden und die Durchgangslöcher 9a bis 9d
zum Befestigen der Anschlußdrähte 14 und 15 auf der gleichen
Seite des keramischen gestapelten Produktes 2 in der be
schriebenen Weise verwendet werden, können diese leitfähigen
Verbindungen in Abweichung hiervon auch auf den Außenflächen
des geschichteten, keramischen Produktes 2 vorgesehen sein.
Obwohl die leitfähigen Verbindungen aus der gleichen Grund
metallpaste bestehen, aus der auch die Widerstandsmuster 4a
bis 4d bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel bevorzugt
ausgebildet sind, können die leitfähigen Verbindungen in
Abweichung hiervon auch aus einem Widerstandsmaterial oder
leitfähigen Material einer anderen Zusammensetzung bestehen.
Die Anschlußdrähte 14 und 15 können in Abweichung von dem
beschriebenen Ausführungsbeispiel auf unterschiedlichen
Oberflächen des geschichteten, keramischen Produktes 2 be
festigt sein. Beispielsweise kann der Anschlußdraht 15 auf
der unteren Fläche des geschichteten, keramischen Produktes
2 befestigt sein und nicht auf der in Fig. 1 gezeigten obe
ren Fläche. In diesem Fall kann ein Steg für den Anschluß zu
dem Anschlußdraht 15 auf der unteren Fläche der keramischen
Schicht 3d gemäß Fig. 2 in einer Lage, die dem Durchgangs
loch 9d entspricht, angeordnet sein. In diesem Fall ist es
weiterhin nicht notwendig, die Durchgangslöcher 9a und 9b
und die diesbezüglichen Stege 8a, 8b zu erzeugen.
Bei dem obigen Ausführungsbeispiel werden keramische Schich
ten 3a bis 3d, die bereits die vorbestimmte Größe haben,
aufeinandergestapelt, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist, um das
in Fig. 1 gezeigte gestapelte keramische Produkt 2 zu erhal
ten. In Abweichung hiervon können die einzelnen keramischen
Schichten mit Mustern zur Erzielung einer Mehrzahl von ge
schichteten keramischen Produkten versehen sein, so daß die
keramischen Schichten nach ihrem Aufeinanderstapeln zum Er
halten einer Mehrzahl von geschichteten, keramischen Pro
dukten geschnitten werden.
Nachfolgend werden experimentell vorbereitete Probenkörper
des Temperatursensors 1 gemäß der Erfindung beschrieben.
Zunächst wird ein sich nicht reduzierendes
keramisches Material, welches bei Nie
dertemperatur sinterbar ist, aus BaO · SiO₂ · Al₂O₃ · CaO · B₂O₃
als keramisches Material zum Erzeugen der keramischen
Schichten 3a bis 3d verwendet, woraufhin die Widerstands
muster und dergleichen aus einer Kupferpaste gebildet werden,
während ein keramisches Material des sich nicht redu
zierenden Types aus einer
Verbindung TiO₂ · BaO · CaO · ZrO₂, welche in der japani
schen Patentveröffentlichung Nummer 56-46641 beschrieben
ist, zum Erzeugen der keramischen Schichten 3a bis 3d ver
wendet wird, auf die die Widerstandsmuster mittels einer
Nickelpaste aufgebracht werden.
Kupfer bzw. Nickel enthaltende Pasten wurden als Materialien
zum Erzeugen der Widerstandsmuster 4a bis 4c und der Stege
5a bis 5c, 6a bis 6c, 8a, 8b, 8d sowie als Materialien zum
Auffüllen der Durchgangslöcher 7a, 7b und der Durchgangslö
cher 9a, 9d verwendet. Druckmuster der jeweiligen Wider
standsmuster 4a bis 4c wurden durch Drucken von 150 µm brei
ten Linien bei einer Abstandsbreite von 200 µm verwendet.
Innerhalb eines jeden Probenkörpers wurden dreißig kerami
sche Schichten 3a bis 3d aufeinandergestapelt. Genauer ge
sagt wurden vierzehn keramische Schichten 3a abwechselnd mit
vierzehn keramischen Schichten 3b und jeweils einer einzigen
keramischen Schicht 3c, 3d in dieser Reihenfolge innerhalb
eines Laminates gestapelt.
Die gestapelten keramischen Schichten 3a bis 3d wurden in
einer Atmosphäre, die N₂ und nicht mehr als 13% H₂ enthält,
bei einer Brenntemperatur von 990°C für einen Probenkörper,
der Kupferpaste enthält, und bei einer Brenntemperatur zwi
schen 1130 und 1350°C für einen Probenkörper, der eine
Nickelpaste enthält, gebrannt.
Die Anschlußdrähte 14 und 15 wurden aus Platin platierten
Drähten gebildet, die jeweils mittels Widerstandsschweißens
mit den Stegen 5a und 8a verbunden wurden.
