DE102004017799A1 - Temperatursensor und Verfahren zur Justierung eines solchen - Google Patents

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Abstract

Erfindungsgemäß ist ein Temperatursensor vorgesehen, dessen Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) aus LTCC (low temperature cofired ceramic)-Keramik besteht. Dieser Temperatursensor weist mehrere Substratlagen (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) auf, zwischen denen eine sensitive Schicht (12b, 12c) aus Platin mit temperaturabhängigem Widerstand angeordnet ist. Dadurch, dass diese Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) vollständig vom Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) umgeben ist, wird erreicht, dass der Temperatursensor sehr verschleißfest ist und auch bei sehr hohen Temperaturen oder anderweitig widrigen Umgebungseinflüssen zuverlässig und genau arbeitet.
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