Die Fig. 3 bis 5 zeigen einige Charakteristika der in der
beschriebenen Weise erzeugten Probenkörper.
Fig. 3 zeigt die Widerstandsänderung des Widerstandswertes R
aufgrund der Temperaturänderungen.
Fig. 4 zeigt die Verhältnisse (Rt/Ro) des Widerstandswertes
(Rt) bei bestimmten Temperaturen in Bezug auf den Wider
standswert (Ro) bei 0°C.
Fig. 5 zeigt Temperaturkoeffizienten des Widerstandswertes
TCR bei den jeweiligen Temperaturen. Jeder Temperaturkoeffi
zient des Widerstandswertes TCR kann durch folgende Glei
chung ausgedrückt werden:
TCR [ppm/°C] = (Rt - Ro) × 10-6/(Ro × t).
In dieser Gleichung bezeichnen Rt einen Widerstandswert bei
einer bestimmten Temperatur (t [°C] ), und Ro einen Wider
standswert bei 0°C.
In den Fig. 3 bis 5 bezeichnet "Cu" einen Probenkörper,
dessen Widerstandsmuster aus einer Kupferpaste erzeugt wur
den, während "Ni" einen Probenkörper bezeichnet, dessen Wi
derstandsmuster aus einer Nickelpaste erzeugt worden sind.
Als Vergleichsprobenkörper diente ein Temperatursensor,
dessen Widerstandsmuster aus einer Platinpaste erzeugt ist.
Dieser Vergleichsprobenkörper wird durch einen im Handel
erhältlichen Temperatursensor mit einem Widerstandswert von
100 Ω bei 0°C gebildet. Genauer gesagt hat dieser Tempera
tursensor ein Widerstandsmuster aus einer Platinpaste, die
in einer natürlichen Atmosphäre bei einer Temperatur von
850°C auf einem gebrannten Aluminiumoxidsubstrat gebacken
worden ist.
Wie man aus den Fig. 3 bis 5 erkennt, ist es praktisch mög
lich, Charakteristiken zu erzielen, die in keiner Hinsicht
den Charakteristiken eines Temperatursensors mit einem aus
Platin bestehenden Widerstandsmuster nachstehen, selbst wenn
die Widerstandsmuster aus einem Grundmetall, wie beispiels
weise Kupfer oder Nickel erzeugt sind.
Wenn das aus der Kupferpaste gebildete Widerstandsmuster
gleichzeitig mit den keramischen Schichten gebrannt wird,
kann das keramische Material für die keramischen Schichten
aus anderen keramischen Materialen bestehen, wie
beispielsweise Al₂O₃ · CaO · SiO₂ · MgO · B₂O₃, Cordierit,
ZnO · MgO · Al₂O₃ · SiO₂, SiO₂ · B₂O₃-Glas + Al₂O₃ oder
dergleichen anstelle des oben genannten Materiales
BaO · SiO₂ Al₂O₃ · CaO · B₂O₃.
Wenn die aus einer Nickelpaste gebildeten Widerstandsmuster
gleichzeitig mit den keramischen Schichten gebrannt werden,
kann das keramische Material dieser keramischen Schichten
aus einem keramischen Material gebildet werden, wie
beispielsweise (BaxCa1-x)yZrO₃ + zMnO₂, mit O < x < 0,20,
0,85 < y < 1,30, 0.005 < z < 0,08; ((Ba1-x-yCaxSry)O)m · TiO₂,
mit 1,005 m 1,03, 0,02 x 0,22, 0,05 y 0,35;
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · (Ti1-zZrz)O₂, mit 1,005 m 1,03,
0,02 x 0,22, 0,05 y 0,35, 0,00 < z 0,20, wie es
in den japanischen Patentveröffentlichungen 57-37081,
57-42588 bzw. 57-49515 beschrieben ist, anstelle des oben
genannten Materiales TiO₂ · BaO · CaO · ZrO₂.
Claims (2)
1. Temperatursensor mit
einem keramischen, geschichteten Produkt (2) mit viel schichtiger Struktur, welche aus einer Mehrzahl von keramischen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) mit jeweiligen Hauptflächen gebildet ist;
einer Mehrzahl von Widerstandsmustern (4a, 4b), welche auf den ersten Hauptflächen der Mehrzahl von keramischen Schichten angeordnet sind;
einer leitfähigen Verbindungseinrichtung (7a, 7b, 9a, 9b) für die serielle Verbindung der Mehrzahl von Wider standsmustern (4a, 4b) miteinander, wobei ein Abschnitt der Verbindung (7a, 7b, 9a, 9b) sich durch die kerami schen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) erstreckt; und
Anschlüssen (14, 15), die mit den beiden Enden der in Reihe geschalteten Mehrzahl von widerstandsmustern (4a, 4b) verbunden sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Widerstandsmuster (4a, 4b) aus Kupfer bestehen, und
die keramischen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) eines der folgenden Materialien aufweisen: BaO · SiO₂ · Al₂O₃ · CaO · B₂O₃; oder
Al₂O₃ · CaO · SiO₂ · MgO · B₂O₃; oder
Cordierit; oder
ZnO · MgO · Al₂O₃ · SiO₂; oder
SiO₂ · B₂O₃-Glas und Al₂O₃.
einem keramischen, geschichteten Produkt (2) mit viel schichtiger Struktur, welche aus einer Mehrzahl von keramischen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) mit jeweiligen Hauptflächen gebildet ist;
einer Mehrzahl von Widerstandsmustern (4a, 4b), welche auf den ersten Hauptflächen der Mehrzahl von keramischen Schichten angeordnet sind;
einer leitfähigen Verbindungseinrichtung (7a, 7b, 9a, 9b) für die serielle Verbindung der Mehrzahl von Wider standsmustern (4a, 4b) miteinander, wobei ein Abschnitt der Verbindung (7a, 7b, 9a, 9b) sich durch die kerami schen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) erstreckt; und
Anschlüssen (14, 15), die mit den beiden Enden der in Reihe geschalteten Mehrzahl von widerstandsmustern (4a, 4b) verbunden sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Widerstandsmuster (4a, 4b) aus Kupfer bestehen, und
die keramischen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) eines der folgenden Materialien aufweisen: BaO · SiO₂ · Al₂O₃ · CaO · B₂O₃; oder
Al₂O₃ · CaO · SiO₂ · MgO · B₂O₃; oder
Cordierit; oder
ZnO · MgO · Al₂O₃ · SiO₂; oder
SiO₂ · B₂O₃-Glas und Al₂O₃.
2. Temperatursensor mit
einem keramischen, geschichteten Produkt (2) mit viel schichtiger Struktur, welche aus einer Mehrzahl von keramischen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) mit jeweiligen Hauptflächen gebildet ist;
einer Mehrzahl von Widerstandsmustern (4a, 4b), welche auf den ersten Hauptflächen der Mehrzahl von keramischen Schichten angeordnet sind;
einer leitfähigen Verbindungseinrichtung (7a, 7b, 9a, 9b) für die serielle Verbindung der Mehrzahl von Wider standsmustern (4a, 4b) miteinander, wobei ein Abschnitt der Verbindung (7a, 7b, 9a, 9b) sich durch die kerami schen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) erstreckt; und
Anschlüssen (14, 15), die mit den beiden Enden der in Reihe geschalteten Mehrzahl von Widerstandsmustern (4a, 4b) verbunden sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Widerstandsmuster (4a, 4b) aus Nickel bestehen, und
die keramischen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) eines der folgenden Materialien aufweisen: TiO₂ · BaO · CaO · ZrO₂; oder
(BaxCa1-x)yZrO₃ + zMnO₂, wobei
0 < x < 0,20
0,85 < y < 1,30
0.005 < z < 0,08; oder
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · TiO₂, wobei
1,005 m 1,03
0,02 x 0,22
0,05 y 0,35; oder
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · (Ti1-zZrz)O₂, wobei
1,005 m 1,03
0,02 x 0,22
0,05 y 0,35
0,00 < z 0,20.
einem keramischen, geschichteten Produkt (2) mit viel schichtiger Struktur, welche aus einer Mehrzahl von keramischen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) mit jeweiligen Hauptflächen gebildet ist;
einer Mehrzahl von Widerstandsmustern (4a, 4b), welche auf den ersten Hauptflächen der Mehrzahl von keramischen Schichten angeordnet sind;
einer leitfähigen Verbindungseinrichtung (7a, 7b, 9a, 9b) für die serielle Verbindung der Mehrzahl von Wider standsmustern (4a, 4b) miteinander, wobei ein Abschnitt der Verbindung (7a, 7b, 9a, 9b) sich durch die kerami schen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) erstreckt; und
Anschlüssen (14, 15), die mit den beiden Enden der in Reihe geschalteten Mehrzahl von Widerstandsmustern (4a, 4b) verbunden sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Widerstandsmuster (4a, 4b) aus Nickel bestehen, und
die keramischen Schichten (3a, 3b, . . . 3c, 3d) eines der folgenden Materialien aufweisen: TiO₂ · BaO · CaO · ZrO₂; oder
(BaxCa1-x)yZrO₃ + zMnO₂, wobei
0 < x < 0,20
0,85 < y < 1,30
0.005 < z < 0,08; oder
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · TiO₂, wobei
1,005 m 1,03
0,02 x 0,22
0,05 y 0,35; oder
((Ba1-x-yCaxSry)O)m · (Ti1-zZrz)O₂, wobei
1,005 m 1,03
0,02 x 0,22
0,05 y 0,35
0,00 < z 0,20.
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